JP2010034319A - 波面収差の測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】干渉縞の画像データを処理して光学系の波面収差を算出する際に必要な処理中心位置を正確に決定し、波面収差を高い精度で算出する。
【解決手段】光学系の第1方向及び第2方向に沿って延びた互いに平行なスリットおよび窓を含む第1マーク及び第2マークと前記光学系とによって形成される第1干渉縞及び第2干渉縞の画像データを処理して、波面収差を算出するための第1処理中心位置及び第2処置中心位置を決定する第1決定工程及び第2決定工程と、前記第1マークと前記第2マークとの位置関係に基づいて、前記第1処理中心位置および前記第2処理中心位置をそれぞれ補正し、補正された第1処理中心位置および第2処理中心位置を得る補正工程と、干渉縞の画像データを前記補正された第1処理中心位置及び第2処理中心位置を使って処理し、前記光学系の波面収差を算出する波面収差算出工程とを含む。
【選択図】図13
【解決手段】光学系の第1方向及び第2方向に沿って延びた互いに平行なスリットおよび窓を含む第1マーク及び第2マークと前記光学系とによって形成される第1干渉縞及び第2干渉縞の画像データを処理して、波面収差を算出するための第1処理中心位置及び第2処置中心位置を決定する第1決定工程及び第2決定工程と、前記第1マークと前記第2マークとの位置関係に基づいて、前記第1処理中心位置および前記第2処理中心位置をそれぞれ補正し、補正された第1処理中心位置および第2処理中心位置を得る補正工程と、干渉縞の画像データを前記補正された第1処理中心位置及び第2処理中心位置を使って処理し、前記光学系の波面収差を算出する波面収差算出工程とを含む。
【選択図】図13
Description
本発明は、光学系の波面収差を測定する測定方法に関する。
半導体デバイス、表示デバイス、磁気デバイス等のデバイスをフォトリソグラフィ工程で製造する際に、原版のパターンを基板に転写する露光装置が従来から使用されている。露光装置では、原版のパターンを所定の倍率で正確に基板に被露光体に転写することが要求されるため、収差が抑えられた結像性能のよい投影光学系を使用することが重要である。特に、近年、製造するべきデバイスの一層の微細化要求に伴って、転写されるパターンが投影光学系の収差に対して敏感になってきている。このため、高精度に投影光学系の光学性能(例えば、波面収差)を測定する必要がある。また、生産性や経済性を高める観点からは、測定の簡素化、迅速化、コスト削減なども重要である。
従来から、原版のパターンをレジストが塗布された基板に投影して該レジストを露光し現像し、形成されるレジストパターンを走査型電子顕微鏡(SEM)などの装置によって観察する方法がある。この方法には、露光、現像などの処理に長時間を要し、レジスト塗布や現像において生じる誤差のために再現性が悪いという問題がある。
そこで、このような問題を解決するために、理想球面波を形成するためのピンホールを有する点回折干渉計(Point Diffraction Interferometer:PDI)が知られている。また、やシアリング干渉を利用するシアリング干渉計(Shearing Interferometer)も知られている。最近では、理想円柱波又は理想楕円波を形成するためのスリットを有する線回折干渉計(Line Diffraction Interferometer:LDI)を利用した測定装置が提案されている。
特開2000−146705号広報
特開2000−097666号広報
LDI方式の波面収差測定装置では、被検光学系の後方に配置されたプレートの上に、理想波面を形成するためのスリットと被検光学系の収差情報を有する波面を透過させる窓からなる測定マークが配置される。該プレートの直下には、2次元受光素子が配置される。被検光学系の波面収差の測定は、該測定マークによって形成される2つの波面の干渉を該2次元受光素子によって撮像し、撮像した干渉縞の画像データを処理することを含む。
従来の波面収差の測定、特にLDI方式による波面収差の測定では、干渉縞の画像データを処理するための処理中心位置をX方向およびY方向に関してともに正確に決定することが難しかった。
本発明は、例えば、干渉縞の画像データを処理して光学系の波面収差を算出する際に必要な処理中心位置を正確に決定し、波面収差を高い精度で算出することを目的とする。
本発明は、光学系の波面収差を測定する測定方法に係り、前記測定方法は、複数の球面収差量をそれぞれ有する複数の状態に前記光学系を順に設定し、前記複数の状態のそれぞれについて、第1方向に沿って延びた互いに平行なスリットおよび窓を含む第1マークと前記光学系とによって形成される第1干渉縞の画像データを処理して、前記第1マークを使って前記光学系の波面収差を算出するための第1処理中心位置を決定する第1決定工程と、前記複数の状態のそれぞれについて、第2方向に沿って延びた互いに平行なスリットおよび窓を含む第2マークと前記光学系とによって形成される第2干渉縞の画像データを処理して、前記第2マークを使って前記光学系の波面収差を算出するための第2処理中心位置を決定する第2決定工程と、前記第1マークと前記第2マークとの位置関係に基づいて、前記第1方向における前記第1処理中心位置および前記第2方向における前記第2処理中心位置をそれぞれ補正し、補正された第1処理中心位置および補正された第2処理中心位置を得る補正工程と、前記第1マークおよび前記光学系によって形成される干渉縞の画像データを前記補正された第1処理中心位置を使って処理し、前記第2マークおよび前記光学系によって形成される干渉縞の画像データを前記補正された第2処理中心位置を使って処理し、前記光学系の波面収差を算出する波面収差算出工程とを含む。
本発明によれば、例えば、干渉縞の画像データを処理して光学系の波面収差を算出する際に必要な処理中心位置を正確に決定し、波面収差を高い精度で算出することができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
[第1実施形態]
以下、本発明の第1実施形態として、PDI方式の測定装置を備えた露光装置について説明する。図1は、本発明の好適な実施形態の露光装置10の概略ブロック図である。なお、この明細書では、投影光学系31の像面に平行な面における互いに直交する2つの方向をX方向およびY方向として定義している。
露光装置10は、例えば、ステップ・アンド・スキャン方式又はステップ・アンド・リピート方式で原版(レチクル又はマスクとも呼ばれる)21のパターンを基板(ウエハ)41に投影し基板41を露光する。露光装置10は、サブミクロンやクオーターミクロン以下の線幅を有するパターンを形成するリソグラフィ工程に好適である。
ここで、ステップ・アンド・スキャン方式とは、投影光学系に対して原版および基板を走査しながら原版のパターンを基板に転写する方式である。ステップ・アンド・リピート方式とは、原版および基板を静止させた状態で原版のパターンを基板に転写する方式である。
以下、本発明の第1実施形態として、PDI方式の測定装置を備えた露光装置について説明する。図1は、本発明の好適な実施形態の露光装置10の概略ブロック図である。なお、この明細書では、投影光学系31の像面に平行な面における互いに直交する2つの方向をX方向およびY方向として定義している。
露光装置10は、例えば、ステップ・アンド・スキャン方式又はステップ・アンド・リピート方式で原版(レチクル又はマスクとも呼ばれる)21のパターンを基板(ウエハ)41に投影し基板41を露光する。露光装置10は、サブミクロンやクオーターミクロン以下の線幅を有するパターンを形成するリソグラフィ工程に好適である。
ここで、ステップ・アンド・スキャン方式とは、投影光学系に対して原版および基板を走査しながら原版のパターンを基板に転写する方式である。ステップ・アンド・リピート方式とは、原版および基板を静止させた状態で原版のパターンを基板に転写する方式である。
露光装置10は、測定装置50と、照明装置11と、原版ステージ22、投影光学系31と、基板ステージ42等を備えている。
照明装置11は、光源部12と、引き回し光学系13と、照明光学系14とを含む。光源部12は、例えば、波長約193nmのArFエキシマレーザー、波長約248nmのKrFエキシマレーザーなどを使用することができる。但し、レーザーの種類はエキシマレーザーに限定されず、レーザーの個数も限定されない。また、光源部12がレーザーを使用する場合、レーザーからの平行光束を所望の光束形状に整形する光束整形光学系、コヒーレントなレーザー光束をインコヒーレント化するインコヒーレント化光学系を使用することが好ましい。また、光源部12において使用可能な光源は、レーザーに限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプなどのランプも使用可能である。
照明装置11は、原版21を照明する光学系であり、レンズ、ミラー、オプティカルインテグレーター、σ絞り等を含む。引き回し光学系13は、光源部12からの光束を照明光学系14とアライメントスコープ15に導光する。照明光学系14は、原版21を照明する光学系であり、例えば、コンデンサーレンズ、ハエの目レンズ、開口絞り、コンデンサーレンズ、スリット、結像光学系がこの順で配置された構成を有する。
アライメントスコープ15は、通常の露光時は、光路外に配置されている。アライメントスコープ15は、原版21に形成されたアライメントマークと基板41に形成されたアライメントマークとを投影光学系31を介して位置合わせすることによって原版21と基板41とを位置合わせする。
原版21は、例えば、石英製で、転写されるべきパターンが形成されている。原版21は、原版ステージ(レチクルステージ)22によって保持される。原版ステージ22は、不図示の駆動機構によって駆動される。原版21から発せられた回折光は、投影光学系31によって基板41に投影される。原版21と基板41とは、光学的に共役の関係にある。
露光装置10がスキャナーとして構成されている場合には、原版21と基板41とが投影光学系31の倍率に応じた速度比で走査されることによって原版21のパターンが基板41に転写される。露光装置10がステッパーとして構成されている場合には、原版21と基板41とが静止した状態で原版21のパターンが基板41に転写される。
投影光学系31は、複数のレンズ素子からなる屈折光学系で構成されうる。或いは、投影光学系31は、複数のレンズ素子とミラーを有する光学系(カタディオプトリック光学系)で構成されうる。或いは、投影光学系31は、複数のレンズ素子と少なくとも一枚のキノフォームなどの回折光学素子とを有する光学系で構成されうる。或いは、投影光学系31は、全ミラー型の光学系で構成されうる。色収差の補正が必要な場合には、互いに分散値(アッベ値)の異なるガラス材からなる複数のレンズ素子を利用したり、回折光学素子をレンズ素子と逆方向の分散が生じるように構成したりすることができる。投影光学系31の光学性能(例えば、波面収差)は、測定装置50によって測定される。
基板41には、その表面にレジストが塗布されている。基板41は、不図示のチャックを介して基板ステージ42によって保持される。基板ステージ42は、基板41のほか、測定装置50の構成要素50bを保持する。基板ステージ42は、ステージ制御部43によって制御される不図示の駆動機構によって駆動され、これによって、XY方向に基板41および測定装置50の構成要素50bが移動する。基板ステージ42および原版ステージ22は、その位置がアライメントスコープ15を使ってキャリブレーションされた後、原版ステージ制御部24および基板ステージ制御部43による制御の下で、一定の速度比率で駆動されうる。
測定装置50は、原版ステージ22に搭載された構成要素50aと、基板ステージ42に搭載された構成要素50bとを有する。照明光学系14は、基板41の露光時に原版21を照明するほか、測定装置50による測定時にも使用されうる。構成要素50aは、第1マスク60を含む。構成要素50bは、第2マスク70、撮像センサ53、ケーブル54、測定制御部55を含みうる。この実施形態では、測定装置50は、被検光学系としての投影光学系31を通して形成される干渉縞を検出することによって投影光学系31の光学性能を測定する干渉計を含む。この実施形態では、干渉計としてPDI方式の干渉計が使用されうる。
第1マスク60は、例えば、石英又は蛍石などの透明基板の1つの面にクロム等の遮光部材を形成することによって構成されうる。照明光学系14からの光束は、原版ステージ22に配置された第1マスク60に集光する。この光束は、投影光学系31の原版側、即ち、物体側の開口数NAoと同じσ=1で第1マスク60を照明する。
図2は、第1マスク60の構成を例示する平面図である。第1マスク60は、ピンホール61aと窓61bとのペアを含む。ピンホール61aの径Δrは、投影光学系31の原版側、即ち、物体側の開口数をNAiとすると、(1)式に従う値を有する。
Δr<0.5×λ/NAi ・・・(1)
ピンホール61aの径を(1)式に従うように決定することで、ピンホール61aからの回折光をNAiの範囲で等位相の波面を有するものとみなすことができる。一方、窓61bの幅Δr'は、λ/NAi以下の大きさである。幅Δr'を(1)式と同程度としてもよいが、窓61bを通過した光は、後述するように、基板側で(1)式を満たす幅のピンホールを通過するために原版側で等位相とする必要はないので、光量の観点から広めに設計されうる。
ピンホール61aの径を(1)式に従うように決定することで、ピンホール61aからの回折光をNAiの範囲で等位相の波面を有するものとみなすことができる。一方、窓61bの幅Δr'は、λ/NAi以下の大きさである。幅Δr'を(1)式と同程度としてもよいが、窓61bを通過した光は、後述するように、基板側で(1)式を満たす幅のピンホールを通過するために原版側で等位相とする必要はないので、光量の観点から広めに設計されうる。
図3は、第2マスク70の構成を例示する平面図である。第2マスク70は、図3に示すように、ピンホール71aと窓71bとのペアを含む。ピンホール71aの径Δwは、投影光学系31の基板側、即ち、像面側の開口数をNAiとして、(2)式に従う値を有する。
Δw<0.5×λ/NAi ・・・(2)
ピンホールの径を(2)式に従うように決定することで、ピンホール71aから回折する光をNAiの範囲で等位相の波面を有するものとみなすことができる。窓71bの幅Δw'は、測定するべき投影光学系31の空間周波数に基づいて決定されうる。具体的には、窓71bの幅Δw'は、高周波まで測定したい場合には広く、低周波でもよい場合には狭くされる。投影光学系31の瞳の空間周波数をfとすると、Δw'は(3)式で与えられる。ここで、瞳の半径で一周期となる波面収差の周波数fを1とする。
ピンホールの径を(2)式に従うように決定することで、ピンホール71aから回折する光をNAiの範囲で等位相の波面を有するものとみなすことができる。窓71bの幅Δw'は、測定するべき投影光学系31の空間周波数に基づいて決定されうる。具体的には、窓71bの幅Δw'は、高周波まで測定したい場合には広く、低周波でもよい場合には狭くされる。投影光学系31の瞳の空間周波数をfとすると、Δw'は(3)式で与えられる。ここで、瞳の半径で一周期となる波面収差の周波数fを1とする。
Δw'=2×f×λ/NAi ・・・(3)
撮像センサ53は、例えばCCD等の光センサで構成されうる。ケーブル54は、撮像センサ53と測定制御部55とを接続する。測定制御部55は、例えば、処理部とメモリとを含む。処理部は、撮像センサ53から供給された干渉縞データに基づいて収差情報を得るための処理を実行する。メモリは、処理に必要な情報(例えば、オフセットパラメータ)や、処理結果(例えば、波面収差データやZernike係数)などのデータ群が格納される。
撮像センサ53は、例えばCCD等の光センサで構成されうる。ケーブル54は、撮像センサ53と測定制御部55とを接続する。測定制御部55は、例えば、処理部とメモリとを含む。処理部は、撮像センサ53から供給された干渉縞データに基づいて収差情報を得るための処理を実行する。メモリは、処理に必要な情報(例えば、オフセットパラメータ)や、処理結果(例えば、波面収差データやZernike係数)などのデータ群が格納される。
測定制御部55の処理部で実施される位相情報の算出には、例えば、フーリエ変換法や電子モアレ法などが用いられる。フーリエ変換法は、1枚の干渉縞画像を2次元フーリエ変換して、分離された被検波面情報を含む空間周波数領域を抽出し、それを原点シフトした後、逆フーリエ変換することによって位相情報を取り出す方法である。また、電子モアレ法では、1枚の被測定干渉縞画像と同じキャリア周波数を有し、且つ位相シフトさせた少なくとも3枚の参照格子画像を生成する。被測定干渉縞画像と参照格子画像から生成した少なくとも3枚のモアレ縞に対してローパスフィルター・位相シフト法の処理を施すことによって位相情報を取り出す。
測定制御部55のメモリに格納された投影光学系31の収差情報は、主制御系80に送信される。主制御系80は、受信した収差情報に応じて、収差を補正するために必要なレンズ駆動量と波長駆動量を算出し、投影系制御部32に出力する。
投影系制御部32は、投影光学系31を構成する複数のレンズのうち収差補正用のレンズを変位させるレンズ駆動部を制御し、また、光源部12が発生する光の波長を制御する。これによって、投影光学系31に目標とする収差量を発生させることができる。
図4は、第1実施形態における投影光学系31の波面収差の測定方法を示すフローチャートである。この測定方法は、主制御系80によって制御される。この制御には、主制御系80による測定制御部55の制御も含まれる。図4に示す波面収差の測定方法は、処理中心検出工程(ステップ001)と、波面収差算出工程(ステップ003)とを含む。
図5は、処理中心検出工程(ステップ001)における具体的な処理を示すフローチャートである。処理中心検出工程(ステップ001)は、測定位置移動工程(ステップ101)と、干渉縞データ取得工程(ステップ103)と、仮中心算出工程(ステップ105)と、粗検出工程(ステップ107)と、精密検出工程(ステップ109)とを含む。
測定位置移動工程(ステップ101)では、主制御系80は、照明光学系14、第1マスク60および第2マスク70を位置合わせする。測定位置移動工程(ステップ101)では、まず、主制御系80は、照明光学系14と第1マスク60の位置を調整する。より具体的には、光源部12から射出された光が、引き回し光学系13により照明光学系14に引き回された後、照明光学系14のσ絞りによって第1マスク60のマーク61のみに照射されるように、照明光学系14と第1マスク60の位置を調整する。ここで、ピンホール61aは、(1)式を満たす幅であるため、ピンホール61aからは、球面状に等位相の波面を持った回折光が射出される。この回折光は、投影光学系31の瞳の全域に照射される。一方、窓61bを通過した光は、照明光学系14の収差の情報を含む光となる。
次に、主制御系80は、第1マスク60のマーク61を通過した光が投影光学系31によって第2マスク70のマーク71に結像されるように、基板ステージ42の位置を調整する。これにより、第1マスク60のピンホール61aは第2マスク70の窓71bに結像し、窓61bはピンホール71aに結像する。
ピンホール71aで回折した光は、球面状に等位相な波面を持つ。一方、窓71bを通過した光は、ピンホール61aでX方向に等位相な波面に整形された後に投影光学系31を通過してきているので、投影光学系31の波面収差の情報を有している。
図6は、ピンホール71aと窓71bをそれぞれ通過した光を模式的に示す図である。ピンホール71aを通過した光は、球面状の理想波面701aを有し、窓71bを通過した光は、被検波面701bを有する。
図7は、撮像センサ53の撮像面に形成される干渉縞を例示的に示す図である。干渉縞は、ピンホール71aと窓71bをそれぞれ通過した光によって撮像センサ53の撮像面に形成される。ピンホール71aと窓71bとの間隔の分だけ中心のずれた投影光学系31の瞳の2つの像が撮像面に形成され、この2つの像の重複領域に干渉縞が現れる。
干渉縞データ取得工程(ステップ103)では、主制御系80は、投影光学系31の球面収差量を複数の球面収差量のそれぞれに調整しながら、該複数の球面収差量のそれぞれについて干渉縞の画像データ(干渉縞データ)を撮像センサ53に撮像させる。これにより、複数の干渉縞の画像データが得られる。
ここで、投影光学系31の球面収差量と投影光学系31を構成するレンズ駆動量との関係を示すデータは、投影系制御部32に登録されている。主制御系80は、発生させるべき球面収差量を投影系制御部32に対して指令する。これに応じて、投影系制御部32は、指令された球面収差量が発生するように投影光学系31のレンズ群を移動させる。干渉縞データ取得工程(ステップ103)では、例えば、−100mλ、0mλ、+100mλの球面収差が発生した状態のそれぞれについて干渉縞の画像データが撮像センサ53によって撮像される。撮像した複数の干渉縞の画像データは、測定制御部55に対して出力される。
次に、仮中心算出工程(ステップ105)では、主制御系80は、仮中心位置、即ち、粗検出工程(ステップ107)における粗検出ウィンドウの中心位置を算出する。仮中心位置の算出方法としては、例えば、ステップ103で取得した干渉縞の画像データの各画素位置を光量値で重み付けする重心計算方法が好適である。粗検出ウィンドウの中心位置として使用する仮中心位置は、例えば、ステップ103で取得した複数の画像データから算出した重心位置の平均値としてよいし、何れか1枚の画像データから算出した重心位置としてもよい。或いは、仮中心位置として、測定装置50の構成(マスク70と撮像センサ53との間の構成部材と位置関係)によって決定される設計値を用いてもよい。
粗検出工程(ステップ107)では、主制御系80は、ステップ105で算出した仮中心位置の近傍(粗検出ウィンドウ内)で処理中心位置をXおよびY方向に振りながら、ステップ103で取得した複数の画像データのそれぞれからコマ収差量を算出する。そして、主制御系80は、該複数の画像データからそれぞれ算出したコマ収差量の相互の差分が最も小さくなる位置を見つけ出して、その位置を粗中心位置とする。ここで、コマ収差量の差分を利用する理由は、撮像した複数の干渉縞の画像データのそれぞれから算出される波面収差の相互間の差が球面収差のみであるからである(ステップ103の処理を参照)。
図8は、粗検出工程(ステップ107)における具体的な処理を示すフローチャートである。ステップ107は、検出パラメータ設定工程(ステップ201)と、処理中心設定工程(ステップ203)と波面収差算出工程(ステップ205)と、評価値算出工程(ステップ209)と、評価波形ピーク検出工程(ステップ213)とを含む。
図8は、粗検出工程(ステップ107)における具体的な処理を示すフローチャートである。ステップ107は、検出パラメータ設定工程(ステップ201)と、処理中心設定工程(ステップ203)と波面収差算出工程(ステップ205)と、評価値算出工程(ステップ209)と、評価波形ピーク検出工程(ステップ213)とを含む。
検出パラメータ設定工程(ステップ201)では、主制御系80は、粗検出パラメータを設定する。主制御系80は、粗検出パラメータとして、例えば、4つのパラメータ、即ち、粗検出ウィンドウの幅と高さ、処理中心振りのX方向ピッチとY方向ピッチを設定する。
粗検出ウィンドウの幅と高さは、ステップ105において算出された仮中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、粗検出ウィンドウサイズ内に収まるように余裕をもって決定されるべきである。粗検出ウィンドウの幅と高さは、例えば、50画素×50画素の範囲に設定されうる。また、中心振りピッチは、ステップ107で算出される粗中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、次のステップ109における精密検出ウィンドウサイズ内に収まるように十分に小さい値に設定されるべきである。中心振りピッチは、例えば、5画素ピッチに設定されうる。
図9は、仮中心位置(●印)と、粗検出ウィンドウ(点線枠)と、粗検出中心位置(×印)と、精密検出ウィンドウ(実線枠)の位置関係を例示的に示す図である。仮中心位置を中心とする粗検出ウィンドウは、真の処理中心を含むサイズとなっている。また、粗中心位置を中心とした精密検出ウィンドウのサイズは、粗中心位置の算出精度によって決定される。
図9は、仮中心位置(●印)と、粗検出ウィンドウ(点線枠)と、粗検出中心位置(×印)と、精密検出ウィンドウ(実線枠)の位置関係を例示的に示す図である。仮中心位置を中心とする粗検出ウィンドウは、真の処理中心を含むサイズとなっている。また、粗中心位置を中心とした精密検出ウィンドウのサイズは、粗中心位置の算出精度によって決定される。
処理中心設定工程(ステップ203)では、主制御系80は、ステップ201で決定したパラメータに従って最初の処理中心位置を決定する。例えば、粗検出ウィンドウにおける左上の画素の位置を処理中心位置として決定することができる。
評価値算出工程(ステップ205)では、主制御系80は、測定制御部55に、ステップ103で撮像した複数の干渉縞の画像データをステップ203で設定した処理中心位置を用いて波面収差を算出させる。測定制御部55は、複数の干渉縞の画像データのそれぞれから波面収差量を算出する。主制御系80は、このようにして複数の画像データのそれぞれから算出された波面収差量のそれぞれから中心位置検出用の評価値を算出する。評価値は、例えば、以下のように算出される。
複数の波面収差量をそれぞれZernike多項式に展開する。これにより、複数通りのZernike多項式が得られる。次に、Zernike多項式で表現される収差量(例えば、Zernike多項式の第1〜第36項に現れる収差量)のうちコマ収差量(例えば、Zernike多項式の第7項に現れる収差量)を抽出する。評価値(X)は、複数通りZernike多項式のそれぞれから抽出したコマ収差量から、(4)式に従って算出することができる。なお、ここでは、ステップ103で3つの球面収差にそれぞれ対応する3枚の干渉縞の画像データを取得し、ステップ205で3枚の干渉縞の画像データから3通りのZernike多項式を生成し、3通りのコマ収差量C1、C2、C3を抽出する例を示している。
X=1/(|C1−C2|+|C2−C3|+|C3−C1|) ・・・(4)
(4)式で表される評価値Xは、3つのコマ収差量における相互の差分量を足し合わせたものの逆数である。つまり、評価値Xは、3つの波面収差におけるコマ収差の変化量を示す値(球面収差量を変化させたときのコマ収差量の変化量)となっており、コマ収差の変化量が小さいくなるほど大きな値となる。
(4)式で表される評価値Xは、3つのコマ収差量における相互の差分量を足し合わせたものの逆数である。つまり、評価値Xは、3つの波面収差におけるコマ収差の変化量を示す値(球面収差量を変化させたときのコマ収差量の変化量)となっており、コマ収差の変化量が小さいくなるほど大きな値となる。
以上の例では、評価値においては、コマ収差量としてZernike多項式の第7項のみを用いたが、高次コマ収差(14項、23項、34項、・・・)を含めてもよい。また、cosθ成分収差(7項、14項、・・・)のみでなく、sinθ成分収差(8項、15項、・・・)を含めてもよい。さらに、評価値の算出式は、複数の波面収差におけるコマ収差の差分を表すものであればよく、(4)式に限定されるものではない。
ステップ207では、主制御系80は、粗検出ウィンドウの全域において評価値が算出されたかどうかを判断する。全域において評価値の算出が終了していない場合は、ステップ203に戻って、次の処理中心位置を設定して、処理を繰り返す。
評価波形ピーク検出工程(ステップ209)では、主制御系80は、ステップ203、205、207の繰り返しによって算出された粗検出ウィンドウ内の各評価値に基づいて粗中心位置を算出する。
評価波形ピーク検出工程(ステップ209)では、主制御系80は、ステップ203、205、207の繰り返しによって算出された粗検出ウィンドウ内の各評価値に基づいて粗中心位置を算出する。
図10は、横軸に処理中心位置をとり、縦軸に評価値Xをとったグラフである。処理中心位置が波面中心位置の真の値からずれるほど、コマ収差の変化量が増大するため、評価値Xが小さくなる。つまり、図10に示した通り、評価曲線は、処理中心位置が真の波面中心位置と一致した時に評価値が最大となる凸曲線である。よって、得られた評価曲線に対してピーク検出処理(例えば、重心計算)を実行することによって粗中心位置が算出される。算出された粗中心位置は、例えば、測定制御部55のメモリに保存される。
粗検出工程(ステップ107)に次いで、精密検出工程(ステップ109)が実行される。精密検出工程(ステップ109)では、主制御系80は、ステップ107で算出した粗中心位置の近傍(精密検出ウィンドウ内)において処理中心位置をXおよびY方向に振りながら、ステップ103で取得した複数の画像データのそれぞれからコマ収差量を算出する。そして、主制御系80は、該複数の画像データからそれぞれ算出したコマ収差量の相互の差分が最も小さくなる位置を見つけ出して、その位置を精密中心位置とする。
ステップ109における処理は、ステップ107とほぼ同一であるので、図8を参照しながら説明する。ステップ109は、ステップ107と同様に、ステップ201〜209を含む。
検出パラパラメータ設定工程(ステップ201)では、主制御系80は、精密検出パラメータを設定する。主制御系80は、精密検出パラメータとして、例えば、4つのパラメータ、即ち、精密検出ウィンドウの幅と高さ、処理中心振りのX方向ピッチとY方向ピッチを設定する。
精密検出ウィンドウの幅と高さは、ステップ107において算出された粗中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、精密検出ウィンドウサイズ内に収まるように余裕をもって決定されるべきである。精密検出ウィンドウの幅と高さは、例えば、2画素×2画素の範囲に設定されうる。また、中心振りピッチは、ステップ109で算出される精密中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、必要とされる波面収差計測の精度に対して許容できる値となるように設定されるべきである。中心振りピッチは、例えば、0.1画素ピッチに設定されうる。
精密検出工程(ステップ109)におけるステップ203〜209の処理は、使用する検出パラメータが異なることを除いて、粗検出工程(ステップ107)と同一であるので、説明を省略する。
以上により、処理中心検出工程(図4のステップ001)が終了した。ステップ109で算出された精密中心位置は、次の波面収差算出工程(ステップ003)で使用される処理中心位置として、例えば、測定制御部55内のメモリ領域に保存される。
波面収差算出工程(ステップ003)では、主制御系80は、ステップ001(ステップ103)で取得した干渉縞の画像データを測定制御部55内のメモリに保存されている処理中心位置を用いて画像処理することによって波面収差を算出する。
この実施形態の波面収差の測定方法によれば、波面収差を算出するための干渉縞の画像の中心位置を高い精度で決定することができるので、波面収差を算出(測定)することができる。
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態として、LDI方式の測定装置を備えた露光装置について説明する。図1は、本発明の好適な実施形態の露光装置10の概略ブロック図である。なお、第2実施形態では、第1実施形態の第1マスク60、第2マスク70がそれぞれ第1マスク60'、第2マスク70'によって置き換えられている。
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態として、LDI方式の測定装置を備えた露光装置について説明する。図1は、本発明の好適な実施形態の露光装置10の概略ブロック図である。なお、第2実施形態では、第1実施形態の第1マスク60、第2マスク70がそれぞれ第1マスク60'、第2マスク70'によって置き換えられている。
図11は、第1マスク60'の構成を例示する平面図である。第1マスク60'は、マーク61'とマーク62'とを含む。マーク61'は、Y方向(第1方向)に沿って延びるように互いに平行に配置されたスリット61'aおよび窓61'bを含む。マーク62'は、X方向(第2方向)に沿って延びるように互いに平行に配置されたスリット62'aおよび窓62'bを含む。マーク61'とマーク62'とは、スリットおよび窓の幅や間隔などは同一で、配置方位のみが異なっている。スリット61'aおよび62'aの幅Δrは、投影光学系31の原版側、即ち物体側の開口数をNAiとすると、(1)式に従うように決定される。
スリット61'a及び62'aの幅を(1)式に従うように決定することにより、スリットからの回折光をNAiの範囲で等位相の波面を有するものとみなすことができる。一方、窓61'b及び62'bの幅Δr'は、λ/NAi以下の大きさである。幅Δr'を(1)式と同程度としてもよいが、窓61'b及び62'bを通過した光は、後述するように、基板側で(1)式を満たす幅のスリットを通過するために原版側で等位相とする必要はないので、光量の観点から広めに設計されうる。
図12は、第2マスク70'の構成を例示する平面図である。第2マスク70'は、Y方向に沿って延びるように互いに平行に配置されたスリット71'aおよび窓71'bを含むマーク71'と、X方向に沿って延びるように互いに平行に配置されたスリット72'aおよび窓72'bを含むマーク72'とを有する。マーク71'とマーク72'とは、スリットおよび窓の幅や間隔などは同一で、配置方位のみが異なっている。スリット71'aおよび72'aの幅Δwは、投影光学系31の基板側、即ち、像面側の開口数をNAiとすると、(2)式に従うように決定される。
スリット71'a及び72'aの幅を(2)式に従うように決定することにより、スリット71'aと72'aからの回折光をNAiの範囲で等位相の波面を有するものとみなすことができる。
窓71'b及び72'bの幅Δw'は、測定するべき投影光学系31の空間周波数により決定される。具体的には、窓71'b及び72'bの幅Δw'は、高周波まで測定したい場合には広く、低周波でもよいときは狭くされる。ここで、投影光学系31の瞳の空間周波数をfとおくと、Δw'は(3)式3で与えられる。
スリットと窓の長さLwは、光量の観点では長いほどよいが、投影光学系31の収差が同一と見なすことができる領域(いわゆるアイソプラナティック領域)内にあることが必要である。
以下では、説明の便宜のために、マーク61'と71'をXマーク(第1マーク)と呼び、マーク62'と72'をYマーク(第2マーク)と呼ぶことがある。また、Xマークによって形成される干渉縞をX干渉縞(第1干渉縞)と呼び、Yマークによって形成される干渉縞をY干渉縞(第2干渉縞)と呼ぶ。
図13は、第2実施形態における投影光学系31の波面収差の測定方法を示すフローチャートである。この測定方法は、主制御系80によって制御される。この制御には、主制御系80による測定制御部55の制御も含まれる。図13に示す波面収差の測定方法は、X処理中心検出工程(ステップ501)と、Y処理中心検出工程(ステップ503)と、検出位置補正工程(ステップ505)と、XY波面収差算出工程(ステップ507)とを含む。
X処理中心検出工程(ステップ501;第1決定工程)では、主制御系80は、球面収差量の異なる複数のX干渉縞の画像データを取得し、それらを画像処理することにより、X干渉縞の処理中心位置を算出する。
X処理中心検出工程(ステップ501)における具体的な処理は、第1実施形態におけるステップ001とほぼ同一であるため、図5のフローチャートを参照しながら説明する。ただし、第1実施形態と区別するために、以下では、第1実施形態においてステップ101〜109としていた各ステップをステップ101x〜ステップ109xで置き換えて説明する。
測定位置移動工程(ステップ101x)では、主制御系80は、照明光学系14、第1マスク60'および第2マスク70'を位置合わせする。具体的には、主制御系80は、まず、第1マスク60'のマーク61'のみに光が照射されるように照明光学系14と第1マスク60'の位置を調整する。ここで、スリット61'aは、(1)式を満たす幅であるため、スリット61'aからは、X方向に等位相の波面を持った回折光が射出される。この回折光は、投影光学系31の瞳の全域に照射される。一方、窓61'bを通過した光は、照明光学系14の収差の情報を含む光となる。
次に、主制御系80は、第1マスク60'のマーク61'を通過した光が投影光学系31によって第2マスク70'のマーク71'に結像されるように、基板ステージ42の位置を調整する。これにより、第1マスク60'のスリット61'aは第2マスク70'の窓71'bに結像し、窓61'bはスリット71'aに結像する。
スリット71'aで回折した光は、X方向に等位相な波面を持つ。一方、窓71'bを通過した光は、スリット61'aでX方向に等位相な波面に整形された後に投影光学系31を通過してきているので、投影光学系31の波面収差の情報を有している。
干渉縞データ取得工程(ステップ103x)と仮中心算出工程(ステップ105x)は、第1実施形態と同一なので説明を省略する。
粗検出工程(ステップ107x)では、主制御系80は、ステップ105xで算出した仮中心位置の近傍(粗検出ウィンドウ内)で処理中心位置をXY方向に振りながらステップ103xで取得した複数の画像データのそれぞれからコマ収差量を算出する。そして、主制御系80は、該複数の画像データからそれぞれ算出したコマ収差量の相互の差分((4)式で示される評価値X)が最も小さくなる位置を見つけ出して、その位置を粗中心位置(第1粗中心位置)とする。
ステップ107xにおける具体的な処理は、第1実施形態におけるステップ107とほぼ同一であるため、図8のフローチャートを参照しながら説明する。
ステップ201では、主制御系80は、粗検出パラメータを設定する。主制御系80は、粗検出パラメータとして、例えば、4つのパラメータ、即ち、粗検出ウィンドウの幅と高さ、処理中心振りのX方向ピッチとY方向ピッチを設定する。
粗検出ウィンドウの幅と高さは、ステップ105xにおいて算出された仮中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、粗検出ウィンドウサイズ内に収まるように余裕をもって決定されるべきである。粗検出ウィンドウの幅と高さは、例えば、50画素×1画素の範囲に設定されうる。また、中心振りピッチは、ステップ107xで算出される粗中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、次のステップ109xにおける精密検出ウィンドウサイズ内に収まるように十分に小さいい値に設定されるべきである。中心振りピッチは、例えば、5画素ピッチに設定されうる。
図14(a)は、仮中心位置(●印)と、粗検出ウィンドウ(点線)と、粗検出中心位置(×印)と、精密検出ウィンドウ(実線)の位置関係を例示的に示す図である。図14(a)に示す例において、粗検出ウィンドウが、図9のような四角形のウィンドウではなく十字形とされている理由は、粗検出工程における処理時間を短縮するためである。
図14(a)は、仮中心位置(●印)と、粗検出ウィンドウ(点線)と、粗検出中心位置(×印)と、精密検出ウィンドウ(実線)の位置関係を例示的に示す図である。図14(a)に示す例において、粗検出ウィンドウが、図9のような四角形のウィンドウではなく十字形とされている理由は、粗検出工程における処理時間を短縮するためである。
上記のように、四角形のウィンドウの枠内の全域で評価値を算出しなくても粗検出精度が確保できる見込みがある場合は、ウィンドウの形状を細くしたり、ウィンドウサイズを小さくしたり、中心振りピッチを粗くしたりすることができる。これによって、ステップ203x〜ステップ207xの繰り返し回数を減少させて、処理時間を短縮することができる。
ステップ203〜ステップ209における処理は、使用する検出パラメータが異なることを除いて、第1実施形態におけるステップ203〜ステップ209と同一であるため、説明を省略する。
以上により、粗検出工程(ステップ107x)における粗中心位置(第1粗中心位置)の算出が終了した。
次に、精密検出工程(ステップ109x)では、ステップ107xで算出した粗中心位置の近傍(精密検出ウィンドウ内)で処理中心位置をXおよびY方向に振りながら、ステップ103xで取得した複数の画像データのそれぞれからコマ収差量を算出する。そして、主制御系80は、該複数の画像データからそれぞれ算出したコマ収差量の相互の差分((4)式で示される評価値X)が最も小さくなる位置を見つけ出して、その位置を精密中心位置(第1精密中心位置)とする。
精密検出工程(ステップ109x)における処理は、ステップ201で設定される検出パラメータが異なることを除いて、ステップ109と同一である。よって、ここではステップ109xにおけるステップ201についてのみ説明する。
精密検出工程(ステップ109x)におけるステップ201では、精密検出パラメータを設定する。主制御系80は、精密検出パラメータとして、例えば、3つのパラメータ、即ち、精密検出ウィンドウの幅と高さ、処理中心振りのX方向ピッチを設定する。
精密検出ウィンドウの幅と高さは、ステップ107xにおいて算出された粗中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、精密検出ウィンドウサイズ内に収まるように余裕をもって決定されるべきである。精密検出ウィンドウの幅と高さは、例えば、幅が2画素、高さが1画素というように設定されうる。また、中心振りのX方向ピッチは、ステップ109xで算出される精密中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、必要とされる波面収差計測の精度に対して許容できる値となるように設定されるべきである。中心振りのX方向ピッチは、例えば、0.1画素ピッチに設定されうる。
X処理中心検出工程(ステップ501)における精密検査工程(ステップ109x)では、上記のように、主制御系80は、X方向のみに処理中心位置を振る。この理由は、LDI方式の測定装置では、原理上、非計測方向(ステップ501では、計測方向がX方向で、非計測方向がY方向)への変化に対して波面収差の測定結果が鈍感であるためである。つまり、Xマーク(マーク61'、71')によって形成される干渉縞には、Y方向の球面収差情報は残っていない(打消されている)。よって、Y方向に処理中心位置を振っても、コマ収差がほとんど変化しないので、Y方向に関して中心位置を高精度に検出することは困難である。よって、X処理中心検出工程(ステップ501)における精密検査工程(ステップ109)では、X方向については処理中心位置を精密に検出するが、Y方向については粗検出までしか実施しない。
第1実施形態では、コマ収差の変化量にcosθ成分とsinθ成分の両方を含めた評価値の算出が可能であった。しかし、第2実施形態のX処理中心検出工程(ステップ501)では、Y方向のコマ収差の変化(つまり、sinθ成分の変化)に対して鈍感であるので、cosθ成分のみを用いる。
Y方向についての処理中心位置については、後述する検出位置補正工程(ステップ505)で補正処理を実行することによって、X方向についての処理中心位置と同等の高い精度を有する値に補正される。
X処理中心検出工程(ステップ501)に次いで、Y処理中心検出工程(ステップ503;第2決定工程)では、主制御系80は球面収差量の異なる複数のY干渉縞の画像データを取得し、それらを画像処理することによりY干渉縞の処理中心位置を算出する。
Y処理中心検出工程(ステップ503)における具体的な処理は、ステップ501と同様に、第1実施形態におけるステップ001とほぼ同一であるため、図5のフローチャートを参照しながら説明する。ただし、第1実施形態と区別するために、以下では、第1実施形態においてステップ101〜109としていた各ステップをステップ101y〜ステップ109yで置き換えて説明する。
測定位置移動工程(ステップ101y)では、主制御系80は、照明光学系14、第1マスク60'および第2マスク70'を位置合わせする。具体的には、主制御系80は、まず、第1マスク60'のマーク62'のみに光が照射されるように照明光学系14と第1マスク60'の位置を調整する。ここで、スリット62'aは、(1)式を満たす幅であるため、スリット62'aからは、Y方向に等位相の波面を持った回折光が射出される。この回折光は、投影光学系31の瞳の全域に照射される。一方、窓62'bを通過した光は、照明光学系14の収差の情報を含む光となる。
次に、主制御系80は、第1マスク60'のマーク62'を通過した光が投影光学系31によって第2マスク70'のマーク72'に結像されるように、基板ステージ42の位置を調整する。これにより、第1マスク60'のスリット62'aは第2マスク70'の窓72'bに結像し、窓62'bはスリット72'aに結像する。
スリット72'aで回折した光は、Y方向に等位相な波面を持つ。一方、窓72'bを通過した光は、スリット62'aでX方向に等位相な波面に整形された後、投影光学系31を透過してきているので、投影光学系31の波面収差の情報を有している。
Y処理中心検出工程(ステップ503)におけるステップ103y〜109yは、ステップ109yにおける検出パラメータが異なることを除いて、X処理中心検出工程(ステップ501)における103x〜109xと同一である。よって、ステップ109yにおける検出パラメータについてのみ説明する。なお、ステップ107yでは、Yマークによって形成されるY干渉縞に基づいて粗中心位置(第2粗中心位置)が決定される。また、ステップ109yでは、該Y干渉縞に基づいて精密中心位置(第2精密中心位置)が決定される。
精密検出工程(ステップ109y)におけるステップ201では、精密検出パラメータを設定する。主制御系80は、精密検出パラメータとして、例えば、3つのパラメータ、即ち、精密検出ウィンドウの幅と高さ、処理中心振りのY方向ピッチを設定する。
精密検出ウィンドウの幅と高さは、ステップ107yにおいて算出された粗中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、精密検出ウィンドウサイズ内に収まるように余裕を持って決定されるべきである。精密検出ウィンドウの幅と高さは、例えば、幅が1画素、高さが2画素というように設定されうる。また、中心振りのY方向ピッチは、ステップ109yで算出される精密中心位置の真の処理中心位置からのずれ量が、必要とされる波面収差計測の精度に対して許容できる値となるように設定されるべきである。中心振りのY方向ピッチは、例えば、0.1画素ピッチに設定さえうる。
Y処理中心検出工程(ステップ503)における精密検査工程(ステップ109y)では、上記のように、主制御系80は、Y方向のみに処理中心位置を振る。この理由は、LDI方式の測定装置では、原理上、非計測方向(ステップ503では、計測方向がY方向で、非計測方向がX方向)への変化に対して波面収差の測定結果が鈍感であるためである。つまり、Yマーク(マーク62'、72')によって形成される干渉縞には、X方向の球面収差情報は残っていない(打消されている)。よって、X方向に処理中心位置を振っても、コマ収差がほとんど変化しないので、X方向に関して中心位置を高精度に検出することは困難である。よって、Y処理中心検出工程(ステップ503)における精密検査工程(ステップ109)では、Y方向については処理中心位置を精密に検出するが、X方向については粗検出までしか実施しない。
第1実施形態では、コマ収差の変化量にcosθ成分とsinθ成分の両方を含めた評価値の算出が可能であった。しかし、第2実施形態のY処理中心検出工程(ステップ503)では、X方向のコマ収差の変化(つまり、sinθ成分の変化)に対して鈍感であるので、sinθ成分のみを用いる。
検出位置補正工程(ステップ505)では、主制御系80は、ステップ501で算出されたX干渉縞のY方向についての処理中心位置(粗検出工程で算出されたY方向について粗中心位置。)と、ステップ503で算出されたY干渉縞のY方向についての処理中心位置(粗検出工程で算出されたY方向についての粗中心位置。)を補正する。なお、ステップ501では、X干渉縞のX方向についての処理中心位置(X方向についての第1処理中心位置)については精密検出工程において精密に算出されている。また、ステップ503では、Y干渉縞のY方向についての処理中心位置(Y方向についての第2処理中心位置)については精密検出工程において精密に算出されている。
図15は、ステップ505における補正方法の概念を示す図である。図15は、図12と同様の第2マスク70'を示しているが、説明の都合上、図12とはXマークとYマークの配置が変更されている。
図15は、ステップ505における補正方法の概念を示す図である。図15は、図12と同様の第2マスク70'を示しているが、説明の都合上、図12とはXマークとYマークの配置が変更されている。
ステップ501とステップ503において精密に検出された中心位置は、X干渉縞のX方向についての処理中心位置(X方向についての第1処理中心位置)と、Y干渉縞のY方向についての処理中心位置(Y方向についての第2処理中心位置)である。つまり、図15における△印のXおよびY方向における処理中心位置が精密に(高精度に)算出された位置である。
Xマークの設計位置とYマークの設計位置との差分量(Dx、Dy)とΔの位置(△x、△y)とに基づいて、X干渉縞のY方向における処理中心位置(Y方向についての第1処理中心位置。)と、Y干渉縞のX方向における処理中心位置(X方向についての第2処理中心位置。)とを高精度に補正することができる。
具体的には、主制御系80は、X干渉縞の精密な処理中心位置(Xx、Yx)、および、Y干渉縞の処理中心位置の精密な処理中心位置(Xy、Yy)は、(5)式に従って算出される。
具体的には、主制御系80は、X干渉縞の精密な処理中心位置(Xx、Yx)、および、Y干渉縞の処理中心位置の精密な処理中心位置(Xy、Yy)は、(5)式に従って算出される。
(Xx、Yx)=(△x、△y−Dy)
(Xy、Yy)=(△x−Dx、△y)
・・・(5)
主制御系80は、(5)式に従って算出したX干渉縞の処理中心位置(Xx、Yx)とY干渉縞の処理中心位置(Xy、Yy)を測定制御部55のメモリに保存する。
(Xy、Yy)=(△x−Dx、△y)
・・・(5)
主制御系80は、(5)式に従って算出したX干渉縞の処理中心位置(Xx、Yx)とY干渉縞の処理中心位置(Xy、Yy)を測定制御部55のメモリに保存する。
XY波面収差算出工程(ステップ507)では、主制御系80は、ステップ501で取得したX干渉縞を測定制御部55のメモリに保存された(Xx、Yx)を使って処理する。また、主制御系80は、ステップ503で取得したY干渉縞を測定制御部55のメモリに保存された(Xy、Yy)を使って処理する。そして、主制御系80は、これらの処理によって、投影光学系31の波面収差を算出する。
この実施形態の波面収差の測定方法によれば、精密な決定が困難である非計測方向の処理中心位置についても、検出位置補正工程により、高い精度で算出することができる。したがって、この処理中心位置を用いて投影光学系の波面収差を高い精度で算出することができる。
本発明は、上記の実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。
例えば、上記の実施形態では、測定装置が露光装置に搭載されているが、例えば、ステージ制御部24、43、投影系制御部32と同等の機能を備える波面収差の測定のための専用の測定装置が構成されてもよい。
また、図4又は図13に示したフローチャートにおける各ステップは、その順序通りに実行する必要はない。例えば、ステップ001やステップ501、503、505は、測定装置の組み立て時、又は定期調整時にのみ実施し、通常の計測時にはステップ003およびステップ507のみが実行されてもよい。さらに、LDI方式の測定装置であっても、非計測方向の精密検出が可能な装置環境である場合は、ステップ505の補正工程を省略しても良い。
上記の実施形態では、一例として処理中心位置が波面(干渉縞)中心と一致する測定装置について説明したが、測定装置の仕組みによっては、必ずしも処理中心位置が波面中心位置と一致するとは限らない。例えば、第1マスクを備える基板の形状が平板ではなく曲面形状である場合は、処理中心位置を(波面中心位置ではなく)曲率中心位置と一致させるような処理を施してもよい。
また、第2実施形態のLDI方式では、X方向とY方向のスリット窓について扱ったが、X、Y方向に限定する必要はない。つまり、X、Y方向以外の任意の2方向(例えば、45度・135度方向)のスリット窓を扱っても良い。
また、上記の実施形態では、LDI方式又はPDI方式の測定装置を用いたが、同様の議論は、シアリング干渉方式やフィゾー干渉方式などの被検光学系光学性能を干渉縞によって測定する方式の光学性能測定装置全てに対して成り立つ。
31 投影光学系
53 撮像センサ
55 測定制御部
60、60' 第1マスク
70、70' 第2マスク
61'a、71'a、62'a、72'a スリット
61'b、62'b、71'b、72'b 窓
80 主制御系
53 撮像センサ
55 測定制御部
60、60' 第1マスク
70、70' 第2マスク
61'a、71'a、62'a、72'a スリット
61'b、62'b、71'b、72'b 窓
80 主制御系
Claims (7)
- 光学系の波面収差を測定する測定方法であって、
複数の球面収差量をそれぞれ有する複数の状態に前記光学系を順に設定し、前記複数の状態のそれぞれについて、第1方向に沿って延びた互いに平行なスリットおよび窓を含む第1マークと前記光学系とによって形成される第1干渉縞の画像データを処理して、前記第1マークを使って前記光学系の波面収差を算出するための第1処理中心位置を決定する第1決定工程と、
前記複数の状態のそれぞれについて、第2方向に沿って延びた互いに平行なスリットおよび窓を含む第2マークと前記光学系とによって形成される第2干渉縞の画像データを処理して、前記第2マークを使って前記光学系の波面収差を算出するための第2処理中心位置を決定する第2決定工程と、
前記第1マークと前記第2マークとの位置関係に基づいて、前記第1方向における前記第1処理中心位置および前記第2方向における前記第2処理中心位置をそれぞれ補正し、補正された第1処理中心位置および補正された第2処理中心位置を得る補正工程と、
前記第1マークおよび前記光学系によって形成される干渉縞の画像データを前記補正された第1処理中心位置を使って処理し、前記第2マークおよび前記光学系によって形成される干渉縞の画像データを前記補正された第2処理中心位置を使って処理し、前記光学系の波面収差を算出する波面収差算出工程と、
を含むことを特徴とする測定方法。 - 前記補正工程では、前記位置関係と前記第1方向における前記第2処理中心位置とに基づいて前記第1方向における前記第1処理中心位置を補正し、前記位置関係と前記第2方向における前記第1処理中心位置とに基づいて前記第2方向における前記第2処理中心位置を補正する、
ことを特徴とする請求項1に記載の測定方法。 - 前記補正工程では、前記第2方向における前記第1処理中心位置および前記第1方向における前記第2処理中心位置については補正しない、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の測定方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とが直交している、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定方法。 - 前記第1決定工程では、処理中心位置を振りながら前記複数の状態のそれぞれに対応する複数の第1干渉縞の画像データを評価して得られる評価値のピークに対応する処理中心位置を前記第1処理中心位置として決定し、
前記第2決定工程では、処理中心位置を振りながら前記複数の状態のそれぞれに対応する複数の第2干渉縞の画像データを評価して得られる評価値のピークに対応する処理中心位置を前記第2処理中心位置として決定する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の測定方法。 - 前記第1決定工程では、
仮中心位置を中心として前記第1方向および前記第2方向に処理中心位置を振りながら前記複数の状態のそれぞれに対応する複数の第1干渉縞の画像データを評価して得られる評価値のピークに対応する処理中心位置を第1粗中心位置として決定し、
前記第1粗中心位置を中心として前記第2方向に処理中心位置を振りながら前記複数の状態のそれぞれに対応する複数の第1干渉縞の画像データを評価して得られる評価値のピークに対応する処理中心位置を第1精密中心位置として決定し、
前記第2決定工程では、
仮中心位置を中心として前記第1方向および前記第2方向に処理中心位置を振りながら前記複数の状態のそれぞれに対応する複数の第2干渉縞の画像データを評価して得られる評価値のピークに対応する処理中心位置を第2粗中心位置として決定し、
前記第2粗中心位置を中心として前記第1方向に処理中心位置を振りながら前記複数の状態のそれぞれに対応する複数の第2干渉縞の画像データを評価して得られる評価値のピークに対応する処理中心位置を第2精密中心位置として決定する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の測定方法。 - 前記光学系は、原版のパターンを基板に転写するための露光装置における投影光学系である、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の測定方法。
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