JP2009191924A - Gate valve - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空容器等の開口を塞ぐゲートバルブに関する。 The present invention relates to a gate valve that closes an opening of a vacuum vessel or the like.
ゲートバルブには、開口を塞ぐ弁体を開口の正面まで移動させる昇降駆動機構と、弁体を開口に押し付ける加圧機構が必要である（特許文献１参照）。特許文献１に開示されたゲートバルブにおいては、昇圧駆動機構にモータ等が用いられ、加圧機構に加圧気体源が用いられている。 The gate valve requires an elevating drive mechanism that moves the valve body that closes the opening to the front of the opening, and a pressurizing mechanism that presses the valve body against the opening (see Patent Document 1). In the gate valve disclosed in Patent Document 1, a motor or the like is used for the boost drive mechanism, and a pressurized gas source is used for the pressurization mechanism.
従来のゲートバルブには、昇降駆動機構と加圧機構との２つの駆動機構が準備されている。 A conventional gate valve is provided with two drive mechanisms, a lift drive mechanism and a pressurization mechanism.
本発明の目的は、駆動機構を簡単化したゲートバルブを提供することである。 An object of the present invention is to provide a gate valve with a simplified drive mechanism.
本発明の一観点によると、
回転軸(25)と、
前記回転軸に取り付けられ、該回転軸を中心として揺動する支持アーム(28)と、
前記支持アームに取り付けられて、該支持アームの揺動により、前記回転軸を中心とした回転方向に移動し、開口を塞ぐことができる弁体(16)と、
前記弁体が前記開口の正面からずれた位置から、該開口の正面まで移動するように前記回転軸を第１の方向に移動可能に支持する回転軸支持体(18)と、
前記第１の方向に移動可能に支持された移動部材(40)と、
前記移動部材と前記回転軸支持体とを弾性的に接続し、前記第１の方向に関する両者の相対位置関係が変化すると弾性変形して復元力を発生する弾性体(45)と、
前記移動部材を前記第１の方向に移動させる駆動機構(48)と、
前記回転軸支持部材と前記移動部材との相対位置関係の変化を、前記回転軸の回転方向の運動に変換する変換機構(35,36,40C)と、
前記回転軸支持体を前記第１の方向に移動させて前記弁体を前記開口の正面に位置させたとき、該回転軸支持体の第１の方向へのさらなる移動を禁止するストッパ(20)と
を有し、
前記駆動機構は、前記回転軸支持体が前記ストッパで第１の方向への移動が禁止されている状態で、前記移動部材をさらに前記第１の方向に移動させることができ、前記変換機構は、該移動部材の該第１の方向へのさらなる移動を、前記弁体が前記開口を塞ぐように前記回転軸を回転させる回転力に変換するゲートバルブが提供される。
According to one aspect of the invention,
Rotation axis (25),
A support arm (28) attached to the rotating shaft and swinging about the rotating shaft;
A valve body (16) attached to the support arm, moved in the rotational direction around the rotation axis by swinging the support arm, and closing the opening;
A rotating shaft support (18) that supports the rotating shaft so as to be movable in a first direction so that the valve body moves from a position shifted from the front of the opening to the front of the opening;
A moving member (40) supported to be movable in the first direction;
An elastic body (45) that elastically connects the moving member and the rotating shaft support, and elastically deforms to generate a restoring force when the relative positional relationship between the two in relation to the first direction changes;
A drive mechanism (48) for moving the moving member in the first direction;
A change mechanism (35, 36, 40C) that converts a change in the relative positional relationship between the rotary shaft support member and the moving member into a motion in the rotational direction of the rotary shaft;
A stopper (20) for prohibiting further movement of the rotating shaft support in the first direction when the rotating shaft support is moved in the first direction and the valve body is positioned in front of the opening. And
The drive mechanism can further move the moving member in the first direction in a state where the rotation shaft support is prohibited from moving in the first direction by the stopper. A gate valve is provided that converts further movement of the moving member in the first direction into a rotational force that rotates the rotating shaft so that the valve body closes the opening.
回転軸支持体と移動部材とを、１つの駆動機構で移動させることができる。両者を同時に移動させると、弁体を開口の正面に配置することができる。この状態で、移動部材のみを移動させると、弁体で開口を塞ぐことができる。 The rotating shaft support and the moving member can be moved by one drive mechanism. When both are moved simultaneously, the valve body can be disposed in front of the opening. When only the moving member is moved in this state, the opening can be closed with the valve body.
図１に、実施例によるゲートバルブの断面図を示す。ゲートバルブ筐体１０の下方に駆動部支持体１１が取り付けられている。ゲートバルブ筐体１０の紙面の背面側に真空容器が連続しており、真空容器とゲートバルブ筐体１０との間の隔壁に、開口１５が形成されている。ゲートバルブ筐体１０内に、弁体１６が配置されている。弁体１６は、開口１５を塞ぐことができる形状を有する。 FIG. 1 is a sectional view of a gate valve according to an embodiment. A drive support 11 is attached below the gate valve housing 10. A vacuum vessel is continuous with the back side of the paper surface of the gate valve housing 10, and an opening 15 is formed in a partition wall between the vacuum vessel and the gate valve housing 10. A valve body 16 is disposed in the gate valve housing 10. The valve body 16 has a shape capable of closing the opening 15.
ゲートバルブ筐体１０内に、中空の水平支持部１８Ａが配置されている。水平支持部１８Ａの中央から、中空の垂直支持部１８Ｂが下方に延びる。垂直支持部１８Ｂは、ゲートバルブ筐体１０の下側の壁面に設けられた貫通孔を通過して、ゲートバルブ筐体１０の外側まで導出されている。垂直支持部１８Ｂが壁面を貫通する部分に真空シール１９が配置されている。真空シール１９は、ゲートバルブ筐体１０内の空間を、外部の空間から気密に隔離する。 A hollow horizontal support portion 18 </ b> A is disposed in the gate valve housing 10. A hollow vertical support portion 18B extends downward from the center of the horizontal support portion 18A. The vertical support portion 18 </ b> B passes through a through hole provided in the lower wall surface of the gate valve housing 10 and is led out to the outside of the gate valve housing 10. A vacuum seal 19 is disposed at a portion where the vertical support portion 18B penetrates the wall surface. The vacuum seal 19 hermetically isolates the space in the gate valve housing 10 from the external space.
垂直支持部１８Ｂの下端から水平方向に張り出し部１８Ｃが張り出している。駆動部支持体１１にリニアガイド２２が取り付けられている。張り出し部１８Ｃが、リニアガイド２２により垂直方向に案内される。水平支持部１８Ａ、垂直支持部１８Ｂ、及び張り出し部１８Ｃは、相互に固定されており、回転軸支持体１８を構成する。回転軸支持体１８の水平方向の位置は、リニアガイド２２により拘束される。 A projecting portion 18C projects in the horizontal direction from the lower end of the vertical support portion 18B. A linear guide 22 is attached to the drive unit support 11. The overhanging portion 18 </ b> C is guided in the vertical direction by the linear guide 22. The horizontal support portion 18A, the vertical support portion 18B, and the overhang portion 18C are fixed to each other, and constitute the rotating shaft support body 18. The position of the rotary shaft support 18 in the horizontal direction is restricted by the linear guide 22.
水平支持部１８Ａ内に、回転軸２５が収容されている。回転軸２５の両端は、水平支持部１８Ａの端面を貫通して、水平支持部１８Ａの外部まで導出されている。回転軸２５は、水平支持部１８Ａの端面の貫通部分に配置された軸受け２６により、水平な回転中心を中心として回転可能に支持されている。さらに、貫通部分にＯリング２７が配置されており、水平支持部１８Ａ内の空間を、ゲートバルブ筐体１０内の弁体１６が配置された空間から気密に隔離している。 A rotating shaft 25 is accommodated in the horizontal support portion 18A. Both ends of the rotary shaft 25 penetrate the end face of the horizontal support portion 18A and are led out to the outside of the horizontal support portion 18A. The rotation shaft 25 is supported by a bearing 26 disposed in a penetrating portion of the end face of the horizontal support portion 18A so as to be rotatable around a horizontal rotation center. Further, an O-ring 27 is disposed in the penetrating portion, and the space in the horizontal support portion 18A is airtightly isolated from the space in which the valve body 16 in the gate valve housing 10 is disposed.
回転軸２５の両端の各々に、上方に延びる支持アーム２８が取り付けられている。支持アーム２８の先端に、連結部材２９を介して弁体１６が取り付けられている。弁体１６は連結部材２９に固定され、連結部材２９は、回転軸２５に平行な仮想直線を中心として揺動可能に支持されている。Ｕ字状の板ばね３０が、支持アーム２８と弁体１６とを接続する。弁体１６は、通常は板ばね３０によって中立の姿勢を保持する。板ばね３０は、連結部材２９が揺動して中立の姿勢から変化したとき、弁体１６を中立の姿勢に戻す復元力を発生する。 Support arms 28 extending upward are attached to both ends of the rotary shaft 25. The valve body 16 is attached to the tip of the support arm 28 via a connecting member 29. The valve body 16 is fixed to a connecting member 29, and the connecting member 29 is supported so as to be swingable about a virtual straight line parallel to the rotation shaft 25. A U-shaped leaf spring 30 connects the support arm 28 and the valve body 16. The valve body 16 normally maintains a neutral posture by the leaf spring 30. The leaf spring 30 generates a restoring force that returns the valve body 16 to the neutral posture when the connecting member 29 swings and changes from the neutral posture.
回転軸２５の中間点から、回転軸２５の半径方向に駆動アーム３５が延びる。駆動アーム３５の先端は、垂直支持部１８Ｂの内部空洞まで達する。垂直支持部１８Ｂの内部空洞に、その下端から昇降ロッド４０Ａが挿入されている。昇降ロッド４０Ａの下端に昇降板４０Ｂが固定されている。昇降ロッド４０Ａと昇降板４０Ｂとが、昇降部材４０を構成する。昇降板４０Ｂは、昇降駆動機構４８の駆動軸に取り付けられており、昇降部材４０が上下に駆動される。昇降駆動機構４８は、例えばエアシリンダにより構成される。 A drive arm 35 extends in the radial direction of the rotary shaft 25 from an intermediate point of the rotary shaft 25. The tip of the drive arm 35 reaches the internal cavity of the vertical support portion 18B. A lifting rod 40A is inserted into the internal cavity of the vertical support portion 18B from its lower end. A lifting plate 40B is fixed to the lower end of the lifting rod 40A. The elevating rod 40A and the elevating plate 40B constitute the elevating member 40. The elevating plate 40B is attached to the drive shaft of the elevating drive mechanism 48, and the elevating member 40 is driven up and down. The raising / lowering drive mechanism 48 is comprised by the air cylinder, for example.
回転軸支持体１８から下方に複数の拘束ロッド４２が伸びる。拘束ロッド４２の各々は、昇降板４０Ｂに形成された貫通孔を通過して昇降板４０Ｂの下方まで達する。拘束ロッド４２の下端に鍔部が設けられている。昇降板４０Ｂが鍔部に接触することにより、昇降板４０Ｂと回転軸支持体１８との間隔の最大値が制限される。 A plurality of restraining rods 42 extend downward from the rotating shaft support 18. Each of the restraining rods 42 passes through a through hole formed in the lifting plate 40B and reaches the lower side of the lifting plate 40B. A collar portion is provided at the lower end of the restraining rod 42. When the elevating plate 40B comes into contact with the flange portion, the maximum value of the distance between the elevating plate 40B and the rotary shaft support 18 is limited.
昇降板４０Ｂと回転軸支持体１８との間にコイルばね４５が、圧縮された状態で配置されている。コイルばね４５は、その復元力により、昇降板４０Ｂと回転軸支持体１８とに、両者の間隔を広げる向きの力を印加している。 A coil spring 45 is disposed in a compressed state between the elevating plate 40B and the rotary shaft support 18. The coil spring 45 applies to the lifting plate 40B and the rotating shaft support 18 a force in a direction that widens the distance between the two by the restoring force.
ゲートバルブ筐体１０の下側の壁面の外側の表面に、ストッパ２０が装着されている。回転軸支持体１８を上昇させると、その張り出し部１８Ｃがストッパ２０に接触する。ストッパ２０は、回転軸支持体１８のそれ以上の上昇を禁止する。 A stopper 20 is mounted on the outer surface of the lower wall surface of the gate valve housing 10. When the rotating shaft support 18 is raised, the projecting portion 18 </ b> C comes into contact with the stopper 20. The stopper 20 prohibits further raising of the rotating shaft support 18.
図２に、図１の一点鎖線２Ａ−２Ａにおける断面図を示す。図２の一点鎖線１Ａ−１Ａにおける断面図が図１に相当する。ゲートバルブ筐体１０に真空容器１２が連結され、反対側にロードロックチャンバ１３が連結されている。真空容器１２とゲートバルブ筐体１０との連結部に開口１５が設けられている。 2 is a cross-sectional view taken along one-dot chain line 2A-2A in FIG. A cross-sectional view taken along one-dot chain line 1A-1A in FIG. 2 corresponds to FIG. A vacuum vessel 12 is connected to the gate valve housing 10 and a load lock chamber 13 is connected to the opposite side. An opening 15 is provided at a connecting portion between the vacuum vessel 12 and the gate valve housing 10.
支持アーム２８の先端に、連結部材２９を介して弁体１６が取り付けられている。弁体１６の、開口１５側を向く面に、Ｏリング１７が装着されている。Ｏリング１７は、弁体１６が開口１５を塞いだときに、開口１５の外周よりもやや外側においてゲートバルブ筐体１０の内面に密着し、気密性を確保する。 The valve body 16 is attached to the tip of the support arm 28 via a connecting member 29. An O-ring 17 is attached to the surface of the valve body 16 facing the opening 15 side. When the valve body 16 closes the opening 15, the O-ring 17 is in close contact with the inner surface of the gate valve housing 10 slightly outside the outer periphery of the opening 15 to ensure airtightness.
駆動アーム３５の下端にローラ３６が取り付けられている。昇降ロッド４０Ａの上端に斜行面４０Ｃが形成されている。斜行面４０Ｃは、ローラ３６に接触することにより、ローラ３６の位置を拘束する。垂直支持部１８Ｂに対して昇降ロッド４０Ａを上下方向に移動させると、ローラ３６の位置が図２の左右方向に変位する。これより、駆動アーム３５が回転軸２５を中心として揺動する。 A roller 36 is attached to the lower end of the drive arm 35. An oblique surface 40C is formed at the upper end of the lifting rod 40A. The oblique surface 40 </ b> C restrains the position of the roller 36 by contacting the roller 36. When the lifting rod 40A is moved in the vertical direction with respect to the vertical support portion 18B, the position of the roller 36 is displaced in the horizontal direction in FIG. As a result, the drive arm 35 swings around the rotation shaft 25.
昇降ロッド４０Ａに反発ローラ４１が取り付けられている。反発ローラ４１は、垂直支持部１８Ｂの内面に接触し、昇降ロッド４０Ａに反発力を印加する。 A repulsion roller 41 is attached to the lifting rod 40A. The repulsion roller 41 contacts the inner surface of the vertical support portion 18B and applies a repulsive force to the lifting rod 40A.
図１及び図２は、回転軸支持体１８が下降し、弁体１６が開口１５の正面からずれた位置に配置されている状態を示している。 1 and 2 show a state where the rotary shaft support 18 is lowered and the valve body 16 is arranged at a position displaced from the front of the opening 15.
図３及び図４に、回転軸支持体１８を上昇させ、弁体１６が開口１５の正面に位置した状態を示す。昇降駆動機構４８により、昇降部材４０を上昇させたとき、回転軸支持体１８も、昇降部材１８と共に上昇する。回転軸支持体１８と昇降部材４０との相対位置関係は、図１及び図２の状態から変化しない。回転軸支持体１８の張り出し部１８Ｃがストッパ２０に接触するまで、昇降部材４０を上昇させる。このとき、弁体１６が開口１５の正面に位置する。開口１５の開口面と弁体１６との間には、間隙が存在する。 3 and 4 show a state in which the rotary shaft support 18 is raised and the valve body 16 is positioned in front of the opening 15. When the elevating member 40 is raised by the elevating drive mechanism 48, the rotary shaft support 18 is also raised together with the elevating member 18. The relative positional relationship between the rotary shaft support 18 and the elevating member 40 does not change from the state shown in FIGS. The elevating member 40 is raised until the projecting portion 18 </ b> C of the rotating shaft support 18 contacts the stopper 20. At this time, the valve body 16 is positioned in front of the opening 15. There is a gap between the opening surface of the opening 15 and the valve body 16.
図５及び図６に、弁体１６が開口１５を塞いだ状態を示す。回転軸支持体１８がストッパ２０によって上方への移動が禁止された後も、さらに昇降部材４０を上昇させる。このとき、昇降部材４０の昇降板４０Ｂと、回転軸支持体１８との間隔が狭まり、コイルばね４５が縮む。 5 and 6 show a state in which the valve body 16 blocks the opening 15. Even after the rotation shaft support 18 is prohibited from moving upward by the stopper 20, the elevating member 40 is further raised. At this time, the interval between the lifting plate 40B of the lifting member 40 and the rotary shaft support 18 is narrowed, and the coil spring 45 is contracted.
回転軸支持体１８に対して昇降部材４０が上昇すると、ローラ３６が、斜行面４０Ｃに接触することにより、図６の右方に移動する。これにより、回転軸２５が図６において反時計方向に回転すると同時に、支持アーム２８が回転軸２５を中心として開口１５に近づく向きに回転する。弁体１６に装着されたＯリング１７が、開口１５の開口面外周よりもやや外側において、ゲートバルブ筐体１０の内面に密着し、開口１５が塞がれる。このように、斜行面４０Ｃ、ローラ３６、及び駆動アーム３５が、並進運動を回転運動に変換する運動変換機構として作用する。 When the elevating member 40 rises with respect to the rotary shaft support 18, the roller 36 moves to the right in FIG. 6 by coming into contact with the oblique surface 40C. As a result, the rotation shaft 25 rotates counterclockwise in FIG. 6, and at the same time, the support arm 28 rotates about the rotation shaft 25 toward the opening 15. The O-ring 17 attached to the valve body 16 is in close contact with the inner surface of the gate valve housing 10 slightly outside the outer periphery of the opening surface of the opening 15 to close the opening 15. As described above, the oblique surface 40C, the roller 36, and the drive arm 35 function as a motion conversion mechanism that converts translational motion into rotational motion.
このとき、弁体１６に対して、図６の右向きの反作用が生じる。この反作用は、昇降ロッド４０Ａを、垂直支持部１８Ｂの左側の内面に押し付ける向きに働く。昇降ロッド４０Ａは、反発ローラ４１を介して垂直支持部１８Ｂの内面から反発力を受ける。このため、昇降ロッド４０Ａが垂直支持部１８Ｂの内面に接触することを防止すると共に、弁体１６を十分な力で開口１５の縁に押し付けることができる。 At this time, a reaction in the right direction in FIG. This reaction acts in a direction to press the lifting rod 40A against the left inner surface of the vertical support portion 18B. The elevating rod 40A receives a repulsive force from the inner surface of the vertical support portion 18B via the repulsive roller 41. For this reason, the lifting rod 40A can be prevented from contacting the inner surface of the vertical support portion 18B, and the valve body 16 can be pressed against the edge of the opening 15 with sufficient force.
支持アーム２８の回転により、弁体１６の姿勢が変化する。弁体１６に装着されたＯリング１７が開口１５の縁に接触すると、弁体１６が開口１５の開口面に平行になるように、弁体１６の姿勢が変化し、支持アーム２８と連結部材２９とのなす角度が変化する。このとき、Ｕ字状の板ばね３０が弾性変形する。 As the support arm 28 rotates, the posture of the valve body 16 changes. When the O-ring 17 attached to the valve body 16 contacts the edge of the opening 15, the posture of the valve body 16 changes so that the valve body 16 is parallel to the opening surface of the opening 15, and the support arm 28 and the connecting member The angle formed by 29 changes. At this time, the U-shaped leaf spring 30 is elastically deformed.
昇降部材４０が下降すると、斜行面４０Ｃに対向し、斜行面４０Ｃにほぼ平行に形成された斜行面がローラ３６に接触し、図３及び図４に示した状態に戻る。このとき、板ばね３０の復元力により、弁体１６の姿勢も元に戻る。 When the elevating member 40 is lowered, the oblique surface formed opposite to the oblique surface 40C and substantially parallel to the oblique surface 40C comes into contact with the roller 36 and returns to the state shown in FIGS. At this time, the posture of the valve body 16 also returns to the original state due to the restoring force of the leaf spring 30.
上記実施例では、回転軸支持体１８と、昇降部材４０とを、相対位置関係を保ったまま同一方向（上下方向）に並進移動させることにより、弁体１６の昇降を行う。回転軸支持体１８を静止させて、昇降部材４０のみを上下方向に並進移動させることにより、開口１５の開口面と弁体１６との間隔を調節するとともに、弁体１６を開口１５に押し付けることができる。 In the above embodiment, the valve body 16 is moved up and down by translating the rotating shaft support 18 and the lifting member 40 in the same direction (vertical direction) while maintaining the relative positional relationship. The rotary shaft support 18 is stopped and only the elevating member 40 is translated in the vertical direction, thereby adjusting the distance between the opening surface of the opening 15 and the valve body 16 and pressing the valve body 16 against the opening 15. Can do.
弁体１６の上下移動と、弁体１６の押し付けは、１つの昇降駆動機構４８により実現される。また、回転軸支持体１８と昇降部材４０とを同時に昇降させる制御と、昇降部材４０のみを昇降させる制御との切り替えは、ストッパ２０とコイルばね４５とが協働することにより行われる。このように、弁体１６の上下移動と、押し付けとに、別々の駆動機構を準備する必要がない。 The vertical movement of the valve body 16 and the pressing of the valve body 16 are realized by a single lifting drive mechanism 48. In addition, switching between the control for raising and lowering the rotary shaft support 18 and the elevating member 40 simultaneously and the control for elevating only the elevating member 40 are performed by cooperation of the stopper 20 and the coil spring 45. Thus, it is not necessary to prepare separate drive mechanisms for the vertical movement and pressing of the valve body 16.
上記実施例では、回転軸支持体１８の内側の空間とゲートバルブ筐体１０内の空間とが、Ｏリング２７により気密に隔離され、ゲートバルブ筐体１０内の空間とその外部の空間とが、真空シール１９によって気密に隔離されている。ローラ３６及び斜行面４０Ｃを含む運動変換機構、及び昇降駆動機構４８は、ゲートバルブ筐体１０内の空間から隔離される。このため、ゲートバルブ筐体１０内の空間へのパーティクルの侵入を防止することができる。 In the above embodiment, the space inside the rotary shaft support 18 and the space in the gate valve housing 10 are hermetically separated by the O-ring 27, and the space in the gate valve housing 10 and the space outside thereof are separated. The vacuum seal 19 is hermetically isolated. The motion conversion mechanism including the roller 36 and the inclined surface 40 </ b> C and the lift drive mechanism 48 are isolated from the space in the gate valve housing 10. For this reason, it is possible to prevent particles from entering the space in the gate valve housing 10.
なお、ゲートバルブ筐体１０内の空間を真空排気する必要がない場合、例えば、ゲートバルブがロードロックチャンバの大気側の開口を塞ぐ場合には、これらの真空シール機構を設けなくてもよい。 When the space in the gate valve housing 10 does not need to be evacuated, for example, when the gate valve closes the opening on the atmosphere side of the load lock chamber, these vacuum seal mechanisms need not be provided.
また、上記実施例では、支持アーム２８に対して揺動可能に支持された連結部材２９を用いて弁体１６が支持アーム２８に支持されている。連結部材２９をなくし、板ばね３０のみにより、弁体１６を弾性的に支持することも可能である。 Further, in the above embodiment, the valve body 16 is supported by the support arm 28 using the connecting member 29 that is swingably supported with respect to the support arm 28. It is also possible to eliminate the connecting member 29 and elastically support the valve body 16 only by the leaf spring 30.
図７に、他の実施例によるゲートバルブの断面図を示し、図８に、運動方向変換機構の正面図を示す。以下、図１に示した実施例によるゲートバルブとの相違点に着目して説明する。回転軸２５から半径方向に延びる駆動アーム３５が、垂直支持部１８Ｂ内の空洞を通過し、垂直支持部１８Ｂの下端よりも下方まで突出している。この突出部に、運動変換機構が配置されている。 FIG. 7 shows a cross-sectional view of a gate valve according to another embodiment, and FIG. 8 shows a front view of a motion direction conversion mechanism. Hereinafter, description will be made by paying attention to different points from the gate valve according to the embodiment shown in FIG. A drive arm 35 extending in the radial direction from the rotating shaft 25 passes through the cavity in the vertical support portion 18B and protrudes below the lower end of the vertical support portion 18B. A motion conversion mechanism is disposed on the protruding portion.
図８に示すように、回転軸支持体１８に支点部材６０が固定され、昇降板４０Ｂに力点部材４０Ｄが固定されている。Ｌ字回転部材６１の一端が支点部材６０に、支点を中心として揺動可能に支持されている。Ｌ字回転部材６１の他端に、力点ローラ６３が取り付けられており、力点ローラ６３は、力点部材４０Ｄに形成された溝４０Ｅ内に挿入されている。回転軸支持体１８に対して昇降板４０Ｂが上下方向に移動すると、力点ローラ６３が上下に移動するため、Ｌ字回転部材６１が支点を中心として回転移動する。 As shown in FIG. 8, a fulcrum member 60 is fixed to the rotating shaft support 18, and a force point member 40D is fixed to the lifting plate 40B. One end of the L-shaped rotating member 61 is supported by the fulcrum member 60 so as to be swingable about the fulcrum. A power point roller 63 is attached to the other end of the L-shaped rotating member 61, and the power point roller 63 is inserted into a groove 40E formed in the power point member 40D. When the elevating plate 40B moves in the vertical direction with respect to the rotary shaft support 18, the power roller 63 moves up and down, so that the L-shaped rotating member 61 rotates around the fulcrum.
駆動アーム３５の下端に、溝３５Ａが設けられている。Ｌ字回転部材６１の中間部分に作用点ローラ６２が取り付けられている。作用点ローラ６２が、溝３５Ａ内に挿入されている。Ｌ字回転部材６１が回転運動すると、作用点ローラ６２も支点部材６０で規定される支点を中心として回転する。この回転運動は、図８において左右方向の運動成分を持つ。このため、駆動アーム３５の下端が左右方向に移動する。駆動アーム３５の下端の左右方向の移動は、図７に示した回転軸２５を回転させる作用を持つ。 A groove 35 </ b> A is provided at the lower end of the drive arm 35. An action point roller 62 is attached to an intermediate portion of the L-shaped rotating member 61. The action point roller 62 is inserted into the groove 35A. When the L-shaped rotating member 61 rotates, the action point roller 62 also rotates about the fulcrum defined by the fulcrum member 60. This rotational motion has a horizontal motion component in FIG. For this reason, the lower end of the drive arm 35 moves in the left-right direction. The movement of the lower end of the drive arm 35 in the left-right direction has the effect of rotating the rotary shaft 25 shown in FIG.
このように、図７及び図８に示した実施例においても、図１〜図６に示した実施例と同様に、昇降部材４０の昇降によって、回転軸２５を回転させることができる。 As described above, also in the embodiment shown in FIGS. 7 and 8, the rotary shaft 25 can be rotated by raising and lowering the elevating member 40 as in the embodiments shown in FIGS. 1 to 6.
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。 Although the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited thereto. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, improvements, combinations, and the like can be made.
１０ ゲートバルブ筐体
１１ 駆動部支持体
１２ 真空容器
１３ ロードロックチャンバ
１５ 開口
１６ 弁体
１７ Ｏリング
１８ 回転軸支持体
１８Ａ 水平支持部
１８Ｂ 垂直支持部
１８Ｃ 張り出し部
１９ 真空シール
２０ ストッパ
２２ リニアガイド
２５ 回転軸
２６ 軸受け
２７ Ｏリング
２８ 支持アーム
２９ 連結部材
３０ 板ばね
３５ 駆動アーム
３５Ａ 溝
３６ ローラ
４０ 昇降部材
４０Ａ 昇降ロッド
４０Ｂ 昇降板
４０Ｃ 斜行面
４０Ｄ 力点部材
４０Ｅ 溝
４１ 反発ローラ
４２ 拘束ロッド
４５ コイルばね
４８ 昇降駆動機構
６０ 支点部材
６１ Ｌ字回転部材
６２ 作用点ローラ
６３ 力点ローラ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Gate valve housing | casing 11 Drive part support body 12 Vacuum vessel 13 Load lock chamber 15 Opening 16 Valve body 17 O-ring 18 Rotating shaft support body 18A Horizontal support part 18B Vertical support part 18C Overhang part 19 Vacuum seal 20 Stopper 22 Linear guide 25 Rotating shaft 26 Bearing 27 O-ring 28 Support arm 29 Connecting member 30 Leaf spring 35 Drive arm 35A Groove 36 Roller 40 Lifting member 40A Lifting rod 40B Lifting plate 40C Skew surface 40D Power point member 40E Groove 41 Rebound roller 42 Restraining rod 45 Coil spring 48 Elevating Drive Mechanism 60 Supporting Point Member 61 L-Shaped Rotating Member 62 Action Point Roller 63 Force Point Roller
Claims (2)
前記回転軸に取り付けられ、該回転軸を中心として揺動する支持アーム(28)と、
前記支持アームに取り付けられて、該支持アームの揺動により、前記回転軸を中心とした回転方向に移動し、開口を塞ぐことができる弁体(16)と、
前記弁体が前記開口の正面からずれた位置から、該開口の正面まで移動するように前記回転軸を第１の方向に移動可能に支持する回転軸支持体(18)と、
前記第１の方向に移動可能に支持された移動部材(40)と、
前記移動部材と前記回転軸支持体とを弾性的に接続し、前記第１の方向に関する両者の相対位置関係が変化すると弾性変形して復元力を発生する弾性体(45)と、
前記移動部材を前記第１の方向に移動させる駆動機構(48)と、
前記回転軸支持部材と前記移動部材との相対位置関係の変化を、前記回転軸の回転方向の運動に変換する変換機構(35,36,40C)と、
前記回転軸支持体を前記第１の方向に移動させて前記弁体を前記開口の正面に位置させたとき、該回転軸支持体の第１の方向へのさらなる移動を禁止するストッパ(20)と
を有し、
前記駆動機構は、前記回転軸支持体が前記ストッパで第１の方向への移動が禁止されている状態で、前記移動部材をさらに前記第１の方向に移動させることができ、前記変換機構は、該移動部材の該第１の方向へのさらなる移動を、前記弁体が前記開口を塞ぐように前記回転軸を回転させる回転力に変換するゲートバルブ。 Rotation axis (25),
A support arm (28) attached to the rotating shaft and swinging about the rotating shaft;
A valve body (16) attached to the support arm, moved in the rotational direction around the rotation axis by swinging the support arm, and closing the opening;
A rotating shaft support (18) that supports the rotating shaft so as to be movable in a first direction so that the valve body moves from a position shifted from the front of the opening to the front of the opening;
A moving member (40) supported to be movable in the first direction;
An elastic body (45) that elastically connects the moving member and the rotating shaft support, and elastically deforms to generate a restoring force when the relative positional relationship between the two in relation to the first direction changes;
A drive mechanism (48) for moving the moving member in the first direction;
A change mechanism (35, 36, 40C) that converts a change in the relative positional relationship between the rotary shaft support member and the moving member into a motion in the rotational direction of the rotary shaft;
A stopper (20) for prohibiting further movement of the rotating shaft support in the first direction when the rotating shaft support is moved in the first direction and the valve body is positioned in front of the opening. And
The drive mechanism can further move the moving member in the first direction in a state where the rotation shaft support is prohibited from moving in the first direction by the stopper. A gate valve that converts further movement of the moving member in the first direction into a rotational force that rotates the rotating shaft so that the valve body closes the opening.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008032275A JP2009191924A (en) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | Gate valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2008032275A JP2009191924A (en) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | Gate valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009191924A true JP2009191924A (en) | 2009-08-27 |
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ID=41074133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008032275A Withdrawn JP2009191924A (en) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | Gate valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009191924A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011074415A1 (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | 昭和電工株式会社 | In-line type film forming apparatus, method for manufacturing magnetic recording medium, and gate valve |
| KR20180020803A (en) * | 2016-08-19 | 2018-02-28 | 주식회사 마이크로텍 | Apparatus for driving gate valve |
| US9957745B2 (en) | 2016-01-19 | 2018-05-01 | Vat Holding Ag | Closure device for the vacuum-tight closure of an opening in a wall |
| US10234059B2 (en) | 2016-08-22 | 2019-03-19 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
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-
2008
- 2008-02-13 JP JP2008032275A patent/JP2009191924A/en not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011074415A1 (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | 昭和電工株式会社 | In-line type film forming apparatus, method for manufacturing magnetic recording medium, and gate valve |
| US10302225B2 (en) | 2015-03-09 | 2019-05-28 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
| US9957745B2 (en) | 2016-01-19 | 2018-05-01 | Vat Holding Ag | Closure device for the vacuum-tight closure of an opening in a wall |
| KR20180020803A (en) * | 2016-08-19 | 2018-02-28 | 주식회사 마이크로텍 | Apparatus for driving gate valve |
| KR101909686B1 (en) * | 2016-08-19 | 2018-10-18 | 주식회사 마이크로텍 | Apparatus for driving gate valve |
| US10234059B2 (en) | 2016-08-22 | 2019-03-19 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110510 |