JP2009281781A

JP2009281781A - Fluid rate gyro

Info

Publication number: JP2009281781A
Application number: JP2008132214A
Authority: JP
Inventors: Tsunehiko Imamura; 恒彦今村; Hideo Kumagai; 秀夫熊谷; Shinichi Yokota; 眞一横田; Kenjiro Takemura; 研治郎竹村; Kazuya Edamura; 一弥枝村
Original assignee: Tokyo Institute of Technology NUC; Tamagawa Seiki Co Ltd
Current assignee: Tokyo Institute of Technology NUC; Tamagawa Seiki Co Ltd
Priority date: 2008-05-20
Filing date: 2008-05-20
Publication date: 2009-12-03
Anticipated expiration: 2028-05-20
Also published as: JP5337929B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problems of a conventional fluid rate gyro wherein, since an electrode part and a detection part are arranged in a sensing channel, a drift is generated in fluid jet by a nonuniform electric field distribution resulting from a potential difference between the electrode part and the detection part, and the drift exerts an influence on detection of angular velocity. <P>SOLUTION: In this fluid rate gyro, a fluid wall 5 having the first and second wall parts 5a, 5b is provided in a space part 1a. to thereby form a sensing channel 6 and a return channel 7 in the space part 1a, and the electrode part 8 is arranged in the return channel 7, and the detection part 10 is arranged in the sensing channel 6. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、流体レートジャイロに関し、特に、電極部を戻り流路内に配置するとともに、検出部をセンシング流路に配置することで、電極部と検出部との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェットの偏流を防止でき、角速度検出の精度を向上できるようにするための新規な改良に関するものである。 The present invention relates to a fluid rate gyro, and in particular, non-uniformity due to a potential difference between the electrode unit and the detection unit by disposing the electrode unit in the return channel and arranging the detection unit in the sensing channel. The present invention relates to a novel improvement for preventing the drift of a fluid jet due to a simple electric field distribution and improving the accuracy of angular velocity detection.

従来用いられていたこの種の流体レートジャイロとしては、例えば非特許文献１等に開示された構成を挙げることができる。図８は、従来の流体レートジャイロを示す平面図である。図において、ケーシング１内の空間部１ａには、互いに離間されて配置された一対の第１及び第２壁部５ａ，５ｂからなる流路壁５が設けられており、これら第１及び第２壁部５ａ，５ｂの間にはセンシング流路６が形成されている。また、前記流路壁５と前記空間部１ａを形成する空間内壁４との間には、輪状をなす戻り流路７が形成されている。 As this type of fluid rate gyro that has been conventionally used, for example, a configuration disclosed in Non-Patent Document 1 and the like can be cited. FIG. 8 is a plan view showing a conventional fluid rate gyro. In the drawing, a space portion 1a in the casing 1 is provided with a flow path wall 5 including a pair of first and second wall portions 5a and 5b that are spaced apart from each other. A sensing flow path 6 is formed between the walls 5a and 5b. A return flow path 7 having a ring shape is formed between the flow path wall 5 and the space inner wall 4 forming the space 1a.

前記センシング流路６内には、２組の針電極８１及びリング電極８２からなる電極部８が配置され、この電極部８の下流には第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２を有する検出部１０が配置されている。また、前記空間部１ａ内には、例えば特開平１０−８８１７４号公報や特開２０００−２３９６８３号公報等に記載された電界共役流体２０が封入されている。 In the sensing flow path 6, an electrode portion 8 composed of two pairs of needle electrodes 81 and a ring electrode 82 is arranged, and a detection portion having first and second hot wires H 1 and H 2 downstream of the electrode portion 8. 10 is arranged. In addition, the electric field conjugate fluid 20 described in, for example, JP-A-10-88174 and JP-A-2000-239683 is enclosed in the space 1a.

次に、この流体レートジャイロの動作について説明する。図９は、図８の流体レートジャイロにおける流体ジェット２１の発生の概念を示す説明図である。図９において、前記針電極８１及び前記リング電極８２間には、高電圧の直流電圧が印加されている。例えば特許第３１５７８０４号等に示されているように、特定の絶縁性液体である電界共役流体２０に電圧を印加することにより、印加電圧に対応した絶縁性液体の移動流、すなわち流体ジェット２１を発生させることができる。 Next, the operation of the fluid rate gyro will be described. FIG. 9 is an explanatory diagram showing the concept of generation of the fluid jet 21 in the fluid rate gyro of FIG. In FIG. 9, a high DC voltage is applied between the needle electrode 81 and the ring electrode 82. For example, as shown in Japanese Patent No. 3157804, by applying a voltage to the electric field conjugate fluid 20 that is a specific insulating liquid, the moving flow of the insulating liquid corresponding to the applied voltage, that is, the fluid jet 21 is changed. Can be generated.

図７に戻り、前記電極部８によって発生された流体ジェット２１は、前記センシング流路６の上流側６ａから下流側６ｂに向けて進み、前記検出部１０に供給される。周知のように、ケーシング１に角速度ωが加えられると、コリオリの力により流体ジェット２１が偏向する。前記検出部１０を構成するホットワイヤは周知のブリッジ回路に組み込まれており、前記検出部１０により流体ジェット２１の偏向が検出されることで、前記角速度ωが検出される。 Returning to FIG. 7, the fluid jet 21 generated by the electrode unit 8 travels from the upstream side 6 a to the downstream side 6 b of the sensing flow path 6 and is supplied to the detection unit 10. As is well known, when an angular velocity ω is applied to the casing 1, the fluid jet 21 is deflected by Coriolis force. The hot wire constituting the detection unit 10 is incorporated in a known bridge circuit, and the angular velocity ω is detected by detecting the deflection of the fluid jet 21 by the detection unit 10.

第１６回ＭＡＧＤＡコンファレンス講演論文集「電界共役流体（ＥＣＦ）を用いたレートジャイロの研究」平成１９年１１月２２日、３３９〜３４２ページProceedings of the 16th MAGDA Conference “Study of rate gyros using electroconjugate fluid (ECF)” November 22, 2007, pp. 339-342

上記のような従来の流体レートジャイロでは、前記電極部８と前記検出部１０とを前記センシング流路６内に配置しているので、これら電極部８と検出部１０との間の電位差に伴う非一様な電界分布によって前記流体ジェット２１に偏流が生じてしまい、この偏流が角速度ωの検出に影響を及ぼしてしまう。具体的には、時計回りの角速度に対する感度と、反時計回りの角速度に対する感度が異なるとともに、ノイズが発生してしまう。 In the conventional fluid rate gyro as described above, the electrode unit 8 and the detection unit 10 are arranged in the sensing flow path 6, so that a potential difference between the electrode unit 8 and the detection unit 10 occurs. The non-uniform electric field distribution causes a drift in the fluid jet 21, and this drift affects the detection of the angular velocity ω. Specifically, the sensitivity to the clockwise angular velocity is different from the sensitivity to the counterclockwise angular velocity, and noise is generated.

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、電極部と検出部との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェットの偏流を防止でき、角速度検出の精度を向上できる流体レートジャイロを提供することである。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to prevent fluid jet drift due to non-uniform electric field distribution due to a potential difference between the electrode section and the detection section. An object of the present invention is to provide a fluid rate gyro capable of improving the accuracy of angular velocity detection.

本発明に係る流体レートジャイロは、ケーシング内の空間部に封入された電界共役流体に電極部によって電圧を印加して流体ジェットを発生させ、前記ケーシングに角速度が加えられた際の前記流体ジェットの偏向を検出部によって検出することで前記角速度を検出する流体レートジャイロであって、前記空間部内に設けられ、互いに離間されて配置された一対の第１及び第２壁部からなる流路壁と、前記第１壁部と前記第２壁部との間に形成されたセンシング流路と、前記流路壁と前記空間部を形成する空間内壁との間に形成された輪状をなす戻り流路と、ノズル孔を有し、前記センシング流路内に配置されたノズル板とを備え、前記電極部は、前記戻り流路内に配置され、前記検出部は、前記センシング流路内で前記ノズル板の下流に配置されている。
また、前記戻り流路には、前記センシング流路に対して並行に延びる第１及び第２通路部が設けられており、前記電極部は、前記第１及び第２通路部内で前記第１及び第２通路部の長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置された複数の第１及び第２膜状電極により構成され、前記第１及び第２膜状電極間に直流電圧が印加されて、前記流体ジェットが発生される。
さらに、前記第１及び第２膜状電極は、先端側に複数の歯からなる鋸歯部が設けられ、後端側に前記各歯に対向した複数の円弧部が設けられている。
さらにまた、前記ケーシングは、前記空間内壁及び前記流路壁を有する基部と、前記基部に対向して配置される蓋部とにより構成され、前記第１及び第２膜状電極は、前記基部又は前記蓋部の内壁面に設けられている。
また、前記第１及び第２膜状電極は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されている。
さらに、前記戻り流路には、前記センシング流路に対して並行に延びる第１及び第２通路部が設けられており、前記第１及び第２通路部には、前記電極部を構成する少なくとも１組の針電極及びリング電極がそれぞれ設けられている。
さらにまた、前記電界共役流体は、適切な粘度を持った電界共役流体単体もしくは、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体であることを特徴とする。 A fluid rate gyro according to the present invention generates a fluid jet by applying a voltage to an electric field conjugate fluid sealed in a space in a casing by an electrode unit, and an angular velocity is applied to the casing. A fluid rate gyro for detecting the angular velocity by detecting a deflection by a detection unit, the flow rate wall including a pair of first and second walls provided in the space and spaced apart from each other A sensing flow path formed between the first wall portion and the second wall portion, and a return flow path having a ring shape formed between the flow path wall and a space inner wall forming the space portion. And a nozzle plate having a nozzle hole and disposed in the sensing flow path, the electrode section is disposed in the return flow path, and the detection section is disposed in the sensing flow path with the nozzle Arranged downstream of the board It is.
The return flow path is provided with first and second passage portions extending in parallel to the sensing flow passage, and the electrode portion is disposed in the first and second passage portions. A plurality of first and second film-like electrodes arranged alternately at intervals along the longitudinal direction of the second passage portion, and a DC voltage is applied between the first and second film-like electrodes. Thus, the fluid jet is generated.
Furthermore, the first and second film-like electrodes are provided with a sawtooth portion made up of a plurality of teeth on the front end side and a plurality of arc portions facing the respective teeth on the rear end side.
Furthermore, the casing is configured by a base portion having the space inner wall and the flow path wall, and a lid portion disposed to face the base portion, and the first and second film electrodes are the base portion or It is provided on the inner wall surface of the lid.
The first and second film electrodes are formed by any one of vapor deposition, plating, sputtering, ion spraying, and printing.
Furthermore, the return channel is provided with first and second passage portions extending in parallel to the sensing channel, and the first and second passage portions include at least the electrode portion. A pair of needle electrodes and ring electrodes are provided.
Furthermore, the electric field conjugate fluid is a single electric field conjugate fluid having an appropriate viscosity or a mixed electric field conjugate fluid in which fluids having different viscosities are mixed to adjust the viscosity.

本発明の流体レートジャイロによれば、電極部が戻り流路に配置されるとともに、検出部がセンシング流路に配置されるので、前記電極部と前記検出部とを互いに隔離できる。これによって、これら電極部と検出部との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェットの偏流を防止でき、角速度の検出精度を向上できる。
また、前記電極部は、前記第１及び第２通路部内で前記第１及び第２通路部の長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置された複数の第１及び第２膜状電極により構成されているので、前記電極部を平面的に形成することができ、ジャイロ全体をより薄く構成できる。
さらに、前記第１及び第２膜状電極は、先端側に複数の歯からなる鋸歯部が設けられ、後端側に前記各歯に対向した複数の円弧部が設けられているので、鋸歯部と円弧部との間に電界変化が急峻な電界分布を形成でき、より強力な流体ジェットを発生できる。
さらにまた、前記第１及び第２膜状電極は、前記基部又は前記蓋部の内壁面に設けられているので、より確実に前記電極部を平面的に形成できる。
また、前記第１及び第２膜状電極は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されているので、前記基部又は前記蓋部の内壁面に膜状電極をより確実に形成できる。
さらに、前記第１及び第２通路部には、前記電極部を構成する少なくとも１組の針電極及びリング電極がそれぞれ設けられるので、センシング流路に流体ジェットをより確実に供給でき、角速度をより確実に検出できる。
さらにまた、前記電界共役流体は、適切な粘度を持った電界共役流体単体もしくは、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体であるので、センシングに適した流体ジェットを前記検出部により確実に供給でき、角速度をより確実に検出できる。 According to the fluid rate gyro of the present invention, since the electrode portion is disposed in the return flow path and the detection section is disposed in the sensing flow path, the electrode section and the detection section can be isolated from each other. As a result, fluid jet drift due to a non-uniform electric field distribution associated with the potential difference between the electrode unit and the detection unit can be prevented, and the detection accuracy of the angular velocity can be improved.
In addition, the electrode section includes a plurality of first and second film-like electrodes arranged alternately at intervals in the longitudinal direction of the first and second passage sections in the first and second passage sections. Therefore, the electrode part can be formed in a planar manner, and the entire gyro can be made thinner.
Furthermore, since the first and second film-like electrodes are provided with a sawtooth portion composed of a plurality of teeth on the front end side and a plurality of arc portions facing the respective teeth on the rear end side, the sawtooth portion An electric field distribution with a sharp electric field change can be formed between the arc portion and the arc portion, and a stronger fluid jet can be generated.
Furthermore, since the first and second film electrodes are provided on the inner wall surface of the base portion or the lid portion, the electrode portion can be more reliably formed in a planar manner.
In addition, since the first and second film electrodes are formed by any one of vapor deposition, plating, sputtering, ion spraying, and printing, the film electrodes are formed on the inner wall surface of the base or the lid. Can be formed more reliably.
Furthermore, since the first and second passage portions are each provided with at least one pair of needle electrode and ring electrode constituting the electrode portion, a fluid jet can be more reliably supplied to the sensing flow path, and the angular velocity can be further increased. It can be detected reliably.
Furthermore, since the electric field conjugate fluid is a single electric field conjugate fluid having an appropriate viscosity or a mixed electric field conjugate fluid in which fluids having different viscosities are mixed and adjusted in viscosity, a fluid jet suitable for sensing is used. The detection unit can reliably supply the angular velocity, and the angular velocity can be detected more reliably.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１による流体レートジャイロを示す平面図であり、図２は図１の流体レートジャイロの断面図である。なお、従来の流体レートジャイロと同一又は同等部分については同一の符号を用いて説明する。
図２において、箱形のケーシング１は、基部２と、蓋部３とから構成されている。なお、図１では、蓋部３の記載を省略している。図１に示すように、前記基部２には、空間内壁４、流路壁５、及び溝１５が設けられている。前記空間内壁４は、内側に凹状の空間部１ａを形成する円環状の壁であり、前記流路壁５は、前記空間部１ａ内で前記基部２から立設された第１及び第２壁部５ａ，５ｂにより構成されている。これら第１及び第２壁部５ａ，５ｂは、互いに離間されて配置されており、前記空間部１ａ内の中央にセンシング流路６を形成している。また、第１及び第２壁部５ａ，５ｂと前記空間内壁４との間には、前記センシング流路６を囲む輪状の戻り流路７が形成されている。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a plan view showing a fluid rate gyro according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the fluid rate gyro shown in FIG. The same or equivalent parts as those of the conventional fluid rate gyro will be described using the same reference numerals.
In FIG. 2, a box-shaped casing 1 includes a base portion 2 and a lid portion 3. In addition, in FIG. 1, description of the cover part 3 is abbreviate | omitted. As shown in FIG. 1, the base 2 is provided with a space inner wall 4, a flow path wall 5, and a groove 15. The space inner wall 4 is an annular wall that forms a concave space portion 1a on the inner side, and the flow path wall 5 is a first wall and a second wall erected from the base portion 2 in the space portion 1a. It is comprised by the parts 5a and 5b. The first and second wall portions 5a and 5b are arranged to be separated from each other, and form a sensing flow path 6 in the center of the space portion 1a. An annular return flow path 7 surrounding the sensing flow path 6 is formed between the first and second wall portions 5 a and 5 b and the space inner wall 4.

前記戻り流路７には、前記センシング流路６と並行に延びる第１及び第２通路部７ａ，７ｂが設けられており、前記第１及び第２通路部７ａ，７ｂには電極部８が設けられている。電極部８は、２組の針電極８１及びリング電極８２が各通路部７ａ，７ｂ内でそれぞれ直列に配置されたものである。 The return passage 7 is provided with first and second passage portions 7a and 7b extending in parallel with the sensing passage 6, and the first and second passage portions 7a and 7b are provided with electrode portions 8. Is provided. The electrode portion 8 includes two sets of needle electrodes 81 and ring electrodes 82 arranged in series in the passage portions 7a and 7b.

前記センシング流路６には、ノズル板９と検出部１０とが配置されている。ノズル板９は、前記ケーシング１とともに例えばＰＥＩ（ポリエーテルイミド）等の樹脂で形成された板部材であり、中央に円柱状の貫通孔であるノズル孔９ａが設けられている。なお、ノズル板９は、樹脂以外の材料で形成されてもよい。 A nozzle plate 9 and a detection unit 10 are arranged in the sensing flow path 6. The nozzle plate 9 is a plate member formed of a resin such as PEI (polyetherimide) together with the casing 1, and a nozzle hole 9a that is a cylindrical through hole is provided at the center. The nozzle plate 9 may be made of a material other than resin.

前記検出部１０は、前記センシング流路６内で前記ノズル板９の下流に配置されており、第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２を有している。これら第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２は、第１〜第３電極１１〜１３（図２参照）間に張設されている。具体的には、第１ホットワイヤＨ１が第１電極１１と第２電極１２との間に張設されるとともに、第２ホットワイヤＨ２が第１電極１１と第３電極１３との間に張設されることで、前記センシング流路６の上流側６ａから下流側６ｂに向けて狭まるＶ字状に配置されている。なお、第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２は、図１とは逆に上流側６ａから下流側６ｂに向けて広がるＶ字状に配置されてもよく、前記ノズル孔９ａの延長線を中心として互いに並行に配置されてもよい。 The detection unit 10 is disposed downstream of the nozzle plate 9 in the sensing flow path 6 and includes first and second hot wires H1 and H2. These first and second hot wires H1 and H2 are stretched between the first to third electrodes 11 to 13 (see FIG. 2). Specifically, the first hot wire H1 is stretched between the first electrode 11 and the second electrode 12, and the second hot wire H2 is stretched between the first electrode 11 and the third electrode 13. By being provided, the sensing channel 6 is arranged in a V shape that narrows from the upstream side 6a toward the downstream side 6b. The first and second hot wires H1 and H2 may be arranged in a V shape extending from the upstream side 6a to the downstream side 6b, opposite to FIG. 1, and centered on the extension line of the nozzle hole 9a. May be arranged in parallel with each other.

前記溝１５には、例えばＯリング等の環状の封止部材１６が取り付けられている。すなわち、前記溝１５に封止部材１６が取り付けられた状態で、図２に示すように前記基部２に前記蓋部３が取り付けられることで、前記空間部１ａは密封される。この空間部１ａ内には、例えば特開平１０−８８１７４号公報や特開２０００−２３９６８３号公報等に記載された周知の電界共役流体２０が封入されている。 An annular sealing member 16 such as an O-ring is attached to the groove 15. That is, in the state where the sealing member 16 is attached to the groove 15, the space portion 1a is sealed by attaching the lid portion 3 to the base portion 2 as shown in FIG. A known electric field conjugate fluid 20 described in, for example, JP-A-10-88174 and JP-A-2000-239683 is enclosed in the space 1a.

前記針電極８１及び前記リング電極８２間には、高電圧の直流電圧が印加される（図８参照）。周知のように、特定の絶縁性液体である電界共役流体２０に電圧を印加することにより、印加電圧に対応した絶縁性液体の移動流、すなわち流体ジェット２１が発生される。各通路部７ａ，７ｂで発生した流体ジェット２１は、上流側６ａからセンシング流路６に各々流入される。このセンシング流路６に流入された流体ジェット２１は、前記ノズル板９のノズル孔９ａで集束され、活発な状態で検出部１０に供給される。前記センシング流路６の下流側６ｂには突部２５が設けられており、前記センシング流路６を抜けた前記流体ジェット２１は、前記突部２５により両脇に案内されて前記戻り流路７に戻される。 A high DC voltage is applied between the needle electrode 81 and the ring electrode 82 (see FIG. 8). As is well known, by applying a voltage to the electric field conjugate fluid 20 which is a specific insulating liquid, a moving flow of the insulating liquid corresponding to the applied voltage, that is, a fluid jet 21 is generated. The fluid jets 21 generated in the passage portions 7a and 7b flow into the sensing channel 6 from the upstream side 6a. The fluid jet 21 that has flowed into the sensing flow path 6 is focused at the nozzle hole 9a of the nozzle plate 9, and is supplied to the detection unit 10 in an active state. A protrusion 25 is provided on the downstream side 6 b of the sensing flow path 6, and the fluid jet 21 that has passed through the sensing flow path 6 is guided on both sides by the protrusion 25 to return the return flow path 7. Returned to

次に、図３は、図１の検出部１０の回路構成を示す構成図である。図において、前記第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２は、該第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２と第１及び第２抵抗Ｒ１，Ｒ２とからなるブリッジ回路３０に組み込まれている。このブリッジ回路３０には、定電流源３１が接続されており、第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２が常に熱せられている。 Next, FIG. 3 is a block diagram showing a circuit configuration of the detection unit 10 of FIG. In the figure, the first and second hot wires H1 and H2 are incorporated in a bridge circuit 30 including the first and second hot wires H1 and H2 and first and second resistors R1 and R2. A constant current source 31 is connected to the bridge circuit 30, and the first and second hot wires H1 and H2 are always heated.

周知のように、ノズル孔９ａの延在方向に直交する軸回りの角速度ωがケーシング１に加えられると、コリオリの力により流体ジェット２１が偏向する。この流体ジェット２１の偏向が発生すると、流体ジェット２１による各ホットワイヤＨ１，Ｈ２の冷却に偏りが生じ、各ホットワイヤＨ１，Ｈ２の抵抗値に変化が生じる。このとき、ブリッジ回路３０の出力電圧Ｖ１−Ｖ２に変化が生じて、検出部１０の出力変化、すなわち出力電圧Ｖ１−Ｖ２の変化に基づいて、前記角速度ωが検出される。すなわち、この実施の形態の流体レートジャイロは、周知のホットワイヤアネモメトリを利用して角速度ωを検出している。 As is well known, when an angular velocity ω about an axis orthogonal to the extending direction of the nozzle hole 9a is applied to the casing 1, the fluid jet 21 is deflected by Coriolis force. When the deflection of the fluid jet 21 occurs, the cooling of the hot wires H1 and H2 by the fluid jet 21 is biased, and the resistance values of the hot wires H1 and H2 change. At this time, a change occurs in the output voltage V1-V2 of the bridge circuit 30, and the angular velocity ω is detected based on the output change of the detection unit 10, that is, the change in the output voltage V1-V2. That is, the fluid rate gyro according to this embodiment detects the angular velocity ω using a known hot wire anemometry.

ここで、前述したように、針電極８１及びリング電極８２間に高電圧が印加されることで流体ジェット２１が発生されるので、前記電極部８を前記検出部１０の近傍に配置すると、これら電極部８と検出部１０との間の電位差に伴う非一様な電界分布によって前記流体ジェット２１に偏流が生じてしまう。この流体ジェット２１の偏流は、角速度ωの検出に影響を及ぼしてしまう。しかしながら、この実施の形態の流体レートジャイロでは、前記電極部８を戻り流路７に配置するとともに、前記検出部１０をセンシング流路６に配置するので、前記電極部８と前記検出部１０とを互いに隔離できる。これによって、これら電極部８と検出部１０との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェット２１の偏流を防止でき、角速度ωの検出精度を向上できる。
また、従来の流体レートジャイロでは、電極部８で発生された流体ジェット２１が検出部１０に直接供給する構成であり、リング電極８２が流体ジェット２１の整流用ノズルの役割を兼ねていたので、整流用ノズルの形状に制限があった。しかしながら、実施の形態の流体レートジャイロでは、リング電極８２とは別にノズル板９を設けるので、ノズル孔９ａの形状に自由度を設けることができ、センシングに適したジェット形状を作ることができる。 Here, as described above, since the fluid jet 21 is generated by applying a high voltage between the needle electrode 81 and the ring electrode 82, when the electrode unit 8 is disposed in the vicinity of the detection unit 10, Due to the non-uniform electric field distribution accompanying the potential difference between the electrode unit 8 and the detection unit 10, the fluid jet 21 is drifted. The drift of the fluid jet 21 affects the detection of the angular velocity ω. However, in the fluid rate gyro according to this embodiment, the electrode unit 8 is arranged in the return flow channel 7 and the detection unit 10 is arranged in the sensing flow channel 6, so that the electrode unit 8, the detection unit 10, Can be isolated from each other. As a result, the drift of the fluid jet 21 due to the non-uniform electric field distribution due to the potential difference between the electrode unit 8 and the detection unit 10 can be prevented, and the detection accuracy of the angular velocity ω can be improved.
In the conventional fluid rate gyro, the fluid jet 21 generated in the electrode unit 8 is directly supplied to the detection unit 10, and the ring electrode 82 also serves as a rectifying nozzle for the fluid jet 21, There was a limitation on the shape of the nozzle for rectification. However, in the fluid rate gyro according to the embodiment, since the nozzle plate 9 is provided separately from the ring electrode 82, a degree of freedom can be provided in the shape of the nozzle hole 9a, and a jet shape suitable for sensing can be created.

また、第１及び第２通路部７ａ，７ｂには、２組の針電極８１及びリング電極８２がそれぞれ設けられるので、センシング流路６に流体ジェット２１をより確実に供給でき、角速度ωをより確実に検出できる。 In addition, since the first and second passage portions 7a and 7b are provided with two sets of the needle electrode 81 and the ring electrode 82, respectively, the fluid jet 21 can be more reliably supplied to the sensing flow path 6, and the angular velocity ω can be further increased. It can be detected reliably.

なお、実施の形態１では、第１及び第２通路部７ａ，７ｂに２組の針電極８１及びリング電極８２がそれぞれ設けられていると説明したが、各通路部に設けられる針電極及びリング電極の組数は、１つ又は３つ以上でもよい。 In the first embodiment, it has been described that the first and second passage portions 7a and 7b are provided with two sets of the needle electrode 81 and the ring electrode 82. However, the needle electrode and the ring provided in each passage portion are described. The number of electrode sets may be one or three or more.

また、実施の形態１では、第１及び第２通路部７ａ，７ｂに電極部８を配置すると説明したが、電極部は戻り流路に配置されればよく、第１及び第２通路部に隣接するコーナ部等に配置されてもよい。 In the first embodiment, it has been described that the electrode portion 8 is disposed in the first and second passage portions 7a and 7b. However, the electrode portion may be disposed in the return flow path, and the first and second passage portions may be disposed in the first and second passage portions. You may arrange | position to an adjacent corner part.

さらに、実施の形態１では、検出部１０として、ホットワイヤＨ１，Ｈ２を有する構成を説明したが、検出部としては、流体ジェットの偏向を検出できればよく、例えば特許願２００７−０６１８３８で開示した構成、すなわち開口を有する基板と、前記開口を横断するように基板に設けられた接続部と、前記接続部上に蒸着形成された金属薄膜からなるセンシング用抵抗体とを備えた構成等でもよい。 Furthermore, in Embodiment 1, although the structure which has hot wire H1, H2 was demonstrated as the detection part 10, what is necessary is just to be able to detect the deflection | deviation of a fluid jet as a detection part, for example, the structure disclosed by patent application 2007-061838 That is, a configuration including a substrate having an opening, a connecting portion provided on the substrate so as to cross the opening, and a sensing resistor made of a metal thin film formed on the connecting portion by vapor deposition may be used.

実施の形態２．
図４は、本発明の実施の形態２による流体レートジャイロを示す平面図であり、前記蓋部３の内壁面を示している。実施の形態１では、電極部８は、複数組の針電極８１及びリング電極８２により構成されると説明したが、この実施の形態２では、電極部８は、各通路部７ａ，７ｂにそれぞれ配置された複数組の第１及び第２膜状電極８３，８４により構成されている。図４に示すように、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記戻り流路７の第１及び第２通路部７ａ，７ｂの長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置されており、前記第１膜状電極８３には直流電圧源の陽極が接続され、前記第２膜状電極８４には前記直流電圧源の陰極（グラウンド）が接続されている。すなわち、これら第１及び第２膜状電極８３，８４間に高電圧の直流電圧が印加されることで、前記流体ジェット２１が発生される。なお、上述した接続とは逆に、第１膜状電極８３に直流電圧源の陰極が接続され、前記第２膜状電極８４には前記直流電圧源の陽極が接続されてもよい。この場合でも、第１及び第２膜状電極８３，８４間に形成された電界変化が急峻な電界分布によって、前記流体ジェット２１が発生される。 Embodiment 2. FIG.
FIG. 4 is a plan view showing a fluid rate gyro according to Embodiment 2 of the present invention, and shows an inner wall surface of the lid 3. In the first embodiment, it has been described that the electrode unit 8 includes a plurality of sets of the needle electrode 81 and the ring electrode 82. However, in the second embodiment, the electrode unit 8 is provided in each of the passage units 7a and 7b. A plurality of sets of first and second film-like electrodes 83 and 84 are arranged. As shown in FIG. 4, the first and second film electrodes 83 and 84 are alternately spaced apart from each other along the longitudinal direction of the first and second passage portions 7a and 7b of the return flow path 7. The first film electrode 83 is connected to an anode of a DC voltage source, and the second film electrode 84 is connected to a cathode (ground) of the DC voltage source. That is, the fluid jet 21 is generated by applying a high DC voltage between the first and second film electrodes 83 and 84. Contrary to the connection described above, the cathode of the DC voltage source may be connected to the first film electrode 83 and the anode of the DC voltage source may be connected to the second film electrode 84. Even in this case, the fluid jet 21 is generated by the electric field distribution formed between the first and second film-like electrodes 83 and 84 with a sharp electric field change.

これら第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記蓋部３の内壁面に設けられた金属膜であり、詳しくは、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されている。なお、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記基部２の内壁面、すなわち前記通路部７ａ，７ｂの底部、前記空間内壁４の壁面、及び前記流路壁５の壁面に設けられていてもよい。また、金属膜の製法は上述の蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンプレーティング、及び印刷と類似の方法でもよい。 These first and second film-like electrodes 83 and 84 are metal films provided on the inner wall surface of the lid 3, and in detail, any one of vapor deposition, plating, sputtering, ion plating, and printing is used. It is formed by. The first and second film electrodes 83 and 84 are provided on the inner wall surface of the base portion 2, that is, the bottom portions of the passage portions 7a and 7b, the wall surface of the space inner wall 4, and the wall surface of the flow path wall 5. It may be done. Further, the method for producing the metal film may be a method similar to the above-described vapor deposition, plating, sputtering, ion plating, and printing.

次に、図５は図４の第１及び第２膜状電極８３，８４を拡大して示す平面図であり、図６は図５の第１及び第２膜状電極８３，８４の一部をさらに拡大して示す平面図である。図５において、第１及び第２膜状電極８３，８４の先端側には複数の歯８５ａからなる鋸歯部８５が設けられ、後端側には各歯８５ａにそれぞれ対向する複数の円弧部８６が設けられている。図６に示すように、前記円弧部８６は、前記歯８５ａの先端を中心とする円の一部をそれぞれ形成しており、各歯８５ａの先端から各円弧部８６まで電界変化が急峻な電界分布が形成される。この電界変化が急峻な電界分布により、前記流体ジェット２１は各通路部７ａ，７ｂの長手方向に沿って形成される。 5 is an enlarged plan view showing the first and second film electrodes 83 and 84 of FIG. 4, and FIG. 6 is a part of the first and second film electrodes 83 and 84 of FIG. It is a top view which expands and shows. In FIG. 5, the first and second film-like electrodes 83 and 84 are provided with a sawtooth portion 85 having a plurality of teeth 85a on the front end side, and a plurality of arc portions 86 respectively facing the teeth 85a on the rear end side. Is provided. As shown in FIG. 6, the arc portion 86 forms a part of a circle centering on the tip of the tooth 85a, and the electric field changes rapidly from the tip of each tooth 85a to each arc portion 86. A distribution is formed. The fluid jet 21 is formed along the longitudinal direction of each of the passage portions 7a and 7b due to the electric field distribution in which the electric field change is steep.

このような流体レートジャイロでは、前記電極部８が第１及び第２膜状電極８３，８４により構成されているので、前記電極部８を平面的に形成することができ、ジャイロ全体をより薄く構成できる。すなわち、実施の形態１の流体レートジャイロでは、針電極８１及びリング電極８２を設置するためのスペースを確保する必要があり、空間部１ａの高さ方向のサイズの小型化にするのに制限があったが、前記電極部８を平面的に形成することで高さ方向に小型化できる。 In such a fluid rate gyro, since the electrode portion 8 is composed of the first and second film-like electrodes 83 and 84, the electrode portion 8 can be formed in a plane, and the entire gyro is made thinner. Can be configured. That is, in the fluid rate gyro according to the first embodiment, it is necessary to secure a space for installing the needle electrode 81 and the ring electrode 82, and there is a limit to downsizing the size of the space portion 1a in the height direction. However, it is possible to reduce the size in the height direction by forming the electrode portion 8 planarly.

また、第１及び第２膜状電極８３，８４の先端側に鋸歯部８５が設けられ、後端側に前記円弧部８６が設けられているので、鋸歯部８５と円弧部８６との間で電界変化が急峻な電界分布を形成でき、より強力な流体ジェットを発生できる。
さらに、このような流体レートジャイロでは、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記基部２又は前記蓋部３の内壁面に設けられているので、より確実に前記電極部を平面的に形成できる。
さらにまた、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されているので、前記基部２又は前記蓋部３の内壁面に膜状電極８３，８４をより確実に形成できる。 Further, since the sawtooth portion 85 is provided on the front end side of the first and second film-like electrodes 83 and 84 and the arc portion 86 is provided on the rear end side, between the sawtooth portion 85 and the arc portion 86. An electric field distribution with a sharp electric field change can be formed, and a more powerful fluid jet can be generated.
Further, in such a fluid rate gyro, the first and second film-like electrodes 83 and 84 are provided on the inner wall surface of the base 2 or the lid 3, so that the electrode can be more reliably flattened. Can be formed.
Furthermore, since the first and second film-like electrodes 83 and 84 are formed by any one of vapor deposition, plating, sputtering, ion spraying, and printing, the base 2 or the lid 3 The membrane electrodes 83 and 84 can be more reliably formed on the inner wall surface.

実施の形態３．
本発明の実施の形態３による流体レートジャイロの全体としての構成は、実施の形態１もしくは実施の形態２の構成と同じであるので、実施の形態３の構成の説明に図１〜図５を援用する。まず、実験的に理解されていることだが、電界共役流体２０は、電極部８の周辺で低粘度になる。これは、高電圧下で電界共役流体２０が低粘度のプラズマ流になるためと考えられる。前述した従来の流体レートジャイロでは、電極部８がセンシング流路６に配置され、電極部８と検出部１０とが近傍に位置していたので、検出部１０が設けられている位置でも電界共役流体２０は低粘度を維持しており、流体ジェット２１は角速度ωに対して感度良く偏向する。しかしながら、実施の形態１の構成では、電極部８を戻り流路７に設置するので、流体ジェット２１が検出部１０に到達する時点では、電界共役流体２０の粘度は高くなってしまい、角速度ωに対する流体ジェット２１の応答性が悪くなってしまう。なお、これらは実験的観察に基づいて推論しているが、本発明はこの推論に限定されるものではない。 Embodiment 3 FIG.
Since the overall configuration of the fluid rate gyro according to the third embodiment of the present invention is the same as the configuration of the first embodiment or the second embodiment, FIGS. Incorporate. First, as is experimentally understood, the electric field conjugate fluid 20 has a low viscosity around the electrode portion 8. This is considered because the electric field conjugate fluid 20 becomes a low-viscosity plasma flow under a high voltage. In the above-described conventional fluid rate gyro, the electrode unit 8 is disposed in the sensing flow path 6 and the electrode unit 8 and the detection unit 10 are located in the vicinity. Therefore, even in the position where the detection unit 10 is provided, the electric field conjugate. The fluid 20 maintains a low viscosity, and the fluid jet 21 deflects with high sensitivity to the angular velocity ω. However, in the configuration of the first embodiment, since the electrode unit 8 is installed in the return flow path 7, when the fluid jet 21 reaches the detection unit 10, the viscosity of the electric field conjugate fluid 20 increases, and the angular velocity ω Responsiveness of the fluid jet 21 with respect to is deteriorated. Although these are inferred based on experimental observation, the present invention is not limited to this inference.

実施の形態１もしくは実施の形態２の構成では、電界共役流体２０として、特開平１０−８８１７４号公報等に記載された電界共役流体を単体で用いると説明したが、この実施の形態３では、電界共役流体２０として、適切な粘度を持った電界共役流体単体を選択するか、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体を用いる。このように、電界共役流体２０として、適切な粘度を持った電界共役流体単体を選択するか、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体を用いることで、流体ジェット２１が検出部１０に到達する時点での電界共役流体２０の粘度を最適に調整でき、角速度ωに対する流体ジェット２１の応答性を良好に保つことができる。 In the configuration of the first embodiment or the second embodiment, it has been described that the electric field conjugate fluid described in JP-A-10-88174 or the like is used alone as the electric field conjugate fluid 20, but in the third embodiment, As the electric field conjugate fluid 20, a single electric field conjugate fluid having an appropriate viscosity is selected, or a mixed electric field conjugate fluid in which fluids having different viscosities are mixed and the viscosity is adjusted is used. Thus, as the electric field conjugate fluid 20, a single electric field conjugate fluid having an appropriate viscosity is selected, or by using a mixed electric field conjugate fluid in which fluids having different viscosities are mixed and the viscosity is adjusted, The viscosity of the electric field conjugate fluid 20 at the time when 21 reaches the detection unit 10 can be adjusted optimally, and the responsiveness of the fluid jet 21 with respect to the angular velocity ω can be kept good.

実施の形態３の例として、特開平１０−８８１７４号公報や特開２０００−２３９６８３号公報等に記載された電界共役流体のうちFF-1_EHA2とFF-909_EHA2の混合があり、それぞれの単体および混合物の粘度の一例を表１に示す。なお、表１では、２５℃での粘度を示している。また、FF-1_EHA2とFF-909_EHA2の混合時のFF-909_EHA2の濃度とレートジャイロのスケールファクタの関連を図７に示す。FF-909_EHA2濃度を上げることにより、より低駆動電圧で高いスケールファクタが確保され高感度な測定が可能となっている。 As an example of Embodiment 3, there is a mixture of FF-1 _EHA2 and FF-909 _EHA2 among electric field conjugate fluids described in JP-A-10-88174, JP-A-2000-239683, etc. An example of the viscosity of the mixture is shown in Table 1. In Table 1, the viscosity at 25 ° C. is shown. FIG. 7 shows the relationship between the concentration of FF-909 _EHA2 and the rate factor of the rate gyro when FF-1 _EHA2 and FF-909 _EHA2 are mixed. By increasing the FF-909 _EHA2 concentration, a high scale factor is secured at a lower drive voltage, enabling highly sensitive measurements.

なお、実施の形態２，３では、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、先端側に鋸歯部８５が設けられ、後端側に前記円弧部８６が設けられている構成であると説明したが、第１及び第２膜状電極の形状は、流体ジェットを発生させる電界変化が急峻な電界分布を形成できる形状であればよく、例えば複数の突部を有する櫛歯状等でもよい。 In the second and third embodiments, the first and second film electrodes 83 and 84 have a configuration in which a sawtooth portion 85 is provided on the front end side and the arc portion 86 is provided on the rear end side. However, the shape of the first and second film-like electrodes may be any shape that can form an electric field distribution in which the electric field change that generates the fluid jet is steep, such as a comb-like shape having a plurality of protrusions. Good.

本発明の実施の形態１による流体レートジャイロを示す平面図である。1 is a plan view showing a fluid rate gyro according to a first embodiment of the present invention. 図１の流体レートジャイロの断面図である。It is sectional drawing of the fluid rate gyro of FIG. 図１の検出部の回路構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the circuit structure of the detection part of FIG. 本発明の実施の形態２による流体レートジャイロを示す平面図である。It is a top view which shows the fluid rate gyro according to Embodiment 2 of this invention. 図４の第１及び第２膜状電極を拡大して示す平面図である。It is a top view which expands and shows the 1st and 2nd film-like electrode of FIG. 図５の第１及び第２膜状電極の一部をさらに拡大して示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a part of the first and second film-like electrodes in FIG. 5 further enlarged. 本発明の実施の形態３による電界共役流体の粘度変化によるスケールファクタの変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the scale factor by the viscosity change of the electric field conjugate fluid by Embodiment 3 of this invention. 従来の流体レートジャイロを示す平面図である。It is a top view which shows the conventional fluid rate gyro. 図８の流体レートジャイロにおける流体ジェットの発生の概念を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the concept of generation | occurrence | production of the fluid jet in the fluid rate gyro of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ケーシング
１ａ空間部
２基部
３蓋部
４空間内壁
５流路壁
５ａ，５ｂ第１及び第２壁部
６センシング流路
７戻り流路
７ａ，７ｂ第１及び第２通路部
８電極部
９ノズル板
９ａノズル孔
１０検出部
２０電界共役流体
２１流体ジェット
８１針電極
８２リング電極
８３，８４第１及び第２膜状電極
８５鋸歯部
８５ａ各歯
８６円弧部
ω 角速度 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 1a Space part 2 Base part 3 Lid part 4 Space inner wall 5 Flow path wall 5a, 5b 1st and 2nd wall part 6 Sensing flow path 7 Return flow path 7a, 7b 1st and 2nd flow path part 8 Electrode part 9 Nozzle Plate 9a Nozzle hole 10 Detector 20 Electric field conjugate fluid 21 Fluid jet 81 Needle electrode 82 Ring electrode 83, 84 First and second film electrodes 85 Sawtooth portion 85a Each tooth 86 Arc portion ω Angular velocity

Claims

ケーシング（１）内の空間部（１ａ）に封入された電界共役流体（２０）に電極部（８）によって電圧を印加して流体ジェット（２１）を発生させ、前記ケーシング（１）に角速度（ω）が加えられた際の前記流体ジェット（２１）の偏向を検出部（１０）によって検出することで前記角速度（ω）を検出する流体レートジャイロであって、
前記空間部（１ａ）内に設けられ、互いに離間されて配置された一対の第１及び第２壁部（５ａ，５ｂ）からなる流路壁（５）と、
前記第１壁部（５ａ）と前記第２壁部（５ｂ）との間に形成されたセンシング流路（６）と、
前記流路壁（５）と前記空間部（１ａ）を形成する空間内壁（４）との間に形成された輪状をなす戻り流路（７）と、
ノズル孔（９ａ）を有し、前記センシング流路（６）内に配置されたノズル板（９）と
を備え、
前記電極部（８）は、前記戻り流路（７）内に配置され、
前記検出部（１０）は、前記センシング流路（６）内で前記ノズル板（９）の下流に配置されていることを特徴とする流体レートジャイロ。 A voltage is applied to the electric field conjugate fluid (20) enclosed in the space (1a) in the casing (1) by the electrode portion (8) to generate a fluid jet (21), and the angular velocity ( a fluid rate gyro for detecting the angular velocity (ω) by detecting the deflection of the fluid jet (21) when the ω) is applied by a detection unit (10),
A flow path wall (5) comprising a pair of first and second wall portions (5a, 5b) provided in the space portion (1a) and spaced apart from each other;
A sensing channel (6) formed between the first wall (5a) and the second wall (5b);
An annular return channel (7) formed between the channel wall (5) and a space inner wall (4) forming the space (1a);
A nozzle plate (9a) having a nozzle hole (9a) and disposed in the sensing flow path (6),
The electrode part (8) is arranged in the return channel (7),
The fluid rate gyro, wherein the detection unit (10) is disposed downstream of the nozzle plate (9) in the sensing channel (6).

前記戻り流路（７）には、前記センシング流路（６）に対して並行に延びる第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）が設けられており、
前記電極部（８）は、前記第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）内で前記第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）の長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置された複数の第１及び第２膜状電極（８３，８４）により構成され、
前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）間に直流電圧が印加されて、前記流体ジェット（２１）が発生されることを特徴とする請求項１記載の流体レートジャイロ。 The return channel (7) is provided with first and second passage portions (7a, 7b) extending in parallel to the sensing channel (6),
The electrode portions (8) are alternately arranged in the first and second passage portions (7a, 7b) at intervals from each other along the longitudinal direction of the first and second passage portions (7a, 7b). A plurality of first and second film electrodes (83, 84) formed,
2. The fluid rate gyro according to claim 1, wherein a DC voltage is applied between the first and second film electrodes (83, 84) to generate the fluid jet (21).

前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）は、先端側に複数の歯（８５ａ）からなる鋸歯部（８５）が設けられ、後端側に前記各歯（８５ａ）に対向した複数の円弧部（８６）が設けられていることを特徴とする請求項２記載の流体レートジャイロ。 The first and second film-like electrodes (83, 84) are provided with a sawtooth portion (85) composed of a plurality of teeth (85a) on the front end side and a plurality facing the teeth (85a) on the rear end side. The fluid rate gyro according to claim 2, wherein a circular arc portion (86) is provided.

前記ケーシング（１）は、前記空間内壁（４）及び前記流路壁（５）を有する基部（２）と、前記基部（２）に対向して配置される蓋部（３）とにより構成され、
前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）は、前記基部（２）又は前記蓋部（３）の内壁面に設けられていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の流体レートジャイロ。 The casing (1) includes a base (2) having the space inner wall (4) and the flow path wall (5), and a lid (3) disposed to face the base (2). ,
The said 1st and 2nd film-like electrode (83, 84) is provided in the inner wall face of the said base (2) or the said cover part (3), The Claim 2 or Claim 3 characterized by the above-mentioned. Fluid rate gyro.

前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されていることを特徴とする請求項４記載の流体レートジャイロ。 The fluid rate according to claim 4, wherein the first and second film electrodes (83, 84) are formed by any one of vapor deposition, plating, sputtering, ion spraying, and printing. gyro.

前記戻り流路（７）には、前記センシング流路（６）に対して並行に延びる第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）が設けられており、
前記第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）には、前記電極部（８）を構成する少なくとも１組の針電極（８１）及びリング電極（８２）がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１記載の流体レートジャイロ。 The return channel (7) is provided with first and second passage portions (7a, 7b) extending in parallel to the sensing channel (6),
The first and second passage portions (7a, 7b) are provided with at least one pair of needle electrode (81) and ring electrode (82) constituting the electrode portion (8), respectively. The fluid rate gyro according to claim 1.

前記電界共役流体（２０）は、適切な粘度を持った電界共役流体単体もしくは、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体であることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の流体レートジャイロ。 The electric field conjugate fluid (20) is an electric field conjugate fluid having an appropriate viscosity or a mixed electric field conjugate fluid in which fluids having different viscosities are mixed and adjusted in viscosity. The fluid rate gyro according to claim 6.