JP2009289818A5

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Publication number: JP2009289818A5
Application number: JP2008138353A
Authority: JP
Filing date: 2008-05-27
Publication date: 2011-06-30
Anticipated expiration: 2028-05-27

Claims

被検査基板上の電極パッドにプローブ針を接触させて電気的測定を行った後に前記電極パッド上に形成された針跡を撮像し、電極パッドの下地層の露出の有無を検査する針跡検査装置であって、
カラー成分であるＲ成分、Ｇ成分及びＢ成分の中から、電極パッドの材質と下地層の材質との反射率の差に応じて選択されたカラー成分の画像データを取得する手段と、
この手段で取得された画像データから、電極パッドとは区別して下地層の画像を取得するための、設定されたグレイレベルとこのグレイレベルを有する画素数との関係データを求める手段と、
この手段で求められた関係データに基づいて、針跡における下地層の露出の有無を判定する手段と、を備えたことを特徴とする針跡検査装置。 After performing electrical measurement by bringing the probe needle into contact with the electrode pad on the substrate to be inspected, the needle trace formed on the electrode pad is imaged, and the presence or absence of exposure of the underlying layer of the electrode pad is inspected. A device,
Means for acquiring image data of a color component selected according to a difference in reflectance between the material of the electrode pad and the material of the underlayer from among the R component, G component, and B component that are color components;
Means for obtaining relational data between a set gray level and the number of pixels having the gray level, in order to obtain an image of the underlying layer separately from the electrode pad, from the image data obtained by this means;
And a means for determining whether or not the underlying layer is exposed in the needle trace based on the relationship data obtained by the means.

前記選択されたカラー成分の画像データを取得する手段は、Ｒ成分、Ｇ成分及びＢ成分を含むカラー成分の画像を取得するカラーカメラ、選択されたカラー成分のみを取得するカメラ、若しくは選択されたカラー成分のみの光を照射する照射手段、の何れかを備えたことを特徴とする請求項１記載の針跡検査装置。 The means for acquiring the image data of the selected color component is a color camera that acquires an image of a color component including an R component, a G component, and a B component, a camera that acquires only the selected color component, or a selected The needle mark inspection apparatus according to claim 1, further comprising: an irradiation unit that emits light of only a color component.

前記選択されたカラー成分の画像データに基づいて前記グレイレベルを設定すると共に、当該画像データにニ値化処理を行い、下地層露出領域の検出のためのニ値化画像データを取得する手段を更に備え、
前記関係データはこのニ値化画像データであることを特徴とする請求項１または２のいずれか一つに記載の針跡検査装置。 Means for setting the gray level based on the image data of the selected color component, performing binarization processing on the image data, and acquiring binarized image data for detecting an underlayer exposure area In addition,
The needle trace inspection apparatus according to claim 1, wherein the relation data is binary image data.

前記グレイレベルは、前記選択されたカラー成分の画像データに基づいて予め定めた範囲におけるグレイレベルと画素数との関係を示すヒストグラムを作成し、このヒストグラムに基づいて設定されたものである請求項１ないし３のいずれか一つに記載の針跡検査装置。 The gray level is set based on a histogram indicating a relationship between the gray level and the number of pixels in a predetermined range based on the image data of the selected color component. The needle mark inspection apparatus according to any one of 1 to 3.

電極パッドの材質はアルミニウムであり、下地層の材質は銅であり、選択されたカラー成分はＢ成分であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の針跡検査装置。 5. The needle mark inspection apparatus according to claim 1, wherein the electrode pad is made of aluminum, the base layer is made of copper, and the selected color component is a B component. .

Ｒ成分、Ｇ成分及びＢ成分のうち前記選択されたカラー成分を除いたものの中から、電極パッドの削り滓の影と下地層の材質との反射率の差異に応じて選択されたカラー成分の画像データを取得し、この画像データをニ値化したニ値化画像データをマスクデータとして、下地層露出領域の検出のためのニ値化画像データに対して、電極パッドの削り滓の影に対応する画素を除去するためにマスク処理を行う手段を備えたことを特徴とする請求項３記載の針跡検査装置。 Of the R component, the G component, and the B component excluding the selected color component, the color component selected according to the difference in reflectance between the shading shadow of the electrode pad and the material of the underlayer The image data is acquired, and the binary image data obtained by binarizing the image data is used as mask data for the shadow of the electrode pad shavings with respect to the binary image data for detecting the underlayer exposed area. 4. The needle trace inspection apparatus according to claim 3, further comprising means for performing mask processing to remove corresponding pixels.

電極パッドの材質はアルミニウムであり、下地層の材質は銅であり、マスクデータのために選択されたカラー成分はＲ成分であることを特徴とする請求項６記載の針跡検査装置。 7. The needle mark inspection apparatus according to claim 6, wherein the electrode pad is made of aluminum, the base layer is made of copper, and the color component selected for the mask data is an R component.

下地層の材質は銅であり、前記下地層露出領域の検出のための二値化画像データのために選択されたカラー成分はＢ成分であることを特徴とする請求項６または７記載の針跡検査装置。 8. The needle according to claim 6, wherein the material of the underlayer is copper, and the color component selected for the binarized image data for detecting the underlayer exposed area is a B component. Trace inspection device.

選択されたカラー成分の画像データを取得する手段は、Ｒ成分、Ｇ成分及びＢ成分のうち前記選択されたカラー成分を除いたものの中から選択されたカラー成分の画像データを取得し、この画像データの中から針跡領域に対する画像データを切り出すように構成され、この切り出された画像データに基づいて以後の処理が行われることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一つに記載の針跡検査装置。 The means for acquiring the image data of the selected color component acquires image data of the color component selected from the R component, G component and B component excluding the selected color component, and this image 9. The apparatus according to claim 1, wherein the image data for the needle trace area is cut out from the data, and the subsequent processing is performed based on the cut-out image data. Needle mark inspection device.

電極パッドの材質はアルミニウムであり、下地層の材質は銅であり、針跡領域に対する画像データを切り出すために選択されたカラー成分はＧ成分であることを特徴とする請求項９記載の針跡検査装置。 10. The needle trace according to claim 9, wherein the electrode pad is made of aluminum, the base layer is made of copper, and the color component selected to cut out image data for the needle trace area is a G component. Inspection device.

プローブカードと載置台に基板を載置して、プローブカードのプローブ針を基板上のチップの電極パッドに接触させてチップの電気的測定を行うプローブ装置において
請求項１ないし１０の何れか一項に記載の針跡検査装置を備えたことを特徴とするプローブ装置。 The probe apparatus which mounts a board | substrate on a probe card and a mounting base, and makes the probe needle of a probe card contact the electrode pad of the chip | tip on a board | substrate, and performs the electrical measurement of a chip | tip. A probe device comprising the needle trace inspection device according to 1.

被検査基板上の電極パッドにプローブ針を接触させて電気的測定を行った後に前記電極パッド上に形成された針跡を撮像し、電極パッドの下地層の露出の有無を検査する針跡検査方法であって、
カラー成分であるＲ成分、Ｇ成分及びＢ成分の中から、電極パッドの材質と下地層の材質との反射率の差に応じて選択されたカラー成分の画像データを取得する工程と、
この工程で取得された画像データに対して、電極パッドの材質とは区別して下地層の材質の画像を取得するために設定されたグレイレベルとこのグレイレベルを有する画素数との関係データを求める工程と、
この工程で求められた関係データに基づいて、針跡における下地層の露出の有無を判定する工程と、を備えたことを特徴とする針跡検査方法。 After performing electrical measurement by bringing the probe needle into contact with the electrode pad on the substrate to be inspected, the needle trace formed on the electrode pad is imaged, and the presence or absence of exposure of the underlying layer of the electrode pad is inspected. A method,
Acquiring image data of a color component selected according to the difference in reflectance between the material of the electrode pad and the material of the underlayer from among the R component, G component, and B component that are color components;
With respect to the image data acquired in this step, the relationship data between the gray level set to acquire the image of the material of the base layer, which is distinguished from the material of the electrode pad, and the number of pixels having this gray level is obtained. Process,
And a step of determining whether or not the underlying layer is exposed in the needle trace based on the relational data obtained in this step.

前記選択されたカラー成分の画像データに基づいて前記グレイレベルを設定すると共に、当該画像データにニ値化処理を行い、下地層露出領域の検出のためのニ値化画像データを取得する工程を更に備え、
前記関係データはこのニ値化画像データであることを特徴とする請求項１２に記載の針跡検査方法。 A step of setting the gray level based on the image data of the selected color component, performing binarization processing on the image data, and obtaining binarized image data for detecting an underlayer exposure area In addition,
The needle trace inspection method according to claim 12, wherein the relation data is binary image data.

前記グレイレベルは、前記選択されたカラー成分の画像データに基づいて予め定めた範囲におけるグレイレベルと画素数との関係を示すヒストグラムを作成し、このヒストグラムに基づいて設定されたものである請求項１２または１３に記載の針跡検査方法。 The gray level is set based on a histogram indicating a relationship between the gray level and the number of pixels in a predetermined range based on the image data of the selected color component. The needle mark inspection method according to 12 or 13.

電極パッドの材質はアルミニウムであり、下地層の材質は銅であり、選択されたカラー成分はＢ成分であることを特徴とする請求項１２ないし１４のいずれか一つに記載の針跡検査方法。 15. The needle mark inspection method according to claim 12, wherein the electrode pad is made of aluminum, the base layer is made of copper, and the selected color component is a B component. .

Ｒ成分、Ｇ成分及びＢ成分のうち前記選択されたカラー成分を除いたものの中から、電極パッドの削り滓の影と下地層の材質との反射率の差異に応じて選択されたカラー成分の画像データを取得し、この画像データをニ値化したニ値化画像データをマスクデータとして、下地層露出領域の検出のためのニ値化画像データに対して、電極パッドの削り滓の影に対応する画素を除去するためにマスク処理を行う工程を備えたことを特徴とする請求項１２または１３記載の針跡検査方法。 Of the R component, the G component, and the B component excluding the selected color component, the color component selected according to the difference in reflectance between the shading shadow of the electrode pad and the material of the underlayer The image data is acquired, and the binary image data obtained by binarizing the image data is used as mask data for the shadow of the electrode pad shavings with respect to the binary image data for detecting the underlayer exposed area. 14. The needle trace inspection method according to claim 12, further comprising a step of performing a mask process to remove the corresponding pixel.

電極パッドの材質はアルミニウムであり、下地層の材質は銅であり、マスクデータのために選択されたカラー成分はＲ成分であることを特徴とする請求項１６記載の針跡検査方法。 17. The needle mark inspection method according to claim 16, wherein the electrode pad is made of aluminum, the base layer is made of copper, and the color component selected for the mask data is an R component.

下地層の材質は銅であり、前記下地層露出領域の検出のための二値化画像データのために選択されたカラー成分はＢ成分であることを特徴とする請求項１６または１７に記載の針跡検査方法。 The material of the underlayer is copper, and the color component selected for the binarized image data for detecting the underlayer exposed area is a B component. Needle mark inspection method.

前記電極パッドの材質と下地層の材質との反射率の差に応じて選択されたカラー成分の画像データを取得する工程は、Ｒ成分、Ｇ成分及びＢ成分のうち前記選択されたカラー成分を除いたものの中から選択されたカラー成分の画像データを取得し、この画像データの中から針跡領域に対する画像データを切り出す工程を含み、この切り出された画像データに基づいて以後の処理が行われることを特徴とする請求項１２ないし１８のいずれか一つに記載の針跡検査方法。 The step of acquiring the image data of the color component selected according to the difference in reflectance between the material of the electrode pad and the material of the underlying layer includes selecting the selected color component from among the R component, G component and B component. It includes a step of acquiring image data of a color component selected from the excluded ones, and cutting out image data for the needle trace region from the image data, and subsequent processing is performed based on the cut-out image data The needle trace inspection method according to any one of claims 12 to 18, wherein the needle trace inspection method is performed.

電極パッドの材質はアルミニウムであり、下地層の材質は銅であり、針跡領域に対する画像データを切り出すために選択されたカラー成分はＧ成分であることを特徴とする請求項１９記載の針跡検査方法。 20. The needle trace according to claim 19, wherein the electrode pad is made of aluminum, the base layer is made of copper, and the color component selected to cut out image data for the needle trace area is a G component. Inspection method.

被検査基板上の電極パッドにプローブ針を接触させて電気的測定を行った後に前記電極パッド上に形成された針跡を撮像し、電極パッドの下地層の露出の有無を検査する針跡検査装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項１２ないし２０のいずれか一つに記載の針跡検査方法を実行するようにステップ群が構成されていることを特徴とする記憶媒体。 After performing electrical measurement by bringing the probe needle into contact with the electrode pad on the substrate to be inspected, the needle trace formed on the electrode pad is imaged, and the presence or absence of exposure of the underlying layer of the electrode pad is inspected. A storage medium storing a computer program used in the apparatus,
A storage medium characterized in that the computer program includes a group of steps so as to execute the needle trace inspection method according to any one of claims 12 to 20.