JP2010027809A

JP2010027809A - Conveying device provided with opening/closing mechanism of container for conveying workpiece

Info

Publication number: JP2010027809A
Application number: JP2008186497A
Authority: JP
Inventors: Tadataka Noguchi; 忠隆野口; Koji Takeshita; 浩二竹下; Hiroyuki Kawamata; 宏行川又; Yukiharu Okubo; 至晴大久保; Sukihiro Ishima; 透浩石間
Original assignee: Nikon Corp; Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Nikon Corp; Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2008-07-17
Filing date: 2008-07-17
Publication date: 2010-02-04

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the shock when opening a container for conveying a workpiece, and suppress the particles generated at this time. <P>SOLUTION: The upper lid 20 of a container 19 for conveying a workpiece includes a protruding part 24. A container opening/closing mechanism 30 includes a fixed shelf 33 for supporting the lower surface of the protruding part 24, a first pressing member 38 that abuts against the upper surface of a bottom plate 21, a second pressing member 39 that abuts against the upper surface of the protruding part 24, and a raising/lowering mechanism section 31 for raising/lowering them. To the container 19 for conveying a workpiece in the state of being supported by a robot hand 32, the protruding part 24 is sandwiched between the second pressing member 39 and the fixed shelf 33. The bottom plate 21 is lowered, while being sandwiched between the first pressing member 38 and the robot hand 32, so as to open/close the container. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体製造装置においてワークを搬送する搬送装置に関するもので、特に、ワークとして、半導体露光装置に使用され、回路パターンの原版にあたるレチクルを搬送するのにあたって、レチクルを収納するレチクルケースを開閉する機構に関する。 The present invention relates to a transfer device for transferring a workpiece in a semiconductor manufacturing apparatus, and in particular, when a reticle used as a workpiece in a semiconductor exposure apparatus and corresponding to an original circuit pattern is transferred, a reticle case for storing a reticle is opened and closed. It is related with the mechanism to do.

近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は、ますます狭くなってきている。このような微細な回路パターンを半導体ウエハ上に形成する方法として、所望の回路パターンが形成された数十種類の原画パターンが描かれたレチクルを、ウエハ上の露光領域に高精度に位置決めした後、レーザ光によりパターンを縮小投影露光してウエハ上に転写する方法がある。このようにして作業を行う半導体露光装置においては、作業を行う作業空間をプロセス室内に設け、このプロセス室内を真空状態に保っておく必要がある。ここで、真空状態に保たれたプロセス室に対して、レチクル等のワークを搬入及び搬出する際には、プロセス室に隣接して、ロボットアームを備えたトランスファ室を設置し、プロセス室とほぼ同程度の圧力となるようにトランスファ室を真空状態に保った状態で、ロボットアームにてプロセス室に対してワークを搬入及び搬出する真空搬送装置が使用されている。真空搬送装置では、プロセス室に対してワークを交換するたびに、比較的容積が大きなトランスファ室を真空状態に復帰させるには非常に効率が悪いので、ロードロック室と呼ばれる小部屋を開閉自在のゲートバルブを介してトランスファ室に併設しておき、まずこのロードロック室にワークを置き、そしてロードロック室内を真空状態にした後に、ロードロック室とトランスファ室とを仕切るゲートバルブを開放し、トランスファ室に設置されたロボットアームによって、ワークをロードロック室からトランスファ室に搬入することが行われている。
ここで、ロードロック室が完全に真空状態になった後は、ワークにパーティクルが付着する可能性は極めて低いが、ワークをロードロック室に置いてから、それが十分に真空状態になるまでの時間は、ロードロック室内にはガスの流れ、つまり、気流が発生し、この気流により舞い上がったパーティクルがワークの表面に付着してしまう可能性が極めて高い。このような、ワーク表面の汚染に対して、許容できるパーティクルの大きさは、上述した回路線幅が狭くなるにつれて微小化してきている。
従来、このようなワーク表面へのパーティクルの付着を防ぐため、例えば、特許文献１のように、プロセス室にワークを搬入する際には、清浄雰囲気の中で、フィルタ付きのケーシングと底板とから成るワーク搬送用容器の中にワークを収納し、このワーク搬送用容器ごとロードロック室に搬送した後、ロードロック室の内部を真空にし、ロードロック室が完全に真空状態になった後、ワーク搬送用容器を開けてワークを取り出し、プロセス室へワークを搬入する、ということが行われている。そして、露光等のプロセスが終了した後は、上述とは逆の動きでワークが搬出される。具体的には、プロセス室から取り出したワークを真空状態のロードロック室に搬送してワーク搬送用容器内に再び収納し、ワーク搬送用容器を閉じた後、ロードロック室の真空状態を解除し、ワーク搬送用容器ごとロードロック室より搬出して清浄雰囲気の中でワークを取り出す、ということが行われている。 In recent years, circuit line widths required for semiconductor devices have become increasingly narrower as LSIs are highly integrated. As a method for forming such a fine circuit pattern on a semiconductor wafer, a reticle on which several tens of original patterns on which a desired circuit pattern is formed is positioned with high accuracy in an exposure area on the wafer. There is a method of transferring a pattern onto a wafer by reducing projection exposure with a laser beam. In the semiconductor exposure apparatus that performs the work in this way, it is necessary to provide a work space for the work in the process chamber and keep the process chamber in a vacuum state. Here, when a workpiece such as a reticle is carried in and out of a process chamber kept in a vacuum state, a transfer chamber equipped with a robot arm is installed adjacent to the process chamber. 2. Description of the Related Art A vacuum transfer device that uses a robot arm to load and unload a workpiece with respect to a process chamber in a state where the transfer chamber is kept in a vacuum state so as to have a similar pressure is used. The vacuum transfer device is very inefficient in returning the transfer chamber, which has a relatively large volume, to the vacuum state every time the workpiece is exchanged for the process chamber. Therefore, the small chamber called the load lock chamber can be opened and closed freely. First, a work is placed in the load lock chamber through a gate valve. After the work is placed in the load lock chamber and the load lock chamber is evacuated, the gate valve that separates the load lock chamber from the transfer chamber is opened and the transfer chamber is opened. A workpiece is transferred from a load lock chamber to a transfer chamber by a robot arm installed in the chamber.
Here, after the load lock chamber is completely evacuated, the possibility of particles adhering to the workpiece is extremely low. However, after the workpiece is placed in the load lock chamber, it is not enough to be fully evacuated. In terms of time, there is a high possibility that a gas flow, that is, an air flow is generated in the load lock chamber, and particles that have risen due to the air flow adhere to the surface of the workpiece. With respect to such contamination of the workpiece surface, the allowable particle size has become smaller as the circuit line width becomes smaller.
Conventionally, in order to prevent such adhesion of particles to the workpiece surface, for example, as in Patent Document 1, when a workpiece is carried into a process chamber, the filter-equipped casing and bottom plate are used in a clean atmosphere. After the work is stored in the work transfer container, and the work transfer container is transferred to the load lock chamber, the inside of the load lock chamber is evacuated and the load lock chamber is completely evacuated. In some cases, the transfer container is opened, the work is taken out, and the work is carried into the process chamber. Then, after the process such as exposure is completed, the work is carried out with the movement opposite to that described above. Specifically, the work taken out from the process chamber is transferred to a vacuum load lock chamber, stored again in the work transfer container, the work transfer container is closed, and then the load lock chamber is released from the vacuum state. The work is carried out from the load lock chamber together with the work transfer container and taken out in a clean atmosphere.

ここで、ワーク搬送用容器からワークを取り出すために使用されるワーク搬送用容器の開閉機構は、ロードロック室内でワーク搬送用容器の底板とケーシングとを係止するロック機構を外した後、昇降機構によってワーク搬送用容器を下降させ、ケーシングをロードロック室の内壁に係止させながら底板をケーシングから分離させる、というものであった。この従来のワーク搬送用容器の開閉機構について説明する。図１は従来のレチクルケースの構造を示す側断面図である。１はワークであるレチクル、３はワーク搬送用容器の上蓋であるケーシング、４はワーク搬送用容器の底板、２はケーシングと底板の間にある外界と環境を遮断するシール材である。なお、図１では図示しないが、ケーシング３と底板４とはメカニカルなロック機構によって互いに係止され、ロック機構を外さない限り分離しないように構成されている。
図２に従来のワーク搬送用容器の開閉機構の動作を示す。５はケーシングの突出部、６はロードロックチャンバ、７はロードロックチャンバ上蓋、８はロードロックチャンバ６の内壁に設置された、ケーシング３の突出部５を引っ掛ける固定棚部、９はワーク搬送用容器の底板４を支持する容器保持部、１０は真空ベローズ、１１はロードロックチャンバ６内に昇降動作を導入する昇降機構部である。ワーク搬送用容器を開ける動作は、昇降機構部１１がワーク搬送用容器を搭載した容器保持部９を下降させ、突出部５を固定棚部８に引っ掛けることで行われる。なお、このときワーク搬送用容器の図示しないロック機構は外されているものとする。図２（ａ）はケーシング３の突出部５が固定棚部８にちょうど接触した状態を示している。この後、さらに容器保持部９が下降すると、図２（ｂ）のようにケーシング３が固定棚部８に残ったまま底板４が下降するのでワーク搬送用容器が開く。
特許第３４５５０７２号 Here, the opening / closing mechanism of the workpiece transfer container used for taking out the workpiece from the workpiece transfer container is moved up and down after removing the lock mechanism for locking the bottom plate of the workpiece transfer container and the casing in the load lock chamber. The work conveying container is lowered by the mechanism, and the bottom plate is separated from the casing while the casing is locked to the inner wall of the load lock chamber. The conventional opening / closing mechanism for the workpiece transfer container will be described. FIG. 1 is a side sectional view showing the structure of a conventional reticle case. Reference numeral 1 denotes a reticle, which is a workpiece, 3 a casing, which is an upper lid of a workpiece transfer container, 4 a bottom plate of the workpiece transfer container, and 2 a sealing material that shuts off the environment and the environment between the casing and the bottom plate. Although not shown in FIG. 1, the casing 3 and the bottom plate 4 are engaged with each other by a mechanical lock mechanism so that they are not separated unless the lock mechanism is removed.
FIG. 2 shows the operation of a conventional opening / closing mechanism for a workpiece transfer container. 5 is a protrusion of the casing, 6 is a load lock chamber, 7 is an upper lid of the load lock chamber, 8 is a fixed shelf that is installed on the inner wall of the load lock chamber 6 and hooks the protrusion 5 of the casing 3, and 9 is for workpiece transfer A container holding unit 10 that supports the bottom plate 4 of the container, 10 is a vacuum bellows, and 11 is an elevating mechanism unit that introduces an elevating operation into the load lock chamber 6. The operation of opening the workpiece transfer container is performed by the elevating mechanism unit 11 lowering the container holding unit 9 on which the workpiece transfer container is mounted and hooking the protruding portion 5 on the fixed shelf 8. At this time, it is assumed that a lock mechanism (not shown) of the workpiece transfer container is removed. FIG. 2A shows a state in which the protruding portion 5 of the casing 3 is just in contact with the fixed shelf portion 8. Thereafter, when the container holding portion 9 is further lowered, the bottom plate 4 is lowered while the casing 3 remains on the fixed shelf portion 8 as shown in FIG.
Japanese Patent No. 3455072

ところが、従来のワーク搬送用容器の開閉機構では、底板４とケーシング３との間のシール材２の粘着現象によって、容器を開ける際に衝撃が起こり、底板４と容器保持部９との間、あるいは突出部５と固定棚部８との間で、ずれやたたきが起き、パーティクルが発生するという問題があった。
また、ケーシング３と底板４とがずれ、これらが安全に閉まらなかったりすることがあった。
また、ケーシング３と底板４との位置ずれによってワーク１がロボットアームに対してずれることになり、ワークの搬送ができないことがあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、搬送装置においてワーク搬送用容器を開ける際の衝撃を減らし、このときに発生するパーティクルを抑制するとともに、ワーク搬送用容器のずれを防止することができ、安全に容器を閉め、搬送することができるワーク搬送用容器の開閉機構を提供することを目的とする。 However, in the conventional opening / closing mechanism of the container for conveying a workpiece, an impact occurs when the container is opened due to the adhesion phenomenon of the sealing material 2 between the bottom plate 4 and the casing 3, and the bottom plate 4 and the container holding portion 9 are Alternatively, there is a problem that deviation or knocking occurs between the protruding portion 5 and the fixed shelf portion 8 and particles are generated.
In addition, the casing 3 and the bottom plate 4 may be misaligned and may not be closed safely.
In addition, the workpiece 1 may be displaced with respect to the robot arm due to the positional deviation between the casing 3 and the bottom plate 4, and the workpiece may not be conveyed.
The present invention has been made in view of such problems, and reduces the impact when opening the work transport container in the transport device, suppresses particles generated at this time, and prevents the work transport container from shifting. It is an object of the present invention to provide an opening / closing mechanism for a workpiece transfer container that can be prevented and can be safely closed and transferred.

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１記載の発明は、ワークを搭載する底板と、前記ワークを覆って前記底板との間で前記ワークを収容するとともに前記底板と分離可能な上蓋と、を備えたワーク搬送用容器を所定の位置に搬送可能であるとともに昇降自在に構成されたロボットハンドと、前記ロボットハンドが到達可能な位置にあって前記ワーク搬送用容器の前記上蓋と前記底板とを開閉する容器開閉機構と、を備えた搬送装置において、前記ワーク搬送用容器は、前記上蓋に前記ワーク搬送用容器の側面から外側に突出する突出部を備え、前記容器開閉機構は、前記突出部の下面を支持可能な固定棚と、前記底板の上面に当接可能な第１押下部材と、前記突出部の上面に当接可能な第２押下部材と、前記第１押下部材と前記第２押下部材とを昇降させる昇降機構部と、を備え、前記搬送装置は、前記上蓋と前記底板とを分離させる際、前記ロボットハンドに前記底板が支持された状態の前記ワーク搬送用容器に対し、前記第１押下部材と前記第２押下部材を下降させ、前記突出部を前記第２押下部材と前記固定棚とで狭持し、前記底板を前記第１押下部材と前記ロボットハンドとで狭持しながら下降させることを特徴とする搬送装置とするものである。
請求項２記載の発明は、前記第１押下部材と前記第２押下部材は、１つの前記昇降機構部によって同時に昇降するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置とするものである。
請求項３記載の発明は、前記第２押下部材は、前記昇降機構部に対して、上下方向に撓み可能な板ばねを介して固定されていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置とするものである。
請求項４記載の発明は、前記ロボットハンドと前記容器開閉機構とが気密な真空容器内に収容され、前記上蓋と前記底板とを分離させる作業が前記真空容器内で行われることを特徴とする請求項１記載の搬送装置とするものである。
請求項５記載の発明は、前記昇降機構部は、前記真空容器上面に対して固定される回転型モータと、前記回転型モータの回転軸に連結されたボールネジと、前記ボールネジのナット部に固定された昇降ベースと、前記昇降ベースを上下に精密に案内するリニアガイドと、前記昇降ベースに一端が固定され、前記真空容器の内部へ貫通するとともに他端に前記第１押下部材と前記第２押下部材とを支持する昇降シャフトと、前記真空容器の上面と前記昇降ベースとの間であって前記昇降シャフトを挿通させる真空ベローズと、で構成されることを特徴とする請求項４記載の搬送装置とするものである。
請求項６記載の発明は、請求項１記載の搬送装置を備え、前記ワークがレチクルであることを特徴とする半導体露光装置とするものである。 In order to solve the above problem, the present invention is configured as follows.
According to a first aspect of the present invention, there is provided a workpiece transfer container provided with a bottom plate on which a workpiece is mounted and an upper lid that covers the workpiece and accommodates the workpiece between the bottom plate and is separable from the bottom plate. A robot hand configured to be movable up and down and a container opening / closing mechanism that opens and closes the top lid and the bottom plate of the workpiece transport container at a position reachable by the robot hand. In the transport apparatus, the work transport container includes a projecting portion projecting outward from a side surface of the work transport container on the upper lid, and the container opening and closing mechanism is a fixed shelf capable of supporting the lower surface of the projecting section. A first pressing member that can abut on the upper surface of the bottom plate, a second pressing member that can abut on the upper surface of the protruding portion, and an elevating mechanism that raises and lowers the first pressing member and the second pressing member Department and And when the transport device separates the top lid and the bottom plate, the first push member and the second push member with respect to the workpiece transport container in a state where the bottom plate is supported by the robot hand. , The projecting portion is held between the second pressing member and the fixed shelf, and the bottom plate is lowered while being held between the first pressing member and the robot hand. It is what.
According to a second aspect of the present invention, the first pressing member and the second pressing member are configured to be lifted and lowered simultaneously by a single lifting mechanism portion. It is.
The invention according to claim 3 is characterized in that the second pressing member is fixed to the elevating mechanism part via a plate spring that can be bent in the vertical direction. It is what.
The invention according to claim 4 is characterized in that the robot hand and the container opening / closing mechanism are housed in an airtight vacuum container, and the operation of separating the upper lid and the bottom plate is performed in the vacuum container. The conveying apparatus according to claim 1 is provided.
According to a fifth aspect of the present invention, the elevating mechanism is fixed to a rotary motor fixed to the upper surface of the vacuum vessel, a ball screw connected to a rotary shaft of the rotary motor, and a nut portion of the ball screw. An elevating base, a linear guide for accurately guiding the elevating base up and down, one end fixed to the elevating base, penetrating into the vacuum vessel, and the first pressing member and the second at the other end 5. The transport according to claim 4, comprising: a lifting shaft that supports a pressing member; and a vacuum bellows between the upper surface of the vacuum vessel and the lifting base and through which the lifting shaft is inserted. It is a device.
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor exposure apparatus including the transfer apparatus according to the first aspect, wherein the workpiece is a reticle.

本発明の搬送装置によれば、ワーク搬送用容器の上蓋と底板とを開閉させる際、衝撃のない静かな開閉が実現され、これにより開閉時のパーティクルも防止される。またワーク搬送用容器がロボットハンドに対してずれることを防止することができ、安全にワーク搬送用容器を開閉して搬送することができる。 According to the transfer apparatus of the present invention, when opening and closing the top lid and the bottom plate of the work transfer container, a quiet opening without impact is realized, thereby preventing particles during opening and closing. Further, the workpiece transfer container can be prevented from shifting with respect to the robot hand, and the workpiece transfer container can be safely opened and closed for transfer.

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図３に本発明で使用するワーク搬送用容器１９の構造を示す。（ａ）は上面図、（ｂ）は側断面図を示している。２２はワークであるレチクル、２０はワーク搬送用容器１９の上蓋、２１はワーク搬送用容器１９の底板、２５は上蓋２０と底板２１との間にある外界と環境を遮断するシール材である。シール材２５は本実施例ではＯリングが使用されている。上蓋２０と底板２１とは図示しないマグネットによって互いに吸着するようになっていて、上下に分離可能である。上蓋２０には複数のフィルタ２３が設けられている。フィルタ２３はワーク２２が収容される空間と容器外部との間に存在し、気体は通すが微小なパーティクルを通さないフィルタである。また、ワーク搬送用容器１９は図３（ａ）のように上から見て矩形になっていて、上蓋２０の対向する１組の２辺に突出部２４が形成されている。突出部２４は容器の側面よりも外側に突出している。また、別の１組の２辺には凹部２６が形成されている。凹部２６は容器の側面よりも内側に窪んでいる。凹部２６によって、ワーク搬送用容器１９を上から見たときに底板２１が見えるようになっている。
なお、本実施例では上蓋２０に凹部２６が形成されているが、後述の説明から明らかなように、凹部２６が形成されていなくても、上から容器を見たときに底板２１のみが見える（押下できる）部分があればよい。 FIG. 3 shows the structure of the work transfer container 19 used in the present invention. (A) is a top view and (b) shows a side sectional view. Reference numeral 22 denotes a reticle as a workpiece, 20 denotes an upper lid of the workpiece transfer container 19, 21 denotes a bottom plate of the workpiece transfer container 19, and 25 denotes a sealing material that shuts off the environment and the environment between the upper lid 20 and the bottom plate 21. As the sealing material 25, an O-ring is used in this embodiment. The upper lid 20 and the bottom plate 21 are attracted to each other by a magnet (not shown) and can be separated vertically. The upper lid 20 is provided with a plurality of filters 23. The filter 23 exists between the space in which the work 22 is accommodated and the outside of the container, and is a filter that allows gas to pass but does not pass minute particles. Further, the workpiece transfer container 19 has a rectangular shape as viewed from above as shown in FIG. 3A, and protrusions 24 are formed on a pair of two sides facing the upper lid 20. The protrusion 24 protrudes outward from the side surface of the container. Further, a recess 26 is formed on another set of two sides. The recess 26 is recessed inward from the side surface of the container. The recess 26 allows the bottom plate 21 to be seen when the workpiece transfer container 19 is viewed from above.
In the present embodiment, the concave portion 26 is formed in the upper lid 20, but as will be apparent from the following description, even when the concave portion 26 is not formed, only the bottom plate 21 is visible when the container is viewed from above. There should be a part that can be pressed.

図５に本発明の搬送装置が適用された半導体露光装置の一部の上面図を示す。以下、本実施例では真空環境下における搬送装置について説明する。図において、４１は、真空状態（大気圧よりも低い負圧の状態）、あるいは、真空解除状態（ほぼ大気圧の状態）に圧力調整可能なロードロック室であり、４５は、ロードロック室４１に隣接して接続されたトランスファ室である。４７は、ワーク２２が収納されたワーク搬送用容器１９を開閉するための容器開閉室であり、トランスファ室４５とともに常時真空状態が保たれている。容器開閉室４７の室内に、後述するワーク搬送用容器１９の開閉機構が設置されている。４８は、露光等の処理を行うためのプロセス室であり、トランスファ室４５に隣接して接続されている。なお、ロードロック室４１、トランスファ室４５、容器開閉室４７、および、プロセス室４８は、いずれも、真空状態が維持できるように気密構造になっている。
トランスファ室４５には、ロードロック室４１、容器開閉室４７、および、プロセス室４８に対して、ワーク２２を搬入及び搬出するためのロボットアーム４６が設置してあり、また、図示していないが、トランスファ室４５内のガス（気体）を排気して内部を真空状態にするための真空ポンプと、真空状態を解除するための給気設備が装備されている。
また、ロードロック室４１とトランスファ室４５との間には、ゲートバルブ４９が設けてあり、ゲートバルブ４９は、ワーク搬送用容器１９を持ったロボットアーム４６の先端部が通過するのに十分な広さの開口と、この開口を開閉するためのバルブを備えており、このバルブを閉じれば、ロードロック室４１とトランスファ室４５の間の気密性を保つことができるようになっている。ゲートバルブ４９はロードロック室４１側壁の開口部４２に連結されている。また、ロードロック室４１の他方の側壁には、ワーク２２が収納されたワーク搬送用容器１９を搬入、搬出するための搬入搬出口４３が設けてあり、この搬入搬出口４３を塞ぎ、ロードロック室４１の内部と外部の間で気密性が保てるようにゲートバルブ５０が設けてある。また、図示していないが、ロードロック室４１には、ロードロック室４１内のガスを排気して内部を真空状態にするための真空ポンプと、真空状態を解除するための給気管が接続されている。給気管の先には、図示しない給気バルブ及び清浄フィルタが接続されており、この給気バルブを開放すると、清浄フィルタを通ってガスがロードロック室４１内に流れ込み、ロードロック室４１内の真空状態を解除できるようになっている。
以上の構成において、まず、図示しない清浄雰囲気の中で、ワーク２２をワーク搬送用容器１９の中に収納する。このとき、ロードロック室４１、トランスファ室４５、容器開閉室４７、プロセス室４８はいずれも真空状態とする。トランスファ室４５側のゲートバルブ４９を閉じて、ロードロック室４１のみを真空解除する。外部側のゲートバルブ５０を開けて、図示しない大気搬送用ロボットアームにて、ワーク２２を収納したワーク搬送用容器１９をロードロック室４１内に載置する。外部側のゲートバルブ５０を閉じた後、ロードロック室４１の内部を真空にする。次に、トランスファ室４５側のゲートバルブ４９を開けて、ロボットアーム４６により、ロードロック室４５からワーク搬送用容器１９を搬出し、容器開閉室４７へ搬入する。ワーク搬送容器１９を真空雰囲気外に搬出する場合は上記と逆の手順による。 FIG. 5 shows a top view of a part of a semiconductor exposure apparatus to which the transfer apparatus of the present invention is applied. Hereinafter, in this embodiment, a transfer device in a vacuum environment will be described. In the figure, reference numeral 41 denotes a load lock chamber whose pressure can be adjusted to a vacuum state (a negative pressure lower than the atmospheric pressure) or a vacuum release state (a substantially atmospheric pressure state), and 45 is a load lock chamber 41. It is a transfer room connected adjacent to. Reference numeral 47 denotes a container opening / closing chamber for opening / closing the workpiece transfer container 19 in which the workpiece 22 is stored, and the vacuum state is always maintained together with the transfer chamber 45. Inside the container opening / closing chamber 47, an opening / closing mechanism for the work transfer container 19 described later is installed. Reference numeral 48 denotes a process chamber for performing processing such as exposure, and is connected adjacent to the transfer chamber 45. The load lock chamber 41, the transfer chamber 45, the container opening / closing chamber 47, and the process chamber 48 all have an airtight structure so that a vacuum state can be maintained.
The transfer chamber 45 is provided with a robot arm 46 for loading and unloading the workpiece 22 with respect to the load lock chamber 41, the container opening / closing chamber 47, and the process chamber 48. A vacuum pump for exhausting the gas (gas) in the transfer chamber 45 to make the inside vacuum is equipped with an air supply facility for releasing the vacuum.
Further, a gate valve 49 is provided between the load lock chamber 41 and the transfer chamber 45, and the gate valve 49 is sufficient for the tip of the robot arm 46 having the workpiece transfer container 19 to pass therethrough. A wide opening and a valve for opening and closing the opening are provided. By closing the valve, the airtightness between the load lock chamber 41 and the transfer chamber 45 can be maintained. The gate valve 49 is connected to the opening 42 on the side wall of the load lock chamber 41. In addition, a loading / unloading port 43 for loading and unloading the workpiece transfer container 19 in which the workpiece 22 is stored is provided on the other side wall of the load lock chamber 41. A gate valve 50 is provided so that airtightness can be maintained between the inside and the outside of the chamber 41. Although not shown, the load lock chamber 41 is connected to a vacuum pump for exhausting the gas in the load lock chamber 41 to make the inside vacuum, and an air supply pipe for releasing the vacuum. ing. An air supply valve and a clean filter (not shown) are connected to the tip of the air supply pipe. When the air supply valve is opened, gas flows into the load lock chamber 41 through the clean filter, The vacuum state can be released.
In the above configuration, first, the workpiece 22 is stored in the workpiece transfer container 19 in a clean atmosphere (not shown). At this time, the load lock chamber 41, the transfer chamber 45, the container opening / closing chamber 47, and the process chamber 48 are all in a vacuum state. The gate valve 49 on the transfer chamber 45 side is closed, and only the load lock chamber 41 is released from the vacuum. The gate valve 50 on the outside is opened, and the work transfer container 19 containing the work 22 is placed in the load lock chamber 41 by an atmospheric transfer robot arm (not shown). After closing the external gate valve 50, the inside of the load lock chamber 41 is evacuated. Next, the gate valve 49 on the transfer chamber 45 side is opened, and the workpiece transfer container 19 is unloaded from the load lock chamber 45 by the robot arm 46 and loaded into the container opening / closing chamber 47. When the work transfer container 19 is carried out of the vacuum atmosphere, the procedure is reversed.

ロボットアーム４６は、アーム全体もしくは少なくともロボットハンド３２を上下に昇降させる昇降機構を有するものである。ロボットアーム４６は複数のアームが連結されている水平多関節形のアームであり、アームの連結部を回転させることによってロボットアーム４６の先端に備えたフォーク形状のロボットハンド３２をロボットアーム４６基端の旋回中心に対して伸縮動作させる。また、ロボットアーム４６全体はその基端の旋回中心で回転可能であって、この動作によってロードロック室４１、プロセス室４８、及び容器開閉室４７の各方向にロボットハンド３２を向けることができる。ロボットハンド３２はワーク搬送用容器１９の底板２１の両サイドが載置できるように形成されている。 The robot arm 46 has a lifting mechanism that moves the entire arm or at least the robot hand 32 up and down. The robot arm 46 is a horizontal articulated arm in which a plurality of arms are connected, and the fork-shaped robot hand 32 provided at the distal end of the robot arm 46 is rotated at the base end of the robot arm 46 by rotating the connecting portion of the arms. Extend and retract with respect to the center of rotation. Further, the entire robot arm 46 can be rotated around the pivot center of the base end, and the robot hand 32 can be directed in each direction of the load lock chamber 41, the process chamber 48, and the container opening / closing chamber 47 by this operation. The robot hand 32 is formed so that both sides of the bottom plate 21 of the workpiece transfer container 19 can be placed.

ワーク搬送用容器１９の開閉場所である容器開閉室４７には本発明の搬送装置における容器開閉機構３０が設置されている。図４は容器開閉機構３０を示す図であって、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が搬送されてきたときを示している。（ａ）は上面図であって容器開閉室４７のチャンバ蓋３６及び後述する昇降機構部３１を透視して図示している。（ｂ）は（ａ）において矢印Ｘ方向から見た側断面図、（ｃ）は（ａ）において矢印Ｙ方向から見た側断面図である。（ｂ）、（ｃ）図においては解りやすくするため、一部を省略して図示している。
容器開閉機構３０は、図４のように、容器開閉室４７の室内にワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の下面と当接可能な固定棚３３を備えている。固定棚３３はロボットハンド３２の幅よりもやや広い間隔に設置されている。一方、
容器開閉室４７のチャンバ蓋３６の上面には容器開閉機構３０の昇降機構部３１が設置されている。昇降機構部３１は、例えば図６に示すように、容器開閉室４７のチャンバ蓋３６に対して固定される回転型モータ５１と、回転型モータ５１の回転軸に連結されたボールネジ５２と、ボールネジ５２のナット部に固定された昇降ベース５３と、昇降ベース５３を上下に精密に案内するリニアガイド５５と、昇降ベース５３に一端が固定され、容器開閉室４７の内部へ貫通する昇降シャフト５４と、容器開閉室４７の気密性を確保し、かつ昇降シャフト５４の昇降を妨げないように、容器開閉室４７の上面と昇降ベース５３との間に設けられた真空ベローズ５６とで構成されている。そして、昇降シャフト５４の他端にプレート３４が固定されている。 A container opening / closing mechanism 30 in the transfer apparatus of the present invention is installed in a container opening / closing chamber 47 which is an opening / closing place of the work transfer container 19. FIG. 4 is a view showing the container opening / closing mechanism 30, and shows a case where the workpiece transfer container 19 has been transferred by the robot hand 32. (A) is a top view and is seen through the chamber lid 36 of the container opening / closing chamber 47 and a lifting mechanism 31 described later. (B) is the sectional side view seen from the arrow X direction in (a), (c) is the sectional side view seen from the arrow Y direction in (a). In FIGS. (B) and (c), some parts are omitted for easy understanding.
As shown in FIG. 4, the container opening / closing mechanism 30 includes a fixed shelf 33 that can come into contact with the lower surface of the protruding portion 24 of the upper lid 20 of the work transfer container 19 in the container opening / closing chamber 47. The fixed shelves 33 are installed at intervals slightly wider than the width of the robot hand 32. on the other hand,
On the upper surface of the chamber lid 36 of the container opening / closing chamber 47, an elevating mechanism 31 of the container opening / closing mechanism 30 is installed. For example, as shown in FIG. 6, the elevating mechanism 31 includes a rotary motor 51 fixed to the chamber lid 36 of the container opening / closing chamber 47, a ball screw 52 connected to the rotary shaft of the rotary motor 51, and a ball screw. An elevating base 53 fixed to the nut portion 52, a linear guide 55 for accurately guiding the elevating base 53 up and down, and an elevating shaft 54 having one end fixed to the elevating base 53 and penetrating into the container opening / closing chamber 47. In addition, it is composed of a vacuum bellows 56 provided between the upper surface of the container opening / closing chamber 47 and the lifting base 53 so as to ensure the airtightness of the container opening / closing chamber 47 and not hinder the lifting / lowering of the lifting shaft 54. . The plate 34 is fixed to the other end of the elevating shaft 54.

図４のように、プレート３４は水平方向に延在する板状の部材である。プレート３４の両端には第１押下部材３８が固定されている。第１押下部材３８は、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が図４（ａ）のように搬送されてきたとき、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の凹部２６の上に位置するようになっていて、上蓋２０とは接触せず、底板２１の上面と当接可能に形成されている。一方、プレート３４には４枚の板ばね３５のそれぞれの一端が固定されている。そして、それぞれの板ばね３５の他端には第２押下部材３９が固定されている。第２押下部材３９は、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が図４（ａ）のように搬送されてきたとき、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上に位置するようになっていて、突出部２４の上面と当接可能に形成されている。第２押下部材３９の先端は球状に形成されている。また、上述のように突出部２４の下面は固定棚３３と当接可能な位置にあるので、突出部２４は上下方向において第２押下部材３９と固定棚３３との間に位置することになる。
以上のように、昇降機構部３１の動作によって、第１押下部材３８と第２押下部材３９は同時に昇降可能であって、これらが下降したとき、第１押下部材３８はワーク搬送用容器１９の底板２１の上面と当接し、第２押下部材３９はワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上面と当接する。
なお、本実施例では第１押下部材３８と第２押下部材３９を１つの昇降機構部３１に対して固定している例を示しているが、勿論、昇降機構部３１を別にもう１機設け、第１押下部材３８と第２押下部材３９とを別々に昇降可能に構成してもよい。但し、この場合、各々の昇降機構部３１はある程度同時に昇降できるような制御が必要である。 As shown in FIG. 4, the plate 34 is a plate-like member extending in the horizontal direction. First pressing members 38 are fixed to both ends of the plate 34. The first pressing member 38 comes to be positioned on the concave portion 26 of the upper lid 20 of the work transport container 19 when the work transport container 19 is transported by the robot hand 32 as shown in FIG. Thus, the upper lid 20 is not in contact with the upper surface of the bottom plate 21 and can be brought into contact therewith. On the other hand, one end of each of the four leaf springs 35 is fixed to the plate 34. A second pressing member 39 is fixed to the other end of each leaf spring 35. The second push-down member 39 is positioned on the protrusion 24 of the upper lid 20 of the work transport container 19 when the work transport container 19 is transported by the robot hand 32 as shown in FIG. It is formed so that it can contact | abut with the upper surface of the protrusion part 24. FIG. The tip of the second pressing member 39 is formed in a spherical shape. Further, as described above, since the lower surface of the protrusion 24 is in a position where it can contact the fixed shelf 33, the protrusion 24 is positioned between the second pressing member 39 and the fixed shelf 33 in the vertical direction. .
As described above, the first pressing member 38 and the second pressing member 39 can be lifted / lowered simultaneously by the operation of the lifting / lowering mechanism 31. When these members are lowered, the first pressing member 38 The second pressing member 39 comes into contact with the upper surface of the protruding portion 24 of the upper lid 20 of the work transporting container 19.
In this embodiment, the first pressing member 38 and the second pressing member 39 are fixed to one lifting mechanism 31. Of course, another lifting mechanism 31 is provided. The first pressing member 38 and the second pressing member 39 may be configured to be able to be raised and lowered separately. However, in this case, each elevating mechanism 31 needs to be controlled so that it can be raised and lowered simultaneously to some extent.

以上で構成された本発明の搬送装置について、ワーク搬送用容器１９を開ける際の動作を図４で説明する。ワーク搬送用容器１９を開ける動作は、ロボットアーム４６と容器開閉機構３０とを同時に動作させながら、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４を固定棚３３に引っ掛けることで行われる。以下、この動作を説明する。
ここでは、ロボットアーム４６がロードロック室４１などからワーク搬送用容器１９をロボットハンド３２に搭載して容器搬送室４７へ搬送してきているものとする。
まず、図４（ａ）のように、ロボットアーム４６が、ロボットハンド３２にワーク搬送用容器１９を搭載して容器開閉室４７に搬送する。このとき、容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９は、ロボットハンド３２とワーク搬送用容器１９に干渉しない程度に上方に位置している。
次に、図４（ｂ）（ｃ）のように、ロボットハンド３２を下降させ、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の下面が固定棚３３にちょうど接触する高さでロボットハンド３２の下降動作を停止させる。そしてこのとき、容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９を、第１押下部材３８がワーク搬送用容器１９の底板２１の上面と当接し、第２押下部材３９がワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上面と当接する位置まで下降させる。
次に、以上の状態で、ロボットハンド３２と容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９を同時にわずかに（数ミリ程度）下降させる。このときの状態を示すのが（ｂ’）（ｃ’）図である。同図（ｂ’）のように、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０は、その突出部２４が第２押下部材３９と固定棚３３とに狭持されて固定棚３３に係止する。一方、同図（ｃ’）のようにワーク搬送用容器１９の底板２１は第１押下部材３８の下降動作によって押し下げられ、このときロボットハンド３２も同時に下降するので、底板２１は上蓋２０から分離してロボットハンド３２に載置される。また、底板２１に搭載されているワーク２２もそのままロボットハンド３２に搭載される。また、第１押下部材３８が底板２１を上蓋２０から分離させる程度まで下降する一方で、第２押下部材３９は突出部２４を介して固定棚３３で係止するので絶対的に下降しないが、上記の板ばね３５が上下方向に撓むように配置されているので、（ｂ’）図のように、板ばね３５の撓み作用により、第１押下部材３８は問題なく底板２１を上蓋２０から分離させる程度に下降可能である。
ここで従来技術によれば、第１押下部材３８によって底板２１が押し下げられ、底板２１と上蓋２０とが分離したときに、シール材２５の粘着（癒着）によって上蓋２０が跳ね上がることがあるが、本発明においては、底板２１が押下されている間は、板ばね３５が撓みながら第２押下部材３９によって上蓋２０を押さえつけ、上蓋２０を固定棚３３とともに動かないようにするので、上蓋２０が跳ね上がることがない。
以上の動作により、
衝撃なくワーク搬送用容器１９は開き、底板２１及びワーク２２はロボットハンド３２上に静かに載置されることになり、
ワーク搬送用容器１９の開放時のパーティクルもほとんど発生しない。
またワーク搬送用容器１９がロボットハンド３２に対してずれることもなく、ワーク搬送用容器１９を閉める動作も安全に確実に行うことができる。また、ワーク搬送用容器１９のずれがないことで、ワーク２２の搬送ミスも低減できる。なお、ワーク搬送用容器１９を閉める動作は上述の逆の順路を辿ればよいことはいうまでもないので説明を省略する。 With respect to the transport apparatus of the present invention configured as described above, the operation when opening the work transport container 19 will be described with reference to FIG. The operation of opening the workpiece transfer container 19 is performed by hooking the protruding portion 24 of the upper lid 20 of the workpiece transfer container 19 onto the fixed shelf 33 while simultaneously operating the robot arm 46 and the container opening / closing mechanism 30. Hereinafter, this operation will be described.
Here, it is assumed that the robot arm 46 is carrying the workpiece transfer container 19 on the robot hand 32 from the load lock chamber 41 or the like and transferring it to the container transfer chamber 47.
First, as shown in FIG. 4A, the robot arm 46 mounts the workpiece transfer container 19 on the robot hand 32 and transfers it to the container opening / closing chamber 47. At this time, the first pressing member 38 and the second pressing member 39 of the container opening / closing mechanism 30 are positioned so as not to interfere with the robot hand 32 and the workpiece transfer container 19.
Next, as shown in FIGS. 4B and 4C, the robot hand 32 is lowered, and the robot hand 32 is at such a height that the lower surface of the protruding portion 24 of the upper lid 20 of the work transfer container 19 just contacts the fixed shelf 33. The descent operation is stopped. At this time, the first pressing member 38 and the second pressing member 39 of the container opening / closing mechanism 30 are brought into contact with the upper surface of the bottom plate 21 of the work transporting container 19, and the second pressing member 39 is transported by the work. The container 19 is lowered to a position where it contacts the upper surface of the protruding portion 24 of the upper lid 20 of the container 19.
Next, in the above state, the robot hand 32 and the first pressing member 38 and the second pressing member 39 of the container opening / closing mechanism 30 are simultaneously slightly lowered (about several millimeters). FIGS. (B ′) and (c ′) show the state at this time. As shown in FIG. 5B ′, the protrusion 24 of the upper lid 20 of the work transfer container 19 is held between the second pressing member 39 and the fixed shelf 33 and is locked to the fixed shelf 33. On the other hand, the bottom plate 21 of the work transporting container 19 is pushed down by the lowering operation of the first pressing member 38 as shown in FIG. 5C ′, and the robot hand 32 is also lowered at this time, so that the bottom plate 21 is separated from the upper lid 20. And placed on the robot hand 32. Further, the workpiece 22 mounted on the bottom plate 21 is also mounted on the robot hand 32 as it is. Further, while the first pressing member 38 is lowered to the extent that the bottom plate 21 is separated from the upper lid 20, the second pressing member 39 is locked by the fixed shelf 33 through the protruding portion 24, so it never moves down, Since the plate spring 35 is arranged so as to bend in the vertical direction, the first pressing member 38 separates the bottom plate 21 from the upper lid 20 without any problem by the bending action of the plate spring 35 as shown in FIG. It is possible to descend to the extent.
Here, according to the prior art, when the bottom plate 21 is pushed down by the first pressing member 38 and the bottom plate 21 and the upper lid 20 are separated, the upper lid 20 may jump up due to adhesion (adhesion) of the sealing material 25. In the present invention, while the bottom plate 21 is pressed, the upper lid 20 is pressed by the second pressing member 39 while the leaf spring 35 is bent, so that the upper lid 20 does not move together with the fixed shelf 33, so the upper lid 20 jumps up. There is nothing.
With the above operation,
The workpiece transfer container 19 is opened without impact, and the bottom plate 21 and the workpiece 22 are gently placed on the robot hand 32.
No particles are generated when the workpiece transfer container 19 is opened.
Further, the workpiece transfer container 19 is not displaced from the robot hand 32, and the operation of closing the workpiece transfer container 19 can be performed safely and reliably. In addition, since there is no displacement of the work transfer container 19, it is possible to reduce the transfer mistake of the work 22. Note that the operation of closing the workpiece transfer container 19 may be performed by following the reverse route described above, and the description thereof will be omitted.

本実施例はワーク搬送用容器として特にレチクルを収納する容器を想定しているが、同様な構造の容器において開閉時の衝撃が問題となる場合には本発明のような容器開閉機構を備える搬送装置が使用できる。また、本実施例における搬送装置は、トランスファ室内や容器開閉室など真空環境下における例を説明したが、搬送装置としては、昇降可能なロボットハンド及びロボットハンドがアクセスできる上記容器開閉機構を少なくとも備えていれば、真空環境下を問わず、例えば清浄な雰囲気のクリーンルームなど大気圧環境下でも本発明は利用可能である。 In this embodiment, a container for storing a reticle is particularly assumed as a work transfer container. However, when a shock with opening and closing becomes a problem in a container having a similar structure, the container is provided with a container opening / closing mechanism as in the present invention. The device can be used. Further, the transfer device in the present embodiment has been described in an example in a vacuum environment such as a transfer chamber or a container opening / closing chamber. However, the transfer device includes at least the robot hand that can be moved up and down and the container opening / closing mechanism that can be accessed by the robot hand. If so, the present invention can be used in an atmospheric pressure environment such as a clean room in a clean atmosphere regardless of the vacuum environment.

従来のレチクルケースの構造説明図Structure diagram of conventional reticle case 従来のレチクルケースの開閉機構を説明する図The figure explaining the opening / closing mechanism of the conventional reticle case 本発明において使用するワーク搬送用容器の構造説明図Structure explanatory drawing of the workpiece transport container used in the present invention 本発明における容器開閉機構を説明する図The figure explaining the container opening and closing mechanism in this invention 本発明の搬送装置が適用された半導体露光装置の一部の上面図The top view of a part of semiconductor exposure apparatus to which the transfer apparatus of the present invention is applied 本発明の容器開閉機構の昇降機構部の構成を示す側面図The side view which shows the structure of the raising / lowering mechanism part of the container opening / closing mechanism of this invention

符号の説明Explanation of symbols

１ワーク
２シール材
３ケーシング
４底板
５突出部
６ロードロックチャンバ
７ロードロックチャンバ上蓋
８固定棚部
９容器保持部
１０真空ベローズ
１１昇降機構部
１９ワーク搬送用容器
２０上蓋
２１底板
２２ワーク
２３フィルタ
２４突出部
２５シール材
２６凹部
３０容器開閉機構
３１昇降機構部
３２ロボットハンド
３３固定棚
３４プレート
３５板ばね
３６チャンバ蓋
３８第１押下部材
３９第２押下部材
４１ロードロック室
４２開口部
４３搬入搬出口
４５トランスファ室
４６ロボットアーム
４７容器開閉室
４８プロセス室
４９ゲートバルブ
５０ゲートバルブ
５１モータ
５２ボールネジ
５３昇降ベース
５４昇降シャフト
５５リニアガイド
５６真空ベローズ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Work 2 Sealing material 3 Casing 4 Bottom plate 5 Protruding part 6 Load lock chamber 7 Load lock chamber upper cover 8 Fixed shelf part 9 Container holding part 10 Vacuum bellows 11 Lifting mechanism part 19 Work conveying container 20 Top cover 21 Bottom plate 22 Work 23 Filter 24 Protruding portion 25 Sealing material 26 Recess 30 Container opening / closing mechanism 31 Lifting mechanism portion 32 Robot hand 33 Fixed shelf 34 Plate 35 Plate spring 36 Chamber lid 38 First pressing member 39 Second pressing member 41 Load lock chamber 42 Opening portion 43 Loading / unloading exit 45 Transfer chamber 46 Robot arm 47 Container opening / closing chamber 48 Process chamber 49 Gate valve 50 Gate valve 51 Motor 52 Ball screw 53 Lifting base 54 Lifting shaft 55 Linear guide 56 Vacuum bellows

Claims

ワークを搭載する底板と、前記ワークを覆って前記底板との間で前記ワークを収容するとともに前記底板と分離可能な上蓋と、を備えたワーク搬送用容器を所定の位置に搬送可能であるとともに昇降自在に構成されたロボットハンドと、
前記ロボットハンドが到達可能な位置にあって前記ワーク搬送用容器の前記上蓋と前記底板とを開閉する容器開閉機構と、を備えた搬送装置において、
前記ワーク搬送用容器は、前記上蓋に前記ワーク搬送用容器の側面から外側に突出する突出部を備え、
前記容器開閉機構は、前記突出部の下面を支持可能な固定棚と、前記底板の上面に当接可能な第１押下部材と、前記突出部の上面に当接可能な第２押下部材と、前記第１押下部材と前記第２押下部材とを昇降させる昇降機構部と、を備え、
前記搬送装置は、前記上蓋と前記底板とを分離させる際、前記ロボットハンドに前記底板が支持された状態の前記ワーク搬送用容器に対し、前記第１押下部材と前記第２押下部材を下降させ、前記突出部を前記第２押下部材と前記固定棚とで狭持し、前記底板を前記第１押下部材と前記ロボットハンドとで狭持しながら下降させることを特徴とする搬送装置。 A workpiece transport container provided with a bottom plate on which a workpiece is mounted and a top cover that covers the workpiece and accommodates the workpiece between the bottom plate and is separable from the bottom plate can be transported to a predetermined position. A robot hand configured to be movable up and down;
A container opening / closing mechanism that opens and closes the upper lid and the bottom plate of the workpiece conveying container at a position reachable by the robot hand;
The workpiece transfer container includes a protruding portion protruding outward from a side surface of the workpiece transfer container on the upper lid,
The container opening / closing mechanism includes a fixed shelf that can support the lower surface of the protruding portion, a first pressing member that can contact the upper surface of the bottom plate, and a second pressing member that can contact the upper surface of the protruding portion, An elevating mechanism for elevating and lowering the first pressing member and the second pressing member,
When the transport device separates the top lid and the bottom plate, the transport device lowers the first push-down member and the second push-down member with respect to the work transport container in a state where the bottom plate is supported by the robot hand. The transfer device is characterized in that the projecting portion is held between the second pressing member and the fixed shelf, and the bottom plate is lowered while being held between the first pressing member and the robot hand.

前記第１押下部材と前記第２押下部材は、１つの前記昇降機構部によって同時に昇降するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置。 The transport apparatus according to claim 1, wherein the first pressing member and the second pressing member are configured to be lifted and lowered simultaneously by a single lifting mechanism.

前記第２押下部材は、前記昇降機構部に対して、上下方向に撓み可能な板ばねを介して固定されていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。 The transport apparatus according to claim 2, wherein the second pressing member is fixed to the lifting mechanism part via a plate spring that can be bent in the vertical direction.

前記ロボットハンドと前記容器開閉機構とが気密な真空容器内に収容され、前記上蓋と前記底板とを分離させる作業が前記真空容器内で行われることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。 2. The transfer apparatus according to claim 1, wherein the robot hand and the container opening / closing mechanism are accommodated in an airtight vacuum container, and an operation of separating the upper lid and the bottom plate is performed in the vacuum container.

前記昇降機構部は、前記真空容器上面に対して固定される回転型モータと、前記回転型モータの回転軸に連結されたボールネジと、前記ボールネジのナット部に固定された昇降ベースと、前記昇降ベースを上下に精密に案内するリニアガイドと、前記昇降ベースに一端が固定され、前記真空容器の内部へ貫通するとともに他端に前記第１押下部材と前記第２押下部材とを支持する昇降シャフトと、前記真空容器の上面と前記昇降ベースとの間であって前記昇降シャフトを挿通させる真空ベローズと、で構成されることを特徴とする請求項４記載の搬送装置。 The elevating mechanism section includes a rotary motor fixed to the upper surface of the vacuum vessel, a ball screw connected to a rotary shaft of the rotary motor, an elevating base fixed to a nut portion of the ball screw, and the elevating mechanism A linear guide that accurately guides the base up and down, and an elevating shaft that has one end fixed to the elevating base, penetrates into the vacuum vessel, and supports the first and second depressing members at the other end And a vacuum bellows between the upper surface of the vacuum container and the lifting base and through which the lifting shaft is inserted.

請求項１記載の搬送装置を備え、前記ワークがレチクルであることを特徴とする半導体露光装置。 A semiconductor exposure apparatus comprising the transfer apparatus according to claim 1, wherein the workpiece is a reticle.