JP2010028140A - 窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結晶成長用の基板上に窒化物系化合物半導体層を形成する工程と、窒化物系半導体層上に、第二のオーミック電極および第二の接着用金属層をこの順で形成する工程と、導電性基板上に第一のオーミック電極および第一の接着用金属層をこの順で形成する工程と、第二の接着用金属層と第一の接着用金属層を接合する工程と、結晶成長用の基板を除去する工程と、窒化物系化合物半導体層に第二のオーミック電極まで延びる第一の溝を形成することにより、第二のオーミック電極の表面を露出させる工程とを含む窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法である。
【選択図】図1
Description
好ましくは、前記第一の溝の幅は、1μm以上100μm以下である。
好ましくは、前記導電性基板の途中まで形成された第二の溝と対向するように前記導電性基板の裏面からケガキ線を導入する。
図1は、本発明の製造方法によって得られる窒化物系化合物半導体発光素子の概略断面図である。図1の窒化物系化合物半導体発光素子は、導電性基板1上に、少なくとも第一のオーミック電極2、第一の接着用金属層21、第二の接着用金属層31および第二のオーミック電極3を含み、当該第二のオーミック電極3上に窒化物系化合物半導体層60が形成されている。また、当該窒化物系化合物半導体層60上には、発光素子として機能させるために必要な、透明電極7、パッド電極8およびボンディングワイヤ9が形成されている。
本発明の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法において、各層の材料に上記実施形態1と別の材料を用いた場合について、以下に説明する。
Claims (13)
- 窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法であって、
結晶成長用の基板上に、窒化物系化合物半導体層を形成する工程と、
前記窒化物系半導体層上に、第二のオーミック電極および第二の接着用金属層をこの順で形成する工程と、
導電性基板上に、第一のオーミック電極および第一の接着用金属層をこの順で形成する工程と、
前記第二の接着用金属層と前記第一の接着用金属層を接合する工程と、
前記結晶成長用の基板を除去する工程と、
前記窒化物系化合物半導体層に前記第二のオーミック電極まで延びる第一の溝を形成することにより、前記第二のオーミック電極の表面を露出させる工程と、
を含むことを特徴とする窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。 - 前記窒化物系化合物半導体層は、少なくともP型層、発光層およびN型層からなることを特徴とする、請求項1に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法であって、
結晶成長用の基板上に、少なくともP型層、発光層およびN型層からなる窒化物系化合物半導体層を形成する工程と、
前記窒化物系半導体層上に、第二のオーミック電極および第二の接着用金属層をこの順で形成する工程と、
導電性基板上に、第一のオーミック電極および第一の接着用金属層をこの順で形成する工程と、
前記第二の接着用金属層と前記第一の接着用金属層を接合する工程と、
前記結晶成長用の基板を除去する工程と、
前記窒化物系化合物半導体層に前記P型層の途中まで延びる第一の溝を形成することにより、前記P型層の表面を露出させる工程と、
を含むことを特徴とする窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。 - 前記導電性基板は、Si、GaAs、GaP、GeおよびInPからなる群より選択される少なくとも一種からなる半導体であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記結晶成長用の基板は、サファイア、スピネルまたはニオブ酸リチウムのいずれかの絶縁性基板であるか、あるいは炭化ケイ素、シリコン、酸化亜鉛またはガリウム砒素の導電性基板であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第一の接着用金属層の、層厚方向に垂直な面の面積が、前記発光層の、層厚方向に垂直な面の面積より大きいことを特徴とする、請求項2〜5のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第一の溝はエッチングを用いて形成されることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第一の溝の幅は、1μm以上100μm以下であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第一の溝の底面から第二の溝が形成され、前記第二の溝を分割することによって窒化物系化合物半導体発光素子を得ることを特徴とする、請求項1に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第二の溝は、前記第一の溝の底面から前記導電性基板の途中まで形成されていることを特徴とする請求項9に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第二の溝の幅は、1μm以上50μm以下とすることを特徴とする請求項9または10に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第二の溝と対向するように前記導電性基板の裏面からケガキ線を導入することを特徴とする、請求項9〜11のいずれかに記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記第二の溝および前記導電性基板の裏面から導入したケガキ線に沿って分割することにより窒化物系化合物半導体発光素子を得ることを特徴とする、請求項12に記載の窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
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CN102810614A (zh) * | 2011-05-31 | 2012-12-05 | 奇力光电科技股份有限公司 | 发光二极管元件及其制造方法 |
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JP2001085736A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Sharp Corp | 窒化物半導体チップの製造方法 |
JP2004165227A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物系化合物半導体素子の製造方法 |
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2009
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