JP2009216482A - Cap unit - Google Patents

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Hiroyuki Ishii
洋行 石井
Susumu Shirasaki
享 白崎
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cap unit that is attached to and detached from a liquid tank easily. <P>SOLUTION: The cap unit 50 connects an opening section 27 of a supply tank 21 of which the cap has been removed to a supply tube 52 connected to the supply tank 21. The cap unit includes: a cap body 51 detachably fitted to the opening section 27 so that the opening section 27 is covered; an insertion pipe 53 that penetrates through and supported by the cap body 51 while the upper end is connected to the supply tube 52; a liquid level sensor 54 that penetrates through and supported by the cap body 51 and detects the liquid level of the supply tank 21; and a vent hole fixture 55 that penetrates through and supported by the cap body 51 and allows the inside to communicate with the outside of the supply tank 21. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体タンクの口部と、液体タンクに接続される接続配管とを接続するための口金ユニットに関するものである。   The present invention relates to a base unit for connecting a mouth portion of a liquid tank and a connection pipe connected to the liquid tank.

従来、液体タンクではないが、エンジンやトランスミッションに潤滑油を供給するオイルパン（タンク）に設けられる口金ユニット（液面検知装置）が知られている。この液面検知装置は、液流路、通気路および配線孔を形成すると共に、フランジ部を形成した筒状の把持部と、把持部の先端に装着した外部電極および内部電極から成る液面センサと、を備え、フランジ部をオイルパンの開口部に着座させてこれに固定的に取り付けられている。
特開平９−２１６７７号公報 Conventionally, a base unit (a liquid level detection device) provided in an oil pan (tank) that supplies lubricating oil to an engine or transmission is known, although it is not a liquid tank. This liquid level detection device is a liquid level sensor comprising a cylindrical gripping part formed with a flange, a liquid channel, a ventilation path and a wiring hole, and an external electrode and an internal electrode attached to the tip of the gripping part. The flange portion is seated on the opening of the oil pan and fixedly attached thereto.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-21777

このような、従来の口金ユニットでは、タンクを交換する必要性がないため、タンクに対し口金ユニットを簡単に着脱することができないものとなっている。   In such a conventional base unit, since there is no need to replace the tank, the base unit cannot be easily attached to and detached from the tank.

本発明は、液体タンクに対し、簡単に着脱することができる口金ユニットを提供することをその課題としている。   An object of the present invention is to provide a base unit that can be easily attached to and detached from a liquid tank.

本発明の口金ユニットは、口金を外した液体タンクの口部と、液体タンクに接続される接続配管とを接続する口金ユニットであって、口部を覆うように前記口部に着脱自在に装着される口金本体と、口金本体に貫通保持され、上端を接続配管に接続される挿入パイプと、口金本体に貫通保持され、液体タンクの液位を検出する棒状の液面センサと、口金本体に貫通保持され、液体タンクの内外を連通する通気口部材と、を備えたことを特徴とする。   The base unit of the present invention is a base unit that connects the mouth part of the liquid tank with the base removed to the connection pipe connected to the liquid tank, and is detachably attached to the mouth part so as to cover the mouth part. The base body, the insertion pipe that is penetrated and held in the base body, the upper end is connected to the connection pipe, the rod-shaped liquid level sensor that is penetrated and held in the base body and detects the liquid level of the liquid tank, and the base body And a vent member that is held through and communicates with the inside and outside of the liquid tank.

この構成によれば、口金本体に、接続配管に連通する挿入パイプ、液体タンクの液位を検出する液面センサおよび通気口部材を保持されているため、これら部品を一体として、液体タンクの口部に対し着脱することができる。すなわち、接続配管およびこれに関連する部品を、液体タンクに対し簡単に着脱することができ、液体タンクの交換作業を迅速に行うことができる。なお、液体タンクが給液タンクである場合には、底面近傍まで延びる長い挿入パイプと減液を検出する液面センサを用い、排液タンクである場合には、短い挿入パイプと満液を検出する液面センサを用いることが、好ましい。   According to this configuration, since the insertion pipe communicating with the connection pipe, the liquid level sensor for detecting the liquid level of the liquid tank, and the vent member are held in the base body, these parts are integrated into the mouth of the liquid tank. It can be attached to and detached from the part. That is, the connection pipe and related parts can be easily attached to and detached from the liquid tank, and the liquid tank can be replaced quickly. If the liquid tank is a liquid supply tank, use a long insertion pipe that extends to the vicinity of the bottom and a liquid level sensor that detects liquid reduction. If it is a drainage tank, detect a short insertion pipe and full liquid. It is preferable to use a liquid level sensor.

この場合、挿入パイプおよび液面センサを囲繞するプロテクトカバーを、更に備えることが好ましい。   In this case, it is preferable to further include a protect cover surrounding the insertion pipe and the liquid level sensor.

この構成によれば、オペレータによる液体タンクの交換作業に際し、プロテクトカバーにより挿入パイプおよび液面センサが保護されるため、挿入パイプおよび液面センサの損傷を有効に防止することができる。   According to this configuration, when the operator replaces the liquid tank, the insertion pipe and the liquid level sensor are protected by the protection cover, so that damage to the insertion pipe and the liquid level sensor can be effectively prevented.

これらの場合、液体タンクは、磁性体で構成されており、口金本体に組み込まれ、口部を相対的に吸着するマグネットを、更に備えることが好ましい。   In these cases, the liquid tank is preferably made of a magnetic material, and further includes a magnet incorporated in the base body and relatively attracting the mouth portion.

この構成によれば、口金本体が、液体タンクの口部にマグネット吸着されるため、液体タンクの交換作業をより一層、迅速に行うことができる。   According to this configuration, since the base body is magnetically attracted to the mouth portion of the liquid tank, the replacement work of the liquid tank can be performed more quickly.

この場合、マグネットは、口金本体の周縁部に螺合する複数本のねじ型マグネットで構成されていることが、好ましい。   In this case, it is preferable that the magnet is composed of a plurality of screw-type magnets that are screwed into the peripheral edge of the base body.

この構成によれば、各ねじ型マグネットの口金本体からの突出し寸法を微調整することができ、口部に口金本体を安定に吸着させることができる。ねじ型マグネットの本数は、３本から６本程度とすることが好ましい。   According to this configuration, the protruding dimension of each screw type magnet from the base body can be finely adjusted, and the base body can be stably adsorbed to the mouth part. The number of screw-type magnets is preferably about 3 to 6.

これらの場合、接続配管と挿入パイプとは、コイルチューブを介して接続されていることが、好ましい。   In these cases, it is preferable that the connection pipe and the insertion pipe are connected via a coil tube.

この構成によれば、コイルチューブにより口金本体廻りの配管の取り回しが容易になり、液体タンクの交換作業に際し、接続配管が邪魔になることがない。なお、液面センサと配線も同様に、コイルケーブルを介して接続することが好ましい。   According to this configuration, the coil tube facilitates the piping around the base body, and the connection piping does not get in the way when the liquid tank is replaced. Similarly, the liquid level sensor and the wiring are preferably connected via a coil cable.

以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る口金ユニット、およびこの口金ユニットが装着される各種タンクを備えた浸漬処理装置について説明する。この浸漬処理装置は、処理溶液にワークを浸漬してコーティング等の表面処理を行う、いわゆるＤｉｐコータであり、ワークを浸漬処理するワーク処理槽に対し、処理溶液を供給・廃棄する各種タンクが口金ユニットを介して接続されるようになっている。そこで、先ず浸漬処理装置から説明を進める。   Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, description will be given of a base unit according to an embodiment of the present invention and an immersion processing apparatus including various tanks to which the base unit is mounted. This immersion processing apparatus is a so-called Dip coater that performs surface treatment such as coating by immersing a workpiece in a processing solution, and various tanks for supplying and discarding the processing solution to a workpiece processing tank for immersing the workpiece. It is designed to be connected via a unit. Therefore, first, the description will proceed from the immersion treatment apparatus.

図１および図２に示すように、浸漬処理装置１は、下部のタンクキャビネット２と、タンクキャビネット２の上面に配設した機台３と、機台３上に設置され、ワーク処理槽５を有する処理装置本体４と、処理装置本体４を収容し、機台３の上部空間を覆うようにして設けられた装置カバー６と、を備えている。タンクキャビネット２および装置カバー６は、図外の排気設備に連通しており、内部雰囲気が適宜換気されるようになっている。また、浸漬処理装置１には、装置カバー６の背面側に設けた電装ボックス７と、装置カバー６の正面（前面）に設けた制御装置本体８とから成る制御装置９が組み込まれている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the immersion treatment apparatus 1 includes a lower tank cabinet 2, a machine base 3 disposed on the upper surface of the tank cabinet 2, and a work treatment tank 5 installed on the machine base 3. And a device cover 6 that accommodates the processing device main body 4 and that covers the upper space of the machine base 3. The tank cabinet 2 and the device cover 6 communicate with exhaust equipment not shown in the figure, and the internal atmosphere is appropriately ventilated. Further, the immersion processing apparatus 1 incorporates a control device 9 including an electrical box 7 provided on the back side of the device cover 6 and a control device main body 8 provided on the front surface (front surface) of the device cover 6.

処理対象物であるワークＷは、方形の金属板であり、その複数枚（２０枚）を単位としてワークマガジン１１に収容して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。より具体的には、複数枚のワークＷを並べて収容した２個のワークマガジン１１，１１が、マガジントレイ１２に搭載され、マガジントレイ１２と共に２個のワークマガジン１１，１１が一括して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。そして、複数枚のワークＷは、ワークマガジン１１と共にワーク処理槽５に浸漬され、表面処理される。   The workpiece W, which is the object to be processed, is a rectangular metal plate, and is accommodated in the workpiece magazine 11 in units of a plurality (20) thereof and is gradually fed to the immersion treatment apparatus 1. More specifically, two work magazines 11, 11 storing a plurality of workpieces W arranged side by side are mounted on the magazine tray 12, and the two work magazines 11, 11 together with the magazine tray 12 are immersed together. The material is gradually fed to the processing apparatus 1. The plurality of workpieces W are immersed in the workpiece processing tank 5 together with the workpiece magazine 11 and subjected to surface treatment.

処理装置本体４は、ワークを浸漬処理するワーク処理槽５と、ワーク処理槽５の上端開放部を開閉する開閉蓋１４と、ワーク処理槽５に隣接するワーク給材部１５に配設したマガジンセット機構１６と、複数枚のワークＷをワークマガジン１１と共に、ワーク給材部１５とワーク処理槽５との間で浸漬移動させる浸漬移動機構１７と、ワーク処理槽５に対し開閉蓋１４を開閉移動させる蓋移動機構１８と、を備えている。ワーク処理槽５とマガジンセット機構１６とは、機台３の前部に配設され、浸漬移動機構１７と蓋移動機構１８とは、上下に重なった状態で機台３の後部に配設されている。   The processing apparatus main body 4 includes a workpiece processing tank 5 for dipping the workpiece, an opening / closing lid 14 for opening and closing the upper end opening of the workpiece processing tank 5, and a magazine disposed in the workpiece supply unit 15 adjacent to the workpiece processing tank 5. A set mechanism 16, an immersion movement mechanism 17 for immersing and moving a plurality of workpieces W together with the workpiece magazine 11 between the workpiece supply unit 15 and the workpiece processing tank 5, and an opening / closing lid 14 for the workpiece processing tank 5. And a lid moving mechanism 18 to be moved. The work processing tank 5 and the magazine setting mechanism 16 are arranged at the front part of the machine base 3, and the immersion movement mechanism 17 and the lid movement mechanism 18 are arranged at the rear part of the machine base 3 in a state where they overlap each other. ing.

浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１をフッキングしてワーク処理槽５の直上部まで移動させ、蓋移動機構１８が開閉蓋１４を開放するのを待って、ワークマガジン１１をワーク処理槽５に浸漬する。この浸漬処理では、浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１を処理溶液にゆっくり沈めてゆき、液面の波立ちが静まるのを待ってゆっくり引き上げてゆく。これにより、ワークマガジン１１内の複数枚のワークＷに表面処理が適切に行われる。後述するように、処理溶液は揮発性の高い溶媒を含んでおり、このワークマガジン１１の引き上げ中に、ワークマガジン１１やワークＷに付着した処理溶液（溶媒）は、急速に気化してゆく（乾燥）。ワークマガジン１１の引き上げが完了すると、直ちに蓋移動機構１８が開閉蓋１４を閉塞する。一方、引き上げられたワークマガジン１１は、ワーク給材部１５のマガジントレイ１２に戻される。以上の動作を２回行って、２個のワークマガジン（ワークＷ）１１，１１の浸漬処理が終了したら、ワークマガジン１１をマガジントレイ１２と共に徐材し、新たなワークマガジン（未処理のワークＷ）１１を給材する。   The immersion moving mechanism 17 hooks the work magazine 11 and moves it to the position directly above the workpiece processing tank 5, waits for the lid moving mechanism 18 to open the opening / closing lid 14, and immerses the workpiece magazine 11 in the workpiece processing tank 5. To do. In this immersion treatment, the immersion movement mechanism 17 slowly submerges the work magazine 11 in the treatment solution, and slowly lifts it up after the undulation of the liquid surface has subsided. Thereby, the surface treatment is appropriately performed on the plurality of workpieces W in the workpiece magazine 11. As will be described later, the processing solution contains a highly volatile solvent, and the processing solution (solvent) adhering to the work magazine 11 or the work W is rapidly vaporized while the work magazine 11 is pulled up ( Dry). When the lifting of the work magazine 11 is completed, the lid moving mechanism 18 immediately closes the opening / closing lid 14. On the other hand, the lifted work magazine 11 is returned to the magazine tray 12 of the work material supply unit 15. When the above operation is performed twice and the immersion processing of the two work magazines (work W) 11, 11 is completed, the work magazine 11 is gradually removed together with the magazine tray 12, and a new work magazine (unprocessed work W is processed). ) 11 is supplied.

一方、タンクキャビネット２内には、ワーク処理槽５に処理溶液を供給する給液タンク（液体タンク）２１と、使用済みの処理溶液をワーク処理槽５から回収する廃液タンク（液体タンク）２２と、フィルタリングのためにワーク処理槽５から処理溶液を抜き取って回収するバッファタンク（液体タンク）２３と、が収容されている。さらに、タンクキャビネット２内には、これらタンク２１，２２，２３に併設するように、各種のポンプおよびバルブが各種配管と共に収容されている。   On the other hand, in the tank cabinet 2, a liquid supply tank (liquid tank) 21 that supplies the processing solution to the work processing tank 5, and a waste liquid tank (liquid tank) 22 that collects the used processing solution from the work processing tank 5, In addition, a buffer tank (liquid tank) 23 for collecting and collecting the processing solution from the work processing tank 5 for filtering is housed. Further, in the tank cabinet 2, various pumps and valves are accommodated together with various pipes so as to be provided in the tanks 21, 22, and 23.

処理溶液は、表面処理の主成分となる溶剤と、溶剤を溶かしこんだ溶媒とから成り、溶媒は給液タンク２１からワーク処理槽５に供給され、溶剤はワーク処理槽５の供給した溶媒に直接投入され混合される。また、溶媒には、揮発性の高いものが用いられている。このため、ワーク処理槽５は、浸漬処理を実施するとき以外は、上記の開閉蓋１４で気密に閉塞され、また浸漬処理時にワーク処理槽５から蒸散した気化溶媒は、装置カバー６内の雰囲気と共に排気ダクト２５を介して、上記の排気設備（排気処理設備）に排気される。   The treatment solution is composed of a solvent which is a main component of the surface treatment and a solvent in which the solvent is dissolved. The solvent is supplied from the liquid supply tank 21 to the work treatment tank 5, and the solvent is supplied to the solvent supplied from the work treatment tank 5. Directly charged and mixed. In addition, a highly volatile solvent is used. For this reason, the work treatment tank 5 is airtightly closed by the opening / closing lid 14 except when the immersion treatment is performed, and the vaporized solvent evaporated from the work treatment tank 5 during the immersion treatment is the atmosphere in the apparatus cover 6. At the same time, it is exhausted through the exhaust duct 25 to the exhaust equipment (exhaust treatment equipment).

次に、図３ないし図６を参照して、上記の各種タンクとこれに装着される口金ユニットについて詳細に説明する。図３に示すように、タンクキャビネット２内には、給液タンク２１、廃液タンク２２およびバッファタンク２３が収容され、要交換の給液タンク２１および廃液タンク２２は手前側に、バッファタンク２３は奥側に、それぞれ配置されている。上述したように、給液タンク２１からワーク処理槽５に溶媒が供給され、ワーク処理槽５でこの溶媒に溶剤が混合され浸漬処理に使用される。使用され汚れが生じた処理溶液は、ワーク処理槽５からバッファタンク２３に全て抜き取り、フィルタを介してワーク処理槽５に戻し使用される。最終的に処理溶液の劣化がすすんだら、これを廃液タンク２２に拭き取り廃棄する。そして、ワーク処理槽５とこれらタンクとは、各種のポンプおよび各種のバルブを介設した各種配管により接続されている。   Next, with reference to FIG. 3 to FIG. 6, the various tanks and the cap unit attached to the tanks will be described in detail. As shown in FIG. 3, the tank cabinet 2 accommodates a liquid supply tank 21, a waste liquid tank 22, and a buffer tank 23. The liquid supply tank 21 and the waste liquid tank 22 that need replacement are on the front side, and the buffer tank 23 is It is arranged on the back side. As described above, a solvent is supplied from the liquid supply tank 21 to the work treatment tank 5, and the solvent is mixed with the solvent in the work treatment tank 5 and used for the immersion treatment. The used processing solution that has been contaminated is extracted from the work processing tank 5 to the buffer tank 23 and returned to the work processing tank 5 through a filter. When the treatment solution finally deteriorates, it is wiped off in the waste liquid tank 22 and discarded. And the workpiece | work processing tank 5 and these tanks are connected by the various piping which interposed various pumps and various valves.

図３に示すように、タンクキャビネット２の底部には、引出し式のドレンパン３１が配設され、ドレンパン３１上に給液タンク２１および廃液タンク２２が搭載されている。廃液タンク２２はドレンパン３１の左側に搭載されると共に、給液タンク２１はドレンパン３１の右側に搭載されており、ドレンパン３１をタンクキャビネット２の前方に引き出すことにより、給液タンク２１および廃液タンク２２が取り出せるようになっている。廃液タンク２２の後方には、バッファタンク２３が配設され、給液タンク２１の後方には、棚板に支持するようにして各種のポンプ（図示省略）および各種のバルブ３２が配設されている。   As shown in FIG. 3, a drawer type drain pan 31 is disposed at the bottom of the tank cabinet 2, and a liquid supply tank 21 and a waste liquid tank 22 are mounted on the drain pan 31. The waste liquid tank 22 is mounted on the left side of the drain pan 31, and the liquid supply tank 21 is mounted on the right side of the drain pan 31. By pulling the drain pan 31 forward of the tank cabinet 2, the liquid supply tank 21 and the waste liquid tank 22 are mounted. Can be taken out. A buffer tank 23 is disposed behind the waste liquid tank 22, and various pumps (not shown) and various valves 32 are disposed behind the liquid supply tank 21 so as to be supported by a shelf plate. Yes.

図４に示すように、ドレンパン３１は、給液タンク２１および廃液タンク２２の容量を越える容量を有し、矩形の箱状に形成されている。ドレンパン３１の正面には取手３４が設けられ、また両側には、タンクキャビネット２に設けた下部フレーム３５との間に一対のスライドレール３６，３６が介設されている。ドレンパン３１の内部には、弧状に形成した前後各一対、計２組の転倒防止を兼ねる位置決め板３７が立設され、さらに各一対の位置決め板３７，３７の間には、給液タンク２１および廃液タンク２２を嵩上げ支持する一対の敷き板３８，３８が配設されている。一方、ドレンパン３１の奥側の両隅部には、一対の収納管３９，３９が立設されており、各収納管３９には、タンク交換時に外した口金ユニット５０が仮置き状態で収納されるようになっている。   As shown in FIG. 4, the drain pan 31 has a capacity exceeding the capacity of the liquid supply tank 21 and the waste liquid tank 22 and is formed in a rectangular box shape. A handle 34 is provided on the front surface of the drain pan 31, and a pair of slide rails 36 are provided on both sides between the lower frame 35 provided in the tank cabinet 2. Inside the drain pan 31, two pairs of arcuately formed front and rear positioning plates 37 serving as a total to prevent overturning are erected. Further, between each pair of positioning plates 37 and 37, the liquid supply tank 21 and A pair of laying plates 38 and 38 for raising and supporting the waste liquid tank 22 are disposed. On the other hand, a pair of storage pipes 39 and 39 are erected at both corners on the back side of the drain pan 31, and the base unit 50 removed at the time of tank replacement is stored in each storage pipe 39 in a temporarily placed state. It has become so.

給液タンク２１および廃液タンク２２は同一のものであり、またこれらに設けられる口金ユニット５０も同一のものであるため、以降の説明では、給液タンク２１およびこれに設けた口金ユニット５０について説明し、廃液タンク２２側の説明は省略する。給液タンク２１は、スチールの板金製であり、円柱状のボトルの形態を有している。給液タンク２１の上面には、偏心した位置に口部２７が一体に形成されており、口部２７は、口金ユニット５０が挿入される円形開口部２７ａと、円形開口部２７ａを囲繞するように立ち上がった環状口縁部２７ｂとで構成されている（図５参照）。上述のように、ワーク処理槽５の処理溶液は使い捨てを原則としており、これに対応して給液タンク（廃液タンク２２）２１は、ワーク処理槽５の２〜３倍の容量を有している。   Since the liquid supply tank 21 and the waste liquid tank 22 are the same, and the base unit 50 provided in them is also the same, in the following description, the liquid supply tank 21 and the base unit 50 provided in this will be described. The description on the waste liquid tank 22 side is omitted. The liquid supply tank 21 is made of steel sheet metal and has a form of a cylindrical bottle. A mouth portion 27 is integrally formed on the upper surface of the liquid supply tank 21 at an eccentric position, and the mouth portion 27 surrounds the circular opening portion 27a into which the base unit 50 is inserted and the circular opening portion 27a. And an annular rim portion 27b rising up (see FIG. 5). As described above, the treatment solution in the work treatment tank 5 is basically disposable, and the liquid supply tank (waste liquid tank 22) 21 has a capacity 2 to 3 times that of the work treatment tank 5 correspondingly. Yes.

図５および図６に示すように、口金ユニット５０は、給液タンク２１の口部２７を覆うように着脱自在に装着される口金本体５１と、ワーク処理槽５に連なる給液チューブ（接続配管）５２の上流が接続される挿入パイプ５３と、給液タンク２１の液位を検出する棒状の液面センサ５４と、給液タンク２１の内外を連通する通気口金具（通気口部材）５５と、を備えている。また、口金ユニット５０は、挿入パイプ５３および液面センサ５４を覆う筒状のプロテクトカバー５６と、口金本体５１に組み込まれ、口金本体５１を給液タンク２１に磁着するための４本（複数本）のねじ型マグネット５８から成るマグネット（永久磁石）５７と、を備えている。挿入パイプ５３と給液チューブ５２とは、給液用コイルチューブ６１を介して接続され、通気口金具５５と図外の大気開放弁（タンクキャビネット２内に設置）とは、通気用コイルチューブ６２を介して接続されている。また、液面センサ５４は、図外のセンサ本体（タンクキャビネット２内に設置）を介して制御装置（制御装置本体８）９にケーブル接続されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the base unit 50 includes a base body 51 that is detachably mounted so as to cover the mouth portion 27 of the liquid supply tank 21, and a liquid supply tube (connection piping) connected to the work processing tank 5. ) An insertion pipe 53 connected upstream of 52, a rod-shaped liquid level sensor 54 for detecting the liquid level in the liquid supply tank 21, and a vent fitting (vent member) 55 that communicates the inside and outside of the liquid supply tank 21. It is equipped with. The base unit 50 is incorporated in a cylindrical protective cover 56 that covers the insertion pipe 53 and the liquid level sensor 54, and the base body 51, and four (a plurality of pieces) for magnetically attaching the base body 51 to the liquid supply tank 21. And a magnet (permanent magnet) 57 composed of a screw type magnet 58. The insertion pipe 53 and the liquid supply tube 52 are connected via a liquid supply coil tube 61, and the vent fitting 55 and the air release valve (not shown) (installed in the tank cabinet 2) are connected to the ventilation coil tube 62. Connected through. The liquid level sensor 54 is cable-connected to the control device (control device main body 8) 9 via a sensor main body (installed in the tank cabinet 2) not shown.

口金本体５１は、ステンレス等の耐食性材料で構成され、給液タンク２１の環状口縁部２７ｂを覆うように逆碗状に形成されている。口金本体５１の中央部には、挿入パイプ５３が挿通するパイプ挿通孔６５および液面センサ５４が挿通するセンサ挿通孔６６が、１８０°点対称に位置して貫通形成されている。また、口金本体５１の中央部から外れた位置には、通気口金具５５が螺合する通気口６７が貫通形成されている。さらに、口金本体５１の中央部上面には、挿入パイプ５３を口金本体５１に固定するためのパイプ支持金具６８と、液面センサ５４を口金本体５１に固定するためのセンサ支持金具６９と、が対向配置するようにねじ止めされている。一方、口金本体５１の周縁部は肉厚の立下げ部５１ａとなっており、この立下げ部５１ａには、上記４本のねじ型マグネット５８が分散して組み込まれている。   The base body 51 is made of a corrosion-resistant material such as stainless steel, and is formed in an inverted bowl shape so as to cover the annular mouth edge 27 b of the liquid supply tank 21. A pipe insertion hole 65 through which the insertion pipe 53 is inserted and a sensor insertion hole 66 through which the liquid level sensor 54 is inserted are formed in the central portion of the base body 51 so as to be symmetric with respect to 180 °. Further, a vent 67 through which the vent fitting 55 is screwed is formed at a position away from the central portion of the base body 51. Further, on the upper surface of the central portion of the base body 51, there are a pipe support fitting 68 for fixing the insertion pipe 53 to the base body 51, and a sensor support fitting 69 for fixing the liquid level sensor 54 to the base body 51. Screwed to face each other. On the other hand, the peripheral portion of the base body 51 is a thick rising portion 51a, and the four screw-type magnets 58 are dispersedly incorporated in the falling portion 51a.

パイプ支持金具６８は、ステンレス板をＬ字状に折り曲げて形成した金具本体７１と、金具本体７１の立上げ部分に設けたバンド７２とから成り、金具本体７１の部分で口金本体５１の上面にねじ止めされると共に、バンド７２により挿入パイプ５３を支持している。同様に、センサ支持金具６９は、ステンレス板をＬ字状に折り曲げて形成した金具本体７３と、金具本体７３の立上げ部分に設けたバンド７４とから成り、金具本体７３の部分で口金本体５１の上面にねじ止めされると共に、バンド７４により液面センサ５４を支持している。   The pipe support fitting 68 includes a metal fitting body 71 formed by bending a stainless steel plate into an L shape, and a band 72 provided at a rising portion of the metal fitting body 71. The insertion pipe 53 is supported by a band 72 while being screwed. Similarly, the sensor support fitting 69 includes a metal fitting body 73 formed by bending a stainless steel plate into an L shape, and a band 74 provided at a rising portion of the metal fitting body 73. The liquid level sensor 54 is supported by a band 74.

上述したようにマグネット５７は、分散配置した４本のねじ型マグネット５８，５８，５８，５８で構成されており、各ねじ型マグネット５８は、半部を口金本体５１に埋め込むように固定したナット７６と、ナット７６に螺合したマグネット製のストレートボルト７７と、で構成されている。口金本体５１の立下げ部５１ａには、上下方向にボルト貫通口７８が貫通形成（４箇所）されており、この各ボルト貫通口７８に各ストレートボルト７７が挿通している。ナット７６に対しストレートボルト７７は、その先端面が立下げ部５１ａの下端面と略面一となるように螺合調整され、口金本体５１を給液タンク２１に装着したときに、口金本体５１が給液タンク２１に適切に吸着（磁着）するようになっている。   As described above, the magnet 57 is composed of four screw-type magnets 58, 58, 58, 58 that are dispersedly arranged. Each screw-type magnet 58 is a nut that is fixed so that the half is embedded in the base body 51. 76 and a magnet straight bolt 77 screwed into the nut 76. Bolt through-holes 78 are formed through (in four locations) in the vertical direction in the lowering portion 51 a of the base body 51, and straight bolts 77 are inserted through the bolt through-holes 78. The straight bolt 77 is screwed and adjusted so that the front end surface of the straight bolt 77 is substantially flush with the lower end surface of the rising portion 51a, and the base body 51 is mounted when the base body 51 is attached to the liquid supply tank 21. Is appropriately attracted (magnetically attached) to the liquid supply tank 21.

挿入パイプ５３は、給液タンク２１に深く挿入されるテフロン（登録商標）製のパイプ本体８１と、パイプ本体８１の上端部に取り付けた継手金具８２と、で構成されている。継手金具８２はいわゆるエルボ継手であり、下向きの流入側にパイプ本体８１が接続され、横向きの流出側に上記の給液用コイルチューブ６１が接続されている。パイプ本体８１は、上部で上記のパイプ支持金具６８に支持される一方、口金本体５１のパイプ挿通孔６５および給液タンク２１の円形開口部２７ａを挿通し、給液タンク２１の底板近傍まで延在している。   The insertion pipe 53 includes a pipe body 81 made of Teflon (registered trademark) that is inserted deeply into the liquid supply tank 21, and a joint fitting 82 attached to the upper end of the pipe body 81. The joint fitting 82 is a so-called elbow joint, and the pipe body 81 is connected to the downward inflow side, and the above-described liquid supply coil tube 61 is connected to the lateral outflow side. The pipe body 81 is supported at the upper part by the pipe support fitting 68, and extends through the pipe insertion hole 65 of the base body 51 and the circular opening 27 a of the liquid supply tank 21 to the vicinity of the bottom plate of the liquid supply tank 21. Exist.

液面センサ５４は、光センサで構成され、図示しないがセンサ本体の発光側に接続した発光側光ファイバと受光側に接続した発光側光ファイバと、を細筒状のケース８４に収容して構成されている。挿入パイプ５３と同様に液面センサ５４は、上部でセンサ支持金具６９に支持される一方、センサ挿通孔６６および円形開口部２７ａを挿通し、給液タンク２１の底板近傍まで延在している。給液タンク２１の液面センサ５４は、減液センサとして用いられ、給液タンク２１の減液を検出する。そして、制御装置９は、この液面センサ５４の検出結果に基づいて、ユーザに給液タンク２１の交換等を促す。なお、廃液タンク２２の液面センサ５４は、廃液タンク２２の満液を検出するもとのであり、給液タンク２１のものに比して極端に短く形成されている。   The liquid level sensor 54 is composed of an optical sensor, and a light emitting side optical fiber connected to the light emitting side of the sensor main body and a light emitting side optical fiber connected to the light receiving side are accommodated in a thin cylindrical case 84 (not shown). It is configured. Similar to the insertion pipe 53, the liquid level sensor 54 is supported at the top by the sensor support fitting 69, and extends through the sensor insertion hole 66 and the circular opening 27 a to the vicinity of the bottom plate of the liquid supply tank 21. . The liquid level sensor 54 of the liquid supply tank 21 is used as a liquid decrease sensor, and detects the liquid decrease in the liquid supply tank 21. The control device 9 prompts the user to replace the liquid supply tank 21 based on the detection result of the liquid level sensor 54. The liquid level sensor 54 in the waste liquid tank 22 detects the full liquid in the waste liquid tank 22 and is formed to be extremely shorter than that of the liquid supply tank 21.

プロテクトカバー５６は、内部に挿入パイプ５３および液面センサ５４を収容した丸パイプ状のカバー本体８６と、カバー本体８６を口金本体５１の天面にねじ止めするための角形フランジ部８７と、で一体に形成されている。カバー本体８６の周面には、多数の丸孔８８が分散して形成されており、処理溶液のカバー本体８６内外への流通を許容している。角形フランジ部８７が口金本体５１に固定された状態でカバー本体８６は、円形開口部２７ａを挿通し、挿入パイプ５３や液面センサ５４と同様に給液タンク２１の底板近傍まで延在している。   The protect cover 56 includes a round pipe-shaped cover body 86 that accommodates the insertion pipe 53 and the liquid level sensor 54 therein, and a square flange portion 87 for screwing the cover body 86 to the top surface of the base body 51. It is integrally formed. A large number of round holes 88 are formed in a distributed manner on the peripheral surface of the cover main body 86 to allow the treatment solution to flow into and out of the cover main body 86. With the square flange 87 fixed to the base body 51, the cover body 86 passes through the circular opening 27a and extends to the vicinity of the bottom plate of the liquid supply tank 21 like the insertion pipe 53 and the liquid level sensor 54. Yes.

通気口金具５５は、Ｌ字継手（エルボ継手）で構成されており、横向きの流入側に通気用コイルチューブが接続され、下向きの流出側が通気口に螺合している。給液タンク２１に貯留されている処理溶液の送液が開始されると、その分、給液タンク２１に通気口金具５５を介してエアーが流入する。なお、廃液タンク２２の通気口金具５５は、廃液タンク２２への使用済み処理溶液の流入に対応して、廃液タンク２２のエアーを流出させる。   The vent hole fitting 55 is composed of an L-shaped joint (elbow joint), and a ventilation coil tube is connected to the lateral inflow side, and the downward outflow side is screwed into the vent hole. When the feeding of the processing solution stored in the liquid supply tank 21 is started, air flows into the liquid supply tank 21 through the vent fitting 55 accordingly. The vent fitting 55 of the waste liquid tank 22 causes the air in the waste liquid tank 22 to flow out in response to the inflow of the used processing solution into the waste liquid tank 22.

このように、本実施形態では、挿入パイプ５３、液面センサ５４および通気口金具５５を一体型とした口金ユニットを給液タンクおよび廃液タンクに装着することで、浸漬処理装置で使用される処理溶液の溶媒をワーク処理槽へ供給し、処理溶液の廃液を廃液タンクへ貯留させることができ、液面センサの検知により、送液ポンプを制御することができる。口金ユニットと液体タンクの接合には、マグネットおよびねじ型マグネットが使用されているため、浸漬処理を開始する前など、給液タンクおよび廃液タンクの交換が必要なときには、簡単に口金ユニットを取り外すことができ、迅速に交換することができる。また、挿入チューブおよび液面センサは、コイルチューブを介して、送液パイプ、制御装置に接続されるため、配管の取り回しが容易になり、液体タンクの交換を適切に行うことができる。   As described above, in the present embodiment, the base unit in which the insertion pipe 53, the liquid level sensor 54, and the vent hole fitting 55 are integrated is attached to the liquid supply tank and the waste liquid tank, so that the processing used in the immersion processing apparatus is performed. The solvent of the solution can be supplied to the work processing tank, the waste liquid of the processing solution can be stored in the waste liquid tank, and the liquid feed pump can be controlled by the detection of the liquid level sensor. Since a magnet and a screw-type magnet are used to join the base unit and the liquid tank, the base unit can be easily removed when it is necessary to replace the liquid supply tank and the waste liquid tank, such as before starting the immersion process. Can be replaced quickly. Further, since the insertion tube and the liquid level sensor are connected to the liquid feeding pipe and the control device via the coil tube, the piping can be easily handled and the liquid tank can be appropriately replaced.

実施形態に係る浸漬処理装置の正面側から見た外観斜視図である。It is the external appearance perspective view seen from the front side of the immersion treatment apparatus concerning an embodiment. 実施形態に係る浸漬処理装置の背面側から見た外観斜視図である。It is the external appearance perspective view seen from the back side of the immersion treatment apparatus concerning an embodiment. タンクキャビネットの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a tank cabinet. 給液タンクおよび廃液タンクの設置状態の斜視図である。It is a perspective view of the installation state of a liquid supply tank and a waste liquid tank. 給液タンクおよび口金ユニットの断面図である。It is sectional drawing of a liquid supply tank and a nozzle | cap | die unit. 口金ユニットの斜視図である。It is a perspective view of a nozzle | cap | die unit.

符号の説明Explanation of symbols

１ 浸漬処理装置、２ タンクキャビネット、８ 制御装置本体、９ 制御装置、２１ 給液タンク、２２ 廃液タンク、２３ バッファタンク、２７ 口部、５０ 口金ユニット、５１ 口金本体、５２ 給液チューブ、５３ 挿入パイプ、５４ 液面センサ、５５ 通気口金具、５６ プロテクトカバー、５７ マグネット、５８ ねじ型マグネット、６１ 給液用コイルチューブ、６２ 通気用コイルチューブ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Immersion processing apparatus, 2 Tank cabinet, 8 Control apparatus main body, 9 Control apparatus, 21 Liquid supply tank, 22 Waste liquid tank, 23 Buffer tank, 27 mouth part, 50 Base unit, 51 Base body, 52 Liquid supply tube, 53 Insertion Pipe, 54 Liquid level sensor, 55 Vent hole fitting, 56 Protect cover, 57 Magnet, 58 Screw type magnet, 61 Coil tube for liquid supply, 62 Coil tube for ventilation

Claims (5)

口金を外した液体タンクの口部と、前記液体タンクに接続される接続配管とを接続する口金ユニットであって、
前記口部を覆うように前記口部に着脱自在に装着される口金本体と、
前記口金本体に貫通保持され、上端を前記接続配管に接続される挿入パイプと、
前記口金本体に貫通保持され、前記液体タンクの液位を検出する棒状の液面センサと、
前記口金本体に貫通保持され、前記液体タンクの内外を連通する通気口部材と、を備えたことを特徴とする口金ユニット。 A mouthpiece unit that connects a mouth portion of a liquid tank with a mouthpiece removed and a connection pipe connected to the liquid tank,
A base body detachably attached to the mouth so as to cover the mouth;
An insertion pipe that is penetratingly held in the base body and whose upper end is connected to the connection pipe;
A rod-shaped liquid level sensor that is held through the base body and detects the liquid level of the liquid tank;
A base unit comprising: a base member penetratingly held in the base body and communicating between the inside and outside of the liquid tank. 前記挿入パイプおよび前記液面センサを囲繞するプロテクトカバーを、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の口金ユニット。   The base unit according to claim 1, further comprising a protect cover surrounding the insertion pipe and the liquid level sensor. 前記液体タンクは、磁性体で構成されており、
前記口金本体に組み込まれ、前記口部を相対的に吸着するマグネットを、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の口金ユニット。 The liquid tank is made of a magnetic material,
The base unit according to claim 1, further comprising a magnet that is incorporated in the base body and relatively attracts the mouth part. 前記マグネットは、前記口金本体の周縁部に螺合する複数本のねじ型マグネットで構成されていることを特徴とする請求項３に記載の口金ユニット。   The base unit according to claim 3, wherein the magnet is composed of a plurality of screw-type magnets that are screwed into a peripheral edge portion of the base body. 前記接続配管と前記挿入パイプとは、コイルチューブを介して接続されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の口金ユニット。   The base unit according to any one of claims 1 to 4, wherein the connection pipe and the insertion pipe are connected via a coil tube.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104075776A (en) * 2013-03-27 2014-10-01 中国石油天然气集团公司 Automatic hole sealing device for inner floating roof storage tank liquid level guide pipe
CN105540026A (en) * 2015-12-24 2016-05-04 张玉红 Device for preventing liquid from splashing when liquid is poured out of container
JP2016092030A (en) * 2014-10-29 2016-05-23 東京エレクトロン株式会社 Liquid processing device and liquid processing method

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