JP2010036196A - レーザスクライブ方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スクライブ方向に並ぶ複数のビームスポットBS1,BS2を、互いに分離された状態でワークWに対して形成するとともに、複数のビームスポットBS1、BS2をスクライブ方向に移動させてワークWにライン状のスクライブ溝SLを形成するレーザスクライブ方法に関する。複数のビームスポットBS1,BS2は、単一束のレーザ光LBから得られるものである。
【選択図】図2
Description
2 レーザ光源
4 複屈折素子(水晶素子)
8 集光レンズ
9 ステージ(光走査手段)
LB (単一束の)レーザ光
LB1,LB2 (複数束の)レーザ光
BS1,BS2 ビームスポット
SL スクライブ溝
W ワーク
Claims (18)
- スクライブ方向に並ぶ複数のビームスポットを、互いに分離された状態でワークに対して形成するとともに、前記複数のビームスポットを前記スクライブ方向に移動させて前記ワークにライン状のスクライブ溝を形成するレーザスクライブ方法であって、
前記複数のビームスポットは、単一束のレーザ光から得られるものであることを特徴とする、レーザスクライブ方法。 - 前記複数のビームスポットは、前記単一束のレーザ光を複数束のレーザ光に分離するとともに、前記複数束のレーザ光のそれぞれを集束して得られる、請求項1に記載のレーザスクライブ方法。
- 前記単一束のレーザ光は、複屈折素子よって前記複数束のレーザ光に分離される、請求項2に記載のレーザスクライブ方法。
- 前記複屈折素子は、ウエッジ付の水晶板である、請求項3に記載のレーザスクライブ方法。
- 前記複屈折素子は、複像プリズムである、請求項3に記載のレーザスクライブ方法。
- 前記単一束のレーザ光は、前記複屈折素子によって互いに偏光方向が直交する常光成分と異常光成分に分離される、請求項4または5に記載のレーザスクライブ方法。
- 前記単一束のレーザ光の分離方向は、前記複数のレーザスポットの移動方向に分離される、請求項3ないし6のいずれかに記載のレーザスクライブ方法。
- 前記複数のレーザスポットの分離方向は、前記複屈折素子を回転させることにより選択される、請求項7に記載のレーザスクライブ方法。
- ワークに対してライン状のスクライブ溝を形成するための装置であって、
単一束のレーザ光を出射するためのレーザ光源と、
前記単一束のレーザ光をスクライブ方向に沿って複数束のレーザ光に分離するための分離手段と、
前記複数束のレーザ光のそれぞれを集光するための集光手段と、
前記複数束のレーザ光とワークを相対移動させる光走査手段と、
を備えたことを特徴とする、レーザスクライブ装置。 - 前記分離手段は、複屈折素子である、請求項9に記載のレーザスクライブ装置。
- 前記複屈折素子は、ウエッジ付の水晶板である、請求項10に記載のレーザスクライブ装置。
- 前記複屈折素子は、複像プリズムである、請求項10に記載のレーザスクライブ装置。
- 前記分離手段を光軸周りに回転させる機構をさらに備えている、請求項9ないし12のいずれかに記載のレーザスクライブ装置。
- 前記レーザ光源は、直線偏光のレーザ光を出射可能なものであり、
前記レーザ光に対して偏光方向を光軸に対して回転させるための1/2波長板をさらに備えている、請求項9ないし13のいずれかに記載のレーザスクライブ装置。 - 前記複数束のレーザ光のそれぞれを、直線偏光から円偏光に変えるための1/4波長板をさらに備えている、請求項14に記載のレーザスクライブ装置。
- 前記1/4波長板を光軸周りの回転させる機構をさらに備えている、請求項15に記載のレーザスクライブ装置。
- 前記レーザ光源は、円偏光またはランダム偏光のレーザ光を出射可能なものである、請求項9ないし13のいずれかに記載のレーザスクライブ装置。
- 前記集光手段は、前記複数束のレーザ光のそれぞれにおけるビームスポットが前記ワークにおいて互いに分離された状態で形成されるように選定された焦点距離を持つ、請求項9ないし17のいずれかに記載のレーザスクライブ装置。
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