JP2009503460A - 触知式座標測定装置のプローブ用センサーモジュール - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 80
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims abstract description 35
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 19
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 32
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 40
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/001—Constructional details of gauge heads
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
【解決手段】触知式座標測定装置のプローブ28用のセンサーモジュール40は、第一測定面を規定する固定モジュールベース46を有する。前記センサーモジュールはさらに、モジュールベース46に対して移動可能であって、触針26を保持するための支持部材48aを有している。さらに、支持部材48aとモジュールベース46とを移動可能に相互接続する少なくとも1つの変形可能な接続部材50を設けている。本発明の1つの局面において、前記接続部材50は少なくとも、変形可能な第一および第二材料層50a,50bを有し、これらは、第一測定面に対して垂直に、相互に位置がずれた状態に設けられている。
【選択図】図2
Description
座標測定装置は主として、高精度で測定対象物の物体形状を測定するために使用される。例えば、機械により製造されたワークピースの物体形状は、品質管理の過程でチェックされる。測定工程において、座標測定装置のプローブは、移動可能に装着された触針が測定対象物上の所望の測定ポイントに接触するまで、適切な移動機構により測定対象物へ向けて移動される。次に、接触された測定ポイントの空間座標を、プローブの位置と、プローブに関する触針の相対位置とから決定することができる。
本出願人の、より古い特許出願(先行する公報ではない)(国際特許出願PCT/EP2005/005622号)において、冒頭に記載したタイプのセンサーモジュールが開示されており、そこでは、モジュールベースと触針支持部材(ボス)との間のウェブは、断面の材料厚みが変動するよう設計されている。このように実施することで、曲げ剛性の整合を改良することができて、走査測定を比較的良好に行うことができる。しかしながら、この解決手段でも、x/y方向およびz方向におけるそれぞれの曲げ剛性は依然として同じではない。さらに、この新規なセンサーモジュールを製造するには、高精度で実施しなければならない極めて微細なエッチング構造を必要とし、これは、生産技術の難問である。
好ましい改良形態において、第一および第二材料層は相互に離間されて設けられている。
本出願人による調査によると、x/y方向における曲げ剛性は、比率a/dにほぼ比例して増大する。ここで、aは少なくとも2つの材料層の垂直方向間隔であり、dは個々の材料層の厚みである。したがって、材料層間に検出可能な間隔を設けることにより、x/y方向における曲げ剛性に、極めて簡単な方法で影響を与えることができる。
充填材は材料層の材料と異なっていてもよいが、この充填材を使用することにより、3つの空間方向において曲げ剛性を整合させる自由度をさらに広げられる。さらにまた、この改良形態は、特にセンサーモジュールを、2つ以上の単一層のセンサーモジュールから組立てる場合、この新規なセンサーモジュールの製造を容易にする。さらにまた、充填材を使用することは、特に、組立てられた「単一層」モジュールの場合に、材料層間に大きな垂直方向間隔を設ける場合のきわめて簡単な選択肢となる。
この改良形態は、曲げ剛性の整合のためにさらなる自由度を提供する。特に、材料層における異方性材料および/または異なる添加物(ドーピング)の使用により、3つの空間方向における曲げ剛性と機械的特性とを変更させることが可能となる。
さらなる改良形態において、第一および第二材料層は一致するように相互に重ねられている。
既に述べたように、ウェブ状または細片状の接続部材を使用することは、曲げ剛性の整合に寄与する。新規な多層設計と組合せることにより、特に走査測定を行う場合、うまく適合した特に良好な整合が可能になる。
この改良形態において、両方の材料層(適切な場合、多層の実施態様の場合はすべての材料層)はウェブ状に設計されている。この改良形態も同様に、ウェブ状接続部材を有する2つの単一層センサーモジュールを相互に重ねる場合、極めて簡単に実施することができる。このような改良形態により、曲げ剛性の特に良好な整合を実現することができる。
この改良形態において、ウェブ状領域は一致するように相互に重ねられてはいない。この改良形態は次の場合に特に利点がある。つまり、2つのウェブだけが各材料層に設けられていて、触針支持部材とモジュールベースとの間の十字状接続が、材料層が相互に重ねられて十字形状の枝部分が種々の平面に存在するまで、生じない場合である。この改良形態は簡単かつコスト的に効率よく実施することができるとともに、3つの空間方向において曲げ剛性を良好に整合させることができる。
この改良形態もまた、この新規なセンサーモジュールが多数の単一層のセンサーモジュールを組立てたものである場合に、特に利点がある。薄膜タイプの接続部材を有する単一層のセンサーモジュールを使用すると、安定したモジュール設計を行うことができる。ウェブ状の接続部材を有する第二モジュールとの組合せにおいて、曲げ剛性を個々に整合させるためにさらなる自由度が提供される。さらにまた、薄膜タイプの接続部材を有するセンサーモジュールの製造は、極めて簡単でかつコスト的に効率のよいものである。
この改良形態は、多くの単一層のセンサーモジュールからこの新規なセンサーモジュールを組立てるという既に述べられた選択肢を利用している。この改良形態により、特に簡単でかつコスト的に効率よい製造が可能となる。
この改良形態において、少なくとも2つの材料層は、機能に関して相互に平行に設けられている。しかしながら、幾何学的に、2つの材料層を相互に傾斜させて設けることもできる。この改良形態は、生産技術の観点から簡単であり、そして、特に、多数の単一層のセンサーモジュールから新規なセンサーモジュールの組立てを有利に行うことができる。さらにまた、この改良形態において、曲げ剛性の整合は、比較的簡単であるとともに測定により特定することができる。
この改良形態において、少なくとも2つの材料層は、曲がりくねった断面を有するように設計された多分岐ジョイント(継ぎ手)を形成していると有利である。換言すれば、この改良形態において、接続部材は、複数の平面に広がる多分岐のジョイントを含む。この改良形態は、生産技術の観点からすればより複雑であるが、さらなる自由度を提供するものであり、したがって、曲げ剛性の特に良好な整合を実現することができる。
さらなる改良形態において、この新規なセンサーモジュールは、移動可能な触針支持部材に永久的に固定されている触針を含む。
上述の特徴および以下に説明する特徴は、それぞれ述べられた組合せにおいてのみ使用することができるものではなく、本発明の範囲から逸脱することなく他の組合せまたは単独で使用されるものであることは言うまでもない。
図1において、座標測定装置は全体を参照番号10で示している。この座標測定装置10は、しばしば使用されるガントリ構造体の形態で示されている。しかしながら、本発明はこの形態に限定されるものではない。原則的に、この新規なセンサーモジュールは、例えば、水平アーム式測定デバイスのような他の構造で使用することも可能である。本新規なセンサーモジュールは、独国特許出願第102004 020996.0号明細書(先行する公報ではない)に説明されているように座標測定装置に使用されるのが特に好ましい。この好ましい座標測定装置はプローブ用の移動機構を有しており、この移動機構は従来の設計とは異なっており、その基本原則は、上記非特許文献2に記載されており、これはISBN番号90−386−2631−2を使用して入手することができる。しかしながら、便宜上、下記説明は、図1に示す座標測定装置を参照して行う。というのも、その移動機構は、より明瞭であり、より伝統的であるからである。
図2、図3および図4において、この新規なセンサーモジュールの第一の例示的な実施形態は全体を参照番号40で示している。このセンサーモジュール40は2つの単一層モジュール部42,44を含み、これらの単一層モジュール部42,44は相互に重ねられるとともに固定される(図2)。各モジュール部42,44は、この例では、正方形状フレームとして設計されたモジュールベース46a,46bを有する。各モジュールベース46a,46bの内部に、「ボス」とも呼ばれる触針支持部材(サポート)48a,48bが設けられている。各触針支持部材48a,48bは、薄膜50a,50bを介して関連するフレーム46a,46bに接続されている。フレーム46a,46bの縁部長さ、すなわち、センサーモジュール40の外側寸法は、この例では、約3mm〜10mmの範囲であり、例えば6.5mmである。フレーム46a,46bと、触針支持部材48a,48bと、薄膜50a,50bとは、この例では、エッチング工程により固体シリコンから形成される。薄膜の厚みは例えば0.025mmであり、他方、フレームと触針支持部材とはそれぞれ約0.5mmの厚さを有している。これらの幾何学的寸法のゆえに、薄膜50a,50bを変形させた状態で、触針支持部材48a,48bはフレーム46a,46bに対して相対移動することができる。
図4の断面図からわかるように、2つのモジュール部42,44は、フレーム46a,46bの領域と、触針支持部材48a,48bの領域との両方において、相互に接触している。それに対して、薄膜50a,50bは相互に離間して設けられるが、この離間距離は、フレーム46a,46bの高さDと、薄膜50a,50bの材料強度dとの間の差に対応している。この例示的な実施形態において、比率(D−d)/dは、曲げ剛性を個々のモジュール部42の対応する曲げ剛性と比較して増大させて、x方向またはy方向に触針26を振れさせるための係数を決定する。それに対して、2層センサーモジュール40の曲げ剛性は係数2で増大させられて、(測定面54に垂直な)z方向に触針を振れさせる。x/y方向とz方向とにおける曲げ剛性は、幾何学的寸法dおよびDを適切に選択することにより整合させることができる。
Claims (14)
- 第一測定面(54)を規定する固定モジュールベース(46)を有し、前記モジュールベース(46)に対して移動可能であって、触針(26)を保持する支持部材(48)を有し、前記支持部材(48)と前記モジュールベース(46)とを移動可能に相互接続する少なくとも1つの変形可能な接続部材(50;66;86;102)を有する、触知式座標測定装置(10)のプローブ(28)用のセンサーモジュールであって、
前記接続部材(50;66;86;102)は少なくとも、変形可能な第一および第二材料層(50a,50b;66a,66b;86a,86b;104,106)を有し、前記変形可能な第一および第二材料層(50a,50b;66a,66b;86a,86b;104,106)は、前記第一測定面(54)に対して垂直に、相互に位置がずれた状態で配置されていることを特徴とするセンサーモジュール。 - 前記第一および第二材料層(50a,50b;66a,66b;86a,86b;104,106)は距離(D−d)だけ相互に離間されて配置されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサーモジュール。
- 充填材(94)が、前記第一および第二材料層(86a,86b)の間に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のセンサーモジュール。
- 前記第一および第二材料層(50a,50b;66a,66b;86a,86b;104,106)は、異なる材料で構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記第一および第二材料層(50a,50b;86a,86b;104,106)は、一致するように相互に重ねられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記接続部材は、前記第一材料層を形成する少なくとも1つの第一ウェブ状領域(66a;86a)を含むことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記接続部材は、前記第二材料層を形成する少なくとも1つの第二ウェブ状領域(66b;86b)を含むことを特徴とする請求項6に記載のセンサーモジュール。
- 前記第一測定面(54)に平行な前記第一および第二ウェブ状領域(66a;66b)は、相互に位置がずれた状態で配置されていることを特徴とする請求項7に記載のセンサーモジュール。
- 前記接続部材は、前記第二材料層を形成する少なくとも1つの実質的に閉じた薄膜領域(50b)を含むことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記第一材料層を含む第一モジュール部(42;62;82)と、前記第二材料層を含む第二モジュール部(44;64;84)とを備えた少なくとも2つのモジュール部(42,44;62,64;82,84)を含むことを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記支持部材(48)および前記モジュールベース(46)が、前記第一材料層(50a;66a;86a)および前記第二材料層(50b;66b;86b)を介して移動可能に相互接続されていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記支持部材(48)は前記第一材料層(106)にのみ接続され、前記モジュールベース(46)は前記第二材料層(104)にのみ接続され、中間要素(108)は、前記第一および第二材料層(104,106)を相互接続するために設けられていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記接続部材(50;66;86;102)は半導体材料で構成されていることを特徴とする請求項1ないし12のいずれかに記載のセンサーモジュール。
- 前記移動可能支持部材(48)に永久的に固定されている触針(26)を含むことを特徴とする請求項1ないし13のいずれかに記載のセンサーモジュール。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005036126A DE102005036126A1 (de) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | Sensormodul für einen Tastkopf eines taktilen Koordinatenmessgerätes |
DE102005036126.9 | 2005-07-26 | ||
PCT/EP2006/006603 WO2007012389A1 (de) | 2005-07-26 | 2006-07-06 | Sensormodul für einen tastkopf eines taktilen koordinatenmesssgerätes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009503460A true JP2009503460A (ja) | 2009-01-29 |
JP5112314B2 JP5112314B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=37243613
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008523165A Expired - Fee Related JP5112314B2 (ja) | 2005-07-26 | 2006-07-06 | 触知式座標測定装置のプローブ用センサーモジュール |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7594339B2 (ja) |
EP (1) | EP1907787B1 (ja) |
JP (1) | JP5112314B2 (ja) |
DE (1) | DE102005036126A1 (ja) |
WO (1) | WO2007012389A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EA015751B1 (ru) | 2006-10-02 | 2011-12-30 | АйАрЭм ЭлЭлСи | Соединения и композиции в качестве ингибиторов протеинкиназ |
KR101637040B1 (ko) | 2009-04-14 | 2016-07-07 | 타이코에이엠피 주식회사 | 변위 센서 |
JP6730894B2 (ja) * | 2016-09-20 | 2020-07-29 | Dmg森精機株式会社 | 検出装置 |
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-
2005
- 2005-07-26 DE DE102005036126A patent/DE102005036126A1/de not_active Ceased
-
2006
- 2006-07-06 JP JP2008523165A patent/JP5112314B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-06 EP EP06754676.2A patent/EP1907787B1/de not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-06 WO PCT/EP2006/006603 patent/WO2007012389A1/de active Application Filing
-
2008
- 2008-01-22 US US12/017,571 patent/US7594339B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1907787B1 (de) | 2013-06-26 |
WO2007012389A1 (de) | 2007-02-01 |
US20080172897A1 (en) | 2008-07-24 |
DE102005036126A1 (de) | 2007-02-01 |
US7594339B2 (en) | 2009-09-29 |
JP5112314B2 (ja) | 2013-01-09 |
EP1907787A1 (de) | 2008-04-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110616 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110912 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111007 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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