JP2009194991A - Linear motor an actuator - Google Patents

Linear motor an actuator Download PDF

Info

Publication number
JP2009194991A
JP2009194991A JP2008031905A JP2008031905A JP2009194991A JP 2009194991 A JP2009194991 A JP 2009194991A JP 2008031905 A JP2008031905 A JP 2008031905A JP 2008031905 A JP2008031905 A JP 2008031905A JP 2009194991 A JP2009194991 A JP 2009194991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
linear motor
coil
core
magnet
magnetic flux
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008031905A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Teruaki Fujinaga
輝明 藤永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IAI Corp
Original Assignee
IAI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IAI Corp filed Critical IAI Corp
Priority to JP2008031905A priority Critical patent/JP2009194991A/en
Publication of JP2009194991A publication Critical patent/JP2009194991A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Linear Motors (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor having a high thrust force even with a small diameter, and to provide an actuator using such the linear motor. <P>SOLUTION: The linear motor includes a structure in which a core made of a material excellent in magnetic permeability is inserted between a magnet and a coil. With this configuration, a magnetic flux generated from the magnet flows from an N-pole back to an S-pole not by reaching the outermost circumferential yoke through the coil and returning in a conventional technique, but by flowing into the core having excellent permeability of a neighboring magnetic flux and flowing back. Thus, a magnetic resistance is remarkably reduced and even a magnet of a smaller diameter obtains magnetic flux density. Further, since the magnetic flux generated from the coil enters into a neighboring core and flows back, magnetic resistance is remarkably reduced and higher magnetic flux density is obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、精密位置決めシステムに用いるリニアモータと該リニアモータを用いたアクチュエータに係り、特に、小型化に起因した推力の低下を防止して高い推力を提供することができるように工夫したものに関する。 The present invention relates to, for example, a linear motor used in a precision positioning system and an actuator using the linear motor, and in particular, has been devised so that high thrust can be provided by preventing reduction in thrust due to miniaturization. About things.

非接触駆動の可能なリニアモータは、例えば、精密位置決め装置の駆動機構として適している。その中でも、特に、シャフトタイプのリニアモータが昨今使用されるようになってきている。これはその取扱が容易であるためである。しかしながら、上記シャフトタイプのリニアモータの場合には次に示すような問題があった。 A linear motor capable of non-contact driving is suitable as a driving mechanism of a precision positioning device, for example. Among them, in particular, a shaft type linear motor has recently been used. This is because the handling is easy. However, the shaft type linear motor has the following problems.

まず、小型化に起因して推力が低いという問題があった。そもそもシャフトタイプのリニアモータを用いた電動アクチュエータの場合には、その形状及び消費エネルギの点において、エアーシリンダに比べて優れている。ところが、シャフタイプのリニアモータを小型化させるべく小径化させようとすると推力が大幅に減少してしまうという問題があった。これは、推力がリニアモータの断面積に略比例する関係にあるからであり、小径化によってその断面積が減少すると、それに伴って推力も大幅に減少してしまうことになるからである。その為、エアーシリンダの代替品になり得ないという現状があった。
又、シャフトタイプのリニアモータの場合には推力の変動が大きいという問題もあった。 First, there was a problem that the thrust was low due to the miniaturization. In the first place, an electric actuator using a shaft type linear motor is superior to an air cylinder in terms of its shape and energy consumption. However, there has been a problem in that the thrust is greatly reduced if the diameter of the shuff type linear motor is reduced in order to reduce the size. This is because the thrust is substantially proportional to the cross-sectional area of the linear motor, and when the cross-sectional area is reduced due to the reduction in diameter, the thrust is also greatly reduced. For this reason, there is a current situation that it cannot be a substitute for an air cylinder.
Further, in the case of a shaft type linear motor, there has been a problem that the fluctuation of thrust is large.

又、リニアモータを構成している永久磁石の内隣接する永久磁石界面近傍において磁界の急峻なピークをもつ不均一な磁界分布が発生してしまい、それが原因して精密位置決め制御が困難になってしまうという問題もあった。
因みに、上記不均一な磁界分布に関しては、例えば、特許文献１における図４の急峻な磁界分布例として示されている。
特開平１０−３１３５６６号公報 In addition, a non-uniform magnetic field distribution having a steep peak of the magnetic field is generated in the vicinity of the adjacent permanent magnet interface among the permanent magnets constituting the linear motor, which makes precise positioning control difficult. There was also a problem of end up.
Incidentally, the non-uniform magnetic field distribution is shown as an example of the steep magnetic field distribution in FIG.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-313566

そこで、このような問題を解決するために、本件特許出願人は、特許文献２に開示されているようなリニアモータとアクチュエータを開発した。そこには外周部ヨークを備えたリニアモータとそのようなリニアモータを用いたアクチュエータが記載されている。
特開２００７−２８２４７５号公報 Therefore, in order to solve such a problem, the present applicant has developed a linear motor and an actuator as disclosed in Patent Document 2. There are described a linear motor having an outer peripheral yoke and an actuator using such a linear motor.
JP 2007-282475 A

上記特許文献２に開示されているアクチュエータは、図５に示すような構成になっている。まず、固定子２０１があり、この固定子２０１はヨーク２０３を備えていて、このヨーク２０３の内周側には複数組（図に示すアクチュエータの場合は３組）の３相駆動コイル２０５が設置されている。上記３三相駆動コイル２０５は、Ｕ相コイル２０７、Ｖ相コイル２０９、Ｗ相コイル２１１から構成されている。上記ヨーク２０３の両端にはガイド部材２１３、２１５が設置されている。   The actuator disclosed in Patent Document 2 is configured as shown in FIG. First, there is a stator 201, and the stator 201 includes a yoke 203. A plurality of sets (three sets in the case of the actuator shown in the figure) of three-phase drive coils 205 are installed on the inner peripheral side of the yoke 203. Has been. The three three-phase driving coil 205 is composed of a U-phase coil 207, a V-phase coil 209, and a W-phase coil 211. Guide members 213 and 215 are installed at both ends of the yoke 203.

上記３組の３相駆動コイル２０５の内周側には可動子２１７が、図中設置左右方向に移動可能な状態で収容・配置されている。この可動子２１７は、円筒形状をなす複数個（図に示すアクチュエータの場合には５個）の永久磁石２１９を軸方向に沿って積層・配置させた構成になっている。又、図５中左右両端に配置されている永久磁石２１９、２１９には夫々シャフト２２１、２２３が連結されている。上記シャフト２２１、２２３は上記ガイド部材２１３、２１５を貫通した状態で配置されている。 A mover 217 is housed and arranged on the inner peripheral side of the three sets of three-phase drive coils 205 in a state that it can move in the horizontal direction in the drawing. The mover 217 has a configuration in which a plurality of cylindrical magnets (five in the case of the actuator shown in the figure) permanent magnets 219 are stacked and arranged along the axial direction. In addition, shafts 221 and 223 are connected to permanent magnets 219 and 219 arranged at both left and right ends in FIG. The shafts 221 and 223 are disposed so as to penetrate the guide members 213 and 215.

上記構成によると、円筒形状をなし長手方向に磁化された複数の永久磁石２１９の同極同士が頭を付き合わせた状態で接していて、又、三相駆動コイル２０５は３個の異なる位相のＵ相コイル２０７、Ｖ相コイル２０９、Ｗ相コイル２１１より構成されていて、又、三相駆動コイル２０５の外周部にはヨーク２０３が設けられているので、永久磁石２１９の接触界面のＮ極から出た磁束が他端の接触界面Ｓ極へ戻る磁束の磁気抵抗を下げることができ、それによって、三相駆動コイル２０７を通過する磁束密度を向上させることができる。そのためリニアモータの推力発生原理である三相駆動コイル２０７に流れる電流と直交する磁束の相互作用により力が発生するフレミングの左手の法則において、磁束密度を上げることにより小型でも高い推力を確保できる。 According to the above configuration, the same poles of the plurality of permanent magnets 219 that are cylindrical and magnetized in the longitudinal direction are in contact with each other with their heads in contact, and the three-phase drive coil 205 has three different phases. Since the U-phase coil 207, the V-phase coil 209, and the W-phase coil 211 are configured, and the yoke 203 is provided on the outer periphery of the three-phase drive coil 205, the N pole at the contact interface of the permanent magnet 219 is provided. The magnetic resistance of the magnetic flux returned from the magnetic flux from the other end to the contact interface S pole at the other end can be lowered, and thereby the magnetic flux density passing through the three-phase drive coil 207 can be improved. Therefore, according to Fleming's left-hand rule, in which the force is generated by the interaction of magnetic flux orthogonal to the current flowing through the three-phase drive coil 207, which is the principle of thrust generation of the linear motor, high thrust can be ensured even with a small size by increasing the magnetic flux density.

又、上記特許文献２に開示されているリニアモータとは別に、コア付コイルを用いることによってさらに大きな推力を得る改良が行われている。例えば、特許文献３、特許文献４、特許文献５には、シャフトタイプ（円筒タイプ）のリニアモータに関する改良された構成が開示されている。
特開平７−７９０９号公報 特開２００２−３５４７８０号公報 特開２００５−２０４４４９号公報 Further, in addition to the linear motor disclosed in the above-mentioned Patent Document 2, an improvement has been made to obtain a larger thrust by using a cored coil. For example, Patent Document 3, Patent Document 4, and Patent Document 5 disclose improved configurations relating to a shaft type (cylindrical type) linear motor.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-7909 JP 2002-354780 A JP 2005-204449 A

上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、特許文献２に開示されているアクチュエータの場合には、ある程度の小型化を図ることは可能であるが、それでも十分な小型化が図られているとはいえず、さらなる小型化が要求されていた。又、それと同時に推力の確保も要求されていた。
又、特許文献３、特許文献４、特許文献５に開示されているリニアモータの場合には、構造が複雑であって小型化には適さないという問題があった、又、コア形成のためコイルを巻くことのできる領域が減少してしまうと共に、コア付構造に起因するいわゆる「コギング」が発生してしまうという問題があった。又、この場合にも有効な推力を十分確保できないといった問題があった。 The conventional configuration has the following problems.
First, in the case of the actuator disclosed in Patent Document 2, it is possible to reduce the size to some extent, but it cannot be said that the size is still sufficiently reduced, and further size reduction is required. It was. At the same time, it was required to secure thrust.
Further, in the case of the linear motors disclosed in Patent Document 3, Patent Document 4, and Patent Document 5, there is a problem that the structure is complicated and is not suitable for downsizing. There is a problem that the area where the wire can be wound is reduced and so-called “cogging” due to the cored structure occurs. Also in this case, there is a problem that sufficient thrust cannot be secured.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、小径でも高い推力を持つリニアモータとそのようなリニアモータを使用したアクチュエータを提供することにある。 The present invention has been made based on such points, and an object thereof is to provide a linear motor having a small thrust and a high thrust and an actuator using such a linear motor.

上記課題を解決するべく本願発明の請求項１によるリニアモータは、磁石とコイルの間に透磁率の良好な材料からなるコアを挿入・配置したことを特徴とするものである。
又、請求項２によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コアは上記磁石と上記コイルの相対運動方向に沿って配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項３によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、円筒状の永久磁石の回りに環状のコイルが配置され、上記コアはそれら円筒状の永久磁石と環状のコイルの間に配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項４によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コアは上記磁石が相対移動しても該磁石の近傍にあることを特徴とするものである。
又、請求項５によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コイルが固定側に配置され上記コア及び磁石が可動側に配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項６によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コイルが可動側に配置され上記コア及び磁石が固定側に配置されていることを特徴とするものである。
又、請求項７によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、２磁極ピッチに３個のコイルを配置したことを特徴とするものである。
又、請求項８によるアクチュエータは、請求項１〜請求項７の何れかに記載のリニアモータを用いたことを特徴とするものである。 In order to solve the above problems, a linear motor according to claim 1 of the present invention is characterized in that a core made of a material having good permeability is inserted and arranged between a magnet and a coil.
According to a second aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein the core is disposed along a relative movement direction of the magnet and the coil.
According to a third aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein an annular coil is disposed around the cylindrical permanent magnet, and the core is disposed between the cylindrical permanent magnet and the annular coil. It is characterized by being arranged.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein the core is in the vicinity of the magnet even when the magnet is relatively moved.
According to a fifth aspect of the present invention, the linear motor according to the first aspect is characterized in that the coil is disposed on the fixed side and the core and magnet are disposed on the movable side.
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein the coil is disposed on the movable side and the core and magnet are disposed on the fixed side.
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein three coils are arranged at a pitch of two magnetic poles.
An actuator according to claim 8 is characterized in that the linear motor according to any one of claims 1 to 7 is used.

以上述べたように、本願発明の請求項１によるリニアモータによると、磁石とコイルの間に透磁率の良好な材料からなるコアを挿入・配置したことを特徴とする構成になっているので、まず、磁石から発生した磁束はＮ極からＳ極へ還流するが、その際、従来のように、コイルを通過して最外周のヨークまで行ってから戻ってくるのではなく、近くの磁束をよく通すコアへ入り還流できるので、磁気抵抗を大幅に下げることができ、より小径の磁石でも高い磁束密度が得られる。
又、コイルから発生した磁束も近くにあるコアへ入り還流できるので、磁気抵抗を大幅に下げることができ、より高い磁束密度を得られる。
又、請求項２によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コアは上記磁石と上記コイルの相対運動方向に沿って配置されていることを特徴とする構成になっているので、推力発生によりコイルと磁石は軸方向に相対運動するが、コアも同じ相対運動方向に配置されているので、磁石やコイルから発生した磁束の向きも軸方向となり、それによって、磁束対の作用力を効率よく推力として用いることができる。
又、請求項３によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、円筒状の永久磁石の回りに環状のコイルが配置され、上記コアはそれら円筒状の永久磁石と環状のコイルの間に配置されていることを特徴とする構成になっているので、本発明によるリニアモータの推力発生原理を理想的に満足するものであり、又、小型化（小径化）や低コスト化にも有利な形状である。
又、請求項４によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コアは上記磁石が相対移動しても該磁石の近傍にあることを特徴とする構成になっているので、コイルと磁石が相対運動をしても磁石の近傍には常にコアを配することができ、それも略同一距離、同一質量のコアを配することができるので、コイルと磁石が相対運動しても磁石がコアを吸引している力の変動、すなわち、「コギング」は殆ど発生しないものである。
又、請求項５によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コイルが固定側に配置され上記コア及び磁石が可動側に配置されていることを特徴とする構成になっているので、コイルと磁石が相対運動をしても磁石の近傍には常にコアを配することができ、コイルと磁石が相対運動しても磁石がコアを吸引している力の変動、すなわち、「コギング」は殆ど発生しないものである。
又、請求項６によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、上記コイルが可動側に配置され上記コア及び磁石が固定側に配置されていることを特徴とする構成になっているので、この場合にも、コイルと磁石が相対運動をしても磁石の近傍には常にコアを配することができ、コイルと磁石が相対運動しても磁石がコアを吸引している力の変動、すなわち、「コギング」は殆ど発生しないものである。
又、請求項７によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、２磁極ピッチに３個のコイルを配置したことを特徴とする構成になっているので、三相駆動によってより滑らかな駆動を可能にすることができるものである。
又、請求項８によるリニアモータは、請求項１〜請求項７の何れかに記載のリニアモータを用いたことを特徴とする構成になっているので、小型であって高い推力を備えたアクチュエータを提供することができる。 As described above, according to the linear motor according to claim 1 of the present invention, since the core made of a material having good permeability is inserted and arranged between the magnet and the coil, First, the magnetic flux generated from the magnet flows back from the N pole to the S pole. At that time, instead of passing through the coil to the outermost yoke and returning to the outermost yoke, the magnetic flux near the magnetic pole is returned. Since it can enter and recirculate into a core that passes well, the magnetic resistance can be greatly reduced, and even with a smaller diameter magnet, a high magnetic flux density can be obtained.
In addition, since the magnetic flux generated from the coil can enter and return to a nearby core, the magnetic resistance can be greatly reduced, and a higher magnetic flux density can be obtained.
The linear motor according to claim 2 is the linear motor according to claim 1, wherein the core is arranged along the relative movement direction of the magnet and the coil. The coil and magnet move relative to each other in the axial direction due to thrust generation, but since the core is also arranged in the same relative movement direction, the direction of the magnetic flux generated from the magnet and coil also becomes the axial direction. Can be efficiently used as thrust.
According to a third aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein an annular coil is disposed around the cylindrical permanent magnet, and the core is disposed between the cylindrical permanent magnet and the annular coil. The arrangement is characterized by the fact that it is ideally satisfied with the principle of thrust generation of the linear motor according to the present invention, and is advantageous for downsizing (smaller diameter) and cost reduction. Shape.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein the core is in the vicinity of the magnet even when the magnet is relatively moved. Even if the magnet makes relative motion, a core can always be placed near the magnet, and a core with the same distance and the same mass can also be placed. Fluctuation of the force attracting the core, that is, “cogging” hardly occurs.
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the first aspect, wherein the coil is disposed on the fixed side and the core and magnet are disposed on the movable side. Even if the coil and the magnet move relative to each other, the core can always be arranged near the magnet, and even if the coil and the magnet move relative to each other, the fluctuation of the force with which the magnet attracts the core is called “cogging”. "Hardly occurs.
According to a sixth aspect of the present invention, in the linear motor according to the first aspect, the coil is disposed on the movable side, and the core and magnet are disposed on the fixed side. In this case as well, even if the coil and the magnet move relative to each other, the core can always be arranged near the magnet, and even if the coil and the magnet move relative to each other, the fluctuation of the force with which the magnet attracts the core That is, “cogging” hardly occurs.
According to a seventh aspect of the present invention, the linear motor according to the first aspect is characterized in that three coils are arranged at two magnetic pole pitches. Can be made possible.
Further, since the linear motor according to claim 8 is configured to use the linear motor according to any one of claims 1 to 7, the actuator is small and has high thrust. Can be provided.

以下図１乃至図３を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。図１は本実施の形態によるアクチュエータを示す縦断面図であり、まず、固定子１があり、この固定子１はハウジング３を備えていて、このハウジング３は中空円筒形状をなしていて、その両端にはガイド部材５、７が取り付けられている。上記ハウジング３の内周側には複数組（図に示すアクチュエータの場合は３組）の三相駆動コイル９が設置されている。上記三相駆動コイル９は、Ｕ相コイル１１、Ｖ相コイル１３、Ｗ相コイル１５から構成されている。上記三相駆動コイル９の内周側にはコア１７が設置されている。上記コア１７は透磁率の良好な材料、例えば、軟鉄やニッケル系材料から構成されている。   A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an actuator according to the present embodiment. First, there is a stator 1, which has a housing 3, and this housing 3 has a hollow cylindrical shape. Guide members 5 and 7 are attached to both ends. A plurality of sets (three sets in the case of the actuator shown in the figure) of three-phase drive coils 9 are installed on the inner peripheral side of the housing 3. The three-phase drive coil 9 includes a U-phase coil 11, a V-phase coil 13, and a W-phase coil 15. A core 17 is installed on the inner peripheral side of the three-phase drive coil 9. The core 17 is made of a material with good magnetic permeability, for example, soft iron or nickel-based material.

上記コア１７の内周側には可動子２１が図１中左右方向に移動可能な状態で収容・配置されている。この可動子２１は、円筒形状をなす複数個（この実施の形態の場合には１０個）の永久磁石２３を軸方向に沿って積層・配置させた構成になっている。又、左右両端の永久磁石２３、２３にはそれぞれシャフト２５、２７が連結されている。
本実施の形態の場合には、従来のヨークに相当するコア１７を三相駆動コイル９と永久磁石２３との間に配置する構造、すなわち、三相駆動コイル９と永久磁石２３との間に透磁率の良好な材料からなるコア１７を挿入することにより推力の向上を図るようにしているものである。 A mover 21 is accommodated and arranged on the inner peripheral side of the core 17 so as to be movable in the left-right direction in FIG. The movable element 21 has a configuration in which a plurality of cylindrical magnets (10 in the case of this embodiment) are laminated and arranged along the axial direction. Further, shafts 25 and 27 are connected to the permanent magnets 23 and 23 at both the left and right ends, respectively.
In the case of the present embodiment, a structure in which a core 17 corresponding to a conventional yoke is disposed between the three-phase drive coil 9 and the permanent magnet 23, that is, between the three-phase drive coil 9 and the permanent magnet 23. The thrust is improved by inserting a core 17 made of a material with good magnetic permeability.

ところで、本実施の形態における推力発生の原理は従来方式と異なり、「同一方向の磁束対は反発し、逆方向の磁束対は吸引する」という原理を採用している。すなわち、永久磁石２３より発生される磁束と三相駆動コイル９に電流を流すことにより発生する磁束とによって磁束対を生じさせ、それをより効率的に作用させるために、永久磁石２３と三相駆動コイル９との間に透磁率の良好な材料からなるコア１７を設置し、そのコア１７内に両磁束を導入して磁束対の吸引又は反発を生じさせてその作用力を推力とするものである。 By the way, the principle of thrust generation in the present embodiment is different from the conventional method, and adopts the principle that “a magnetic flux pair in the same direction repels and a magnetic flux pair in the opposite direction attracts”. That is, in order to generate a magnetic flux pair by the magnetic flux generated from the permanent magnet 23 and the magnetic flux generated by passing a current through the three-phase drive coil 9, and to make it work more efficiently, the permanent magnet 23 and the three-phase A core 17 made of a material with good permeability is installed between the drive coil 9 and both magnetic fluxes are introduced into the core 17 to cause attraction or repulsion of the magnetic flux pair, and the acting force is used as a thrust. It is.

ここで、推力発生の原理を図２を参照して具体的に説明する。図２（ａ）〜図２（ｅ）は図１に示すアクチュエータに使用されているリニアモータの要部を抽出して示す図であり、円筒状をなすリニアモータの要部断面の上半分のみを示している。円筒状の永久磁石２３は軸方向に磁化されており、隣接する永久磁石２３、２３同士は同じ極を突き合せている。永久磁石２３のＮ極から出た磁束はすぐ外側にあるコア１７を通り永久磁石２３の他端のＳ極に戻る。したがって、永久磁石２３直上のコア１７には軸方向に沿ってＮ極からＳ極に向かう磁束が生成される。したがって、突き合された多くの永久磁石２３により永久磁石２３の直上のコア１７中に１個の磁石ピッチにて右向き磁束、左向き磁束が交互に生成されることになる。 Here, the principle of thrust generation will be specifically described with reference to FIG. 2 (a) to 2 (e) are diagrams showing an extracted main part of the linear motor used in the actuator shown in FIG. 1, and only the upper half of the cross section of the main part of the cylindrical linear motor is shown. Is shown. The cylindrical permanent magnet 23 is magnetized in the axial direction, and the adjacent permanent magnets 23, 23 face each other with the same pole. The magnetic flux emitted from the N pole of the permanent magnet 23 passes through the core 17 just outside and returns to the S pole at the other end of the permanent magnet 23. Therefore, a magnetic flux from the north pole to the south pole is generated along the axial direction in the core 17 directly above the permanent magnet 23. Therefore, a right-direction magnetic flux and a left-direction magnetic flux are alternately generated at a single magnet pitch in the core 17 immediately above the permanent magnet 23 by the many permanent magnets 23 abutted.

三相駆動コイル９は２磁極ピッチに３個のコイル、すなわち、Ｕ相コイル１１、Ｖ相コイル１３、Ｗ相コイル１５を配置して３相駆動とすることによって滑らかな駆動ができる構成になっている。すなわち、１磁極ピッチを電気角１８０度（２磁極ピッチを３６０度）とすると１磁極ピッチの２／３の長さのＵ相コイル１１、Ｖ相コイル１３、Ｗ相コイル１５の３相コイルを並べて、夫々１２０度位相差を持たせて駆動させることにより滑らかな推力を発生させることができるようになっている。
尚、図２の各電気角におけるＵ相コイル１１、Ｖ相コイル１３、Ｗ相コイル１５に流す電流は図３に示すようなものである。 The three-phase drive coil 9 has a configuration in which three coils, that is, a U-phase coil 11, a V-phase coil 13, and a W-phase coil 15, are arranged at two magnetic pole pitches to perform a three-phase drive, thereby enabling smooth driving. ing. That is, if one magnetic pole pitch is an electrical angle of 180 degrees (two magnetic pole pitch is 360 degrees), a three-phase coil of a U-phase coil 11, V-phase coil 13, and W-phase coil 15 having a length that is 2/3 of one magnetic pole pitch. By arranging them and driving them with a phase difference of 120 degrees, it is possible to generate a smooth thrust.
The currents flowing through the U-phase coil 11, V-phase coil 13, and W-phase coil 15 at each electrical angle in FIG. 2 are as shown in FIG.

さて、図２（ａ）に示す「電気角１２０°」においては、図３に示すように、Ｕ相コイル１１は「＋電流」、Ｗ相コイル１５は「−電流」、Ｖ相コイル１３「電流０」である。これは図２（ａ）においてＵ相コイル１１は紙面上方向に電流を流しており、Ｗ相コイル１５紙面下方向に電流を流している状態である。そして、Ｕ相コイル１１より右向き磁束が生成されると共にＷ相コイル１５により左向き磁束がコア１７内に生成される。これらのコイル磁束は何れも永久磁石２３により生成される磁束と向きが逆であり永久磁石２３により生成される磁束との対で吸引し合うことになる。すなわち、図２（ａ）)に図示した位置に移動し留まる。又、電気角を増やしていくと、図３に示すように、Ｖ相コイル１３の電流は「＋方向」に上がっていき、Ｖ相コイル１３の右側の永久磁石２３により生成される磁束とは同一方向対で反発し、左側の永久磁石２３により生成される磁束とは逆方向対で吸引するので、永久磁石２３は図中右方向の推力を受ける。又、Ｕ相電流は下がっていくので、永久磁石２３の右方向移動が容易になり、永久磁石２３は図上右方向に移動していく。 2A, as shown in FIG. 3, the U phase coil 11 is “+ current”, the W phase coil 15 is “−current”, and the V phase coil 13 “ Current 0 ". In FIG. 2A, the U-phase coil 11 is passing a current upward in the drawing, and the W-phase coil 15 is passing a current downward in the drawing. A rightward magnetic flux is generated from the U-phase coil 11 and a leftward magnetic flux is generated in the core 17 by the W-phase coil 15. These coil magnetic fluxes are opposite in direction to the magnetic flux generated by the permanent magnet 23 and are attracted to each other in pairs with the magnetic flux generated by the permanent magnet 23. That is, it moves to the position illustrated in FIG. As the electrical angle is increased, the current of the V-phase coil 13 increases in the “+ direction” as shown in FIG. 3, and the magnetic flux generated by the permanent magnet 23 on the right side of the V-phase coil 13 is Since the repulsion occurs in the same direction pair and the magnetic flux generated by the left permanent magnet 23 is attracted in the opposite direction pair, the permanent magnet 23 receives the thrust in the right direction in the figure. Further, since the U-phase current decreases, the rightward movement of the permanent magnet 23 becomes easy, and the permanent magnet 23 moves rightward in the figure.

そして、「電気角１５０°」まで移動した時の様子を図２（ｂ）に示す。そして、さらに電気角が進むとＵ相コイル１１の電流は「０」まで減少し、Ｖ相コイル１３及びＷ相コイル１５により図２（ｃ）に示す「電気角１８０°」の位置に移動する。このように、三相駆動コイル９は２磁極ピッチに３個のコイル、すなわち、Ｕ相コイル１１、Ｖ相コイル１３、Ｗ相コイル１５を配置して３相駆動とする構成になっているので滑らかな駆動が可能である。
同様に、「電気角１８０°」〜「電気角２４０°」までの移動の様子を、図２（ｃ）〜図２（ｅ）に示す。 FIG. 2B shows a state when the electric angle is moved to “electrical angle 150 °”. When the electrical angle further advances, the current of the U-phase coil 11 decreases to “0” and moves to the position of “electrical angle 180 °” shown in FIG. 2C by the V-phase coil 13 and the W-phase coil 15. . As described above, the three-phase drive coil 9 has a configuration in which three coils, that is, a U-phase coil 11, a V-phase coil 13, and a W-phase coil 15, are arranged at two magnetic pole pitches to perform three-phase drive. Smooth drive is possible.
Similarly, the state of movement from “electrical angle 180 °” to “electrical angle 240 °” is shown in FIGS.

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、本実施の形態の場合には、小径の永久磁石２３でも高い磁束密度が得られる。すなわち、本実施の形態の場合には、永久磁石２３から発生した磁束はＮ極からＳ極へ還流するが、その際、従来のように、コイルを通過して最外周のヨークまで行ってから戻ってくるのではなく、近くの磁束をよく通す材料からなるコア１７へ入り還流できるので、磁気抵抗を大幅に下げることができる。それによって、より小径の永久磁石２３でも高い磁束密度が得られるものである。又、三相駆動コイル９から発生した磁束も近くにあるコア１７へ入り還流できるので、磁気抵抗を大幅に下げることができ、より高い磁束密度を得られる。そして、それによって、より高い推力を得ることができるものである。
又、本実施の形態の場合には、推力発生により三相駆動コイル９と永久磁石２３は軸方向（図１中左右方向）に相対運動するが、コア１７についても同じ相対運動方向（軸方向）に配置されているので、永久磁石２３や三相駆動コイル９から発生した磁束の向きも軸方向（紙面左右方向）となり、それによって、磁束対の作用力を効率よく推力として用いることができる。
又、本実施の形態によるリニアモータを用いたアクチュエータの場合には、円柱状の永久磁石２３は軸方向に磁化されており、隣接する永久磁石２３、２３はお互いに同極同士が接している。又、三相駆動コイル９は永久磁石２３と同軸であり環状に配されている。又、コア１７も永久磁石２３と同軸であって三相駆動コイル９と永久磁石２３の間に配されている。このような構成は本実施の形態によるリニアモータの推力発生原理を理想的に満足するものであり、又、小型化（小径化）や低コスト化にも有利な形状である。
又、コアを用いる一般のリニアモータの場合は、永久磁石による吸引力の変動、すなわち、「コギング」による推力変動が大きな問題となっていた。本実施の形態の場合にはそのような「コギング」をなくすことができる。すなわち、三相駆動コイル９とコア１７は固定子１側にあり、永久磁石２３は可動子２１側にあり、コア１７を永久磁石２３の移動範囲より軸方向（図上左右方向に）に沿って長く設置しているので、三相駆動コイル９と永久磁石２３が相対運動をしても永久磁石２３の近傍には常にコア１７を配置することができ、且つ、略同一距離であって同一質量のコア１７を配置することができる。したがって、三相駆動コイル９と永久磁石２３が相対運動しても永久磁石２３がコア１７を吸引している力の変動、すなわち、「コギング」は殆ど発生しないものである。 As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
First, in the case of the present embodiment, a high magnetic flux density can be obtained even with the small-diameter permanent magnet 23. That is, in the case of the present embodiment, the magnetic flux generated from the permanent magnet 23 returns from the N pole to the S pole, but at this time, after passing through the coil to the outermost yoke, as in the prior art. Instead of returning, it can enter and return to the core 17 made of a material that allows the nearby magnetic flux to pass well, so that the magnetic resistance can be greatly reduced. Accordingly, a high magnetic flux density can be obtained even with a permanent magnet 23 having a smaller diameter. In addition, since the magnetic flux generated from the three-phase drive coil 9 can enter and return to the nearby core 17, the magnetic resistance can be greatly reduced, and a higher magnetic flux density can be obtained. And thereby, higher thrust can be obtained.
In the case of the present embodiment, the three-phase drive coil 9 and the permanent magnet 23 move relative to each other in the axial direction (left and right direction in FIG. 1) by the generation of thrust. ), The direction of the magnetic flux generated from the permanent magnet 23 and the three-phase drive coil 9 is also the axial direction (left and right direction in the drawing), whereby the acting force of the magnetic flux pair can be used efficiently as thrust. .
In the case of the actuator using the linear motor according to the present embodiment, the cylindrical permanent magnet 23 is magnetized in the axial direction, and the adjacent permanent magnets 23 and 23 are in contact with each other with the same polarity. . The three-phase drive coil 9 is coaxial with the permanent magnet 23 and is arranged in an annular shape. The core 17 is also coaxial with the permanent magnet 23 and is disposed between the three-phase drive coil 9 and the permanent magnet 23. Such a configuration ideally satisfies the principle of thrust generation of the linear motor according to the present embodiment, and is a shape advantageous for downsizing (smaller diameter) and cost reduction.
In the case of a general linear motor using a core, fluctuations in attractive force due to permanent magnets, that is, fluctuations in thrust due to “cogging” have been a major problem. In this embodiment, such “cogging” can be eliminated. That is, the three-phase drive coil 9 and the core 17 are on the stator 1 side, the permanent magnet 23 is on the mover 21 side, and the core 17 is moved in the axial direction (in the horizontal direction in the figure) from the range of movement of the permanent magnet 23. Therefore, even if the three-phase drive coil 9 and the permanent magnet 23 move relative to each other, the core 17 can always be disposed in the vicinity of the permanent magnet 23, and the core 17 can be disposed at substantially the same distance. A mass core 17 can be arranged. Therefore, even if the three-phase drive coil 9 and the permanent magnet 23 move relative to each other, fluctuations in the force with which the permanent magnet 23 attracts the core 17, that is, “cogging” hardly occurs.

次に、図４を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。図４は本実施の形態によるアクチュエータの構成を示す縦断面図である。まず、固定子１０１があり、この固定子１０１はハウジング１０３を備えている。このハウジング１０３は中空円筒形状をなしていて、その両端にはガイド部材１０５、１０７が取り付けられている。上記ハウジング１０３の内周側には複数組（この実施の形態の場合には三組）の三相駆動コイル１０９が設置されている。上記三相駆動コイル１０９は、Ｕ相コイル１１１、Ｖ相コイル１１３、Ｗ相コイル１１５とから構成されている。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing the configuration of the actuator according to the present embodiment. First, there is a stator 101, and the stator 101 includes a housing 103. The housing 103 has a hollow cylindrical shape, and guide members 105 and 107 are attached to both ends thereof. A plurality of sets (three sets in the case of this embodiment) of three-phase drive coils 109 are installed on the inner peripheral side of the housing 103. The three-phase drive coil 109 includes a U-phase coil 111, a V-phase coil 113, and a W-phase coil 115.

又、上記３組の三相駆動コイル９の内周側には可動子１２１が図４中左右方向に移動可能な状態で収容・配置されている。この可動子１２１は、円筒形状をなす複数個（この実施の形態の場合には１８個）の永久磁石１２３を軸方向に沿って積層・配置させた構成になっている。又、左右両端の永久磁石１２３、１２３には夫々端栓１２５、１２７が連結されている。又、上記複数個の永久磁石１２３の外周側には中空円筒形状をなすコア１１７が設置されている。 Further, a mover 121 is accommodated and arranged on the inner peripheral side of the three sets of three-phase drive coils 9 in a state in which it can move in the left-right direction in FIG. The mover 121 has a configuration in which a plurality of cylindrical magnets (18 in the case of this embodiment) permanent magnets 123 are stacked and arranged along the axial direction. Further, end plugs 125 and 127 are connected to the permanent magnets 123 and 123 at both the left and right ends, respectively. A core 117 having a hollow cylindrical shape is installed on the outer peripheral side of the plurality of permanent magnets 123.

すなわち、この第２の実施の形態の場合には、永久磁石１２３とコア１１７を可動子１２１側に配置し、永久磁石１２３とコア１１７を相対運動させない構成としている。それによって、コア１１７と永久磁石１２３の吸引力の変動ひいては「コギング」の発生をなくすことができるものである。つまり、永久磁石１２３とコア１１７は共に可動子１２１側にあって、永久磁石１２３とコア１１７が相対運動しないために、「コギング」は発生しないものである。
又、三相駆動コイル１０９側にコア１１７がないために、三相駆動コイル１０９側の固定子１０１を永久磁石１２３の相対移動範囲以上に長くする必要はなく、軸方向に沿って短い固定子１０１を構成することができるものである。
さらに、永久磁石１２３の相対移動距離（ストローク）を長くするためには、永久磁石１２３をその分だけ長くすれば良く、容易にストロークを長くすることができる。
その他、前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができる。
又、この第２の実施の形態の場合には、永久磁石１２３とコア１１７を可動子１２１側とし、三相駆動コイル１０９を固定子１０１側として説明したが、永久磁石１２３とコア１１７を固定側とし、三相駆動コイル１０９を可動側としても同様の効果を奏することができる。 That is, in the case of the second embodiment, the permanent magnet 123 and the core 117 are arranged on the mover 121 side, and the permanent magnet 123 and the core 117 are not moved relative to each other. As a result, fluctuations in the attractive force between the core 117 and the permanent magnet 123, and hence the occurrence of “cogging”, can be eliminated. That is, the permanent magnet 123 and the core 117 are both on the movable element 121 side, and the permanent magnet 123 and the core 117 do not move relative to each other, so that “cogging” does not occur.
Further, since there is no core 117 on the three-phase drive coil 109 side, it is not necessary to make the stator 101 on the three-phase drive coil 109 side longer than the relative movement range of the permanent magnet 123, and a short stator along the axial direction. 101 can be configured.
Furthermore, in order to lengthen the relative movement distance (stroke) of the permanent magnet 123, the permanent magnet 123 may be lengthened by that amount, and the stroke can be easily lengthened.
In addition, the same effects as in the case of the first embodiment can be obtained.
Further, in the case of the second embodiment, the permanent magnet 123 and the core 117 are described as the movable element 121 side, and the three-phase drive coil 109 is described as the stator 101 side. However, the permanent magnet 123 and the core 117 are fixed. The same effect can be obtained by using the three-phase drive coil 109 as the movable side.

尚、本発明は前記第１、第２の実施の形態に限定されるものではない。
まず、前記第１、第２の実施の形態の場合には、円筒形状のアクチュエータを例に挙げて説明したが、必ずしも円筒形状である必要はなく、例えば、角柱状でも同様の効果を奏することができる。
又、コアの材料である透磁率の良好な材料については、一般に軟鉄やニッケル系材料が挙げられるが、その透磁率が大きければ特に限定はされない。
さらに、透磁率の良好な材料からなるコアは永久磁石と三相駆動コイルの間にあればよく、前記第１、第２の実施の形態では、三相駆動コイル側に組込んだ例、永久磁石側
に組込んだ例を挙げたが、それらに限定されるものではない。 The present invention is not limited to the first and second embodiments.
First, in the case of the first and second embodiments, a cylindrical actuator has been described as an example. However, it is not always necessary to have a cylindrical shape. For example, the same effect can be obtained even in a prismatic shape. Can do.
In addition, materials having good magnetic permeability that are core materials generally include soft iron and nickel-based materials, but are not particularly limited as long as the magnetic permeability is large.
Furthermore, the core made of a material having good magnetic permeability may be provided between the permanent magnet and the three-phase drive coil. In the first and second embodiments, an example in which the core is incorporated on the three-phase drive coil side, Although the example incorporated in the magnet side was given, it is not limited to them.

本発明は、リニアモータと該リニアモータを用いるアクチュエータに係り、特に、小型化に起因した推力の低下を防止して高い推力を提供することができるように工夫したものに関し、例えば、精密位置決めシステムに使用するリニアモータと該リニアモータを用いるアクチュエータに好適である。 The present invention relates to a linear motor and an actuator using the linear motor, and more particularly to a device devised to prevent a reduction in thrust due to miniaturization and to provide high thrust, for example, a precision positioning system. It is suitable for the linear motor used for the actuator and the actuator using the linear motor.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの構成を示す縦断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of an actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、作動原理を順次説明するための図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a figure for demonstrating an operation principle one by one. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、駆動波形を示す特性図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a characteristic view which shows a drive waveform. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、アクチュエータの構成を示す縦断面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of an actuator. 従来例を示す図で、アクチュエータの構成を示す縦断面図である。It is a figure which shows a prior art example, and is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of an actuator.

符号の説明Explanation of symbols

１ 固定子
３ ハウジング
５ ガイド
７ ガイド
９ 三相駆動コイル
１１ Ｕ相コイル
１３ Ｖ相コイル
１５ Ｗ相コイル
１７ コア
２１ 可動子
２３ 永久磁石
２５ シャフト
２７ シャフト


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stator 3 Housing 5 Guide 7 Guide 9 Three-phase drive coil 11 U-phase coil 13 V-phase coil 15 W-phase coil 17 Core 21 Mover 23 Permanent magnet 25 Shaft 27 Shaft


Claims (8)

磁石とコイルの間に透磁率の良好な材料からなるコアを挿入・配置したことを特徴とするリニアモータ。 A linear motor characterized in that a core made of a material having good permeability is inserted and arranged between a magnet and a coil. 請求項１記載のリニアモータにおいて、
上記コアは上記磁石と上記コイルの相対運動方向に沿って配置されていることを特徴とするリニアモータ。 The linear motor according to claim 1,
The linear motor, wherein the core is disposed along a relative movement direction of the magnet and the coil. 請求項１記載のリニアモータにおいて、
円筒状の永久磁石の回りに環状のコイルが配置され、上記コアはそれら円筒状の永久磁石と環状のコイルの間に配置されていることを特徴とするリニアモータ。 The linear motor according to claim 1,
An annular coil is arranged around a cylindrical permanent magnet, and the core is arranged between the cylindrical permanent magnet and the annular coil. 請求項１記載のリニアモータにおいて、
上記コアは上記磁石が相対移動しても該磁石の近傍にあることを特徴とするリニアモータ。 The linear motor according to claim 1,
The linear motor according to claim 1, wherein the core is in the vicinity of the magnet even when the magnet is relatively moved. 請求項１記載のリニアモータにおいて、
上記コイルが固定側に配置され上記コア及び磁石が可動側に配置されていることを特徴とするリニアモータ。 The linear motor according to claim 1,
A linear motor characterized in that the coil is arranged on the fixed side and the core and magnet are arranged on the movable side. 請求項１記載のリニアモータにおいて、
上記コイルが可動側に配置され上記コア及び磁石が固定側に配置されていることを特徴とするリニアモータ。 The linear motor according to claim 1,
A linear motor characterized in that the coil is arranged on the movable side and the core and magnet are arranged on the fixed side. 請求項１記載のリニアモータにおいて、
２磁極ピッチに３個のコイルを配置したことを特徴とするリニアモータ。 The linear motor according to claim 1,
A linear motor characterized in that three coils are arranged at two magnetic pole pitches. 請求項１〜請求項７の何れかに記載のリニアモータを用いたことを特徴とするアクチュエータ。 An actuator using the linear motor according to any one of claims 1 to 7.
JP2008031905A 2008-02-13 2008-02-13 Linear motor an actuator Pending JP2009194991A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008031905A JP2009194991A (en) 2008-02-13 2008-02-13 Linear motor an actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008031905A JP2009194991A (en) 2008-02-13 2008-02-13 Linear motor an actuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009194991A true JP2009194991A (en) 2009-08-27

Family

ID=41076507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008031905A Pending JP2009194991A (en) 2008-02-13 2008-02-13 Linear motor an actuator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009194991A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013014780A1 (en) * 2011-07-28 2013-01-31 株式会社安川電機 Linear motor
JP2013121285A (en) * 2011-12-08 2013-06-17 Juki Corp Linear actuator and electronic component mounting apparatus

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04168966A (en) * 1990-10-31 1992-06-17 Shibaura Eng Works Co Ltd Linear motor device
JP2001086725A (en) * 1999-09-10 2001-03-30 Nikon Corp Linear motor, stage system, and aligner
JP2005204449A (en) * 2004-01-16 2005-07-28 Yushin Precision Equipment Co Ltd Linear motor with core
JP2005525773A (en) * 2002-01-25 2005-08-25 カリフォルニア・リニア・ディヴァイシズ・インコーポレイテッド Bearing surface layer for magnetic motor
JP2007282475A (en) * 2006-03-13 2007-10-25 Iai:Kk Linear motor and actuator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04168966A (en) * 1990-10-31 1992-06-17 Shibaura Eng Works Co Ltd Linear motor device
JP2001086725A (en) * 1999-09-10 2001-03-30 Nikon Corp Linear motor, stage system, and aligner
JP2005525773A (en) * 2002-01-25 2005-08-25 カリフォルニア・リニア・ディヴァイシズ・インコーポレイテッド Bearing surface layer for magnetic motor
JP2005204449A (en) * 2004-01-16 2005-07-28 Yushin Precision Equipment Co Ltd Linear motor with core
JP2007282475A (en) * 2006-03-13 2007-10-25 Iai:Kk Linear motor and actuator

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013014780A1 (en) * 2011-07-28 2013-01-31 株式会社安川電機 Linear motor
CN103718437A (en) * 2011-07-28 2014-04-09 株式会社安川电机 Linear motor
JPWO2013014780A1 (en) * 2011-07-28 2015-02-23 株式会社安川電機 Linear motor
JP2013121285A (en) * 2011-12-08 2013-06-17 Juki Corp Linear actuator and electronic component mounting apparatus
CN103166419A (en) * 2011-12-08 2013-06-19 Juki株式会社 Linear actuator and electronic element mounting device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9059626B2 (en) Electric machine with linear mover
JP2009189091A (en) Linear actuator
TWI481160B (en) A linear stepping motor and manufacturing method thereof
JP2007282475A (en) Linear motor and actuator
US20210313867A1 (en) Tubular linear motor
JP2010158140A (en) Linear motor
JP5525416B2 (en) Linear actuator
JP5589507B2 (en) Mover and stator of linear drive unit
JP2009194991A (en) Linear motor an actuator
JP2023029428A (en) Lens barrel and imaging device
JP5637458B2 (en) Linear motor
JP2011030411A (en) Linear motor
JP2012019613A (en) Linear motor
JP4972442B2 (en) Permanent magnet arrangement structure of direct acting motor
JP2007082352A (en) Linear actuator
JP5544538B2 (en) Embedded cylindrical linear motor
JP2007209175A (en) Three-phase linear motor
US11456654B2 (en) Tubular linear motor
JP6121784B2 (en) Brushless DC motor, lens barrel and imaging device
US20180069462A1 (en) Stepping Motor
JP2007209174A (en) Three-phase linear motor
JP6990143B2 (en) Cylindrical linear motor
JP2009112087A (en) Direct acting rotation actuator
JP2007209176A (en) Three-phase linear motor
JP5991841B2 (en) Cylindrical linear motor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110204

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121203

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130724

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20131114