JP2009259788A - 表示装置 - Google Patents
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Abstract
抑制すること。
【解決手段】基板1と、基板1上に形成された有機EL素子2と、有機EL素子2上に形
成された防湿部4aとを備え、防湿部4aが、ポリシラザン膜30と、無機材料を含む保
護膜40とを有し、ポリシラザン膜30が有機EL素子2と保護膜40との間に配置され
ている表示装置101。
【選択図】図1
Description
−(SiH2NH)−
で表される繰り返し単位を有するポリシラザンから形成された膜である。ポリシラザンは、下記反応によって水と反応してシリカ(SiO2)を生成する。この反応により、ポリシラザン膜30は水分を吸収する機能を発揮する。
−(SiH2NH)− + 2H2O → SiO2 + NH3
最初に、Si基板上にポリシラザンをスピンコートで規定膜厚(400nm、600nm、又は1000nm)で形成した。そして、このサンプルを完全硬化(85℃、85%の恒温恒湿環境で24時間貯蔵し、更に恒温槽にて120℃で6時間維持)させた後、このサンプルをFT−IR(島津製作所 FTIR-8300)で測定して、ポリシラザンのSi−Oの吸収ピーク値を取得した。そして、この時の吸収ピーク値を硬化率100%時の吸収ピーク値と設定した。また、同様にSi基板上に規定膜厚の20%、40%、60%、又は80%の膜厚でポリシラザン膜を形成し、上記と同様の処理を行い、それぞれのSi−Oの吸収ピーク値を硬化率20%、40%、60%、又は80%の吸収ピーク値と設定した。そして、これらの測定点をプロットしたものを硬化率のテーブルとした。
表示装置の作製
図17〜23に示される試験用の表示装置(120×32ドット、ドットサイズ設計値(レジスト開口部):200μm×200μmのパッシブパネル)を下記の手順で作製した。図17は集積面側から見た表示装置の平面図であり、図18は発光面側から見た表示装置の平面図である。図17、18に示す表示装置101は、パネル発光部3とこれを封止するパネル封止部6とを有する。
1)ガラス基板上にITO膜(厚さ100nm)を成膜し、これをパターニングして下部電極(陽極)を形成する。
2)パターニングされたITO膜上に、フォトレジストを用いた方法によりエッジカバーと素子分離部を形成し、その後、白色の発光層及び上部電極(陰極)としてのAl膜を形成させる。
3)その後、図19〜22にそれぞれ示される積層構成を有する防湿部4aを形成する。各ポリシラザン膜(厚さ600nm)は、AZエレクトロニックマテリアル株式会社製の「アクアミカ NP110−20」(パーヒドロポリシラザン)を用いて形成する。各保護膜(酸化珪素膜、厚さ20nm)は、スパッタにより形成する。
作製した各表示装置を温度85℃、湿度85%の恒温恒湿環境下に放置し、そのときの発光ドットのシュリンクの進行状況を、パネル発光部3の中央部のドットD1(アドレス:60−15)、右上部のドットD2(アドレス:1−1)、右下部のドットD3(アドレス:1−30)に関して測定した。シュリンクの進行状況は、表示装置にDC6Vの定電圧を印加し、その状態で上記各ドットを顕微鏡で拡大して得た画像を、画像解析ソフトにより解析して発光面積を求める方法により測定した。
図22に示される積層構成を有し、内側から2組目のポリシラザン膜31及び3組目のポリシラザン膜32の硬化率を0%、10%、20%、30%、50%、70%又は100%に調整した表示装置を作製した。最内層のポリシラザン膜30の硬化率は0%とした。ポリシラザン膜31,32の硬化率は、UV/O3処理の条件を調整する方法により制御した。Si基板上に未硬化(硬化率0%)のポリシラザン膜をダミーとして成膜し、これに対して各サンプルと同時にUV/O3処理を行い、ダミーとしてのポリシラザン膜の硬化率をFT−IR測定に基づいて決定する方法により、各サンプルのポリシラザン膜の硬化率を求めた。
Claims (3)
- 基板と、該基板上に形成された有機EL素子と、該有機EL素子上に形成された防湿部とを備え、
前記防湿部が、ポリシラザン膜と、無機材料を含む保護膜とを有し、前記ポリシラザン膜が前記有機EL素子と前記保護膜との間に配置されている表示装置。 - 前記防湿部が複数の前記ポリシラザン膜及び複数の前記保護膜を有し、それらが交互に積層されている、請求項1に記載の表示装置。
- 前記ポリシラザン膜の硬化率が50%以下である、請求項1または2に記載の表示装置
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