JP2010014696A - Defect inspecting device of liquid crystal panel - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect inspecting device of a liquid crystal panel capable of automatically and surely detecting a defective dot on a liquid crystal panel. <P>SOLUTION: This defect inspecting device includes an image capture 4 that is constituted in such a manner that after a pressing means 2 is moved to a portion to be inspected on a surface of a liquid crystal panel 10 in an operating state, a predetermined pressure that can represent a defective dot around the portion is applied to the portion and an image of an area around the portion applied with the predetermined pressure is captured so as to output an electronic signal. The electronic signal is analyzed and is processed so as to automatically detect the position and the level of a defective dot and the number of defective dots. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶パネルの欠陥検査装置に関し、特に、液晶パネルにあるドット落ちを見つけることができる液晶パネルの欠陥検査装置に関する。   The present invention relates to a defect inspection apparatus for a liquid crystal panel, and more particularly, to a defect inspection apparatus for a liquid crystal panel that can find a dot drop in a liquid crystal panel.

液晶ディスプレイのパネルは、非常に清浄に保たれている環境の下で、高度な品質管理のもとに製造されるが、確率によって一定割合の機能不良が生じることは避けられない。このような不良には、配線が断線したりショートして表示画面のライン状の不良になったりするものや、表示ムラになるものなど、多くの種類がある。これらの不良のうち、画素単位が制御を受けずに常時に点灯状態にある輝点や、常時に非点灯状態にある黒点など、画素単位で生じる不良は、総じてドット落ちと呼ばれている。   The panel of the liquid crystal display is manufactured under a high quality control under an environment kept very clean, but it is inevitable that a certain percentage of malfunctions occur depending on the probability. There are many types of such defects, such as those in which the wiring is broken or short-circuited, resulting in a line-shaped defect on the display screen, and those that cause display unevenness. Among these defects, defects that occur on a pixel basis, such as a bright spot that is always lit without being controlled by the pixel unit and a black spot that is always unlit, are generally referred to as dot dropping.

液晶ディスプレイパネルに生じる各種のドット落ちの中に、常時異常状態にある見つけやすいものと、一時的に発生する配線のショートにより生じる一時的なものがある。この一時的に発生するドット落ちを見つけ出すには、液晶パネルを駆動させてからその表面を軽く押圧することにより、その押圧した箇所周辺配線のショートを意図的に発生させ、ドット落ちを発現させることができる。   Among various types of dot drops that occur on a liquid crystal display panel, there are ones that are easy to find that are always in an abnormal state, and ones that are temporarily caused by short-circuiting of wiring. In order to find this temporarily occurring dot drop, drive the liquid crystal panel and then lightly press the surface to intentionally generate a short circuit around the pressed area and cause the dot drop to occur. Can do.

従って、完成した液晶パネルを検査する時、このような常時のドット落ちや、一時的なドット落ちを見つけ出すため、従来では、指で駆動した後の液晶パネルの表面を軽く押圧してから、肉眼で押圧した箇所周辺にドット落ちが出現するか否かを確認する人工的な検査方法を使用している。   Therefore, when inspecting a completed liquid crystal panel, in order to find such a regular drop or temporary drop of dots, conventionally, after lightly pressing the surface of the liquid crystal panel after being driven with a finger, An artificial inspection method is used to check whether or not a dot drop appears in the vicinity of the portion pressed in step (1).

しかし、このような人工的な検査方法を使用するには、人件費がかかり、そして人力による検査のクォリティはコントロールし難い。更に、検査作業は生産ラインの近くで行わなければならず、検査人員の安全問題も考慮に入れなければならない。   However, using such an artificial inspection method is labor intensive and the quality of human inspection is difficult to control. In addition, the inspection work must be performed near the production line and the safety issues of the inspection personnel must be taken into account.

従って、本発明は液晶パネルにあるドット落ちを自動的に検出することができる欠陥検査装置の提供を目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a defect inspection apparatus capable of automatically detecting dot drop in a liquid crystal panel.

上記目的を達成すべく、本発明は押圧手段を検査しようとする駆動中の液晶パネルの表面にある予定箇所に移動してから、該予定箇所の周辺にあるドット落ちを発現させ得る所定圧力で押圧することができるように構成されていることを特徴とする液晶パネルの欠陥検査装置を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention moves to a predetermined location on the surface of the liquid crystal panel being driven to inspect the pressing means, and then at a predetermined pressure capable of expressing dot drop around the predetermined location. Provided is a defect inspection apparatus for a liquid crystal panel, characterized in that it can be pressed.

また、本発明は前記押圧手段の前記所定圧力で押圧している箇所周辺の映像を撮って電子信号として出力することができるように構成されたイメージキャプチャーを更に備えていることを特徴とする液晶パネルの欠陥検査装置をも提供する。   In addition, the present invention further includes an image capture configured to take an image around a portion pressed by the predetermined pressure of the pressing means and output it as an electronic signal. A panel defect inspection system is also provided.

上記構成によれば、本発明はドット落ちを発現させる所定圧力で駆動中の液晶パネルの表面を押圧することができる押圧手段を備えているので、人力を用いることなく、液晶パネルのいずこにあるかもしれないドット落ちを自動且つ確実に発現させることができる。   According to the above configuration, since the present invention includes the pressing means that can press the surface of the liquid crystal panel being driven with a predetermined pressure that causes dot dropping, the liquid crystal panel can be used without using human power. It is possible to automatically and surely cause dot dropouts that may be present.

また、本発明は押圧手段により押圧される箇所周辺の映像を撮って電子信号として出力することができるイメージキャプチャーを更に備えているので、肉眼によらず、該電子信号の分析や処理で、ドット落ちの場所や度合い、数量を自動的に検出することができる。   In addition, since the present invention further includes an image capture that can take an image around a place pressed by the pressing means and output the image as an electronic signal, the dot can be analyzed and processed by the electronic signal regardless of the naked eye. It is possible to automatically detect the location, degree, and quantity of the drop.

本発明の好ましい実施形態の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of preferable embodiment of this invention. 本発明における押圧用移動手段の構成を示す一部斜視図である。It is a partial perspective view which shows the structure of the moving means for a press in this invention. 本発明におけるイメージキャプチャーの構成例を示す一部側面図である。It is a partial side view which shows the structural example of the image capture in this invention. 本発明におけるイメージキャプチャーの構成例を示す一部側面図である。It is a partial side view which shows the structural example of the image capture in this invention.

以下は図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、上記のように、本発明は押圧手段２を駆動中の液晶パネルの表面にある予定箇所に移動してから、該予定箇所の周辺にあるドット落ちを発現させる所定圧力で押圧することができるように構成されていることを特徴とする液晶パネルの欠陥検査装置であり、図１に示すように、本発明の好ましい実施形態では、その上面に長方形に形成されていて凹陥するように形成された液晶パネル載置面１０を有する載置台を有し、該液晶パネル載置面１０に載置される駆動中の液晶パネルに対して検査を行うように構成されている。   First, as described above, in the present invention, the pressing means 2 is moved to a predetermined location on the surface of the liquid crystal panel being driven, and then pressed with a predetermined pressure that causes dot dropping around the planned location. In the preferred embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, in the preferred embodiment of the present invention, it is formed in a rectangular shape and is formed to be recessed. The liquid crystal panel mounting surface 10 has a mounting table, and the liquid crystal panel being driven mounted on the liquid crystal panel mounting surface 10 is inspected.

ここで、液晶パネルの表面を破壊することなく、且つ効果的に潜在するドット落ちを発現させることができる理想的な所定圧力は、５００〜１５００ｇ／ｃｍ２の範囲内に限定することが好ましい。 Here, it is preferable to limit the ideal predetermined pressure within the range of 500 to 1500 g / cm 2 so that the latent dot drop can be effectively expressed without destroying the surface of the liquid crystal panel.

また、液晶パネル載置面１０に載置される液晶パネルの駆動方法については、例えば本発明の欠陥検査装置を、プローブユニットを備えている発光検査システム（lighting inspection system）に乗せて電気的に接続させることによって液晶パネルを駆動することができる。また、押圧検査は、液晶パネルの画面全体に白、赤、緑、青、黒などの各種の色を表示させるように駆動する状態において行い、各種類のドット落ちを検査する。   As for the method of driving the liquid crystal panel placed on the liquid crystal panel placement surface 10, for example, the defect inspection apparatus of the present invention is mounted on a light emission inspection system equipped with a probe unit and electrically The liquid crystal panel can be driven by connecting them. In addition, the press inspection is performed in a state in which various colors such as white, red, green, blue, and black are displayed on the entire screen of the liquid crystal panel, and each type of dot drop is inspected.

図１及び図２に示すように、押圧手段２を移動する押圧用移動手段３は、液晶パネル載置面１０の長辺と平行するＸ方向に沿って、液晶パネル載置面１０の隣りに延在している第１のレール３１１と、該第１のレール３１１の上に往復に駆動されることができるように配置構成されている第１の移動ブロック３１２とからなる第１の移動機構３１と、第１の移動ブロック３１２に取付けられる上、液晶パネル載置面１０の短辺と平行するＹ方向に沿って延伸している第２のレール３２１と、該第２のレール３２１に沿って往復に駆動されることができるように配置構成されている第２の移動ブロック３２２とからなる第２の移動機構３２とを有している。   As shown in FIGS. 1 and 2, the pressing moving unit 3 that moves the pressing unit 2 is adjacent to the liquid crystal panel mounting surface 10 along the X direction parallel to the long side of the liquid crystal panel mounting surface 10. A first moving mechanism comprising an extending first rail 311 and a first moving block 312 arranged to be reciprocally driven on the first rail 311 31, a second rail 321 attached to the first moving block 312, and extending along the Y direction parallel to the short side of the liquid crystal panel mounting surface 10, and along the second rail 321 And a second moving mechanism 32 including a second moving block 322 arranged to be reciprocally driven.

この構成により、第１の移動機構３１は押圧手段２をＸ方向に沿って往復動させることができ、そして第２の移動機構３２は押圧手段２をＹ方向に沿って往復動させることができるようになり、該第１の移動機構３１と第２の移動機構３２を同時に作動させると、押圧手段２を液晶パネル載置面１０の上方にある所定の平面上に自在に動かすことができる。   With this configuration, the first moving mechanism 31 can reciprocate the pressing means 2 along the X direction, and the second moving mechanism 32 can reciprocate the pressing means 2 along the Y direction. Thus, when the first moving mechanism 31 and the second moving mechanism 32 are operated simultaneously, the pressing means 2 can be freely moved on a predetermined plane above the liquid crystal panel mounting surface 10.

押圧手段２は、液晶パネル載置面１０に載置されている液晶パネルの前記予定箇所に接触して押圧する押圧部２１と、第２の移動ブロック３２２に取付けられ、且つ、該第２の移動ブロック３２２に対して、液晶パネル載置面１０と直交するＺ方向に沿って往復に駆動されることができるように配置構成されている作動部２２と、作動部からＹ方向に沿って液晶パネル載置面１０の上方まで延伸し、且つ先端に押圧部２１が取付けられている延伸バー２３とを備えている。即ち、作動部２２は押圧部２１を前記予定箇所に押圧したりまたはそこから離間したりするように作動させることが出来、そして作動部２２と押圧部２１の間には、延伸バー２３が介在している。   The pressing means 2 is attached to the pressing portion 21 that presses in contact with the predetermined portion of the liquid crystal panel placed on the liquid crystal panel placement surface 10, the second moving block 322, and the second moving block 322. The moving unit 322 is configured to be reciprocally driven along the Z direction orthogonal to the liquid crystal panel mounting surface 10 with respect to the moving block 322, and the liquid crystal is moved along the Y direction from the operating unit. A stretching bar 23 that extends to above the panel mounting surface 10 and has a pressing portion 21 attached to the tip thereof is provided. That is, the actuating part 22 can be actuated so as to press the pressing part 21 against or away from the predetermined place, and the extending bar 23 is interposed between the actuating part 22 and the pressing part 21. is doing.

ここで、作動部２２は、第２の移動ブロック３２２に取付けられていてＺ方向に沿って延伸する押圧レール２２１と、押圧レール２２１に沿って往復に駆動されることができるように配置構成されている押圧移動ブロック２２２とからなり、延伸バー２３は押圧移動ブロック２２２に取付けられている。   Here, the operating portion 22 is disposed and configured so as to be reciprocally driven along the pressing rail 221 and the pressing rail 221 that is attached to the second moving block 322 and extends along the Z direction. The extending bar 23 is attached to the pressing / moving block 222.

ちなみに、この実施形態において押圧部２１の液晶パネルの表面に押圧する部分は、球面形に形成されているが、検査する液晶パネルに応じて、針先形に形成することもできる。   Incidentally, in this embodiment, the portion of the pressing portion 21 that presses against the surface of the liquid crystal panel is formed in a spherical shape, but can also be formed in a needle tip shape according to the liquid crystal panel to be inspected.

また、本実施形態では、押圧手段２の前記所定圧力で押圧している箇所周辺の映像を撮って電子信号として出力することができるように構成されたイメージキャプチャー４と、イメージキャプチャー４が押圧手段２の前記所定圧力で押圧している箇所周辺の映像を撮れるように、押圧用移動手段３の作動に応じて、イメージキャプチャー４を移動するイメージキャプチャー移動手段５とを更に備えている。   Moreover, in this embodiment, the image capture 4 comprised so that the image | video around the location pressed by the said predetermined pressure of the press means 2 can be taken and it can output as an electronic signal, and the image capture 4 is a press means. 2 further includes an image capture moving means 5 for moving the image capture 4 in accordance with the operation of the pressing moving means 3 so that an image around the portion pressed by the predetermined pressure 2 can be taken.

イメージキャプチャー４としては、ＣＣＤエリアイメージセンサーや、ＣＭＯＳイメージセンサーアレイなどを用いることができる。   As the image capture 4, a CCD area image sensor, a CMOS image sensor array, or the like can be used.

イメージキャプチャー移動手段５は、液晶パネル載置面１０の長手方向上の両側にそれぞれ設けられている前、後二つの設置台５３０、５３０と、該二つの設置台５３０、５３０にそれぞれ配置されてＹ方向に沿って延在している一対の第３のレール５３１、５３１と、該二つの設置台５３０、５３０に跨って、且つ、該一対の第３のレール５３１、５３１に案内されてＹ方向に往復に駆動されることができるように配置構成されている第３の移動ブロック５３２とからなる第３の移動機構５３と、第３の移動ブロック５３２に取付けられてＺ方向に沿って延伸している第４のレール５４１と、該第４のレール５４１に沿って往復に駆動されることができるように配置構成されている第４の移動ブロック５４２とからなる第４の移動機構５４と、第４の移動ブロック５４２に取付けられてＸ方向に沿って延伸している第５のレール５５１と、該第５のレール５５１に沿って往復に駆動されることができるように配置構成されている第５の移動ブロック５５２とからなる第５の移動機構５５との計３つの移動機構を備えており、イメージキャプチャー４は、第５の移動ブロック５５２に取付けられている。   The image capture moving means 5 are arranged on the two front and rear installation bases 530 and 530 and the two installation bases 530 and 530, respectively, provided on both sides of the liquid crystal panel mounting surface 10 in the longitudinal direction. A pair of third rails 531 and 531 extending along the Y direction and the two installation bases 530 and 530 are straddled and guided to the pair of third rails 531 and 531. A third moving mechanism 53 comprising a third moving block 532 arranged so as to be reciprocally driven in the direction, and attached to the third moving block 532 and extending along the Z direction A fourth moving mechanism 54 including a fourth rail 541 and a fourth moving block 542 arranged to be reciprocally driven along the fourth rail 541. A fifth rail 551 attached to the fourth moving block 542 and extending along the X direction, and arranged to be reciprocally driven along the fifth rail 551. A total of three moving mechanisms, including a fifth moving block 55 and a fifth moving block 55, are provided, and the image capture 4 is attached to the fifth moving block 552.

この構成により、イメージキャプチャー移動手段５は、イメージキャプチャー４をＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動することにより、押圧用移動手段３の作動に応じて、第３、第４、第５のレール５３１、５４１、５５１により画成される範囲内に三次元的に自在に動かすことができる。   With this configuration, the image capture moving unit 5 moves the image capture 4 in the X, Y, and Z directions, so that the third, fourth, and fifth rails 531, It can be freely moved three-dimensionally within the range defined by 541 and 551.

更に、押圧手段２が押圧する予定箇所は、要求される歩留まりのレベルに応じて、液晶パネルの表面にあるいくつかの局部的箇所、または潜在するドット落ちを確実に検出すべく、液晶パネルの表面を全面的に押圧するように液晶パネルの表面全体に、予めに設定することができる。   Furthermore, the planned location where the pressing means 2 is pressed depends on the required yield level, so that some local locations on the surface of the liquid crystal panel, or potential dot drops, can be detected reliably. The entire surface of the liquid crystal panel can be set in advance so as to press the entire surface.

また、図１及び図２に示すように、本実施形態では、押圧手段２と該押圧手段２を動かす押圧用移動手段３との組み合わせは、二つずつ設けられるように、押圧手段２と該押圧手段２を動かす押圧用移動手段３の数については特に限定しておらず、そして図１、３、４に示すように、イメージキャプチャー４や各レールの数量についても特に限定せずに、検査する液晶パネルの大きさや、使用するイメージキャプチャーの解像度などに応じて、自由に変更することができる。   Moreover, as shown in FIG.1 and FIG.2, in this embodiment, the combination of the pressing means 2 and the moving means 3 for pressing which moves this pressing means 2 is provided so that it may provide two each. The number of pressing moving means 3 for moving the pressing means 2 is not particularly limited, and as shown in FIGS. 1, 3, and 4, the number of the image capture 4 and each rail is not particularly limited, and inspection is performed. It can be freely changed according to the size of the LCD panel to be used and the resolution of the image capture to be used.

また、液晶パネル載置面１０の形状も長方形に限定されることなく、検査しようとする液晶パネルの筐体形状に応じて変更することができる。液晶パネル載置面１０を長方形以外の形状に変える場合、上記長辺、短辺にそれぞれ対応するＸ、Ｙ方向に適切な変更を加えることができる。例えば、画素の配列方向と一致するように設定することができる。   Further, the shape of the liquid crystal panel mounting surface 10 is not limited to a rectangle, and can be changed according to the shape of the casing of the liquid crystal panel to be inspected. When the liquid crystal panel placement surface 10 is changed to a shape other than a rectangle, appropriate changes can be made in the X and Y directions corresponding to the long side and the short side, respectively. For example, it can be set to coincide with the pixel arrangement direction.

上記構成によれば、本発明はドット落ちを発現させる所定圧力で駆動中の液晶パネルの表面を押圧することができる押圧手段を備えているので、人力を用いることなく、液晶パネルのいずこにあるかもしれないドット落ちを自動且つ確実に発現させることができ、そして自動化設備として大量の液晶パネル製品に連続的な検査を施すことも可能である。   According to the above configuration, since the present invention includes the pressing means that can press the surface of the liquid crystal panel being driven with a predetermined pressure that causes dot dropping, the liquid crystal panel can be used without using human power. In addition, it is possible to automatically and surely develop dot dropouts that may be present, and it is also possible to continuously inspect a large number of liquid crystal panel products as an automated facility.

また、本発明は押圧手段により押圧される箇所周辺の映像を撮って電子信号として出力することができるイメージキャプチャーを更に備えているので、肉眼によらず、該電子信号の分析や処理で、ドット落ちの場所や度合い、数量を自動的に検出することができる。   In addition, since the present invention further includes an image capture that can take an image around a place pressed by the pressing means and output the image as an electronic signal, the dot can be analyzed and processed by the electronic signal regardless of the naked eye. It is possible to automatically detect the location, degree, and quantity of the drop.

１０ 液晶パネル載置面
２ 押圧手段
２１ 押圧部
２２ 作動部
２２１ 押圧レール
２２２ 押圧移動ブロック
２３ 延伸バー
３ 押圧用移動手段
３１ 第１の移動機構
３１１ 第１のレール
３１２ 第１の移動ブロック
３２ 第２の移動機構
３２１ 第２のレール
３２２ 第２の移動ブロック
４ イメージキャプチャー
５ イメージキャプチャー移動手段
５３ 第３の移動機構
５３０ 設置台
５３１ 第３のレール
５３２ 第３の移動ブロック
５４ 第４の移動機構
５４１ 第４のレール
５４２ 第４の移動ブロック
５５ 第５の移動機構
５５１ 第５のレール
５５２ 第５の移動ブロック DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Liquid crystal panel mounting surface 2 Pressing means 21 Pressing part 22 Actuating part 221 Pressing rail 222 Pressing moving block 23 Stretching bar 3 Pressing moving means 31 First moving mechanism 311 First rail 312 First moving block 32 Second Moving mechanism 321 second rail 322 second moving block 4 image capture 5 image capture moving means 53 third moving mechanism 530 installation stand 531 third rail 532 third moving block 54 fourth moving mechanism 541 first 4th rail 542 4th moving block 55 5th moving mechanism 551 5th rail 552 5th moving block

Claims (9)

押圧手段を検査しようとする駆動中の液晶パネルの表面にある予定箇所に移動してから、該予定箇所の周辺にあるドット落ちを発現させ得る所定圧力で押圧することができるように構成されていることを特徴とする液晶パネルの欠陥検査装置。   The pressing means is configured to move to a predetermined location on the surface of the driving liquid crystal panel to be inspected, and then press with a predetermined pressure that can cause dot dropping around the predetermined location. A defect inspection apparatus for a liquid crystal panel. 前記所定圧力は５００〜１５００ｇ／ｃｍ２の範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。 2. The defect inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 1, wherein the predetermined pressure is in a range of 500 to 1500 g / cm 2 . 前記押圧手段の前記所定圧力で押圧している箇所周辺の映像を撮って電子信号として出力することができるように構成されたイメージキャプチャーを更に備えていることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。   The image capturing device according to claim 1, further comprising an image capture configured to capture an image around a portion pressed by the pressing unit with the predetermined pressure and output the image as an electronic signal. LCD panel defect inspection system. 前記押圧手段には、前記液晶パネルの予定箇所に接触して押圧する押圧部と、前記押圧部を前記予定箇所に押圧したりまたはそこから離間したりするように作動させる作動部と、を有していることを特徴とする請求項３に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。   The pressing means includes a pressing portion that contacts and presses a predetermined location of the liquid crystal panel, and an operating portion that operates to press the pressing portion to the predetermined location or to move away from the predetermined location. 4. The defect inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 3, wherein the defect inspection apparatus is a liquid crystal panel. 前記押圧部が前記液晶パネルの表面を押圧する部分は、球面形に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。   The defect inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 4, wherein a portion where the pressing portion presses the surface of the liquid crystal panel is formed in a spherical shape. 前記液晶パネルを載置する液晶パネル載置面と、前記押圧手段を前記液晶パネル載置面の上方に動かす押圧用移動手段とを更に備えており、
前記押圧用移動手段には、
前記押圧手段を所定のＸ方向に沿って往復動させることができるように構成されている第１の移動機構と、
該第１の移動機構に取付けられており、且つ、前記押圧手段を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って往復動させることができるように構成されている第２の移動機構とを有していることを特徴とする請求項４に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。 A liquid crystal panel mounting surface on which the liquid crystal panel is mounted; and a pressing moving unit that moves the pressing unit above the liquid crystal panel mounting surface.
In the pressing moving means,
A first moving mechanism configured to reciprocate the pressing means along a predetermined X direction;
A second moving mechanism attached to the first moving mechanism and configured to reciprocate the pressing means along a Y direction perpendicular to the X direction. 5. The defect inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 4, wherein the defect inspection apparatus is a liquid crystal panel. 前記イメージキャプチャーは、イメージキャプチャー移動手段により、前記押圧手段の前記所定圧力で押圧している箇所に移動されるようになっており、
前記イメージキャプチャー移動手段には、前記イメージキャプチャーを前記Ｙ方向に沿って往復動させることができるように構成されている第３の移動機構と、該第３の移動機構に取付けられており、且つ、前記イメージキャプチャーを前記Ｘ方向とＹ方向との両方とも直交するＺ方向に沿って往復動することができるように構成されている第４の移動機構と、該第４の移動機構に取付けられており、且つ、前記イメージキャプチャーを前記Ｘ方向に沿って往復動させることができるように構成されている第５の移動機構とを有していることを特徴とする請求項６に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。 The image capture is moved by the image capture moving means to a place where the pressing means is pressed with the predetermined pressure,
A third movement mechanism configured to reciprocate the image capture along the Y direction; and a third movement mechanism attached to the third movement mechanism; and A fourth moving mechanism configured to reciprocate the image capture along the Z direction orthogonal to both the X direction and the Y direction; and the fourth image capturing mechanism is attached to the fourth moving mechanism. The liquid crystal according to claim 6, further comprising: a fifth moving mechanism configured to reciprocate the image capture along the X direction. Panel defect inspection equipment. 前記第１の移動機構は、前記Ｘ方向に沿って前記液晶パネル載置面の隣りに延在している第１のレールと、該第１のレール上に往復に駆動されることができるように配置構成されている第１の移動ブロックとを有し、前記第２の移動機構は、前記第１の移動ブロックに取付けられる上、前記Ｙ方向に沿って延伸している第２のレールと、該第２のレール上に往復に駆動されることができるように配置構成されている第２の移動ブロックとを有しており、
前記押圧手段における作動部は、前記第２の移動ブロックに取付けられており、且つ、前記作動部と前記押圧部の間には、前記作動部から前記Ｙ方向に沿って延伸する延伸バーが介在していることを特徴とする請求項６または７に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。 The first moving mechanism can be reciprocally driven on the first rail extending along the X direction and adjacent to the liquid crystal panel mounting surface, and on the first rail. And a second rail that is attached to the first moving block and that extends along the Y direction. And a second moving block arranged and configured to be reciprocally driven on the second rail,
The operating part in the pressing means is attached to the second moving block, and an extending bar extending along the Y direction from the operating part is interposed between the operating part and the pressing part. 8. The defect inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 6, wherein the defect inspection apparatus is a liquid crystal panel. 前記イメージキャプチャー移動手段には、前記液晶パネル載置面の前記Ｘ方向上の両側にそれぞれ設けられている前、後二つの設置台を更に有し、
前記第３の移動機構は、前記前、後二つの設置台にそれぞれ配置されて前記Ｙ方向に沿って延在している一対の第３のレールと、前記前、後二つの設置台に跨っており、且つ、該一対の第３のレールに案内されて前記Ｙ方向に往復に駆動されることができるように配置構成されている第３の移動ブロックとを有し、
前記第４の移動機構は、前記第３の移動ブロックに取付けられて前記Ｚ方向に沿って延伸している第４のレールと、該第４のレール上に往復に駆動されることができるように配置構成されている第４の移動ブロックとを有し、
前記第５の移動機構は、前記第４の移動ブロックに取付けられて前記Ｘ方向に沿って延伸している第５のレールと、該第５のレール上に往復に駆動されることができるように配置構成されている第５の移動ブロックとを有しており、
また、前記イメージキャプチャーは、前記第５の移動ブロックに取付けられていることを特徴とする請求項７に記載の液晶パネルの欠陥検査装置。 The image capture moving means further includes two front and rear mounting bases provided on both sides of the liquid crystal panel mounting surface in the X direction, respectively.
The third moving mechanism includes a pair of third rails arranged on the two front and rear installation bases and extending along the Y direction, and the two front and rear installation bases. And a third moving block arranged and configured to be guided by the pair of third rails and reciprocally driven in the Y direction,
The fourth moving mechanism is attached to the third moving block and extends in the Z direction, and can be driven to reciprocate on the fourth rail. And a fourth moving block arranged in
The fifth moving mechanism is attached to the fourth moving block and extends in the X direction, and is reciprocally driven on the fifth rail. And a fifth moving block arranged and configured in
The defect inspection apparatus for a liquid crystal panel according to claim 7, wherein the image capture is attached to the fifth moving block.
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