JP2009194251A - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】固定層における磁化方向のばらつきを調整することができる磁気抵抗効果素子を提供する。
【解決手段】第1の固定層11上には第1のスペーサ層12が形成され、スペーサ層12上には自由層13が形成されている。自由層13上にはスペーサ層14が形成され、スペーサ層14上には固定層15が形成されている。さらに、固定層11下にはスペーサ層16が形成され、スペーサ層16下には固定層11における磁化方向を調整する調整用の固定層17が形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】第1の固定層11上には第1のスペーサ層12が形成され、スペーサ層12上には自由層13が形成されている。自由層13上にはスペーサ層14が形成され、スペーサ層14上には固定層15が形成されている。さらに、固定層11下にはスペーサ層16が形成され、スペーサ層16下には固定層11における磁化方向を調整する調整用の固定層17が形成されている。
【選択図】図1
Description
この発明は、磁気抵抗効果素子に関するものであり、例えばトンネル磁気抵抗効果素子を含むメモリセルを備えた磁気記憶装置に使用されるものである。
強磁性体/絶縁体/強磁性体のサンドイッチ構造で構成されるトンネル磁気抵抗効果(TMR:Tunneling MagnetoResistance effect)素子(あるいは磁気トンネル接合(MTJ:Magnetic tunnel junction)素子)を記憶素子として用いた磁気記憶装置(MRAM:Magnetoresistive Random Access Memory)への応用が提案されている(例えば、特許文献1参照)。これは一つの強磁性体層のスピンを固定し(固定層あるいはピン層)、もう一つの強磁性体層のスピンを制御する(自由層あるいはフリー層)ことによってサンドイッチ構造間の抵抗を変化させ、メモリとして利用するものである。
磁気記憶装置(MRAM)では、書き込み電流と読み出し電流の信号比が小さく、書き込みと読み出し動作が同じである。このため、読み出し時に、リードディスターブにより読み出し電流によって書き込みが行われてしまう誤書き込みを生じるなど問題がある。この対策として、読み出し電流及び書き込み電流のばらつきを数%に制御しなければならず、読み出し電流及び書き込み電流のばらつきを低減するためには磁気抵抗効果素子の固定層における磁化方向のばらつきを低減する必要が生じている。
特開2002−353418号公報
本発明は、固定層における磁化方向のばらつきを調整することができる磁気抵抗効果素子を提供することを目的とする。
本発明の一実施態様の磁気抵抗効果素子は、強磁性体からなる第1の固定層と、前記第1の固定層上に形成された絶縁体からなる第1のスペーサ層と、前記第1のスペーサ層上に形成された強磁性体からなる自由層と、前記自由層上に形成された非磁性体からなる第2のスペーサ層と、前記第2のスペーサ層上に形成された強磁性体からなる第2の固定層と、前記第1の固定層下に形成された非磁性体からなる第3のスペーサ層と、前記第3のスペーサ層下に形成された強磁性体からなる第3の固定層とを具備することを特徴とする。
本発明によれば、固定層における磁化方向のばらつきを調整することができる磁気抵抗効果素子を提供することが可能である。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。図1は、第1実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子の構造を示す断面図である。
まず、本発明の第1実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。図1は、第1実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子の構造を示す断面図である。
この第1実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子は、第1の固定層(ピン層)11上に第1のスペーサ層(トンネル絶縁膜)12を介して自由層(フリー層)13が形成された構造において、自由層13上に第2のスペーサ層14を介して第2の固定層15が形成され、さらに第1の固定層11下に第3のスペーサ層16を介して第3の固定層(調整用ピン層)17が形成された構造を有している。第3の固定層17は、第1の固定層11における磁化方向を調整する調整用固定層である。固定層11、15、17、及び自由層13は強磁性体から形成されている。スペーサ層12、14、16は非磁性体から形成されている。
詳述すると、固定層17上にはスペーサ層16が形成され、スペーサ層16上には固定層11が形成されている。固定層11上にはスペーサ層12が形成され、スペーサ層12上には自由層13が形成されている。さらに、自由層13上にはスペーサ層14が形成され、スペーサ層14上には固定層15が形成されている。
このような構造を有するトンネル磁気抵抗効果素子は以下のような動作原理を有する。図2(a)及び図2(b)に示すように、スピン注入時、注入される電子スピンの向きは、注入される先の固定層におけるスピンの向きと同じ向きのスピンが注入される傾向にある。よって、垂直型スピン注入法において自由層13を書き換えるとき、下向きにスピンを反転させる場合は、図2(a)に示すように、固定層15側から(上側から)電子を流し、固定層15に存在するスピン、この場合は下向きのスピンを自由層13に注入する。一方、上向きにスピンを反転させる場合は、図2(b)に示すように、(下側から)電子を流し、固定層15に存在するスピン、この場合は上向きのスピンを自由層13に注入する。
ここで、トンネル磁気抵抗効果素子を用いたMRAMでは、書き込み時及び読み出し時における電流経路が同じであり、これらの動作マージンが少なく、ディスターブ不良を起こしやすい欠点がある。このため、固定層11における磁化方向のばらつきを低減する必要がある。
しかし、図3(a)及び図3(b)に示すように、加工ダメージ等により固定層11における磁化方向がばらつき、このばらつきが問題となっている。
本発明の実施形態は、固定層11における磁化方向のばらつきを低減することを目的としている。その方法は、自由層13への書き込み動作を、固定層11にそのまま適用する方法である。すなわち、図3(b)に示すように、固定層11にスピン注入を行うことにより、固定層11におけるスピンの向き(磁化の向き)を調整する方法である。固定層11におけるスピンが上側を向いている場合、下向きスピンを注入すれば、より垂直性が崩れる方向になり、逆に固定層11におけるスピンの向きと同じ方向のスピン(上向きスピン)を注入すれば、磁化の異方性を強める方向に向かう。すなわち、固定層11における磁化方向のばらつきを低減することができる。
固定層15側から(上側から)スピンを注入する場合、自由層13への書き込み時と全く同じ方法で固定層11のスピンに影響を与える強さのスピン注入を行うことが可能である。しかし、従来のデュアル構造では、逆向きに固定層における磁化の違法性を強める効果は達成できない。よって、第1実施形態では、図1に示したように固定層11下に、スペーサ層16と、固定層11を調整するための固定層17を備える構造とする。これにより、固定層11にも、上下両方向のスピンが注入可能となり、固定層11における磁化方向のばらつきの調整が可能となる。
ここで、保持力の強さは、調整用の固定層17>TMR用の固定層11>自由層13となっている。また、スペーサ層16は交換結合によりシンセティックフリー層構造を取らないように、Ru等の交換結合値が高いものは使用しない。Cu等の交換結合値が低いものを使用することにより、シンセティックフリー層とは異なり、図1に示したように、スペーサ層16の上下で、磁化方向が同じ向きの固定層11、17が形成できる。
交換接合の高い材料としては、Ru、Re、Ir等が挙げられる。また、交換接合が低い材料としては、Ti、V、Cr、Cu、Zr、Nb、Mo、Ta、W、Re、Pt、Auなどが挙げられる。この交換結合値としては、“Magnetitude of the antiferromagnetic exchange-coupling strength JO (erg/cm2)”が挙げられる。前述した磁化方向のばらつきの調整は固定層に対して行うため、製品出荷時もしくは製品使用時に定期的に行うことにより効果を発揮できる。
第1実施形態によれば、固定層における磁化方向のばらつきを調整することができる磁気抵抗効果素子を提供できる。これにより、磁気抵抗効果素子を有するMRAMにおける読み出し電流及び書き込み電流のばらつきを低減でき、動作マージンを確保することができる。
[第2実施形態]
次に、この発明の第2実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。前記第1実施形態における構成と同様の部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
次に、この発明の第2実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。前記第1実施形態における構成と同様の部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
図4は、第2実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子の構造を示す断面図である。
固定層15上にはスペーサ層14が形成され、このスペーサ層14上には自由層13が形成されている。自由層13上にはスペーサ層(トンネル絶縁膜)12が形成され、このスペーサ層12上にはTMR用の固定層11が形成されている。さらに、固定層11上にはスペーサ層16が形成され、このスペーサ層16上には固定層17が形成されている。
前述した第1実施形態において、固定層15及び調整用の固定層17の保持力が両方とも、TMR用の固定層11より大きい場合、固定層15を形成する磁場中性膜の磁場および成膜温度により、TMR用の固定層11のスピンの向き(磁化の向き)がばらつく可能性がある。これに対して、第2実施形態では、TMR用の固定層11とその上の調整用の固定層17のスピンの向きが同じであることから、加工が容易であるという利点がある。その他の構成及び効果については第1実施形態と同様である。
[第3実施形態]
次に、この発明の第3実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。前記第1実施形態における構成と同様の部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
次に、この発明の第3実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。前記第1実施形態における構成と同様の部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
図5は、第3実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子の構造を示す断面図である。
第1実施形態では、固定層15及び調整用の固定層17における磁化方向が膜面に対して垂直な方向である垂直磁化であったが、この第3実施形態では固定層21及び調整用の固定層22における磁化方向が面内磁化となっている。
固定層22上にはスペーサ層16が形成され、このスペーサ層16上にはTMR用の固定層11が形成されている。固定層11上にはスペーサ層(トンネル絶縁膜)12が形成され、このスペーサ層12上には自由層13が形成されている。さらに、自由層13上にはスペーサ層14が形成され、このスペーサ層14上には固定層21が形成されている。
このような構造を有するトンネル磁気抵抗効果素子では、TMR用の固定層11に働くトルク成分が角度を持つため、固定層11における磁化方向の調整成分が大きくなる効果がある。その他の構成及び効果については第1実施形態と同様である。
[第4実施形態]
次に、この発明の第4実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。前記第1実施形態における構成と同様の部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
次に、この発明の第4実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子について説明する。前記第1実施形態における構成と同様の部分には同じ符号を付してその説明は省略する。
図6は、第4実施形態のトンネル磁気抵抗効果素子の構成を示す断面図である。
固定層11上にはスペーサ層(トンネル絶縁膜)12が形成され、このスペーサ層12上には自由層13が形成されている。自由層13上にはスペーサ層14が形成され、このスペーサ層14上には固定層15が形成されている。
第4実施形態の磁気抵抗効果素子は、調整用の固定層を有せず、デュアル構造を有している。そして、前述した書き込み方法により、自由層における磁化方向のばらつきを調整し、MR(MagnetoResistance)等の値をコントロールする。動作は以下のようになる。書き込み時に一方向の書き込み動作だけでなく、最初の書き込み動作を行い、次に読み出し動作を行い、次にその値から所望の値になるまで、上下から電流を流し、フィードバックする動作を行い、ベリファイ的な動作を行う。これにより、書き込み動作を、毎書き込み時に行う必要が生じるが、ばらつき低減効果を得ることができる。
また、前述した各実施形態はそれぞれ、単独で実施できるばかりでなく、適宜組み合わせて実施することも可能である。さらに、前述した各実施形態には種々の段階の発明が含まれており、各実施形態において開示した複数の構成要件の適宜な組み合わせにより、種々の段階の発明を抽出することも可能である。
11…第1の固定層(ピン層)、12…第1のスペーサ層(トンネル絶縁膜)、13…自由層(フリー層)、14…第2のスペーサ層、15…第2の固定層、16…第3のスペーサ層、17…第3の固定層(調整用ピン層)、21,22…固定層。
Claims (5)
- 強磁性体からなる第1の固定層と、
前記第1の固定層上に形成された絶縁体からなる第1のスペーサ層と、
前記第1のスペーサ層上に形成された強磁性体からなる自由層と、
前記自由層上に形成された非磁性体からなる第2のスペーサ層と、
前記第2のスペーサ層上に形成された強磁性体からなる第2の固定層と、
前記第1の固定層下に形成された非磁性体からなる第3のスペーサ層と、
前記第3のスペーサ層下に形成された強磁性体からなる第3の固定層と、
を具備することを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記第3のスペーサ層は、Ti、V、Cr、Cu、Zr、Nb、Mo、Ta、W、Re、Pt、Auのうちの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の固定層の保持力は、第2の固定層及び第3の固定層の保持力より小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の固定層における磁化の向きと前記第3の固定層における磁化の向きとが同じであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第2の固定層と前記第3の固定層との間に流す電流により、前記第1の固定層における磁化の向きを調整することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
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