JP2009282019A - インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システム、及びこれを具備したインクジェットプリンティング装置。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムは、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に裝着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、及び上記少なくとも一つ以上の検査装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含むことを特徴とする。
【選択図】図2a
Description
上述した一定のパターンを形成するための方法では、例えば、二つのロールを利用してオフセット印刷方式で一定なパターンを直接パターニングする方式、または、インクの液滴を噴出するインクジェットヘッダーを具備したインクジェットプリンティング装置を使用して一定なパターンを直接パターニングする方式が用いられている。
図1aは、従来の技術によるインクジェットプリンティング装置の斜視図を図示している。
図1aを参照すれば、従来の技術によるインクジェットプリンティング装置(100)は、例えば、プリンティング対象物(110)上に複数パターン(114)を形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド(120)、上記複数インクジェットヘッド(120)が装着され、上記プリンティング対象物(110)上で移動可能なガントリー(130)、及び上記複数インクジェットヘッド(120)に各々連結され、インクを提供するためのインク貯蔵装置(150)で構成されている。以下では、從來の技術によるインクジェットプリンティング装置(100)の動作を詳細に記述する。
再び、図1aを参照すれば、インクジェットプリンティング装置(100)では、複数インクジェットヘッド(120)にインク貯蔵装置(150)からインク供給主導管(main conduit、152)、及び複数の分岐導管(branch conduits、152a、152b、152c、152d、...、152e)を通じて予めインクが供給される。インク供給の開始、及び終了は複数の制御バルブ(156a、156b、156c、156d、...、156e)によって制御される。インク貯蔵装置(150)の加圧力は、インク加圧用導管から供給される加圧流体(例えば空気)によって提供される。加圧流体の供給は、加圧流体制御バルブ(154)によって制御される。その後、複数インクジェットヘッド(120)が装着されたガントリー(130)がプリンティング対象物(110)上で移動しながら、プリンティング対象物(110)上にインクを供給して所望の複数パターン(114)を形成する。プリンティング対象物(110)は、プリンティング対象物(110)を固定するためのステージ(112)上に位置され、ステージ(112)は印刷装置のフレーム(160)上に位置される。
一方、複数パターン(114)が形成されたプリンティング対象物(110)は、例えば、ロボットアーム(robot arm)のような別途の移送装置(未図示)によって後続工程段階に移動する。こうした後続工程段階では、検査装置(未図示)によってプリンティング対象物(110)上に形成された複数パターン(114)が正確に形成されたかどうかが検査される。検査装置は、例えば、公知の光学センサー、公知の光学系、CCDカメラ、スキャンカメラ(scan camera)、または、ビジョンカメラ(vision camera)などを含むことができる。
図1bは、図1aに図示された従来の技術によるインクジェットプリンティング装置に使用される熱インクジェットヘッド(thermal ink−jet head)、及び動作を詳細に説明するための図面が図示している。
図1bを参照すれば、従来の技術による熱インクジェットヘッド(120)は、図1aに図示された従来の技術による複数インクジェットヘッド(120)の中で任意の一つのインクジェットヘッド(120)を例示している。熱インクジェットヘッド(120)では、ヒーター(122)に電圧パルス(electric power pulse)が加えられると、チャンバ(124)内のインクが瞬間的に熱を受けて膨脹し、ノズル穴(126)を通じて液滴(droplet)の形態(128)で噴射される。従って、図1aに図示された複数インクジェットヘッド(120)がそれぞれ図1bに図示された熱インクジェットヘッド(120)である場合、上述したようなヒーター(122)の瞬間的な加熱によってインクの液滴(128)がノズル穴(126)を通じて噴射され、所望の複数パターン(114)が形成される。
図1cは、図1aに図示された従来の技術によるインクジェットプリンティング装置に使用されるピエゾインクジェットヘッド(piezo ink−jet head)、及び動作を詳細に説明するための図面を図示している。
図1cを参照すれば、従来の技術によるピエゾインクジェットヘッド(120)は、図1aに図示された従来の技術による複数インクジェットヘッド(120)の中で 任意の一つのインクジェットヘッド(120)を例示している。ピエゾインクジェットヘッド(120)では、圧電駆動装置(driver 123)によってヘッド(120)に付着された圧電素子(121)に変形を加える。印加された変形は、ヘッド(120)内のメニスカス(meniscus)(124)を振動させ、インクがヘッド(120)のノズル穴(126)から液滴(droplet)を形成して吐出される。
上述した従来の技術によるインクジェットプリンティング装置(100)では、複数インクジェットヘッド(120)に使用されるインクが通常的に多様な種類のフォトレジスト(PR)液、または、金属ペースト(以下では、通称して"インク"という)である。更に、インクジェットヘッド(120)のノズル(126)は、直径が約数μmないし数十μm(例えば、20μm)の狭いサイズを備える。
上述したような従来の技術のインクジェットプリンティング装置(100)では、プリンティング対象物(110)上に複数パターン(114)が形成するプリンティング工程と、こうしたプリンティング工程が完了された後プリンティング状態に対する検査工程が別個の装置、及び別個の工程からなる。従って、従来の技術のインクジェットプリンティング装置(100)は、次のような問題が発生する。
1.プリンティング工程、及びプリンティング状態の検査工程が別個に行われるので、プリンティング工程の完了後、検査工程を遂行するために複数パターン(114)が形成されたプリンティング対象物(110)の移送工程が要求される。従って、こうしたプリンティング対象物(110)の移送のための移送時間によって全体の工程時間(tact time)が増加し、また、別途の移送工程及び移送装備が要求されるので費用が増加する。
2.プリンティング対象物(110)上に形成された複数パターン(114)の検査結果、追加でインクを供給しなければならない場合(例えば、インクの塗布が十分ではない場合)、プリンティング対象物(110)を再び検査段階前のプリンティング工程段階に移送し、追加でインクを供給しなければならない。この場合、進行中である後続プリンティング工程が中断しなければならないし、また、プリンティング対象物(110)の追加移送及び追加検査による工程を追加しなければなれない。従って、検査工程でプリンティング状態が不良であると判定された場合、プリンティング工程、及び検査工程が非常に非効率的であるだけでなく、追加移送、及び追加検査による別途工程の追加、及び工程の時間が増えるという問題が発生する。
3.また、プリンティング対象物(110)上に形成された複数パターン(114)の検査結果、例えば、R、G、Bパターン上にインクが過剰塗布されてエッチング(etching)工程のような別途の追加工程が必要な場合、プリンティング対象物(110)を別途のエッチング装置上に移送してエッチング工程を行うことができる。この場合、検査の工程段階で発見された誤謬(インクの過剰塗布など)を解決するためには、後続的に行われるプリンティング工程でインクジェットプリンティング装置(100)のインク塗布量を個別的に調整しなければならないし、これは、相当な人力と時間を要する。また、検査の工程段階で誤謬(インクの過剩塗布など)が発見されても、こうした誤謬がインクジェットプリンティング装置(100)にリアルタイムでフィードバックされないので、誤謬が解決される前までは後続的に行われるプリンティング工程で同一な誤謬が持続的に発生する。
従って、上述した問題点を解決するための新しい方案が要求される。
本発明の第2特徴によると、インクジェットプリンティング装置において、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に装着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、上記複数インクジェットヘッドに各々連結され、上記複数インクジェットヘッドに提供されるインクを貯蔵するインク貯蔵装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、上記少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記インク貯蔵装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含み、上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、上記少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記制御装置は、インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムを構成するインクジェットプリンティング装置を特徴としている。
1.従来の技術とは異なり、プリンティング工程、及びプリンティング状態の検査工程が同時にリアルタイムで行われるので、検査工程のために要求される移送工程及び移送装備が不必要であり、全体の工程時間(tact time)、及び費用が減少する。
2.プリンティング対象物上に形成された複数パターンの検査結果によって追加的な後続工程が要求される場合でも、後続工程が迅速で、簡便で、効率的に成り立つことができる。
3.プリンティング対象物上に形成された複数パターンの検査結果に対するデータベースの構築が可能である。
4.プリンティング状態に対する検査の結果を後続プリンティング工程に反映するようにリアルタイムでモニタリング、及びフィードバックしてくれることで、後続プリンティング工程の問題点を速やかに除去することができる。
5.インクジェットプリンティング装置の生産性、及び効率性が著しく改善される。
本発明の追加的な長所は、添付の図面を参照すれば以下の説明から明らかに理解できる通り、同一、または、類似した参照番号が等しい構成要素を表示することである。
図2aは、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティング装置の斜視図を図示した図面である。
図2aを参照すれば、本発明の一実施例によるインクジェットプリンティング装置(200)は、プリンティング対象物(210)上に複数パターン(214)を形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド(220)、上記複数インクジェットヘッド(220)が装着され、上記プリンティング対象物(210)上で移動可能なガントリー(230)、上記ガントリー(230)の後方に装着され、上記プリンティング対象物(210)上に形成された複数パターン(214)の状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置(240)、上記複数インクジェットヘッド(220)に各々連結され、上記複数インクジェットヘッド(220)に提供されるインクを貯蔵するインク貯蔵装置(250)、上記複数インクジェットヘッド(220)、上記ガントリー(230)、上記少なくとも一つ以上の検査装置(240)、及び上記インク貯蔵装置(250)のそれぞれの動作を制御する制御装置(280)で構成されている。上記インクジェットプリンティング装置(200)の中で複数インクジェットヘッド(220)、ガントリー(230)、少なくとも一つ以上の検査装置(240)、及び制御装置(280)が後述するような複合システム(290)を構成する。また、図2aから分かるように、プリンティング対象物(210)は、プリンティング対象物(210)を固定するためのステージ(212)上に位置され、ステージ(212)は、印刷装置のフレーム(260)上に位置される。
図2bは、図2aに図示された本発明の一実施例によるインクジェットプリンティング装置を概略的なブロックダイヤグラムで図示した図面であり、図2cは、図2aに図示された本発明の一実施例によるインクジェットプリンティング装置に使用される検査装置を具備した複合システムの概略的な一部の側断面図を図示した図面である。図2bに図示された参照符号270(図2aでは、図示されない)は、クリーニング(洗浄)装置を各々表示する。クリーニング装置(270)の詳細な内容は、本出願人によって2008年2月25日付けに「インクジェットプリンティング装置用ヘッドのクリーニング装置、及びこれを具備したインクジェットプリンティング装置用ヘッド、及びインクジェットプリンティング装置」という発明の名称で出願された大韓民国特許出願第10−2008−0016795号に詳細に記述されている。こうした大韓民国特許出願第10−2008−0016795号の開示内容は、本明細書に参照されて本発明の一部を成す。
図2aから図2cを参照すれば、本発明の一実施例による複合システム(290)は、プリンティング対象物(210)上に複数パターン(214)を形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド(220)、上記複数インクジェットヘッド(220)が装着され、上記プリンティング対象物(210)上で移動可能なガントリー(230)、上記ガントリー(230)の後方に装着され、上記プリンティング対象物(210)上に形成された複数パターン(214)の状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置(240)、及び上記複数インクジェットヘッド(220)、上記ガントリー(230)、及び上記少なくとも一つ以上の検査装置(240)のそれぞれの動作を制御する制御装置(280)で構成される。上述した本発明に使用される複数インクジェットヘッド(220)は、各々図1bに図示された熱インクジェットヘッド(thermal ink−jet head)、または、図1cに図示されたピエゾインクジェットヘッド(piezo ink−jet head)で具現されることができる。以下で本発明の一実施例による複合システム(290)、及びこれを具備したインクジェットプリンティング装置(200)のそれぞれの構成要素、及び動作を詳細に記述する。
再び、図2aを参照すれば、本発明のインクジェットプリンティング装置(200)では、複数インクジェットヘッド(220)にインク貯蔵装置(250)からインク供給主導管(252)、及び複数のインク供給分岐導管(252a、252b、252c、252d、...、252e)を通じて予めインクが供給される。インク供給の開始、及び終了は、複数のインク供給制御バルブ(256a、256b、256c、256d、...、256e)によって制御される。インク貯蔵装置(250)の加圧力は、インク加圧用導管から供給される加圧流体(例えば、空気)によって提供される。加圧流体の供給は、加圧流体制御バルブ(254)によって制御される。その後、複数インクジェットヘッド(220)が装着されたガントリー(230)がプリンティング対象物(210)上で移動しながら、プリンティング対象物(210)上にインクを供給して所望の複数パターン(214)を形成する。プリンティング対象物(210)上でのガントリー(230)、及び複数インクジェットヘッド(220)の上下移動は、ガントリー(230)に付着されたアクチュエーター(232)(図2c参照)によって成り立つ。複数パターン(214)は、ガントリー(230)の後方に装着された少なくとも一つ以上の検査装置(240)によって正確なパターンが形成されたかどうか(以下で、「パターン形成状態」という)が検査される。従って、少なくとも一つ以上の検査装置(240)を具備した複合システム(290)では、複数インクジェットヘッド(220)によってプリンティング対象物(210)上に複数パターン(214)が形成されるプリント動作、及びそれに従って形成されたパターン形成状態の検査動作が同時に、そしてリアルタイムで成り立つ。
図2b及び図2cを参照すれば、本発明の複合システム(290)に使用される少なくとも一つ以上の検査装置(240)は、各々検査用光学装置(242)、上記検査用光学装置(242)の焦点を自動に調整するためのオートフォーカシング装置(242)、及び上記検査用光学装置(242)に使用される光を供給する光源(246)を含むことができる。検査用光学装置(242)は、例えば、公知の光学センサー、公知の光学系、CCDカメラ、スキャンカメラ(scan camera)、ビジョンカメラ(vision camera)、及びこれらの任意の結合ユニット(例えば、CCDカメラとスキャンカメラが一緒に結合された一つのユニット)のいずれか一つで構成されることができる。また、検査用光学装置(242)の倍率は、例えば相異した焦点を備え、互換可能な複数の対物レンズを使用して可変的に調整されることができる。また、検査装置(240)は、複数パターン(214)の実際イメージ(real images)、及び実際幅と高さのいずれか一つ、または、両者と同じ複数パターン(214)のパターン形成状態情報をディスプレーすることのできるディスプレー装置(248)を追加で含むことができる(「複数パターン(214)の実際イメージ、及び実際幅と高さのいずれか一つ、または、両者と同じ複数パターン(214)のパターン形成状態情報をディスプレーすることのできるディスプレー装置(248)を追加で含むことができる」で、パターン形成状態情報は、「実際イメージ(real images)」+「実際幅と高さのいずれか一つ、または、両者」ではなく、「実際イメージ(real images)」と「実際幅と高さ」のどれ一つ、または、両者を意味します。以下、すべて同じです)。
一方、検査装置(240)の検査用光学装置(242)によって測定された複数パターン(214)の幅、及び高さなどを含んだデータは制御装置(280)に伝送される。制御装置(280)は、検査装置(240)から受ける複数パターン(214)のイメージ、幅、及び高さの中の或る一つ以上のデータを貯蔵することができる。また、制御装置(280)は、貯蔵された複数パターン(214)のデータを分析することのできるソフトウェア(S/W)を含むことができる。その結果、制御装置(280)は、ソフトウェアによって貯蔵された複数パターン(214)のデータを分析して複数パターン(214)の実際幅、及び実際高さを測定することができる。また、制御装置(280)は、複数パターン(214)の実際イメージ及び/または、測定された実際幅と高さを検査装置(240)内からディスプレー装置(248)に伝送することができる。現場の使用者は、ディスプレー装置(248)上にディスプレーされた複数パターン(214)の実際イメージ及び/または、測定された実際幅と高さを通じて複数パターン(214)のパターン形成状態をリアルタイムで確認することが可能である。更に、リアルタイムで確認されたパターン形成状態に基づいて、適切な後続動作(例えば、過剰塗布によるパターンのエッチング工程、または、パターンの幅及び/または、高さの調整工程)を遅滞なく行うことができる。
また、制御装置(280)は、外部データの入力、出力装置(282)と有線、または、無線で連結されて両方向通信が可能である。外部データの入力、出力装置(282)は、例えば、タッチスクリーン(touch screen)で具現されることができ、本発明の複合システム(290)を含むインクジェットプリンティング装置(200)の各構成要素の動作に必要な情報を制御装置(280)に入力、または、出力するのに使うことができる。また、例えば、複数パターン(214)のイメージを分析して得られた複数パターン(214)の実際イメージ、及び実際幅と高さの一つあるいは両者と等しい複数パターン(214)のパターン形成状態情報に対するデータの修正が必要な場合、制御装置(280)で直接データの修正情報を入力、または、出力するとか、または、外部データの入力、出力装置(282)を利用してデータの修正情報を入力、または、出力することも可能である。
図2dは、図2a及び図2dに図示された制御装置から検査装置内のディスプレー装置に伝送された複数パターンの実際イメージ、及び3次元分析イメージを例示した図面である。
さらに具体的に、図2dには、R、G、Bを構成するセル(cell)のピット(pit)内に実際に形成されたインクパターンのイメージと、R、G、Bで構成された一つのピクセル(pixel)の幅と高さを現わした3次元分析イメージが例示的にディスプレーされている。このような実際イメージと3次元分析イメージを使って確認されたパターン形成状態に基づいて、上述したような適切な後続動作を遂行することができる。図2dに図示されたイメージは、例示的なことであり、同業者であれば、上述したイメージ以外のパターン形成状態に対する他のデータ情報(例えば、セル番号など)がディスプレーすることができるということを十分に理解できる。
上述した本発明では、インクの供給動作を含んだインクジェットプリンティング装置(200)の全体の動作等は、例えば、マイクロプロセッサー、または、パーソナルコンピューター等のような一つの制御装置(280)によって予め定められたプログラムに従って制御されることができる。また、同業者であれば、インクを供給するためには、供給に必要な圧力、及び供給量を制御することができるポンプのような強制送液機能を具備したアクチュエーター(未図示)が使われなければならないことを十分に理解することができる。
ここに記載、説明した構成及び方法は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で様々に変更可能であるため、開示及び添付図面の内容は実例であり、限定するものではない。従って、本発明の幅及び範囲は、上記実施例に限定されず、以下の請求項等にのみ基づいて定義されるべきである。
Claims (22)
- インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムにおいて、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に裝着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、及び上記少なくとも一つ以上の検査装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含む複合システム。
- 請求項1において、上記一つ以上の検査装置は、各々検査用光学装置、上記検査用光学装置の焦点を自動に調整するためのオートフォーカシング装置、及び上記検査用光学装置に使用される光を供給する光源を含む複合システム。
- 請求項2において、上記検査用光学装置は、公知の光学センサー、公知の光学系、CCDカメラ、スキャンカメラ(scan camera)、ビジョンカメラ(vision camera)、及びこれらの任意の結合ユニットのいずれか一つで構成される複合システム。
- 請求項2において、上記検査用光学装置の倍率は、相異した焦点を具備し、互換可能な複数の対物レンズを使用して可変的に調整することができる複合システム。
- 請求項2において、上記一つ以上の検査装置は、各々上記複数パターンのパターン形成状態情報をディスプレーすることのできるディスプレー装置を追加で含む複合システム。
- 請求項5において、上記パターン形成状態情報が上記複数パターンの実際イメージ(real images)、及び実際幅と高さのいずれか一つ、または、両者を含む複合システム。
- 請求項1から請求項6のいずれか1項において、上記複合システムは、上記制御装置と有線、または、無線で両方向通信が可能になるように連結され、上記複合システムの動作に必要な情報、または、上記複数パターンのパターン形成状態に対するデータの修正情報を入力、または、出力するための外部データの入力、出力装置を追加で含む複合システム。
- 請求項1から請求項6のいずれか1項において、上記複数インクジェットヘッドは、各々熱インクジェットヘッド(thermal ink−jet head)、または、ピエゾインクジェットヘッド(piezo ink−jet head)で具現される複合システム。
- 請求項7において、上記複数インクジェットヘッドは、各々熱インクジェットヘッド(thermal ink−jet head)、または、ピエゾインクジェットヘッド(piezo ink−jet head)で具現される複合システム。
- 請求項1から請求項6のいずれか1項において、上記インクがフォトレジスト(PR)液、または、金属ペーストである複合システム。
- 請求項7において、上記インクがフォトレジスト(PR)液、または、金属ペーストである複合システム。
- インクジェットプリンティング装置において、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、
上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に装着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、上記複数インクジェットヘッドに各々連結され、上記複数インクジェットヘッドに提供されるインクを貯蔵するインク貯蔵装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、上記少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記インク貯蔵装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含み、
上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、上記少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記制御装置は、インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムを構成するインクジェットプリンティング装置。 - 請求項12において、上記一つ以上の検査装置は、各々検査用光学装置、上記検査用光学装置の焦点を自動に調整するためのオートフォーカシング装置、及び上記検査用光学装置に使用される光を供給する光源を含むインクジェットプリンティング装置。
- 請求項13において、上記検査用光学装置は、公知の光学センサー、公知の光学系、CCDカメラ、スキャンカメラ(scan camera)、ビジョンカメラ(vision camera)、及びこれらの任意の結合ユニットのいずれが一つで構成されるインクジェットプリンティング装置。
- 請求項13において、上記検査用光学装置の倍率は、相異した焦点を具備し、互換可能な複数の対物レンズを使用して可変的に調整されることができるインクジェットプリンティング装置。
- 請求項13において、上記一つ以上の検査装置は、各々上記複数パターンのパターン形成状態情報を ディスプレーすることのできるディスプレー装置を追加で含むインクジェットプリンティング装置。
- 請求項16において、上記パターン形成状態情報が上記複数パターンの実際イメージ(real images)、及び実際幅と高さのいずれか一つ、または、両者を含むインクジェットプリンティング装置。
- 請求項12から請求項17のいずれか1項において、上記複合システムは、上記制御装置と有線、または、無線で両方向通信が可能になるように連結され、上記複合システムの動作に必要な情報、または、上記複数パターンのパターン形成状態に対するデータの修正情報を入力、または、出力するための外部データの入力、出力装置を追加で含むインクジェットプリンティング装置。
- 請求項12から請求項17のいずれか1項において、上記複数インクジェットヘッドは、各々熱インクジェットヘッド(thermal ink−jet head)、または、ピエゾインクジェットヘッド(piezo ink−jet head)で具現されるインクジェットプリンティング装置。
- 請求項18において、上記複数インクジェットヘッドは、各々熱インクジェットヘッド(thermal ink−jet head)、または、ピエゾインクジェットヘッド(piezo ink−jet head)で具現されるインクジェットプリンティング装置。
- 請求項12から請求項17のいずれか1項において、上記インクがフォトレジスト(PR)液、または、金属ペーストである複合システム。
- 請求項18において、上記インクがフォトレジスト(PR)液、または、金属ペーストである複合システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080035827A KR100987828B1 (ko) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | 잉크젯 프린팅 기능 및 검사 기능을 구비한 복합 시스템,및 이를 구비한 잉크젯 프린팅 장치 |
KR10-2008-0035827 | 2008-04-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009282019A true JP2009282019A (ja) | 2009-12-03 |
JP5793823B2 JP5793823B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
ID=41200769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009097989A Expired - Fee Related JP5793823B2 (ja) | 2008-04-17 | 2009-04-14 | インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システム、及びこれを具備したインクジェットプリンティング装置。 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090262155A1 (ja) |
JP (1) | JP5793823B2 (ja) |
KR (1) | KR100987828B1 (ja) |
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-
2008
- 2008-04-17 KR KR1020080035827A patent/KR100987828B1/ko active IP Right Grant
-
2009
- 2009-04-14 JP JP2009097989A patent/JP5793823B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-04-16 US US12/425,008 patent/US20090262155A1/en not_active Abandoned
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KR100987828B1 (ko) | 2010-10-13 |
JP5793823B2 (ja) | 2015-10-14 |
US20090262155A1 (en) | 2009-10-22 |
KR20090110176A (ko) | 2009-10-21 |
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