JP2010055883A - X-ray tube and fluorescence x-ray spectroscopic analyzer using same - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray tube which can irradiate a minute region of a sample with X-rays and does not decrease the intensity. <P>SOLUTION: The X-ray tube 1 includes: a focusing electrode (cathode) 5, in which a filament 1 having a recess 6 in a housing 2 is disposed; a filament 3 that is fixed so as to emit thermoelectron and to be disposed in the groove of the recess of the focusing electrode (cathode) 5; an anodic electrode 11 that has a tip on which a target 4, with which an electron beam including the thermoelectron collides, is disposed; and an X-ray emission window 8 that is disposed so as to cover an opening formed in the housing 2 for transmission of X-rays so as to emit primary X-rays generated on the target 4. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、一次Ｘ線を放出するＸ線管および蛍光Ｘ線分析装置に関する。 The present invention relates to an X-ray tube that emits primary X-rays and a fluorescent X-ray analyzer.

試料に一次Ｘ線を照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線を分析して、試料の組成分析や膜厚を測定する蛍光Ｘ線分析装置等に用いられるＸ線管は、陽極に電圧を印加して発生した電子を加速して、それを陰極となるターゲットに照射することにより、一次Ｘ線を発生させるものが良く知られている。（例えば、特許文献１を参照。）
図４に従来のＸ線管の一部拡大した概略断面図を示す。 X-ray tubes used in fluorescent X-ray analyzers that irradiate a sample with primary X-rays, analyze the fluorescent X-rays generated from the sample, and measure the composition and thickness of the sample apply a voltage to the anode It is well known to generate primary X-rays by accelerating the generated electrons and irradiating them with a target serving as a cathode. (For example, see Patent Document 1.)
FIG. 4 shows a partially enlarged schematic sectional view of a conventional X-ray tube.

内部が真空状態である筐体２内部に、陰極となるフィラメント３と、ターゲット９を先端部に備えた陽極電極１１と、が設けられている。   A filament 3 serving as a cathode and an anode electrode 11 provided with a target 9 at its tip are provided inside the housing 2 that is in a vacuum state.

そして、電流電源（図示せず）によりフィラメント３に電流を流すことで加熱され、発熱電子が発生する。この熱電子は、凹部６を有する集束電極(陰極)５と陽極１１との間に電圧電源（図示せず）により高電圧を印加することにより、電子線Ａとして引き出される。これにより、電子線Ａがターゲット４に衝突して、ターゲット４から一次Ｘ線Ｂが発生する。   And it heats by sending an electric current through the filament 3 with an electric current power supply (not shown), and a heat_generation | fever electron generate | occur | produces. The thermoelectrons are extracted as an electron beam A by applying a high voltage between a focusing electrode (cathode) 5 having a recess 6 and an anode 11 by a voltage power source (not shown). As a result, the electron beam A collides with the target 4 and primary X-rays B are generated from the target 4.

このターゲット４で発生した一次Ｘ線Ｂは、筐体２に設けられ、ベリリウム（Ｂｅ）膜などのＸ線放射窓８で覆われた穴を通して、筐体２から射出される。   Primary X-rays B generated by the target 4 are emitted from the housing 2 through a hole provided in the housing 2 and covered with an X-ray radiation window 8 such as a beryllium (Be) film.

そして、集束電極５の放射面７と陽極１１のＸ線放射線面となるターゲット４面は、共にＸ線放射窓８に向けられている。   Both the radiation surface 7 of the focusing electrode 5 and the surface of the target 4 serving as the X-ray radiation surface of the anode 11 are directed to the X-ray radiation window 8.

また、フィラメント３は、集束電極５の溝となる凹部６の外側に配置されている。
特表２００１−５０４９８８号公報 Further, the filament 3 is disposed outside the concave portion 6 that becomes a groove of the focusing electrode 5.
JP-T-2001-504988

しかし、上記の従来技術には、以下の課題が残されている。   However, the following problems remain in the above prior art.

このフィラメントの円弧が取付け溝の外側に配置されているので、フィラメント付近での等電位面はフィラメントに沿った形状となる。電場は、この等電位面に垂直に発生するので、フィラメント付近の電子線は、発散する方向に加速されることになる。   Since the arc of the filament is arranged outside the mounting groove, the equipotential surface near the filament has a shape along the filament. Since the electric field is generated perpendicular to the equipotential surface, the electron beam near the filament is accelerated in the direction of divergence.

つまり、この発散する方向をもつ電子線がターゲット上に衝突するので、ターゲット上で発生するＸ線は発散した電子線と同等の大きな大きさとなる。そのために、ターゲット上で大きな領域で発生したＸ線が、Ｘ線放射窓を介して試料などの照射するときに大きな領域となってしまうという問題があった。   That is, since the electron beam having the diverging direction collides with the target, the X-ray generated on the target has a large size equivalent to the diverging electron beam. For this reason, there is a problem that X-rays generated in a large area on the target become a large area when a sample or the like is irradiated through the X-ray emission window.

また、Ｘ線の発生させる領域を小さくするには、電子線を発生させる領域を小さくすれば良い。つまり、コイル状のフィラメントの場合、コイルの半径を小さくすることになる。しかし、電子の数は表面積に比例するので、コイルの半径を小さくした場合、電子の数が減少し、Ｘ線の強度も減少する。   In order to reduce the area where X-rays are generated, the area where electron beams are generated may be reduced. That is, in the case of a coiled filament, the coil radius is reduced. However, since the number of electrons is proportional to the surface area, when the radius of the coil is reduced, the number of electrons decreases and the intensity of X-rays also decreases.

そこで、本発明は、この課題を鑑みたものであり、試料の微小な領域にＸ線を照射することができ、Ｘ線の強度は減少しないＸ線管を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made in view of this problem, and an object of the present invention is to provide an X-ray tube that can irradiate a minute region of a sample with X-rays and does not reduce the intensity of X-rays.

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明の一次Ｘ線を放射させるＸ線管は、熱電子を生成するフィラメントと、この熱電子を加速させる凹部を有する集束電極と、加速された熱電子からなる電子線が衝突するターゲットを備えた陽極電極と、フィラメントと集束電極と、陽極電極を内部に備えた筐体と、ターゲットで生成された一次Ｘ線を筐体の外側に放射するめに、筐体に設けられた穴を覆うＸ線放射窓と、からなる構造を有し、かつこのフィラメントは、板状の形状であり、集束電極の凹部の内部に配置されるように固定され、ターゲット面、集束電極の放射面、及びフィラメントの平面が、Ｘ線放射窓に向けられているように配置されている。   The present invention employs the following configuration in order to solve the above problems. That is, the X-ray tube that emits primary X-rays according to the present invention includes a target that collides with a filament that generates thermoelectrons, a focusing electrode that has a recess that accelerates the thermoelectrons, and an electron beam that includes accelerated thermoelectrons. A hole provided in the housing in order to radiate primary X-rays generated by the target to the outside of the housing. And an X-ray emission window covering the filament, and the filament has a plate-like shape and is fixed so as to be disposed inside the concave portion of the focusing electrode, the target surface, the emission surface of the focusing electrode, And the plane of the filament is oriented so as to be directed to the X-ray emission window.

また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線を照射する前記のＸ線管を用い、試料から放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、この信号を分析して特定の元素に対応したＸ線強度を判別するＸ線分析器と、Ｘ線強度に応じて画像表示する情報処理部と、を備えた構造を有している。
上記の課題を解決するために、本発明のＸ線管においては、フィラメント形状、フィラメントの陰極への取付け方、そして陰極の形状に次のような特徴を持っている。フィラメントは陽極に向かう面の断面が平面もしくは窪んだ形状になっていて、環状である。陰極は陽極の長軸方向に回転対称に配置され、陰極にはフィラメントを取り付けるための溝が掘られている。フィラメントはこの溝の中に埋め込まれる。
また、フィラメントの厚さはフィラメントから放出される熱電子の効率を向上させるために薄くしたほうが良い。フィラメントの陰極開口部とは反対側の面はどのような形状をとっても良い。
また、フィラメントを環状でなく、一定の長さの弧にしたときは、フィラメント取付け溝の中にはフィラメント以外の部分にフィラメントと同じ形状を持つ電極を取り付ける。 The X-ray fluorescence analyzer of the present invention uses the X-ray tube that irradiates a sample with primary X-rays, detects characteristic X-rays and scattered X-rays emitted from the sample, and detects the characteristic X-rays and scattered X-rays. An X-ray detector that outputs a signal including energy information of the line, an X-ray analyzer that analyzes the signal to determine an X-ray intensity corresponding to a specific element, and information that displays an image according to the X-ray intensity And a processing unit.
In order to solve the above problems, the X-ray tube of the present invention has the following characteristics in the shape of the filament, how to attach the filament to the cathode, and the shape of the cathode. The filament has an annular shape in which the cross section of the surface facing the anode is flat or recessed. The cathode is arranged rotationally symmetrical in the major axis direction of the anode, and a groove for attaching a filament is dug in the cathode. The filament is embedded in this groove.
In addition, the thickness of the filament should be reduced in order to improve the efficiency of thermoelectrons emitted from the filament. The surface of the filament opposite to the cathode opening may take any shape.
In addition, when the filament is not circular but has an arc of a certain length, an electrode having the same shape as the filament is attached to the portion other than the filament in the filament attachment groove.

本発明は、以下に記載されるような効果を奏する。   The present invention has the following effects.

すなわち、フィラメントで発生した熱電子は集束電極から集束作用を受けて、陽極に到達する前に一度、電子線を集束することができるので、電子線の強度を保ち、陽極上での電子線の照射面積を小さくすることができる。これにより、ターゲット上の小さい領域でＸ線が発生するので試料の微小な領域にＸ線を照射することができるようになるという効果が得られます。   That is, the thermoelectrons generated in the filament receive a focusing action from the focusing electrode and can focus the electron beam once before reaching the anode, so that the electron beam intensity is maintained and the electron beam on the anode is maintained. The irradiation area can be reduced. As a result, X-rays are generated in a small area on the target, so that it is possible to irradiate a minute area of the sample with X-rays.

以下、本発明に係るＸ線管の一実施形態を、図１から図２を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするために必要に応じて縮尺を適宜変更している。   Hereinafter, an embodiment of an X-ray tube according to the present invention will be described with reference to FIGS. In each drawing used in the following description, the scale is appropriately changed as necessary to make each member a recognizable size.

本実施形態のＸ線管１は、図１に示すように、内部を真空にした筐体２内で熱電子を発生するフィラメント３と、凹部６を有する有しフィラメント１を内部に配置する集束電極(陰極)５と、熱電子からなる電子線Ａが衝突するＷ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）などからなるターゲット４を先端に設けた陽極電極１１と、筐体２に設けられ穴を覆うように設けられ、ターゲット４で発生した一次Ｘ線Ｂを射出するたように、Ｘ線を透過するベリリウム（Ｂｅ）膜などからなるＸ線放射窓８と、から構成されている。   As shown in FIG. 1, the X-ray tube 1 of the present embodiment includes a filament 3 that generates thermoelectrons in a housing 2 that is evacuated inside, and a converging unit that has a recess 6 and arranges the filament 1 inside. An electrode (cathode) 5, an anode electrode 11 provided at the tip with a target 4 made of W (tungsten), Mo (molybdenum), Cr (chromium) or the like on which an electron beam A made of thermoelectrons collides, An X-ray emission window 8 made of a beryllium (Be) film or the like that transmits X-rays so as to emit the primary X-rays B generated by the target 4. Yes.

電流電源９によりフィラメント３に電流を流すことで加熱され、熱電子が発生する。この熱電子は、凹部６を有する集束電極(陰極)５と陽極１１との間に電圧電源１０により高電圧を印加することにより、電子線Ａとして加速して引き出される。これにより、電子線ＡがＷ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）などからなるターゲット４に衝突して、ターゲット４から一次Ｘ線Ｂが発生する。   The current power supply 9 is heated by passing a current through the filament 3 to generate thermoelectrons. The thermoelectrons are accelerated and drawn out as an electron beam A by applying a high voltage between a focusing electrode (cathode) 5 having a recess 6 and an anode 11 by a voltage power supply 10. As a result, the electron beam A collides with the target 4 made of W (tungsten), Mo (molybdenum), Cr (chromium) or the like, and primary X-rays B are generated from the target 4.

本実施形態では、フィラメント３は、集束電極（陰極）５の凹部の溝の内部に配置されるように固定されている。   In the present embodiment, the filament 3 is fixed so as to be disposed inside the groove of the concave portion of the focusing electrode (cathode) 5.

また、フィラメント３は、板状の形状が用いられている。   Further, the filament 3 has a plate shape.

そして、フィラメント３の平面３ａ、集束電極５の放射面７、及び陽極１１のＸ線放射線面となるターゲット４の面が、全てＸ線放射窓８に向けられる構造となっている。   The plane 3 a of the filament 3, the radiation surface 7 of the focusing electrode 5, and the surface of the target 4 serving as the X-ray radiation surface of the anode 11 are all directed to the X-ray radiation window 8.

さらに、集束電極５とフィラメントは、ターゲット４を中心に環状の構造となっている。   Further, the focusing electrode 5 and the filament have an annular structure with the target 4 as the center.

図２にフィラメント付近の等電位面と電子線の軌跡のシミュレーション図を示す。   FIG. 2 shows a simulation diagram of the equipotential surface near the filament and the trajectory of the electron beam.

フィラメント３付近の熱電子Ａはターゲット４に向かって凹部６から出る方向に加速される。等電位面Ｄが凹部６に入り込む形状になっており、電場は等電位面Ｄとは垂直に発生するので、熱電子Ａは凹部６を外側に出るまで集束する向きに力を受ける。そのため、ターゲット４に到達するまでに一度集束面Ｃが形成されている。集束面Cでの電子線の断面はフィラメントの断面より小さくなっている。     The thermoelectrons A in the vicinity of the filament 3 are accelerated toward the target 4 in the direction of exiting from the recess 6. Since the equipotential surface D is shaped to enter the recess 6, and the electric field is generated perpendicular to the equipotential surface D, the thermoelectrons A receive a force in the direction of focusing until they exit the recess 6. For this reason, the converging surface C is formed once before reaching the target 4. The cross section of the electron beam at the focusing surface C is smaller than the cross section of the filament.

収束面Cでの電子線の断面積が仮想的なフィラメントの断面積と考えることができる。したがって、もし図２中のフィラメントの断面積が従来のＸ線管で使用されるフィラメントと同じ断面積であるならば、Ｘ線の強度を維持した状態で電子線照射面積は小さくなる。逆に電子照射面積を従来と同じにすると、Ｘ線強度を従来より強くなる。   The cross-sectional area of the electron beam at the convergence plane C can be considered as the virtual cross-sectional area of the filament. Therefore, if the cross-sectional area of the filament in FIG. 2 is the same cross-sectional area as that of the filament used in the conventional X-ray tube, the electron beam irradiation area is reduced while maintaining the X-ray intensity. On the contrary, if the electron irradiation area is the same as the conventional area, the X-ray intensity becomes stronger than the conventional one.

ターゲット上にビームを集束できるように、フィラメントの位置と、陰極陽極、真空蓋の形状、位置などを最適化することによってターゲット上での電子線照射面積を小さくすることができる。   By optimizing the position of the filament and the shape and position of the cathode anode and vacuum lid so that the beam can be focused on the target, the electron beam irradiation area on the target can be reduced.

本実施形態のＸ線管は、例えば蛍光Ｘ線分析装置に用いられるものであり、図３に示すように、試料Ｓを載置すると共に移動可能な試料ステージ（移動機構）２３と、試料Ｓ上の任意の照射ポイントに１次Ｘ線を照射するＸ線線源１と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器２１と、図示しない照明手段で照明された試料Ｓの拡大された照明画像を画像データとして取得する光学顕微鏡２２と、Ｘ線検出器２１に接続され上記信号を分析するＸ線分析器２４と、Ｘ線分析器２４に接続され特定の元素に対応したＸ線強度を判別する解析処理を行うと共に求めたＸ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定してディスプレイ部２５ａ上の照射ポイントに対応した位置に画像表示する情報処理部２５と、を備えている。   The X-ray tube of the present embodiment is used in, for example, a fluorescent X-ray analyzer, and as shown in FIG. 3, a sample stage (moving mechanism) 23 on which the sample S is placed and movable, and the sample S An X-ray source 1 that emits primary X-rays to an arbitrary irradiation point above, and characteristic X-rays and scattered X-rays emitted from the sample S are detected and energy information of the characteristic X-rays and scattered X-rays is included. An X-ray detector 21 that outputs a signal, an optical microscope 22 that acquires an enlarged illumination image of the sample S illuminated by an illumination means (not shown) as image data, and the signal connected to the X-ray detector 21 are analyzed. X-ray analyzer 24, and an analytical process connected to X-ray analyzer 24 for determining the X-ray intensity corresponding to a specific element and changing the intensity or contrast of color or lightness according to the obtained X-ray intensity. Decide on the display unit 25a An information processing unit 25 to display images at a position corresponding to the irradiation point, and a.

上記Ｘ線検出器２１は、Ｘ線の入射窓に設置されている半導体検出素子（例えば、ｐｉｎ構造ダイオードであるＳｉ（シリコン）素子）（図示略）を備え、Ｘ線光子１個が入射すると、このＸ線光子１個に対応する電流パルスが発生するものである。この電流パルスの瞬間的な電流値が、入射した特性Ｘ線のエネルギーに比例している。また、Ｘ線検出器３は、半導体検出素子で発生した電流パルスを電圧パルスに変換、増幅し、信号として出力するように設定されている。   The X-ray detector 21 includes a semiconductor detection element (for example, a Si (silicon) element which is a pin structure diode) (not shown) installed in an X-ray incident window, and when one X-ray photon is incident. A current pulse corresponding to one X-ray photon is generated. The instantaneous current value of this current pulse is proportional to the energy of the incident characteristic X-ray. The X-ray detector 3 is set so as to convert a current pulse generated in the semiconductor detection element into a voltage pulse, amplify it, and output it as a signal.

Ｘ線分析器２４は、上記信号から電圧パルスの波高を得てエネルギースペクトルを生成する波高分析器（マルチチャンネルアナライザー）である。   The X-ray analyzer 24 is a wave height analyzer (multichannel analyzer) that obtains the pulse height of a voltage pulse from the signal and generates an energy spectrum.

情報処理部２５は、ＣＰＵ等で構成され解析処理装置として機能するコンピュータであり、Ｘ線分析器２４から送られるエネルギースペクトルから特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、これに基づいて画像をディスプレイ部２５ａに表示する機能を有している。また、情報処理部２５は、各上記構成に接続されこれらを制御する機能を有し、該制御に応じて種々の情報をディスプレイ部２５ａに表示可能である。   The information processing unit 25 is a computer that includes a CPU and functions as an analysis processing device. The information processing unit 25 determines an X-ray intensity corresponding to a specific element from an energy spectrum sent from the X-ray analyzer 24, and based on this, an image is obtained. Is displayed on the display unit 25a. The information processing unit 25 is connected to each of the above-described configurations and has a function of controlling them, and can display various information on the display unit 25a according to the control.

この情報処理部２５は、Ｘ線強度の画像と試料Ｓの光学顕微鏡像とを重ね合わせて表示するように設定可能である。   The information processing unit 25 can be set so that the X-ray intensity image and the optical microscope image of the sample S are superimposed and displayed.

これら試料ステージ２３、Ｘ線管１、Ｘ線検出器２１及び光学顕微鏡２２等は、減圧可能な試料室２０に収納され、Ｘ線が大気中の雰囲気に吸収されないように測定時には、試料室２０内が減圧されるようになっている。   The sample stage 23, the X-ray tube 1, the X-ray detector 21, the optical microscope 22 and the like are housed in a sample chamber 20 that can be depressurized, and at the time of measurement so that X-rays are not absorbed by the atmosphere in the atmosphere, The inside is decompressed.

また、上記試料ステージ２３は、試料Ｓを固定した状態でステッピングモータ（図示略）等により上下左右の水平移動及び高さ調整可能なＸＹＺステージであって、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動させるように、情報処理部２５により制御される。   The sample stage 23 is an XYZ stage that can be moved up and down, left and right and adjusted in height by a stepping motor (not shown) or the like while the sample S is fixed. The information processing unit 25 controls the irradiation point to move relative to S.

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

例えば、本実施形態では、集束電極とフィラメントは、ターゲットを中心にした環状の構造が用いられているが、環状ではなくターゲットの周辺の一箇所に設けられた集束電極とフィラメントでも構わない。   For example, in this embodiment, the focusing electrode and the filament have an annular structure centered on the target. However, the focusing electrode and the filament may be provided at one location around the target instead of the ring.

本発明に係るＸ線管の一実施形態において、Ｘ線管を示す概略的な構成図である。In one Embodiment of the X-ray tube which concerns on this invention, it is a schematic block diagram which shows an X-ray tube. 本発明に係るＸ線管の一実施形態において、フィラメント付近の等電位面と電子線の軌跡を示すシミュレーション図である。FIG. 5 is a simulation diagram showing an equipotential surface near a filament and a trajectory of an electron beam in an embodiment of an X-ray tube according to the present invention. 本発明に係るＸ線管を用いた蛍光Ｘ線分析装置の一実施形態において、蛍光Ｘ線分析装置を示す概略的な全体構成図である。1 is a schematic overall configuration diagram showing a fluorescent X-ray analyzer in an embodiment of an X-ray fluorescence analyzer using an X-ray tube according to the present invention. 従来技術のＸ線管を示す概略的な構成図である。It is a schematic block diagram which shows the X-ray tube of a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

１． Ｘ線管
２． 筐体
３． フィラメント
４． ターゲット
５． 集束電極 (陰極)
６． 凹部 （溝）
７． 放射面
８． Ｘ線放射窓
９． 電流電源
１０． 電圧電源
１１． 陽極電極
１２． フィラメント
２０． 試料室
２１． Ｘ線検出器
２２． 光学顕微鏡
２３． 試料ステージ
２４． Ｘ線分析器
２５． 情報処理部
２５ａ． ディスプレイ
Ａ． 電子線
Ｂ． 一次Ｘ線
Ｃ． 集束面
Ｄ． 等電位面 1. 1. X-ray tube Housing 3. Filament 4. Target 5. Focusing electrode (cathode)
6). Recess (groove)
7). Radiation surface 8. X-ray emission window9. Current power supply 10. Voltage power supply11. Anode electrode 12. Filament 20. Sample chamber 21. X-ray detector 22. Optical microscope 23. Sample stage 24. X-ray analyzer 25. Information processing unit 25a. Display A. Electron beam Primary X-ray C.I. Focusing surface Equipotential surface

Claims (2)

一次Ｘ線を放射させるＸ線管であって、
熱電子を生成するフィラメントと、
前記熱電子を加速させる凹部を有する集束電極と、
加速された熱電子からなる電子線が衝突するターゲットを備えた陽極電極と、
前記フィラメントと前記集束電極と、前記陽極電極を内部に備えた筐体と、
ターゲットで生成された一次Ｘ線を前記筐体の外側に放射するめに、前記筐体に設けられた穴を覆うＸ線放射窓と、
からなり、
前記フィラメントは、板状の形状であり、前記凹部の内部に配置されるように固定され、
前記ターゲット面、前記集束電極の放射面、及び前記フィラメントの平面が、前記Ｘ線放射窓に向けられているＸ線管。 An X-ray tube that emits primary X-rays,
A filament that generates thermal electrons;
A focusing electrode having a recess for accelerating the thermal electrons;
An anode electrode having a target with which an electron beam made of accelerated thermoelectrons collides;
A housing provided with the filament, the focusing electrode, and the anode electrode;
An X-ray emission window covering a hole provided in the housing in order to emit primary X-rays generated by the target to the outside of the housing;
Consists of
The filament has a plate-like shape and is fixed so as to be disposed inside the concave portion.
An X-ray tube in which the target surface, the emission surface of the focusing electrode, and the plane of the filament are directed to the X-ray emission window. 試料に一次Ｘ線を照射する請求項１に記載のＸ線管と、
前記試料から放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、
前記信号を分析して特定の元素に対応したＸ線強度を判別するＸ線分析器と、
前記Ｘ線強度に応じて画像表示する情報処理部と、を備えた蛍光Ｘ線分析装置。 The X-ray tube according to claim 1, wherein the sample is irradiated with primary X-rays;
An X-ray detector that detects characteristic X-rays and scattered X-rays emitted from the sample and outputs a signal including energy information of the characteristic X-rays and scattered X-rays;
An X-ray analyzer that analyzes the signal to determine an X-ray intensity corresponding to a specific element;
An X-ray fluorescence analyzer comprising: an information processing unit that displays an image according to the X-ray intensity.

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