JP2009199967A - Electric heater - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電熱ヒーターに関し、特に、標準化によって設計工程及び製造工程を簡略化し、納期を大幅に短縮することができる電熱ヒーターに関する。 The present invention relates to an electric heater, and more particularly, to an electric heater that can simplify a design process and a manufacturing process by standardization and can greatly shorten a delivery time.
電熱ヒーターは、高温を必要とする機器や配管を加熱又は保温するために使用されるものであり、マントルヒーター、リボンヒーター又はジャケットヒーター等と呼ばれている。そして、最近では非常に多くの分野で使用されるようになり、半導体製造装置等においては非常に高度な要求がされるようになった。 An electric heater is used for heating or keeping warm a device or pipe that requires a high temperature, and is called a mantle heater, a ribbon heater, a jacket heater, or the like. In recent years, it has been used in many fields, and a very high demand has been placed on semiconductor manufacturing equipment and the like.
第一に、加熱の均一性が強く要求されるようになり、発熱量の小さなヒーター線を緻密に配列することが要求された。特許文献1には、この問題を解決した電熱ヒーターが記載されている。図8に示すように、特許文献1に記載されたヒーター線130は、ニクロム線131の表面にセラミック繊維からなるフェルト状の第1の被覆層132を形成し、その表面にセラミック繊維の編物等からなる第2の被覆層133を形成したものである。このヒーター線130は、絶縁性に優れていると共に柔軟性に富んでいるために、小さな曲げ半径で折り曲げることが可能である。
First, the uniformity of heating has been strongly demanded, and it has been demanded to arrange heater wires with small calorific values precisely.
また、図9に示すように、特許文献1に記載された電熱ヒーター110は、シート状の基材120の表面にヒーター線130を所定の形状で配列して固定糸121で固定し、これを断熱材140と共にカバー部材150に納めて構成している。ヒーター線130は、絶縁性と柔軟性に富んでいるために緻密な配列をすることが可能であり、このため加熱の均一性に優れたヒーターとすることができる。
Moreover, as shown in FIG. 9, the
さらに、図9に示すような平面形状ではなく、対象物の形状に合わせた形状とすることにより、加熱の均一性を一層高めることが要求された。特許文献2には、配管、継手、弁等の加熱や保温を目的として、対象物の外観形状に対応する形状に加工した電熱ヒーターが記載されている。例えば、図10に示す電熱ヒーター110は配管用であり、基材120にヒーター線130を取り付けて断熱材140と共にカバー部材150に納めた構成は図9と同様であるが、全体が配管の形状に対応するように加工されているので加熱の均一性が一層高められている。
Furthermore, it has been required to further improve the heating uniformity by adopting a shape that matches the shape of the object rather than the planar shape as shown in FIG. Patent Document 2 describes an electric heater that has been processed into a shape corresponding to the external shape of an object for the purpose of heating and heat insulation of pipes, joints, valves, and the like. For example, the
第二に、電熱ヒーターから発生するパーティクルを低減することが強く要求されるようになった。図9に示すように、電熱ヒーター110を構成している基材120、固定糸121、断熱材140等は、電気絶縁性及び耐熱性を必要とするために、セラミック繊維等の織物やフェルトが用いられ、パーティクルの発生が非常に多い材料である。このため、これらを収納するカバー部材150については、パーティクルの発生が少ない材料とすることが要求された。
Secondly, there has been a strong demand to reduce particles generated from the electric heater. As shown in FIG. 9, the
特許文献3には、この問題を解決した電熱ヒーターが記載され、カバー部材の材料としてフッ素樹脂繊維又は芳香族ナイロン繊維を使用することが記載されている。また、多孔質のフッ素樹脂フィルムを使用することが記載されている。これらの材料は、耐熱性、電気絶縁性、柔軟性、安全性を備えると共に、物理的な耐久性を備えて破損し難いために、低発塵性の材料として使用することができる。 Patent Document 3 describes an electric heater that solves this problem, and describes that a fluororesin fiber or an aromatic nylon fiber is used as a material for a cover member. It also describes the use of a porous fluororesin film. These materials have heat resistance, electrical insulation properties, flexibility, safety, physical durability, and are not easily damaged, and thus can be used as a low dusting material.
また、特許文献4には、金属製の配管部材等に適用して着脱を繰り返しても破損しない十分な強度を有し、パーティクルが発生することもない電熱ヒーターが記載されている。そして、カバー部材の材質として、加熱面にはPBO繊維を、側面及び背面には芳香族ナイロン繊維を使用することが記載されている。 Patent Document 4 describes an electric heater that is applied to a metal piping member or the like and has sufficient strength that does not break even when it is repeatedly attached and detached, and does not generate particles. As a material for the cover member, it is described that PBO fibers are used on the heating surface and aromatic nylon fibers are used on the side surface and the back surface.
このように、電熱ヒーターは高度に精密な形態で製作されることとなった。しかしながら、半導体製造装置等における配管は、通常、狭い空間に複雑に入り込んだ配管であり、正確な配管図面が存在しない場合が多い。このために、設計者が現場に赴いて複雑な配管をスケッチして、詳細な採寸を行わなければならない。特に、配管の途中にある継手、バルブ等の位置を正確に採寸すると共に、ステー等の障害物についても入念に採寸する必要がある。この結果、電熱ヒーターの設計段階で多大な費用が発生することになる。 Thus, the electric heater was manufactured in a highly precise form. However, piping in a semiconductor manufacturing apparatus or the like is usually piping that has entered a narrow space in a complicated manner, and there are many cases where there is no accurate piping drawing. To this end, the designer must go to the site and sketch complex piping to perform detailed measurements. In particular, it is necessary to accurately measure the positions of joints, valves, and the like in the middle of piping, and to carefully measure obstacles such as stays. As a result, a great expense is generated in the design stage of the electric heater.
製造工程においても、標準化することができず、一品ごとに異なる図面に従って製造することとなるために、多大な労力を必要とすることになる。また、図10に示すように、電熱ヒーター110を立体的な一体形状とするために、断熱材140及びカバー部材150等の寸法取り、裁断、縫合等の作業が、非常に複雑な作業となり、多大な労力を費やすことになる。さらに、製品の確認や検査等における労力も多大となる。この結果、製造段階でも多大な費用が発生することになる。
Even in the manufacturing process, standardization cannot be performed, and manufacturing is performed according to different drawings for each product, which requires a great deal of labor. Further, as shown in FIG. 10, in order to make the
すなわち、現在の状況下では、電熱ヒーターを標準化することは困難であり、客先からの依頼を受けた後に、設計及び製作を行なわざるを得ないという問題がある。そして、設計段階及び製造段階における多大な労力は、多大なコストの発生となるのみならず、製品の納期に多大な期間を必要とするという問題がある。
本発明は、上記のような従来の問題を解決したものであって、電熱ヒーターを標準化して在庫可能な商品とすることである。すなわち、現場における煩雑なスケッチ作業や採寸作業を実質的になくして設計工程を簡略化することである。また、製造工程を簡略化することである。そして、設計及び製造のコストを低減し、納期を短縮することである。 The present invention solves the conventional problems as described above, and is to standardize an electric heater to obtain a commodity that can be stocked. In other words, the design process is simplified by substantially eliminating complicated sketching and measuring work at the site. In addition, the manufacturing process is simplified. And it is to reduce design and manufacturing costs and shorten delivery time.
上記のような課題を解決するために、本発明の請求項1に係る電熱ヒーターは、シート状の基材、該基材の表面又はその近傍に配列されたヒーター線、及びこれらを収納するヒーターカバーを備える加熱部と、断熱材及びこれを収納する断熱材カバーを備える保温部とを有する電熱ヒーターにおいて、前記加熱部が、切り込み可能な切込部を備えている手段を採用している。
In order to solve the above-described problems, an electric heater according to
また、本発明の請求項2に係る電熱ヒーターは、請求項1に記載の電熱ヒーターにおいて、前記ヒーターカバーの素材が、フッ素樹脂、芳香族ナイロン又はPBO繊維である手段を採用している。また、本発明の請求項3に係る電熱ヒーターは、請求項1又は2に記載の電熱ヒーターにおいて、前記加熱部が、前記ヒーター線の基材側と反対の側に断熱材を備えていない手段を採用している。また、本発明の請求項4に係る電熱ヒーターは、請求項1乃至3の何れかに記載の電熱ヒーターにおいて、前記ヒーター線が、その表面にセラミック繊維からなるフェルト状の被覆層を備えている手段を採用している。
The electric heater according to claim 2 of the present invention employs a means in which the heater cover material is fluororesin, aromatic nylon or PBO fiber in the electric heater according to
さらに、本発明の請求項5に係る電熱ヒーターは、請求項1乃至4の何れかに記載の電熱ヒーターにおいて、前記断熱材カバーの少なくとも一部に、フッ素樹脂、芳香族ナイロン又はPBO繊維が使用されている手段を採用している。また、本発明の請求項6に係る電熱ヒーターは、請求項1乃至5の何れかに記載の電熱ヒーターにおいて、前記断熱材カバーの少なくとも一部に、ポリエステル繊維が使用されている手段を採用している。また、本発明の請求項7に係る電熱ヒーターは、請求項1乃至6の何れかに記載の電熱ヒーターにおいて、前記保温部が、切り込み可能な切込部を備えている手段を採用している。
Furthermore, the electric heater according to claim 5 of the present invention is the electric heater according to any one of
本発明の電熱ヒーターは、ヒーター線を備える加熱部と断熱材を備える保温部とが別体に形成されていると共に、加熱部が切り込み可能な切込部を備えている。すなわち、切込部は、薄い平面状に形成されており、切り込みを入れることができる。このため、配管に取り付ける際に、ステー等の障害物を切込部で逃げることができる。また、複数の切込部を設けることにより、リボンヒーターと同様に自由度の高い使用方法が可能となる。したがって、配管の途中にチーズ、エルボ、フランジ等の継手類が存在しても、一つの電熱ヒーターを用いて、ほぼ完全に覆うことができる。 The electric heater according to the present invention includes a heating portion provided with a heater wire and a heat retaining portion provided with a heat insulating material, which are formed separately, and a notch portion into which the heating portion can be cut. That is, the cut portion is formed in a thin flat shape, and can be cut. For this reason, when attaching to piping, obstacles, such as a stay, can escape in a notch part. Further, by providing a plurality of cut portions, a usage method with a high degree of freedom is possible as in the ribbon heater. Therefore, even if there are joints such as cheese, elbows, flanges, etc. in the middle of the piping, they can be almost completely covered with one electric heater.
この結果、配管用の電熱ヒーターを標準化してサイズ毎に在庫しておけば、特殊な機器を除いて充分に施工できることになる。したがって、設計工程及び製造工程を簡略化することが可能であり、また、商品価格を低減することが可能である。そして、納期を大幅に短縮することができる。 As a result, if the electric heater for piping is standardized and stocked for each size, it can be sufficiently constructed except for special equipment. Therefore, the design process and the manufacturing process can be simplified, and the product price can be reduced. And delivery time can be reduced significantly.
以下、本発明の一つの実施形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本発明の電熱ヒーター10は、別体に形成された加熱部70及び保温部80で構成されている。加熱部70は、図3に示すように、シート状の基材20、基材20の表面に配列されたヒーター線30及びこれらを収納するヒーターカバー50からなっている。また、保温部80は、図6に示すように、断熱材40及びこれを収納する断熱材カバー60からなっている。加熱部70及び保温部80は別体に形成されるが、対をなして同時に使用されるものであるから、使用に差し支えない限り、紐等により相互に接続して一体化した形態とすることもできる。
Hereinafter, one embodiment of the present invention is described based on a drawing.
As shown in FIG. 1, the
加熱部70は、図2〜4に示すように、その周囲が縫い糸51で縫合されているので、基材20又はヒーター線30が外部に露出することはない。加熱部70には、細長く形成された切込部71が複数設けられている。切込部71にはヒーター線30が配列されていないので、切り込みを入れることが可能である。切り込みは、例えば、鋏、ナイフ、カッターなど切込部を切断できる道具により行うことができる。また、切込部に予め切込線を入れておき、使用時に該切込線を手で切り離すことにより切り込みを入れることもできる。切込部71は、その周囲が縫い糸51で縫合されているので、切り離した後もヒーター線30等が外部に露出することはない。なお、縫合の代わりに、融着又は接着等の方法を用いることもできる。
2-4, since the circumference | surroundings are stitched | sutured with the
加熱部70は、切込部71を備えることにより自由に変形して使用することができる。例えば、配管の途中にチーズ、エルボ、フランジ等の継手類が存在しても、その部分にある切込部71を切り離して使用することにより、これらの継手類を自由に覆うことができる。また、ステー等の障害物が存在しても、切込部71を切り離すことによって障害物を回避することができる。
The
ヒーター線30は、シート状の基材20の表面に所定の配置で配列され、固定糸21で基材20に固定されている。加熱部70と保温部80とは別体に形成するので、ヒーターカバー50の内部、特に、ヒーター線30の上側(ヒーター線30の基材側と反対の側)に断熱材を設けなくてもよい。このことによって、加熱部70の製造工程を大幅に簡略化することができる。
The
ヒーター線30は、好ましくは互いに略平行となるようにして配列されている。隣り合うヒーター線30の間隔は10mm以下とすることが好ましい。また、切込部71もヒーター線30と略平行となるように配置することが好ましい。これによって、切込部71を細長い形状に形成することができる。配管用に用いる場合に、切込部71の長手方向は、配管の長手方向であってもよいし、周方向であってもよい。
The
使用するヒーター線30は、特許文献1に記載された被覆ヒーター線とすることが好ましい。すなわち、図8に示すように、ニクロム線131の表面にセラミック繊維からなるフェルト状の第1の被覆層132を形成し、その表面にセラミック繊維の編物等からなる第2の被覆層133を形成したものである。
The
基材20及び固定糸21は、それぞれ電気絶縁性と耐熱性を備えた素材であることが好ましく、例えば、ガラス繊維等の織物及び糸を使用することができる。或いは、次に記載するヒーターカバー50と同じ素材とすることもできる。図4に示す加熱部70は、切込部71に基材20を含まない形態としているが、基材20を発塵性の低い素材とすることにより、切込部71に基材20を含む形態とすることもできる。
The
ヒーターカバー50には、特許文献3又は4に記載された素材を使用することが好ましい。すなわち、電気絶縁性及び耐熱性に優れると共に、低発塵性に優れた素材である。具体的には、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)に代表されるフッ素樹脂、ケブラー、ノーメックス又はコーネックス等の商標で市販されている芳香族ナイロン(アラミド)、或いはザイロン等の商標で市販されているPBO繊維、すなわちポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊維等が好ましい。
It is preferable to use the material described in Patent Document 3 or 4 for the
保温部80は、図6に示すように、断熱材40及び断熱材カバー60からなり、その形態は自由である。例えばリボン状として、加熱部70の上に巻き付けるような形態とすることもできる。或いは、図5又は7に示すように、加熱部70の切込部71と同様の切込部81を備えることができる。
As shown in FIG. 6, the
図5〜7において、保温部80は、断熱材カバー60の周囲が縫い糸61で縫合されているので、断熱材40が外部に露出することはない。保温部80には、細長く形成された切込部81が複数設けられている。切込部81は断熱材40を備えていないので、加熱部70の切込部71と同様にして容易に切り込みを入れることが可能である。また、切込部81は、その周囲が縫い糸61で縫合されているので、切り離した後も、断熱材40が外部に露出することはない。
5-7, since the
保温部80における切込部81の作用効果は、加熱部70の切込部71の作用効果と全く同じである。配管用に用いる場合、切込部81の長手方向は、配管の長手方向とすることが好ましい。断熱材40が、その厚みにより曲げ難い場合でも、切込部81により容易に曲げることが可能となり、簡単に美しく施工できるからである。
The effect of the
断熱材40には、一般的に使用されているガラスフェルト等のフェルト状断熱材を用いることができる。また、発塵性の低い芳香族ナイロン繊維を素材とするフェルト状断熱材を用いることもできる。
As the
断熱材カバー60には、前述のヒーターカバー50と同様に、発塵性の低いフッ素樹脂、芳香族ナイロン又はPBO繊維を用いることが好ましい。また、比較的低温となる部分については、ポリエステル繊維を用いることもできる。なお、加熱部70及び保温部80の取り付けには、フッ素樹脂製のバンドやマジックテープ(登録商標)を使用することができる。
As with the above-described
10、110 電熱ヒーター
20、120 基材
21、121 固定糸
30、31 ヒーター線
40、140 断熱材
50 ヒーターカバー
60 断熱材カバー
51、61 縫い糸
70 加熱部
71、81 切込部
80 保温部
131 ニクロム線
132 第1の被覆層
132 第2の被覆層
150 カバー部材
10, 110
30, 31
80 Insulating section 131 Nichrome wire 132 First coating layer 132
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