JP2009199169A - 開発支援装置及び半導体試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ユーザの使い勝手の向上を図ることでプログラムのデバッグ効率を高めることができる開発支援装置、及び当該装置を備える半導体試験装置を提供する。
【解決手段】本発明の開発支援装置は、半導体試験装置で用いられる試験プログラムの内容を編集画面であるウィンドウＷ１の表示領域Ｒ１に表示し、ユーザの指示に応じて表示領域Ｒ１に表示される試験プログラムの編集を行うとともに、試験プログラムに含まれる少なくとも１つの変数に格納される試験プログラムの少なくとも一部に従った半導体デバイスの試験結果をウィンドウＷ１内の表示領域Ｒ１とは異なる表示領域Ｒ２にグラフ表示する試験プログラムデバッガを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体デバイスの試験で用いられる試験プログラムの開発支援を行う開発支援装置及び当該装置を備える半導体試験装置に関する。

半導体試験装置では、一般的にユーザによって作成された試験プログラムに従った半導体デバイスに対する試験が実施される。具体的には、ユーザにより作成された試験プログラムの内容に従った試験パターン等が半導体試験装置の内部で生成され、その後に試験パターンに応じた試験信号が半導体デバイスに印加される。そして、試験信号の印加により半導体デバイスから得られる信号をディジタル信号に変換してメモリに記憶し、このディジタル信号に対して所定の演算処理を施して得られた結果を用いて半導体デバイスの良否判定が行われる。

上記の試験プログラムに誤りがあると、半導体試験装置の動作がユーザの意図しないものとなり、本来得られるべき試験結果とは異なる試験結果が得られてしまう。このため、半導体試験装置で用いられる試験プログラムの開発においては、プログラムを実際に実行させて得られる測定結果を参照しつつプログラムをデバッグする作業が繰り返し行われる。

従来、半導体試験装置で用いられる試験プログラムのデバッグは、図４に示すデバッガと図５に示す表示ツールとを用いて行われるのが一般的である。図４は試験プログラムのデバックに用いられる従来のデバッガの表示画面を簡略化して示す図であり、図５は半導体デバイスから出力される信号波形を表示する従来の表示ツールの表示画面を簡略化して示す図である。

図４に示す通り、デバッガの表示画面であるウィンドウＷ１１内には、ユーザによって作成された試験プログラムを表示する表示領域Ｒ１１と、表示領域Ｒ１１における試験プログラムの表示内容を変更するためのスクロールバーＳＢ１１とが設けられており、ユーザがスクロールバーＳＢ１１を操作することにより、試験プログラムの所望の位置（行）を表示領域Ｒ１１に表示させることができるようになっている。また、このデバッガは、ユーザの必要に応じて試験プログラムの実行を一時停止（ポーズ）させるブレークポイントの設定が可能である。図４に示す例では、試験プログラムの第４６６行にブレークポイントが設定されている。デバッガは試験結果を別ウィンドウに数値で表示することが可能であるが、数値のみではユーザが試験結果を直感的に把握することが困難であるため、試験結果をグラフ表示する表示ツールが用いられる。

図５に示す通り、表示ツールの表示画面であるウィンドウＷ１２内には、ユーザによって指定された試験結果を表示する表示領域Ｒ１２が設けられている。図５に示す例では、ユーザによって指定された３つの試験結果が表示領域Ｒ１２内に表示されている。尚、図５において、表示領域Ｒ１２に表示された試験結果は、半導体デバイスの異なる３つのピンに現れる電圧の時間変化（波形）を示すものであり、横軸に時間（サンプリング番号（ｐｏｓ））が設定されているとともに縦軸に電圧が設定されている。

試験プログラムのデバッグを行う場合には、まずユーザがデバッガを起動させて不具合の原因と思われる処理が記述されている行又はその近辺の行にブレークポイントを設定した上で試験プログラムを実行させる。これにより、試験プログラムはそのブレークポイントまで実行されて自動的にポーズされるため、そのブレークポイントまでの試験結果が得られる。次に、ユーザは、表示ツールを起動させてその試験結果を表示させてブレークポイントまでの試験結果を確認する。以上の作業を、必要に応じて試験プログラムの内容を修正しつつ行うことにより、不具合の発生原因を解析する。

尚、半導体試験装置で用いられる試験プログラムの従来のデバッグ方法については、例えば以下の特許文献１を参照されたい。
特開２００３−１６７０３３号公報

ところで、上述した通り、従来はデバッガで試験結果を表示することはできるものの、その表示は数値での表示になるためユーザが試験結果を直感的に把握することが困難である。よって、ユーザは試験結果を参照するためにデバッガとは別に表示ツールを起動させ、表示ツールに表示させるべき試験結果の指示を行う必要がある。特に、デバッグの初期段階では、問題の発生箇所を絞り込むことが困難な場合が多く、ユーザは上記の操作を頻繁に繰り返す必要がある。このように、従来は、試験結果を確認するためにユーザが行う必要のある操作が多いため、使い勝手が良いとは言えない上に、デバッグ効率が悪化するという問題があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ユーザの使い勝手の向上を図ることでプログラムのデバッグ効率を高めることができる開発支援装置、及び当該装置を備える半導体試験装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の開発支援装置は、半導体デバイス（４０）の試験を行う半導体試験装置（１）で用いられる試験プログラム（Ｐ１）の開発支援を行う開発支援装置において、前記試験プログラムの内容を編集画面（Ｗ１）内の第１表示領域（Ｒ１）に表示し、ユーザの指示に応じて前記第１表示領域に表示される試験プログラムの編集を行うとともに、前記試験プログラムに含まれる少なくとも１つの変数に格納される前記試験プログラムの少なくとも一部に従った前記半導体デバイスの試験結果を前記編集画面内の前記第１表示領域とは異なる第２表示領域（Ｒ３）にグラフ表示する編集手段（２１）を備えることを特徴としている。
この発明によると、試験プログラムの編集画面には第１表示領域と第２表示領域とが設けられており、第１表示領域には編集（デバッグ）すべき試験プログラムの内容が表示されるとともに、第２表示領域には試験プログラムの少なくとも一部に従った半導体デバイスの試験結果であって、試験プログラムに含まれる少なくとも１つの変数に格納された試験結果がグラフ表示される。
また、本発明の開発支援装置は、前記編集手段が、前記第２表示領域にグラフ表示されている変数とは異なる変数を特定する所定の操作が前記ユーザによってなされた場合には、特定された当該変数に格納される試験結果を前記第２表示領域に重ねてグラフ表示することを特徴としている。
また、本発明の開発支援装置は、前記所定の操作が、前記第１表示領域に表示されている前記試験プログラムに含まれる変数を前記第２表示領域にドラッグ・アンド・ドロップする操作であることを特徴としている。
また、本発明の開発支援装置は、前記編集手段が、前記第２表示領域にグラフ表示されるべき変数に格納される試験結果の全てが前記第２表示領域に収まるように前記グラフ表示を行うことを特徴としている。
更に、本発明の開発支援装置は、前記編集手段が、前記半導体デバイスの試験結果を前記編集画面内の前記第１，第２表示領域とは異なる第３表示領域に数値で表示することを特徴としている。
本発明の半導体試験装置は、試験プログラム（Ｐ１）に従った試験信号を半導体デバイス（４０）に印加して当該半導体デバイスから得られる信号を、前記試験プログラムに従って処理することにより前記半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、前記試験プログラムの開発を支援可能な上記の何れかに記載の開発支援装置を備えることを特徴としている。

本発明によれば、試験プログラムの編集画面に第１表示領域と第２表示領域とを設け、第１表示領域に編集（デバッグ）すべき試験プログラムの内容を表示するとともに、第２表示領域に試験プログラムの少なくとも一部に従った半導体デバイスの試験結果であって、試験プログラムに含まれる少なくとも１つの変数に格納された試験結果をグラフ表示している。このため、従来必要であった信号波形を表示する従来の表示ツールの起動指示を行わなくとも、変数に格納された試験結果がグラフ表示されるためユーザの使い勝手を向上させることができ、この結果としてプログラムのデバッグ効率を高めることができるという効果がある。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態による開発支援装置及び半導体試験装置について詳細に説明する。尚、以下では、本実施形態の開発支援装置が、試験プログラムに従った試験信号を半導体デバイスに印加し、この半導体デバイスから得られる信号を試験プログラムに従って処理することにより半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置に設けられている態様について説明する。

図１は、本発明の一実施形態による半導体試験装置の要部構成を示すブロック図である。図１に示す通り、本実施形態の半導体試験装置１は、試験装置本体２と端末装置３とを備えており、端末装置３から試験開始の指示があった場合に、試験装置本体２が半導体デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）４０に対して試験信号を印加してＤＵＴ４０から出力される信号に基づいてパス／フェイルを判定することによりＤＵＴ４０の試験を行う。尚、ＤＵＴ４０は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶表示装置）の駆動ドライバ、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の半導体デバイスである。

試験装置本体２は、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１に従った試験信号を生成してＤＵＴ４０に印加するとともに、試験信号の印加によってＤＵＴ４０から得られる信号を試験プログラムＰ１に従って処理する（パス／フェイルの判定等を行う）ことによりＤＵＴ４０の試験を行う。この試験装置本体２は、ＣＰＵ（中央処理装置）１１、ＲＡＭ１２、ハードディスク１３、及び通信部１４を備える。尚、図１においては、パターンジェネレータ及びドライバ等の試験信号を生成するための構成、並びにコンパレータ等のＤＵＴ４０からの信号を処理するための構成については図示を省略している。

ＣＰＵ１１は、ハードディスク１３に格納された各種のプログラムに従って、試験装置本体２の動作を統括的に制御する。この試験装置本体２には、例えばマルチタスクが可能なオペレーティング・システム（ＯＳ）が実装されており、ＣＰＵ１１が見かけ上複数のプログラムを同時に実行することが可能な環境が整備されている。具体的に、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納された試験プログラムＰ１を読み出すことにより試験プログラムプロセス２０が実行され、これにより試験プログラムＰ１に応じたＤＵＴ４０の試験が開始される。

また、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納されたデバッガプログラムＰ１１を読み出すことにより、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１の編集を行うための試験プログラムデバッガ２１（編集手段）が実行される。更に、ＣＰＵ１１がハードディスク１３に格納された表示ツールプログラムＰ１２を読み出すことにより、ＤＵＴ４０の試験により得られた試験結果を表示するための配列変数表示ツール２２が実行される。尚、以上説明した試験プログラムプロセス２０、試験プログラムデバッガ２１、及び配列変数表示ツール２２の詳細については後述する。

ＲＡＭ１２は、ＤＵＴ４０の試験により得られた試験結果や、ＣＰＵ１１で行われる処理で用いられる各種変数の値を一時的に記憶する。具体的には、図１に示す通り、ＲＡＭ１２には、試験プログラムＰ１の全部又は一部を実行して得られる試験結果を格納する配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎが設けられる。この配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎは、試験プログラムＰ１の実行開始時に、少なくとも試験プログラムＰ１に含まれる（記述されている）配列変数分だけ生成される。尚、図１では、説明の便宜上、配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎがＲＡＭ１２に設けられる例について図示しているが、これらの領域はハードディスク１３に設けられても良い。

ハードディスク１３は、上述した試験プログラムＰ１を始めとしてデバッガプログラムＰ１１及び表示ツールプログラムＰ１２等の各種プログラムを格納する。尚、図１においては、試験プログラムＰ１を１つのみ図示しているが、ハードディスク１３には複数の試験プログラムＰ１が格納される。通信部１４は、端末装置３との間で通信を行うことにより、例えば端末装置３から送信されてくる各種指示をＣＰＵ１１に受け渡すとともに、ＣＰＵ１１で行われた各種処理の処理結果を示す情報を端末装置３に送信する。

端末装置３は、キーボード３ａやマウス３ｂ等の入力装置と液晶表示装置３ｃ等の表示装置とを備えており、試験装置本体２に対する指示の入力、並びに、試験装置本体２によるＤＵＴ４０の試験結果、試験プログラムデバッガ２１及び配列変数表示ツール２２の表示画面の表示等を行う。尚、端末装置３は、例えば一般的なパーソナルコンピュータで実現することができる。

次に、ＣＰＵ１１で実行される試験プログラムプロセス２０、試験プログラムデバッガ２１、及び配列変数表示ツール２２について詳細に説明する。試験プログラムプロセス２０は試験プログラムＰ１がＣＰＵ１１で実行されることにより実現され、この試験プログラムプロセス２０の制御の下でＤＵＴ４０の試験が行われる。

具体的に、試験プログラムプロセス２０は、試験プログラムＰ１に従った試験パターン、期待パターン等の各種パターンをパターンジェネレータ（図示省略）に発生させ、ドライバ（図示省略）を介して試験パターンに応じた試験信号をＤＵＴ４０に印加する制御を行う。また、ＤＵＴ４０から出力されてコンパレータ（図示省略）を介した信号と、上記の期待パターンに応じた期待値との比較を行い、パス／フェイルを判定する制御を行う。更に、試験プログラムプロセス２０は、ＤＵＴ４０の試験結果を、ＲＡＭ１２の配列変数３１ａ〜３１ｎに格納する制御も行う。

試験プログラムデバッガ２１は、本発明の一実施形態による開発支援装置の要部をなすものであり、デバッガプログラムＰ１１がＣＰＵ１１で実行されることにより実現され、主として試験プログラムＰ１の編集のために用いられる。この試験プログラムデバッガ２１は、ＤＵＴ４０の試験により得られた試験結果を数値で表示するとともにグラフ表示することが可能である。図２は、試験プログラムデバッガ２１の編集画面の一例を示す図である。

図２に示す通り、試験プログラムデバッガ２１の表示画面であるウィンドウＷ１内には、ユーザによって作成された試験プログラムＰ１の内容を表示する表示領域Ｒ１（第１表示領域）、試験結果を数値で表示する表示領域Ｒ２（第３表示領域）、及び試験結果をグラフ表示する表示領域Ｒ３（第２表示領域）が設けられている。また、表示領域Ｒ１における試験プログラムの表示内容を変更するためのスクロールバーＳＢ１が表示領域Ｒ１に付随して設けられ、表示領域Ｒ２における試験結果の表示内容を変更するためのスクロールバーＳＢ２が表示領域Ｒ２に付随して設けられる。ユーザがこれらスクロールバーＳＢ１，ＳＢ２を操作することにより、試験プログラムの所望の位置（行）及び試験結果の所望の位置（行）を表示領域Ｒ１，Ｒ２にそれぞれに表示させることができるようになっている。

また、試験プログラムデバッガ２１は、ユーザの必要に応じて試験プログラムの実行を一時停止（ポーズ）させるブレークポイントの設定が可能である。図２に示す例では、試験プログラムの第５８行にブレークポイントが設定されている。表示領域Ｒ２は、配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎの何れかに格納された試験結果を数値で表示する表示領域であり、表示領域Ｒ３は、配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎの少なくとも１つに格納された試験結果をグラフ表示する表示領域である。これら表示領域Ｒ２，Ｒ３に表示させる試験結果は、ユーザの操作によって選択される。

本実施形態では、ユーザの使い勝手を向上させてデバッグ効率を高めるために、試験プログラムＰ１の内容を表示するＲ１、試験結果を数値で表示する表示領域Ｒ２、及び試験結果をグラフ表示する表示領域Ｒ３を１つのウィンドウＷ１内に配置している。つまり、試験プログラムの内容が表示されるウィンドウと試験結果が表示されるウィンドウとが別の場合には、一方のウィンドウが他方のウィンドウ又は他のプログラムで用いられているウィンドウに隠れてしまってユーザの使い勝手が悪くなる。このため、これらを１つのウィンドウＷ１にまとめて設けている。

また、試験結果を数値のみで表示した場合には、ユーザが試験結果を直感的に把握することが困難である。このため、試験結果をグラフ表示する表示領域Ｒ３をウィンドウＷ１内に設けている。ここで、試験プログラムデバッガ２１とは別に、配列変数表示ツール２２を用いれば試験結果をグラフ表示させることはできるが、配列変数ツール２２の起動、配列変数ツール２２に表示させるべき試験結果の指示等が必要になるためユーザの使い勝手が悪化し、デバッグ効率が低下する。このため、本実施形態では、配列変数表示ツール２２を用いることなく、ユーザが簡便に試験結果のグラフ表示を認識できるようにするため、試験プログラムデバッガ２１の編集画面であるウィンドウＷ１内に試験結果を表示する表示領域Ｒ３を設けている。

配列変数表示ツール２２は、試験プログラムデバッガ２１とは無関係にユーザの指示によって起動され、配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎのうちのユーザによって指定された少なくとも１つに格納された試験結果をグラフ表示する。尚、この配列変数表示ツール２２は、試験プログラムデバッガ２１が備えるグラフ表示機能よりも高度なグラフ表示機能を備えており、例えば図５に示す通り、複数の試験結果を１つのウィンドウ内に表示する機能に加えて、種々の波形解析機能が設けられている。

次に、試験プログラムＰ１のデバッグ時の動作について説明する。試験プログラムＰ１のデバッグを行うときには、まずユーザが端末装置３のキーボード３ａ又はマウス３ｂを操作して試験プログラムデバッガ２１の起動を指示する。かかる指示がなされると、ＣＰＵ１１がハードディスク１３からデバッガプログラムＰ１１を読み出して実行することにより、試験プログラムデバッガ２１が起動される。これにより、端末装置３の液晶表示装置３ｃには、表示領域Ｒ１〜Ｒ３が全て空欄のウィンドウＷ１が表示される。

次いで、ユーザが端末装置３のキーボード３ａ又はマウス３ｂを操作してデバッグ対象の試験プログラムＰ１を選択して試験プログラムデバッガ２１に読み込ませる。以上の操作によって、試験プログラムＰ１の内容がウィンドウＷ１の表示領域Ｒ１に表示され、これによりユーザの操作に応じた試験プログラムＰ１のデバッグが可能な状態になる。

ここで、ユーザが図２に示す通り、試験プログラムの第５８行にブレークポイントを設定し、プログラム実行を指示したとすると、ハードディスク１３に格納された試験プログラムＰ１がＣＰＵ１１に読み出されて試験プログラムプロセス２０が実行され、試験プログラムＰ１の先頭からブレークポイントまでに記述された内容に応じたＤＵＴ４０の試験が行われる。ここで、試験プログラムプロセス２０が実行されると、試験プログラムＰ１に含まれる配列変数分の配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎがＲＡＭ１２に確保され、ＤＵＴ４０の試験結果がＲＡＭ１２に確保された配列変数格納領域３１ａ〜３１ｎに記憶される。

ブレークポイントまでの試験が終了すると、試験プログラムデバッガ２１の制御の下で、例えば試験プログラムＰ１に含まれる配列変数のうちの最初に現れる配列変数に格納された試験結果がＲＡＭ１２から読み出されて表示領域Ｒ２，Ｒ３に表示される。つまり、図２に示す通り、試験プログラムＰ１の最初に現れる配列変数の数値が表示領域Ｒ２に表示されるとともに、その配列変数が表示領域Ｒ３にグラフ表示される。

このとき、試験プログラムデバッガ２１は、配列変数に格納される試験結果のデータ数、試験結果の最大値及び最小値を求め、試験結果の全てが表示領域Ｒ３に収まるようにグラフ表示を行う。このようにして、試験結果の全体像が表示領域Ｒ３に表示される。これにより、ユーザは、何の操作もすることなく表示領域Ｒ３の表示を参照するだけで、試験結果を直感的に把握することができる。尚、以上の例では、表示領域Ｒ２，Ｒ３の表示が自動的に行われる場合を例に挙げて説明しているが、ユーザの指示があるまでは表示領域Ｒ２，Ｒ３への配列変数の内容表示を行わなくても良い。

ここで、本実施形態では、ある配列変数に格納された試験データが表示領域Ｒ３にグラフ表示されている場合において、ユーザがその配列変数とは異なる配列変数を特定する所定の操作を行えば、試験プログラムデバッガ２１の制御により、新たな配列変数が表示領域Ｒ３に重ねてグラフ表示される。図３は、試験プログラムデバッガ２１の編集画面の他の例を示す図である。図３において、表示領域Ｒ１には、試験プログラムＰ１の先頭部分が表示されており、この先頭部分の第１３行で配列変数「＠ｄａｔａ」が定義されており、第１５〜２８行目で配列変数「＠ｄａｔａ」の初期化が行われている。

この配列変数「＠ｄａｔａ」は、試験プログラムＰ１が実行されると、第１５〜２８行目の記述に従って初期化され、試験プログラムＰ１のその後の記述（図示省略）に従ってＤＵＴ４０に対する試験結果が格納される。このため、例えば、図２に示す試験プログラムＰ１の第５８行目に設定されたブレークポイントまで試験プログラムＰ１が実行されると、ＤＵＴ４０の試験結果が試験プログラムＰ１に記述された配列変数「＠ｄａｔａ」と関連付けられたＲＡＭ１２の配列変数格納領域に記憶される。

ここで、ユーザが、配列変数「＠ｄａｔａ」を特定する所定の操作として、表示領域Ｒ１に表示されている配列変数「＠ｄａｔａ」を表示領域Ｒ３にドラッグ・アンド・ドロップすれば、配列変数「＠ｄａｔａ」に格納された試験結果が表示領域Ｒ３に先に表示されているグラフに重ねてグラフ表示される。このとき、試験プログラムデバッガ２１は、配列変数「＠ｄａｔａ」に格納される試験結果のデータ数、試験結果の最大値及び最小値と、先に表示領域Ｒ３に表示されている配列変数に格納される試験結果のデータ数、試験結果の最大値及び最小値とを求め、両配列変数に係る試験結果の全てが表示領域Ｒ３に収まるようにグラフ表示を行う。

このようにして、複数の配列変数に係る試験結果の全体像が表示領域Ｒ３に表示される。これにより、ユーザは、試験プログラムデバッガ２１の編集画面であるウィンドウＷ１内で簡単な操作を行うだけで、所望の複数の配列変数に係る試験結果を直感的に把握することができる。また、表示領域Ｒ１に表示されている他の配列変数に対し、ユーザが同様の操作（ドラッグ・アンド・ドロップ）を行うことで、２つの配列変数に係る試験結果のみならず３つ以上の配列変数に係る試験結果を表示領域Ｒ３に重ねてグラフ表示することができる。

以上説明した通り、本実施形態によれば、試験プログラムＰ１のデバッグを行う試験プログラムデバッガ２１の編集画面であるウィンドウＷ１に、配列変数に格納された試験結果をグラフ表示する表示領域Ｒ３を設けている。このため、ユーザが試験結果をグラフにて確認する際に従来必要であった配列変数ツール２２の起動、配列変数ツール２２に表示させるべき試験結果の指示等の操作が不要になり、ユーザの使い勝手を向上させることができ、この結果としてプログラムのデバッグ効率を高めることができる。

以上、本発明の一実施形態による開発支援装置及び半導体試験装置について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、ウィンドウＷ１内の表示領域Ｒ１に表示された配列変数を表示領域Ｒ３にドラッグ・アンド・ドロップしてその配列変数をグラフ表示する場合について説明したが、表示領域Ｒ２へのドラッグ・アンド・ドロップを可能としても良い。

また、表示領域Ｒ２の表示制御と表示領域Ｒ３の表示制御とが独立していても良く、関連付けられていても良い。つまり、表示領域Ｒ１に表示されている配列変数が表示領域Ｒ２にドラッグ・アンド・ドロップされた場合には表示領域Ｒ２の内容のみを独立して更新し、表示領域Ｒ３にドラッグ・アンド・ドロップされた場合には表示領域Ｒ３の内容のみを独立して更新するといった表示制御を行っても良く、或いは、表示領域Ｒ１に表示されている配列変数が表示領域Ｒ２又は表示領域Ｒ３にドラッグ・アンド・ドロップされた場合には、表示領域Ｒ２及び表示領域Ｒ３双方の内容を更新するといった表示制御を行っても良い。

また、上記実施形態では、開発支援装置が半導体試験装置に設けられている形態について説明したが、本発明の開発支援装置は、必ずしも半導体試験装置に設けられている必要はない。例えば、半導体試験装置に代えて半導体試験装置のシミュレータを用いる場合には、開発支援装置は、例えばパーソナルコンピュータ等のコンピュータを用いて実現することが可能である。

本発明の一実施形態による半導体試験装置の要部構成を示すブロック図である。 試験プログラムデバッガ２１の編集画面の一例を示す図である。 試験プログラムデバッガ２１の編集画面の他の例を示す図である。 試験プログラムのデバックに用いられる従来のデバッガの表示画面を簡略化して示す図である。 半導体デバイスから出力される信号波形を表示する従来の表示ツールの表示画面を簡略化して示す図である。

符号の説明

１ 半導体試験装置
２１ 試験プログラムデバッガ
４０ ＤＵＴ
Ｐ１ 試験プログラム
Ｒ１〜Ｒ３ 表示領域
Ｗ１ ウィンドウ

Claims (6)

1. 半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置で用いられる試験プログラムの開発支援を行う開発支援装置において、
   前記試験プログラムの内容を編集画面内の第１表示領域に表示し、ユーザの指示に応じて前記第１表示領域に表示される試験プログラムの編集を行うとともに、前記試験プログラムに含まれる少なくとも１つの変数に格納される前記試験プログラムの少なくとも一部に従った前記半導体デバイスの試験結果を前記編集画面内の前記第１表示領域とは異なる第２表示領域にグラフ表示する編集手段を備えることを特徴とする開発支援装置。
2. 前記編集手段は、前記第２表示領域にグラフ表示されている変数とは異なる変数を特定する所定の操作が前記ユーザによってなされた場合には、特定された当該変数に格納される試験結果を前記第２表示領域に重ねてグラフ表示することを特徴とする請求項１記載の開発支援装置。
3. 前記所定の操作は、前記第１表示領域に表示されている前記試験プログラムに含まれる変数を前記第２表示領域にドラッグ・アンド・ドロップする操作であることを特徴とする請求項２記載の開発支援装置。
4. 前記編集手段は、前記第２表示領域にグラフ表示されるべき変数に格納される試験結果の全てが前記第２表示領域に収まるように前記グラフ表示を行うことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の開発支援装置。
5. 前記編集手段は、前記半導体デバイスの試験結果を前記編集画面内の前記第１，第２表示領域とは異なる第３表示領域に数値で表示することを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の開発支援装置。
6. 試験プログラムに従った試験信号を半導体デバイスに印加して当該半導体デバイスから得られる信号を、前記試験プログラムに従って処理することにより前記半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
   前記試験プログラムの開発を支援可能な請求項１から請求項５の何れか一項に記載の開発支援装置を備えることを特徴とする半導体試験装置。

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