JP2009210762A

JP2009210762A - Objective lens optical system

Info

Publication number: JP2009210762A
Application number: JP2008052950A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Suenaga; 豊末永; Yoshinori Tabata; 能徳多幡
Original assignee: SIGMAKOKI Co Ltd
Current assignee: SIGMAKOKI Co Ltd
Priority date: 2008-03-04
Filing date: 2008-03-04
Publication date: 2009-09-17

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an objective lens optical system which sufficiently correct aberration caused by the presence of cover glasses even when cover glasses having various thickness are used, and easily and sufficiently correct aberration caused by the difference in wavelengths upon observing a sample or the like by varying wavelengths. <P>SOLUTION: The sum of the thickness of a transmissive material as an object and a transmissive material for adjustment is controlled to be within a given range. The position of a movable lens is adjusted along the optical axis with respect to a fixed lens based on the wavelength of a beam made incident on the lens system. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

対象物に対して接近して位置づけられる対物レンズ光学系に関する。 The present invention relates to an objective lens optical system positioned close to an object.

従来、光学顕微鏡等に用いられる対物レンズは、補正環が設けられたものがあった。この補正環は、観察対象である試料等の上に載置されるカバーガラスによって生ずる収差を補正するためのものである。すなわち、補正環は、使用するカバーガラスの厚さに応じて、操作者が補正環を操作することによって、対物レンズを構成する一部のレンズ群を光軸方向に移動させて、収差を補正するものである（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−１４５２２２号公報 Conventionally, an objective lens used in an optical microscope or the like has been provided with a correction ring. This correction ring is for correcting aberrations caused by a cover glass placed on a sample to be observed. In other words, the correction ring corrects aberrations by operating the correction ring according to the thickness of the cover glass to be used, and moving a part of the lens group constituting the objective lens in the optical axis direction. (For example, refer to Patent Document 1).
JP 2004-145222 A

しかしながら、従来の対物レンズの補正環による補正は、カバーガラスの厚さが、所定の狭い範囲内であるときのみに有効であり、使用できるカバーガラスの厚さを制限するものであった。このため、薄いカバーガラスや厚いカバーガラスを使用した観察をすることができず、観察できる条件を狭めていた。 However, the correction using the correction ring of the conventional objective lens is effective only when the thickness of the cover glass is within a predetermined narrow range, and limits the thickness of the cover glass that can be used. For this reason, observation using a thin cover glass or a thick cover glass cannot be performed, and the conditions under which observation is possible have been narrowed.

また、従来の補正環は、所定の範囲内にあるカバーガラスの厚さに応じて収差を補正するものであったため、光源から発せられる光束の波長を異ならしめて試料を観察するような場合には、波長の変更によって生ずる収差については、十分に補正することが困難であった。 In addition, since the conventional correction ring corrects aberrations according to the thickness of the cover glass within a predetermined range, in the case of observing a sample with different wavelengths of light beams emitted from a light source. It has been difficult to sufficiently correct aberrations caused by wavelength changes.

本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、種々の厚さを有するカバーガラスを用いた場合であっても、カバーガラスの存在によって生ずる収差を十分に補正することができると共に、波長を異ならしめて使用するような場合であっても、波長の相違によって生ずる収差を容易にかつ十分に補正することができる対物レンズ光学系を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above points, and the object of the present invention is to sufficiently eliminate aberrations caused by the presence of a cover glass even when cover glasses having various thicknesses are used. It is an object of the present invention to provide an objective lens optical system capable of correcting and easily and sufficiently correcting an aberration caused by a difference in wavelength even when the wavelength is used differently.

以上のような目的を達成するために、本発明においては、対象物光透過体の厚さと調整用光透過体の厚さとの和が、一定の範囲に含まれるようにする。また、レンズ系に入射する光束の波長に基づいて、可動レンズの位置を固定レンズに対して光軸に沿って調整する。 In order to achieve the above object, in the present invention, the sum of the thickness of the object light transmitting body and the thickness of the adjusting light transmitting body is included in a certain range. Further, the position of the movable lens is adjusted along the optical axis with respect to the fixed lens based on the wavelength of the light beam incident on the lens system.

具体的には、本発明に係る対物レンズ光学系は、
光軸方向に沿って移動して対象物に焦点を合わせる少なくとも２つのレンズからなるレンズ系と、
前記対象物と前記レンズ系との間の光路上に配置された調整用光透過体であって、前記対象物を覆う対象物光透過体の厚さに基づく厚さを有する調整用光透過体と、含み、
前記対象物と前記レンズ系との間の光路における前記対象物光透過体の厚さと前記調整用光透過体の厚さとの和が、一定の範囲に含まれることを特徴とする。 Specifically, the objective lens optical system according to the present invention is:
A lens system consisting of at least two lenses that move along the optical axis direction and focus on the object;
An adjustment light transmitting body disposed on an optical path between the object and the lens system, the adjustment light transmitting body having a thickness based on the thickness of the object light transmission body covering the object Including,
The sum of the thickness of the object light transmitting body and the thickness of the adjusting light transmitting body in the optical path between the object and the lens system is included in a certain range.

このように、本発明に係る対物レンズ光学系は、レンズ系と調整用光透過体とを含む。レンズ系は、少なくとも２つのレンズからなり、これらのレンズのうちの少なくとも１つのレンズは、光軸方向に沿って移動することによって、対象物に焦点を合わせることができる。 As described above, the objective lens optical system according to the present invention includes the lens system and the adjustment light transmitting body. The lens system includes at least two lenses, and at least one of these lenses can be focused on the object by moving along the optical axis direction.

調整用光透過体は、対象物とレンズ系との間の光路上に配置される。さらに、この調整用光透過体は、対象物光透過体の厚さに基づく厚さを有する。この対象物光透過体は、対象物を覆うものである。 The adjustment light transmitting body is disposed on the optical path between the object and the lens system. Further, the adjustment light transmission body has a thickness based on the thickness of the object light transmission body. This object light transmitting body covers the object.

さらに、対象物光透過体の厚さと調整用光透過体の厚さとの和が、一定の範囲に含まれる。この対象物光透過体の厚さと調整用光透過体の厚さとは、対象物とレンズ系との間の光路におけるものであり、光束の光路にかかわる厚さである。 Further, the sum of the thickness of the object light transmitting body and the thickness of the adjusting light transmitting body is included in a certain range. The thickness of the object light transmitting body and the thickness of the adjusting light transmitting body are in the optical path between the object and the lens system, and are the thicknesses related to the optical path of the light beam.

また、本発明に係る対物レンズ光学系は、
前記一定の範囲が、前記対象物光透過体と前記調整用光透過体とによって生ずる収差を、前記レンズ系によって補正できる範囲であるものが好ましい。 The objective lens optical system according to the present invention is
It is preferable that the certain range is a range in which aberrations caused by the object light transmitting body and the adjustment light transmitting body can be corrected by the lens system.

さらに、本発明に係る対物レンズ光学系は、
前記レンズ系が、前記レンズ系に対して位置が固定された少なくとも１つのレンズからなる固定レンズと、前記固定レンズに対して光軸方向に沿って移動することができる少なくとも１つのレンズからなる可動レンズと、からなり、
前記一定の範囲にわたって、前記可動レンズを前記固定レンズに対して移動することができるレンズ位置調整手段を含むものが好ましい。 Furthermore, the objective lens optical system according to the present invention is:
The lens system includes a fixed lens including at least one lens whose position is fixed with respect to the lens system, and a movable including at least one lens movable along the optical axis direction with respect to the fixed lens. A lens,
It is preferable to include a lens position adjusting unit capable of moving the movable lens with respect to the fixed lens over the certain range.

さらにまた、本発明に係る対物レンズ光学系は、
前記可動レンズが、少なくとも１つの凹レンズと、少なくとも１つの凸レンズとを含み、
前記凹レンズの硝材の屈折率をｎ１、分散をν１とし、前記凸レンズの硝材の屈折率をｎ２、分散をν２としたときに、
０．１＜ｎ１−ｎ２＜０．６
−４０＜ν１−ν２＜＋４０
であるものが好ましい。
屈折率を上述した範囲にすることによって、球面収差を適切に補正することができ、分散を上述した範囲にすることによって、色収差を適切に補正することができる。 Furthermore, the objective lens optical system according to the present invention is:
The movable lens includes at least one concave lens and at least one convex lens;
When the refractive index of the glass material of the concave lens is n1, the dispersion is ν1, the refractive index of the glass material of the convex lens is n2, and the dispersion is ν2.
0.1 <n1-n2 <0.6
−40 <ν1-ν2 <+40
Are preferred.
By setting the refractive index within the above-described range, the spherical aberration can be appropriately corrected, and by setting the dispersion within the above-described range, the chromatic aberration can be appropriately corrected.

また、本発明に係る対物レンズ光学系は、
前記対象物を照明して、前記対象物光透過体と前記調整用光透過体と前記レンズ系を介して前記対象物の像を観察するものが好ましい。 The objective lens optical system according to the present invention is
What illuminates the object and observes the image of the object through the object light transmitting body, the adjustment light transmitting body, and the lens system is preferable.

さらに、本発明に係る対物レンズ光学系は、
前記レンズ系の焦点を合わせた位置を前記対象物として、前記レンズ系と前記調整用光透過体と前記対象物光透過体とを介して光束を前記対象物に照射して、前記対象物を加工するものが好ましい。 Furthermore, the objective lens optical system according to the present invention is:
Using the focused position of the lens system as the object, the object is irradiated with a light beam through the lens system, the adjustment light transmissive body, and the object light transmissive body. What is processed is preferable.

さらにまた、本発明に係る対物レンズ光学系は、
前記調整用光透過体が、前記レンズ系に対して着脱可能に設けられるものが好ましい。 Furthermore, the objective lens optical system according to the present invention is:
It is preferable that the adjustment light transmitting body is provided so as to be detachable from the lens system.

また、本発明に係る対物レンズ光学系は、
光軸方向に沿って移動して対象物に対して焦点を合わせる少なくとも２つのレンズからなるレンズ系であって、位置が固定された少なくとも１つのレンズからなる固定レンズと、前記固定レンズに対して移動することができる少なくとも１つのレンズからなる可動レンズと、からなるレンズ系と、
前記レンズ系に入射する光束の波長に基づいて、前記可動レンズの位置を前記固定レンズに対して光軸に沿って調整することができるレンズ位置調整手段と、を含むことを特徴とする。 The objective lens optical system according to the present invention is
A lens system composed of at least two lenses that move along the optical axis direction and focus on an object, the fixed lens including at least one lens fixed in position, and the fixed lens A movable lens comprising at least one lens capable of moving, and a lens system comprising:
Lens position adjusting means capable of adjusting the position of the movable lens with respect to the fixed lens along the optical axis based on the wavelength of the light beam incident on the lens system.

さらに、本発明に係る対物レンズ光学系は、
前記レンズ位置調整手段が、光束の一の波長に対して調整できる範囲を、前記一の波長に対して調整できる範囲と、少なくとも一部異ならしめて調整できる波長対応調整手段を含むものが好ましい。 Furthermore, the objective lens optical system according to the present invention is:
It is preferable that the lens position adjusting unit includes a wavelength correspondence adjusting unit that can adjust the range that can be adjusted with respect to one wavelength of the light beam at least partially different from the range that can be adjusted with respect to the one wavelength.

種々の厚さを有するカバーガラスを用いた場合であっても、カバーガラスの存在によって生ずる収差を十分に補正することができると共に、波長を異ならしめて使用するような場合であっても、波長の相違によって生ずる収差を容易にかつ十分に補正することができる。 Even when cover glasses having various thicknesses are used, aberrations caused by the presence of the cover glass can be sufficiently corrected, and even when using different wavelengths, The aberration caused by the difference can be easily and sufficiently corrected.

以下に、本発明の実施例について図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

＜＜＜第１の実施の形態＞＞＞
図１〜図４は、第１の実施の形態による対物レンズ光学系１０の概略を示す図である。 <<<< first embodiment >>>>
1 to 4 are diagrams schematically showing the objective lens optical system 10 according to the first embodiment.

＜＜対物レンズ光学系１０＞＞
対物レンズ光学系１０は、対物レンズ体２０と調整用ガラス板６０とを含む。 << Objective optical system 10 >>
The objective lens optical system 10 includes an objective lens body 20 and an adjustment glass plate 60.

対物レンズ体２０は、後述するように、少なくとも２つのレンズからなる。この対物レンズ体２０は、試料等の対象物Ｏに接近して、対象物Ｏによって回折された光束が入射されたり、対象物Ｏに向けて光束を出射させたりするためのものである。 The objective lens body 20 is composed of at least two lenses, as will be described later. The objective lens body 20 is for approaching an object O such as a sample so that a light beam diffracted by the object O enters or emits a light beam toward the object O.

調整用ガラス板６０は、後述するカバーガラス５０によって生ずる収差を調整するためのガラス板である。 The adjustment glass plate 60 is a glass plate for adjusting an aberration caused by a cover glass 50 described later.

＜対物レンズ体２０＞
対物レンズ体２０は、レンズ系３０と補正環４０とを含む。対物レンズ体２０は、略筒状の形状を有する筐体２２を有する。レンズ系３０は、対物レンズ体２０の筐体２２の内部に設けられている。補正環４０は、対物レンズ体２０の筐体２２の外側に設けられている。後述するように、対物レンズ体２０に光束が入射する場合（図４（ａ）参照）と、対物レンズ体２０から光束を出射させる場合（図４（ｂ）参照）との双方の場合がある。 <Objective lens body 20>
The objective lens body 20 includes a lens system 30 and a correction ring 40. The objective lens body 20 includes a housing 22 having a substantially cylindrical shape. The lens system 30 is provided inside the housing 22 of the objective lens body 20. The correction ring 40 is provided outside the housing 22 of the objective lens body 20. As will be described later, there are both cases where a light beam enters the objective lens body 20 (see FIG. 4A) and cases where the light beam is emitted from the objective lens body 20 (see FIG. 4B). .

＜レンズ系３０＞
レンズ系３０は、上述したように、少なくとも２つのレンズからなる。この少なくとも２つのレンズは、固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とからなる。図１〜図４では、固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とを破線で示した。固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とは、いずれも少なくとも１つのレンズからなればよい。なお、本明細書では、便宜的に、これらの少なくとも１つのレンズを、固定レンズ群３２と可動レンズ群３４と称する。 <Lens system 30>
As described above, the lens system 30 includes at least two lenses. The at least two lenses include a fixed lens group 32 and a movable lens group 34. 1 to 4, the fixed lens group 32 and the movable lens group 34 are indicated by broken lines. Each of the fixed lens group 32 and the movable lens group 34 may be composed of at least one lens. In this specification, for convenience, these at least one lens is referred to as a fixed lens group 32 and a movable lens group 34.

固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とは、対物レンズ体２０の筐体２２の内部に、光軸Ｌが一致するように設けられている。固定レンズ群３２は、対物レンズ体２０の筐体２２の内側に固定されて設けられている。一方、可動レンズ群３４は、対物レンズ体２０の筐体２２の内部で、固定レンズ群３２に対して相対的に、光軸Ｌに沿って移動できるように設けられている。 The fixed lens group 32 and the movable lens group 34 are provided inside the housing 22 of the objective lens body 20 so that the optical axes L coincide. The fixed lens group 32 is fixedly provided inside the housing 22 of the objective lens body 20. On the other hand, the movable lens group 34 is provided so as to be movable along the optical axis L relative to the fixed lens group 32 inside the housing 22 of the objective lens body 20.

後述するように、可動レンズ群３４を固定レンズ群３２に対して移動させることにより、カバーガラス５０と調整用ガラス板６０とによって発生する収差が十分小さくなる位置に可動レンズ群３４を位置づけることができ、発生した収差を補正することができる。 As will be described later, by moving the movable lens group 34 with respect to the fixed lens group 32, the movable lens group 34 may be positioned at a position where the aberration generated by the cover glass 50 and the adjustment glass plate 60 is sufficiently small. The generated aberration can be corrected.

なお、レンズ系３０を構成する固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とは、想定されるカバーガラス５０の厚さと調整用ガラス板６０の厚さとに応じて発生する収差の補正に適合したレンズ等の光学素子が用いられて構成されている。たとえば、固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とを構成するレンズなどの光学素子の配置や屈折率や分散などの構成や特性を、想定されるカバーガラス５０の厚さと調整用ガラス板６０の厚さとに対応できるように、適合させたものにしておく必要がある。 Note that the fixed lens group 32 and the movable lens group 34 constituting the lens system 30 are lenses that are suitable for correcting aberrations generated according to the assumed thickness of the cover glass 50 and the thickness of the adjustment glass plate 60. These optical elements are used. For example, the arrangement of the optical elements such as lenses constituting the fixed lens group 32 and the movable lens group 34, the configuration and characteristics such as the refractive index and dispersion, the thickness of the cover glass 50 and the thickness of the adjustment glass plate 60 are assumed. It is necessary to make it suitable so that it can correspond.

たとえば、カバーガラス５０の厚さをｔ１、屈折率をｎ１とし、調整用ガラス板６０の厚さをｔ２、屈折率をｎ２としたときに、
−２．５＜（ｔ１×ｎ１＋ｔ２×ｎ２）＜２．５
を満たすものが好ましい。すなわち、この関係を満たすカバーガラス５０と調整用ガラス板６０とを適宜用いることによって、収差を補正することができる。 For example, when the thickness of the cover glass 50 is t1, the refractive index is n1, the thickness of the adjustment glass plate 60 is t2, and the refractive index is n2,
−2.5 <(t1 × n1 + t2 × n2) <2.5
Those satisfying these conditions are preferred. That is, the aberration can be corrected by appropriately using the cover glass 50 and the adjustment glass plate 60 that satisfy this relationship.

このように、可動レンズ群３４と固定レンズ群３２とを構成するレンズの種類や組み合わせや配置等の構成を定めておくことで、後述するように、カバーガラス５０と調整用ガラス板６０とによって発生する収差を補正できる。 In this way, by determining the types, combinations, and arrangements of the lenses constituting the movable lens group 34 and the fixed lens group 32, the cover glass 50 and the adjustment glass plate 60 are used as described later. The generated aberration can be corrected.

＜補正環４０（レンズ位置調整手段）＞
補正環４０は、対物レンズ体２０の筐体２２の外周面で回転できるように設けられている。この補正環４０は、略円環状の形状を有し、操作者、例えば、顕微鏡の観察者が回転操作することができる。補正環４０は、可動レンズ群３４と機械的に連結する連結機構（図示せず）を有する。操作者が補正環４０を回転操作したときには、補正環４０の回転動作が連結機構によって可動レンズ群３４に伝達されて、可動レンズ群３４は、固定レンズ群３２に対して、光軸Ｌに沿って移動する。 <Correction ring 40 (lens position adjusting means)>
The correction ring 40 is provided so as to be rotatable on the outer peripheral surface of the housing 22 of the objective lens body 20. The correction ring 40 has a substantially annular shape, and can be rotated by an operator, for example, an observer of a microscope. The correction ring 40 has a connection mechanism (not shown) that is mechanically connected to the movable lens group 34. When the operator rotates the correction ring 40, the rotation operation of the correction ring 40 is transmitted to the movable lens group 34 by the coupling mechanism, and the movable lens group 34 moves along the optical axis L with respect to the fixed lens group 32. Move.

＜カバーガラス５０（対象物光透過体）＞
カバーガラス５０は、試料等の対象物Ｏを保護するために対象物を覆うガラス板である。このカバーガラス５０は、対象物Ｏの上面に密着するように設けられる。対象物Ｏは、光軸Ｌ上に位置するように配置され、カバーガラス５０も光軸Ｌ上に位置するように配置される。 <Cover Glass 50 (Object Light Transmitter)>
The cover glass 50 is a glass plate that covers an object in order to protect the object O such as a sample. The cover glass 50 is provided in close contact with the upper surface of the object O. The object O is disposed so as to be located on the optical axis L, and the cover glass 50 is also disposed so as to be located on the optical axis L.

図１に示した例では、カバーガラス５０は、厚さｔ１の薄板状の形状を有するガラスからなる。カバーガラス５０の厚さｔ１は、例えば、約０．１７ｍｍなどである。 In the example shown in FIG. 1, the cover glass 50 is made of glass having a thin plate shape with a thickness t1. The cover glass 50 has a thickness t1 of, for example, about 0.17 mm.

＜調整用ガラス板６０、６０’、６０”（調整用光透過体）＞
レンズ系３０と対象物Ｏとの間に調整用ガラス板６０が配置されている。調整用ガラス板６０は、レンズ系３０と対象物Ｏとの間の光軸Ｌ上の位置ならば任意の位置に配置することができる。 <Adjustment Glass Plates 60, 60 ', 60 "(Adjustment Light Transmitter)>
An adjustment glass plate 60 is disposed between the lens system 30 and the object O. The adjustment glass plate 60 can be disposed at any position as long as it is on the optical axis L between the lens system 30 and the object O.

調整用ガラス板６０は、板状の形状を有するガラスからなる。なお、調整用ガラス板６０は、ガラスに限られず、光束を透過する何らかの材料からなるものにすることができる。 The adjustment glass plate 60 is made of glass having a plate shape. The adjustment glass plate 60 is not limited to glass, and can be made of any material that transmits a light beam.

図１に示した例では、調整用ガラス板６０は、厚さＴ１の板状のガラス板である。この調整用ガラス板６０の厚さＴ１は、使用するカバーガラス５０の厚さに応じて定められる。すなわち、カバーガラス５０の厚さと調整用ガラス板６０の厚さとの和が一定の範囲になるように、調整用ガラス板６０の厚さＴ１を定める。例えば、一定の範囲の最小値をＴｍｉｎとし、最大値をＴｍａｘとしたときには、カバーガラス５０の厚さｔ１と調整用ガラス板６０の厚さＴ１との和が、ＴｍｉｎとＴｍａｘとの間に含まれるようにする。ここで、Ｔｍｉｎは、例えば、３．０ｍｍであり、Ｔｍａｘは、例えば、４．５ｍｍである。 In the example shown in FIG. 1, the adjustment glass plate 60 is a plate-like glass plate having a thickness T1. The thickness T1 of the adjustment glass plate 60 is determined according to the thickness of the cover glass 50 to be used. That is, the thickness T1 of the adjustment glass plate 60 is determined so that the sum of the thickness of the cover glass 50 and the thickness of the adjustment glass plate 60 falls within a certain range. For example, when the minimum value in a certain range is Tmin and the maximum value is Tmax, the sum of the thickness t1 of the cover glass 50 and the thickness T1 of the adjustment glass plate 60 is included between Tmin and Tmax. To be. Here, Tmin is, for example, 3.0 mm, and Tmax is, for example, 4.5 mm.

上述した一定の範囲は、上述した固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とが収差を補正できる範囲であり、予め定められた範囲である。すなわち、カバーガラス５０の厚さｔ１と調整用ガラス板６０の厚さＴ１との和が一定の範囲にあるときには、カバーガラス５０と調整用ガラス板６０とよって生ずる収差を十分に小さくできるように、固定レンズ群３２と可動レンズ群３４との各々のレンズを予め構成しておく。 The fixed range described above is a range in which the fixed lens group 32 and the movable lens group 34 described above can correct aberration, and is a predetermined range. That is, when the sum of the thickness t1 of the cover glass 50 and the thickness T1 of the adjustment glass plate 60 is within a certain range, the aberration caused by the cover glass 50 and the adjustment glass plate 60 can be sufficiently reduced. Each lens of the fixed lens group 32 and the movable lens group 34 is configured in advance.

図２は、厚さｔ２を有する厚いカバーガラス５０’を用いたときの例を示す。カバーガラス５０’は、図１に示したカバーガラス５０の厚さｔ１よりも厚い厚さｔ２を有する。このような場合も、カバーガラス５０’の厚さｔ２と調整用ガラス板６０’の厚さＴ２との和が一定の範囲になるように、調整用ガラス板６０’の厚さＴ２を定める。例えば、一定の範囲の最小値をＴｍｉｎとし、最大値をＴｍａｘとした場合には、カバーガラス５０’の厚さｔ２と調整用ガラス板６０’の厚さＴ２との和が、ＴｍｉｎとＴｍａｘとの間に含まれるように、調整用ガラス板６０’の厚さＴ２を定めればよい。この図２に示した例では、カバーガラス５０’は、カバーガラス５０よりも厚いので、調整用ガラス板６０’の厚さＴ２は、図１に示した調整用ガラス板６０の厚さＴ１よりも薄くなる。 FIG. 2 shows an example when a thick cover glass 50 'having a thickness t2 is used. The cover glass 50 'has a thickness t2 that is thicker than the thickness t1 of the cover glass 50 shown in FIG. Also in such a case, the thickness T2 of the adjustment glass plate 60 'is determined so that the sum of the thickness t2 of the cover glass 50' and the thickness T2 of the adjustment glass plate 60 'is within a certain range. For example, when the minimum value in a certain range is Tmin and the maximum value is Tmax, the sum of the thickness t2 of the cover glass 50 ′ and the thickness T2 of the adjustment glass plate 60 ′ is Tmin and Tmax. What is necessary is just to determine thickness T2 of glass plate 60 'for adjustment so that it may be contained between. In the example shown in FIG. 2, since the cover glass 50 ′ is thicker than the cover glass 50, the thickness T2 of the adjustment glass plate 60 ′ is larger than the thickness T1 of the adjustment glass plate 60 shown in FIG. Also become thinner.

図３は、試料ガラス体５０”の内部に、試料等である対象物Ｏが存在する場合の例を示す図である。この場合には、試料ガラス体５０”の全体の厚さを考慮するのではなく、対象物Ｏと試料ガラス体５０”の対物レンズ体２０側の表面５２（上面）との間の距離ｔ３に応じて、調整用ガラス板６０”の厚さを定めればよい。すなわち、距離ｔ３と、調整用ガラス板６０”の厚さＴ３の和が一定の範囲になるように、調整用ガラス板６０”の厚さＴ３を定める。例えば、一定の範囲の最小値をＴｍｉｎとし、最大値をＴｍａｘとした場合には、距離ｔ３と調整用ガラス板６０”の厚さＴ３との和が、ＴｍｉｎとＴｍａｘとの間に含まれるように、調整用ガラス板６０’の厚さＴ３を定めればよい。 FIG. 3 is a diagram showing an example in which an object O such as a sample exists inside the sample glass body 50 ″. In this case, the entire thickness of the sample glass body 50 ″ is taken into consideration. Instead, the thickness of the adjustment glass plate 60 ″ may be determined according to the distance t3 between the object O and the surface 52 (upper surface) of the sample glass body 50 ″ on the objective lens body 20 side. That is, the thickness T3 of the adjustment glass plate 60 ″ is determined so that the sum of the distance t3 and the thickness T3 of the adjustment glass plate 60 ″ is within a certain range. For example, when the minimum value in a certain range is Tmin and the maximum value is Tmax, the sum of the distance t3 and the thickness T3 of the adjustment glass plate 60 ″ is included between Tmin and Tmax. The thickness T3 of the adjustment glass plate 60 ′ may be determined.

この調整用ガラス板６０、６０’、６０”は、対物レンズ体２０と一体になって取り扱えるものが好ましい。具体的には、調整用ガラス板６０、６０’、６０”は、対物レンズ体２０に着脱可能に設けられるのが好ましい。例えば、対物レンズ体２０に取り付けられるキャップとして構成されるのが好ましい。このようにすることで、取り扱いを簡便にすることができ、また、光路の調整を容易にすることができる。 The adjusting glass plates 60, 60 ′, 60 ″ are preferably those that can be handled integrally with the objective lens body 20. Specifically, the adjusting glass plates 60, 60 ′, 60 ″ are the objective lens body 20. It is preferable that it is detachably provided. For example, it is preferably configured as a cap attached to the objective lens body 20. By doing in this way, handling can be made simple and adjustment of an optical path can be made easy.

このような調整用ガラス板６０、６０’、６０”を用いることによって、対象物Ｏ側のＮＡが大きい場合においても、収差、特に球面収差を補正することができ、対物レンズ体２０を用いて的確に対象物を観察したり、対物レンズ体２０を介して対象物に光束を照射したりすることができる。 By using such adjustment glass plates 60, 60 ′, 60 ″, aberrations, particularly spherical aberration, can be corrected even when the NA on the object O side is large, and the objective lens body 20 is used. The object can be accurately observed, or the object can be irradiated with a light beam via the objective lens body 20.

＜収差の補正＞
上述した図１〜図３のいずれの場合も、対象物Ｏと対物レンズ体２０との間に配置されたカバーガラス５０、５０’や試料ガラス体５０”（以下では、これらを特に区別する必要がない限り、単にカバーガラス５０と称する。）の厚さと、調整用ガラス板６０、６０’、６０”（以下では、これらを特に区別する必要がない限り、単に調整用ガラス板６０と称する。）の厚さとの和が、一定の範囲に含まれるようにすることで、これらによって生ずる収差を十分に小さくすることができる。 <Aberration correction>
In any of the cases shown in FIGS. 1 to 3 described above, the cover glasses 50 and 50 ′ and the sample glass body 50 ″ (between these objects O and the objective lens body 20 need to be particularly distinguished below). Unless otherwise noted, the thickness of the cover glass 50 is simply referred to as the adjustment glass plate 60 unless otherwise required. ) Is included in a certain range, the aberration caused by these can be made sufficiently small.

カバーガラス５０を光束が透過する際には、カバーガラス５０の屈折率に応じて、光束は屈折する。この屈折によって、収差、特に球面収差が発生する。カバーガラス５０だけでなく、調整用ガラス板６０を配置したときには、カバーガラス５０の屈折率と調整用ガラス板６０の屈折率とに応じて、光束は屈折する。この調整用ガラス板６０は、透過する光束をさらに屈折させて、屈折の度合いが所定の範囲内になるようにするために配置する。この屈折の度合いは、補正環４０の操作によって可動レンズ群３４の位置を調整することにより収差を十分小さくできる程度の範囲のものである。すなわち、可動レンズ群３４の位置を調整することによって収差を十分小さくできる一定の範囲を予め定めておき、この一定の範囲に収まるように、調整用ガラス板６０によって屈折の度合いを調整する。 When the light beam passes through the cover glass 50, the light beam is refracted according to the refractive index of the cover glass 50. This refraction causes aberrations, particularly spherical aberrations. When not only the cover glass 50 but also the adjustment glass plate 60 is disposed, the light beam is refracted according to the refractive index of the cover glass 50 and the refractive index of the adjustment glass plate 60. The adjustment glass plate 60 is arranged to further refract the transmitted light beam so that the degree of refraction is within a predetermined range. The degree of refraction is in a range where the aberration can be sufficiently reduced by adjusting the position of the movable lens group 34 by operating the correction ring 40. That is, a certain range in which the aberration can be sufficiently reduced by adjusting the position of the movable lens group 34 is determined in advance, and the degree of refraction is adjusted by the adjusting glass plate 60 so as to be within this certain range.

このように、調整用ガラス板６０により、光束の屈折の度合いを調整することによって、収差を十分に小さくすることができる。特に、各々が種々の厚さを有する複数の調整用ガラス板、例えば、１．５ｍｍや３．０ｍｍの厚さの調整用ガラス板を予め準備しておき、カバーガラス５０の厚さに応じて、屈折の度合いが所定の範囲内になるような厚さを有する調整用ガラス板を選択して使用し、補正環４０の操作によって可動レンズ群３４の位置を調整することにより、収差を十分小さくするものが好ましい。 Thus, the aberration can be sufficiently reduced by adjusting the degree of refraction of the light beam by the adjusting glass plate 60. In particular, a plurality of adjustment glass plates each having various thicknesses, for example, adjustment glass plates having a thickness of 1.5 mm or 3.0 mm are prepared in advance, and depending on the thickness of the cover glass 50. By selecting and using an adjustment glass plate having a thickness such that the degree of refraction is within a predetermined range and adjusting the position of the movable lens group 34 by operating the correction ring 40, the aberration is sufficiently reduced. Those that do are preferred.

＜＜対象物の像を観察する場合＞＞
図４（ａ）は、対物レンズ体２０によって対象物Ｏの像を観察する場合の例を示す図である。特に、対象物Ｏの形状や大きさ等の形態を検査するものが好ましい。対象物Ｏの下方に所定の波長の光束を発する光源７０が設けられている。光源７０から発せられた光束は、上方に向かって進み、対象物Ｏを照射する。照射された光束は、対象物Ｏによって回折されて、カバーガラス５０を透過する。上述したように、カバーガラス５０を透過するときに、光束はカバーガラス５０の屈折率に応じて屈折する。さらに、カバーガラス５０を透過した光束は、調整用ガラス板６０を透過する。光束が調整用ガラス板６０を透過するときにも、調整用ガラス板６０の屈折率に応じて屈折する。その後、光束は、対物レンズ体２０に入射する。対物レンズ体２０は、予め対象物Ｏに焦点が合わされていると共に、収差を十分小さくできる位置に可動レンズ群３４は位置づけられている。このため、対物レンズ体２０によって変換された光束により、対物レンズ体２０の上方の像面（図示せず）において、対象物Ｏの像が形成される。 << When observing an image of an object >>
FIG. 4A is a diagram illustrating an example in which an image of the object O is observed by the objective lens body 20. In particular, it is preferable to inspect the form such as the shape and size of the object O. A light source 70 that emits a light beam having a predetermined wavelength is provided below the object O. The light beam emitted from the light source 70 travels upward and irradiates the object O. The irradiated light beam is diffracted by the object O and passes through the cover glass 50. As described above, when passing through the cover glass 50, the light beam is refracted according to the refractive index of the cover glass 50. Further, the light beam that has passed through the cover glass 50 passes through the adjustment glass plate 60. Even when the light beam passes through the adjustment glass plate 60, it is refracted according to the refractive index of the adjustment glass plate 60. Thereafter, the light beam enters the objective lens body 20. The objective lens body 20 is focused on the object O in advance, and the movable lens group 34 is positioned at a position where the aberration can be sufficiently reduced. For this reason, an image of the object O is formed on the image plane (not shown) above the objective lens body 20 by the light beam converted by the objective lens body 20.

この場合に、調整用ガラス板６０によって、屈折の度合いが所定の範囲内になるようにして、対物レンズ体２０に光束を入射させることができ、補正環４０の操作によって、可動レンズ群３４を一定の範囲内で位置を調整することにより、収差を十分小さくすることができるので、像面（図示せず）において、対象物Ｏの像を明確に形成することができる。このようにすることで、対象物Ｏの像が輪郭がぼやけることなく、対象物Ｏを観察することができる。特に、光学顕微鏡で対象物Ｏを観察するときには、ＮＡが大きくなる場合が多いが、このような場合であっても、カバーガラス５０の厚さに応じた厚さを有する調整用ガラス板６０を用いることによって、収差を十分に補正して、対象物Ｏを観察することができる。 In this case, the adjustment glass plate 60 allows the light beam to enter the objective lens body 20 so that the degree of refraction is within a predetermined range, and the movable lens group 34 is moved by operating the correction ring 40. By adjusting the position within a certain range, the aberration can be made sufficiently small, so that an image of the object O can be clearly formed on the image plane (not shown). By doing in this way, the object O can be observed, without the outline of the image of the object O blurring. In particular, when the object O is observed with an optical microscope, the NA is often increased. Even in such a case, the adjustment glass plate 60 having a thickness corresponding to the thickness of the cover glass 50 is used. By using this, the object O can be observed with sufficiently corrected aberration.

＜＜対象物を加工する場合＞＞
図４（ｂ）は、対物レンズ体２０から光束を発して、その光束を対象物Ｏに照射して加工する場合の例を示す図である。なお、図４（ｂ）に示した例では、試料ガラス体５０”の内部に対象物Ｏが存在する場合を示したが、試料ガラス体５０”の内部に、対象物Ｏが存在しなくてもよい。この場合には、試料ガラス体５０”の内部の所定の位置に焦点を合わせて、その位置の媒質を対象物Ｏとして照射すればよい。 << When processing an object >>
FIG. 4B is a diagram showing an example in the case of processing by emitting a light beam from the objective lens body 20 and irradiating the object O with the light beam. In the example shown in FIG. 4B, the case where the object O exists inside the sample glass body 50 ″ is shown, but the object O does not exist inside the sample glass body 50 ″. Also good. In this case, it is only necessary to focus on a predetermined position inside the sample glass body 50 ″ and irradiate the medium at that position as the object O.

対物レンズ体２０の上方に所定の波長及び所定の出力の光束を発する光源８０、例えばレーザ光源が設けられている。光源８０から発せられた光束は、下方に向かって進み、対物レンズ体２０に入射する。対物レンズ体２０に入射した光束は、対物レンズ体２０の固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とによって、収差が十分小さくなるように変換されて出射される。対物レンズ体２０から出射された光束は、調整用ガラス板６０”を透過する。光束が調整用ガラス板６０”を透過するときに、調整用ガラス板６０”の屈折率に応じて屈折する。さらに、調整用ガラス板６０”を透過した光束は、試料ガラス体５０”を透過する。試料ガラス体５０”を透過するときにも、光束は試料ガラス体５０”の屈折率に応じて屈折する。その後、光束は、対象物Ｏの位置に照射されて、対象物Ｏを加工する。 A light source 80 that emits a light beam having a predetermined wavelength and a predetermined output is provided above the objective lens body 20, for example, a laser light source. The light beam emitted from the light source 80 travels downward and enters the objective lens body 20. The light beam incident on the objective lens body 20 is converted and emitted by the fixed lens group 32 and the movable lens group 34 of the objective lens body 20 so that the aberration becomes sufficiently small. The light beam emitted from the objective lens body 20 passes through the adjustment glass plate 60 ″. When the light beam passes through the adjustment glass plate 60 ″, it is refracted according to the refractive index of the adjustment glass plate 60 ″. Further, the light beam that has passed through the adjustment glass plate 60 ″ passes through the sample glass body 50 ″. Even when it passes through the sample glass body 50 ″, the light beam is refracted according to the refractive index of the sample glass body 50 ″. Thereafter, the light beam is applied to the position of the object O to process the object O.

この場合にも、対物レンズ体２０は、予め対象物Ｏに焦点が合わされていると共に、収差を十分小さくできる位置に可動レンズ群３４は位置づけられている。このため、対象物Ｏに照射される光束の輪郭を明確にできるので、光束による加工によって形成される形状の輪郭を明確にすることができる。 Also in this case, the objective lens body 20 is previously focused on the object O, and the movable lens group 34 is positioned at a position where the aberration can be sufficiently reduced. For this reason, since the outline of the light beam applied to the object O can be clarified, the outline of the shape formed by processing with the light beam can be clarified.

＜＜＜第２の実施の形態＞＞＞
図５は、第２の実施の形態による対物レンズ体２００の内部の構造の概略を示す図である。なお、この図５においては、第１の実施の形態による対物レンズ体２０と同様の構成要素には、同一の符号を付した。 <<< Second Embodiment >>>
FIG. 5 is a diagram showing an outline of the internal structure of the objective lens body 200 according to the second embodiment. In FIG. 5, the same components as those of the objective lens body 20 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

対物レンズ体２００は、第１の実施の形態の対物レンズ体２０と同様に、レンズ系３０を含む。このレンズ系３０は、第１の実施の形態と同様に、固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とからなる。これらの固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とは、第１の実施の形態のものと同様の構成及び機能を有する。なお、図５に示すように、上述した対物レンズ体２００の可動レンズ群３４の端部には、摺動子２０２が固定されて設けられている。 The objective lens body 200 includes a lens system 30 as in the objective lens body 20 of the first embodiment. The lens system 30 includes a fixed lens group 32 and a movable lens group 34, as in the first embodiment. The fixed lens group 32 and the movable lens group 34 have the same configuration and function as those in the first embodiment. As shown in FIG. 5, a slider 202 is fixedly provided at the end of the movable lens group 34 of the objective lens body 200 described above.

さらに、対物レンズ体２００は、補正環４００も含む。補正環４００は、対物レンズ体２００の筐体２２の外周面で回転できるように設けられている。この補正環４００は、略円環状の形状を有し、操作者、例えば、顕微鏡の観察者が回転操作することができる。補正環４００の内側には、ネジ山（図示せず）が形成されている。この補正環４００の内側に形成されたネジ山と螺合できるように、摺動子２０２にもネジ山（図示せず）が形成されている。摺動子２０２は、操作者が補正環４００を回すことによって、螺合しているネジ山により動作が伝達されて、光軸Ｌに沿って移動することができる。 Furthermore, the objective lens body 200 also includes a correction ring 400. The correction ring 400 is provided so as to be rotatable on the outer peripheral surface of the housing 22 of the objective lens body 200. The correction ring 400 has a substantially annular shape, and can be rotated by an operator, for example, an observer of a microscope. A screw thread (not shown) is formed inside the correction ring 400. A thread (not shown) is also formed on the slider 202 so that it can be screwed with the thread formed inside the correction ring 400. When the operator rotates the correction ring 400, the slider 202 can be moved along the optical axis L by the movement transmitted by the screw thread that is screwed together.

摺動子２０２の側部には、支持体２０４が設けられている。支持体２０４の１つの側面には、溝２０６が形成されている。摺動子２０２は、摺動子２０２の端部が溝２０６で上下に移動できるように配置されている。操作者によって補正環４００が回されたときには、補正環４００のネジ山との螺合によって、補正環４００の動作が伝達され、摺動子２０２は、溝２０６に沿って上下方向（図５の矢印Ａで示す方向）、すなわち、光軸Ｌに沿った方向に移動することができる。 A support body 204 is provided on the side of the slider 202. A groove 206 is formed on one side surface of the support body 204. The slider 202 is arranged so that the end of the slider 202 can move up and down in the groove 206. When the operator rotates the correction ring 400, the operation of the correction ring 400 is transmitted by screwing with the thread of the correction ring 400, and the slider 202 moves in the vertical direction (in FIG. 5). The direction indicated by the arrow A), that is, the direction along the optical axis L.

支持体２０４の溝２０６の上側には、上側制限壁２０８が形成され、溝２０６の下側には、下側制限壁２１０が形成されている。摺動子２０２が、図５の上下方向（光軸Ｌに沿った方向）に移動したときには、摺動子２０２が上側制限壁２０８に当接したり、下側制限壁２１０に当接したりする。このように、摺動子２０２が、上側制限壁２０８に当接したり、下側制限壁２１０に当接したりすることによって、摺動子２０２が移動できる範囲が制限される。この上側制限壁２０８と下側制限壁２１０とによって摺動子２０２が移動できる範囲を定めることによって、可動レンズ群３４が移動できる範囲を画定することができる。すなわち、上側制限壁２０８によって、可動レンズ群３４が移動できる上限が画定され、下側制限壁２１０によって、可動レンズ群３４が移動できる下限が画定される。 An upper limiting wall 208 is formed above the groove 206 of the support 204, and a lower limiting wall 210 is formed below the groove 206. When the slider 202 moves in the vertical direction (direction along the optical axis L) in FIG. 5, the slider 202 contacts the upper limit wall 208 or the lower limit wall 210. Thus, the range in which the slider 202 can move is limited by the slider 202 abutting on the upper limit wall 208 or the lower limit wall 210. By defining a range in which the slider 202 can be moved by the upper restriction wall 208 and the lower restriction wall 210, a range in which the movable lens group 34 can be moved can be defined. That is, the upper limit wall 208 defines an upper limit at which the movable lens group 34 can move, and the lower limit wall 210 defines a lower limit at which the movable lens group 34 can move.

支持体２０４には、溝２０６が形成されている側面の反対側の側面に、突起２１２が形成されている。さらに、支持体２０４の突起２１２と向かい合うように、係止体２１４が設けられている。 A protrusion 212 is formed on the support 204 on the side surface opposite to the side surface on which the groove 206 is formed. Further, a locking body 214 is provided so as to face the protrusion 212 of the support body 204.

係止体２１４は、対物レンズ体２００の筐体２２の内部に固定して設けられている。係止体２１４には、支持体２０４の突起２１２と向かい合う側に、複数の凹部、例えば、４つの凹部２１６ａ〜２１６ｄが形成されている。支持体２０４の突起２１２は、これらの４つの凹部２１６ａ〜２１６ｄのうちのいずれかと選択的に係合することができる。 The locking body 214 is fixedly provided inside the housing 22 of the objective lens body 200. A plurality of concave portions, for example, four concave portions 216 a to 216 d are formed on the locking body 214 on the side facing the protrusion 212 of the support body 204. The protrusion 212 of the support 204 can selectively engage with any one of these four recesses 216a to 216d.

支持体２０４にはレバー（図示せず）が連結されている。レバーの端部は、筐体２２の外部に突出するように設けられている。筐体２２から突出したレバーの端部は、操作者が操作できるようにされている。操作者がレバーを操作することによって、支持体２０４を上下方向に移動させることができる。操作者のレバーの操作によって、支持体２０４は上下方向に移動され、４つの凹部２１６ａ〜２１６ｄのうちのいずれか１つに支持体２０４の突起２１２を選択的に係合させることができる。 A lever (not shown) is connected to the support 204. The end of the lever is provided so as to protrude outside the housing 22. The end of the lever protruding from the housing 22 can be operated by the operator. When the operator operates the lever, the support body 204 can be moved in the vertical direction. The support 204 is moved in the vertical direction by the operation of the lever of the operator, and the protrusion 212 of the support 204 can be selectively engaged with any one of the four recesses 216a to 216d.

上述したように補正環４００によって、上側制限壁２０８と下側制限壁２１０とにより制限される範囲内で、可動レンズ群３４を移動させることができる。すなわち、補正環４００によって、可動レンズ群３４を微動させることができる。さらに、４つの凹部２１６ａ〜２１６ｄを選択することによって、可動レンズ群３４の位置を大きく変更することもできる。すなわち、４つの凹部２１６ａ〜２１６ｄの選択によって、可動レンズ群３４を粗動させることができる。このような機構にしたことにより、支持体２０４の突起２１２を凹部２１６ａに係合させたときには、図５に示したＲ１の範囲内で、可動レンズ群３４を移動させることができる。支持体２０４の突起２１２を凹部２１６ｂに係合させたときには、Ｒ２の範囲内で、可動レンズ群３４を移動させることができる。同様に、支持体２０４の突起２１２を凹部２１６ｃに係合させたときには、Ｒ３の範囲内で、可動レンズ群３４を移動させることができ、支持体２０４の突起２１２を凹部２１６ｄに係合させたときには、Ｒ４の範囲内で、可動レンズ群３４を移動させることができる。 As described above, the movable lens group 34 can be moved by the correction ring 400 within a range limited by the upper limit wall 208 and the lower limit wall 210. That is, the movable lens group 34 can be finely moved by the correction ring 400. Furthermore, the position of the movable lens group 34 can be greatly changed by selecting the four concave portions 216a to 216d. That is, the movable lens group 34 can be coarsely moved by selecting the four concave portions 216a to 216d. By adopting such a mechanism, when the protrusion 212 of the support 204 is engaged with the recess 216a, the movable lens group 34 can be moved within the range of R1 shown in FIG. When the protrusion 212 of the support 204 is engaged with the recess 216b, the movable lens group 34 can be moved within the range of R2. Similarly, when the protrusion 212 of the support 204 is engaged with the recess 216c, the movable lens group 34 can be moved within the range of R3, and the protrusion 212 of the support 204 is engaged with the recess 216d. Sometimes, the movable lens group 34 can be moved within the range of R4.

４つの凹部２１６ａ〜２１６ｄの位置は、光源（図示せず）から発せられ光束の波長に応じて予め定められたものである。たとえば、凹部２１６ａは、紫外光に対応するようにし、凹部２１６ｂは、可視光に対応するようにし、凹部２１６ｃは、赤外光に対応するようにし、凹部２１６ｄは、遠赤外光に対応するように定める。操作者は、光源から発せられる光束の波長に応じて、４つの凹部２１６ａ〜２１６ｄのうちのいずれにするかを定める。これにより、４つの範囲Ｒ１〜Ｒ４のうち、波長に応じて最も収差を小さくすることができる範囲を決定することができる。さらに、補正環４００を操作することによって、上側制限壁２０８と下側制限壁２１０とにより制限される範囲内で、可動レンズ群３４を移動させる。これにより、その波長で最も収差を小さくなる位置に可動レンズ群３４を位置づけることができる。 The positions of the four recesses 216a to 216d are predetermined according to the wavelength of the light beam emitted from a light source (not shown). For example, the recess 216a corresponds to ultraviolet light, the recess 216b corresponds to visible light, the recess 216c corresponds to infrared light, and the recess 216d corresponds to far infrared light. Determine as follows. The operator determines which of the four recesses 216a to 216d is to be used according to the wavelength of the light beam emitted from the light source. Thereby, it is possible to determine the range in which the aberration can be minimized according to the wavelength among the four ranges R1 to R4. Further, by operating the correction ring 400, the movable lens group 34 is moved within a range limited by the upper limit wall 208 and the lower limit wall 210. Thereby, the movable lens group 34 can be positioned at a position where the aberration is minimized at the wavelength.

たとえば、光源から発せられる光束を可視光にして使用する場合には、突起２１２が凹部２１６ｂと係合するように、レバーを操作して支持体２０４を位置づける。さらに、補正環４００を操作することによって、可動レンズ群３４を移動させて、収差が最も小さくなる位置に可動レンズ群３４を位置づけることができる。このようにすることで、可視光において、収差が最も小さくなる位置に可動レンズ群３４を位置づけることができる。 For example, when the luminous flux emitted from the light source is used as visible light, the lever 204 is operated to position the support body 204 so that the protrusion 212 is engaged with the recess 216b. Furthermore, by operating the correction ring 400, the movable lens group 34 can be moved to position the movable lens group 34 at a position where the aberration is minimized. In this way, the movable lens group 34 can be positioned at a position where the aberration is minimized in visible light.

このように、可動レンズ群３４の粗動によって、使用する光束の波長に対応させると共に、可動レンズ群３４の微動によって、その波長における収差を小さくすることができる。このようにしたことにより、簡素な構成でかつ簡便な方法で、収差を的確に小さくすることができる。 In this way, the coarse movement of the movable lens group 34 can be adapted to the wavelength of the light beam to be used, and the fine movement of the movable lens group 34 can reduce the aberration at that wavelength. By doing in this way, an aberration can be made small exactly by a simple structure and a simple method.

なお、レンズ系３０を構成する固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とは、想定される波長に適合したレンズ等の光学素子が用いられて構成されている。たとえば、上述した例のように、紫外光、可視光、赤外光、遠赤外光のいずれにも対応させるには、固定レンズ群３２と可動レンズ群３４とを構成するレンズなどの光学素子の配置や屈折率や分散などの構成や特性を、これらの波長の全てに対応できるように、適合させたものにしておく必要がある。 Note that the fixed lens group 32 and the movable lens group 34 constituting the lens system 30 are configured by using optical elements such as lenses suitable for an assumed wavelength. For example, as in the above-described example, in order to correspond to any of ultraviolet light, visible light, infrared light, and far infrared light, an optical element such as a lens constituting the fixed lens group 32 and the movable lens group 34. It is necessary to adapt the arrangement and the characteristics such as the refractive index and dispersion so that all of these wavelengths can be accommodated.

たとえば、可動レンズ群３４が、少なくとも１つの凹レンズと、少なくとも１つの凸レンズとを含み、凹レンズの硝材の屈折率をｎ１、分散をν１とし、凸レンズの硝材の屈折率をｎ２、分散をν２としたときに、
０．１＜ｎ１−ｎ２＜０．６
−４０＜ν１−ν２＜＋４０
を満たすものが好ましい。 For example, the movable lens group 34 includes at least one concave lens and at least one convex lens, the refractive index of the glass material of the concave lens is n1, the dispersion is ν1, the refractive index of the glass material of the convex lens is n2, and the dispersion is ν2. sometimes,
0.1 <n1-n2 <0.6
−40 <ν1-ν2 <+40
Those satisfying these conditions are preferred.

上述したように構成したことによって、光束の波長に応じて、可動レンズ群３４の位置を変更することができるので、使用する波長に応じて最も収差を小さくできる位置に、可動レンズ群３４の位置づけることができる。 With the configuration as described above, the position of the movable lens group 34 can be changed according to the wavelength of the light beam. Therefore, the movable lens group 34 is positioned at a position where the aberration can be minimized according to the wavelength used. be able to.

このようにすることで、光源から発せられる光束の波長に応じて、可動レンズ群３４が移動できる範囲を変更することによって、その波長における収差、特に、球面収差やコマ収差や、軸上色収差を的確に補正することができる。 In this way, by changing the range in which the movable lens group 34 can move according to the wavelength of the light beam emitted from the light source, aberrations at that wavelength, in particular, spherical aberration, coma aberration, and axial chromatic aberration can be reduced. It can be corrected accurately.

＜＜数値実施例＞＞
以下に、本発明による投影光学系の具体的な数値実施例を示す。 << Numerical Examples >>
Specific numerical examples of the projection optical system according to the present invention will be described below.

＜レンズの構成＞
図６は、数値実施例で使用したレンズの構成を示す図である。 <Lens configuration>
FIG. 6 is a diagram showing the configuration of the lens used in the numerical examples.

図６に示すように、上述した第１の実施の形態で示した構成に対応する構成には同一の符号を付して示した。 As shown in FIG. 6, the components corresponding to those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

この数値実施例におけるレンズの構成では、図６に示すように、可動レンズ群３４は、１枚の凹レンズと１枚の凸レンズとの組み合わせからなるレンズ群である。図６（ａ）は、カバーガラス５０の厚さを０．２ｍｍにしたときの可動レンズ群３４の位置を示し、図６（ｂ）は、カバーガラス５０の厚さを１．７ｍｍにしたときの可動レンズ群３４の位置を示す。図６（ａ）に示すように、カバーガラス５０の厚さが０．２ｍｍのときは、可動レンズ群３４は、図６（ａ）の右寄りに移動した位置に位置づけられている。これに対して、カバーガラス５０の厚さが１．７ｍｍのときは、可動レンズ群３４は、図６（ａ）の左寄りに移動した位置に位置づけられている。このように、可動レンズ群３４を位置を変更することによって、収差を最も小さい位置に可動レンズ群３４を位置づけることができる。 In the configuration of the lens in this numerical example, as shown in FIG. 6, the movable lens group 34 is a lens group composed of a combination of one concave lens and one convex lens. 6A shows the position of the movable lens group 34 when the thickness of the cover glass 50 is 0.2 mm, and FIG. 6B shows the position when the thickness of the cover glass 50 is 1.7 mm. The position of the movable lens group 34 is shown. As shown in FIG. 6A, when the thickness of the cover glass 50 is 0.2 mm, the movable lens group 34 is positioned at a position moved to the right in FIG. 6A. On the other hand, when the thickness of the cover glass 50 is 1.7 mm, the movable lens group 34 is positioned at a position moved to the left in FIG. Thus, by changing the position of the movable lens group 34, the movable lens group 34 can be positioned at a position where the aberration is minimized.

図７及び図８は、この図６（ａ）及び（ｂ）に示したレンズデータを示す表である。なお、このレンズデータは、焦点距離ｆ＝４ｍｍ、ＮＡ＝０．８、有効域φ０．２５ｍｍ（物体側）としたときのものである。 7 and 8 are tables showing the lens data shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b). This lens data is for a focal length f = 4 mm, NA = 0.8, and an effective area φ0.25 mm (object side).

図７に示した表の最も左側の列（ｓｕｒｆ）はレンズの面番号であり、左から二番目の列（Ｔｙｐｅ）は、レンズの種類であり、左から三番目の列（Ｒａｄｉｕｓ）は、曲率半径であり、左から四番目の列（Ｒａｄｉｕｓ）は、面間隔である。 The leftmost column (surf) of the table shown in FIG. 7 is the lens surface number, the second column (Type) from the left is the type of lens, and the third column (Radius) from the left is It is a radius of curvature, and the fourth column from the left (Radius) is a surface interval.

また、図７の表の最も右側の列に示すように、面番号２及び３の面が、カバーガラス５０の面であり、面番号４及び５の面が、調整用ガラス板６０の面である。さらに、図７の表の最も右側の列に示すように、ｄ１は、可動レンズ群３４とその右隣りに配置されたレンズとの間隔であり、ｄ２は、可動レンズ群３４とその左隣りに配置されたレンズとの間隔である（図６（ａ）及び（ｂ）参照。）。これらのｄ１及びｄ２の値を定めることによって、可動レンズ群３４の位置を特定することができる。以下では、この右間隔ｄ１及び左間隔ｄ２の値を用いて、可動レンズ群３４の位置を示す。 Further, as shown in the rightmost column of the table of FIG. 7, the surface numbers 2 and 3 are the surfaces of the cover glass 50, and the surface numbers 4 and 5 are the surfaces of the adjustment glass plate 60. is there. Furthermore, as shown in the rightmost column of the table of FIG. 7, d1 is the distance between the movable lens group 34 and the lens arranged on the right side thereof, and d2 is on the left side of the movable lens group 34 and the side thereof. The distance from the arranged lens (see FIGS. 6A and 6B). By determining the values of d1 and d2, the position of the movable lens group 34 can be specified. In the following, the position of the movable lens group 34 is shown using the values of the right interval d1 and the left interval d2.

図８に示した表の最も左側の列（ｓｕｒｆ）はレンズの面番号であり、左から二番目の列（Ｇｌａｓｓ）は、材質であり、左から三番目〜七番面の列は、波長が、1.05、0.55、0.78、0.478、1.56（μｍ）の各々のときの屈折率である。 The leftmost column (surf) in the table shown in FIG. 8 is the lens surface number, the second column (Glass) from the left is the material, and the third through seventh columns from the left are the wavelengths. Is the refractive index at each of 1.05, 0.55, 0.78, 0.478, and 1.56 (μm).

図９は、図６に示したレンズの構成における数値実施例を示す図である。 FIG. 9 is a diagram showing a numerical example in the configuration of the lens shown in FIG.

図９（ａ）は、カバーガラス５０の厚さを０．２ｍｍのときのコマ収差を示すグラフである。この例では、可動レンズ群３４の位置を右間隔ｄ１＝６．１０４ｍｍ及び左間隔ｄ２＝１．０９６ｍｍとする共に、波長λ＝１０５０ｎｍの光束を使用するとしたときのものである。この場合には、コマ収差は良好になっている。 FIG. 9A is a graph showing coma aberration when the thickness of the cover glass 50 is 0.2 mm. In this example, the position of the movable lens group 34 is set to a right interval d1 = 6.104 mm and a left interval d2 = 1.068 mm, and a light beam having a wavelength λ = 1050 nm is used. In this case, coma aberration is good.

一方、図９（ｂ）は、カバーガラス５０の厚さを１．７ｍｍとしたのときのコマ収差を示すグラフである。この例では、可動レンズ群３４の位置及び使用する光束の波長を、図９（ａ）と同様、すなわち、ｄ１＝６．１０４、ｄ２＝１．０９６、λ＝１０５０ｎｍとしたときのものである。この場合には、コマ収差は劣っている。このように、同じ波長の光束を使用して、可動レンズ群３４の位置を変更することなく、カバーガラス５０の厚さを厚くしたときには、コマ収差は劣ることになる。 On the other hand, FIG. 9B is a graph showing coma aberration when the thickness of the cover glass 50 is 1.7 mm. In this example, the position of the movable lens group 34 and the wavelength of the light beam to be used are the same as in FIG. 9A, that is, when d1 = 6.104, d2 = 1.068, and λ = 1050 nm. . In this case, coma is inferior. As described above, when the thickness of the cover glass 50 is increased without changing the position of the movable lens group 34 using light beams having the same wavelength, coma aberration is inferior.

これに対して、図９（ｃ）は、カバーガラス５０の厚さを１．７ｍｍとしたのときのコマ収差を示すグラフであるが、可動レンズ群３４の位置を右間隔ｄ１＝０．５ｍｍ及び左間隔ｄ２＝６．７ｍｍに変更すると共に、波長λ＝１０５０ｎｍの光束を使用するとしたときのものである。すなわち、図９（ｃ）は、使用する光束の波長は同じであるが、補正環４０によって、可動レンズ群３４を移動させたときのものである。このように、カバーガラス５０の厚さを１．７ｍｍに厚くしても、補正環４０によって、可動レンズ群３４を移動させることにより、コマ収差を良好にすることができる。 On the other hand, FIG. 9C is a graph showing coma aberration when the thickness of the cover glass 50 is 1.7 mm. The position of the movable lens group 34 is set to the right distance d1 = 0.5 mm. In addition, the left interval d2 is changed to 6.7 mm, and a light beam having a wavelength λ = 1050 nm is used. That is, FIG. 9C shows the case where the movable lens group 34 is moved by the correction ring 40 although the wavelength of the light beam used is the same. Thus, even if the thickness of the cover glass 50 is increased to 1.7 mm, the coma aberration can be improved by moving the movable lens group 34 by the correction ring 40.

図１０は、図６に示したレンズの構成における数値実施例を示す図である。 FIG. 10 is a diagram showing a numerical example in the configuration of the lens shown in FIG.

図１０（ａ）は、カバーガラスの厚さが、０．２ｍｍのときのコマ収差を示すグラフである。この例の場合には、可動レンズ群３４の位置を右間隔ｄ１＝６．１０４ｍｍ及び左間隔ｄ２＝１．０９６ｍｍにすると共に、波長λ＝１５６０ｎｍの光束を使用するとしたときのものである。 FIG. 10A is a graph showing coma aberration when the thickness of the cover glass is 0.2 mm. In the case of this example, the position of the movable lens group 34 is set to a right interval d1 = 6.104 mm and a left interval d2 = 1.068 mm, and a light beam having a wavelength λ = 1560 nm is used.

図９（ａ）に示したグラフのように、可動レンズ群３４の位置が、右間隔ｄ１＝６．１０４ｍｍ及び左間隔ｄ２＝１．０９６ｍｍであっても、光束の波長がλ＝１０５０ｎｍであった場合には、コマ収差は良好であったのに対して、この図１０（ａ）に示した例では、光束の波長をλ＝１５６０ｎｍとしたときには、コマ収差は劣る。このように、可動レンズ群３４の位置を変更することなく、波長を変更したときには、コマ収差は劣ることになる。 As shown in the graph of FIG. 9A, even when the position of the movable lens group 34 is the right distance d1 = 6.104 mm and the left distance d2 = 1.068 mm, the wavelength of the light beam is λ = 1050 nm. In this case, the coma was good, but in the example shown in FIG. 10A, the coma is inferior when the wavelength of the light beam is λ = 1560 nm. Thus, when the wavelength is changed without changing the position of the movable lens group 34, the coma aberration is inferior.

これに対して、図１０（ｂ）は、可動レンズ群３４を移動させたときのコマ収差を示すグラフである。すなわち、図１０（ａ）と同じ波長λ＝１５６０ｎｍの光束を使用して、可動レンズ群３４の位置を、右間隔ｄ１＝６．４２ｍｍ及び左間隔ｄ２＝０．７８ｍｍに変更したときのものである。このように、可動レンズ群３４を移動させることによって、波長λ＝１５６０ｎｍに変更した場合であっても、コマ収差を良好にすることができる。 On the other hand, FIG. 10B is a graph showing coma aberration when the movable lens group 34 is moved. That is, when the position of the movable lens group 34 is changed to the right distance d1 = 6.42 mm and the left distance d2 = 0.78 mm using the light beam having the same wavelength λ = 1560 nm as in FIG. is there. Thus, by moving the movable lens group 34, coma aberration can be improved even when the wavelength λ is changed to 1560 nm.

図１１は、図６に示したレンズの構成における数値実施例を示す図である。 FIG. 11 is a diagram showing a numerical example in the configuration of the lens shown in FIG.

図１１（ａ）は、カバーガラスの厚さが、１．７ｍｍのときのコマ収差を示すグラフである。この例の場合には、可動レンズ群３４の位置を右間隔ｄ１＝０．５ｍｍ及びｄ２＝６．７ｍｍにすると共に、波長λ＝１５６０ｎｍの光束を使用するとしたときのものである。 FIG. 11A is a graph showing coma aberration when the thickness of the cover glass is 1.7 mm. In the case of this example, the position of the movable lens group 34 is set to the right intervals d1 = 0.5 mm and d2 = 6.7 mm, and the light beam having the wavelength λ = 1560 nm is used.

図９（ｃ）に示したグラフのように、可動レンズ群３４の位置が、右間隔ｄ１＝０．５ｍｍ及びｄ２＝６．７ｍｍであっても、光束の波長がλ＝１０５０ｎｍであった場合には、コマ収差は良好であったのに対して、この図１１（ａ）に示した例では、光束の波長をλ＝１５６０ｎｍとしたときには、コマ収差は劣る。このように、可動レンズ群３４の位置を変更することなく、波長を変更したときには、コマ収差は劣ることになる。 As shown in the graph of FIG. 9C, when the movable lens group 34 is positioned at the right distance d1 = 0.5 mm and d2 = 6.7 mm, the wavelength of the light beam is λ = 1050 nm. In the example shown in FIG. 11A, coma is inferior when the wavelength of the light beam is λ = 1560 nm. Thus, when the wavelength is changed without changing the position of the movable lens group 34, the coma aberration is inferior.

これに対して、図１１（ｂ）は、可動レンズ群３４を移動させたときのコマ収差を示すグラフである。すなわち、図１１（ａ）と同じ波長λ＝１５６０ｎｍの光束を使用して、可動レンズ群３４の位置を、右間隔ｄ１＝０．８１６ｍｍ及び左間隔ｄ２＝６．３８４ｍｍに変更したときのものである。このように、可動レンズ群３４を移動させることによって、波長λ＝１５６０ｎｍに変更した場合であっても、カバーガラス５０の厚さが、１．７ｍｍであるときにも、コマ収差を良好にすることができる。 On the other hand, FIG. 11B is a graph showing coma aberration when the movable lens group 34 is moved. That is, when the position of the movable lens group 34 is changed to the right distance d1 = 0.816 mm and the left distance d2 = 6.384 mm, using the light beam having the same wavelength λ = 1560 nm as in FIG. is there. In this way, even when the wavelength λ is changed to 1560 nm by moving the movable lens group 34, the coma aberration is improved even when the thickness of the cover glass 50 is 1.7 mm. be able to.

第１の実施の形態による対物レンズ光学系１０の概略を示す図であり、カバーガラス５０の厚さが薄い場合の例を示す図である。It is a figure which shows the outline of the objective lens optical system 10 by 1st Embodiment, and is a figure which shows the example in case the thickness of the cover glass 50 is thin. 第１の実施の形態による対物レンズ光学系１０の概略を示す図であり、カバーガラス５０’の厚さが厚い場合の例を示す図である。It is a figure which shows the outline of the objective lens optical system 10 by 1st Embodiment, and is a figure which shows the example in case the thickness of cover glass 50 'is thick. 第１の実施の形態による対物レンズ光学系１０の概略を示す図であり、試料ガラス体５０”の内部に試料等である対象物Ｏが存在する場合の例を示す図である。It is a figure which shows the outline of the objective lens optical system 10 by 1st Embodiment, and is a figure which shows the example in case the target object O which is a sample etc. exists in the inside of sample glass body 50 ". 対物レンズ体２０によって対象物Ｏの像を観察する場合の例を示す図（ａ）と、対物レンズ体２０から光束を発して、その光束を対象物Ｏに照射して加工する場合の例を示す図（ｂ）とである。The figure (a) which shows the example in the case of observing the image of the target object O with the objective lens body 20, and the example in the case of emitting a light beam from the objective lens body 20 and irradiating the target object O with the light beam It is a figure (b) shown. 第２の実施の形態による対物レンズ体２００の内部の構造の概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the structure inside the objective lens body 200 by 2nd Embodiment. 数値実施例で使用したレンズの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the lens used in the numerical example. 数値実施例で使用したレンズのデータを示す表である。It is a table | surface which shows the data of the lens used in the numerical example. 数値実施例で使用したレンズのデータを示す表である。It is a table | surface which shows the data of the lens used in the numerical example. 図６に示したレンズの構成における数値実施例を示す図である。It is a figure which shows the numerical example in the structure of the lens shown in FIG. 図６に示したレンズの構成における数値実施例を示す図である。It is a figure which shows the numerical example in the structure of the lens shown in FIG. 図６に示したレンズの構成における数値実施例を示す図である。It is a figure which shows the numerical example in the structure of the lens shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１０対物レンズ光学系
２０対物レンズ体
３０レンズ系
３２固定レンズ群
３４可動レンズ群
４０補正環（レンズ位置調整手段）
５０、５０’ カバーガラス（対象物光透過体）
５０” 試料ガラス体（対象物光透過体）
６０、６０’、６０” 調整用ガラス板
２０４支持体（波長対応調整手段）
２１２突起（波長対応調整手段）
２１４係止体（波長対応調整手段） DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Objective lens optical system 20 Objective lens body 30 Lens system 32 Fixed lens group 34 Movable lens group 40 Correction ring (lens position adjustment means)
50, 50 'cover glass (light transmission object)
50 "sample glass body (light transmission object)
60, 60 ', 60 "adjustment glass plate 204 support (wavelength corresponding adjustment means)
212 projection
214 Locking body (wavelength adjustment means)

Claims

光軸方向に沿って移動して対象物に焦点を合わせる少なくとも２つのレンズからなるレンズ系と、
前記対象物と前記レンズ系との間の光路上に配置された調整用光透過体であって、前記対象物を覆う対象物光透過体の厚さに基づく厚さを有する調整用光透過体と、含み、
前記対象物と前記レンズ系との間の光路における前記対象物光透過体の厚さと前記調整用光透過体の厚さとの和が、一定の範囲に含まれることを特徴とする対物レンズ光学系。 A lens system consisting of at least two lenses that move along the optical axis direction and focus on the object;
An adjustment light transmitting body disposed on an optical path between the object and the lens system, the adjustment light transmitting body having a thickness based on the thickness of the object light transmission body covering the object Including,
Objective lens optical system characterized in that the sum of the thickness of the object light transmitting body and the thickness of the adjusting light transmitting body in the optical path between the object and the lens system is included in a certain range. .

前記一定の範囲は、前記対象物光透過体と前記調整用光透過体とによって生ずる収差を、前記レンズ系によって補正できる範囲である請求項１に記載の対物レンズ光学系。 The objective lens optical system according to claim 1, wherein the certain range is a range in which an aberration caused by the object light transmitting body and the adjustment light transmitting body can be corrected by the lens system.

前記レンズ系は、前記レンズ系に対して位置が固定された少なくとも１つのレンズからなる固定レンズと、前記固定レンズに対して光軸方向に沿って移動することができる少なくとも１つのレンズからなる可動レンズと、からなり、
前記一定の範囲にわたって、前記可動レンズを前記固定レンズに対して移動することができるレンズ位置調整手段を含む請求項１に記載の対物レンズ光学系。 The lens system includes a fixed lens including at least one lens whose position is fixed with respect to the lens system, and a movable including at least one lens movable along the optical axis direction with respect to the fixed lens. A lens,
The objective lens optical system according to claim 1, further comprising lens position adjusting means capable of moving the movable lens with respect to the fixed lens over the certain range.

前記可動レンズが、少なくとも１つの凹レンズと、少なくとも１つの凸レンズとを含み、
前記凹レンズの硝材の屈折率をｎ１、分散をν１とし、前記凸レンズの硝材の屈折率をｎ２、分散をν２としたときに、
０．１＜ｎ１−ｎ２＜０．６
−４０＜ν１−ν２＜＋４０
である請求項４に記載の対物レンズ光学系。 The movable lens includes at least one concave lens and at least one convex lens;
When the refractive index of the glass material of the concave lens is n1, the dispersion is ν1, the refractive index of the glass material of the convex lens is n2, and the dispersion is ν2.
0.1 <n1-n2 <0.6
−40 <ν1-ν2 <+40
The objective lens optical system according to claim 4, wherein

前記対象物を照明して、前記対象物光透過体と前記調整用光透過体と前記レンズ系を介して前記対象物の像を観察する請求項１に記載の対物レンズ光学系。 The objective lens optical system according to claim 1, wherein the object is illuminated and an image of the object is observed through the object light transmissive body, the adjustment light transmissive body, and the lens system.

前記レンズ系の焦点を合わせた位置を前記対象物として、前記レンズ系と前記調整用光透過体と前記対象物光透過体とを介して光束を前記対象物に照射して、前記対象物を加工する請求項１に記載の対物レンズ光学系。 Using the focused position of the lens system as the object, the object is irradiated with a light beam through the lens system, the adjustment light transmissive body, and the object light transmissive body. The objective lens optical system according to claim 1 to be processed.

前記調整用光透過体は、前記レンズ系に対して着脱可能に設けられる請求項１に記載の対物レンズ光学系。 The objective lens optical system according to claim 1, wherein the adjustment light transmitting body is detachably provided to the lens system.

光軸方向に沿って移動して対象物に対して焦点を合わせる少なくとも２つのレンズからなるレンズ系であって、位置が固定された少なくとも１つのレンズからなる固定レンズと、前記固定レンズに対して移動することができる少なくとも１つのレンズからなる可動レンズと、からなるレンズ系と、
前記レンズ系に入射する光束の波長に基づいて、前記可動レンズの位置を前記固定レンズに対して光軸に沿って調整することができるレンズ位置調整手段と、を含むことを特徴とする対物レンズ光学系。 A lens system composed of at least two lenses that move along the optical axis direction and focus on an object, the fixed lens including at least one lens fixed in position, and the fixed lens A movable lens comprising at least one lens capable of moving, and a lens system comprising:
An objective lens comprising: lens position adjusting means capable of adjusting the position of the movable lens along the optical axis with respect to the fixed lens based on a wavelength of a light beam incident on the lens system. Optical system.

前記レンズ位置調整手段は、光束の一の波長に対して調整できる範囲を、前記一の波長に対して調整できる範囲と、少なくとも一部異ならしめて調整できる波長対応調整手段を含む請求項８に記載の対物レンズ光学系。 9. The lens position adjusting unit includes a wavelength correspondence adjusting unit capable of adjusting a range that can be adjusted with respect to one wavelength of a light beam at least partially different from a range that can be adjusted with respect to the one wavelength. Objective lens optical system.