JP2010020749A - タッチスクリーンパネル及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】マスク数が低減され、工程が単純であり、感知パターンの反射率差が改善されたタッチスクリーンパネル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板１１と、透明基板上に形成され、第１方向に沿って連結されるように形成された複数の第１感知パターン（Ｘパターン）１２と、第１感知パターン上に形成された第１絶縁膜１３と、第１絶縁膜上に形成され、第２方向に沿って連結されるように形成され、第１感知パターンと重ならないように第１感知パターンと交互に配置された複数の第２感知パターン（Ｙパターン）１４と、を有し、第１感知パターン間のダミー領域と第２感知パターン間のダミー領域のうちの少なくとも１つに形成された複数のダミーパターンＤＸ、ＤＹを更に備える。
【選択図】図２

Description

本発明はタッチスクリーンパネル及びその製造方法に関し、特に、感知パターンの反射率差が改善されたタッチスクリーンパネル及びその製造方法に関する。

一般に、タッチスクリーンパネルは映像表示装置などの画面に現れた指示内容を人の手又は物体により選択してユーザの命令を入力できるようにした入力装置である。

そのために、タッチスクリーンパネルは映像表示装置の前面に備えられて人の手又は物体に直接接触した接触位置を電気的信号に変換する。これにより、接触位置で選択された指示内容が入力信号として受け入れられる。

このようなタッチスクリーンパネルは、キーボード及びマウスのように映像表示装置に連結されて動作する別途の入力装置に代えることができることから、その利用範囲が次第に広がっている傾向にある。

タッチスクリーンパネルを実現する方式としては、抵抗膜方式、光感知方式及び静電容量方式などが挙げられる。

そのうち、静電容量方式のタッチスクリーンパネルは、人の手又は物体が接触するとき、導電性感知パターンが周辺の他の感知パターン又は接地電極などと形成する静電容量の変化を感知することで、接触位置を電気的信号に変換する。

ここで、接触面での接触位置を正確に判断するために、感知パターンは第１方向に沿って連結されるように形成された第１感知パターン（Ｘパターン）と、第２方向に沿って連結されるように形成された第２感知パターン（Ｙパターン）とを含んで構成される。

大韓民国特許公開第２００８−００２０３１９号 大韓民国特許公開第２００８−００１８０４９号 大韓民国特許公開第２００７−００１１０１４号

しかし、このような第１及び第２感知パターンは、一般に同じレイヤに位置する。この場合、同じＸ又はＹラインに配列された感知パターンはこれらの上部の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して別途の連結パターンを形成することによって連結される。これにより、マスク数が増加し、工程が複雑になるおそれがある。

一方、タッチスクリーンパネルは、液晶表示パネルなどの表示パネルの上部に位置するものであり、表示パネルから放出される光はタッチスクリーンパネルを透過してユーザに到達するようになる。また、外部から入射される外光はタッチスクリーンパネル内の感知パターンにより反射される。従って、均一な映像を表示するためには感知パターンの反射率差を改善する必要がある。

そこで、本発明は、マスク数が低減され、工程が単純であり、感知パターンの反射率差が改善された、タッチスクリーンパネル及びその製造方法を提供しようとするものである。

本発明の第１の観点によれば、透明基板と、透明基板上に形成され、第１方向に沿って連結されるように形成された複数の第１感知パターン（Ｘパターン）と、第１感知パターン上に形成された第１絶縁膜と、第１絶縁膜上に形成され、第２方向に沿って連結されるように形成され、第１感知パターンと重ならないように第１感知パターンと交互に配置された複数の第２感知パターン（Ｙパターン）とを有し、第１感知パターン間のダミー領域と第２感知パターン間のダミー領域のうちの少なくとも１つに形成された複数のダミーパターンを更に備えることを特徴とするタッチスクリーンパネルが提供される。

ここで、上記ダミーパターンは、第１感知パターンと同じ物質で透明基板上に形成され、第２感知パターンと重なるように第２感知パターンの下部に配置されることができる。また、上記ダミーパターンは、第２感知パターンと同じ物質で第１絶縁膜上に形成され、第１感知パターンと重なるように第１感知パターンの上部に配置されることができる。そして、上記ダミーパターンはそれぞれが分離されたパターンを有することができる。

更に、上記ダミーパターンは、第１感知パターン間のダミー領域に配置されるように透明基板上に形成された複数の第１ダミーパターンと、第２感知パターン間のダミー領域に配置されるように第１絶縁膜上に形成された複数の第２ダミーパターンを備えることができる。ここで、上記第１ダミーパターンは第２感知パターンと重なるように配置され、第２ダミーパターンは第１感知パターンと重なるように配置され、透明基板及び第１絶縁膜上に交互に配置された第１及び第２ダミーパターンはその縁部領域の一部が互いに重なるように形成されることができる。

本発明の第２の観点によれば、透明基板上に第１方向に沿って連結される複数の第１感知パターン（Ｘパターン）を形成する段階と、第１感知パターン上に第１絶縁膜を形成する段階と、第１絶縁膜上に第２方向に沿って連結されるように形成され、第１感知パターンと重ならないように配置される複数の第２感知パターン（Ｙパターン）を形成する段階とを含み、第１感知パターンを形成する段階と第２感知パターンを形成する段階のうちの少なくとも１つの段階で、第１感知パターン間のダミー領域と第２感知パターン間のダミー領域のうちの少なくとも１つに複数のダミーパターンを更に形成することを特徴とするタッチスクリーンパネルの製造方法が提供される。

また、上記第１及び第２感知パターンを形成する各段階で、透明基板及び第１絶縁膜上の第１及び第２感知パターン間のダミー領域にそれぞれダミーパターンを形成し、透明基板及び第１絶縁膜上にそれぞれ交互に配置されたダミーパターンの縁部領域の一部が互いに重なるように形成できる。

以上説明したように本発明によれば、第１方向に沿って連結される第１感知パターンと第２方向に沿って連結される第２感知パターンを互いに異なるレイヤに配置する。これにより、マスク数を低減させ、工程を単純化できるという効果を奏する。

また、第１感知パターン間のダミー領域及び／又は第２感知パターン間のダミー領域にダミーパターンを形成する。これにより、第１及び第２感知パターンが互いに異なるレイヤに配置されることによる感知パターンの反射率差を改善できる。

本発明の実施形態に係る感知パターンの配置を示す平面図である。 本発明の一実施形態に係るタッチスクリーンパネルの分解平面図である。 図２に示したタッチスクリーンパネルの結合平面図である。 図２に示したタッチスクリーンパネルの要部結合断面図である。 図４に示したタッチスクリーンパネルの製造方法を順次示す断面図である。 図４に示したタッチスクリーンパネルの製造方法を順次示す断面図である。 図４に示したタッチスクリーンパネルの製造方法を順次示す断面図である。 図４に示したタッチスクリーンパネルの製造方法を順次示す断面図である。 図４に示したタッチスクリーンパネルの製造方法を順次示す断面図である。 本発明の他の実施形態に係るタッチスクリーンパネルの分解平面図である。 本発明の他の実施形態に係るタッチスクリーンパネルの分解平面図である。 本発明のもう１つの実施形態に係るタッチスクリーンパネルの分解平面図である。 図７に示したタッチスクリーンパネルの要部結合断面図である。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

また、１つの構成要素が他の構成要素と「接触している（ｏｎ）」ということはそれがその他の構成要素と直接接触するか、１つ以上の要素を２つの間に介在させて間接的に接触していることを意味する。また、ある要素が他の要素に「結合されている」ということは、それがその他の要素に直接的に連結されているか、１つ以上の要素を２つの要素間に介在させて間接的に連結されていることを意味する。

図１は、本発明の実施形態に係る感知パターンの配置を示す平面図である。

図１を参照すれば、本発明の実施形態に係る感知パターンは、互いに交互に配置され、Ｘ座標が同一である１つの列又はＹ座標が同一である１つの行単位で互いに連結されるように形成された第１及び第２感知パターン１２、１４を備える。

例えば、第１感知パターン１２は、第１方向（列方向）に沿ってＸ座標が同一である１つの列に配置された感知パターン同士が互いに連結されるように形成された多数のＸパターンで構成されることができる。そして、第２感知パターン１４は、第２方向（行方向）に沿ってＹ座標が同一である１つの行に配置された感知パターン同士が互いに連結されるように形成された多数のＹパターンで構成されることができる。

但し、本発明で第１感知パターン１２と第２感知パターン１４はそれぞれ互いに異なるレイヤに配置される。例えば、第１感知パターン１２は下部レイヤに位置し、第２感知パターン１４は上部レイヤに位置し得る。そして、これらの間には図示していない絶縁膜が介在される。

前述したように、第１感知パターン１２と第２感知パターン１４を互いに異なるレイヤに配置すれば、第１感知パターン１２をパターニングすると同時に同じ列に位置する第１感知パターン１２を互いに連結できる。そして、第２感知パターン１４をパターニングすると同時に同じ行に位置する第２感知パターン１４を互いに連結できる。

従って、別途のコンタクトホール及び連結パターンを形成する過程を省略でき、マスク数が低減され、工程が単純化される。

図２は、本発明の一実施形態に係るタッチスクリーンパネルの分解平面図であり、図３は、図２に示したタッチスクリーンパネルの結合平面図である。

図２〜図３を参照すれば、本発明の一実施形態に係るタッチスクリーンパネル１０は、透明基板１１と、透明基板１１上に順次形成された第１感知パターン１２、第１絶縁膜１３、第２感知パターン１４、金属パターン１５及び第２絶縁膜１６を備える。ここで、第１感知パターン１２間のダミー領域と第２感知パターン１４間のダミー領域には多数のダミーパターンＤＸ、ＤＹが形成される。

第１感知パターン１２は、透明基板１１の一面上に第１方向に沿って連結されるように形成される。例えば、第１感知パターン１２は、透明基板１１の上部面上にダイヤパターンのように規則的なパターンで密接して形成され、Ｘ座標が同一である１つの列に位置する第１感知パターン１２同士が互いに連結されるように形成された多数のＸパターンで構成されることができる。ここで、第１感知パターン１２の形状はダイヤ状に限定されず、感知パターンが密接し得る多様な形状として実現されることができる。

そして、第１感知パターン１２は列単位で金属パターン１５と電気的に連結され得るようにパッド１２ａを備える。第１感知パターン１２のパッド１２ａは列単位で上、下側に交互に備えられるか、又は上側又は下側のいずれか一側に備えられるか、或いは上、下側の両方に備えられることができる。

但し、第１感知パターン１２は、第２感知パターン１４と重なる領域には形成されない。そして、第１感知パターン１２間のダミー領域、即ち、第２感知パターン１４と重なる領域を含む透明基板１１上のダミー領域にはＸダミーパターンＤＸ（第１ダミーパターン）が形成される。

このような第１感知パターン１２とＸダミーパターンＤＸは同じ工程段階で互いに同じ物質で形成される。このとき、タッチスクリーンパネル１０の下部に配置される表示パネル（図示せず）などから放出される光がタッチスクリーンパネル１０を透過できるように第１感知パターン１２とＸダミーパターンＤＸは透明電極物質で形成される。例えば、第１感知パターン１２とＸダミーパターンＤＸは１００〜３００Å厚さのインジウム−スズ−オキサイド（以下、ＩＴＯ）パターンで形成されることができる。

第１絶縁膜１３は、第１感知パターン１２及びＸダミーパターンＤＸ上にこれらをカバーするように形成される。例えば、第１絶縁膜１３は第１感知パターン１２及びＸダミーパターンＤＸ上に４００〜１０００Åの厚さで形成されることができる。

第２感知パターン１４は、第１絶縁膜１３上に第２方向に沿って連結されるように形成され、第１感知パターン１２と重ならないように前記第１感知パターン１２と交互に配置される。例えば、第２感知パターン１４は第１感知パターン１２と同じダイヤパターンで互いに密接するように形成され、Ｙ座標が同一である１つの行に位置する第２感知パターン１４同士が互いに連結されるように形成された多数のＹパターンで構成されることができる。

そして、第２感知パターン１４は、行単位で金属パターン１５と電気的に連結され得るようにパッド１４ａを備える。第２感知パターン１４のパッド１４ａは行単位で左、右側に交互に備えられるか、又は左側又は右側のいずれか一側に備えられるか、或いは左、右側の両方に備えられることができる。

但し、第２感知パターン１４間のダミー領域、即ち、第１感知パターン１２と重なる領域を含む第１絶縁膜１３上のダミー領域にはＹダミーパターンＤＹ（第２ダミーパターン）が形成される。

このような第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹは、同じ工程段階で互いに同じ物質で形成される。例えば、第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹは第１感知パターン１２及びＸダミーパターンＤＸと同じ透明電極物質で形成されることができる。例えば、第２感知パターン１４とＹダミーパターンＤＹは１００〜３００Å厚さのＩＴＯパターンで形成されることができる。

金属パターン１５は、第１及び第２感知パターン１２、１４が形成される領域の縁部領域、特に、第１及び第２感知パターン１２、１４のパッド１２ａ、１４ａと対応する領域に配置される。このような金属パターン１５は１つの列又は行単位の感知パターン１２、１４をそれぞれ位置検出ライン（図示せず）と電気的に連結して図示していない駆動回路などに接触位置検出信号が供給されるようにする。

第２絶縁膜１６は、第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹ上にこれらをカバーするように形成される。例えば、第２絶縁膜１６は第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹ上に４００〜１０００Åの厚さで形成されることができる。このような第２絶縁膜１６は製品設計によって省略することもできる。

前述したようなタッチスクリーンパネル１０の各構成要素が図３に示すように、結合されている状態で人の手又は物体がタッチスクリーンパネル１０に接触すれば、第１及び第２感知パターン１２、１４、金属パターン１５及び位置検出ラインを経由して駆動回路側に接触位置による静電容量の変化が伝達される。そして、Ｘ及びＹ入力処理回路（図示せず）などにより静電容量の変化が電気的信号に変換されることによって接触位置が把握される。

前述したようなタッチスクリーンパネル１０において、Ｘ及びＹダミーパターンＤＸ、ＤＹはそれぞれが分離されたパターンを有し、接触位置を感知するなどの機能を有していない。

しかしながら、ＸダミーパターンＤＸは第２感知パターン１４と重なるように第２感知パターン１４の下部に配置され、ＹダミーパターンＤＹは第１感知パターン１２と重なるように第１感知パターン１２の上部に配置される。これにより、第１及び第２感知パターン１２、１４が互いに異なるレイヤに配置されることによる感知パターン１２、１４の反射率差を改善できる。これについての更に詳細な説明は図４を参照して後述する。

図４は、図２に示したタッチスクリーンパネルの要部結合断面図である。図４を説明するとき、図２〜図３と同じ部分には同一符号を付し、これについての詳細な説明は省略する。

図４を参照すれば、第１感知パターン１２間のダミー領域には第２感知パターン１４と対応するようにＸダミーパターンＤＸが形成されると共に、第２感知パターン１４間のダミー領域には第１感知パターン１２と対応するようにＹダミーパターンＤＹが形成される。

これにより、第１感知パターン１２が形成されるレイヤと第２感知パターン１４が形成されるレイヤが互いに対応する類似のパターンを含むようになる。従って、タッチスクリーンパネル１０に同じ入射角で入射された光は殆ど同じ程度に反射（又は透過）する。

また、図４ではタッチスクリーンパネル１０に入射された外光が上部の第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹによって反射する経路のみを示したが、第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹを透過した光も第１感知パターン１２及びＸダミーパターンＤＸによって同じ程度に反射する。

更に、タッチスクリーンパネル１０の下部、例えば、液晶表示パネルなどの表示パネル（図示せず）からの光がタッチスクリーンパネル１０に入射する時もダミーパターンＤＸ、ＤＹによって第１感知パターン１２及び第２感知パターン１４が形成された領域の両方で同じ程度に反射及び透過する。

即ち、本実施形態のように、ＸダミーパターンＤＸ及びＹダミーパターンＤＹを形成することによって、感知パターン１２、１４の反射率差を改善できる。これにより、均一な映像を表示できる。

一方、感知パターン１２、１４とダミーパターンＤＸ、ＤＹが形成された透明基板１１の一面と反対となる他側面、例えば、透明基板１１の下部面には透明接地電極１７と、透明接地電極１７をカバーする第３絶縁膜１８が更に形成されることができる。但し、透明接地電極１７及び／又は第３絶縁膜１８は製品設計によって省略されることも可能である。

透明接地電極１７は、タッチスクリーンパネル１０と表示パネルなどの間で安全性を確保するのに利用されることができ、タッチスクリーンパネル１０の設計方式によっては第１及び第２感知パターン１２、１４との間で静電容量の形成にも利用されることができる。

即ち、静電容量のタッチスクリーンパネル１０において、接触位置を感知するために第１感知パターン１２と第２感知パターン１４との間の静電容量が利用されるか、或いは第１及び第２感知パターン１２、１４と透明接地電極１７との間の静電容量が利用されることができ、これは多様な実施形態の変更を可能とする。

図５Ａ〜図５Ｅは、図４に示したタッチスクリーンパネルの製造方法を順次示す断面図である。

まず、図５Ａを参照すれば、透明基板１１の上部にＩＴＯのような透明電極物質を成膜した後、パターニングして第１感知パターン１２及びＸダミーパターンＤＸを形成する。ここで、第１感知パターン１２及びＸダミーパターンＤＸのパターンを明確に示すために、第１感知パターン１２の連結部を図示してはいないが、第１感知パターン１２は第１方向（例えば、列方向）に沿って連結されるようにパターニングされる。ここで、ＸダミーパターンＤＸは第１感知パターン１２間のダミー領域に形成される。

その後、図５Ｂに示すように、第１感知パターン１２及びＸダミーパターンＤＸ上にプリンティング技法を用いて第１絶縁物質をプリントし、焼成して第１絶縁膜１３を形成する。一方、第１絶縁膜１３をプリンティング技法で形成するのは１つの実施形態に過ぎず、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、第１絶縁膜１３はＣＶＤやスパッタリングなどを通じても形成されることができることはもちろんである。

その後、図５Ｃに示すように、第１絶縁膜１３上にＩＴＯのような透明電極物質を成膜した後、パターニングして第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹを形成する。ここで、第２感知パターン１４は第１感知パターン１２と重ならないようにＸダミーパターンＤＸ上に配置される（但し、第２感知パターン１４の連結部は除外され得る）。そして、ＹダミーパターンＤＹは第２感知パターン１４間のダミー領域に形成され、第１感知パターン１２と重なるように第１感知パターン１２上に配置される（但し、第１感知パターン１２の連結部とは重ならないこともある）。このとき、図示してはいないが、第２感知パターン１４は第２方向（例えば、行方向）に沿って連結されるようにパターニングされる。

一方、第２感知パターン１４及びＹダミーパターンＤＹを形成した後は、モリブデン／アルミニウム／モリブデンの３重膜又はクロム膜などのように透明電極物質より面抵抗が低い低抵抗材料を用いて図２〜図３に示す金属パターン１５が形成される。

その後、図５Ｄに示すように、第２感知パターン１４、ＹダミーパターンＤＹ及び金属パターン（図２〜図３の１５）上にプリンティング技法、ＣＶＤ又はスパッタリングなどを用いて第２絶縁物質をプリントし、焼成して第２絶縁膜１６を形成する。

その後、図５Ｅに示すように、透明基板１１の下部面に透明接地電極１７を全面的に成膜すると共に、プリンティング技法、ＣＶＤ又はスパッタリングなどを用いて透明接地電極１７をカバーするように第３絶縁膜１８を形成する。

一方、図２〜図５Ｅを参照して前述した本発明の一実施形態では、第１感知パターン１２間のダミー領域及び第２感知パターン１４間のダミー領域にＸ及びＹダミーパターンＤＸ、ＤＹをいずれも形成したが、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、図６Ａに示すように、第１感知パターン１２間のダミー領域にのみＸダミーパターンＤＸが形成されてもよく、図６Ｂに示すように、第２感知パターン１４間のダミー領域にのみＹダミーパターンＤＹが形成されてもよい。

この場合、第１及び第２感知パターン１２、１４は互いに異なる透明電極物質で形成されることができ、Ｘ又はＹダミーパターンＤＸ、ＤＹは感知パターン１２、１４の反射率差を改善するために選択的に第１感知パターン１２の間又は第２感知パターン１４の間に配置されることができる。

図７は、本発明のもう１つの実施形態に係るタッチスクリーンパネルの分解平面図であり、図８は、図７に示したタッチスクリーンパネルの要部結合断面図である。図７〜図８を説明するとき、前述した実施形態と同じ部分についての詳細な説明は省略する。

図７〜図８を参照すれば、Ｘ及びＹダミーパターンＤＸ’、ＤＹ'はそれぞれ第１感知パターン１２及び第２感知パターン１４により隣接するように拡張されて形成される。例えば、Ｘ及びＹダミーパターンＤＸ’、ＤＹ'はそれぞれ第１感知パターン１２及び第２感知パターン１４との間隔が５〜２０μｍとなるように形成されることができる。このとき、第１及び第２感知パターン１２、１４の連結部周辺では前記連結部の形状に沿ってＸ及びＹダミーパターンＤＸ’、ＤＹ’の形状が変更され得る。

この場合、図８に示すように、透明基板１１及び第１絶縁膜１３上にそれぞれ交互に配置されたＸダミーパターンＤＸ'とＹダミーパターンＤＹ'の縁部領域の一部が互いに重なり得る。これにより、平面上で第１及び第２感知パターン１２、１４とＸ及びＹダミーパターンＤＸ’、ＤＹ'間のライン形状のギャップがユーザに認識されることによる画質の低下を防止できる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

１０、１０’、１０’’、１０’’’ タッチスクリーンパネル
１１ 透明基板
１２ 第１感知パターン（Ｘパターン）
１２ａ、１４ａ パッド
１３ 第１絶縁膜
１４ 第２感知パターン（Ｙパターン）
１５ 金属パターン
１６ 第２絶縁膜
１７ 透明接地電極
１８ 第３絶縁膜
ＤＸ、ＤＸ’ 第１ダミーパターン
ＤＹ、ＤＹ’ 第２ダミーパターン

Claims (12)

1. 透明基板と、
   前記透明基板上に形成され、第１方向に沿って連結されるように形成された複数の第１感知パターン（Ｘパターン）と、
   前記第１感知パターン上に形成された第１絶縁膜と、
   前記第１絶縁膜上に形成され、第２方向に沿って連結されるように形成され、前記第１感知パターンと重ならないように前記第１感知パターンと交互に配置された複数の第２感知パターン（Ｙパターン）と、
   を有し、
   前記第１感知パターン間のダミー領域と前記第２感知パターン間のダミー領域のうちの少なくとも１つに形成された複数のダミーパターンを更に備えることを特徴とする、タッチスクリーンパネル。
2. 前記ダミーパターンは前記第１感知パターンと同じ物質で前記透明基板上に形成され、前記第２感知パターンと重なるように前記第２感知パターンの下部に配置されることを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
3. 前記ダミーパターンは前記第２感知パターンと同じ物質で前記第１絶縁膜上に形成され、前記第１感知パターンと重なるように前記第１感知パターンの上部に配置されることを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
4. 前記ダミーパターンは、それぞれが分離されたパターンを有することを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
5. 前記ダミーパターンは、前記第１感知パターン間のダミー領域に配置されるように前記透明基板上に形成された複数の第１ダミーパターンと、前記第２感知パターン間のダミー領域に配置されるように前記第１絶縁膜上に形成された複数の第２ダミーパターンとを備えることを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
6. 前記第１ダミーパターンは前記第２感知パターンと重なるように配置され、前記第２ダミーパターンは前記第１感知パターンと重なるように配置され、
   前記透明基板及び第１絶縁膜上に交互に配置された第１及び第２ダミーパターンはその縁部領域の一部が互いに重なるように形成されることを特徴とする、請求項５に記載のタッチスクリーンパネル。
7. 前記第１及び第２感知パターンと前記ダミーパターンは、透明電極物質で形成されることを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
8. 前記第１及び第２感知パターンのそれぞれは、Ｘ座標が同一である１つの列又はＹ座標が同一である１つの行単位で互いに連結されるように形成され、
   前記第１及び第２感知パターンが形成される領域の縁部に配置されて前記１つの列又は行単位の感知パターンを位置検出ラインと電気的に連結する複数の金属パターンを更に備えることを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
9. 前記第２感知パターン上に形成された第２絶縁膜、前記透明基板の下部面に形成された透明接地電極、及び前記透明基板の下部面に形成された第３絶縁膜のうちの少なくとも１つを更に備えることを特徴とする、請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
10. 透明基板上に第１方向に沿って連結される複数の第１感知パターン（Ｘパターン）を形成する段階と、
    前記第１感知パターン上に第１絶縁膜を形成する段階と、
    前記第１絶縁膜上に第２方向に沿って連結されるように形成され、前記第１感知パターンと重ならないように配置される複数の第２感知パターン（Ｙパターン）を形成する段階と
    を含み、
    前記第１感知パターンを形成する段階と前記第２感知パターンを形成する段階のうちの少なくとも１つの段階で、前記第１感知パターン間のダミー領域と前記第２感知パターン間のダミー領域のうちの少なくとも１つに複数のダミーパターンを更に形成することを特徴とする、タッチスクリーンパネルの製造方法。
11. 前記第１及び第２感知パターンを形成する各段階で、前記透明基板及び第１絶縁膜上の前記第１及び第２感知パターン間のダミー領域にそれぞれ前記ダミーパターンを形成し、
    前記透明基板及び第１絶縁膜上にそれぞれ交互に配置された前記ダミーパターンの縁部領域の一部が互いに重なるように形成することを特徴とする、請求項１０に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
12. 前記第２感知パターン上に第２絶縁膜を形成する段階を更に含むことを特徴とする、請求項１０に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
    

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