JP2009228442A - Tube pump and polishing device - Google Patents

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JP2009228442A JP2008071225A JP2008071225A JP2009228442A JP 2009228442 A JP2009228442 A JP 2009228442A JP 2008071225 A JP2008071225 A JP 2008071225A JP 2008071225 A JP2008071225 A JP 2008071225A JP 2009228442 A JP2009228442 A JP 2009228442A
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Tomotake Morita
朋岳 森田
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  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tube pump capable of increasing the life of a tube even when the tube is not rotated. <P>SOLUTION: This tube pump includes the flexible tube 310, and a plurality of rollers 340, 350, 360 moving along the stretching direction of the tube 310 while pressurizing the tube 310. The rollers 340, 350, 360 pressurize the tube 310 from mutually different angles when seen in the peripheral direction of the tube 310. Consequently, the parts of the tube 310 with bending loads applied when pressurized differ respectively depending on the rollers 340, 350, 360. Thus, the life of the tube 310 can be increased even when the tube 310 is not rotated. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、耐久性が向上したチューブポンプ及び研磨装置に関する。   The present invention relates to a tube pump and a polishing apparatus with improved durability.

近年、半導体装置の微細化と共に、リソグラフィー工程の焦点深度を確保するために、層間絶縁膜の平坦度の向上が求められている。このため、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）による層間絶縁膜の平坦化が不可欠となってきている。ＣＭＰは、回転する研磨パッド上にスラリーを供給しながら層間絶縁膜の表面等の研磨面を研磨パッドへ押し付けることにより、研磨面を研磨する技術である。   In recent years, with the miniaturization of semiconductor devices, in order to ensure the depth of focus in the lithography process, improvement in the flatness of the interlayer insulating film is required. For this reason, planarization of the interlayer insulating film by CMP (Chemical Mechanical Polishing) has become indispensable. CMP is a technique for polishing a polishing surface by pressing a polishing surface such as the surface of an interlayer insulating film against the polishing pad while supplying slurry onto a rotating polishing pad.

ＣＭＰにおいて、スラリーの供給にはチューブポンプが用いられている。チューブポンプは、チューブを加圧するローラをチューブの延伸方向に沿って移動させることにより、チューブ内の流動物を流動させるポンプである。   In CMP, a tube pump is used to supply slurry. The tube pump is a pump that causes a fluid in the tube to flow by moving a roller that pressurizes the tube along the extending direction of the tube.

チューブポンプに関する技術には、例えば特許文献１に記載の技術がある。この技術において、チューブポンプは複数のローラを有している。これらローラの軸心は、ローラが取り付けられた回転体の軸心に直交する面の法線に対してわずかに傾いている。このため、ローラが回転しながらチューブを押圧する際に、チューブを捻る力が生じる、としている。一方、チューブの両端は回転自在に支持されている。このため、チューブを捻る力により、チューブは徐々に回転する、としている。これにより、チューブの疲労部位及び磨耗部位は、チューブの周方向へ徐々に変位して、チューブの局部的な損傷を防止して寿命を延長できる、としている。
特開２００１−２９５７７３号公報 As a technique related to the tube pump, there is a technique described in Patent Document 1, for example. In this technique, the tube pump has a plurality of rollers. The axial centers of these rollers are slightly inclined with respect to the normal line of the surface perpendicular to the axial center of the rotating body to which the rollers are attached. Therefore, when the tube is pressed while the roller rotates, a force for twisting the tube is generated. On the other hand, both ends of the tube are rotatably supported. For this reason, the tube is supposed to rotate gradually due to the twisting force of the tube. Thereby, the fatigue part and the wear part of the tube are gradually displaced in the circumferential direction of the tube to prevent local damage of the tube and extend the life.
JP 2001-295773 A

特許文献１に記載の技術を用いる場合、チューブの両端を回転自在に支持する必要がある。このようにするためには、チューブの両端を支持する支持部材として、チューブと共に回転する回転部材と、この回転部材を回転可能に保持する保持部材とを設ける必要がある。   When using the technique described in Patent Document 1, it is necessary to rotatably support both ends of the tube. In order to do this, it is necessary to provide a rotating member that rotates together with the tube and a holding member that rotatably holds the rotating member as support members that support both ends of the tube.

回転部材と保持部材の間には、隙間が設けられる。しかし、スラリーに含まれる砥粒は、回転部材と支持部材の間の隙間に入り込んで固着しやすい。固着した砥粒は凝集物となるが、回転部材が支持部材に対して回転しているため、この回転力によって凝集物は剥がれることがある。凝集物が剥がれて研磨パッド上に送られると、研磨面にスクラッチを生じさせる。また凝集物によって回転部材と支持部材の回転が妨げられることもある。この場合、チューブが捻れてしまい、チューブの耐久性が低下することもある。従って、チューブを回転させなくても、チューブの寿命を延長させることができる技術が望まれる。   A gap is provided between the rotating member and the holding member. However, the abrasive grains contained in the slurry are likely to enter the gap between the rotating member and the support member and be fixed. The fixed abrasive grains become agglomerates, but the agglomerates may be peeled off by this rotational force because the rotating member rotates relative to the support member. When the agglomerates are peeled off and sent onto the polishing pad, the polishing surface is scratched. In addition, the rotation of the rotating member and the support member may be hindered by the aggregate. In this case, the tube is twisted, and the durability of the tube may be lowered. Therefore, a technique that can extend the life of the tube without rotating the tube is desired.

本発明によれば可撓性を有し、流体中に固体粒子が分散したスラリーが内部を流動するチューブと、
前記チューブを加圧しつつ、該チューブの延伸方向に沿って移動する複数のローラと、
を備え、
前記複数のローラは、前記チューブの周方向で見たときに、互いに異なる角度から前記チューブを加圧するチューブポンプが提供される。 According to the present invention, a tube having flexibility and a slurry in which solid particles are dispersed in a fluid flows inside;
A plurality of rollers that move along the extending direction of the tube while pressurizing the tube;
With
The plurality of rollers may be provided with a tube pump that pressurizes the tube from different angles when viewed in the circumferential direction of the tube.

また本発明によれば、研磨用のスラリーを用いて基板をＣＭＰ研磨する研磨部と、
前記スラリーを送り出すチューブポンプと、
を備え、
前記チューブポンプは、
可撓性のチューブと、
前記チューブを加圧しつつ、該チューブの延伸方向に沿って移動する複数のローラと、
を有し、
前記複数のローラは、前記チューブの周方向で見たときに、互いに異なる角度から前記チューブを加圧する研磨装置が提供される。 Further, according to the present invention, a polishing unit for CMP polishing a substrate using a polishing slurry;
A tube pump for delivering the slurry;
With
The tube pump is
A flexible tube;
A plurality of rollers that move along the extending direction of the tube while pressurizing the tube;
Have
The plurality of rollers may be provided with a polishing device that pressurizes the tube from different angles when viewed in the circumferential direction of the tube.

本発明によれば、前記複数のローラは、前記チューブの周方向で見た場合に、互いに異なる角度から前記チューブを加圧するため、前記チューブのうち加圧時に折り曲げ負荷が加わる部分は、前記複数のローラそれぞれで異なる。従って、チューブを回転させなくても、チューブの寿命を延長させることができる。   According to the present invention, the plurality of rollers pressurize the tube from different angles when viewed in the circumferential direction of the tube. Each roller is different. Therefore, the life of the tube can be extended without rotating the tube.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.

図１は、第１の実施形態にかかるチューブポンプ３００の構成を示す平面概略図である。 チューブポンプ３００は、可撓性のチューブ３１０、及び複数のローラ３４０，３５０，３６０を備える。ローラ３４０，３５０，３６０は、チューブ３１０を加圧しつつ、チューブ３１０の延伸方向に沿って移動する。ローラ３４０，３５０，３６０は、チューブ３１０の周方向で見たときに、互いに異なる角度からチューブ３１０を加圧する。このため、チューブ３１０のうち加圧時に折り曲げ負荷が加わる部分は、ローラごとに異なる。このようにチューブ３１０のうち折り曲げ負荷が加わる部分が分散されるため、チューブ３１０を回転させなくても、チューブ３１０の寿命を延長させることができる。以下、詳細に説明する。   FIG. 1 is a schematic plan view showing the configuration of a tube pump 300 according to the first embodiment. The tube pump 300 includes a flexible tube 310 and a plurality of rollers 340, 350, and 360. The rollers 340, 350, and 360 move along the extending direction of the tube 310 while pressing the tube 310. The rollers 340, 350, and 360 press the tube 310 from different angles when viewed in the circumferential direction of the tube 310. For this reason, the portion of the tube 310 to which the bending load is applied during pressurization differs for each roller. As described above, since the portion to which the bending load is applied in the tube 310 is dispersed, the life of the tube 310 can be extended without rotating the tube 310. This will be described in detail below.

図１に示すように、チューブポンプ３００は、チューブ３１０、ガイド部材３２０、取付治具３２５、回転軸３３０、及びローラ３４０，３５０，３６０を備える。チューブ３１０は、流体中に固体粒子が分散したスラリーが内部を流動する。固体粒子としては、例えばシリカやアルミナである。ガイド部材３２０はチューブ３１０のガイドであり、円弧に沿って延伸している。チューブ３１０は、例えばシリコン、ファーメッド、タイゴン、ネオプレン、及びスタピュアから形成されており、両端部を除いてガイド部材３２０の内側面に沿って延伸している。取付治具３２５は、チューブ３１０の端を外部の配管に固定するために、チューブ３１０の両端それぞれに取り付けられている。取付治具３２５はチューブ３１０が回転しないように固定する。このため、取付治具３２５の内部に隙間を形成する必要がない。   As shown in FIG. 1, the tube pump 300 includes a tube 310, a guide member 320, a mounting jig 325, a rotating shaft 330, and rollers 340, 350, and 360. In the tube 310, a slurry in which solid particles are dispersed in a fluid flows inside. Examples of the solid particles include silica and alumina. The guide member 320 is a guide for the tube 310 and extends along an arc. The tube 310 is formed of, for example, silicon, farmed, tygon, neoprene, and staple, and extends along the inner surface of the guide member 320 except for both ends. The attachment jig 325 is attached to each end of the tube 310 in order to fix the end of the tube 310 to an external pipe. The mounting jig 325 is fixed so that the tube 310 does not rotate. For this reason, it is not necessary to form a gap inside the mounting jig 325.

回転軸３３０は、ガイド部材３２０の円弧を含む面に対して垂直な方向に延伸している。回転軸３３０は、ガイド部材３２０すなわちチューブ３１０が描く円弧の中心に位置しており、モータ等の動力源（図示せず）から伝達される動力によって回転する。回転軸３３０には、３つの支持軸３３２が設けられている。３つの支持軸３３２は、回転軸３３０の延伸方向と交わる方向に延伸しており、それぞれ端部でローラ３４０，３５０，３６０の回転軸３４１，３５１，３６１を保持している。回転軸３４１，３５１，３６１は、回転軸３３０と同じ方向に延伸している。そしてローラ３４０，３５０，３６０は、回転軸３３０を中心に回転しつつ、チューブ３１０の延伸方向に沿って移動する。   The rotation shaft 330 extends in a direction perpendicular to the plane including the arc of the guide member 320. The rotation shaft 330 is located at the center of the arc drawn by the guide member 320, that is, the tube 310, and is rotated by power transmitted from a power source (not shown) such as a motor. The rotation shaft 330 is provided with three support shafts 332. The three support shafts 332 extend in a direction intersecting with the extending direction of the rotating shaft 330, and hold the rotating shafts 341, 351, 361 of the rollers 340, 350, 360 at their ends. The rotation shafts 341, 351, 361 extend in the same direction as the rotation shaft 330. The rollers 340, 350, and 360 move along the extending direction of the tube 310 while rotating around the rotation shaft 330.

図２は、チューブ３１０及びガイド部材３２０の断面図である。本図が示す断面図は、チューブ３１０の中心軸に対して垂直な断面であり、チューブ３１０がいずれのローラによっても加圧されていない状態における断面である。図２の断面図において、ガイド部材３２０の内周壁は、略１８０°の円弧に沿って窪んでいる。この窪みはチューブ３１０を填め込むために形成されており、その直径はチューブ３１０の外周の直径よりわずかに大きい。チューブ３１０の外周面は、周方向における略半分が、ガイド部材３２０の内周壁に当接している。そしてローラ３４０，３５０，３６０は、チューブ３１０の周方向で見たときに、互いに異なる角度からチューブ３１０を加圧する。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the tube 310 and the guide member 320. The cross-sectional view shown in this figure is a cross section perpendicular to the central axis of the tube 310 and is a cross section in a state where the tube 310 is not pressurized by any roller. In the cross-sectional view of FIG. 2, the inner peripheral wall of the guide member 320 is recessed along a substantially 180 ° arc. This recess is formed to fit the tube 310, and its diameter is slightly larger than the outer diameter of the tube 310. About half of the outer peripheral surface of the tube 310 in the circumferential direction is in contact with the inner peripheral wall of the guide member 320. The rollers 340, 350, and 360 press the tube 310 from different angles when viewed in the circumferential direction of the tube 310.

図３（ａ）は、ローラ３４０がチューブ３１０を加圧している状態を示す断面図であり、図１のＡ−Ａ´断面に相当している。図３（ｂ）は、ローラ３５０がチューブ３１０を加圧している状態を示す断面図であり、図１のＢ−Ｂ´断面に相当している。図３（ｃ）は、ローラ３６０がチューブ３１０を加圧している状態を示す断面図であり、図１のＣ−Ｃ´断面に相当している。これらの図が示す断面は、図２と同じ方向であり、かつ各ローラの回転軸の中心軸を含んでいる。   FIG. 3A is a cross-sectional view showing a state where the roller 340 presses the tube 310, and corresponds to the AA ′ cross section of FIG. FIG. 3B is a cross-sectional view showing a state in which the roller 350 presses the tube 310, and corresponds to the BB ′ cross section of FIG. FIG. 3C is a cross-sectional view showing a state in which the roller 360 presses the tube 310, and corresponds to the CC ′ cross section of FIG. The cross sections shown in these figures are in the same direction as in FIG. 2 and include the central axis of the rotation axis of each roller.

ローラ３４０，３５０，３６０は、チューブ３１０を加圧する加圧面３４２，３５２，３６２が曲面になっている。加圧面３４２，３５２，３６２の形状は互いに略同じである。図３の断面図において、これら曲面の中心角は約１８０°であり、その直径は、チューブ３１０の直径よりわずかに小さい。   The rollers 340, 350, and 360 have pressure surfaces 342, 352, and 362 that press the tube 310 as curved surfaces. The shapes of the pressure surfaces 342, 352, and 362 are substantially the same. In the cross-sectional view of FIG. 3, the central angle of these curved surfaces is about 180 °, and the diameter thereof is slightly smaller than the diameter of the tube 310.

そして図３（ａ）に示す断面図において、加圧面３４２の中心３４４は、ガイド部材３２０の内周壁の中心と対向している。一方、図３（ｂ）に示す断面図において、ローラ３５０の加圧面３５２の中心３５４は、ローラ３４０の加圧面３４２の中心３４４とは異なる位置にある。また図３（ｃ）に示す断面図において、ローラ３６０の加圧面３６２の中心３６４は、ローラ３４０の加圧面３４２の中心３４４及びローラ３５０の加圧面３５２の中心３５４のいずれとも異なる位置にある。これらの図に示す例において、ローラ３６０の断面はローラ３５０の断面と線対称な形状をしており、加圧面３５２の中心３５４と加圧面３６２の中心３６４は、これらの間に加圧面３４２の中心３４４を挟むように配置されている。   In the cross-sectional view shown in FIG. 3A, the center 344 of the pressure surface 342 faces the center of the inner peripheral wall of the guide member 320. On the other hand, in the cross-sectional view shown in FIG. 3B, the center 354 of the pressure surface 352 of the roller 350 is at a position different from the center 344 of the pressure surface 342 of the roller 340. In the cross-sectional view shown in FIG. 3C, the center 364 of the pressure surface 362 of the roller 360 is at a position different from both the center 344 of the pressure surface 342 of the roller 340 and the center 354 of the pressure surface 352 of the roller 350. In the examples shown in these drawings, the cross section of the roller 360 is symmetrical with the cross section of the roller 350, and the center 354 of the pressure surface 352 and the center 364 of the pressure surface 362 are between the pressure surface 342 and the center. Arranged so as to sandwich the center 344.

このように本実施形態によれば、加圧面３４２，３５２，３６２は、図３の各図に示すように、ローラの曲線の開始位置及び終了位置が左右非対称であり、それぞれの中心３４４，３５４，３６４は、各ローラの回転軸を含む断面で見たときに、互いの位置が異なる。従って、図３の各図に示すように、チューブ３１０のうち加圧時に折り曲げ負荷が加わる部分は、ローラごとに異なる。従って、チューブ３１０のうち折り曲げ負荷が加わる部分は分散され、この結果、チューブ３１０の寿命は延長する。
（第２の実施形態） As described above, according to the present embodiment, the pressing surfaces 342, 352, and 362 are asymmetrical at the start and end positions of the curve of the roller, as shown in each drawing of FIG. , 364 have different positions from each other when viewed in a cross section including the rotation axis of each roller. Therefore, as shown in each drawing of FIG. 3, the portion of the tube 310 to which a bending load is applied during pressurization differs for each roller. Accordingly, the portion of the tube 310 to which the bending load is applied is dispersed, and as a result, the life of the tube 310 is extended.
(Second Embodiment)

図４は、第２の実施形態にかかる研磨装置の構成を示す図である。この研磨装置は、研磨装置本体１００と、スラリー供給ユニット２００を備える。研磨装置本体１００は、研磨テーブル１１０、押圧部１３０、スラリー供給ノズル１４０、及びチューブポンプ３００を有する。チューブポンプ３００の流入口とスラリー供給ユニット２００は配管１５０で接続されており、チューブポンプ３００の排出口とスラリー供給ノズル１４０は配管１６０で接続されている。   FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of a polishing apparatus according to the second embodiment. This polishing apparatus includes a polishing apparatus main body 100 and a slurry supply unit 200. The polishing apparatus main body 100 includes a polishing table 110, a pressing unit 130, a slurry supply nozzle 140, and a tube pump 300. The inlet of the tube pump 300 and the slurry supply unit 200 are connected by a pipe 150, and the outlet of the tube pump 300 and the slurry supply nozzle 140 are connected by a pipe 160.

研磨テーブル１１０は、表面に研磨パッドを有しており、また図示しない動力源によって回転する。押圧部１３０は、ウェハ１２０を回転させながら研磨テーブル１１０の表面に押圧して、ウェハ１２０をＣＭＰ研磨する。チューブポンプ３００は、スラリー供給ユニット２００が保持しているスラリーを、配管１５０，１６０を介してスラリー供給ノズル１４０に供給する。スラリー供給ノズル１４０は、スラリーを研磨テーブル１１０の表面に供給する。   The polishing table 110 has a polishing pad on its surface and is rotated by a power source (not shown). The pressing unit 130 presses the surface of the polishing table 110 while rotating the wafer 120 to polish the wafer 120 by CMP. The tube pump 300 supplies the slurry held by the slurry supply unit 200 to the slurry supply nozzle 140 via the pipes 150 and 160. The slurry supply nozzle 140 supplies the slurry to the surface of the polishing table 110.

チューブポンプ３００の構成は、第１の実施形態と略同様である。このためチューブ３１０の寿命は延長する。従って、本実施形態によれば、研磨装置のランニングコストが低下する。また、スラリー供給ノズル１４０から砥粒の凝集物が供給されることも抑制されるため、研磨後のウェハ１２０の歩留まりも向上する。   The configuration of the tube pump 300 is substantially the same as that of the first embodiment. For this reason, the lifetime of the tube 310 is extended. Therefore, according to the present embodiment, the running cost of the polishing apparatus is reduced. Further, since the aggregate of abrasive grains is also suppressed from being supplied from the slurry supply nozzle 140, the yield of the polished wafer 120 is improved.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.

第１の実施形態にかかるチューブポンプの構成を示す平面概略図である。It is a plane schematic diagram showing the configuration of the tube pump according to the first embodiment. チューブがいずれのローラによっても加圧されていない状態における、チューブ及びガイド部材の断面図である。It is sectional drawing of a tube and a guide member in the state in which the tube is not pressurized by any roller. （ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれローラがチューブを加圧している状態を示す断面図である。(A), (b), (c) is sectional drawing which shows the state in which the roller is pressing the tube, respectively. 第２の実施形態にかかる研磨装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the grinding | polishing apparatus concerning 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１００ 研磨装置本体
１１０ 研磨テーブル
１２０ ウェハ
１３０ 押圧部
１４０ スラリー供給ノズル
１５０ 配管
１６０ 配管
２００ スラリー供給ユニット
３００ チューブポンプ
３１０ チューブ
３２０ ガイド部材
３２５ 取付治具
３３０ 回転軸
３３２ 支持軸
３４０ ローラ
３４１ 回転軸
３４２ 加圧面
３４４ 加圧面の中心
３５０ ローラ
３５１ 回転軸
３５２ 加圧面
３５４ 加圧面の中心
３６０ ローラ
３６１ 回転軸
３６２ 加圧面
３６４ 加圧面の中心 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Polishing apparatus main body 110 Polishing table 120 Wafer 130 Press part 140 Slurry supply nozzle 150 Pipe 160 Pipe 200 Slurry supply unit 300 Tube pump 310 Tube 320 Guide member 325 Mounting jig 330 Rotating shaft 332 Support shaft 340 Roller 341 Rotating shaft 342 Pressure surface 344 Center of pressure surface 350 Roller 351 Rotating shaft 352 Pressure surface 354 Center of pressure surface 360 Roller 361 Rotating shaft 362 Pressure surface 364 Center of pressure surface

Claims (4)

可撓性を有し、流体中に固体粒子が分散したスラリーが内部を流動するチューブと、
前記チューブを加圧しつつ、該チューブの延伸方向に沿って移動する複数のローラと、
を備え、
前記複数のローラは、前記チューブの周方向で見たときに、互いに異なる角度から前記チューブを加圧するチューブポンプ。 A flexible tube in which a slurry in which solid particles are dispersed in a fluid flows;
A plurality of rollers that move along the extending direction of the tube while pressurizing the tube;
With
The plurality of rollers are tube pumps that pressurize the tubes from different angles when viewed in the circumferential direction of the tubes. 請求項１に記載のチューブポンプにおいて、
前記複数のローラは、加圧面が曲面を有しており、前記チューブの中心軸に垂直な断面で見たときに、前記曲面の中心の位置が互いに異なるチューブポンプ。 The tube pump according to claim 1, wherein
The plurality of rollers are tube pumps in which a pressing surface has a curved surface, and the positions of the centers of the curved surfaces are different from each other when viewed in a cross section perpendicular to the central axis of the tube. 請求項１又は２に記載のチューブポンプにおいて、
前記チューブは円弧に沿っており、
前記複数のローラは、前記円弧の中心に配置された回転軸に取り付けられており、前記回転軸を中心に回転しつつ、前記チューブの延伸方向に沿って移動するチューブポンプ。 In the tube pump according to claim 1 or 2,
The tube is along an arc;
The plurality of rollers are attached to a rotating shaft arranged at the center of the arc, and are tube pumps that move along the extending direction of the tube while rotating around the rotating shaft. 研磨用のスラリーを用いて基板をＣＭＰ研磨する研磨部と、
前記スラリーを送り出すチューブポンプと、
を備え、
前記チューブポンプは、
可撓性のチューブと、
前記チューブを加圧しつつ、該チューブの延伸方向に沿って移動する複数のローラと、
を有し、
前記複数のローラは、前記チューブの周方向で見たときに、互いに異なる角度から前記チューブを加圧する研磨装置。 A polishing section for CMP polishing the substrate using a polishing slurry;
A tube pump for delivering the slurry;
With
The tube pump is
A flexible tube;
A plurality of rollers that move along the extending direction of the tube while pressurizing the tube;
Have
The polishing apparatus, wherein the plurality of rollers pressurize the tube from different angles when viewed in the circumferential direction of the tube.
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