JP2010056375A - 処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この塗布現像処理システム10は、水平なシステム長手方向で互いに平行かつ逆向きに延びる往路プロセスラインAおよび復路プロセスラインBならびにそれらの間に配置される折り返し型の中間プロセスラインCを有し、プロセスフローの順にしたがってA→C→Bの順に多数の処理ユニットを配置している。中間プロセスラインCは、二階建てで折り返し型になっており、1階にプリベークユニット(PRE−BAKE)60、2階にクーリングユニット(COL)62をそれぞれ配置するとともに、1階から2階へ基板Gを昇降移動させて移し替える折り返し用の昇降型移し替えユニット(EV)66を設けている。
【選択図】 図1
Description
(第1の実施形態)
搬入ユニット(IN−PASS)58内には、図4に示すように、基板Gよりも大きな間隔を空けて搬送方向(X方向)に平行に延びる一対の水平フレーム140A,140Bが設けられている。これらの水平フレーム140A,140Bの間には、適当な間隔を空けて複数本(図示の例では4本)の棒状支持部材142が平行に並べて配置されている。各棒状支持部材142は、搬送方向(X方向)と直交する方向(Y方向)に延びる複数本(図示の例では3本)の梁144に支持されている。梁144の両端部は、図5に示すように、水平フレーム140A,140Bの下面にそれぞれ固定されている。
(他の実施形態)
14 カセットステーション(C/S)
16 プロセスステーション(P/S)
18 インタフェースステーション(I/F)
22 搬送装置
34 搬出ユニット(OUT−PASS)
36 レジスト塗布ユニット(CT)
40 減圧ユニット(VD)
58 搬入ユニット(IN−PASS)
60 プリベークユニット(PRE−BAKE)
62 クーリングユニット(COL)
64 搬出ユニット(OUT−PASS)
66 昇降型移し替えユニット(EV)
68 中間平流し搬送路
70 搬送ロボット
120 第1の中間平流し搬送路
124 第2の中間平流し搬送路
130 第3の中間平流し搬送路
A 往路プロセスライン
B 復路プロセスライン
C 中間プロセスライン
Claims (14)
- 複数の処理ユニットをプロセスフローの順に接続して被処理基板に熱的処理を含む一連の処理を施すインライン型の処理システムであって、
システム長手方向において、第1群の処理ユニットを一列に配置し、基板を第1の向きに平流しで搬送する往路平流し搬送路を有する往路プロセスラインと、
システム長手方向において、前記第1のプロセスラインよりもプロセスフローの下流側に位置する第2群の処理ユニットを一列に配置し、基板を前記第1の向きとは逆の第2の向きに平流しで搬送する復路平流し搬送路を有する復路プロセスラインと、
前記往路プロセスラインと前記復路プロセスラインとの間に設けられ、前記往路プロセスラインよりもプロセスフローの下流側に位置し、かつ前記復路プロセスラインよりもプロセスフローの上流側に位置する第3群の処理ユニットを一列または多段に配置し、前記往路平流し搬送路の終端に直接または間接的に接続可能で、基板を前記第2の向きに平流しで搬送する第1の中間平流し搬送路と、前記第1の中間平流し搬送路の上または下に敷設され、前記復路平流し搬送路の始端に直接または間接的に接続可能で、基板を前記第1の向きに平流しで搬送する第2の中間平流し搬送路と、基板を昇降移動させて前記第1の中間平流し搬送路から前記第2の中間平流し搬送路に移し替える昇降型移し替え部とを有する中間プロセスラインと
を有する処理システム。 - 前記昇降型移し替え部が、前記第1の中間平流し搬送路の高さ位置と前記第2の中間平流し搬送路の高さ位置との間で昇降移動可能な第3の中間平流し搬送路を有し、前記第1の中間平流し搬送路の終端と接続する前記第3の中間平流し搬送路上で基板を前記第2の向きに平流しで搬送し、前記第2の中間平流し搬送路の始端と接続する前記第3の中間平流し搬送路上で基板を前記第1の向きに平流しで搬送する、請求項1に記載の処理システム。
- 前記第3群の処理ユニットに、
基板を加熱処理するためのベーキングユニットと、
前記ベーキングユニットで加熱処理を受けた直後の基板を所定の温度まで冷却するためのクーリングユニットと
が含まれる、請求項1または請求項2に記載の処理システム。 - 前記ベーキングユニットが前記第1の中間平流し搬送路に沿って設けられ、
前記クーリングユニットが前記第2の中間平流し搬送路に沿って設けられる、
請求項3に記載の処理システム。 - 前記ベーキングユニットおよび前記クーリングユニットと隣接して前記第3の中間平流し搬送路を収容する昇降型移し替えユニットと、
前記昇降型移し替えユニット内で前記第3の中間平流し搬送路上の基板を冷却するための冷却機構部と
を有する請求項4に記載の処理システム。 - 前記第1群の処理ユニットに、
前記往路平流し搬送路上で基板にレジスト液を塗布するレジスト塗布ユニットと、
前記往路平流し搬送路上で基板上のレジスト塗布膜を乾燥させる乾燥ユニットと
が含まれる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の処理システム。 - 前記乾燥ユニットが、基板上のレジスト塗布膜を減圧下で乾燥させる減圧乾燥ユニットである、請求項6に記載の処理システム。
- 前記減圧乾燥ユニットが、
基板を大気圧下で搬入して、基板周囲の雰囲気を大気圧状態から減圧状態に変える第1のチャンバと、
前記第1のチャンバから基板を減圧下で搬入して一定時間にわたり終始減圧下に置く第2のチャンバと、
前記第2のチャンバから基板を減圧下で搬入して、基板周囲の雰囲気を減圧状態から大気圧状態に変える第3のチャンバと
を有する、請求項7に記載の処理システム。 - 前記第1または第2の中間平流し搬送路の上または下に敷設される第4の中間平流し搬送路を有し、前記第4の中間平流し搬送路上に基板を出し入れ可能に保管するために、前記第4の中間平流し搬送路上で基板を前記第2の向きまたは前記第1の向きに平流しで搬送する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の処理システム。
- 前記中間プロセスラインが、システム長手方向と直交するシステム幅方向において前記往路プロセスラインと前記復路プロセスライントとの間に設けられる、請求項1〜9のいずれか一項に記載の処理システム。
- システム長手方向の一端部で、システムに投入されたいずれかのカセットから未処理の基板を取り出して前記往路プロセスラインに渡し、システム内の所要の処理が全て済んだ基板を前記復路プロセスラインから受け取ってシステムから払い出しされるべきいずれかのカセットに収納する第1の搬送ロボットを有する請求項1〜10のいずれか一項に記載の処理システム。
- システム長手方向の他端部で、前記第2の中間平流し搬送路の終端に着いた基板をそこから搬出し、1つまたは複数の処理装置を経由させてから前記復路平流し搬送路に搬入する第2の搬送ロボットを有する請求項1〜11のいずれか一項に記載の処理システム。
- 前記往路平流し搬送路の終端から前記第1の中間平流し搬送路の始端に基板を平流しで移し替えるための平流し型移し替え部を有する請求項12に記載の処理システム。
- 前記第2の搬送ロボットが、前記往路平流し搬送路の終端に着いた基板をそこから搬出して、前記第1の中間平流し搬送路に搬入する、請求項12に記載の処理システム。
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