JP2009255184A - ウェーハ研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、リテーナリング9の内径DRをウェーハWの直径DWよりも所要長さdだけ大径に設定し、該ウェーハWは、その外周部がリテーナリング9の内周部に転がり接触することにより駆動されて回転するように構成したウェーハ研磨装置を提供するものである。
【選択図】図3
Description
2 プラテン
3 研磨ヘッド
4 回転軸
5 モータ
6 研磨パッド
7 ヘッド本体 8 キャリア
9 リテーナリング
10 リテーナリング押圧手段
11 キャリア押圧手段
12 回転軸
13 ドライプレート
14 ピン
15 作動トランス
16 エア室
17 エアーフロートライン
18 エアー吹出し口
19 エアーフィルタ
20 給気ポンプ
21 真空ポンプ
22 バキュームライン
23 エアバック
24 リテーナリングホルダ
25 取付部材
26 スナップリング
DR リテーナリングの内径
DW ウェーハの直径
W ウェーハ
d 所要長さ
Claims (3)
- 上面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、リテーナリングが設けられた研磨ヘッドとを備え、前記研磨パッドと前記研磨ヘッドとの間に前記リテーナリングで周囲を囲むようにしてウェーハを介在させ、該ウェーハを圧力エアにより前記研磨パッドに押し付けつつ前記研磨ヘッドを前記プラテンに対し相対回転させて前記ウェーハを研磨するウェーハ研磨装置であって、
前記リテーナリングの内径を前記ウェーハの直径よりも所要長さだけ大径に設定し、該ウェーハは、その外周部が前記リテーナリングの内周部に転がり接触することにより駆動されて回転するように構成したことを特徴とするウェーハ研磨装置。 - 上記リテーナリングの内径を大径に設定する上記所要長さは、少なくとも3mmであることを特徴とする請求項1記載のウェーハ研磨装置。
- 上記ウェーハは、上記リテーナリングの回転に対し非同期で回転することを特徴とする請求項1又は2記載のウェーハ研磨装置。
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- 2008-04-11 JP JP2008104039A patent/JP2009255184A/ja active Pending
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