JP2009300562A - 多チャンネル直角光路変換素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路と反射ミラーで構成され、基板に対し水平な光導波路と垂直な光導波路の交差部に反射ミラーを配した、光信号の方向を直角に変換する多チャンネル光路変換素子において、基板に垂直な直線光導波路と水平な曲線状又は直線状光導波路及び反射ミラーからなり、接合することなく、連続したコアとクラッドで構成され、単一の構造体であることを特徴とする、光導波路型の多チャンネル光路変換素子。
【選択図】 図4
Description
(1)UV硬化性又は熱硬化性のクラッド材料を用いて溝又は穴を形成し、
(2)UV硬化性のコア材料を成膜し、
(3)曲線状又は直線状の任意の導波路形状を描画したフォトマスクを通して、コア材料にUV照射し、
(4)フォトマスク形状が転写され、未硬化のコア材料を除去することにより、クラッド材料で形成した溝内部に垂直光導波路のコアと基板と水平な曲線状又は直線状の任意の形状を含む光導波路のコアが形成されることを特徴とする上記の多チャンネル光路変換素子の製造方法である。
作製した2層で異なる構造を有する2×4チャンネル直角光路変換素子は、基板から1層目のコアピッチ変換器の損失が3dB以下であり、2層目の直角光路変換素子の損失が2.5dB以下と低損失であった。本実施例により、各層で異なる機能を有する低損失な直角光路変換素子を具現化した。
W2 垂直光導波路のコアピッチ幅
1 面発光レーザー
2 光導波路のコア部
3 光導波路のクラッド部
4 反射ミラー
5 面発光レーザー
6 光導波路のコア部
7 光導波路のクラッド部
8 反射ミラー
9 直角光路変換素子の水平光導波路部(直線光導波路)
10 直角光路変換素子の垂直光導波路部
11 反射ミラー
12 光導波路のクラッド部
13 直角光路変換素子の水平光導波路部(曲がり光導波路)
14 直角光路変換素子の垂直光導波路部
15 反射ミラー
16 光導波路のクラッド部
17 仮基板
18 犠牲層
19 未硬化のクラッド
20 垂直光導波路のクラッド用のフォトマスク
21 未硬化のクラッド
22 クラッド
23 紫外線
24 垂直導波路のクラッド用の溝
25 未硬化のコア
26 水平光導波路用のフォトマスク
27 水平及び垂直光導波路となる硬化したコア部
28 未硬化のコア
29 紫外線
30 現像後の水平及び垂直光導波路のコア
31 クラッド
32 反射ミラー用45度V字溝
33 反射ミラー
34 クラッド
35 本基板
36、37 仮基板
38 クラッド層
39 垂直導波路のクラッド用の溝
40 コア層
41〜44 光導波路部
45 クラッド層
46 反射ミラー用45度V字溝
47 反射ミラー
48 クラッド層
49 仮基板
50 本基板
51〜54 L字光導波路部
55 光導波路コア
56 光導波路クラッド
57 接着剤層
58 反射面
59 反射ミラー
60 面発光レーザーアレイ
61 光導波路コア
62 光導波路クラッド
63 反射ミラー
64 面発光レーザーアレイ
65 光導波路コア
66 光導波路クラッド
67 反射ミラー
Claims (6)
- 光導波路と反射ミラーで構成され、基板に対し水平な光導波路と垂直な光導波路の交差部に反射ミラーを配した、光信号の方向を直角に変換する多チャンネル光路変換素子において、基板に垂直な直線光導波路と水平な曲線状又は直線状光導波路及び反射ミラーからなり、接合することなく、連続したコアとクラッドで構成され、単一の構造体であることを特徴とする、光導波路型の多チャンネル光路変換素子。
- 基板に垂直な直線光導波路と水平な曲線状又は直線状光導波路で構成される1本の連続した光導波路のコアが、複数配置された多チャンネル光路変換素子において、各チャンネルが交差することなく配置されることを特徴とする、請求項1記載の光導波路型の多チャンネル光路変換素子。
- 光導波路型の多チャンネル直角光路変換素子の作製法であって、仮基板上に3次元配列されたコアを形成する工程において、
(1)UV硬化性又は熱硬化性のクラッド材料を用いて溝又は穴を形成し、
(2)UV硬化性のコア材料を成膜し、
(3)曲線状又は直線状の任意の導波路形状を描画したフォトマスクを通して、コア材料にUV照射し、
(4)フォトマスク形状が転写され、未硬化のコア材料を除去することにより、クラッド材料で形成した溝内部に垂直光導波路のコアと基板と水平な曲線状又は直線状の任意の形状を含む光導波路のコアが形成されることを特徴とする、多チャンネル光路変換素子の製造方法。 - 多チャンネル光路変換素子の製造方法において、垂直導波路のクラッドとなる溝と垂直光導波路及び水平光導波路のコア形成を繰り返し行うことにより、多層のコア配列を有する光導波路が形成されることを特徴とする請求項3に記載の多チャンネル光路変換素子の製造方法。
- 多チャンネル光路変換素子の製造方法において、垂直導波路のクラッドとなる溝を形成し、垂直光導波路のコア部のみを形成する工程を繰り返し行い、基板に対し垂直方向の光導波路のみを自由に長くすることを特徴とする請求項3または4に記載の多チャンネル光路変換素子の製造方法。
- 請求項3乃至5に記載の製造方法によって製造された多チャンネル光路変換素子。
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JP2008152566A JP2009300562A (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | 多チャンネル直角光路変換素子 |
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JP2008152566A Pending JP2009300562A (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | 多チャンネル直角光路変換素子 |
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JP (1) | JP2009300562A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107102401A (zh) * | 2016-02-22 | 2017-08-29 | 中国科学院半导体研究所 | 一种多通道光子混合集成的互联芯片及其制备方法 |
EP4145198A1 (en) * | 2021-09-03 | 2023-03-08 | Eagle Technology, LLC | Optical device including laterally guided vertical-cavity surface-emitting lasers (vcsels) outputs and related methods |
TWI814759B (zh) * | 2017-12-13 | 2023-09-11 | 日商日東電工股份有限公司 | 光波導 |
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JP2003315578A (ja) * | 2002-04-23 | 2003-11-06 | Mitsubishi Electric Corp | 光路変換デバイスおよびその製造方法 |
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-
2008
- 2008-06-11 JP JP2008152566A patent/JP2009300562A/ja active Pending
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