JP2009532582A - 化学気相堆積による窒化珪素膜及び/又はシリコンオキシナイトライド膜の堆積方法 - Google Patents
化学気相堆積による窒化珪素膜及び/又はシリコンオキシナイトライド膜の堆積方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009532582A JP2009532582A JP2009503426A JP2009503426A JP2009532582A JP 2009532582 A JP2009532582 A JP 2009532582A JP 2009503426 A JP2009503426 A JP 2009503426A JP 2009503426 A JP2009503426 A JP 2009503426A JP 2009532582 A JP2009532582 A JP 2009532582A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- disilane
- compound
- containing gas
- disilane compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 title claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 45
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims description 32
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 32
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 28
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 27
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 27
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title description 40
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 50
- -1 nitrogen-containing compound Chemical class 0.000 claims abstract description 44
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- RSMKAORBGALEHE-UHFFFAOYSA-N N-[dimethylamino-[tris(dimethylamino)silyl]silyl]-N-methylmethanamine Chemical compound CN(C)[SiH](N(C)C)[Si](N(C)C)(N(C)C)N(C)C RSMKAORBGALEHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 claims description 23
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 18
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 18
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- NGBPGLNJSMULPS-UHFFFAOYSA-N n-[[chloro-bis(dimethylamino)silyl]-bis(dimethylamino)silyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CN(C)[Si](Cl)(N(C)C)[Si](N(C)C)(N(C)C)N(C)C NGBPGLNJSMULPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 5
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 claims 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 40
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 62
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 21
- LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N trichloro(trichlorosilyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 12
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007810 chemical reaction solvent Substances 0.000 description 6
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- VYIRVGYSUZPNLF-UHFFFAOYSA-N n-(tert-butylamino)silyl-2-methylpropan-2-amine Chemical group CC(C)(C)N[SiH2]NC(C)(C)C VYIRVGYSUZPNLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 4
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 4
- YDGSUPBDGKOGQT-UHFFFAOYSA-N lithium;dimethylazanide Chemical compound [Li+].C[N-]C YDGSUPBDGKOGQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 125000002147 dimethylamino group Chemical group [H]C([H])([H])N(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- IQDGSYLLQPDQDV-UHFFFAOYSA-N dimethylazanium;chloride Chemical compound Cl.CNC IQDGSYLLQPDQDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N Pentane Chemical compound CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005915 ammonolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000004508 fractional distillation Methods 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- JUINSXZKUKVTMD-UHFFFAOYSA-N hydrogen azide Chemical compound N=[N+]=[N-] JUINSXZKUKVTMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- NSYDOBYFTHLPFM-UHFFFAOYSA-N 2-(2,2-dimethyl-1,3,6,2-dioxazasilocan-6-yl)ethanol Chemical compound C[Si]1(C)OCCN(CCO)CCO1 NSYDOBYFTHLPFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000915175 Nicotiana tabacum 5-epi-aristolochene synthase Proteins 0.000 description 1
- 101100023111 Schizosaccharomyces pombe (strain 972 / ATCC 24843) mfc1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910008045 Si-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006411 Si—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 239000012280 lithium aluminium hydride Substances 0.000 description 1
- FCFRXVHQYCYAOT-UHFFFAOYSA-N n-[bis(dimethylamino)-[tris(dimethylamino)silyl]silyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CN(C)[Si](N(C)C)(N(C)C)[Si](N(C)C)(N(C)C)N(C)C FCFRXVHQYCYAOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JWJYZMSZUGCIHO-UHFFFAOYSA-N n-[tris(ethylamino)silyl]ethanamine Chemical compound CCN[Si](NCC)(NCC)NCC JWJYZMSZUGCIHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000655 nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 1
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 235000013616 tea Nutrition 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/308—Oxynitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
- C23C16/345—Silicon nitride
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【選択図】 図1
Description
窒化珪素膜は、優れたバリア特性及び優れた耐酸化性を示すことが知られており、例えば、半導体デバイスの製造において、エッチストップ層、バリア層、ゲート絶縁層、ゲートスペーサ、高度ゲート誘電体(advanced gate dielectric)、ONOスタックなどとして使用されている。
本発明の第1の側面は、反応チャンバ内での化学気相堆積による窒化珪素膜の製造方法であって、
a)膜を受け止めるように適合された表面を有している基板を反応チャンバ内に入れる工程と、
b)一般式
Si2(NMe2)5Y (I)
であって、Yが、Cl、H及びアミノ基を含む群より選択される式を有したペンタキス(ジメチルアミノ)ジシラン含有化合物を導入する工程と、
c)アンモニア、ヒドラジン、アルキルヒドラジン及びアジ化水素化合物(hydrogen compound azide)を含む群より選択される窒素含有ガスを、反応チャンバ内に導入する工程と、
d)ジシラン含有化合物と窒素含有ガスとを、好ましくは基板表面温度と少なくとも等しい反応温度で反応させることによって、窒化珪素膜を基板の表面の少なくとも一部上に形成する工程と
を含んだ方法を提供する。
a)堆積される膜を受け止めるように適合された表面を有している基板を反応チャンバ内に入れる工程と、
b)一般式
Si2(NMe2)5Y (I)
であって、Yが、Cl、H及びアミノ基を含む群より選択される式を有したペンタキス(ジメチルアミノ)ジシラン含有化合物を導入する工程と、
c)アンモニア、ヒドラジン、アルキルヒドラジン化合物及びアゾ化水素化合物を含む群より選択される窒素含有ガスを、反応チャンバ内へと導入する工程と、
d)NO、N2O、NO2、O2、O3、H2O及びH2O2を含む群より選択される酸素含有ガスを、少なくとも1枚の基板が装入された反応チャンバ内へと導入する工程と、
e)ジシラン化合物と、窒素含有ガスと、酸素含有ガスとを、好ましくは基板表面温度と少なくとも等しい反応温度で反応させることによって、シリコンオキシナイトライド膜を、先の基板の表面の少なくとも一部上に形成する工程と
を含んだ方法を提供する。
ペンタキス(ジメチルアミノ)クロロジシランSi2(NMe2)5Clは、有機溶媒中のヘキサクロロジシラン(Cl3Si−SiCl3)を、少なくとも5倍のモル数のジメチルアミン(CH3)2NHと反応させることによって合成され得る。
ヘキサクロロジシラン及びリチウムジメチルアミドの加アンモニア分解から、ClSi2(NMe2)5の合成が行われた。ヘキサクロロジシラン(HCD)は、Si−Si直接結合が分子中に残るように、出発材料として使用される。n−ヘキサンが、溶媒として使用され、0℃に冷却される。ペンタキス(ジメチルアミノ)クロロジシラン及びヘキサキス(ジメチルアミノ)ジシランの混合物が得られる。リチウムジメチルアミドが添加されて、「リチウムジメチルアミド溶液」を形成する。HCDが、0℃のリチウムジメチルアミド溶液中に滴下される。次に、この溶液が、0℃で、2時間に亘って攪拌され、次に、室温で、15時間に亘って攪拌される。次に、塩LiClがこの溶液から除去され、n−ヘキサンが真空中で除去される。得られたClSi2(NMe2)5及び他の副生成物が、分留によって分離される。
液体配送システムを使用して配送される前駆体のペンタキス(ジメチルアミノ)クロロジシランが、18.5重量%で、トルエン中に溶解された。この百分率は、溶解度の点で並びに気化器及び続くCVDチャンバへの容易な配送にとって至適であることが分かっている。対応した溶液を、以下では、「Si2(NMe2)5Cl溶液」と記載する。しかしながら、この定義は、Si2(NMe2)5Cl(又は、好ましくはベンゼン、トルエンなどからなる群より選択される1重量%乃至20重量%の少なくとも1種の溶媒を用いて説明されたものと同様の「群(family)」の他の生成物)の全ての溶液を含んでいる。
典型的な構成は、図1に記載されている。半導体製造に必要とされる純度を有した、例えば、ヘリウム、アルゴン、窒素などの不活性ガスが、溶液が液体質量流量コントローラ及び気化器内へと導入されるように、バブラー内へと導入された。次に、溶液の成分が、配送を至適化するために、適切な温度で気化される。半導体製造に必要とされる純度を有した、例えば、ヘリウム、アルゴン、窒素などの不活性ガスが気化器内へと別途導入されて、先の溶液の気体成分をCVD反応器へと運ぶ。それは、アンモニアなどの追加の反応物質と混合され得る。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.08g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
「溶液」が気体の形態で気化される気化器T:110℃、堆積T:525℃、CVD反応器圧力:1.0Torr、継続時間:20分
である。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.08g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:500℃、CVD反応器圧力:1.0Torr、継続時間:30分
である。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.08g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:475℃、CVD反応器圧力:1.0Torr、継続時間:30分
である。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.08g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:450℃、CVD反応器圧力:1.0Torr、継続時間:50分
である。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.16g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:450℃、CVD反応器圧力:1.0Torr、継続時間:50分
である。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.16g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:425℃、CVD反応器圧力:1.0Torr、継続時間:80分
である。
「準大気圧(Subatmospheric)CVD」実験
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.08g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:400℃、CVD反応器圧力:100Torr、継続時間:80分
である。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.08g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:375℃、CVD反応器圧力:100Torr、継続時間:80分
である。
様々な反応物質が、図1に記載されたCVDチャンバ内へと導入される。
Si2(NMe2)5Cl溶液:0.08g/分、He:175sccm、NH3:35sccm
である。
気化器T:110℃、堆積T:350℃、CVD反応器圧力:100Torr、継続時間:80分
である。
Claims (18)
- 反応チャンバ内での化学気相堆積による窒化珪素膜の製造方法であって、
a)化学気相堆積による窒化珪素膜を受け止めるように適合された表面を有している基板を前記反応チャンバ内に入れる工程と、
b)一般式
Si2(NMe2)5Y (I)
であって、Yが、Cl、H及びアミノ基を含む群より選択される式を有したペンタキス(ジメチルアミノ)ジシラン含有化合物を導入する工程と、
c)アンモニア、ヒドラジン、アルキルヒドラジン化合物及びアジ化水素化合物を含む群より選択される窒素含有ガスを、前記反応チャンバ内に導入する工程と、
d)前記ジシラン含有化合物と前記窒素含有ガスとを、好ましくは前記基板表面温度と少なくとも等しい反応温度で反応させることによって、窒化珪素膜を前記基板の表面の少なくとも一部上に形成する工程と
を含んだ方法。 - 請求項1記載の方法であって、前記ジシラン化合物が、5体積%未満のSi2(NMe2)6を含有している方法。
- 請求項1又は2記載の方法であって、前記ジシラン化合物がペンタキス(ジメチルアミノ)クロロジシランを含んでいる方法。
- 請求項1乃至3の何れか1項記載の方法であって、前記反応チャンバ内へと導入される前記ジシラン化合物と前記窒素含有ガスとのモル比が、1:-0乃至1:50であり、前記反応チャンバ内の全圧が、好ましくは、0.1乃至10Torrであり、前記反応温度が、好ましくは、300℃乃至650℃である方法。
- 請求項1乃至4の何れか1項記載の方法であって、前記ジシラン化合物は、キャリアガスを液体の前記ジシラン化合物中へと注入し且つバブリングすることによって、前記キャリアガスに気体製品として同伴され、次に、配送システムを通り、前記反応チャンバへと供給される方法。
- 請求項1乃至4の何れか1項記載の方法であって、前記ジシラン化合物が気化手段を使用して気化され、次に、気化された前記ジシラン化合物が、配送システムを通り、前記反応チャンバへと供給される方法。
- 請求項6記載の方法であって、前記気化器が、60℃乃至200℃に含まれる温度に加熱される方法。
- 請求項5乃至7の何れか1項記載の方法であって、前記配送システムが、25℃乃至−250℃に含まれる温度に維持される方法。
- 請求項1乃至8の何れか1項記載の方法であって、前記反応チャンバに、1つのチャック又はウェハボートに搭載された1乃至250枚の半導体基板が装入される方法。
- 反応チャンバ内での化学気相堆積によるシリコンオキシナイトライド膜の製造方法であって、
a)堆積される膜を受け止めるように適合された表面を有している基板を前記反応チャンバ内に入れる工程と、
b)一般式
Si2(NMe2)5Y (I)
であって、Yが、Cl、H及びアミノ基を含む群より選択される式を有したペンタキス(ジメチルアミノ)ジシラン含有化合物を導入する工程と、
c)アンモニア、ヒドラジン、アルキルヒドラジン化合物及びアゾ化水素化合物を含む群より選択される窒素含有ガスを、前記反応チャンバ内へと導入する工程と、
d)NO、N2O、NO2、O2、O3、H2O及びH2O2を含む群より選択される酸素含有ガスを、少なくとも1枚の基板が装入された前記反応チャンバ内へと導入する工程と、
e)前記ジシラン化合物と、前記窒素含有ガスと、前記酸素含有ガスとを、好ましくは基板表面温度と少なくとも等しい反応温度で反応させることによって、シリコンオキシナイトライド膜を、前記基板の前記表面の少なくとも一部上に形成する工程と
を含んだ方法。 - 請求項10記載の方法であって、前記ジシラン化合物が、5体積%未満のSi2(NMe2)6を含んでいる方法。
- 請求項10又は11記載の方法であって、前記ジシラン化合物がペンタキス(ジメチルアミノ)クロロジシランである方法。
- 請求項11乃至13の何れか1項記載の方法であって、前記反応チャンバ内へと導入される前記ジシラン化合物と前記窒素含有ガスとのモル比が、1:0乃至1:50であり、前記ジシラン化合物と前記酸素含有ガスとのモル比は、好ましくは、50:1乃至1:1であり、好ましくは、前記反応チャンバ内の全圧は、好ましくは、0.1乃至10Torrであり、前記反応温度は、好ましくは、300℃乃至750℃である方法。
- 請求項10乃至13の何れか1項記載の方法であって、前記ジシラン化合物は、キャリアガスを液体の前記ジシラン化合物中へと注入し且つバブリングすることによって、前記キャリアガスに気体として同伴され、次に、供給システムを通り、前記反応チャンバへと供給される方法。
- 請求項10乃至13の何れか1項記載の方法であって、前記ジシラン化合物が気化手段を使用して気化され、次に、気化された前記ジシラン化合物が、供給システムを通り、前記反応チャンバへと供給される方法。
- 請求項15記載の方法であって、前記気化器が、60℃乃至200℃に含まれる温度に加熱される方法。
- 請求項14乃至16の何れか1項記載の方法であって、前記配送システムが、25℃乃至250℃の温度に維持される方法。
- 請求項10乃至17の何れか1項記載の方法であって、前記反応チャンバに、1つのチャック又はウェハボートに搭載された1乃至250枚の半導体基板が装入される方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/EP2006/061284 WO2007112780A1 (en) | 2006-04-03 | 2006-04-03 | Method for depositing silicon nitride films and/or silicon oxynitride films by chemical vapor deposition |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009532582A true JP2009532582A (ja) | 2009-09-10 |
JP5149273B2 JP5149273B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=37571840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009503426A Active JP5149273B2 (ja) | 2006-04-03 | 2006-04-03 | 化学気相堆積による窒化珪素膜及び/又はシリコンオキシナイトライド膜の堆積方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8377511B2 (ja) |
EP (1) | EP2007917B1 (ja) |
JP (1) | JP5149273B2 (ja) |
KR (1) | KR101304726B1 (ja) |
CN (1) | CN101466865A (ja) |
AT (1) | ATE437978T1 (ja) |
DE (1) | DE602006008190D1 (ja) |
WO (1) | WO2007112780A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011123792A3 (en) * | 2010-04-01 | 2011-12-01 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Metal nitride containing film deposition using combination of amino-metal and halogenated metal precursors |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5290146B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2013-09-18 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | ペンタキス(ジメチルアミノ)ジシラン前駆体含有化合物及びその調製方法 |
US8232176B2 (en) | 2006-06-22 | 2012-07-31 | Applied Materials, Inc. | Dielectric deposition and etch back processes for bottom up gapfill |
US7867923B2 (en) * | 2007-10-22 | 2011-01-11 | Applied Materials, Inc. | High quality silicon oxide films by remote plasma CVD from disilane precursors |
US8357435B2 (en) | 2008-05-09 | 2013-01-22 | Applied Materials, Inc. | Flowable dielectric equipment and processes |
US8980382B2 (en) | 2009-12-02 | 2015-03-17 | Applied Materials, Inc. | Oxygen-doping for non-carbon radical-component CVD films |
US8741788B2 (en) | 2009-08-06 | 2014-06-03 | Applied Materials, Inc. | Formation of silicon oxide using non-carbon flowable CVD processes |
US8449942B2 (en) | 2009-11-12 | 2013-05-28 | Applied Materials, Inc. | Methods of curing non-carbon flowable CVD films |
CN102687252A (zh) | 2009-12-30 | 2012-09-19 | 应用材料公司 | 以可变的氮/氢比所制造的自由基来生长介电薄膜的方法 |
US8329262B2 (en) | 2010-01-05 | 2012-12-11 | Applied Materials, Inc. | Dielectric film formation using inert gas excitation |
US8647992B2 (en) | 2010-01-06 | 2014-02-11 | Applied Materials, Inc. | Flowable dielectric using oxide liner |
JP2013516788A (ja) | 2010-01-07 | 2013-05-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ラジカル成分cvd用のインサイチュオゾン硬化 |
US8563445B2 (en) | 2010-03-05 | 2013-10-22 | Applied Materials, Inc. | Conformal layers by radical-component CVD |
US8580699B2 (en) | 2010-09-10 | 2013-11-12 | Applied Materials, Inc. | Embedded catalyst for atomic layer deposition of silicon oxide |
US9285168B2 (en) | 2010-10-05 | 2016-03-15 | Applied Materials, Inc. | Module for ozone cure and post-cure moisture treatment |
US8664127B2 (en) | 2010-10-15 | 2014-03-04 | Applied Materials, Inc. | Two silicon-containing precursors for gapfill enhancing dielectric liner |
US10283321B2 (en) | 2011-01-18 | 2019-05-07 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing system and methods using capacitively coupled plasma |
US8450191B2 (en) | 2011-01-24 | 2013-05-28 | Applied Materials, Inc. | Polysilicon films by HDP-CVD |
US8716154B2 (en) | 2011-03-04 | 2014-05-06 | Applied Materials, Inc. | Reduced pattern loading using silicon oxide multi-layers |
US8445078B2 (en) | 2011-04-20 | 2013-05-21 | Applied Materials, Inc. | Low temperature silicon oxide conversion |
US8466073B2 (en) | 2011-06-03 | 2013-06-18 | Applied Materials, Inc. | Capping layer for reduced outgassing |
US9404178B2 (en) | 2011-07-15 | 2016-08-02 | Applied Materials, Inc. | Surface treatment and deposition for reduced outgassing |
US8617989B2 (en) | 2011-09-26 | 2013-12-31 | Applied Materials, Inc. | Liner property improvement |
US8551891B2 (en) | 2011-10-04 | 2013-10-08 | Applied Materials, Inc. | Remote plasma burn-in |
US8728955B2 (en) | 2012-02-14 | 2014-05-20 | Novellus Systems, Inc. | Method of plasma activated deposition of a conformal film on a substrate surface |
US9337018B2 (en) | 2012-06-01 | 2016-05-10 | Air Products And Chemicals, Inc. | Methods for depositing films with organoaminodisilane precursors |
US8889566B2 (en) | 2012-09-11 | 2014-11-18 | Applied Materials, Inc. | Low cost flowable dielectric films |
US9018108B2 (en) | 2013-01-25 | 2015-04-28 | Applied Materials, Inc. | Low shrinkage dielectric films |
US9920077B2 (en) | 2013-09-27 | 2018-03-20 | L'Air Liquide, SociétéAnonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Amine substituted trisilylamine and tridisilylamine compounds and synthesis methods thereof |
US20150303060A1 (en) | 2014-04-16 | 2015-10-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Silicon precursor, method of forming a layer using the same, and method of fabricating semiconductor device using the same |
US9412581B2 (en) | 2014-07-16 | 2016-08-09 | Applied Materials, Inc. | Low-K dielectric gapfill by flowable deposition |
US9472392B2 (en) | 2015-01-30 | 2016-10-18 | Applied Materials, Inc. | Step coverage dielectric |
US11124876B2 (en) | 2015-03-30 | 2021-09-21 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Si-containing film forming precursors and methods of using the same |
US9777025B2 (en) | 2015-03-30 | 2017-10-03 | L'Air Liquide, Société pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Si-containing film forming precursors and methods of using the same |
US9899210B2 (en) | 2015-10-20 | 2018-02-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Chemical vapor deposition apparatus and method for manufacturing semiconductor device using the same |
US9633838B2 (en) | 2015-12-28 | 2017-04-25 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Vapor deposition of silicon-containing films using penta-substituted disilanes |
KR102241936B1 (ko) * | 2016-03-17 | 2021-04-20 | 주식회사 원익아이피에스 | 실리콘산질화막의 증착방법 |
TWI724141B (zh) | 2016-03-23 | 2021-04-11 | 法商液態空氣喬治斯克勞帝方法硏究開發股份有限公司 | 形成含矽膜之組成物及其製法與用途 |
US10192734B2 (en) | 2016-12-11 | 2019-01-29 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploration des Procédés Georges Claude | Short inorganic trisilylamine-based polysilazanes for thin film deposition |
TWI784022B (zh) * | 2017-07-31 | 2022-11-21 | 中國大陸商南大光電半導體材料有限公司 | 1,1,1-參(二甲胺基)二矽烷及其製備方法 |
JP7113670B2 (ja) * | 2018-06-08 | 2022-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | Ald成膜方法およびald成膜装置 |
CN110983300B (zh) * | 2019-12-04 | 2023-06-20 | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 | 镀膜设备及其应用 |
CN114634364B (zh) * | 2022-03-08 | 2023-08-11 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种纯相Si2N2O粉体的合成方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07321041A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-08 | Fujitsu Ltd | Iii−v族化合物半導体結晶成長方法 |
JP2003168683A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | Cvd法によるシリコン窒化物膜またはシリコンオキシ窒化物膜の製造方法 |
JP2004266262A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-24 | Mitsubishi Materials Corp | Si−Si結合を有する有機Si含有化合物を用いたSi含有薄膜の形成方法 |
JP2006511087A (ja) * | 2002-12-20 | 2006-03-30 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 高品位低温窒化シリコン層を形成する方法および装置 |
JP2006517517A (ja) * | 2002-11-14 | 2006-07-27 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | ケイ素、窒化ケイ素、二酸化ケイ素および/またはオキシ窒化ケイ素を含むフィルムのようなケイ素含有フィルムの低温蒸着のための組成物および方法 |
JP2007509836A (ja) * | 2003-10-31 | 2007-04-19 | アヴィザ テクノロジー インコーポレイテッド | 窒化シリコンの低温堆積 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5874368A (en) * | 1997-10-02 | 1999-02-23 | Air Products And Chemicals, Inc. | Silicon nitride from bis(tertiarybutylamino)silane |
JP4116283B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2008-07-09 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | ヘキサキス(モノヒドロカルビルアミノ)ジシランおよびその製造方法 |
US7081271B2 (en) | 2001-12-07 | 2006-07-25 | Applied Materials, Inc. | Cyclical deposition of refractory metal silicon nitride |
US20060178019A1 (en) * | 2002-08-18 | 2006-08-10 | Aviza Technology, Inc. | Low temperature deposition of silicon oxides and oxynitrides |
US7531679B2 (en) * | 2002-11-14 | 2009-05-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Composition and method for low temperature deposition of silicon-containing films such as films including silicon nitride, silicon dioxide and/or silicon-oxynitride |
US7972663B2 (en) * | 2002-12-20 | 2011-07-05 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for forming a high quality low temperature silicon nitride layer |
US7172792B2 (en) * | 2002-12-20 | 2007-02-06 | Applied Materials, Inc. | Method for forming a high quality low temperature silicon nitride film |
JP2005213633A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | 化学気相成長法によるシリコン窒化物膜またはシリコンオキシ窒化物膜の製造方法 |
US20060286819A1 (en) * | 2005-06-21 | 2006-12-21 | Applied Materials, Inc. | Method for silicon based dielectric deposition and clean with photoexcitation |
JP5290146B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2013-09-18 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | ペンタキス(ジメチルアミノ)ジシラン前駆体含有化合物及びその調製方法 |
-
2006
- 2006-04-03 KR KR1020087026750A patent/KR101304726B1/ko active IP Right Grant
- 2006-04-03 WO PCT/EP2006/061284 patent/WO2007112780A1/en active Application Filing
- 2006-04-03 US US12/295,907 patent/US8377511B2/en active Active
- 2006-04-03 EP EP06725524A patent/EP2007917B1/en not_active Not-in-force
- 2006-04-03 CN CNA2006800544610A patent/CN101466865A/zh active Pending
- 2006-04-03 JP JP2009503426A patent/JP5149273B2/ja active Active
- 2006-04-03 DE DE602006008190T patent/DE602006008190D1/de not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-03 AT AT06725524T patent/ATE437978T1/de not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07321041A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-08 | Fujitsu Ltd | Iii−v族化合物半導体結晶成長方法 |
JP2003168683A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | Cvd法によるシリコン窒化物膜またはシリコンオキシ窒化物膜の製造方法 |
JP2006517517A (ja) * | 2002-11-14 | 2006-07-27 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | ケイ素、窒化ケイ素、二酸化ケイ素および/またはオキシ窒化ケイ素を含むフィルムのようなケイ素含有フィルムの低温蒸着のための組成物および方法 |
JP2006511087A (ja) * | 2002-12-20 | 2006-03-30 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 高品位低温窒化シリコン層を形成する方法および装置 |
JP2004266262A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-24 | Mitsubishi Materials Corp | Si−Si結合を有する有機Si含有化合物を用いたSi含有薄膜の形成方法 |
JP2007509836A (ja) * | 2003-10-31 | 2007-04-19 | アヴィザ テクノロジー インコーポレイテッド | 窒化シリコンの低温堆積 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011123792A3 (en) * | 2010-04-01 | 2011-12-01 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Metal nitride containing film deposition using combination of amino-metal and halogenated metal precursors |
CN102471885A (zh) * | 2010-04-01 | 2012-05-23 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 使用氨基金属与卤化金属前体组合的含金属氮化物的薄膜沉积 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100221428A1 (en) | 2010-09-02 |
US8377511B2 (en) | 2013-02-19 |
JP5149273B2 (ja) | 2013-02-20 |
CN101466865A (zh) | 2009-06-24 |
DE602006008190D1 (de) | 2009-09-10 |
WO2007112780A1 (en) | 2007-10-11 |
ATE437978T1 (de) | 2009-08-15 |
KR101304726B1 (ko) | 2013-09-05 |
KR20090009844A (ko) | 2009-01-23 |
EP2007917B1 (en) | 2009-07-29 |
EP2007917A1 (en) | 2008-12-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5149273B2 (ja) | 化学気相堆積による窒化珪素膜及び/又はシリコンオキシナイトライド膜の堆積方法 | |
EP2004660B1 (en) | Pentakis(dimethylamino) disilane precursor comprising compound and method for the preparation thereof | |
KR100975507B1 (ko) | 화학 증착에 의한 질화규소 필름 및 산질화규소 필름의퇴적 방법 | |
CN107636198B (zh) | 用于形成含硅和氧的薄膜的汽相沉积方法 | |
EP2818474B1 (en) | Aza-polysilane precursors and methods for depositing films comprising same | |
EP2392691B1 (en) | Organoaminosilane precursors and methods for depositing films comprising the same | |
US11049714B2 (en) | Silyl substituted organoamines as precursors for high growth rate silicon-containing films | |
EP2154141B1 (en) | Precursors for depositing silicon-containing films and methods using same | |
CN107923040A (zh) | 用于沉积氮化硅膜的组合物和方法 | |
KR20130135794A (ko) | 유기아미노디실란 전구체 및 이를 포함하는 막을 증착시키는 방법 | |
KR20140067147A (ko) | 텅스텐 디아자부타디엔 전구체, 그들의 합성, 및 텅스텐 함유 필름 침착을 위한 그들의 용도 | |
WO2004092441A2 (en) | Methods for producing silicon nitride films by vapor-phase growth |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5149273 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |