JP2009170885A - 有機電界発光素子及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】有機電界発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、第1電極110と、第1電極110上に位置する発光層120と、発光層120上に位置する第1電子輸送層131と、第1電子輸送層131上に位置し、第1電子輸送層131の最低非占有分子軌道(LUMO)エネルギーレベルの絶対値よりも小さい最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値を有する第2電子輸送層132と、第2電子輸送層132上に位置する第2電極140と、を含むことによって、低電圧下では電子注入及び輸送を抑制して電流密度を低く維持することができ、それによってブラック実現時に素子発光を抑制することのできる有機電界発光素子に関する。
【選択図】図1A

Description

本発明は、有機電界発光素子及びその製造方法に関し、特に、低電圧で電子注入及び輸送を抑制して電流密度を低く維持することによって、ブラック実現時に素子発光を抑制することができる有機電界発光素子及びその製造方法(Organic light emitting diode and fabrication method for the same)に関する。
有機電界発光素子は、自発光型ディスプレイとして、薄型かつ軽量、簡素な部品、工程が簡単で理想的構造を有していて高画質に広視野角が確保でき、完璧な動映像実現と高色純度実現が可能であって、低消費電力、低電圧駆動により携帯ディスプレイとして適合な電気的特性を有するメリットがある。
一般の有機電界発光素子の構造は、画素電極が位置していて、前記画素電極上に発光層(emission layer:EML)が位置し、前記発光層上に対向電極が位置する。
また、前記対向電極から前記発光層への電子の注入または輸送を効率的に行うために、前記発光層と前記対向電極との間に電子輸送層(electron transfer layer:ETL)または電子注入層(electron injection layer:EIL)など一つまたは複数層をさらに含むことができる。
従来の素子構造では、対向電極と発光層との間に位置する層は、前記対向電極から前記発光層に近づくほど最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値が階段式に小さく配置されているのが通常である。しかしながら、この構造ではブラック実現のための低電圧下(約4V以下)でも通常0.1mA/cm程度の電流密度を維持しながら一定水準の発光効率を有し、ブラック実現時に素子が微細に発光するという短所を有する。このように、ブラック実現時に素子が微細に発光する場合は有機電界発光素子のコントラストが落ち、暗い所でのブラックが明瞭に実現できず、有機電界発光素子の品質が低下するなどの問題点があった。
大韓民国出願公開第2006−0134469号明細書
本発明が解決しようとする技術的課題は従来技術の問題点を解決するためのことであって、ブラックを実現するための低電圧下での電子注入及び輸送を抑制して電流密度を低く維持することによって、ブラック実現時に素子発光を抑制することのできる有機電界発光素子及びその製造方法を提供することにある。
本発明は、第1電極と、前記第1電極上に位置する発光層と、前記発光層上に位置する第1電子輸送層と、前記第1電子輸送層上に位置し、前記第1電子輸送層の最低非占有分子軌道(lowest unoccupied molecular orbital:LUMO)エネルギーレベルの絶対値よりも小さい最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値を有する第2電子輸送層と、前記第2電子輸送層上に位置する第2電極とを含むことを特徴とする有機電界発光素子を提供する。
また、本発明は、第1電極を形成する工程と、前記第1電極上に発光層を形成する工程と、前記発光層上に第1電子輸送層を形成する工程と、前記第1電子輸送層上に前記第1電子輸送層の最低非占有分子軌道(LUMO)エネルギーレベルの絶対値よりも小さい最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値を有する第2電子輸送層を形成する工程と、前記第2電子輸送層上に第2電極を形成する工程とを含むことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法を提供する。
本発明は、第2電極と第1電子輸送層との間に、前記第1電子輸送層の最低非占有分子軌道(LUMO)エネルギーレベルの絶対値よりも小さい最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値を有する第2電子輸送層を形成することによって、ブラックを実現するための低電圧下で電子注入及び輸送を抑制して電流密度を低く維持しながらブラック実現時に素子の発光を抑制することができ、これによって有機電界発光素子のコントラストが向上され、高品質化を実現することができる。
本発明の前記目的と技術的構成及びその作用効果は、本発明の好適な実施例を示す図面を参照して以下の詳細な説明により明確に理解することができる。説明の都合上、図面において、層及び領域の厚みは誇張されており、図示する形態が実際とは異なる場合がある。明細書の全体において同一の参照番号は、同一の構成要素を示す。
図1A及び図1Bは、本発明の一実施形態による有機電界発光素子の断面図である。
まず、図1Aに示すように、基板(図示せず)上に第1電極110を形成する。前記基板はガラス、プラスチックまたはステンレス鋼などの材質からなる。
前記第1電極110はアノードとすることができ、透明電極または反射電極とすることができる。前記第1電極110が透明電極の場合、ITO(Indium Tin Oxide:インジウムスズ酸化物)膜、IZO(Indium Zinc Oxide:インジウム亜鉛酸化物)膜、TO(Tin Oxide:スズ酸化物)膜またはZnO(Zinc Oxide:亜鉛酸化物)膜と形成することができる。または前記第1電極110が反射電極の場合には、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、チタン(Ti)、金(Au)、パラジウム(Pd)またはこれらの合金膜で反射膜を形成し、前記反射膜上にITO、IZO、TOまたはZnOなどの透明膜が積層された構造とすることができる。前記第1電極110の形成は、スパッタリング法、気相蒸着(vapor phase deposition)法、イオンビーム蒸着(ion beam deposition)法、電子ビーム蒸着(electron beam deposition)法またはレーザ除去(laser ablation)法を用いて行うことができる。
次いで、前記第1電極110上に発光層120を形成する。
前記発光層120を形成する物質には特に制限しない。例えば、青色発光物質としては、オキサジアゾールダイモ染料(oxadiazole dimmer dyes(Bis−DAPOXP))、スピロ化合物(spiro compounds: 例えば、Spiro−DPVBi、Spiro−6P)、トリアリールアミン化合物(triarylamine compounds)、ビス(スチリル)アミン、DSA、4、4’−ビス(9−エチル−3−カルバゾビニレン)−1、1’−ビフェニル(BCzVBi)、ペリレン(perylene)、2、5、8、11−テトラ−tert−ブチルペリレン(TPBe)、9H−カルバゾール−3、3’−(1、4−フェニレン−ジ−2、1−エテン−ジイル)ビス[9−エチル−(9C)](BCzVB)、4、4−ビス[4−(ジ−p−トルイルアミノ)スチリル]ビフェニル(DPAVBi)、4−(ジ−p−トルイルアミノ)−4’−[(ジ−p−トルイルアミノ)スチリル]スチルベン(DPAVB)、4、4’−ビス[4−(ジフェニルアミノ)スチリル]ビフェニル(BDAVBi)、ビス(3、5−ジフルオロ−2−(2−ピリジル)フェニル(2−カルボキシピリジル)イリジウムIII(FIrPic)などを用いることができる。
また、緑色発光物質としては、3−(2−ベンゾチアゾールイル)−7−(ジエチルアミノ)クマリン(Coumarin 6)、2、3、6、7−テトラヒドロ−1、1、7、7、−テトラメチル−1H、5H、11H−10−(2−ベンゾチアゾールイル)キノリジ−[9、9a、1gh]クマリン(C545T)、N、N’−ジメチル−キノンアクリドン(DMQA)、トリス(2−フェニルピリジル)イリジウム(III)(Ir(ppy)3)などを用いることができる。
また、赤色発光物質としては、ルブリン(Rubrene)、トリス(1−フェニルイソキノリン)イリジウム(III)(Ir(piq)3)、ビス(2−ベンゾ[b]チオフェン−2−イル−ピリジン)(アセチルアセトネート)イリジウム(III)(Ir(btp)2(acac))、トリス(ジベンゾイルメタン)フェナントロリンユーロピウム(III)(Eu(dbm)3(phen))、トリス[4、4’−ジ−tert−ブチル−(2、2’)−ビピリジン]ルテニウム(III)錯体(Ru(dtb−bpy)3*2(PF6))、DCM1、DCM2、三弗化テノ−イルアセトン(Eu(TTA)3)、ブチル−6−(1、1、7、7−テトラメチル ズロリジル−9−エニル)−4H−ピラン)(DCJTB)などを用いることができる。
また、高分子発光物質としては、フェニレン(phenylene)系、フェニレンビニレン(phenylenevinylene)系、チオフェン(thiophene)系、フルオレン(fluorene)系及びスピロフルオレン(spiro−fluorene)系高分子物質などを用いることができる。
前記発光層120上に第1電子輸送層131及び該第1電子輸送層上に第2電子輸送層132を形成する。本発明による前記第2電子輸送層132の最低非占有分子軌道(lowest unoccupied molecular orbital:LUMO)エネルギーレベルの絶対値は前記第1電子輸送層131の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値よりも小さいことを特徴とする。特に、前記第1電子輸送層131と前記第2電子輸送層132との最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値は少なくとも0.2eV以上の差があることが好ましい。前記第2電子輸送層132の最低非占有分子軌道のエネルギーレベルの絶対値が前記第1電子輸送層131の最低非占有分子軌道のエネルギーレベルの絶対値よりも0.2eV以上小さい場合、ブラックを実現するための低電圧下において、例えば、約4V以下の低電圧下では、前記第2電子輸送層が第2電極から発光層に注入される電子注入及び移動を抑制する役割を効率的に行って電流密度を低く維持することができる。これに反して、ブラックを実現するためでない電圧範囲内では高い電圧差のために前記第2電子輸送層が電子注入及び移動を抑制することができず、従来と同じ電流密度を維持できることによって、総発光効率においては従来と比べて有意差がない。
前記第2電子輸送層132の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値は、前記第1電子輸送層131の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値よりも0.2eVないし1eV以下小さいことがより好ましい。前記第2電子輸送層132の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値が前記第1電子輸送層131の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値よりも1eV超えた場合には、素子によっては高電圧下において前記発光層120での電子注入及び移動を抑制することがある。したがって、ブラック実現の電圧下では電子移動を抑制して素子発光を抑制することができ、ブラック実現以外の電圧下では電子移動を抑制せず、発光層への電子移動を許容する二つの役割をさらに効率的に行うためには、前記第2電子輸送層132の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値は、前記第1電子輸送層131の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値よりも0.2eVないし1eV以下に小さいことが特に好ましい。
また、前記第1電子輸送層131は、前記発光層120への電子注入及び移動を円滑に行うために電子移動度が高い、すなわち、電子移動度が1×10−6cm/V・s以上の物質で形成することが好ましい。これに反して、前記第2電子輸送層132はブラック実現のための低電圧下では電子注入及び移動を抑制するために前記第1電子輸送層131よりも電子移動度が低い物質、すなわち、1×10−6cm/V・s未満の物質で形成することが好ましく、また前記第2電子輸送層132はブラック実現以外の電圧下では電子輸送の機能を効率的に行うために電子移動度が1×10−8cm/V・s以上の物質で形成することが好ましい。
前記第2電子輸送層132の厚さは1〜20nmで形成することが好ましく、厚さが1nm未満の場合には低電圧下で電子移動を抑制する効率は大きくなく、厚さが20nmを超えた場合にはブラックを実現するためでない電圧範囲内において電子移動を抑制して発光効率を低下させることがある。したがって、前記第2電子輸送層132の厚さが1〜20nmの場合、ブラック実現の電圧下では電子移動を抑制して素子発光を抑制することができ、ブラック実現以外の電圧下では電子移動を抑制せず、発光層への電子移動を許容するという二つの役割を効率的に行うことができる。
前記第1電子輸送層131及び前記第2電子輸送層132を形成する物質は、前記記載の最低非占有分子軌道エネルギーレベルと前記電子移動度などを満足させる物質であれば特に制限はない。例えば、前記第1電子輸送層131及び前記第2電子輸送層132は、オキシゾール系化合物、イソキサゾール系化合物、トリアゾール系化合物、イソチアゾール(isothiazole)系化合物、オキサジアゾール系化合物、チアジアゾール(thiadiazole)系化合物、ペリレン(perylene)系化合物、アルミニウム錯体(例:Alq(トリス(8−キノリノラト)−アルミニウム(tris(8−quinolinolato)−aluminium))、BAlq(ビス(2−メチル−8−キノラート)(p−フェニル−フェノラート)アルミニウム)、SAlq(ビス(2−メチル−8−キノリナート)(トリフェニルシロキシ)アルミニウム(III))、Almq(トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム)、ガリウム錯体(例:Gaq’2OPiv、Gaq’2OAc、2(Gaq’2))、BPQ(ビス(フェニルキノクサリン))、TPQ(starburst トリス(フェニルキノクサリン))、1、3、5−トリアジン、BCP(2、9−ジメチル−4、7−ジフェニル−1、10−フェナントロリン)、BeBq2(ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノラート)ベリリウム)、TPBI(2、2’、2”−(1、3、5−ベンズインエトリイル)−トリス(1−フェニル−1−H−ベンゾイミタゾール))、E3(トフルオレン)、及びCBP(4、4’−N、N’−ジカルバゾール−ビフェニル)のうちから前記第1電子輸送層131及び前記第2電子輸送層132の条件を満たす物質を選択して適切に組み合わせることができる。
より詳しくは、前記第1電子輸送層131/前記第2電子輸送層132の形成物質としては、Alq(LUMOエネルギーレベル:−3.1eV)/BAlq(LUMOエネルギーレベル:−2.9eV)、CBP(LUMOエネルギーレベル:−3.2eV)/BAlqなどが挙げられる。
次いで、前記第2電子輸送層132上に第2電極140を形成する。前記第2電極140はカソードとすることができ、透過電極または反射電極とすることができる。前記第2電極130が透過電極の場合、仕事関数が低い導電性の金属であるMg、Ca、Al、Ag及びこれらの合金からなるグループから選択された1種の物質を用いて光が透過できる程度の薄厚で形成して、前記第2電極130が反射電極の場合は光が反射できる程度の厚い厚さで形成される。
一方、本発明による有機電界発光素子は、図1Bに示すように、前記第1電極110と前記発光層120との間に、前記第1電極110から前記発光層120に正孔注入及び移動を効率的にするために、正孔注入層150または正孔輸送層160をさらに形成することができる。
前記正孔注入層150は、アリールアミン系化合物及びスターバースト型アミン類などで形成することができ、より詳しくは、4、4、4トリス(3−メチルフェニルアミノ)トリフェニルアミノ(m−MTDATA)、1、3、5−トリス[4−(3−メチルフェニルアミノ)フェニル]ベンゼン(m−MTDATB)またはフタロシアニン銅(CuPc)などで形成することができる。
前記正孔輸送層160は、アリレンジアミン誘導体、スターバースト型化合物、スピロ基を有するビフェニルジアミン誘導体または梯子型化合物などで形成することができ、さらに詳しくは、N、N’−ジフェニルN、N’−ビス(3−メチルフェニル)−1、1’−バイフェニル4、4’−ジアミン(TPD)、N、N’−ジ(ナフタリン−1−イル)−N、N’−ジフェニルベンジジン(α−NPD)またはN、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチル)−(1、1’−ビフェニル)ジアミン(NPB)などで形成することができる。
本発明による有機電界発光素子は、図1Bに示すように、前記正孔輸送層160上に電子抑制層170を形成することができる。前記電子抑制層170は有機電界発光素子の駆動過程において前記発光層120から生成された励起子の拡散を抑制する役割をする。このような前記電子抑制層170は、BAlq、BCP、CF−X、TAZまたはスピロ−TAZを用いて形成することができる。
また、本発明による有機電界発光素子は、図1Bに示すように、前記発光層120上に正孔抑制層180を形成することができる。前記正孔抑制層180は前記発光層120内で電子移動度よりも正孔移動度が大きい場合、正孔が前記第1電子輸送層131に移動することを防止する役割をする。前記正孔抑制層180は、2−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1、3、4−オキサジアゾール(PBD)、スピロ−PBD及び3−(4−t−ブチルフェニル)−4−フェニル−5−(4−ビフェニル)−1、2、4−トリアゾール(TAZ)からなるグループから選択された一つの物質で形成することができる。
一方、本発明の実施形態においては、第1電極がアノードであり、第2電極がカソードの場合を説明したが、前記第1電極がカソードであり、前記第2電極がアノードの場合も可能である。このときは、前記第1電極/第2電子輸送層/第1電子輸送層/発光層/第2電極の構造となる。
以下、本発明の好適な実験例を提示する。なお、下記の実験例は本発明の理解を高めるためのものであって、本発明が下記の実験例によって限定されるものではない。
<実験例>
第1電極としてITOを130nm厚さで形成した。続いて、前記第1電極上に正孔注入層としてIDE−406(出光社製)を210nmの厚さで形成し、正孔輸送層としてはNPBを20nm厚さで形成した。前記正孔輸送層上にホストとしてCBPに、ドーパンドとしてIr(piq)を15wt%の濃度で混合して40nmの厚さで赤色発光層を形成した。前記赤色発光層上に第1電子輸送層としてAlqを30nm厚さで形成した。前記Alqの最低非占有分子軌道エネルギーレベルは−3.1eVであった。続いて、前記第1電子輸送層上に第2電子輸送層として、BAlqを10nm厚さで形成した。前記BAlqの最低非占有分子軌道エネルギーレベルは−2.9eVであった。次いで、前記第2電子輸送層上に第2電極としてMgAg膜を厚さ160Åで形成し、前記MgAg膜上にAl膜を1000Åの厚さで形成した。
<比較例>
第1電極としてITOを130nm厚さで形成した。続いて、前記第1電極上に正孔注入層としてIDE−406(出光社製)を210nmの厚さで形成し、正孔輸送層としてはNPBを20nm厚さで形成した。前記正孔輸送層上にホストとしてCBPに、ドーパンドとしてIr(piq)を15wt%の濃度を混合して40nmの厚さで赤色発光層を形成した。前記赤色発光層上に第1電子輸送層としてAlqを30nm厚さで形成した。続いて、前記第1電子輸送層上に第2電子輸送層なしに、第2電極としてMgAg膜を厚さ160Åで形成し、前記MgAg膜上にAl膜を1000Åの厚さで形成した。
図2は、前記実験例及び比較例により製造された有機電界発光素子において、電圧に対する電流密度を測定したグラフである。横軸は電圧(V)であり、縦軸は電流密度(mA/cm)である。
図2に示すように、印加された電圧が約4V以下の低電圧下では、特に、3Vないし4Vの領域においては、同一電圧が印加された場合、比較例の場合よりも実験例による有機電界発光素子の電流密度が約1/10と低いことが確認された。実験例による有機電界発光素子の場合、4V以下の低電圧下で0.01mA/cm以下の電流密度値を有し、ブラック実現時に素子発光を効率的に低下させていることを確認することができる。その反面、印加された電圧が5Vを超える領域では、実験例と比較例の素子の電流密度に有意差がないことを確認することができる。
したがって、本発明のように、第2電極と第1電子輸送層との間に前記第1電子輸送層より最低非占有分子軌道(LUMO)エネルギーレベルの絶対値よりも0.2eV以上小さい最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値を有する第2電子輸送層を形成することによって、低電圧下では電子注入及び輸送を抑制して電流密度を低く維持してブラック実現時に素子の発光を抑制することができ、高電圧下では第2電極から発光層に近づくほど最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値が階段式にさらに小さく配置される従来の素子と電流密度において有意差がないように駆動することができる。
また、前記第1電子輸送層の電子移動度は、前記第2電子輸送層の電子移動度よりも大きくすることによって、高電圧下において電子輸送を効率的に行うことができる。
本発明の一実施形態による有機電界発光素子の断面図である。 本発明の一実施形態による有機電界発光素子の断面図である。 本発明の実験例及び比較例により製造された有機電界発光素子において、電圧に対する電流密度を測定したグラフである。
符号の説明
110 第1電極、
120 発光層
131 第1電子輸送層、
132 第2電子輸送層、
140 第2電極、
150 正孔注入層、
160 正孔輸送層、
170 電子抑制層、
180 正孔抑制層。

Claims (12)

  1. 第1電極と、
    前記第1電極上に位置する発光層と、
    前記発光層上に位置する第1電子輸送層と、
    前記第1電子輸送層上に位置し、前記第1電子輸送層の最低非占有分子軌道(LUMO)エネルギーレベルの絶対値よりも小さい最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値を有する第2電子輸送層と、
    前記第2電子輸送層上に位置する第2電極と、
    を含むことを特徴とする有機電界発光素子。
  2. 前記第2電子輸送層の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値は、前記第1電子輸送層の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値よりも0.2eV以上小さいことを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
  3. 前記第2電子輸送層の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値は、前記第1電子輸送層の最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値よりも0.2ないし1eV以下小さいことを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
  4. 前記第1電子輸送層の電子移動度は、前記第2電子輸送層の電子移動度よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
  5. 前記第1電子輸送層の電子移動度は1×10−6cm/V・s以上であることを特徴とする請求項4に記載の有機電界発光素子。
  6. 前記第2電子輸送層の電子移動度は1×10−8cm/V・sないし1×10−6cm/V・s未満であることを特徴とする請求項4に記載の有機電界発光素子。
  7. 前記第2電子輸送層の厚さは1ないし20nmであることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
  8. 前記第1電子輸送層及び前記第2電子輸送層のそれぞれは、オキシゾール系化合物、イソキサゾール系化合物、トリアゾール系化合物、イソチアゾール系化合物、オキサジアゾール系化合物、チアジアゾール系化合物、ペリレン系化合物、Alq(トリス(8−キノリノラト)−アルミニウム(tris(8−quinolinolato)−aluminium))、BAlq、SAlq、Almq、Gaq’2OPiv、Gaq’2OAc、2(Gaq’2)、BPQ(ビス(フェニルキノクサリン))、TPQ(starburst トリス(フェニルキノクサリン))、1、3、5−トリアジン、BCP(2、9−ジメチル−4、7−ジフェニル−1、10−フェナントロリン)、BeBq2(ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノラート)ベリリウム)、TPBI(2、2’、2”−(1、3、5−ベンズインエトリイル)−トリス(1−フェニル−1−H−ベンゾイミタゾール))、E3(トフルオレン)、及びCBP(4、4’−N、N’−ジカルバゾール−ビフェニル)からなるグループから選択された一つであることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
  9. 前記第1電子輸送層はAlqであり、前記第2電子輸送層はBAlqであることを特徴とする請求項8に記載の有機電界発光素子。
  10. 前記第1電子輸送層はCBPであり、前記第2電子輸送層はBAlqであることを特徴とする請求項8に記載の有機電界発光素子。
  11. 前記有機電界発光素子にブラック実現のため4V以下の低電圧が印加された場合、0.01mA/cm以下の電流密度値を有することを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
  12. 第1電極を形成する工程と、
    前記第1電極上に発光層を形成する工程と、
    前記発光層上に第1電子輸送層を形成する工程と、
    前記第1電子輸送層上に前記第1電子輸送層の最低非占有分子軌道(LUMO)エネルギーレベルの絶対値よりも小さい最低非占有分子軌道エネルギーレベルの絶対値を有する第2電子輸送層を形成する工程と、
    前記第2電子輸送層上に第2電極を形成する工程と、
    を含むことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
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