JP2009269238A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 アクチュエータ部を破損するおそれのない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの制御方法を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッド１には、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成されている流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に少なくとも圧力発生素子を有するアクチュエータ部と、前記アクチュエータ部を駆動するための駆動信号Ｓ１を生成して出力する制御部２００から出力された前記駆動信号を処理して前記圧力発生手段へ送出する信号処理部とを備え、前記信号処理部内には、前記駆動信号に含まれた前記振動板及び前記圧力発生手段の共振周波数成分を除去するローパスフィルタ２０３が設けられている。
【選択図】図３

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの制御方法に関する。

液体噴射装置としては、液体加圧手段として、アクチュエータ部を用いているものがある。例えば、特許文献１に記載された液体噴射装置は、液体の流路となる液体流路と、液体流路に隣接し、液体を噴射するための液体噴射口を有する液体加圧室と、液体加圧室に隣接し、電圧または電流により駆動する液体加圧手段とを少なくとも有する液体噴射本体を備えた液体噴射装置において、電圧または電流が有する周波数成分は、液体流路および前記液体加圧室に液体が充填されている状態にある液体噴射本体の、少なくとも一つの共振周波数が含まれているものである。

特開２００１−０８８２９８号公報（請求項１、段落００３３等）

上記液体噴射装置においては、電圧または電流が有する周波数成分が共振周波数成分を含むことで、アクチュエータ部を大変位に駆動することができる。しかしながら、このように共振周波数成分を含むように駆動信号を形成してアクチュエータ部に印加すると、共振による振動が大きくなりすぎてアクチュエータ部を構成する圧力発生素子が破損してしまうことがある。また、駆動信号が共振周波数成分を含むように構成しなくても、駆動信号にノイズとしての共振周波数が含まれる場合もあり、この場合にもアクチュエータ部が共振により破損してしまうおそれがある。特に、このアクチュエータ部が、圧電素子などの圧力発生素子や、圧力発生素子に振動板を備えたものであると、この問題が顕著になる。

そこで、本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解決することにあり、アクチュエータ部を破損するおそれのない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの制御方法を提供することを目的とする。

本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成されている流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に少なくとも圧力発生素子を有するアクチュエータ部と、前記アクチュエータ部を駆動するための駆動信号を生成して出力する制御部から出力された前記駆動信号を処理して前記アクチュエータ部へ送出する信号処理部とを備え、前記信号処理部内には、前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去するローパスフィルタが設けられていることを特徴とする。
本発明の液体噴射ヘッドにおいては、前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去するローパスフィルタが設けられていることで、アクチュエータ部の破損を防止することができる。

前記信号処理部には、前記アクチュエータ部毎に、前記アクチュエータ部に対して直列に接続されたスイッチング素子が設けられ、該スイッチング素子と、前記信号処理部の前記入力信号の入力部との間に、前記ローパスフィルタが設けられていることが好ましい。この位置に設けられていることで、１つのローパスフィルタにより、アクチュエータ部に印加される駆動信号の共振周波数成分を除去することができる。

ここで、前記ローパスフィルタの遮断周波数が、０．１４ＭＨｚ以下であることが好ましい。遮断周波数が０．１４ＭＨｚ以下であることで、製造工程から製造後の各状態において液体噴射ヘッドのアクチュエータ部に駆動信号を印加する場合に、共振によるアクチュエータ部の破損を防止することができる。

本発明の好ましい態様としては、前記アクチュエータ部が、振動板と、該振動板の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子であることが挙げられる。

本発明の液体噴射装置は、駆動信号生成手段によりアクチュエータ部を駆動するための駆動信号を生成して出力する制御部、及び、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成されている流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に少なくとも圧力発生素子を有する前記アクチュエータ部と、前記制御部からの駆動信号を処理して前記アクチュエータ部へ送出する信号処理部とを有する液体噴射ヘッドを備え、前記駆動信号生成手段と信号処理部との間に前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去するローパスフィルタが設けられていることを特徴とする。本発明の液体噴射装置においては、前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去するローパスフィルタが設けられていることで、前記アクチュエータ部の破損の原因となる共振周波数成分を除去することができるので、前記アクチュエータ部の破損を防止することができる。

本発明の液体噴射ヘッドの制御方法は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成されている流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に少なくとも圧力発生素子を有するアクチュエータ部と、制御部から出力された前記アクチュエータ部を駆動するための駆動信号を処理して前記アクチュエータ部へ送出する信号処理部とを備えた液体噴射ヘッドの制御方法において、前記信号処理部内に設けられたローパスフィルタにより前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去することを特徴とする。これにより、アクチュエータ部の破損を防止することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図、図２（ａ）は図１の平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ´線断面図である。

流路形成基板１０は、本実施形態では結晶面方位が（１１０）面のシリコン単結晶基板からなる。流路形成基板１０の一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）等からなる絶縁体膜５５が形成されている。また、流路形成基板１０の他方の面には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。各列の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。つまり、流路形成基板１０には、液体流路として、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５が形成されている。連通部１３は、後述する保護基板３０のリザーバ部３１と連通して圧力発生室１２の列毎に共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する。

流路形成基板１０の開口面側（他方面側）には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。

絶縁体膜５５上には、下電極６０と、圧電体膜の一例であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層７０と、上電極８０とが積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０を含む部分をいう。この圧電素子３００は、圧力発生室１２内のインク（液体）に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として機能する。圧電体層７０は、下電極６０上に形成される電気機械変換作用を示す圧電材料、特に圧電材料の中でもペロブスカイト構造の強誘電体材料からなる。

本実施形態では、圧電素子３００の下電極６０を共通電極とすると共に、上電極８０を圧電素子３００の個別電極とし、上電極８０と下電極６０との間に後述する制御部２００からの駆動信号Ｓ１に基づいた電圧が印加されて圧電体層７０が駆動される。この圧電体層７０の駆動により圧力発生室１２上の弾性膜５０及び絶縁体膜５５が振動する。即ち、本実施形態では、これらの弾性膜５０及び絶縁体膜５５が振動板として機能する。なお、本実施形態では、弾性膜５０及び絶縁体膜５５が振動板として機能するが、弾性膜５０又は絶縁体膜５５の何れか一方のみを振動板として設けるようにしてもよい。また、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、圧電素子３００を構成する下電極６０を振動板として機能させてもよい。いずれにしても、少なくとも圧力発生素子である圧電素子３００を備えたものをアクチュエータ部とする。

圧電素子３００の個別電極である各上電極８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５５上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。

このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極６０、絶縁体膜５５及びリード電極９０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。また、流路形成基板１０の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、リザーバ部３１のみをリザーバとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５等）にリザーバと各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。

保護基板３０には、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。

また、保護基板３０上には、信号処理部として機能する駆動回路１２０が固定されている。駆動回路１２０は、後述する制御部からの各種信号が入力され、これらの信号を処理して圧電素子３００へ印加するものである。駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、貫通孔３３を挿通させたボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。

保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましい。本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料の面方位（１１０）のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

また、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムからなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。

ところで、図１及び２に示す記録ヘッドにおいては、制御部から入力された駆動信号により圧電素子３００が駆動するように構成されているが、この駆動信号に含まれるノイズがアクチュエータ部（本実施形態においては、アクチュエータ部とは振動板及び圧電素子３００からなるものである）の共振周波数に一致すると、圧電素子３００の駆動時にアクチュエータ部が共振してしまい、破損するおそれがあるのでこれを防止する必要がある。

そこで、本実施形態の記録ヘッドにおいては、このノイズを除去するために、ローパスフィルタを設けている。以下、図３を用いて、詳細に説明する。図３（ａ）は本実施形態の記録ヘッドを用いた制御方法を説明するためのブロック図であり、（ｂ）はローパスフィルタの構成の一例を示す回路図である。

本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１を備えたインクジェット式記録装置Ｉは、制御部２００を有する。制御部２００は、インクジェット式記録装置Ｉの動作制御をするためのものであり、インクジェット式記録装置Ｉ自体を制御するため（例えば紙送り機構を動作させる等）の装置制御部２０１と、インクジェット式記録ヘッド１を制御するためのヘッド制御部２０２とを備えている。ヘッド制御部２０２からは、インクジェット式記録ヘッド１を駆動するための各種信号が出力され、インクジェット式記録ヘッド１の駆動回路１２０に入力される。駆動回路１２０には、ローパスフィルタ２０３が設けられており、上記の各種信号のうち、ヘッド制御部２０２において生成された圧電素子３００を駆動するための駆動信号Ｓ１は、駆動回路１２０のこのローパスフィルタ２０３に入力される。

ローパスフィルタ２０３は、その遮断周波数が、前述したアクチュエータ部の共振周波数に設定されているものである。ここで、本実施形態のようにアクチュエータ部を振動板と圧電素子３００から構成されるものとした場合、アクチュエータ部の共振周波数は、振動板の材質、振動板の振動部分の大きさ（即ち、圧力発生室１２の大きさ）等に依存して変わるものである。本実施形態においては、振動板の材質は、上述のように弾性膜５０が二酸化シリコン、絶縁体膜５５が酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）である。また、振動板の厚さは１０００〜２０００μｍ、振動板の振動部分の大きさは、圧力発生室１２の幅（圧力発生室１２が列設された方向）：４５〜６０μｍ×圧力発生室１２の長さ（圧力発生室１２が列設された方向と直交する方向）：８００〜１０００μｍである。この場合のインク充填時のアクチュエータ部の共振周波数は、０．１４〜０．１７ＭＨｚである。本実施形態では、最も低い共振周波数成分から除去することができるように遮断周波数が０．１４ＭＨｚとなるように構成されたローパスフィルタを用いている。

また、ローパスフィルタ２０３としては、上記の共振周波数を設定できるものであれば、どのようなローパスフィルタを用いてもよい。例えば、本実施形態においては図３（ｂ）に示すコンデンサ素子Ｃ及び抵抗Ｒからなる構成のローパスフィルタを用いているが、コイル素子とコンデンサ素子とからなるローパスフィルタであってもよい。

ローパスフィルタ２０３には、互いに並列なスイッチング素子２０４〜２０６が接続されている。各スイッチング素子２０４〜２０６は、それぞれ容量性付加素子ＰＺＴとしての各圧電素子３００に対して直列となるように設けられており、図中では例として３つの圧電素子３００とスイッチング素子２０４〜２０６を示している。このスイッチング素子２０４〜２０６のオンオフ状態によって、どの圧電素子３００に信号が印加されるかが決定される。なお、このスイッチング素子のオンオフ状態は、上記した各種信号によって決定される。

このように構成されることで、制御部２００のヘッド制御部から出力された駆動信号Ｓ１は、駆動回路１２０のローパスフィルタ２０３に入力され、ローパスフィルタ２０３の遮断周波数以上の周波数成分が除去される。即ち、このローパスフィルタ２０３により、アクチュエータ部の共振周波数であるノイズは除去される。次いで、ノイズが除去された駆動信号Ｓ１は、スイッチング素子２０４〜２０６に入力され、スイッチング素子２０４〜２０６がオン状態である場合に、それに対応して各圧電素子３００に入力される。

即ち、インクジェット式記録ヘッド１は、次のように作動する。まず、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たす。その後、制御部２００から出力された駆動信号Ｓ１が駆動回路１２０のローパスフィルタ２０３に入力され、ローパスフィルタ２０３の遮断周波数以上の周波数成分が除去される。この除去された駆動信号Ｓ１が、オン状態であるスイッチング素子２０４〜２０６を介して圧電素子３００に印加される。これにより、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極６０と上電極８０との間に電圧が印加され、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出される。

このように、本実施形態においては、ローパスフィルタ２０３が設けられていることにより、アクチュエータ部の共振周波数であるノイズが除去されるので、共振によりアクチュエータ部（本実施形態においては振動板及び圧電素子３００）が破損することを防止している。

また、かかるインクジェット式記録ヘッド１の製造工程においては、通常、エージング工程と呼ばれる工程を行う。このエージング工程とは、各圧電素子３００の変位量のばらつきを適宜調整するためのものであり、例えば、実使用時よりも高電圧及び高周波数の駆動信号を、実使用時と同様に圧電素子に所定パルス数印加して圧電素子３００を駆動するものである。この工程においても、ローパスフィルタ２０３が設けられていることにより、印加される駆動信号に含まれるアクチュエータ部の共振周波数成分を除去することができるので、エージング工程においてもアクチュエータ部（本実施形態においては振動板及び圧電素子３００）の破損を防止することができる。このような製造工程における共振周波数は、圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０にノズルプレート２０を接着する前であれば、アクチュエータ部の共振周波数は、２．７５〜２．９５ＭＨｚである。さらに、ノズルプレート接着後、インク充填前であれば、アクチュエータ部の共振周波数は、２．７〜２．８ＭＨｚである。従って、本実施形態においては、遮断周波数をもっとも低い共振周波数である０．１４ＭＨｚに設定しているので、これらの共振周波数成分も除去することが可能である。

このようなインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。同図に示すように、図４中では図示しないインクジェット式記録ヘッド１を有する記録ヘッドユニット１Ａは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。また、このインクジェット式記録装置Ｉには、図示しないが、上述した制御部２００が設けられている。

そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。本実施形態では、記録ヘッドの駆動回路１２０内にローパスフィルタ２０３を設けたが、ローパスフィルタ２０３は、駆動信号を生成する信号発生手段（図示せず）の出力から、スイッチング素子２０４〜２０６までの間に設けてあれば、インクジェット式記録装置Ｉに設けてあってもよい。例えば、図５（ａ）に示すようにローパスフィルタ２０３を制御部２００内に設けてもよく、また、図５（ｂ）に示すように制御部２００自体に駆動回路１２０の構成を組み込み、スイッチング素子２０４〜２０６より上流側にローパスフィルタ２０３を設けてもよい。どの場合であっても、スイッチング素子２０４〜２０６の上流側にローパスフィルタ２０３を設けることで、１つのローパスフィルタで複数の圧電素子３００に入力される駆動信号Ｓ１の共振周波数成分を除去することができる。

また、本実施形態においては、流路形成基板１０としてシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されない。例えば、ＳＯＩ基板、ガラス基板、ＭｇＯ基板等においても本発明は有効である。

上述した実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子３００を有するアクチュエータ部を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエータ装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエータ装置などを使用することができる。

さらに、上述した各実施形態では、アクチュエータ部は、振動板と圧電素子３００とからなるものであったが、圧電素子を構成する下電極６０も振動板として機能する場合には、ローパスフィルタの遮断周波数は、別の共振周波数に設定される。即ち、この場合には、アクチュエータ部の共振周波数は、振動板の材質、振動板の振動部分の大きさ等に加えて、下電極の材質及びその振動部分の大きさ等に依存するため、これらの事項を考慮して設定される。もちろん、アクチュエータ部が振動板を備えずに、下電極６０が振動板としての機能する場合には、アクチュエータ部の共振周波数は、下電極の材質及びその振動部分の大きさ等に依存するものである。

なお、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

本発明の実施の形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施の形態に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。 本発明の実施の形態に係る記録装置のブロック図である。 本発明の実施の形態に係る記録装置の一例を示す概略図である。 本発明の実施の形態に係る記録装置のブロック図である。

符号の説明

１０ 流路形成基板、 １２ 圧力発生室、 １３ 連通部、 １４ インク供給路、 １５ 連通路、 １７ 溝部、 １８ 電子素子形成膜、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル開口、 ３０ 保護基板、 ３１ リザーバ部、 ３２ 圧電素子保持部、 ４０ コンプライアンス基板、 ５０ 弾性膜、 ５５ 絶縁体膜、 ６０ 下電極、 ７０ 圧電体層、 ８０ 上電極、 ９０ リード電極、 １００ リザーバ、 １２０ 駆動回路、 ２００ 制御部、 ２０３ ローパスフィルタ、 ２０４〜２０６ スイッチング素子、 ３００ 圧電素子

Claims (6)

1. 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成されている流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に少なくとも圧力発生素子を有するアクチュエータ部と、前記アクチュエータ部を駆動するための駆動信号を生成して出力する制御部から出力された前記駆動信号を処理して前記アクチュエータ部へ送出する信号処理部とを備え、
   前記信号処理部内には、前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去するローパスフィルタが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記信号処理部には、前記アクチュエータ部毎に、前記アクチュエータ部に対して直列に接続されたスイッチング素子が設けられ、該スイッチング素子と、前記信号処理部の前記入力信号の入力部との間に、前記ローパスフィルタが設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記ローパスフィルタの遮断周波数は、０．１４ＭＨｚ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記アクチュエータ部が、振動板と、該振動板の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 駆動信号生成手段によりアクチュエータ部を駆動するための駆動信号を生成して出力する制御部、及び、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成されている流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に少なくとも圧力発生素子を有する前記アクチュエータ部と、前記制御部からの駆動信号を処理して前記アクチュエータ部へ送出する信号処理部とを有する液体噴射ヘッドを備え、
   前記駆動信号生成手段と信号処理部との間に前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去するローパスフィルタが設けられていることを特徴とする液体噴射装置。
6. 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成されている流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に少なくとも圧力発生素子を有するアクチュエータ部と、制御部から出力された前記アクチュエータ部を駆動するための駆動信号を処理して前記アクチュエータ部へ送出する信号処理部とを備えた液体噴射ヘッドの制御方法において、
   前記信号処理部内に設けられたローパスフィルタにより前記駆動信号に含まれた前記アクチュエータ部の共振周波数成分を除去することを特徴とする液体噴射ヘッドの制御方法。

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