JP2009236839A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る表面検査装置1は、所定の繰り返しパターンを有するウェハ10の表面10aに円偏光を照射する照明系30と、円偏光が照射されたウェハ10からの正反射光のうち前記円偏光と略直交する偏光成分を抽出する検光子51と、検光子51により抽出された偏光成分により得られるウェハ10の表面像を検出する2次元撮像素子56と、2次元撮像素子56により検出されたウェハ10の表面像の光強度分布に基づいて、繰り返しパターンにおける異常の有無を検査する信号処理ユニット60とを備えている。
【選択図】図1
Description
10 ウェハ(被検基板) 12 繰り返しパターン
30 照明系(照明部)
31 光源 41 右回り円偏光子
42 第1の直線偏光子 43 第1の1/4波長板
50 受光系 51 検光子
52 第2の1/4波長板 53 第2の直線偏光子
56 2次元撮像素子(検出部) 60 信号処理ユニット(検査部)
101 表面検査装置(第2実施形態)
142 第1の直線偏光子(照明部) 143 1/4波長板(照明部及び検光子)
153 第2の直線偏光子(検光子)
201 表面検査装置(第3実施形態)
243 1/4波長板(照明部及び検光子)
301 表面検査装置(第4実施形態)
342 第1の直線偏光子(照明部) 343 1/4波長板(照明部及び検光子)
353 第2の直線偏光子(検光子)
Claims (1)
- 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に偏光を照射する照明部と、
前記偏光が照射された前記被検基板からの正反射光のうち前記偏光と略直交する偏光成分を抽出する検光子と、
前記検光子により抽出された前記偏光成分により得られる前記被検基板の表面像を検出する検出部と、
前記検出部により検出された前記表面像の強度分布に基づいて、前記繰り返しパターンにおける異常の有無を検査する検査部とを備え、
前記偏光は、円偏光または楕円偏光であり、
前記検光子は、前記円偏光または前記楕円偏光と略直交する偏光成分を抽出することを特徴とする表面検査装置。
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