JP2009283789A - 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】スループットを向上できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光光が照射される第1位置を含む第1領域を有する露光ステーションと、基板の位置情報を計測するための第2位置を含み、第1領域と異なる第2領域を有する計測ステーションと、第1領域及び第2領域を含む所定領域内で基板を保持しながら移動可能な移動体と、移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムとを備える。エンコーダシステムは、移動体に配置されたエンコーダヘッドと、露光ステーションに配置される移動体のエンコーダヘッド、及び計測ステーションに配置される移動体のエンコーダヘッドのそれぞれと対向可能な位置に配置されたスケール板とを有する。
【選択図】図1
Description
Claims (30)
- 基板を露光光で露光する露光装置であって、
前記露光光が照射される第1位置を含む第1領域を有する露光ステーションと、
前記基板の位置情報を計測するための第2位置を含み、前記第1領域と異なる第2領域を有する計測ステーションと、
前記第1領域及び前記第2領域を含む所定領域内で基板を保持しながら移動可能な移動体と、
前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、を備え、
前記エンコーダシステムは、
前記移動体に配置されたエンコーダヘッドと、
前記露光ステーションに配置される前記移動体の前記エンコーダヘッド、及び前記計測ステーションに配置される前記移動体の前記エンコーダヘッドのそれぞれと対向可能な位置に配置されたスケール板と、を有する露光装置。 - 前記スケール板の少なくとも一部が前記露光ステーションに配置され、別の少なくとも一部が前記計測ステーションに配置される請求項1記載の露光装置。
- 前記エンコーダシステムは、所定の基準に対する前記移動体の絶対位置情報を計測可能である請求項1又は2記載の露光装置。
- 前記計測ステーションに前記移動体を配置して、前記エンコーダシステムで前記移動体の位置情報を計測つつ、前記移動体に保持されている基板の位置情報を計測して、前記基準に対する前記基板の位置情報を求めた後、
前記露光ステーションに前記移動体を移動して、前記エンコーダシステムで前記移動体の位置情報を計測して、前記第1位置に対する前記基板の位置情報を求める請求項3記載の露光装置。 - 前記エンコーダシステムで求められる、前記基準に対する前記移動体の位置情報と、既知である前記基準に対する前記第2位置の位置情報とに基づいて、前記基準に対する前記基板の位置情報を求める請求項4記載の露光装置。
- 前記基準に対する前記第1位置の位置情報を求める計測装置を備え、
前記エンコーダシステムで求められる、前記基準に対する前記移動体の位置情報と、前記計測装置で求められる、前記基準に対する前記第1位置の位置情報とに基づいて、前記第1位置に対する前記基板の位置情報を求める請求項4又は5記載の露光装置。 - 前記計測装置は、前記移動体に配置され、前記露光光を受光可能な受光部を含み、
前記エンコーダシステムで前記露光ステーションに配置された前記移動体の位置情報を計測し、前記受光部を用いて前記露光光を受光して、前記基準に対する前記第1位置の位置情報を求める請求項6記載の露光装置。 - 前記基準は、前記スケール板を含む請求項3〜7いずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光ステーションに配置されている前記移動体の位置情報を計測するレーザ干渉計システムを備え、
前記露光ステーションに前記移動体を移動して、前記エンコーダシステムを用いて前記移動体の位置情報を計測して、前記第1位置に対する前記基板の位置情報を求め、前記エンコーダシステムの計測値と前記レーザ干渉計システムの計測値との関連付けを行った後、少なくとも前記基板の露光中に、前記レーザ干渉計システムを用いて、前記移動体の位置情報を計測する請求項3〜8のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記移動体は、第1エンコーダヘッドが配置され、前記所定領域内で移動可能な第1移動体と、第2エンコーダヘッドが配置され、前記第1移動体と独立して前記所定領域内で移動可能な第2移動体とを含み、
前記スケール板は、前記第1領域及び前記第2領域の一方の領域に配置された前記第1移動体の前記第1エンコーダヘッドと、他方の領域に配置された前記第2移動体の前記第2エンコーダヘッドと同時に対向可能である請求項1〜9のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記エンコーダシステムは、前記一方の領域に配置された前記第1移動体と前記他方の領域に配置された前記第2移動体との位置関係を求める請求項10記載の露光装置。
- 前記エンコーダヘッドは、前記移動体に少なくとも2つ配置され、
前記エンコーダシステムは、前記計測ステーションに配置され、前記少なくとも2つのエンコーダヘッドが同時に対向可能な第2のスケール板を有する請求項1〜11のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第2のスケール板を用いて、前記少なくとも2つのエンコーダヘッドをキャリブレーションする請求項12記載の露光装置。
- 前記移動体は、前記計測ステーションに配置されたとき、前記少なくとも2つのエンコーダヘッドのうち、一方のエンコーダヘッドと前記スケール板とを対向させ、前記露光ステーションに配置されたとき、他方のエンコーダヘッドと前記スケール板とを対向させる請求項12又は13記載の露光装置。
- 前記基板上に複数のショット領域が配置され、
前記基板の位置情報は、前記ショット領域の位置情報を含む請求項1〜14のいずれか一項記載の露光装置。 - 請求項1〜15のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 基板を露光光で露光する露光方法であって、
前記露光光が照射される第1位置を含む露光ステーションの第1領域、及び前記基板の位置情報を計測するための第2位置を含む計測ステーションの第2領域を含む所定領域内で基板を保持しながら移動可能な移動体に、エンコーダヘッドを配置することと、
前記露光ステーションに配置される前記移動体の前記エンコーダヘッド、及び前記計測ステーションに配置される前記移動体の前記エンコーダヘッドのそれぞれと対向可能な位置にスケール板を配置することと、
前記移動体を前記計測ステーションに配置して、前記エンコーダヘッドで前記スケール板を計測した後、前記移動体を前記露光ステーションに移動することと、
前記計測結果を用いて、前記露光ステーションにおいて前記移動体の位置を調整し、前記基板を露光することと、を含む露光方法。 - 前記スケール板の少なくとも一部を前記露光ステーションに配置し、別の少なくとも一部を前記計測ステーションに配置する請求項17記載の露光方法。
- 前記エンコーダシステムは、所定の基準に対する前記移動体の絶対位置情報を計測可能である請求項17又は18記載の露光方法。
- 前記計測ステーションに前記移動体を配置して、前記エンコーダシステムで前記移動体の位置情報を計測つつ、前記移動体に保持されている基板の位置情報を計測して、前記基準に対する前記基板の位置情報を求めることと、
前記露光ステーションに前記移動体を移動して、前記エンコーダシステムで前記移動体の位置情報を計測して、前記第1位置に対する前記基板の位置情報を求めることと、を含む請求項19記載の露光方法。 - 前記エンコーダシステムで求められる、前記基準に対する前記移動体の位置情報と、既知である前記基準に対する前記第2位置の位置情報とに基づいて、前記基準に対する前記基板の位置情報を求める請求項20記載の露光方法。
- 前記基準に対する前記第1位置の位置情報を求めることと、
前記エンコーダシステムで求められる、前記基準に対する前記移動体の位置情報と、前記基準に対する前記第1位置の位置情報とに基づいて、前記第1位置に対する前記基板の位置情報を求めることと、を含む請求項20又は21記載の露光方法。 - 前記エンコーダシステムで、前記露光ステーションに配置された前記移動体の位置情報を計測し、前記移動体に配置された受光部を用いて前記露光光を受光して、前記基準に対する前記第1位置の位置情報を求める請求項22記載の露光方法。
- 前記基準は、前記スケール板を含む請求項19〜23いずれか一項記載の露光方法。
- 前記露光ステーションに前記移動体の位置情報を計測するレーザ干渉計システムが配置され、
前記露光ステーションに前記移動体を移動して、前記エンコーダシステムを用いて前記移動体の位置情報を計測して、前記第1位置に対する前記基板の位置情報を求め、前記エンコーダシステムの計測値と前記レーザ干渉計システムの計測値との関連付けを行った後、少なくとも前記基板の露光中に、前記レーザ干渉計システムを用いて、前記移動体の位置情報を計測する請求項19〜24のいずれか一項記載の露光方法。 - 前記移動体は、第1エンコーダヘッドが配置され、前記所定領域内を移動可能な第1移動体と、第2エンコーダヘッドが配置され、前記所定領域内を移動可能な第2移動体とを含み、
前記スケール板は、前記第1領域及び前記第2領域の一方の領域に配置された前記第1移動体の前記第1エンコーダヘッドと、他方の領域に配置された前記第2移動体の前記第2エンコーダヘッドと同時に対向可能であり、
前記エンコーダシステムを用いて、前記一方の領域に配置された前記第1移動体と前記他方の領域に配置された前記第2移動体との位置関係を求めることを含む請求項17〜25のいずれか一項記載の露光方法。 - 前記エンコーダヘッドは、前記移動体に少なくとも2つ配置され、
前記計測ステーションに、前記少なくとも2つのエンコーダヘッドが同時に対向可能な第2のスケール板が配置され、
前記第2のスケール板を用いて、前記少なくとも2つのエンコーダヘッドをキャリブレーションする請求項17〜26のいずれか一項記載の露光方法。 - 前記計測ステーションに配置された前記移動体の、前記少なくとも2つのエンコーダヘッドのうち、一方のエンコーダヘッドと前記スケール板とが対向され、前記露光ステーションに配置された前記移動体の、他方のエンコーダヘッドと前記スケール板とが対向される請求項27記載の露光方法。
- 前記基板上に複数のショット領域が配置され、
前記基板の位置情報は、前記ショット領域の位置情報を含む請求項17〜28のいずれか一項記載の露光方法。 - 請求項17〜29のいずれか一項記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008135983A JP5109805B2 (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
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JP2009283789A true JP2009283789A (ja) | 2009-12-03 |
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A621 | Written request for application examination |
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