JP2010036278A - Surface coated cutting tool - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface coated cutting tool capable of reducing crater wear and exhibiting sophisticated wear resistance in cutting under high-speed condition. <P>SOLUTION: The surface coated cutting tool is provided with a substrate and a coating formed on the substrate. The coating comprises one or more layers. At least one layer of the coating is a hard oxide coating layer containing at least Al and Zr and has such a composition structure that the contents of Al and Zr are varied along the thickness direction of the hard oxide coating layer. This variation includes a maximum Al content point where an Al content becomes a maximum and a maximum Zr content point where a Zr content becomes a maximum. The maximum Al content point and the maximum Zr content point exist repeatedly. An Al content ratio Al/(Al+Zr) at the maximum Al content point is 0.99-0.9999 by an atomic ratio, and a Zr content ratio Zr/(Al+Zr) at the maximum Zr content point is 0.001-0.2 by an atomic ratio. Zirconium oxide is not contained in the hard oxide coating layer. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具に関する。   The present invention relates to a surface-coated cutting tool comprising a substrate and a coating formed on the substrate.

近年の工作機械の高性能化はめざましいが、その一方で、切削加工に対する更なる高能率化の要求が高まっている。これに伴い、切削加工における高速化の傾向が強まっている。また、Ｐｂフリー鋼やダクタイル鋳鉄といった被削材を対象とする切削工具において、さらなる耐摩耗性の向上が求められている。耐摩耗性と刃先強度とは、トレードオフの関係にあり、従来の技術ではこれらを両立させることは困難であった。そのため、高能率加工の要求を十分に満たすことができていないのが現状である。   In recent years, the performance of machine tools has been remarkably improved, but on the other hand, there is an increasing demand for higher efficiency in cutting. Along with this, there is an increasing trend of high speed cutting. Further, there is a demand for further improvement in wear resistance in cutting tools for work materials such as Pb-free steel and ductile cast iron. Abrasion resistance and cutting edge strength are in a trade-off relationship, and it has been difficult to achieve both of them with conventional techniques. For this reason, the current situation is that the requirements for high-efficiency machining cannot be fully satisfied.

従来の技術としては、Ｚｒを被膜に含有させることで耐摩耗性を改善させる試みがなされているが、Ｚｒの含有だけでは、高速加工に対応できる物性を有する切削工具は得られていない（たとえば、特許文献１など）。   As a conventional technique, attempts have been made to improve wear resistance by incorporating Zr into a coating, but cutting tools having physical properties that can cope with high-speed machining have not been obtained only by containing Zr (for example, Patent Document 1).

また、Ｚｒを含有させた層において、Ｚｒと特定の元素の含有量の最高含有点が交互に存在する組成分布を有し、また組成分布が連続的に変化する構造の被膜を備え切削工具が提案されている（たとえば、特許文献２など）。   In addition, in the layer containing Zr, the cutting tool is provided with a coating having a composition distribution in which the highest content points of the content of Zr and a specific element are alternately present, and the composition distribution is continuously changed. It has been proposed (for example, Patent Document 2).

しかしながら、これらの特許文献１および２などで提案されている切削工具は、耐摩耗性と刃先強度の両方を十分に向上できたものではなかった。
特開昭５９−２２２５７０号公報 特開２００４−４２１５０号公報 However, the cutting tools proposed in Patent Documents 1 and 2 and the like have not been able to sufficiently improve both the wear resistance and the edge strength.
JP 59-222570 A JP 2004-42150 A

本発明は、上記のような現状に鑑みなされたものであって、その目的とするところは、高速条件下の切削においてクレーター摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与することができる被膜を備えた表面被覆切削工具を提供することにある。   The present invention has been made in view of the present situation as described above, and an object of the present invention is to provide a coating that can reduce crater wear and provide high wear resistance in cutting under high-speed conditions. It is to provide a surface-coated cutting tool provided.

本出願人は上記目的を達成するには、基材上に形成される被膜においてＡｌとＺｒの含有量を特定の範囲で連続的に変化させた組成で形成することおよびそのような組成を有する層において酸化ジルコニウムを含有しないことで、特に、鋼、鋳鉄の切削において、耐摩耗性を改善することが可能であり、より高速域での切削において寿命が長くなることを見出した。   In order to achieve the above object, the present applicant has to form a coating film formed on a substrate with a composition in which the contents of Al and Zr are continuously changed within a specific range, and to have such a composition. It has been found that by not containing zirconium oxide in the layer, it is possible to improve the wear resistance especially in cutting of steel and cast iron, and the life is prolonged in cutting in a higher speed region.

すなわち、本発明の表面被覆切削工具は、基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、硬質酸化物被膜層は、ＡｌとＺｒの含有量が上記硬質酸化物被膜層の厚み方向にそって変化する組成構造を有し、この変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９≦Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２であり、硬質酸化物被膜層に酸化ジルコニウムを含有しないことを特徴とする。   That is, the surface-coated cutting tool of the present invention is a surface-coated cutting tool comprising a substrate and a coating formed on the substrate, and the coating is composed of one layer or two or more layers. Of these, at least one layer is a hard oxide coating layer containing at least Al and Zr, and the content of Al and Zr varies along the thickness direction of the hard oxide coating layer. This change includes an Al maximum content point at which the Al content reaches a maximum and a Zr maximum content point at which the Zr content reaches a maximum. The Al maximum content point and the Zr maximum content point Al content ratio Al / (Al + Zr) at the Al maximum content point is repeatedly present, and the atomic ratio is 0.99 ≦ Al / (Al + Zr) ≦ 0.9999, and the Zr content ratio at the Zr maximum content point Zr / (Al + Zr) is the original A 0.001 ≦ Zr / (Al + Zr) ≦ 0.2 in a ratio, characterized in that it does not contain zirconium oxide in a hard oxide coating layer.

上記硬質酸化物被膜層は、その厚みが０．０５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。   The thickness of the hard oxide coating layer is preferably 0.05 μm or more and 20 μm or less.

隣接する上記Ａｌ極大含有点と上記Ｚｒ極大含有点との間隔は、０．００５μｍ以上１μｍ以下であることが好ましい。   The distance between the adjacent Al maximum content point and the Zr maximum content point is preferably 0.005 μm or more and 1 μm or less.

上記被膜は、周期律表ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択される少なくとも１種の元素、または、周期律表ＩＶａ族、Ｖａ族およびＶＩａ族の元素、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択される少なくとも１種の元素と上記硼素、炭素、窒素および酸素からなる群より選択される少なくとも１種とからなる化合物、からなる被覆層Ｘを含むことが好ましい。   The coating film includes at least one element selected from the group consisting of Group IVa elements, Group Va elements, Group VIa elements, Al and Si, or Group IVa, Va and VIa elements in the Periodic Table And a coating layer X comprising at least one element selected from the group consisting of Al and Si and at least one compound selected from the group consisting of boron, carbon, nitrogen and oxygen. .

また、上記被膜は、Ａｌ酸化物層をさらに含み、かつ、このＡｌ酸化物層は、硬質酸化物被膜層の直下に形成されることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said film further contains an Al oxide layer, and this Al oxide layer is formed directly under a hard oxide film layer.

上記被膜は、ＴｉＢ_xＮ_y（ｘ、ｙは原子％を表し、０．００１＜ｘ／（ｘ＋ｙ）＜０．２を満たす）からなるＴｉＢＮ層をさらに含み、かつ、このＴｉＢＮ層は、Ａｌ酸化物層の直下に形成されることが好ましい。 The coating further includes a TiBN layer made of TiB _x N _y (x, y represents atomic% and satisfies 0.001 <x / (x + y) <0.2), and the TiBN layer is made of Al It is preferably formed immediately below the oxide layer.

また、上記被膜は、ＴｉＢ_aＮ_bＯ_c（ａ、ｂおよびｃは原子％を表し、０．０００５＜ａ／（ａ＋ｂ＋ｃ）＜０．２、かつ０＜ｃ／（ａ＋ｂ＋ｃ）＜０．５を満たす）からなるＴｉＢＮＯ層をさらに含み、かつ、このＴｉＢＮＯ層は、Ａｌ酸化物層の直下に形成されることが好ましい。 Further, the coating film has TiB _a N _b O _c (a, b and c represent atomic%, 0.0005 <a / (a + b + c) <0.2, and 0 <c / (a + b + c) <0.5. It is preferable that the TiBNO layer is further formed directly under the Al oxide layer.

上記Ａｌ酸化物は、α−アルミナであることが好ましい。
上記硬質酸化物被膜層の厚みｄ₁と上記Ａｌ酸化物層の厚みｄ₂とは、ｄ₁／（ｄ₁＋ｄ₂）＞０．０５を満たすことが好ましい。 The Al oxide is preferably α-alumina.
It is preferable that the thickness d ₁ of the hard oxide coating layer and the thickness d ₂ of the Al oxide layer satisfy d ₁ / (d ₁ + d ₂ )> 0.05.

上記硬質酸化物被膜層と上記Ａｌ酸化物層とは、その合計厚みが０．５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。   The total thickness of the hard oxide coating layer and the Al oxide layer is preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less.

上記表面被覆切削工具は、刃先稜線部を有し、この稜線部において、上記硬質酸化物被膜層、上記Ａｌ酸化物層および上記被覆層Ｘの少なくともいずれかが露出し、稜線部以外の部分は、隣接する上記Ａｌ極大含有点と上記Ｚｒ極大含有点とが交互に繰り返し存在し、その間隔が０．００５μｍ以上１μｍ以下である硬質酸化物被膜層からなることが好ましい。   The surface-coated cutting tool has a cutting edge ridge line portion, in which at least one of the hard oxide coating layer, the Al oxide layer, and the coating layer X is exposed, and a portion other than the ridge line portion is The adjacent Al maximum content point and the Zr maximum content point are preferably present alternately and repeatedly, and the interval is preferably 0.005 μm or more and 1 μm or less.

上記被膜は、該層を形成する少なくとも１以上の層が圧縮残留応力を有するかまたは応力を有さない層である態様とすることができ、該圧縮残留応力を有するかまたは応力を有さない層は、上記硬質酸化物被膜層および上記Ａｌ酸化物層の少なくともいずれかであることが好ましい。   The coating film may be an embodiment in which at least one layer forming the layer has a compressive residual stress or no stress, and has the compressive residual stress or no stress. The layer is preferably at least one of the hard oxide coating layer and the Al oxide layer.

上記被膜は、化学蒸着法により形成されることが好ましい。
上記被覆層Ｘは、１層以上形成され、少なくとも１層は、ＭＴ−ＣＶＤ法により形成されたＴｉＣＮを層全体の５０質量％以上含有する層であることが好ましい。 The coating is preferably formed by chemical vapor deposition.
One or more coating layers X are formed, and at least one layer is preferably a layer containing 50 mass% or more of TiCN formed by MT-CVD.

上記被膜は、その最下層にチタン化合物を層全体の５０質量％以上含有する層が形成されることが好ましい。   It is preferable that a layer containing 50% by mass or more of the titanium compound is formed in the lowermost layer of the coating film.

上記被膜は、その厚みが１μｍ以上２５μｍ以下であることが好ましい。
上記基材は、超硬合金、サーメット、酸化アルミニウム系セラミックス、窒化珪素系セラミックスの少なくともいずれかであることが好ましい。 The thickness of the coating is preferably 1 μm or more and 25 μm or less.
The substrate is preferably at least one of cemented carbide, cermet, aluminum oxide ceramics, and silicon nitride ceramics.

上記基材上に形成される被膜においてＡｌとＺｒの含有量を特定の範囲で連続的に変化させた組成を有する層を形成し、また、該層に酸化ジルコニウムを含まないことで、特に、鋼、鋳鉄の切削において、耐摩耗性を改善することが可能であり、さらに寿命を延すことができる。   By forming a layer having a composition in which the content of Al and Zr is continuously changed in a specific range in the coating formed on the base material, and by not including zirconium oxide in the layer, In the cutting of steel and cast iron, it is possible to improve the wear resistance and further extend the life.

＜表面被覆切削工具＞
本発明の表面被覆切削工具は、基材と該基材上に形成された被膜とを備えるものである。このような構成を有する本発明の表面被覆切削工具は、たとえばドリル、エンドミル、フライス加工用または旋削加工用刃先交換型切削チップ、メタルソー、歯切り工具、リーマ、タップ、またはクランクシャフトのピンミーリング加工用チップとして極めて有効に用いることができる。そして、本発明の被覆切削工具は、鋼や鋳鉄などの旋削加工用刃先交換型切削チップとして特に有効に用いることができる。 <Surface coated cutting tool>
The surface-coated cutting tool of the present invention comprises a base material and a coating film formed on the base material. The surface-coated cutting tool of the present invention having such a configuration is, for example, a drill, end mill, milling or turning cutting edge replacement cutting tip, metal saw, gear cutting tool, reamer, tap, or pin shaft milling of a crankshaft. It can be used very effectively as an industrial chip. And the coated cutting tool of this invention can be used especially effectively as a blade-tip-exchange-type cutting tip for turning, such as steel and cast iron.

＜基材＞
本発明の表面被覆切削工具の基材としては、このような切削工具の基材として知られる従来公知のものを特に限定無く使用することができる。たとえば、超硬合金（たとえばＷＣ基超硬合金、ＷＣの他、Ｃｏを含み、あるいはさらにＴｉ、Ｔａ、Ｎｂ等の炭窒化物等を添加したものも含む）、サーメット（ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ等を主成分とするもの）、高速度鋼、セラミックス（炭化チタン、炭化硅素、窒化硅素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、およびこれらの混合体など）、立方晶型窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体等をこのような基材の例として挙げることができる。このような基材として超硬合金を使用する場合、そのような超硬合金は組織中に遊離炭素やη相と呼ばれる異常相を含んでいても本発明の効果は示される。なお、これらの基材は、その表面が改質されたものであっても差し支えない。たとえば、超硬合金の場合はその表面に脱β層がされていたり、サーメットの場合には表面硬化層が形成されていたりしてもよく、このように表面が改質されていても本発明の効果は示される。 <Base material>
As the base material of the surface-coated cutting tool of the present invention, a conventionally known material known as such a cutting tool base material can be used without any particular limitation. For example, cemented carbide (for example, WC base cemented carbide, including WC, including Co, or further including carbonitride such as Ti, Ta, Nb, etc.), cermet (TiC, TiN, TiCN, etc.) High-speed steel, ceramics (titanium carbide, silicon carbide, silicon nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, and mixtures thereof), cubic boron nitride sintered body, diamond sintered body Etc. can be mentioned as examples of such a substrate. When a cemented carbide is used as such a base material, the effect of the present invention is exhibited even if such a cemented carbide contains an abnormal phase called free carbon or η phase in the structure. In addition, these base materials may have a modified surface. For example, in the case of cemented carbide, a de-β layer may be formed on the surface, or in the case of cermet, a surface hardened layer may be formed. Even if the surface is modified in this way, the present invention The effect of is shown.

これらの基材なかでも、超硬合金、サーメット、酸化アルミニウム系セラミックス、窒化珪素系セラミックスの少なくともいずれかである場合、本発明における被膜を形成することで、鋼や鋳鉄に対する耐摩耗性をより改善することができる。   Among these base materials, when it is at least one of cemented carbide, cermet, aluminum oxide ceramics, and silicon nitride ceramics, the wear resistance against steel and cast iron is further improved by forming the coating according to the present invention. can do.

＜被膜＞
本発明の表面被覆切削工具の上記基材上に形成される被膜は、１層または２層以上からなる。そして、それらの層のうち少なくとも１の層は、以下で詳述するＡｌとＺｒ含有量を特定の範囲で連続的に変化させて形成した硬質酸化物被膜層である。本発明における被膜は、この硬質酸化物被膜層を含む限り、さらに他の層を含んでいても差し支えない。なお、本発明における被膜は、基材上の全面を被覆するもののみに限定されるものではなく、切れ刃を含むコーナー部分など、部分的に被膜が形成される態様をも含む。 <Coating>
The film formed on the base material of the surface-coated cutting tool of the present invention comprises one layer or two or more layers. At least one of these layers is a hard oxide coating layer formed by continuously changing the Al and Zr contents described in detail below within a specific range. The coating in the present invention may further include other layers as long as it includes this hard oxide coating layer. In addition, the film in this invention is not limited only to what coat | covers the whole surface on a base material, The aspect in which a film is partially formed, such as a corner part containing a cutting edge, is also included.

このような被膜の合計厚み（２層以上の層が形成される場合はその総膜厚）は、１μｍ以上２５μｍ以下とすることが好ましく、より好ましくはその上限が２３μｍ以下、さらに好ましくは２０μｍ以下、その下限が１．５μｍ以上、さらに好ましくは２μｍ以上である。その厚みが１μｍ未満の場合、耐摩耗性等の諸特性の向上作用が十分に示されない場合があり、２５μｍを超えると、被膜の合計厚みが上記範囲内にある場合に比べて、大きな耐摩耗性の改善効果は認められない傾向にあり、また、刃先強度が低下する場合があるため、工業的に不利となる。なお、膜厚の測定方法としては、切削工具を切断し、その断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）または金属顕微鏡にて観察することができ、膜組成の測定方法としては、同様に切削工具を切断し、その断面をＥＰＭＡ、ＥＳＣＡ、ＸＰＳ、ＥＤＳ、ＷＤＳ、ＥＥＬＳなどを用いた微小分析により行なうことができる。また、必要に応じてＴＥＭを用いて分析してもよい。   The total thickness of such a coating (the total thickness when two or more layers are formed) is preferably 1 μm or more and 25 μm or less, more preferably the upper limit is 23 μm or less, and even more preferably 20 μm or less. The lower limit is 1.5 μm or more, more preferably 2 μm or more. When the thickness is less than 1 μm, the effect of improving various properties such as wear resistance may not be sufficiently exhibited. When the thickness exceeds 25 μm, the wear resistance is larger than that when the total thickness of the coating is within the above range. There is a tendency that the improvement effect of the property is not recognized, and the edge strength may be lowered, which is industrially disadvantageous. In addition, as a measuring method of a film thickness, a cutting tool can be cut | disconnected and the cross section can be observed with SEM (scanning electron microscope) or a metal microscope, and a cutting tool is similarly used as a measuring method of a film | membrane composition. It can cut | disconnect and the cross section can be performed by microanalysis using EPMA, ESCA, XPS, EDS, WDS, EELS, etc. Moreover, you may analyze using TEM as needed.

＜硬質酸化物被膜層＞
本発明における硬質酸化物被膜層はＡｌとＺｒとからなる複合被膜により形成される硬質酸化物被膜層である。この硬質酸化物被膜層は、ＡｌとＺｒの含有量が上記硬質酸化物被膜層の厚み方向にそって変化する組成構造を有し、この変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とは交互に繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９≦Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２である。このような硬質酸化物被膜層を含むことにより、被膜の硬度が高くなり、かつ断熱性が向上するので、鋼や鋳鉄に対する耐摩耗性が向上する。本発明における硬質酸化物被膜層は、Ａｌの酸化物およびＺｒ以外に不可避不純物を含むものとする。たとえば、Ａｌの酸化物としてはα−アルミナ、κ−アルミナ、γ−アルミナ、θ−アルミナ、δ−アルミナ、η−アルミナ、χ−アルミナ、無定形アルミナなどが挙げられる。各硬質酸化物被膜層は、これらの酸化物の１種または２種以上から形成することができる。また、本発明においてＺｒは、置換型原子および侵入型原子の少なくともいずれかとして硬質酸化物被膜層に存在すると推定される。 <Hard oxide coating layer>
The hard oxide coating layer in the present invention is a hard oxide coating layer formed by a composite coating composed of Al and Zr. This hard oxide coating layer has a composition structure in which the contents of Al and Zr change along the thickness direction of the hard oxide coating layer, and this change includes the maximum Al content that maximizes the Al content. Point and the Zr maximum content point where the Zr content becomes maximum, the Al maximum content point and the Zr maximum content point exist alternately, and the Al content ratio at the Al maximum content point Al / (Al + Zr) Is an atomic ratio of 0.99 ≦ Al / (Al + Zr) ≦ 0.9999, and the Zr content ratio Zr / (Al + Zr) at the Zr maximum content point is 0.001 ≦ Zr / (Al + Zr) ≦ 0.2. By including such a hard oxide coating layer, the hardness of the coating is increased and the heat insulation is improved, so that the wear resistance against steel and cast iron is improved. The hard oxide coating layer in the present invention includes inevitable impurities in addition to the oxide of Al and Zr. For example, Al oxides include α-alumina, κ-alumina, γ-alumina, θ-alumina, δ-alumina, η-alumina, χ-alumina, and amorphous alumina. Each hard oxide coating layer can be formed from one or more of these oxides. In the present invention, Zr is presumed to be present in the hard oxide coating layer as at least one of a substitutional atom and an interstitial atom.

隣接する上記ＡｌまたはＺｒ極大含有点間において、ＡｌとＺｒの含有量はそれぞれ硬質酸化物被膜層の厚み方向にそって連続的に変化してもよいし、たとえば、０．００１μｍ以上０．５μｍ以下の幅をおいて段階的に変化するものも含む。この場合ＡｌとＺｒのそれぞれの含有量比率の変化の傾斜は、極大含有点の間隔にあわせて調整すればよい。また、隣接する上記極大含有点の間には、含有量が最低となる極小含有点が存在し、変化するとは、極大含有点から極小含有点の間では、含有量が連続的に減少することをいい、極小含有点から極大含有点の間では、含有量が連続的に増加することをいう。また、極大含有点は硬質酸化物被膜層の厚み方向において繰り返し存在すればよいものであり、繰り返しの数は特に限定されないが、耐摩耗性および耐熱性をより向上させることができる点から、各極大含有点は２以上（繰り返し数が２以上）であることが好ましく、４以上とすることがより好ましい。   Between the adjacent Al or Zr maximum content points adjacent to each other, the content of Al and Zr may vary continuously along the thickness direction of the hard oxide coating layer, for example, 0.001 μm or more and 0.5 μm. Including those that change in stages with the following width. In this case, the inclination of the change in the content ratio of each of Al and Zr may be adjusted according to the interval between the maximum content points. In addition, there is a minimum content point where the content is the lowest between adjacent maximum content points, and changing means that the content decreases continuously between the maximum content point and the minimum content point. The content increases continuously between the minimum content point and the maximum content point. Further, the maximum content point only needs to be repeatedly present in the thickness direction of the hard oxide coating layer, and the number of repetitions is not particularly limited, but from the point that wear resistance and heat resistance can be further improved, The maximum content point is preferably 2 or more (the number of repetitions is 2 or more), more preferably 4 or more.

ＡｌとＺｒの上記極大含有点は、それぞれの極大含有点が厚み方向の同じ位置に存在してもよいし、異なる位置に存在してもよいが、被膜全体の硬度を高める点から、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが交互に存在することが望ましい。すなわち、Ａｌ極大含有点と厚み方向の同じ位置にＺｒ極小含有点が存在し、Ｚｒ極大含有点と厚み方向の同じ位置にＡｌ極小含有点が存在する場合である。Ａｌ極大含有点は相対的に優れた耐摩耗性、特に化学摩耗を抑制する効果を有するが断熱性が不十分であり、他方、Ｚｒ極大含有点は相対的に優れた断熱性を有するが耐摩耗性が不十分である場合がある。このため、Ａｌ極大含有点の断熱性の不十分さと、Ｚｒの極大含有点の耐摩耗性の不十分さとを互いの含有により補わせるために、上記のようにＡｌとＺｒの極大含有点は交互に存在させることが望ましい。また、Ａｌの含有による耐摩耗性とＺｒの含有による断熱性の効果を相互に補うことが可能であれば、交互とは上記ＡｌとＺｒの極大含有点は必ずしも厚み方向の同一の位置をいうものではなく、たとえば、０．００１μｍ以上０．５μｍ以下の範囲内で、厚み方向上下に異なる位置に存在してもよい。   The maximum content points of Al and Zr may be present at the same position in the thickness direction or at different positions, but from the point of increasing the hardness of the entire coating, It is desirable that the content points and the Zr maximum content points exist alternately. That is, this is a case where the Zr minimum content point exists at the same position in the thickness direction as the Al maximum content point, and the Al minimum content point exists at the same position in the thickness direction as the Zr maximum content point. The Al maximum content point has a relatively excellent wear resistance, in particular, an effect of suppressing chemical wear, but the heat insulation is insufficient, while the Zr maximum content point has a relatively excellent heat insulation property. Wearability may be insufficient. For this reason, in order to compensate the insufficient heat insulation of the Al maximum content point and the insufficient wear resistance of the Zr maximum content point by mutual inclusion, the maximum content points of Al and Zr are as described above. It is desirable to exist alternately. In addition, if it is possible to mutually complement the effects of wear resistance due to the inclusion of Al and heat insulation due to the inclusion of Zr, the alternating maximum points of Al and Zr are not necessarily the same position in the thickness direction. For example, they may be present at different positions in the thickness direction within the range of 0.001 μm to 0.5 μm.

隣接する上記Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが交互に繰り返し存在する場合は、そのＡｌ極大含有点とＺｒ極大含有点との間隔は、０．００５μｍ以上１μｍ以下であることが好ましく、０．０３μｍ以上０．６μｍ以下であることがより好ましい。この間隔が０．００５μｍ未満では、上記の原子組成範囲においてそれぞれの極大の含有量となる点（極大含有点）を明確に形成することが難しく、またその間隔が１μｍを超える場合は、断熱性や耐摩耗性の不足する点が硬質酸化物被膜層内に局部的に現れることが多くなり、そのため切削工具の刃先の摩耗や、基材の塑性変形が進行しやすくなる場合がある。Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点との間隔は、後述のように厚み方向において一定でもよく、上記のような範囲を満たす範囲において互いに異なるように形成してもよい。なお、上記極大含有点は、厚み方向に幅を持って存在する場合も含み、このような場合には、厚み方向において原子比が一定である帯域の中心部を極大含有点とみなすものとする。   When the adjacent Al maximum content point and the Zr maximum content point are alternately and repeatedly present, the distance between the Al maximum content point and the Zr maximum content point is preferably 0.005 μm or more and 1 μm or less. More preferably, it is 0.03 μm or more and 0.6 μm or less. If this interval is less than 0.005 μm, it is difficult to clearly form the points (maximum content points) of the respective maximum contents in the above-mentioned atomic composition range, and if the interval exceeds 1 μm, the heat insulating property In addition, the point where the wear resistance is insufficient often appears locally in the hard oxide coating layer, so that the wear of the cutting edge of the cutting tool and the plastic deformation of the base material may easily proceed. The interval between the Al maximum content point and the Zr maximum content point may be constant in the thickness direction as described later, or may be different from each other within a range satisfying the above range. In addition, the maximum content point includes a case where there is a width in the thickness direction. In such a case, the central portion of the band where the atomic ratio is constant in the thickness direction is regarded as the maximum content point. .

上記極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は原子比で、０．９９≦Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、好ましく０．９９９５以下であり、より好ましくは０．９９９以下である。Ａｌの含有量比率が０．９９９９を超える場合は、Ｚｒの含有量比が少なくなり、断熱性向上効果が十分でない。Ａｌの含有量比率が０．９９未満の場合は、本発明における被膜全体の化学的な安定性が低下する。   The Al content ratio Al / (Al + Zr) at the maximum content point is an atomic ratio of 0.99 ≦ Al / (Al + Zr) ≦ 0.9999, preferably 0.9995 or less, more preferably 0.999. It is as follows. When the Al content ratio exceeds 0.9999, the Zr content ratio decreases, and the effect of improving heat insulation is not sufficient. When the Al content ratio is less than 0.99, the chemical stability of the entire coating in the present invention is lowered.

上記極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は原子比で、０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２であり、好ましくは０．１８以下であり、より好ましくは０．１５以下である。また、Ｚｒの含有量比率は好ましくは０．００１２以上、より好ましくは０．００１５以上である。Ｚｒの含有量比率が０．００１未満の場合は、Ｚｒ添加の効果が発揮できず、Ｚｒの含有量比率が０．２を超える場合は、被膜の硬度が高くなりすぎて、強度が低下し、鋼や鋳鉄の切削時において、欠損やチッピングが発生して寿命が短くなる場合がある。   The Zr content ratio Zr / (Al + Zr) at the maximum content point is an atomic ratio, and is 0.001 ≦ Zr / (Al + Zr) ≦ 0.2, preferably 0.18 or less, more preferably 0.8. 15 or less. Further, the content ratio of Zr is preferably 0.0012 or more, more preferably 0.0015 or more. When the content ratio of Zr is less than 0.001, the effect of addition of Zr cannot be exerted, and when the content ratio of Zr exceeds 0.2, the hardness of the film becomes too high and the strength decreases. When cutting steel or cast iron, chipping or chipping may occur and the life may be shortened.

上記各極大含有点における原子比は、厚み方向において一定ではなく、上記範囲を満足するのであれば、たとえば厚み方向の隣接するＡｌ極大含有点どおしの原子比は異なっていてもよい。   The atomic ratio at each local maximum content point is not constant in the thickness direction, and the atomic ratio between adjacent Al maximum content points in the thickness direction may be different as long as the above range is satisfied.

本発明において上記硬質酸化物被膜層には、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）を含有しない。このように硬質酸化物被膜層中に酸化ジルコニウムを含有しない場合、鋼や鋳鉄の乾式高速切削において優れた耐摩耗性を示す。この理由は不明であるが、ＺｒＯ₂は昇温していくと単斜晶から正方晶へ、正方晶から立方晶へと相変態し、特に１０００〜１２００℃の温度域において単斜晶から正方晶へと相変態する際に体積変化が生じることが知られており、硬質酸化物被膜層にＺｒＯ₂を含む場合は、刃先温度が高くなる鋼や鋳鉄の乾式高速切削に用いた際にＺｒＯ₂が上述の相変態に伴う体積変化により自壊してしまうことがあるが、本発明におけるＺｒＯ₂を含まない硬質酸化物被膜層を備えたチップを用いた上記乾式高速切削において高い耐摩耗性を示すと推測される。 In the present invention, the hard oxide coating layer does not contain zirconium oxide (ZrO ₂ ). Thus, when a hard oxide film layer does not contain zirconium oxide, it exhibits excellent wear resistance in dry high-speed cutting of steel and cast iron. The reason for this is unknown, but ZrO ₂ undergoes a phase transformation from monoclinic to tetragonal and from tetragonal to cubic as the temperature rises, and from monoclinic to tetragonal particularly in the temperature range of 1000 to 1200 ° C. It is known that volume change occurs during phase transformation to crystal, and when ZrO ₂ is included in the hard oxide coating layer, ZrO ₂ is used when dry cutting of steel or cast iron with high cutting edge temperature is performed. ₂ may self-destruct due to the volume change accompanying the above-mentioned phase transformation, but has high wear resistance in the dry high-speed cutting using the tip provided with the hard oxide coating layer not containing ZrO ₂ in the present invention. Presumed to show.

本発明において硬質酸化物被膜層に酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）を含有しないとは、ＸＲＤ（X-ray diffraction）測定を行ない、Ａｌの酸化物とＺｒＯ₂とに関するＸ線の回折角度と回折強度のデータを収集して判断するものとする。具体的には、硬質酸化物被膜層の構成主体となっている「アルミニウムの酸化物の結晶構造において、ＪＣＰＤＳ（Join Committee on Powder Diffraction Standards）カードにおける基準回折強度において、回折強度が高いものから順に並べた８つの面間隔における回折強度のうち、最も回折強度が低い面間隔の回折強度」と、「ジルコニウムの酸化物（ＺｒＯ₂）のそれぞれ結晶構造において、ＪＣＰＤＳカードにおける面間隔ｄ（Å）が、ＺｒＯ₂単斜晶の場合：３．１６４Å、２．８４０Å、２．６０６Å（いずれも小数点以下四桁目は切り捨て）、またはＺｒＯ₂正方晶の場合：２．９５０Å、１．８１０Å、１．５３５Å（いずれも小数点以下四桁目は切り捨て）の面間隔における回折強度のなかで、最も回折強度が高いものの回折強度」とを比べ、これらの「ジルコニウムの酸化物（ＺｒＯ₂）に関する回折強度のいずれもが、前述のアルミニウムの酸化物に関する回折強度の一番小さいものより小さい場合」は、硬質酸化物被膜層はＺｒＯ₂を含有しないとものとする。 In the present invention, the fact that zirconium oxide (ZrO ₂ ) is not contained in the hard oxide coating layer means that XRD (X-ray diffraction) measurement is performed, and the X-ray diffraction angle and diffraction intensity of Al oxide and ZrO ₂ are measured. Data shall be collected and judged. Specifically, “the crystal structure of aluminum oxide, which is the main constituent of the hard oxide coating layer, in the standard diffraction intensity in the JCPDS (Join Committee on Powder Diffraction Standards) card, in descending order of diffraction intensity. Of the diffraction intensities at the eight interplanar spacings, the interfacial diffraction intensities with the lowest diffraction strength and the interplanar spacing d (Å) in the JCPDS card in the respective crystal structures of zirconium oxide (ZrO ₂ ) , ZrO ₂ monoclinic crystal: 3.164 Å, 2.840 Å, 2.606 Å (both are rounded down to the fourth decimal place), or ZrO ₂ tetragonal crystal: 2.950 Å, 1.810 Å, 1. Compared to the diffraction intensity with the highest diffraction intensity among the diffraction intensities at 535 mm (both digits are rounded down) These "oxide of zirconium if none of the diffraction intensity for (ZrO ₂₎ is smaller than the smallest of the diffraction intensity for the foregoing oxides of aluminum" hard oxide coating layer containing ZrO ₂ Suppose you don't.

すなわち、たとえば、アルミニウムの酸化物がα−Ａｌ₂Ｏ₃の場合、基準回折強度においてＪＣＰＳＤカードにおける回折強度が高いものから順に並べた８つの面間隔ｄ（Å）は、３．４７９Å、２．５５２Å、２．３７９Å、２．０８５Å、１．７４０Å、１．６０１Å、１．４０４Å、１．３７４Å（いずれも小数点以下四桁目は切り捨て）となる。これらの面間隔における回折強度のなかで最も回折強度が低いものと、ジルコニウムの酸化物（ＺｒＯ₂）に起因する面間隔ｄ（Å）が単斜晶の場合の３．１６４Å、２．８４０Åおよび２．６０６Åにおける回折強度、および正方晶の場合の２．９５０Å、１．８１０Åおよび１．５３５Å（いずれも小数点以下四桁目は切り捨て）における回折強度のなかで最も回折強度が高いものとを比べて、後者の回折強度が低い場合は、硬質酸化物被膜層にＺｒＯ₂が含有されないと判断する。なお、上記α−Ａｌ₂Ｏ₃の面間隔は、ＪＣＰＤＳのNo.46-1212およびNo.010-0173（Huang,T.,Parrish,W.,Masciocchi,N.,Wang,P.,Adv.X-Ray Anal.,33,295.（1990）、Acta Crystallogr.,Sec.B:Structural Science.49,973,（1993））を基準とするものである。 That is, for example, when the oxide of aluminum is α-Al ₂ O ₃ , the eight interplanar spacings d (Å) arranged in order from the highest diffraction intensity in the JCPSD card at the standard diffraction intensity is 3.479Å. 552 Å, 2.379 Å, 2.085 Å, 1.740 Å, 1.601 Å, 1.404 い ず れ, 1.374 Å (both digits are rounded down after the decimal point). Among these diffraction intensities at the interplanar spacing, those having the lowest diffraction intensity, and 3.164Å, 2.840Å in the case where the interplanar spacing d (Å) due to the oxide of zirconium (ZrO ₂ ) is monoclinic, and Compared to the diffraction intensity at 2.606 、 and the diffraction strength at 2.950 Å, 1.810 Å, and 1.535 Å in the case of tetragonal crystals (all of which are rounded down to the fourth decimal place). When the latter diffraction intensity is low, it is determined that the hard oxide coating layer does not contain ZrO ₂ . In addition, the surface spacing of the α-Al ₂ O ₃ is determined according to JCPDS No. 46-1212 and No. 010-0173 (Huang, T., Parrish, W., Masciocchi, N., Wang, P., Adv. X-Ray Anal., 33, 295. (1990), Acta Crystallogr., Sec. B: Structural Science. 49, 973, (1993)).

また、たとえば、アルミニウムの酸化物がκ−Ａｌ₂Ｏ₃の場合、α−Ａｌ₂Ｏ₃の場合と同様、基準回折強度においてＪＣＰＳＤカードにおける回折強度が高いものから順に並べた８つ面間隔ｄ（Å）、３．０４０Å、２．７９０Å、２．５７０Å、２．３２０Å、２．１１０Å、１．６４０Å、１．４３０Å、１．３９０Å（いずれも小数点以下四桁目は切り捨て）における回折強度のなかで最も回折強度が低いものと、ジルコニウムの酸化物（ＺｒＯ₂）に起因する面間隔ｄ（Å）が単斜晶の場合の３．１６４Å、２．８４０Åおよび２．６０６Åにおける回折強度、および正方晶の場合の２．９５０Å、１．８１０Åおよび１．５３５Å（いずれも小数点以下四桁目は切り捨て）における回折強度のなかで最も回折強度が高いものとを比べて、後者の回折強度が低い場合は、硬質酸化物被膜層にＺｒＯ₂が含有されないと判断する。なお、上記κ−Ａｌ₂Ｏ₃の面間隔は、ＪＣＰＤＳのNo.052-0803およびNo.004-0878（Halvarsson,M.,Langer,V.,Vuorinen,S.,Powder Diffraction,14,61,（1999）、Yourdshahyan,Y.,Ruberto,C.,Halvarsson,M.,Bengtsson,L.,Langer,V.,Lundqvist,B.,J.Am.Ceram.Soc.,82,1365.（1999）、Stumpf et al.,Ind.Eng.Chem.,42,1398,（1950））を基準とするものである。 Further, for example, when the aluminum oxide is κ-Al ₂ O ₃ , as in the case of α-Al ₂ O ₃ , as in the case of α-Al ₂ O ₃ , the eight-surface spacing d arranged in order from the highest diffraction intensity in the JCPSD card at the reference diffraction intensity d. (Å), 3.040 に お け る, 2.790Å, 2.570Å, 2.320Å, 2.110Å, 1.640Å, 1.430Å, 1.390Å (both are rounded down to the fourth decimal place) Among them, the diffraction intensity at 3.164Å, 2.840Å and 2.606Å in the case where the lowest diffraction intensity and the interplanar spacing d (Å) due to zirconium oxide (ZrO ₂ ) are monoclinic, In the case of tetragonal crystal, the diffraction intensity of 2.950Å, 1.810 に お け る and 1.535Å (all of which are rounded down to the fourth decimal place) is the highest. Base, if the latter diffraction intensity is low, ZrO ₂ is determined not to be contained in the hard oxide coating layer. The surface spacing of the κ-Al ₂ O ₃ is determined by JCPDS No.052-0803 and No.004-0878 (Halvarsson, M., Langer, V., Vuorinen, S., Powder Diffraction, 14, 61, (1999), Yourdshahyan, Y., Ruberto, C., Halvarsson, M., Bengtsson, L., Langer, V., Lundqvist, B., J. Am. Ceram. Soc., 82, 1365. (1999) Stumpf et al., Ind. Eng. Chem., 42, 1398, (1950)).

上記硬質酸化物被膜層は、その厚みが０．０５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは０．１μｍ以上、さらに好ましくは、０．５μｍ以上２０μｍ以下である。硬質酸化物被膜層の厚みが０．０５μｍ未満の場合は、該硬質酸化物被膜層を設ける効果が十分得られない場合がある。   The thickness of the hard oxide coating layer is preferably 0.05 μm or more, more preferably 0.1 μm or more, and further preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less. When the thickness of the hard oxide coating layer is less than 0.05 μm, the effect of providing the hard oxide coating layer may not be sufficiently obtained.

＜被覆層Ｘ＞
上記被膜は、周期律表ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択される少なくとも１種の元素、または、周期律表ＩＶａ族、Ｖａ族およびＶＩａ族の元素、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択される少なくとも１種の元素と上記硼素、炭素、窒素および酸素からなる群より選択される少なくとも１種とからなる化合物、からなる被覆層Ｘを含むことが好ましい。このような被覆層Ｘを設けることによって、耐摩耗性と靭性とのバランスをより高めることができる。被覆層Ｘを構成する元素または化合物が２種以上により構成される場合、その組み合わせは特に限定されるものではない。上記のような元素または化合物としては、たとえばＣｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｈｆ、ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＮＯ、ＴｉＣＮＯ、ＴｉＢ₂、ＴｉＯ₂、ＴｉＢＮ、ＴｉＢＮＯ、ＴｉＣＢＮ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、ＨｆＮ、ＴｉＡｌＮ、ＡｌＣｒＮ、ＣｒＮ、ＶＮ、ＴｉＳｉＮ、ＴｉＳｉＣＮ、ＡｌＴｉＣｒＮ、ＴｉＡｌＣＮ、ＺｒＣＮ、ＺｒＣＮＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＡｌＮ、ＡｌＣＮ、ＺｒＮ、ＴｉＡｌＣ、ＮｂＣ、ＮｂＮ、ＮｂＣＮ、Ｍｏ₂Ｃ、ＷＣ、Ｗ₂Ｃ等を挙げることができる。なお、本発明において上記のように化合物を化学式で表わす場合、原子比を特に限定しない場合は従来公知のあらゆる原子比を含むものとし、必ずしも化学量論的範囲のもののみに限定されるものではない。たとえば単に「ＴｉＣＮ」と記す場合、「Ｔｉ」と「Ｃ」と「Ｎ」の原子比は５０：２５：２５の場合のみに限られず、また「ＴｉＮ」と記す場合も「Ｔｉ」と「Ｎ」の原子比は５０：５０の場合のみに限られない。これらの原子比としては従来公知のあらゆる原子比が含まれるものとする（以下の化学蒸着層、物理蒸着層、実施例等において同じ）。 <Coating layer X>
The coating film includes at least one element selected from the group consisting of Group IVa elements, Group Va elements, Group VIa elements, Al and Si, or Group IVa, Va and VIa elements in the Periodic Table And a coating layer X comprising at least one element selected from the group consisting of Al and Si and at least one compound selected from the group consisting of boron, carbon, nitrogen and oxygen. . By providing such a coating layer X, the balance between wear resistance and toughness can be further increased. When the element or compound which comprises the coating layer X is comprised by 2 or more types, the combination is not specifically limited. As the element or compound as described above, for example Cr, Ti, Al, Si, V, Zr, Hf, TiC, TiN, TiCN, TiNO, TiCNO, TiB 2, TiO 2, TiBN, TiBNO, TiCBN, ZrC, HfC , HfN, TiAlN, AlCrN, CrN , VN, TiSiN, TiSiCN, AlTiCrN, TiAlCN, ZrCN, ZrCNO, Al 2 O 3, AlN, AlCN, ZrN, TiAlC, NbC, NbN, NbCN, Mo 2 C, WC, W 2 C etc. can be mentioned. In the present invention, when the compound is represented by the chemical formula as described above, it is assumed that all the conventionally known atomic ratios are included unless the atomic ratio is particularly limited, and are not necessarily limited to those in the stoichiometric range. . For example, when simply describing “TiCN”, the atomic ratio of “Ti”, “C”, and “N” is not limited to 50:25:25, and also when “TiN” is described, “Ti” and “N” The atomic ratio is not limited to 50:50. These atomic ratios include all conventionally known atomic ratios (the same applies to the following chemical vapor deposition layer, physical vapor deposition layer, examples, etc.).

上記被覆層Ｘの厚さは、特に限定されないが、０．１μｍ以上３０μｍ以下とすることが好ましい。被覆層Ｘの厚みが０．１μｍ未満では、前述のバランス改善の効果が現れない場合があり、３０μｍを超える場合は、耐摩耗性の大幅な改善は認められず、耐欠損性が劣化する場合がある。   The thickness of the coating layer X is not particularly limited, but is preferably 0.1 μm or more and 30 μm or less. When the thickness of the coating layer X is less than 0.1 μm, the above-mentioned balance improvement effect may not appear. When it exceeds 30 μm, no significant improvement in wear resistance is observed, and the fracture resistance deteriorates. There is.

上記被膜において、被覆層Ｘを形成する厚み方向の位置は特に限定されるものではなく、たとえば、上記硬質酸化物被膜層の上に形成した場合は、耐摩耗性、放熱性、耐溶着性、使用刃先の認識性等のうち少なくとも１の特性を改善することができ、上記硬質酸化物被膜層の下に形成した場合は、耐摩耗性と靭性とのバランスの改善や、これらの層間での密着力の改善を実現することができる。   In the coating film, the position in the thickness direction for forming the coating layer X is not particularly limited. For example, when formed on the hard oxide coating layer, wear resistance, heat dissipation, welding resistance, It is possible to improve at least one of the recognition characteristics of the cutting edge used, and when formed under the hard oxide coating layer, the balance between wear resistance and toughness is improved, and Improvement in adhesion can be realized.

また、上記被覆層Ｘは、１層または２層以上形成してもよく、複数層形成する場合は、少なくとも１層を、ＭＴ−ＣＶＤ法により形成されたＴｉＣＮ層とすることが好ましく、この場合、耐摩耗性と切削工具の刃先の強度のバランスを良好なものとすることができる。このＴｉＣＮ層の組成比は特に限定されず、また、ＴｉＣＮ層中には、たとえば、酸素、ケイ素、Ｚｒ、Ｈｆ、Ａｌ等その他の元素が含まれていてもよい。ＭＴ−ＣＶＤ法としては、従来公知条件をいずれも採用することができるが、成膜の際、加熱による基材のダメージをより低減させるためには、８００℃以上９００℃以下で成膜することが好ましい。また、この場合、成膜に使用するガスは、ニトリル系のガス、特に、アセトニトリル（ＣＨ₃ＣＮ）を用いた場合は量産性に優れるので好ましい。 Further, the coating layer X may be formed by one layer or two or more layers. When a plurality of layers are formed, at least one layer is preferably a TiCN layer formed by MT-CVD. In this case, The balance between the wear resistance and the strength of the cutting edge of the cutting tool can be made favorable. The composition ratio of the TiCN layer is not particularly limited, and the TiCN layer may contain other elements such as oxygen, silicon, Zr, Hf, and Al. As the MT-CVD method, any of the conventionally known conditions can be adopted. However, in order to further reduce damage to the substrate due to heating during film formation, the film is formed at 800 ° C. or higher and 900 ° C. or lower. Is preferred. In this case, the gas used for film formation is preferably a nitrile gas, particularly acetonitrile (CH ₃ CN), because it is excellent in mass productivity.

＜Ａｌ酸化物層＞
上記被膜には、Ａｌ酸化物層を含むことが好ましく、このＡｌ酸化物層は上記硬質酸化物被膜層の直下に形成されることが好ましい。Ａｌ酸化物層を含むことによって、被膜の密着力をより向上させることができる。この場合、硬質酸化物被膜層とＡｌ酸化物層との境界において、Ａｌの組成は、連続的に変化してもよいし、断続的や、不連続に変化するものであってもよく、いずれの態様であっても、Ａｌ酸化物層を含むことによる密着力の向上効果は発揮されるものである。 <Al oxide layer>
The coating preferably includes an Al oxide layer, and the Al oxide layer is preferably formed immediately below the hard oxide coating layer. By including the Al oxide layer, the adhesion of the coating can be further improved. In this case, at the boundary between the hard oxide coating layer and the Al oxide layer, the composition of Al may change continuously, or may change intermittently or discontinuously. Even if it is this aspect, the improvement effect of the adhesive force by including an Al oxide layer is exhibited.

上記Ａｌ酸化物としては、α−アルミナ、κ−アルミナ、γ−アルミナ、θ−アルミナ、δ−アルミナ、η−アルミナ、χ−アルミナ、無定形アルミナなどや、これらＡｌ酸化物のうちの２種以上が混在した状態が挙げられるが、化学的安定性の点からα−アルミナであることが好ましく、Ａｌ酸化層中にα−アルミナを質量比で５０％以上含有することが好ましい。α−アルミナのより好ましい含有量は、６０％以上であり、α−アルミナをこのような範囲で含有したＡｌ酸化物層とすることにより、優れた耐摩耗性や化学的安定性を得ることができる。   Examples of the Al oxide include α-alumina, κ-alumina, γ-alumina, θ-alumina, δ-alumina, η-alumina, χ-alumina, and amorphous alumina, and two of these Al oxides. Although the state where the above is mixed can be mentioned, α-alumina is preferable from the viewpoint of chemical stability, and α-alumina is preferably contained in the Al oxide layer at a mass ratio of 50% or more. The more preferable content of α-alumina is 60% or more. By making the Al oxide layer containing α-alumina in such a range, excellent wear resistance and chemical stability can be obtained. it can.

Ａｌ酸化物層の厚みは、特に限定されないが、上記硬質酸化物被膜層の厚みｄ₁と上記Ａｌ酸化物層の厚みｄ₂とが、ｄ₁／（ｄ₁＋ｄ₂）＞０．０５を満たすことが好ましい。０．１＜ｄ₁／（ｄ₁＋ｄ₂）＜０．７を満たすことがより好ましい。ｄ₁／（ｄ₁＋ｄ₂）が０．０５以下の場合は、被膜全体に占めるＺｒの含有比率が小さくなるため、Ｚｒを含むことによる効果が低下する場合がある。 The thickness of the Al oxide layer is not particularly limited, and the thickness d ₁ of the hard oxide coating layer and the thickness d ₂ of the Al oxide layer satisfy d ₁ / (d ₁ + d ₂ )> 0.05. It is preferable to satisfy. It is more preferable to satisfy 0.1 <d ₁ / (d ₁ + d ₂ ) <0.7. When d ₁ / (d ₁ + d ₂ ) is 0.05 or less, the content ratio of Zr in the entire coating becomes small, so that the effect of including Zr may be reduced.

上記Ａｌ酸化物層と上記硬質酸化物被膜層との合計膜厚ｄ₁＋ｄ₂は、０．５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１．０μｍ以上、さらには１．５μｍ以上であることが好ましい。また、その上限が、１８μｍ以下であることがより好ましく、１５μｍ以下であることがさらに好ましい。ｄ₁＋ｄ₂が０．５μｍ未満の場合は、耐摩耗性の改善が認められない場合があり、２０μｍを超える場合は、上記範囲内に比べて大きな耐摩耗性の改善は認められない傾向にあり、また、刃先の強度が低下する場合があるので、工業的に不利となる。 The total film thickness d ₁ + d ₂ of the Al oxide layer and the hard oxide coating layer is preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less, more preferably 1.0 μm or more, and further preferably 1.5 μm or more. Preferably there is. The upper limit is more preferably 18 μm or less, and further preferably 15 μm or less. When d ₁ + d ₂ is less than 0.5 μm, improvement in wear resistance may not be observed. When it exceeds 20 μm, there is a tendency that no significant improvement in wear resistance is observed compared to the above range. Moreover, since the strength of the blade edge may be lowered, it is industrially disadvantageous.

上記Ａｌ酸化物層は、被膜と基材である超硬合金との密着性や、切削工具の刃先の強度と耐摩耗性とのバランスを良好にできる点から、上記被覆層Ｘとともに形成されることが好ましい。ここで、上記被膜層とＡｌ酸化層とは、相対的に耐酸化性に優れるが、上記被覆層Ｘをともに設ける場合には、これらの層間の密着性を高めるために、後述のＴｉＢＮ層やＴｉＢＮＯ層を含むことが好ましい。   The Al oxide layer is formed together with the coating layer X from the viewpoint that the adhesion between the coating and the cemented carbide as the base material and the balance between the strength of the cutting edge of the cutting tool and the wear resistance can be improved. It is preferable. Here, the coating layer and the Al oxide layer are relatively excellent in oxidation resistance. However, in the case where the coating layer X is provided together, in order to improve the adhesion between these layers, a TiBN layer described later or It is preferable to include a TiBNO layer.

上記被膜がＡｌ酸化物層を含む場合、ＴｉＢ_xＮ_y（ｘ、ｙは原子％を表し、０．００１＜ｘ／（ｘ＋ｙ）＜０．２を満たす）からなる層（ＴｉＢＮ層）をさらに含むことが好ましい。ｘ／（ｘ＋ｙ）は、０．００２＜ｘ／（ｘ＋ｙ）＜０．１５であることがより好ましい。このＴｉＢＮ層は、Ａｌ酸化物層の直下に形成される層である。ｘ／（ｘ＋ｙ）が０．０１以下の場合は、密着力を改善する効果が低く、０．２以上の場合は、被削材との反応性が高まり、溶着などによる摩耗が進行しやすくなることがある。なお、ＢとＮが上記原子比率を満たす限り、ＴｉとＢＮの存在比率は特に限定されるものではない。 When the coating includes an Al oxide layer, a layer (TiBN layer) composed of TiB _x N _y (x, y represents atomic% and satisfies 0.001 <x / (x + y) <0.2) is further added. It is preferable to include. More preferably, x / (x + y) is 0.002 <x / (x + y) <0.15. This TiBN layer is a layer formed immediately below the Al oxide layer. When x / (x + y) is 0.01 or less, the effect of improving the adhesion is low, and when it is 0.2 or more, the reactivity with the work material is increased and wear due to welding or the like easily proceeds. Sometimes. As long as B and N satisfy the above atomic ratio, the abundance ratio of Ti and BN is not particularly limited.

また、上記被膜がＡｌ酸化物層を含む場合、上記ＴｉＢＮ層の変わりに、ＴｉＢ_aＮ_bＯ_c（ａ、ｂおよびｃは原子％を表し、０．０００５＜ａ／（ａ＋ｂ＋ｃ）＜０．２、かつ０＜ｃ／（ａ＋ｂ＋ｃ）＜０．５を満たす）からなる層（ＴｉＢＮＯ層）をさらに含むことが好ましい。このＴｉＢＮＯ層は、上記Ａｌ酸化物層の直下に形成される層である。ａ／（ａ＋ｂ＋ｃ）が０．０００５以下の場合は、密着力を改善する効果が低く、０．２以上の場合は、被削剤との反応性が高まり、溶着などによる摩耗が進行しやすくなることがある。酸素元素（Ｏ）が含まれることにより、被膜全体の硬度が高まるので、耐摩耗性をより改善することが可能であるが、ｃ／（ａ＋ｂ＋ｃ）が０．５以上の場合は、被膜の硬度が低下し、切削時にこのＴｉＢＮＯ層が破壊の基点となる虞がある。なお、Ｂ、ＮおよびＯが上記原子率比を満たす限り、ＴｉとＢＮＯとの存在比率は特に限定されるものではない。 Further, when the coating includes an Al oxide layer, instead of the TiBN layer, TiB _a N _b O _c (a, b and c represent atomic%, and 0.0005 <a / (a + b + c) <0. 2 and 0 <c / (a + b + c) <0.5) is preferably further included (TiBNO layer). This TiBNO layer is a layer formed immediately below the Al oxide layer. When a / (a + b + c) is 0.0005 or less, the effect of improving the adhesion is low, and when it is 0.2 or more, the reactivity with the work material is increased, and wear due to welding or the like easily proceeds. Sometimes. By including oxygen element (O), the hardness of the entire film is increased, so that it is possible to further improve the wear resistance, but when c / (a + b + c) is 0.5 or more, the hardness of the film There is a risk that the TiBNO layer becomes the base point of fracture during cutting. As long as B, N, and O satisfy the above atomic ratio, the abundance ratio between Ti and BNO is not particularly limited.

＜最下層＞
上記被膜は、その最下層（基材直上層）として、チタン化合物を層全体の５０質量％以上含有する層が形成されていることが好ましい。このようなチタン化合物を特定量含む層を最下層として設けることで、積層される被膜の密着力をより向上させることができる。 <Lower layer>
It is preferable that a layer containing 50% by mass or more of the titanium compound as a lowermost layer (immediately above the base material) of the coating film is formed. By providing a layer containing a specific amount of such a titanium compound as the lowermost layer, the adhesion of the laminated film can be further improved.

最下層を構成するチタン化合物としては、Ｔｉと炭素、窒素、珪素および酸素の少なくともいずれかとの化合物であることが好ましく、ＴｉＮであることが好ましい。   The titanium compound constituting the lowermost layer is preferably a compound of Ti and at least one of carbon, nitrogen, silicon and oxygen, and preferably TiN.

＜最表面層＞
上記被膜は、耐溶着性を改善できる点からは、その最表面層が酸化物からなる層であることが好ましい。このような酸化物からなる層としては、上記Ａｌ酸化物を主体とする層や、Ｔｉ、Ｈｆ等の酸化物を主体とする層を用いることが好ましい。また、チップの使用状態（認識性、すなわち未使用であるか既使用であるか）を明確にするために、すくい面および逃げ面の少なくともいずれか一方を、明るい光沢のある層が表面層として残るように、上記表面被覆切削工具は、刃先稜線部を有する構造を有することが好ましく、該稜線部において、上記硬質酸化物被膜層、Ａｌ酸化物層および被覆層Ｘの少なくともいずれかが露出し、稜線部以外の部分を、硬質酸化物被膜層により構成することが好ましい。 <Outermost surface layer>
From the viewpoint of improving the welding resistance, the outermost layer is preferably a layer made of an oxide. As the layer made of such an oxide, a layer mainly composed of the Al oxide or a layer mainly composed of an oxide such as Ti or Hf is preferably used. In addition, in order to clarify the state of use of the chip (recognition, ie, whether it is unused or used), at least one of the rake face and the flank face is a bright glossy layer as a surface layer. It is preferable that the surface-coated cutting tool has a structure having a cutting edge ridge line portion, and at least one of the hard oxide coating layer, the Al oxide layer, and the coating layer X is exposed in the ridge line portion. It is preferable that the portion other than the ridge line portion is constituted by a hard oxide coating layer.

図４（ａ）は、ノーズＲ二等分線での断面図（ノーズＲの頂角を二等分する線により分割される刃先の厚み方向の断面図）であり、本発明においては、刃先稜線部１２が上記のように酸化物からなる層であることが好ましい。また、図４（ａ）に示す稜線部の表面層部分１０、１１、１３および１４を構成する層は特に限定されないが、使用状態が確認できることがより好ましい態様である。上記露出とは、上記硬質酸化物被膜層またはＡｌ酸化物層が露出する場合、刃先稜線部１２における露出率がその表面積のたとえば５０％以上である場合をいうものとする。なお、この露出率は、刃先稜線部１２の表面の中心部分を含む領域であって、この領域の中心と刃先稜線部１２の中心部とはほぼ同じ位置にある場合の値をいうものとする。刃先稜線部１２における露出率は、表面積の８０％以上であることがより望ましい。表面層部分１１および１３の露出率は、上記硬質酸化物層またはＡｌ酸化物層が露出する場合、刃先稜線部１２側からの表面領域が、各部分の表面積の５０％以上であることが好ましいが、コーナーが識別できる限り特に限定されるものではない。また、表面層部分１０および１４の上記硬質酸化物層またはＡｌ酸化物層の露出率は、各部分の表面積の５０％以上であることが望ましく、８０％以上であることがより好ましい。   FIG. 4A is a cross-sectional view at the nose R bisector (a cross-sectional view in the thickness direction of the blade edge divided by a line that bisects the apex angle of the nose R). The ridge line portion 12 is preferably a layer made of an oxide as described above. Moreover, although the layer which comprises the surface layer part 10, 11, 13, and 14 of the ridgeline part shown to Fig.4 (a) is not specifically limited, It is a more preferable aspect that a use condition can be confirmed. The above-described exposure refers to a case where the exposure rate at the edge line 12 of the blade edge is, for example, 50% or more of the surface area when the hard oxide coating layer or the Al oxide layer is exposed. The exposure rate is a region including the center portion of the surface of the cutting edge ridge line portion 12, and the value in the case where the center of this region and the central portion of the cutting edge ridge line portion 12 are substantially at the same position. . As for the exposure rate in the blade edge line part 12, it is more desirable that it is 80% or more of the surface area. When the hard oxide layer or the Al oxide layer is exposed, the exposure rate of the surface layer portions 11 and 13 is preferably such that the surface region from the blade edge portion 12 is 50% or more of the surface area of each portion. However, there is no particular limitation as long as the corner can be identified. The exposure rate of the hard oxide layer or Al oxide layer in the surface layer portions 10 and 14 is desirably 50% or more, more preferably 80% or more of the surface area of each portion.

また、刃先の耐微小チッピング性を高めるためには、刃先稜線部１２における酸化物からなる層の層厚を薄くするか、図４（ｂ）のノーズＲ二等分線での断面図に示すように酸化物からなる層の内層（刃先稜線部１２ｃ）を露出させることが効果的である。図４（ｂ）においては、たとえば、基板上に被覆層Ｘが形成され、その上に硬質酸化物被膜層またはＡｌ酸化物層が形成され、さらに任意の表面層が設けられた場合の刃先稜線部を示す。すなわち、図４（ｂ）において、表面層部分１０および１４は任意の表面層、表面層部分１１、１２ａ、１２ｂおよび１３は硬質酸化物被膜層またはＡｌ酸化物層を示す。刃先稜線部１２ｃは、内層が５％以上露出することが好ましく、望ましくは１０％以上内層が露出することにより、耐微小チッピング性を向上させることができる。また、刃先稜線部１２ａおよび１２ｂにおいては、硬質酸化物被膜層、Ａｌ酸化物層または被覆層Ｘが５０％以上露出することが好ましく、望ましくは８０％以上である。また、表面層部分１１および１３は、図４（ａ）と同様、表面積の５０％以上の露出が望ましいが、コーナーが識別できる限り特に限定されるものではない。   Further, in order to improve the microchipping resistance of the cutting edge, the layer thickness of the oxide layer in the cutting edge ridge line portion 12 is reduced or shown in a sectional view taken along the nose R bisector of FIG. Thus, it is effective to expose the inner layer (blade edge ridge portion 12c) of the oxide layer. In FIG. 4 (b), for example, a cutting edge ridge line when a coating layer X is formed on a substrate, a hard oxide coating layer or an Al oxide layer is formed thereon, and an arbitrary surface layer is provided. Indicates the part. That is, in FIG. 4B, the surface layer portions 10 and 14 are arbitrary surface layers, and the surface layer portions 11, 12a, 12b and 13 are hard oxide coating layers or Al oxide layers. The cutting edge ridge line portion 12c is preferably exposed at an inner layer of 5% or more, and desirably has an inner layer exposed of 10% or more, thereby improving the microchipping resistance. Further, in the cutting edge ridges 12a and 12b, the hard oxide coating layer, the Al oxide layer or the coating layer X is preferably exposed by 50% or more, and desirably 80% or more. Further, the surface layer portions 11 and 13 are desirably exposed at 50% or more of the surface area as in FIG. 4A, but are not particularly limited as long as the corners can be identified.

上記所望の層の露出は、たとえば、弾性砥石バレル、ブラシ、ブラストなどを用いて加工すればよい。   What is necessary is just to process the exposure of the said desired layer using an elastic grindstone barrel, a brush, a blast etc., for example.

上述のように稜線部において、上記硬質酸化物被膜層、Ａｌ酸化物層および被覆層Ｘの少なくともいずれかが露出した状態とすることによって、刃先の稜線部における耐微小チッピング性を改善することができ、また、本発明の硬質酸化物被膜層を備えるので、チッピングにより引き起こされる被膜層の摩擦による破損を効果的に抑制することができる。その結果、切削工具全体として、耐摩耗性等を著しく改善することが可能となる。   As described above, at least one of the hard oxide coating layer, the Al oxide layer, and the coating layer X is exposed in the ridge line portion, thereby improving the microchipping resistance in the ridge line portion of the blade edge. In addition, since the hard oxide coating layer of the present invention is provided, damage caused by friction of the coating layer caused by chipping can be effectively suppressed. As a result, the wear resistance and the like can be remarkably improved as a whole cutting tool.

＜残留応力＞
上記被膜は、被膜を形成する少なくとも１以上の層が圧縮残留応力を有するかまたは応力を有さない層とすることすることができ、これらの層が、上記硬質酸化物被膜層およびＡｌ酸化物層の少なくともいずれかであることが好ましい。 <Residual stress>
The coating may be a layer in which at least one or more layers forming the coating have compressive residual stress or no stress, and these layers include the hard oxide coating layer and the Al oxide. It is preferably at least one of the layers.

上記のように、圧縮残留応力がある状態または応力を有さない状態とするためには、切削に寄与する部位の被膜を、弾性砥石、バレル、ブラシ、ブラストなどを用いて加工することにより、実現することができ、このような圧縮残留応力が導入された層または応力を有さない層は、層内に引張残留応力が存在している場合に比べて靭性が改善される。導入する圧縮残留応力は、特に限定されるものではないが、たとえば、０．０ＭＰａ以上５．０ＭＰａ以下の範囲で導入すれば、靭性の改善効果が良好となる。なお、本発明において残留応力は、Ｘ線応力測定装置を用いたｓｉｎ²ψ法により測定することができる。 As described above, in order to obtain a state having a compressive residual stress or a state having no stress, by processing the coating of the portion contributing to cutting using an elastic grindstone, a barrel, a brush, a blast, A layer in which such compressive residual stress is introduced or a layer without stress has improved toughness compared to the case where tensile residual stress exists in the layer. Although the compressive residual stress to introduce | transduce is not specifically limited, For example, if it introduce | transduces in 0.0MPa or more and the range of 5.0MPa or less, the improvement effect of toughness will become favorable. In the present invention, the residual stress can be measured by the sin ² ψ method using an X-ray stress measuring device.

圧縮残留応力の導入、応力を有さない層の形成は、全ての層を形成し被膜を完成後に、該被膜に対して行なうことができる。この場合、上記本発明の効果が低減することはない。また、後述のように、表面層と特定の層とするために、表面処理により積層の一部を除去した場合においても、硬質酸化物被膜層が存在する限り、本発明の効果は発揮されるものである。   The introduction of the compressive residual stress and the formation of the layer having no stress can be performed on the coating after all the layers have been formed and the coating has been completed. In this case, the effect of the present invention is not reduced. In addition, as described later, even when a part of the laminate is removed by surface treatment in order to obtain a surface layer and a specific layer, the effect of the present invention is exhibited as long as the hard oxide film layer exists. Is.

＜その他の層など＞
本発明における被膜は、上記のような硬質酸化物被膜層以外の他の層をさらに１以上含むことができる。そのような他の層の形成位置は特に限定されず、このような他の層を形成することにより、たとえば、密着力をさらに向上させ高度な耐摩耗性を付与するという本発明の効果がさらに向上したり、あるいは潤滑性を付与したり、被削材との凝着を抑制したりすることができるという効果を達成することもできる。 <Other layers>
The coating in the present invention may further contain one or more layers other than the hard oxide coating layer as described above. The formation position of such other layers is not particularly limited, and by forming such other layers, for example, the effect of the present invention of further improving adhesion and providing high wear resistance can be further achieved. It is also possible to achieve the effect that it can be improved, lubricity can be imparted, or adhesion with the work material can be suppressed.

このような他の層を形成する化合物としては、たとえばＡｌＮ、ＡｌＣＮ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＶＮ、ＺｒＮ等を挙げることができる。なお、このような他の層は、０．０１μｍ以上１０μｍ以下、好ましくは０．１μｍ以上５μｍ以下の厚みとすることが好ましい。   Examples of the compound that forms such another layer include AlN, AlCN, TiN, TiCN, VN, and ZrN. Note that such another layer has a thickness of 0.01 μm or more and 10 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 5 μm or less.

＜製造方法＞
本発明における被膜は、化学蒸着法（ＣＶＤ法）および物理蒸着法（ＰＶＤ法）のいずれによっても形成することができるが、基材との密着性や化学的安定性より、化学蒸着法により形成することが好ましい。 <Manufacturing method>
The coating in the present invention can be formed by either chemical vapor deposition (CVD) or physical vapor deposition (PVD), but by chemical vapor deposition because of its adhesion to the substrate and chemical stability. It is preferable to do.

また、上記ＡｌとＺｒの含有量がその層内で連続的に変化した組成構造を有する硬質酸化物被膜層は、たとえば、図１に示すようなＣＶＤ炉により製造することができる。図１は、ＣＶＤ炉１の断面を模式的に示す図である。ＣＶＤ炉１内には、基材２を保持した基材セット治具３が複数設置することができ、これらをステンレス鋼製の反応容器４でカバーしてヒータ５で加熱し、反応容器４内に原料ガスを流すことで被膜層形成を行なうことができる。反応容器４内の治具類等は、通常黒鉛により構成されている。また、原料ガス７，８は、排気口９より排気できる構成となっている。   Further, the hard oxide coating layer having a composition structure in which the contents of Al and Zr are continuously changed in the layer can be produced by, for example, a CVD furnace as shown in FIG. FIG. 1 is a diagram schematically showing a cross section of a CVD furnace 1. A plurality of base material setting jigs 3 holding the base material 2 can be installed in the CVD furnace 1. These are covered with a stainless steel reaction vessel 4 and heated with a heater 5. The coating layer can be formed by flowing a raw material gas. The jigs and the like in the reaction vessel 4 are usually made of graphite. The source gases 7 and 8 are configured to be exhausted from the exhaust port 9.

本発明においては、反応容器４内に導入する原料ガスを、短時間または連続的に変化させるため、反応容器内のガス均一化を図ることが望ましい。図２に、基材セット治具３とその上に保持された基材２を模式的に示す。基材セット治具３は、図２に示すように貫通孔が開いているため反応容器４内のガス分散の均一化を促進している。原料ガスは、たとえば図１に示すような複数の通機口を有する導入ノズル８から導入する場合、該導入ノズル８は回転させることが望ましい。また、反応容器４内のガス循環を促進するため、基材２は基材セット治具３に対して図２のように横置きにするのが望ましい。なお、図２においては、このような基材の設置方法の一例として、１２．７ｍｍ角、厚みが４．７６ｍｍであり、中央に穴が明いている ＪＩＳ規格Ｂ−４１２０（１９９８） ＣＮＭＡ１２０４０８形状の基材２を設置した場合を模式的に示し説明している。基材２の被覆層Ｘの品質や厚みのバラツキを低減させるために、図２に示すように、刃先位置が貫通孔上となるように基材を並べるのが望ましい。また、基材セット治具３と基材２の間にはスペーサー等（図示せず）を用いることで両者を密着させないことが、基材の上面と下面の被覆層Ｘとのバラツキを低減できるため望ましい。また、種々の試験結果より、反応容器４内へ原料ガスを導入する際、図１に示すようにＺｒＣｌ₄ガスの導入口７とそれ以外の原料ガスの導入口８を分離した場合には、本発明の硬質酸化物被膜層を形成する際、上記範囲内にＺｒ含有量を制御することが可能となる、すなわちＡｌに対して相対的にＺｒが少ない状況でより正確な被膜層中の組成制御が可能となるため望ましい。そして、導入口より導入されたＺｒＣｌ₄を拡散するためのＺｒＣｌ₄導入用治具６には、図３に示されるように同心円状に複数の孔が開いており、反応容器４内にガスが均一に導入される。 In the present invention, in order to change the raw material gas introduced into the reaction vessel 4 in a short time or continuously, it is desirable to make the gas in the reaction vessel uniform. FIG. 2 schematically shows the base material setting jig 3 and the base material 2 held thereon. As shown in FIG. 2, the base material setting jig 3 promotes the uniform gas dispersion in the reaction vessel 4 because the through holes are open. For example, when the raw material gas is introduced from an introduction nozzle 8 having a plurality of communication ports as shown in FIG. 1, the introduction nozzle 8 is preferably rotated. Further, in order to promote the gas circulation in the reaction vessel 4, it is desirable that the base material 2 is placed horizontally as shown in FIG. 2 with respect to the base material setting jig 3. In addition, in FIG. 2, as an example of the installation method of such a base material, it is 12.7 mm square, the thickness is 4.76 mm, and the center has a hole. JIS standard B-4120 (1998) CNMA120408 shape The case where the base material 2 is installed is schematically shown and described. In order to reduce variations in the quality and thickness of the coating layer X of the base material 2, it is desirable to arrange the base materials so that the cutting edge position is on the through hole as shown in FIG. 2. In addition, by using a spacer or the like (not shown) between the base material setting jig 3 and the base material 2, it is possible to reduce the variation between the coating layer X on the upper surface and the lower surface of the base material. Therefore it is desirable. Further, according to various test results, when the raw material gas was introduced into the reaction vessel 4, when the ZrCl ₄ gas inlet 7 and the other raw gas inlet 8 were separated as shown in FIG. When forming the hard oxide coating layer of the present invention, it becomes possible to control the Zr content within the above range, that is, a more accurate composition in the coating layer in a situation where Zr is relatively less than Al. This is desirable because it allows control. The ZrCl ₄ introduction jig 6 for diffusing ZrCl ₄ introduced from the introduction port has a plurality of concentric holes as shown in FIG. 3, and gas is introduced into the reaction vessel 4. It is introduced uniformly.

上記のようなＣＶＤ炉を用いて、たとえば反応容器内を７５０℃以上１１００℃以下の範囲内の所定の温度に加熱し、原料ガスを反応容器内に流すことで成膜することができる。用いる原料ガスは、ＴｉＣｌ₄、ＺｒＣｌ₄、ＺｒＣｌ₃、ＡｌＣｌ₃、Ｎ₂、Ｈ₂、ＣＨ₃ＣＮ、ＣＨ₄、ＣＯ、ＣＯ₂、ＢＣl₃、Ｈ₂Ｓ、Ａｒ等で、ＣＶＤ炉内の圧力は３ｋＰａ以上６０ｋＰａ以下の範囲内の所定の圧力とすることが好ましい。本発明における硬質酸化物被膜層においては、厚み方向に沿って被膜層構成する元素等の組成を精密に制御するため、導入ガス種、導入量と導入時間はコンピュターやシーケンサー等を用いて自動制御することが望ましい。 Using the above-described CVD furnace, for example, the inside of the reaction vessel is heated to a predetermined temperature within the range of 750 ° C. to 1100 ° C., and the film can be formed by flowing the source gas into the reaction vessel. The source gas used is TiCl ₄ , ZrCl ₄ , ZrCl ₃ , AlCl ₃ , N ₂ , H ₂ , CH ₃ CN, CH ₄ , CO, CO ₂ , BCl ₃ , H ₂ S, Ar, etc. The pressure is preferably a predetermined pressure within a range of 3 kPa to 60 kPa. In the hard oxide coating layer according to the present invention, in order to precisely control the composition of elements constituting the coating layer along the thickness direction, the introduced gas type, the amount and the introduction time are automatically controlled using a computer, sequencer, etc. It is desirable to do.

以上のようにして、ＡｌおよびＺｒの含有量が規定された本発明の硬質酸化物被膜層を形成することができる。   As described above, the hard oxide coating layer of the present invention in which the contents of Al and Zr are defined can be formed.

以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下の各被膜を構成する各層の化学組成（化合物の組成）はＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）により確認し、各層の厚みは被膜の断面をＳＥＭまたは金属顕微鏡を用いて観察し、確認した。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these. In addition, the chemical composition (composition of the compound) of each layer constituting each coating film was confirmed by an X-ray microanalyzer (EPMA), and the thickness of each layer was confirmed by observing a cross section of the coating film using an SEM or a metal microscope. .

本実施例において基材上に形成される被膜は、以下のようにＣＶＤ法、ＭＴ（Moderate Temperature）−ＣＶＤ法、またはＨＴ（High Temperature）−ＣＶＤ法により形成した。なお、本実施例ではＺｒＣｌ₄ガスの発生容器の温度を５００度とした。 The film formed on the substrate in this example was formed by the CVD method, MT (Moderate Temperature) -CVD method, or HT (High Temperature) -CVD method as follows. In this example, the temperature of the ZrCl ₄ gas generation container was set to 500 degrees.

（実施例１〜１１：構造）
５．０質量％ＴｉＣ、２．０質量％ＴｉＣＮ、０．８質量％ＴａＣ、０．６質量％ＮｂＣ、０．３質量％ＺｒＣ、０．２質量％Ｃｒ₃Ｃ₂、７．８質量％Ｃｏと残部がＷＣの組成比で配合した原料粉末をボールミルで４８時間湿式混合した後、乾燥させ、その後１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２Ｐａの真空中において、１４５０℃で１時間保持した。その後、圧粉体を取り出し、座面を平研した後、刃先処理（ＳｉＣブラシですくい面から見て０．６ｍｍのホーニング）を行ない、ＪＩＳ規格、Ｂ−４１２０（１９９８）に規定されているＣＮＭＡ１２０４０８形状のＷＣ超硬合金製切削チップ基材を準備した。この基材の表面には１５μｍの脱β層が形成されていることを、厚み方向に切断した面をダイヤモンドペーストを用いてラッピングして、金属顕微鏡で観測し、確認した。 (Examples 1 to 11: structure)
5.0 mass% TiC, 2.0 mass% TiCN, 0.8 mass% TaC, 0.6 mass% NbC, 0.3 mass% ZrC, 0.2 mass% Cr ₃ C ₂ , 7.8 mass% The raw material powder blended with the composition ratio of Co and the balance of WC was wet mixed in a ball mill for 48 hours, dried, and then pressed into a green compact at a pressure of 100 MPa, and this green compact was vacuumed at 2 Pa. It was held at 1450 ° C. for 1 hour. Thereafter, the green compact is taken out, and the seating surface is flattened, and then blade edge processing (0.6 mm honing as viewed from the rake face with a SiC brush) is performed, and is defined in JIS standard, B-4120 (1998). A cutting tip substrate made of WC cemented carbide having a CNMA120408 shape was prepared. It was confirmed by observing with a metal microscope that the surface cut in the thickness direction was lapped with a diamond paste and a 15 μm de-β layer was formed on the surface of the substrate.

次に、上記作製した基材の表面に公知の化学蒸着法を用いて、表１に示した被膜組成に従い、被膜を形成した。   Next, according to the coating composition shown in Table 1, a coating film was formed on the surface of the substrate thus prepared using a known chemical vapor deposition method.

被膜の組成は、表１の「被膜層構造」の欄の左側に記載された層を最下層として順に上に積層させるよう形成した。また、表１の「被膜層構造」の欄の括弧内の記載は、各層の厚み（μｍ）を示し、硬質酸化物被膜層Ａ１〜Ａ３は下記表２に示す組成構造のものである。   The composition of the coating was formed such that the layer described on the left side of the column “Coating Layer Structure” in Table 1 was laminated on top in order as the lowest layer. Moreover, the description in parentheses in the column of “Coating layer structure” in Table 1 indicates the thickness (μm) of each layer, and the hard oxide coating layers A1 to A3 have the composition structure shown in Table 2 below.

なお、ＥＰＭＡの測定結果から、表１の実施例４におけるα−Ａｌ₂Ｏ₃（２．５）中には、０．２３原子％のＺｒ元素が含まれていることを確認した。また、上記実施例の各被膜に対して、公知のＸＲＤ（X-ray diffraction）測定を行ない、硬質酸化物被膜層におけるＺｒＯ₂の存否を確認した。具体的には、α−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−Ａｌ₂Ｏ₃に関するそれぞれ８つのピークと、ＺｒＯ₂に関する単斜晶と正方晶との６つのピークとの回折強度を比較して、いずれの場合もα−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−に関する８つのピークの回折強度の最小値よりも、ＺｒＯ₂に関する６つのピークの回折強度の全てが小さかった。その結果、実施例１〜１１の硬質酸化物被膜層にはＺｒＯ₂が含まれないことがわかった。 From the measurement results of EPMA, it was confirmed that 0.23 atomic% of Zr element was contained in α-Al ₂ O ₃ (2.5) in Example 4 of Table 1. Moreover, for each film of Examples performs known XRD (X-ray diffraction) measurement confirmed ZrO ₂ of presence in the hard oxide coating layer. Specifically, the diffraction intensities of each of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-Al ₂ O ₃ and the six peaks of monoclinic crystal and tetragonal crystal related to ZrO ₂ were compared. In all cases, the diffraction intensity of all the six peaks related to ZrO ₂ was smaller than the minimum value of the diffraction intensity of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-. As a result, it was found that the hard oxide coating layer of Example 1 to 11 does not contain ZrO _2.

表２において、Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、所定間隔におけるＺｒ極大含有点を示し、Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、所定間隔におけるＡｌ極大含有点を示す。また、ｄ_Zr-Alは、隣接するＺｒ極大含有点とＡｌ極大含有点との間隔を示す。なお、この極大含有点に関する表記は、以下の表において同様とする。 In Table 2, Zr / (Al + Zr) indicates a Zr maximum content point at a predetermined interval, and Al / (Al + Zr) indicates an Al maximum content point at a predetermined interval. D _Zr-Al represents the distance between the adjacent Zr maximum content point and the Al maximum content point. In addition, the description regarding this maximum content point is the same in the following tables.

表２の硬質酸化物被膜層Ａ１〜Ａ３は、表３に示す成膜条件「Ａ−Ｚｒ」で５分間保持した後、成膜条件「Ａ−Ａｌ」で５分間保持する各条件を交互に繰り返して形成した。Ａ１は、各条件を１５回ずつ交互に繰り返し、Ａ２は４０回ずつ交互に繰り返し、Ａ３は１３０回ずつ交互に繰り返して、所定の膜厚を有する硬質酸化物被膜層を形成させた。   The hard oxide coating layers A1 to A3 in Table 2 were held for 5 minutes under the film formation conditions “A-Zr” shown in Table 3, and then alternately held for 5 minutes under the film formation conditions “A-Al”. It was formed repeatedly. In A1, each condition was alternately repeated 15 times, A2 was alternately repeated 40 times, and A3 was alternately repeated 130 times to form a hard oxide film layer having a predetermined film thickness.

（切削評価）
上記のようにして製造された実施例１〜１１の表面被覆切削工具について、以下の切削条件により連続旋削試験を実施することにより、逃げ面摩耗量とクレーター摩耗量とを測定した。逃げ面摩耗量が小さいもの程耐摩耗性に優れていることを示し、クレーター摩耗量が小さいもの程クレーター摩耗が低減されていることを示す。その結果を以下の表４に示す。 (Cutting evaluation)
About the surface covering cutting tool of Examples 1-11 manufactured as mentioned above, the flank wear amount and the crater wear amount were measured by implementing a continuous turning test on the following cutting conditions. The smaller the flank wear amount, the better the wear resistance, and the smaller the crater wear amount, the lower the crater wear. The results are shown in Table 4 below.

（鋼の耐摩耗性試験：切削条件）
被削材：ＳＣＭ４３５丸棒
切削速度：３２０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．３４ｍｍ／ｒｅｖ．
切込み：２．０ｍｍ
切削油：無し
切削時間：８分
（鋳鉄の耐摩耗性試験：切削条件）
被削材：ＦＣＤ４５０丸棒
切削速度：３５０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．３２ｍｍ／ｒｅｖ．
切込み：２．０ｍｍ
切削油：無し
切削時間：６分
（靭性試験：切削条件）
下記切削条件で切削により２０コーナーを切削して破損率を算出し、得られた表面被覆切削工具の靭性を評価した。 (Abrasion resistance test of steel: cutting conditions)
Work material: SCM435 round bar Cutting speed: 320m / min
Feed: 0.34 mm / rev.
Cutting depth: 2.0mm
Cutting oil: None Cutting time: 8 minutes (Abrasion resistance test of cast iron: cutting conditions)
Work material: FCD450 round bar Cutting speed: 350m / min
Feed: 0.32 mm / rev.
Cutting depth: 2.0mm
Cutting oil: None Cutting time: 6 minutes (Toughness test: Cutting conditions)
The 20 corners were cut by cutting under the following cutting conditions, the damage rate was calculated, and the toughness of the obtained surface-coated cutting tool was evaluated.

被削材：Ｓ５５Ｃ溝入り丸棒
切削速度：１１０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．４５ｍｍ／ｒｅｖ．
切込み：２．０ｍｍ
切削油：無し
切削時間：１分 Work Material: S55C Grooved Round Bar Cutting Speed: 110m / min
Feed: 0.45 mm / rev.
Cutting depth: 2.0mm
Cutting oil: None Cutting time: 1 minute

（実施例１２〜２１、比較例１〜３：組成）
被膜の構成を表５とし、各硬質酸化物被膜層Ｘを表６に示すものを用いた以外は実施例１と同様にして、表面被覆切削工具を得た。 (Examples 12-21, Comparative Examples 1-3: Composition)
A surface-coated cutting tool was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating composition was set to Table 5 and each hard oxide coating layer X shown in Table 6 was used.

被膜の組成は、表５の「被膜層構造」の欄の左側に記載された層を最下層として順に上に積層させるよう形成した。また、表５の「被膜層構造」の欄の括弧内の記載は、各層の厚み（μｍ）を示す。なお、表６に記載の各被膜に対して、公知のＸＲＤ（X-ray diffraction）測定を行ない、硬質酸化物被膜層におけるＺｒＯ₂の存否を確認した。具体的には、α−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−Ａｌ₂Ｏ₃に関するそれぞれ８つのピークと、ＺｒＯ₂に関する単斜晶と正方晶との６つのピークとの回折強度を比較して、いずれの場合もα−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−に関する８つのピークの回折強度の最小値よりも、ＺｒＯ₂に関する６つのピークの回折強度の全てが小さかった。その結果、硬質酸化物被膜層Ｂ〜ＮにはＺｒＯ₂が含まれないことがわかった。 The composition of the coating was formed such that the layer described on the left side of the column “Coating Layer Structure” in Table 5 was laminated on top in order as the lowest layer. Moreover, the description in parentheses in the column of “Coating layer structure” in Table 5 indicates the thickness (μm) of each layer. Incidentally, with respect to each film shown in Table 6 performs known XRD (X-ray diffraction) measurement confirmed ZrO ₂ of presence in the hard oxide coating layer. Specifically, the diffraction intensities of each of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-Al ₂ O ₃ and the six peaks of monoclinic crystal and tetragonal crystal related to ZrO ₂ were compared. In all cases, the diffraction intensity of all the six peaks related to ZrO ₂ was smaller than the minimum value of the diffraction intensity of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-. As a result, it was found that the hard oxide coating layers B to N do not contain ZrO ₂ .

実施例１２〜２１、比較例１〜３で得られた表面被覆切削工具について、上記切削評価を行なった。その結果を表６に示す。   The above-mentioned cutting evaluation was performed on the surface-coated cutting tools obtained in Examples 12 to 21 and Comparative Examples 1 to 3. The results are shown in Table 6.

表６の硬質酸化物被膜層Ｂ〜Ｄは、表７に示す成膜条件「Ｘ−Ｚｒ」で５．５分間保持した後、成膜条件「Ｘ−Ａｌ」で５．５分間保持する各条件を交互に９回繰り返して、所定の膜厚を有する被膜を形成させた。また、硬質酸化物被膜層Ｅ〜Ｎは、表７に示す成膜条件「Ｘ−Ｚｒ」で３．７５分間保持した後、「Ｘ−Ａｌ」で３．７５分間保持する各条件を交互に９回繰り返して、所定の膜厚を有する被膜を形成させた。なお、上記成膜条件におけるＸは、各硬質酸化物被膜層におけるＸと同一とする。   The hard oxide coating layers B to D shown in Table 6 were held for 5.5 minutes under the film formation conditions “X-Zr” shown in Table 7, and then held for 5.5 minutes under the film formation conditions “X-Al”. The conditions were alternately repeated nine times to form a film having a predetermined film thickness. In addition, the hard oxide coating layers E to N were alternately held under the conditions of holding the film formation condition “X-Zr” shown in Table 7 for 3.75 minutes and then holding the film with “X-Al” for 3.75 minutes. The coating having a predetermined film thickness was formed by repeating 9 times. Note that X in the film formation conditions is the same as X in each hard oxide coating layer.

（実施例２２〜３０、比較例４〜５：周期）
被膜の構成を表８とし、各硬質酸化物被膜層Ｘを表９に示すものを用いた以外は実施例１と同様にして、表面被覆切削工具を得た。 (Examples 22-30, Comparative Examples 4-5: Period)
A surface-coated cutting tool was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating composition was set as Table 8, and each hard oxide coating layer X was used as shown in Table 9.

被膜の組成は、表８の「被膜層構造」の欄の左側に記載された層を最下層として順に上に積層させるよう形成した。また、表８の「被膜層構造」の欄の括弧内の記載は、各層の厚み（μｍ）を示す。なお、表９に記載の各被膜に対して、公知のＸＲＤ（X-ray diffraction）測定を行ない、硬質酸化物被膜層におけるＺｒＯ₂の存否を確認した。具体的には、α−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−Ａｌ₂Ｏ₃に関するそれぞれ８つのピークと、ＺｒＯ₂に関する単斜晶と正方晶との６つのピークとの回折強度を比較して、いずれの場合もα−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−に関する８つのピークの回折強度の最小値よりも、ＺｒＯ₂に関する６つのピークの回折強度の全てが小さかった。その結果、硬質酸化物被膜層Ｏ〜Ｔ６にはＺｒＯ₂が含まれないことがわかった。 The composition of the coating was formed so that the layer described on the left side of the column of “Coating Layer Structure” in Table 8 was laminated on top in order as the lowest layer. Moreover, the description in parentheses in the column of “Coating layer structure” in Table 8 indicates the thickness (μm) of each layer. Incidentally, with respect to each film shown in Table 9, subjected to known XRD (X-ray diffraction) measurement confirmed ZrO ₂ of presence in the hard oxide coating layer. Specifically, the diffraction intensities of each of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-Al ₂ O ₃ and the six peaks of monoclinic crystal and tetragonal crystal related to ZrO ₂ were compared. In all cases, the diffraction intensity of all the six peaks related to ZrO ₂ was smaller than the minimum value of the diffraction intensity of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-. As a result, it was found that the hard oxide coating layers O to T6 do not contain ZrO ₂ .

表９において、各硬質酸化物被膜層Ｏ〜Ｓは下記の条件で形成させた。
硬質酸化物被膜層Ｏ：成膜条件「Ｃ−Ｚｒ」で１４．５秒間保持した後、成膜条件「Ｃ−Ａｌ」で１４．５秒間保持する工程を５００回繰り返す。
硬質酸化物被膜層Ｐ：成膜条件「Ｃ−Ｚｒ」で１９秒間保持した後、成膜条件「Ｃ−Ａｌ」で１９秒間保持する工程を３５０回繰り返す。
硬質酸化物被膜層Ｑ：成膜条件「Ｃ−Ｚｒ」で７５秒間保持した後、成膜条件「Ｃ−Ａｌ」で７５秒間保持する工程を９０回繰り返す。
硬質酸化物被膜層Ｒ：成膜条件「Ｃ−Ｚｒ」で２４分間保持した後、成膜条件「Ｃ−Ａｌ」で２４分間保持する工程を５回繰り返す。
硬質酸化物被膜層Ｓ：成膜条件「Ｃ−Ｚｒ」で５７．５分間保持した後、成膜条件「Ｃ−Ａｌ」で５７．５分間保持する工程を２回繰り返す。 In Table 9, each hard oxide film layer OS was formed on the following conditions.
Hard oxide coating layer O: The process of holding for 14.5 seconds under the film formation condition “C-Zr” and then holding for 14.5 seconds under the film formation condition “C-Al” is repeated 500 times.
Hard oxide coating layer P: The process of holding for 19 seconds under the film formation condition “C-Zr” and then holding for 19 seconds under the film formation condition “C-Al” is repeated 350 times.
Hard oxide coating layer Q: The process of holding for 75 seconds under the film formation condition “C-Zr” and then holding for 75 seconds under the film formation condition “C-Al” is repeated 90 times.
Hard oxide coating layer R: The process of holding for 24 minutes under the deposition condition “C-Zr” and then holding for 24 minutes under the deposition condition “C-Al” is repeated five times.
Hard oxide coating layer S: The process of holding for 57.5 minutes under the film formation condition “C-Zr” and then holding for 57.5 minutes under the film formation condition “C-Al” is repeated twice.

また、硬質酸化物被膜層Ｔ１〜Ｔ６は下記の条件で形成させた。なお、実施例２９の硬質酸化物被膜層Ｔ５におけるＺｒとＡｌの極大含有点間の距離ｄ_Zr-Al「０．１２−０．２５」とは、下記成膜条件によって、０．１２μｍと０．２５μｍの間の値であることを示す。また、実施例３０の硬質酸化物被膜層Ｔ６におけるＺｒとＡｌの極大含有点の比率は、下記成膜条件によって、Ｚｒについては０．０５３と０．０１３の間の値、Ａｌについては、０．９９６と０．９９０の間の値としたことを示す。 Further, the hard oxide coating layers T1 to T6 were formed under the following conditions. The distance d _Zr-Al “0.12-0.25” between the maximum contained points of Zr and Al in the hard oxide coating layer T5 of Example 29 is 0.12 μm and 0 depending on the following film forming conditions. The value is between 25 μm. Further, the ratio of the maximum content point of Zr and Al in the hard oxide coating layer T6 of Example 30 is a value between 0.053 and 0.013 for Zr and 0 for Al according to the following film formation conditions. Indicates a value between .996 and 0.990.

硬質酸化物被膜層Ｔ１：成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で４分間保持した後、成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」から成膜条件「Ｅ−Ａｌ」へ３３０秒かけて連続的にガス混合比率を変化させ、その後３３０秒かけて連続的にガス混合比率を成膜条件「Ｅ−Ａｌ」から成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」に変化させることを８回繰り返し、最後に成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で４分間保持する。なお、Ｔ１におけるガス混合比率を変化させる工程は、たとえばＺｒＣｌ₄ガスであれば、表７に示す０．９０体積％から０．０１体積％まで３３０秒かけて、すなわち０．０９１体積％／分の速度で混合ガス比率を変化させた後、０．０１体積％から０．９０体積％まで０．０９１体積％／分の速度で混合ガス比率を変化させることを９回繰り返した。他の原料ガスについても同様とする。 Hard oxide coating layer T1: after holding for 4 minutes under film formation condition “E-Zr”, continuously gas mixing ratio from film formation condition “E-Zr” to film formation condition “E-Al” over 330 seconds And changing the gas mixture ratio continuously from the film formation condition “E-Al” to the film formation condition “E-Zr” over 330 seconds is repeated eight times, and finally the film formation condition “E- Hold at "Zr" for 4 minutes. The step of changing the gas mixing ratio at T1 is, for example, ZrCl ₄ gas, from 0.90 vol% to 0.01 vol% shown in Table 7 over 330 seconds, that is, 0.091 vol% / min. After changing the mixed gas ratio at a speed of 9.5, changing the mixed gas ratio from 0.01 volume% to 0.90 volume% at a speed of 0.091 volume% / min was repeated nine times. The same applies to other source gases.

硬質酸化物被膜層Ｔ２：成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で３３０秒間保持した後、３３０秒間水素ガスのみを流し（水素ガス体積分率１００％）し、その後成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で３３０秒間保持した後、３３０秒間水素ガスのみを流し（水素ガス体積分率１００％）と変化させることを８回繰り返す。Ｚｒ極大含有点とＡｌ極大含有点との間隔について、Ａｌおよび／またはＺｒの濃度分析値がほぼ一定（具体的には分析値の±１％以内）の帯域がある場合は、中心点をその帯域の極大含有点とみなした。   Hard oxide film layer T2: After holding for 330 seconds under the film formation condition “E-Zr”, only hydrogen gas was allowed to flow for 330 seconds (hydrogen gas volume fraction 100%), and then under the film formation condition “E-Al” After holding for 330 seconds, only hydrogen gas is allowed to flow for 330 seconds (hydrogen gas volume fraction 100%), and the change is repeated 8 times. If there is a zone where the concentration analysis value of Al and / or Zr is almost constant (specifically, within ± 1% of the analysis value) between the Zr maximum content point and the Al maximum content point, It was regarded as the maximum content point of the band.

硬質酸化物被膜層Ｔ３：成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で４分間保持する。その後、成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」から成膜条件「Ｅ−Ａｌ」へ２９０秒かけて連続的にガス混合比率を変化させ、その後成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で２９０秒間保持し、再び５分間かけて連続的にガス混合比率を成膜条件「Ｅ−Ａｌ」から成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」に変化させ、その後成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で２９０秒間保持する工程を８回繰り返した。次いで、成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で２３０秒間保持し、硬質酸化物被膜層を形成した。Ｚｒ極大含有点とＡｌ極大含有点との間隔については、Ａｌおよび／またはＺｒの濃度分析値がほぼ一定（具体的には分析値の±１％以内）の帯域がある場合は、中心点をその帯域の極大含有点とみなした。なお、連続的なガス比率の変化はＴ１と同様にガス供給時間に比例して変化させる方法とした。   Hard oxide coating layer T3: Hold for 4 minutes under film-forming conditions “E-Zr”. Thereafter, the gas mixing ratio is continuously changed over 290 seconds from the film formation condition “E-Zr” to the film formation condition “E-Al”, and then the film formation condition “E-Al” is maintained for 290 seconds, and again. The process of continuously changing the gas mixture ratio from the film formation condition “E-Al” to the film formation condition “E-Zr” over 5 minutes and then holding the film formation condition “E-Zr” for 290 seconds 8 times Repeated. Subsequently, the hard oxide film layer was formed by maintaining the film formation condition “E-Zr” for 230 seconds. Regarding the interval between the Zr maximum content point and the Al maximum content point, if there is a band in which the concentration analysis value of Al and / or Zr is almost constant (specifically, within ± 1% of the analysis value), the center point is determined. It was regarded as the maximum content point of the band. The continuous gas ratio was changed in proportion to the gas supply time in the same manner as T1.

硬質酸化物被膜層Ｔ４：成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で５分間保持した後に、成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で２９０秒間保持する工程を４回繰り返した。その後、成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で３３０秒間保持した後、成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で３３０秒間保持する工程を６回繰り返した。次いで、成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で５分間保持した後、成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で５分間保持する工程を４回繰り返した。   Hard oxide coating layer T4: The process of holding for 5 minutes under the film formation condition “E-Zr” and then holding for 290 seconds under the film formation condition “E-Al” was repeated four times. Thereafter, the process of holding for 330 seconds under the film forming condition “E-Zr” and then holding for 330 seconds under the film forming condition “E-Al” was repeated six times. Next, the process of holding the film formation condition “E-Zr” for 5 minutes and then holding the film formation condition “E-Al” for 5 minutes was repeated four times.

硬質酸化物被膜層Ｔ５：成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で３３０秒間保持した後、成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で３３０秒間保持する工程を２回繰り返した。その後、成膜条件「Ｋ−Ｚｒ」で３３０秒間保持した後、成膜条件「Ｋ−Ａｌ」で３３０秒間保持する工程を４回繰り返した。次いで、成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で３３０秒間保持した後、成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で３３０秒間保持する工程を２回繰り返した。   Hard oxide coating layer T5: The process of holding for 330 seconds under the film formation condition “E-Zr” and then holding for 330 seconds under the film formation condition “E-Al” was repeated twice. Thereafter, the process of holding for 330 seconds under the film-forming condition “K-Zr” and then holding for 330 seconds under the film-forming condition “K-Al” was repeated four times. Next, the process of holding for 330 seconds under the film formation condition “E-Zr” and then holding for 330 seconds under the film formation condition “E-Al” were repeated twice.

硬質酸化物被膜層Ｔ６：成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で２９０秒間保持した後、「Ｅ−Ａｌ」で２９０秒間保持する工程を４回繰り返した。その後、成膜条件「Ｋ−Ｚｒ」で３３０秒間保持した後、成膜条件「Ｋ−Ａｌ」で３３０秒間保持する工程を６回繰り返した。次いで、成膜条件「Ｅ−Ｚｒ」で２９０秒間保持した後、成膜条件「Ｅ−Ａｌ」で２９０秒間保持する工程を４回繰り返した。   Hard oxide coating layer T6: The process of holding for 290 seconds under the deposition condition “E-Zr” and then holding for 290 seconds under “E-Al” was repeated four times. Thereafter, the process of holding for 330 seconds under the film forming condition “K-Zr” and then holding for 330 seconds under the film forming condition “K-Al” was repeated six times. Next, the process of holding the film formation condition “E-Zr” for 290 seconds and then holding the film formation condition “E-Al” for 290 seconds was repeated four times.

実施例２２〜３０、比較例４〜５で得られた表面被覆切削工具について、上記切削評価を行なった。その結果を表９に示す。   The above-mentioned cutting evaluation was performed on the surface-coated cutting tools obtained in Examples 22 to 30 and Comparative Examples 4 to 5. The results are shown in Table 9.

（実施例３１〜３５：厚み）
被膜の構成を表１０とし、各硬質酸化物被膜層Ｘを表１１に示すものを用いた以外は実施例１と同様にして、表面被覆切削工具を得た。 (Examples 31-35: thickness)
A surface-coated cutting tool was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating composition was set as Table 10 and each hard oxide coating layer X shown in Table 11 was used.

被膜の組成は、表１０の「被膜層構造」の欄の左側に記載された層を最下層として順に上に積層させるよう形成した。また、表１０の「被膜層構造」の欄の括弧内の記載は、各層の厚み（μｍ）を示す。なお、表１１に記載の各被膜に対して、公知のＸＲＤ（X-ray diffraction）測定を行ない、硬質酸化物被膜層におけるＺｒＯ₂の存否を確認した。具体的には、α−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−Ａｌ₂Ｏ₃に関するそれぞれ８つのピークと、ＺｒＯ₂に関する単斜晶と正方晶との６つのピークとの回折強度を比較して、いずれの場合もα−Ａｌ₂Ｏ₃またはκ−に関する８つのピークの回折強度の最小値よりも、ＺｒＯ₂に関する６つのピークの回折強度の全てが小さかった。その結果、硬質酸化物被膜層Ｕ１〜Ｕ５にはＺｒＯ₂が含まれないことがわかった。 The composition of the coating was formed such that the layer described on the left side of the column “Coating Layer Structure” in Table 10 was laminated on top in order. Further, the description in parentheses in the column of “Coating layer structure” in Table 10 indicates the thickness (μm) of each layer. Note that for each coating according to Table 11, performs a known XRD (X-ray diffraction) measurement confirmed ZrO ₂ of presence in the hard oxide coating layer. Specifically, the diffraction intensities of each of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-Al ₂ O ₃ and the six peaks of monoclinic crystal and tetragonal crystal related to ZrO ₂ were compared. In all cases, the diffraction intensity of all the six peaks related to ZrO ₂ was smaller than the minimum value of the diffraction intensity of the eight peaks related to α-Al ₂ O ₃ or κ-. As a result, the hard oxide coating layer U1~U5 was found not contain ZrO _2.

表１１において、各硬質酸化物被膜層は下記の条件で形成させた。
硬質酸化物被膜層Ｕ１：成膜条件「Ａ−Ｚｒ」で２９０秒間保持した後、成膜条件「Ａ−Ａｌ」で２９０秒間保持する工程を５回繰り返した。
硬質酸化物被膜層Ｕ２：成膜条件「Ａ−Ｚｒ」で２９０秒間保持した後、成膜条件「Ａ−Ａｌ」で２９０秒間保持する工程を７回繰り返した。
硬質酸化物被膜層Ｕ３：成膜条件「Ａ−Ｚｒ」で３３０秒間保持した後、成膜条件「Ａ−Ａｌ」で３３０秒間保持する工程を１５回繰り返す。
硬質酸化物被膜層Ｕ４：成膜条件「Ａ−Ｚｒ」で１２．７５分間保持した後、成膜条件「Ａ−Ａｌ」で１２．７５分間保持する工程を１８回繰り返す。
硬質酸化物被膜層Ｕ５：成膜条件「Ｃ−Ｚｒ」で２７秒間保持した後、成膜条件「Ｃ−Ａｌ」で２７秒間保持する工程を２回繰り返した。 In Table 11, each hard oxide coating layer was formed under the following conditions.
Hard oxide film layer U1: The process of holding for 290 seconds under the film formation condition “A-Zr” and then holding for 290 seconds under the film formation condition “A-Al” was repeated five times.
Hard oxide coating layer U2: The process of holding for 290 seconds under the film formation condition “A-Zr” and then holding for 290 seconds under the film formation condition “A-Al” was repeated seven times.
Hard oxide coating layer U3: The process of holding for 330 seconds under the deposition condition “A-Zr” and then holding for 330 seconds under the deposition condition “A-Al” is repeated 15 times.
Hard oxide coating layer U4: The process of holding for 12.75 minutes under film formation condition “A-Zr” and then holding for 12.75 minutes under film formation condition “A-Al” is repeated 18 times.
Hard oxide coating layer U5: The process of holding for 27 seconds under the film formation condition “C-Zr” and then holding for 27 seconds under the film formation condition “C-Al” were repeated twice.

実施例３１〜３５で得られた表面被覆切削工具について、上記切削評価を行なった。その結果を表１１に示す。   The above-described cutting evaluation was performed on the surface-coated cutting tools obtained in Examples 31 to 35. The results are shown in Table 11.

（実施例３６〜４５：ＴｉＢＮ層、ＴｉＢＮＯ層の組成）
被膜の構成を表１２とし、上記硬質酸化物被膜層Ｂ、Ａ１を用いた以外は実施例１と同様にして、表面被覆切削工具を得た。 (Examples 36 to 45: composition of TiBN layer and TiBNO layer)
Surface coating cutting tools were obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating composition was set to Table 12 and the hard oxide coating layers B and A1 were used.

被膜の組成は、表１２の「被膜層構造」の欄の左側に記載された層を最下層として順に上に積層させるよう形成した。また、表１２の「被膜層構造」の欄の括弧内の記載は、各層の厚み（μｍ）を示す。   The composition of the coating was formed such that the layers listed on the left side of the column “Coating Layer Structure” in Table 12 were laminated on top in order as the lowest layer. Further, the description in parentheses in the column of “Coating layer structure” in Table 12 indicates the thickness (μm) of each layer.

実施例３６〜４５で得られた表面被覆切削工具について、上記切削評価を行なった。その結果を表１２に示す。   The above-mentioned cutting evaluation was performed on the surface-coated cutting tools obtained in Examples 36 to 45. The results are shown in Table 12.

（比較例６〜１１）
被膜の構成を表１３とした以外は実施例１と同様にして、表面被覆切削工具を得た。 (Comparative Examples 6-11)
A surface-coated cutting tool was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating composition was changed to Table 13.

被膜の組成は、表１３の「被膜層構造」の欄の左側に記載された層を最下層として順に上に積層させるよう形成した。また、表１３の「被膜層構造」の欄の括弧内の記載は、各層の厚み（μｍ）を示す。比較例６〜１１で得られた表面被覆切削工具について、上記切削評価を行なった。その結果を表１４に示す。   The composition of the coating was formed such that the layer described on the left side of the column “Coating Layer Structure” in Table 13 was laminated on top in order as the lowest layer. Moreover, the description in parentheses in the column of “Coating layer structure” in Table 13 indicates the thickness (μm) of each layer. The above-mentioned cutting evaluation was performed on the surface-coated cutting tools obtained in Comparative Examples 6 to 11. The results are shown in Table 14.

（内層露出１）
実施例２、６、１２および比較例７、９、１０で得られた表面被覆切削工具について、それぞれ表１５または表１６に示すように、＃３２０ＳｉＣブラシ、振動バレル機または＃３２０弾性砥石を用いて刃先稜線部の被覆層除去処理を行ない、表１５または表１６に記載した各部位の構成を有するチップを準備した。 (Inner layer exposure 1)
For the surface-coated cutting tools obtained in Examples 2, 6, and 12 and Comparative Examples 7, 9, and 10, as shown in Table 15 or Table 16, respectively, a # 320 SiC brush, a vibration barrel machine, or a # 320 elastic grindstone was used. Then, a coating layer removing process was performed on the edge of the blade edge, and a chip having the structure of each part described in Table 15 or Table 16 was prepared.

表１５および表１６において、たとえば表面層部位１１の欄の「０．０２ｍｍＨＴ−ＴｉＣＮ除去」とは、表面層部位１１が、刃先稜線部１２との境界線部分（図４（ａ）中、破線部）から表面層部位１０方向に、最大０．０２ｍｍの幅で除去されたことを示す。なお、この「最大０．０２ｍｍ」とは、種々の断面における表面層部位１１の表面状態を観測したなかで除去された幅の最も広い値をいい、実際に種々の断面において除去された表面層部位１１の幅は０−０．０２ｍｍの範囲である。同様に、表面層部位１３の欄の「０．０３ｍｍＴｉＮ除去」とは、表面層部位１３が、刃先稜線部１２との境界線部分（図４（ａ）中、破線部）から表面層部位１４方向に、最大０．０３ｍｍの幅で除去されたことを示す。また、たとえば表面層部１２の欄の「ＴｉＣＮが１０％露出」とは、切削工具の切れ刃部におけるノーズＲの二等分線を中心とした刃先稜線部表面に沿った単位長さ（０．２ｍｍ）に占めるＴｉＣＮの露出面積が１０％以上であることを示す。なお、この露出は、電子顕微鏡の反射電子像や、光学顕微鏡や、ビデオマイクロスコープなどを用いて観測することにより決定できる。表１５および表１６に示す実施例からは、本発明のように厚み方向に組成が変化する構造を有する硬質酸化物被膜層を備えた表面被覆切削工具は、刃先稜線部における酸化物層が除去された場合、耐微小チッピング性の改善効果が大きく、その結果、耐摩耗性および靭性が改善されていることが判る。   In Table 15 and Table 16, for example, “0.02 mmHT-TiCN removal” in the column of the surface layer portion 11 means that the surface layer portion 11 is a boundary line portion with the cutting edge ridge line portion 12 (broken line in FIG. 4A). Part) in the direction of the surface layer region 10, indicating that it has been removed with a maximum width of 0.02 mm. The “maximum 0.02 mm” means the widest value of the width removed while observing the surface state of the surface layer portion 11 in various cross sections, and the surface layer actually removed in various cross sections. The width of the part 11 is in the range of 0-0.02 mm. Similarly, “0.03 mm TiN removal” in the column of the surface layer portion 13 means that the surface layer portion 13 extends from the boundary line portion (broken line portion in FIG. 4A) to the cutting edge ridge line portion 12. In the direction, it indicates that it has been removed with a maximum width of 0.03 mm. Further, for example, “TiCN is exposed to 10%” in the column of the surface layer portion 12 means that the unit length (0) along the edge line portion of the cutting edge of the cutting tool centered on the bisector of the nose R .2 mm), the exposed area of TiCN is 10% or more. This exposure can be determined by observing using a reflection electron image of an electron microscope, an optical microscope, a video microscope, or the like. From the examples shown in Table 15 and Table 16, the surface-coated cutting tool provided with the hard oxide coating layer having a structure whose composition changes in the thickness direction as in the present invention removes the oxide layer at the edge portion of the cutting edge. In this case, it can be seen that the effect of improving the microchipping resistance is great, and as a result, the wear resistance and toughness are improved.

表１５および表１６において、たとえば実施例２と実施例２ウと、比較例７と比較例７アとの破損率のデータを比べると、比較例７アでは、ＴｉＣＮを露出させても破損率はほとんど向上しないが、実施例２においてＴｉＣＮを露出させた実施例２ウの場合は、破損率が飛躍的に向上することがわかった。また、実施例２と比較例９、比較例１０とをそれぞれ比較した場合も、同様に実施例２においてＴｉＣＮを露出させた場合の破損率の向上効果が示される。この理由は明確ではないが、被膜として本発明の硬質酸化物被膜層を含む場合は、各層同士の継ぎ目における破壊が起こりにくくなるためではないかと推察される。   In Table 15 and Table 16, for example, the damage rate data of Example 2 and Example 2 c, and Comparative Example 7 and Comparative Example 7a are compared. In Comparative Example 7a, even if TiCN is exposed, the failure rate However, in the case of Example 2 where TiCN was exposed in Example 2, it was found that the breakage rate was drastically improved. Moreover, also when Example 2 is compared with Comparative Example 9 and Comparative Example 10, respectively, the improvement effect of the damage rate when TiCN is exposed in Example 2 is also shown. The reason for this is not clear, but when the hard oxide coating layer of the present invention is included as a coating, it is presumed that it is difficult to cause breakage at the joint between the layers.

（内層露出２）
実施例２、６、１２および比較例７、９、１０で得られた表面被覆切削工具について、砥粒５０μｍのアルミナ、吐出圧０．１ＭＰａ湿式ブラスト処理を行ない、被膜を表１７に記載したように内層を露出させて、圧縮残留応力等を導入した。圧縮残留応力は、Ｘ線応力測定装置を用いたｓｉｎ²ψ法により測定した。 (Inner layer exposure 2)
The surface-coated cutting tools obtained in Examples 2, 6, and 12 and Comparative Examples 7, 9, and 10 were subjected to a wet blasting treatment with alumina with abrasive grains of 50 μm and a discharge pressure of 0.1 MPa. The inner layer was exposed to, and compressive residual stress was introduced. The compressive residual stress was measured by the sin ² ψ method using an X-ray stress measurement apparatus.

表１７中の表面層部位１１〜１３は、図４（ａ）に示すノーズＲ二等分線の断面図の各部位に対応する。また、これらの処理を行なった切削工具について、実施例１と同様の切削試験を行なった。結果を表１７に示す。なお、図４（ａ）の刃先稜線部１２に対応する実際の切削工具の稜線部は、内接円が１２．７ｍｍ、ノーズＲが０．８ｍｍである。また、切削試験開始後１分で、各切削工具の切れ刃と被削材の加工面の光沢を目視により確認したところ、表１７中の２に比べて、２ａおよび２ｂは切れ刃の溶着が少なく、被削材の加工面の光沢が優れていた。また、表１７中の６に比べて、６ａおよび６ｂの評価がよく、表１７中の１２に比べて、１２ａ〜１２ｆの切れ刃と被削材の加工面の光沢が優れていた。   The surface layer portions 11 to 13 in Table 17 correspond to the respective portions in the cross-sectional view of the nose R bisector shown in FIG. Moreover, the cutting test similar to Example 1 was done about the cutting tool which performed these processes. The results are shown in Table 17. In addition, the ridgeline part of the actual cutting tool corresponding to the cutting edge ridgeline part 12 in FIG. 4A has an inscribed circle of 12.7 mm and a nose R of 0.8 mm. Further, when the gloss of the cutting edge of each cutting tool and the processed surface of the work material was visually confirmed within 1 minute after the start of the cutting test, 2a and 2b show that the cutting edge is welded compared to 2 in Table 17. The gloss of the work surface of the work material was excellent. Also, the evaluation of 6a and 6b was better than 6 in Table 17, and the cutting edges of 12a to 12f and the processing surface of the work material were excellent in comparison with 12 in Table 17.

（内層露出３）
上記表１５または表１６の実施例２ア〜２エ、実施例６ア〜６エ、実施例１２ア〜１２サで得られた表面被覆切削工具について、上記（内層露出２）の方法を用いてブラスト処理を行ない、−０．１〜−０．２ＭＰａの圧縮応力を導入したところ、それぞれに試験の耐摩耗性の改善即ち逃げ面摩耗量は０．００１〜０．００２ｍｍ減少したのに対し、靭性の改善即ち破損率はいずれも５〜１５％低下した。 (Inner layer exposure 3)
For the surface-coated cutting tools obtained in Examples 2A to 2E, Examples 6A to 6E, and Examples 12A to 12A in Table 15 or Table 16, the method described above (inner layer exposure 2) was used. When blasting was performed and a compressive stress of -0.1 to -0.2 MPa was introduced, the improvement in wear resistance of the test, that is, the flank wear amount decreased by 0.001 to 0.002 mm. The toughness improvement, that is, the breakage rate, was reduced by 5-15%.

（実施例４６〜４９、比較例１２〜１５：基材）
基材として、表１８に示す各配合組成のものを用いた以外は、実施例１と同様の手順により表面被覆切削工具を製造した。基材および被膜層の組み合わせを表１９に示す。なお、被膜層としては、表１および表６に示す実施例と、表１３に示す比較例とのものを適用した。 (Examples 46 to 49, Comparative Examples 12 to 15: base materials)
A surface-coated cutting tool was produced by the same procedure as in Example 1 except that the materials having the respective composition shown in Table 18 were used as the substrate. Table 19 shows the combinations of the base material and the coating layer. In addition, as a coating layer, the thing of the Example shown in Table 1 and Table 6 and the comparative example shown in Table 13 was applied.

得られた表面被覆切削工具について、下記条件で切削評価を行なった。結果を表１９に示す。   The obtained surface-coated cutting tool was subjected to cutting evaluation under the following conditions. The results are shown in Table 19.

（鋼および鋳鉄の耐摩耗性試験：切削条件）
被削材：ＳＣＭ４１５丸棒
切削速度：３７０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．３５ｍｍ／ｒｅｖ．
切込み：２．０ｍｍ
切削油：無し
切削時間：７分
（靭性試験：切削条件）
下記切削条件で切削により２０コーナーを切削して破損率を算出し、得られた表面被覆切削工具の靭性を評価した。 (Abrasion resistance test of steel and cast iron: cutting conditions)
Work material: SCM415 round bar Cutting speed: 370 m / min
Feed: 0.35 mm / rev.
Cutting depth: 2.0mm
Cutting oil: None Cutting time: 7 minutes (Toughness test: Cutting conditions)
The 20 corners were cut by cutting under the following cutting conditions, the damage rate was calculated, and the toughness of the obtained surface-coated cutting tool was evaluated.

被削材：ＳＣＭ４３５溝入り丸棒
切削速度：９５ｍ／ｍｉｎ
送り：０．４６ｍｍ／ｒｅｖ．
切込み：２．０ｍｍ
切削油：無し
切削時間：１分 Work material: SCM435 grooved round bar Cutting speed: 95m / min
Feed: 0.46 mm / rev.
Cutting depth: 2.0mm
Cutting oil: None Cutting time: 1 minute

（実施例５０〜５３、比較例１６〜１９）
基材として、表２０に示す各配合組成のものを用いた以外は、実施例１と同様の手順により表面被覆切削工具を製造した。基材および被膜層の組み合わせを表２１に示す。なお、被膜層としては、表１または表６に示す実施例および表１３に示す比較例のものを適用した。また、得られた表面被覆切削工具について、下記条件で切削評価を行なった。結果を表２１に示す。 (Examples 50 to 53, Comparative Examples 16 to 19)
A surface-coated cutting tool was produced by the same procedure as in Example 1 except that the materials having the respective composition shown in Table 20 were used as the substrate. Table 21 shows combinations of base materials and coating layers. In addition, as a coating layer, the thing of the Example shown in Table 1 or Table 6 and the comparative example shown in Table 13 was applied. Moreover, about the obtained surface coating cutting tool, cutting evaluation was performed on the following conditions. The results are shown in Table 21.

（鋼および鋳鉄の耐摩耗性試験：切削条件）
被削材：Ｓ３５Ｃ丸棒
切削速度：２６０ｍ／ｍｉｎ
送り：０．３３ｍｍ／ｒｅｖ．
切込み：２．０ｍｍ
切削油：無し
切削時間：６分
（靭性試験：切削条件）
下記切削条件で切削により２０コーナーを切削して破損率を算出し、得られた表面被覆切削工具の靭性を評価した。 (Abrasion resistance test of steel and cast iron: cutting conditions)
Work material: S35C round bar Cutting speed: 260m / min
Feed: 0.33 mm / rev.
Cutting depth: 2.0mm
Cutting oil: None Cutting time: 6 minutes (Toughness test: Cutting conditions)
The 20 corners were cut by cutting under the following cutting conditions, the damage rate was calculated, and the toughness of the obtained surface-coated cutting tool was evaluated.

被削材：ＳＣＭ４３５溝入り丸棒
切削速度：１０５ｍ／ｍｉｎ
送り：０．４５ｍｍ／ｒｅｖ．
切込み：２．０ｍｍ
切削油：無し
切削時間：１分 Work material: SCM435 grooved round bar Cutting speed: 105m / min
Feed: 0.45 mm / rev.
Cutting depth: 2.0mm
Cutting oil: None Cutting time: 1 minute

なお、各実施例および比較例における硬質酸化物被膜層以外の層は、下記表２２の成膜条件にしたがい、所望の厚みの被膜を形成したところで、混合ガスの供給を停止した。表２２中、Ｈ₂ガスの「残」とは、体積１００％のうちの残部であることを示す。また、ＴｉＮ（最下層）とは、被膜の最下層をＴｉＮ層とする場合の形成条件を示し、被膜の最下層以外に位置するＴｉＮ層を形成する場合は、「ＴｉＮ」に記載した条件で被膜を形成した。表２０中の、α−Ａｌ₂Ｏ₃（＊）は、実施例４のα−Ａｌ₂Ｏ₃場合の形成条件を示す。 The layers other than the hard oxide coating layer in each of the examples and the comparative examples were stopped in accordance with the film forming conditions shown in Table 22 below when the coating of the desired thickness was formed. In Table 22, “residue” of H ₂ gas indicates the remaining part of 100% volume. Moreover, TiN (lowermost layer) indicates the formation conditions when the lowermost layer of the coating is a TiN layer, and when forming a TiN layer other than the lowermost layer of the coating, the conditions described in “TiN” are used. A film was formed. In Table 20, α-Al ₂ O ₃ (*) indicates the formation conditions in the case of α-Al ₂ O _{3 in} Example 4.

上記実施例より明らかなように、本発明の実施例の表面被覆切削工具は、高速条件下での切削における耐摩耗性の向上およびクレーター摩耗の低減化の両者において優れた結果を示していることは明らかである。したがって、本発明の表面被覆切削工具は優れた切削性能を有したものである。   As is clear from the above examples, the surface-coated cutting tools of the examples of the present invention show excellent results both in improving wear resistance and reducing crater wear in cutting under high speed conditions. Is clear. Therefore, the surface-coated cutting tool of the present invention has excellent cutting performance.

以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。   Although the embodiments and examples of the present invention have been described as described above, it is also planned from the beginning to appropriately combine the configurations of the above-described embodiments and examples.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

ＣＶＤ炉の断面を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the cross section of a CVD furnace. 基材および基材セット治具を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a base material and a base material setting jig. ＺｒＣｌ₄導入用治具を示す模式図である。It is a schematic diagram showing a ZrCl ₄ introducing jig. （ａ）切削工具のノーズＲの二等分線の断面を示す模式図であり、（ｂ）内層が露出した状態の切削工具のノーズＲの二等分線の断面を示す模式図である。(A) It is a schematic diagram which shows the cross section of the bisector of the nose R of a cutting tool, (b) It is a schematic diagram which shows the cross section of the bisector of the nose R of the cutting tool in the state where the inner layer was exposed.

符号の説明Explanation of symbols

１ ＣＶＤ反応炉、２ 基材、３ 基材セット治具、４ 反応容器、５ ヒータ、６ ＺｒＣｌ₄導入用治具、７，８ 原料ガス、９ 排気口、１０，１１，１３，１４ 表面層部位、１２ 刃先稜線部。 1 CVD reactor, 2 base material, 3 base material setting jig, 4 reaction vessel, 5 heater, 6 ZrCl ₄ introduction jig, 7, 8 source gas, 9 exhaust port, 10, 11, 13, 14 surface layer Part, 12 edge of ridgeline.

Claims (18)

基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、
前記被膜は、１層または２層以上の層からなり、
前記被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、
前記硬質酸化物被膜層は、ＡｌとＺｒの含有量が前記硬質酸化物被膜層の厚み方向にそって変化する組成構造を有し、前記変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、前記Ａｌ極大含有点と前記Ｚｒ極大含有点とが繰り返し存在し、
前記Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９≦Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、
前記Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２であり、
前記硬質酸化物被膜層は、酸化ジルコニウムを含有しない表面被覆切削工具。 A surface-coated cutting tool comprising a substrate and a coating formed on the substrate,
The coating consists of one or more layers,
At least one layer of the coating is a hard oxide coating layer containing at least Al and Zr,
The hard oxide coating layer has a composition structure in which the contents of Al and Zr change along the thickness direction of the hard oxide coating layer, and the change includes an Al maximum that maximizes the Al content. A point and a Zr maximum content point where the Zr content is a maximum, the Al maximum content point and the Zr maximum content point are repeatedly present,
The Al content ratio Al / (Al + Zr) at the Al maximum content point is 0.99 ≦ Al / (Al + Zr) ≦ 0.9999 in atomic ratio,
The Zr content ratio Zr / (Al + Zr) at the Zr maximum content point is 0.001 ≦ Zr / (Al + Zr) ≦ 0.2 in atomic ratio,
The hard oxide coating layer is a surface-coated cutting tool that does not contain zirconium oxide. 前記硬質酸化物被膜層は、その厚みが０．０５μｍ以上２０μｍ以下である請求項１に記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to claim 1, wherein the hard oxide coating layer has a thickness of 0.05 μm or more and 20 μm or less. 隣接する前記Ａｌ極大含有点と前記Ｚｒ極大含有点とが交互に繰り返し存在し、その間隔は０．００５μｍ以上１μｍ以下である請求項１または２に記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to claim 1 or 2, wherein the adjacent Al maximum content point and the Zr maximum content point are present alternately and repeatedly, and the interval is 0.005 µm or more and 1 µm or less. 前記被膜は、周期律表ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択される少なくとも１種の元素、または、周期律表ＩＶａ族、Ｖａ族およびＶＩａ族の元素、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択される少なくとも１種の元素と前記硼素、炭素、窒素および酸素からなる群より選択される少なくとも１種とからなる化合物、からなる被覆層Ｘを含む請求項１〜３のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The coating is at least one element selected from the group consisting of Group IVa elements, Group Va elements, Group VIa elements, Al and Si, or Group IVa, Group Va and Group VIa elements in the Periodic Table 2. A coating layer X comprising at least one element selected from the group consisting of Al and Si and a compound consisting of at least one element selected from the group consisting of boron, carbon, nitrogen and oxygen. The surface covering cutting tool in any one of -3. 前記被膜は、Ａｌ酸化物層をさらに含み、
前記Ａｌ酸化物層は、前記硬質酸化物被膜層の直下に形成される請求項１〜４のいずれかに記載の表面被覆切削工具。 The coating further includes an Al oxide layer,
The surface-coated cutting tool according to claim 1, wherein the Al oxide layer is formed immediately below the hard oxide film layer. 前記被膜は、ＴｉＢ_xＮ_y（ｘ、ｙは原子％を表し、０．００１＜ｘ／（ｘ＋ｙ）＜０．２を満たす）からなるＴｉＢＮ層をさらに含み、
前記ＴｉＢＮ層は、前記Ａｌ酸化物層の直下に形成される請求項５に記載の表面被覆切削工具。 The _{coating, TiB x N y (x,} y represents an atomic%, 0.001 <x / (x + y) satisfy <0.2) further includes a TiBN layer composed of,
The surface-coated cutting tool according to claim 5, wherein the TiBN layer is formed immediately below the Al oxide layer. 前記被膜は、ＴｉＢ_aＮ_bＯ_c（ａ、ｂおよびｃは原子％を表し、０．０００５＜ａ／（ａ＋ｂ＋ｃ）＜０．２、かつ０＜ｃ／（ａ＋ｂ＋ｃ）＜０．５を満たす）からなるＴｉＢＮＯ層をさらに含み、
前記ＴｉＢＮＯ層は、前記Ａｌ酸化物層の直下に形成される請求項５に記載の表面被覆切削工具。 The coating has TiB _a N _b O _c (a, b and c represent atomic%, and satisfies 0.0005 <a / (a + b + c) <0.2 and 0 <c / (a + b + c) <0.5. A TiBNO layer comprising
The surface-coated cutting tool according to claim 5, wherein the TiBNO layer is formed immediately below the Al oxide layer. 前記Ａｌ酸化物は、α‐アルミナである請求項５〜７のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to claim 5, wherein the Al oxide is α-alumina. 前記硬質酸化物被膜層の厚みｄ₁と前記Ａｌ酸化物層の厚みｄ₂とは、ｄ₁／（ｄ₁＋ｄ₂）＞０．０５を満たす請求項５〜８のいずれかに記載の表面被覆切削工具。 Wherein the thickness d ₂ of the thickness d ₁ of the hard oxide coating layer and the Al oxide layer, the surface of any of claims 5-8 satisfying _{d 1 / (d 1 + d} 2)> 0.05 Coated cutting tool. 前記硬質酸化物被膜層と前記Ａｌ酸化物層とは、その合計厚みが０．５μｍ以上２０μｍ以下である請求項５〜９のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to any one of claims 5 to 9, wherein the hard oxide coating layer and the Al oxide layer have a total thickness of 0.5 µm to 20 µm. 前記表面被覆切削工具は、刃先稜線部を有し、
前記稜線部において、前記硬質酸化物被膜層、前記Ａｌ酸化物層および前記被覆層Ｘの少なくともいずれかが露出し、
前記稜線部以外の部分は、前記硬質酸化物被膜層からなる請求項３〜１０のいずれかに記載の表面被覆切削工具。 The surface-coated cutting tool has a cutting edge ridge line portion,
In the ridge line portion, at least one of the hard oxide coating layer, the Al oxide layer and the coating layer X is exposed,
The surface-coated cutting tool according to any one of claims 3 to 10, wherein the portion other than the ridge line portion is composed of the hard oxide coating layer. 前記被膜は、この被膜を形成する少なくとも１以上の層が圧縮残留応力を有するか、または応力を有さない層である請求項１〜１１のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to any one of claims 1 to 11, wherein the coating is a layer in which at least one layer forming the coating has a compressive residual stress or no stress. 前記圧縮残留応力を有するかまたは応力を有さない層は、前記硬質酸化物被膜層および前記Ａｌ酸化物層の少なくともいずれかである請求項１２に記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to claim 12, wherein the layer having the compressive residual stress or not having the stress is at least one of the hard oxide coating layer and the Al oxide layer. 前記被膜は、化学蒸着法により形成される請求項１〜１３のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to claim 1, wherein the coating is formed by a chemical vapor deposition method. 前記被覆層Ｘは、１層以上形成され、少なくとも１層は、ＭＴ−ＣＶＤ法により形成されたＴｉＣＮを含有する層である請求項４〜１４のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to any one of claims 4 to 14, wherein the coating layer X is formed of one or more layers, and at least one layer is a layer containing TiCN formed by an MT-CVD method. 前記被膜は、その最下層にチタン化合物を含有する層が形成される請求項１〜１５のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to claim 1, wherein a layer containing a titanium compound is formed in the lowermost layer of the coating. 前記被膜は、その厚みが１μｍ以上２５μｍ以下である請求項１〜１６のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to claim 1, wherein the coating has a thickness of 1 μm or more and 25 μm or less. 前記基材は、超硬合金、サーメット、酸化アルミニウム系セラミックス、窒化珪素系セラミックスの少なくともいずれかである請求項１〜１７のいずれかに記載の表面被覆切削工具。   The surface-coated cutting tool according to any one of claims 1 to 17, wherein the base material is at least one of cemented carbide, cermet, aluminum oxide ceramics, and silicon nitride ceramics.

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