JP2010040690A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板位置決め固定部12において、第1プッシャ40A及び第2プッシャ40Bと、固定レール及び可動レール間の距離を測定する第1距離計42A及び第2距離計42Bを備え、且つ、基板が搬送方向に位置決めされた後、第1プッシャ及び第2プッシャをそれぞれ所定のシリンダ圧で駆動して可動レール22Aの押圧を開始すると共に、第1距離計及び第2距離計による測定を開始し、少なくとも一方の距離計による測定値L1、L2が、基板幅Wに対応する長さ以下になった時点で、第1プッシャ及び第2プッシャの駆動を停止し、前記両距離計による測定値に偏差があれば、解消される方向に第1プッシャ又は第2プッシャのシリンダ圧を調整する。
【選択図】図5
Description
12…センタステーション
14…アウトバッファ
20…固定レール
22…可動レール
24…搬送ベルト
26…ストッパ
28…Yプッシャ
30…基準位置
32…バックアップテーブル
34…基板上面位置決め部
40A…第1プッシャ
40B…第2プッシャ
42A…第1検出センサ
42B…第2検出センサ
44…比較器
46…制御部
R1…第1電空レギュレータ
R2…第2電空レギュレータ
S…基板
Claims (2)
- 基板の搬送方向に沿って配設された固定レールと、
該固定レールに対向配置され、対向方向に移動可能な可動レールと、
各レールにそれぞれ付設され、対向する基板の両端部をそれぞれ支持して搬送するコンベアと、
両コンベアにより搬入された基板を停止させ、搬送方向の位置決めをする搬送方向位置決め手段と、
前記可動レールを固定レール側へ押圧し、搬送方向に位置決めされた前記基板を基準位置に当接させて幅方向の位置決めをする幅方向位置決め手段とを備えた基板位置決め固定部を有する基板搬送装置において、
前記幅方向位置決め手段として、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された、シリンダ駆動される第1プッシャ及び第2プッシャと、各プッシャのシリンダ圧をそれぞれ調整する第1圧力調整手段及び第2圧力調整手段とを備え、
且つ、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された、各対応位置の固定レール及び可動レール間の距離を測定する第1距離計及び第2距離計を備えていると共に、
前記両コンベアにより搬入された基板が搬送方向に位置決めされた後、前記第1プッシャ及び第2プッシャをそれぞれ所定のシリンダ圧で駆動して可動レールの押圧を開始すると共に、前記第1距離計及び第2距離計による測定を開始し、
該測定開始後、少なくとも一方の距離計による測定値が、予め設定されている基板幅に対応する長さ以下になった時点で、前記第1プッシャ及び第2プッシャの駆動を停止し、
該駆動停止時に前記両距離計による測定値に偏差がある場合には、該偏差が解消される方向に前記第1プッシャ及び第2プッシャの少なくとも一方のシリンダ圧を調整する制御を行なう制御手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記偏差が解消される方向に前記第1プッシャ及び第2プッシャの少なくとも一方のシリンダ圧を調整する制御を、前記調整停止時の測定値が小さい方の距離計に対応する方のプッシャのシリンダ圧を低下させて行なうことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
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JP5084661B2 (ja) | 2012-11-28 |
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