JP2009192345A - 外観検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査試料に電子線ビームを繰り返し往復ライン走査させ、試料から発生する2次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求めるSEM式外観検査装置において、電子線ビームの振り戻しを、画像取得、プリチャージ又はディスチャージに用いる機能を備える。
【選択図】図1
Description
図2は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第1の実施形態を示す図である。図2(a)は検査ストライプ200をラインピッチ205毎に上から順に走査していく様子を示している。図2(b)は走査時の走査偏向器15の偏向電圧Vx、Vyを表している(この場合、走査偏向器15が静電偏向方式であることを想定している)。
図3は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第2の実施形態を示す図である。図3は、振り戻し(復路走査)に相当する右から左への走査(例えば211など)を用いて、検査走査212を行う前にライン205をプリチャージする例を示している。図中、走査211と212はずらして描かれているが、これは図を見やすくするためであり、この限りではない。即ち、実際はライン205内で全く同じ場所をなぞるように走査してもよい(以下の図も同様)。この場合図2と異なり、211、213、215、217(破線)は電子線ビームを照射するのみで検査画像データは取得しない。
図4は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第3の実施形態を示す図である。図4は図3と逆に、検査走査221の後に同じライン205を222で振り戻す(復路走査する)ことにより、検査走査によって印加されたチャージアップを復路走査により逃がす(ディスチャージ)する例である。
図5は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第4の実施形態を示す図である。図5は図4のディスチャージ方式の変形例であり、往路走査後の振り戻し(ディスチャージ)を、この往路走査したラインと別のラインを通す形態である。これにより、往路走査したラインを、ある一定のインターバルをおいてからディスチャージすることができる。
図6は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第5の実施形態を示す図である。図6は図3のプリチャージ方式の変形例であり、往路走査後の振り戻し走査(プリチャージ)を、この往路走査したラインと別のラインを通す形態である。これにより、往路走査したラインをある一定のインターバルをおいてからプリチャージすることができる。
図7は、本発明のSEM式外観検査装置1の動作についての第6の実施形態を示す図である。図7(a)は、同じライン205を両方向から重ねて走査する加算方式を示している。即ち、251、252、253、254と4回加算(4回画像を取得)して次のラインに進む例を示している。これにより振り戻しによる無駄時間を発生させることなく、高スループットな加算走査を実現できる。
Claims (18)
- 試料に電子線ビームを繰り返し往復ライン走査させ、該試料から発生する2次電子または反射電子に基づき生成された画像から欠陥部を求める外観検査方法において、
前記電子線ビームの往路走査により画像取得を行い、
前記電子線ビームの復路走査により画像取得、プリチャージまたはディスチャージを行うことを特徴とする外観検査方法。 - 前記電子線ビームを繰り返し往復ライン走査するに際し、
前記往路走査の走査ラインおよび前記復路走査の走査ラインをそれぞれ制御することを特徴とする請求項1に記載の外観検査方法。 - 前記電子線ビームの往路走査によりLライン目(Lは自然数)を走査した後、復路走査により(L−M)ライン目(MはLより小さい自然数)を走査するように制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査方法。
- 前記復路走査により前記(L−M)ライン目を走査した後、往路走査により(L+N)ライン目(Nは自然数)を走査するように制御することを特徴とする請求項3に記載の外観検査方法。
- 前記電子線ビームの往路走査によりLライン目(Lは自然数)を走査した後、復路走査により(L+M)ライン目(Mは自然数)を走査するように制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査方法。
- 前記復路走査により前記(L+M)ライン目を走査した後、往路走査により(L−N)ライン目(NはLより小さい自然数)を走査するように制御することを特徴とする請求項5に記載の外観検査方法。
- 前記電子線ビームを繰り返し往復ライン走査するに際し、同一ラインに対して連続して複数回、前記電子線ビームで往復走査するように制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査方法。
- 前記復路走査を往路走査で構成することを特徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載の外観検査方法。
- 前記電子線ビームの走査方法に関する指示をGUIにより入力することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の外観検査方法。
- 試料の欠陥を検出する外観検査装置であって、
前記試料に電子線ビームを繰り返し往復ライン走査させる走査手段と、
前記試料から発生する2次電子または反射電子に基づき画像を生成する画像取得手段と、
該画像取得手段により生成された画像から欠陥を検出する欠陥検出手段と、
前記走査手段による電子線ビームの走査を制御する制御手段と、
該制御手段により制御する前記電子線ビームの走査条件を設定する設定手段と、を備え、
前記設定手段が、前記電子線ビームの往路走査による動作を、画像取得、プリチャージ又はディスチャージのいずれかに設定する手段を有する外観検査装置。 - 前記設定手段が、前記走査手段により走査させる前記電子線ビームの往路走査の走査ラインおよび復路走査の走査ラインを設定する手段を有する請求項10に記載の外観検査装置。
- 前記設定手段が、前記電子線ビームの往路走査によりLライン目(Lは自然数)を走査した後、復路走査により(L−M)ライン目(MはLより小さい自然数)を走査するよう
に設定する手段を有する請求項10又は11に記載の外観検査装置。 - 前記設定手段が、前記復路走査により前記(L−M)ライン目を走査した後、往路走査により(L+N)ライン目(Nは自然数)を走査するように設定する手段を有する請求項12に記載の外観検査装置。
- 前記設定手段が、前記電子線ビームの往路走査によりLライン目(Lは自然数)を走査した後、復路走査により(L+M)ライン目(Mは自然数)を走査するように設定する手段を有する請求項10又は11に記載の外観検査装置。
- 前記設定手段が、前記復路走査により前記(L+M)ライン目を走査した後、往路走査により(L−N)ライン目(NはLより小さい自然数)を走査するように設定する手段を有する請求項14に記載の外観検査装置。
- 前記設定手段が、前記電子線ビームで同一ラインを連続して往復走査する回数を設定する手段を有する請求項10又は11に記載の外観検査装置。
- 前記復路走査を往路走査で構成する請求項12乃至15のいずれかに記載の外観検査装置。
- 前記設定手段がGUIである請求項10乃至17のいずれかに記載の外観検査装置。
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