JP2009216515A - 欠陥検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハを移動させながら、ウェハの各測定領域に対して異なる照度の照明を照らし(ステップS1)、各測定領域を撮像する(ステップS2)。撮像された各測定領域の画像に色むらが検出されない場合には、次のステップS3に進む。一方、色むらが検出される場合には、ウェハを回転させて色むらのない画像を取得する(ステップS2−1)。色むらのない各測定領域の画像からRGB表色系の基準輝度を求め(ステップS3)、各基準輝度と照度との関係をグラフ化する(ステップS4)。RGB表色系のいずれかの基準輝度が予め定められた所定の輝度に達する照度を、最適照度と設定する(ステップS5)。最適照度の照明が照らされたウェハを撮像し、ウェハの欠陥を検査する(ステップS6)。
【選択図】図8
Description
110 欠陥検査装置
120 載置台
126 センサ
130 撮像装置
132 照明装置
140 制御装置
151〜155 測定領域
161〜165 他の測定領域
W ウェハ
Claims (8)
- 照明が照らされた基板を撮像して、当該基板の欠陥を検査する方法であって、
前記照明の最適照度を設定する照度調節工程と、
前記最適照度の照明で照らされた基板を撮像する欠陥検査工程と、を有し、
前記照度調節工程は、
基板を移動させながら、当該基板表面上の複数の測定領域に対して異なる照度の照明を照らし、前記各測定領域を撮像する第一の工程と、
前記撮像された各測定領域の画像の輝度をヒストグラム化し、当該ヒストグラムの最大輝度側からの積分値が所定の値になる基準輝度を求める第二の工程と、
前記各基準輝度と照度との相関関係を算出し、当該相関関係に基づいて、所定の輝度と一致する基準輝度の照度を前記欠陥検査工程における最適照度と設定する第三の工程と、を有することを特徴とする、欠陥検査方法。 - 前記第一の工程において、前記撮像された各測定領域の画像に色むらが生じた場合、
前記色むらが消滅する位置まで基板を回転させ、前記各測定領域を撮像することを特徴とする、請求項1に記載の欠陥検査方法。 - 前記第二の工程において、前記各測定領域の画像のRGB表色系の基準輝度をそれぞれ求め、
前記第三の工程において、前記所定の輝度と一致する前記RGB表色系の基準輝度が複数ある場合には、その中で最も小さいRGB表色系のいずれかの照度を前記欠陥検査工程における最適照度と設定することを特徴とする、請求項1又は2に記載の欠陥検査方法。 - 前記第三の工程における前記相関関係は、前記各基準輝度を線形補完して算出することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の欠陥検査方法。
- 前記測定領域は、基板全体を複数に分割した領域であり、
前記第一の工程において、基板を移動させながら、前記各測定領域に対して異なる照度の照明を照らして、基板を含む範囲を撮像し、
前記撮像した画像を2値化して、基板部分の画像を取得し、
前記基板部分の画像から前記各測定領域の画像に分割することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の欠陥検査方法。 - 前記基板部分の画像は、前記基板外側部分の画像のグレーレベルの相違に基づいて、前記各測定領域の画像に分割されることを特徴とする、請求項5に記載の欠陥検査方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の欠陥検査方法を欠陥検査装置によって実行させるために、当該欠陥検査装置を制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項7に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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