JP2009237205A - アレイ導波路回折格子型光合分波器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アレイ導波路回折格子型光合分波器1は、シリコン基板2上に一つのアレイ導波路回折格子(AWG)3が形成されたAWGチップ10と、補償板20を備える。AWGチップ10は、アレイ導波路回折格子3の輪郭に沿って曲線状に切断された外形を有し、入力スラブ導波路5部分で、その光軸に対して斜めに切断されて、第1の部分10aと第2の部分10bに2分割されている。補償板20は、切断面9と平行になるように、第1の部分10aの上面と第2の部分10bの上面とに貼り付けられている。温度が変化しても、入力導波路4から同一の波長の光を取り出すことができ、透過中心波長の温度依存性を補償することができる。
【選択図】図1
Description
(実施形態)
図1は本発明の一実施形態に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器を示す平面図、図2はアレイ導波路回折格子型光合分波器の側面図である。図3は多数のアレイ導波路回折格子(AWG)が形成された一つのウエハの一部を示す平面図、図4は図3に示すウエハから切断された一つのアレイ導波路回折格子(AWG)を示す平面図である。
次に、上記ベースプレートをAWGチップ10から取り外す。
合波(MUX)に用いる場合:
光が図1の矢印13で示すように入力され、矢印14で示すように出力される場合を説明する。つまり、アレイ導波路回折格子型光合分波器1を、波長の異なる複数の光信号(λ1〜λn)の各光信号を出力導波路6の各導波路から個別に入力し、これら複数の光信号を多重して入力導波路4から出力させる合波(MUX)に用いる場合を説明する。
次に、アレイ導波路回折格子型光合分波器1を、波長の異なる複数の光信号が多重された光信号(λ1〜λn)を波長ごとに分けて出力する分波(DEMUX)に用いる場合を説明する。この場合、波長の異なる複数の光信号が多重された光信号(λ1〜λn)が入力導波路4に入力される。
[実施例]
実際に図3に示すような一つのウエハ(シリコン基板2)上に複数のアレイ導波路回折格子3を凝縮して配置したチップを作製した。その後、CO2レーザを用いて、ウエハを図3に示す切断線12に沿ってブーメラン形状にチップを切断した。切断された一つのAWGチップ10を図4に示している。その後、AWGチップ10の2つのスラブ導波路の一方(入力スラブ導波路5)の部分で、AWGチップ10を2分割した。
2…シリコン基板
3…アレイ導波路回折格子(AWG)
4…入力導波路
5…入力スラブ導波路
5a…分離スラブ導波路(入力スラブ導波路の一部)
5b…分離スラブ導波路(入力スラブ導波路の他部)
6…出力導波路
7…出力スラブ導波路
8…アレイ導波路
10…AWGチップ
10a…第1の部分
10b…第2の部分
20…補償板
Claims (5)
- 基板上に形成されたアレイ導波路回折格子を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器であって、
前記アレイ導波路回折格子の輪郭に沿って曲線状に切断された外形を有し、前記アレイ導波路回折格子の2つのスラブ導波路の一方で、該一方のスラブ導波路の光軸に対して斜めに切断されて分割されたAWGチップと、
前記一方のスラブ導波路の一部と該一方のスラブ導波路の一部に接続された入力導波路を有する第1の部分と、前記アレイ導波路回折格子の前記第1の部分を除く部分とを接続する一つの補償板と、を備え、
温度が変化すると前記補償板の伸縮によって、前記一方のスラブ導波路の一部が前記一方のスラブ導波路の他部に対して移動するように構成したことを特徴とするアレイ導波路回折格子型光合分波器。 - 基板上に形成されたアレイ導波路回折格子を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器であって、
前記アレイ導波路回折格子の輪郭に沿って曲線状に切断された外形を有するAWGチップで、前記アレイ導波路回折格子の2つのスラブ導波路の一方で、該一方のスラブ導波路の光軸に対して斜めに切断されて、前記一方のスラブ導波路の一部と該一方のスラブ導波路の一部に接続された入力導波路を有する第1の部分と、前記一方のスラブ導波路の他部を有する第2の部分に2分割されたAWGチップと、
前記第1の部分と前記第2の部分を接続する補償板と、を備え、
温度が変化すると前記補償板の伸縮によって、前記一方のスラブ導波路の一部が前記一方のスラブ導波路の他部に対して移動するように構成したことを特徴とするアレイ導波路回折格子型光合分波器。 - 前記補償板は、前記AWGチップの前記第1の部分の上面と、前記第2の部分のうち、前記第1の部分と間隔を置いて対向する部分の上面とに貼り付けられていることを特徴とする請求項2に記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
- 前記補償板は長方形の金属板であり、該金属板の長辺が前記一方のスラブ導波路を前記第1の部分と前記第2の部分とに2分割する切断面と平行になるように、前記第1の部分の上面と前記第2の部分の上面とに貼り付けられていることを特徴とする請求項2又は3に記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
- 前記補償板は、銅製或いは純アルミニウム(JIS:A1050)製の金属板であることを特徴とする請求項4に記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
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