JP2009166346A - Liquid jetting head and liquid jetting apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To attain miniaturization and cost reduction of a driving circuit, and improvement of durability. <P>SOLUTION: The liquid jetting head includes pressure generation chambers which communicate with nozzle openings for jetting a liquid, a piezoelectric element unit 18 comprised of both a piezoelectric element 17 which makes the pressure generation chambers generate pressure change and a heat conducting member 35 to which a base end part of the piezoelectric element 17 is fixed, a case head 20 with a storing part 19 in which the piezoelectric element unit 18 is stored, and a flexible printed circuit board 50 to which the driving circuit 60 connected to the piezoelectric element 17 to drive the piezoelectric element 17 is mounted. The driving circuit 60 is connected to the heat conducting member 35 and equipped with a liquid introducing member 30 in a region of the case head 20 to which at least the heat conducting member 35 is joined. The liquid introducing member 30 is formed of a material higher in thermal conductivity than other regions of the case head 20, having a liquid introduction path 21 formed for supplying the liquid to the pressure generation chambers. The heat conducting member 35 and the liquid introducing member 30 are connected to each other. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特にインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid from nozzle openings, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink.

液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。具体的には、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられ流路形成板とその一方面側に設けられる振動板とを有する流路ユニットと、流路ユニットに接着剤を介して接着されたノズル開口を有するノズルプレートと、各圧力発生室に対応して設けられ支持基板に固定された圧電素子（圧電振動子）と、この圧電素子を収容する収容室を有するケースヘッド（基台）とを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。   As a typical example of a liquid ejecting head, for example, an ink jet recording head that ejects ink droplets from nozzle openings using pressure generated by displacement of a piezoelectric element is known. Specifically, a pressure generating chamber that communicates with the nozzle opening is provided, and a flow path unit having a flow path forming plate and a vibration plate provided on one side thereof is bonded to the flow path unit via an adhesive. A nozzle plate having a nozzle opening; a piezoelectric element (piezoelectric vibrator) provided corresponding to each pressure generating chamber and fixed to a support substrate; and a case head (base) having a storage chamber for storing the piezoelectric element; (For example, refer to Patent Document 1).

また、圧電素子を駆動するための駆動信号を入力する駆動回路は、フレキシブルプリント基板に実装され、駆動回路からの駆動信号はフレキシブルプリント基板を介して圧電素子に印加される。   A drive circuit for inputting a drive signal for driving the piezoelectric element is mounted on the flexible printed circuit board, and the drive signal from the drive circuit is applied to the piezoelectric element through the flexible printed circuit board.

特開２００４−７４７４０号公報JP 2004-74740 A

しかしながら、フレキシブルプリント基板に実装される駆動回路は、当該駆動回路自体でしか放熱できないため、放熱能力が限られており、回路損失が放熱能力を超える場合には駆動回路が熱により破壊されてしまうと共に、放熱性を確保するには放熱面積が必要となるため、駆動回路の小型化を行うことができないという問題がある。   However, since the drive circuit mounted on the flexible printed circuit board can radiate heat only by the drive circuit itself, the heat dissipation capability is limited, and when the circuit loss exceeds the heat dissipation capability, the drive circuit is destroyed by heat. At the same time, in order to ensure heat dissipation, a heat dissipation area is required, so that there is a problem that the drive circuit cannot be reduced in size.

特に、特許文献１のようなケースヘッド内に駆動回路が設けられている場合、駆動回路はケースヘッド内でしか放熱することができず、外気に放熱することができないため駆動回路の温度が高くなってしまう。   In particular, when a drive circuit is provided in a case head as in Patent Document 1, the drive circuit can only dissipate heat within the case head and cannot dissipate heat to the outside air, so the temperature of the drive circuit is high. turn into.

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head but also in a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、駆動回路の放熱を効率よく行って、駆動回路の小型化及び低コスト化を図ると共に、駆動回路の耐久性を向上して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, the present invention can efficiently dissipate heat from the drive circuit to reduce the size and cost of the drive circuit, and improve the durability of the drive circuit and improve the liquid ejection characteristics. An object of the present invention is to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子及び該圧電素子の基端部が固定される熱伝導部材とからなる圧電素子ユニットと、該圧電素子ユニットが収容される収容部を有するケースヘッドと、前記圧電素子に接続されて当該圧電素子を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板とを具備し、前記駆動回路が、前記熱伝導部材に接続されていると共に、前記ケースヘッドの少なくとも前記熱伝導部材が接合される領域には、当該ケースヘッドの他の領域よりも熱伝導率の高い材料からなり、且つ前記圧力発生室に液体を供給する液体導入路が設けられた液体導入部材が設けられており、前記熱伝導部材と前記液体導入部材とが接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、駆動回路の熱を熱伝導部材及び液体導入部材を介して外装部材を構成するケースヘッドに熱伝導させることができるため、駆動回路の熱をケースヘッドによって大気中に放熱することができると共に、駆動回路の熱を液体導入部材の液体導入路を流れる液体によって冷却（放熱）することができる。したがって、駆動回路の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路を大型化する必要がなく、小型化してコストを低減することができる。また、駆動回路の発熱による低寿命化を防止して耐久性を向上することができると共に、液体噴射特性及び連続吐出性能を向上することができる。 An aspect of the present invention that solves the above problems includes a pressure generation chamber that communicates with a nozzle opening that ejects liquid, a piezoelectric element that causes a pressure change in the pressure generation chamber, and a heat at which a base end portion of the piezoelectric element is fixed. A piezoelectric element unit composed of a conductive member, a case head having a housing portion in which the piezoelectric element unit is housed, and a flexible printed board on which a drive circuit connected to the piezoelectric element and driving the piezoelectric element is mounted And the drive circuit is connected to the heat conducting member, and at least the region of the case head where the heat conducting member is joined has higher thermal conductivity than the other region of the case head. A liquid introduction member made of a material and provided with a liquid introduction path for supplying a liquid to the pressure generating chamber is provided, and the heat conducting member and the liquid introduction member are connected to each other. A liquid-jet head characterized by that.
In this aspect, the heat of the drive circuit can be thermally conducted to the case head constituting the exterior member via the heat conducting member and the liquid introduction member, so that the heat of the drive circuit can be radiated to the atmosphere by the case head. In addition, the heat of the drive circuit can be cooled (heat radiation) by the liquid flowing in the liquid introduction path of the liquid introduction member. Therefore, it is possible to prevent the drive circuit from being damaged by heat, and it is not necessary to increase the size of the drive circuit, and the size can be reduced to reduce the cost. Further, it is possible to improve the durability by preventing the life of the drive circuit from being shortened due to heat generation, and to improve the liquid ejection characteristics and the continuous ejection performance.

ここで、前記液体導入部材が複数個設けられて、複数の前記液体導入路が設けられていることが好ましい。これによれば、液体導入部材の材料を液体の粘度に応じて変更することができるため、駆動回路から伝わった熱により液体導入路を流れる液体の加熱温度を液体導入部材の材料によって調整することができる。したがって、液体の粘度に応じて液体を所望の温度で加熱でき、液体吐出特性を均一化すると共に向上することができる。   Here, it is preferable that a plurality of the liquid introduction members are provided and a plurality of the liquid introduction paths are provided. According to this, since the material of the liquid introduction member can be changed according to the viscosity of the liquid, the heating temperature of the liquid flowing through the liquid introduction path is adjusted by the material of the liquid introduction member by the heat transmitted from the drive circuit. Can do. Therefore, the liquid can be heated at a desired temperature according to the viscosity of the liquid, and the liquid discharge characteristics can be made uniform and improved.

また、前記ケースヘッドが、樹脂材料からなると共に、前記液体導入部材が金属材料からなることが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドの重量が大きくなるのを防止すると共に、駆動回路の熱を効率よく放熱させることができる。   Further, it is preferable that the case head is made of a resin material and the liquid introducing member is made of a metal material. According to this, the weight of the liquid ejecting head can be prevented from increasing, and the heat of the drive circuit can be efficiently radiated.

さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、信頼性を向上すると共に低コスト化した液体噴射装置を実現できる。 According to still another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
According to this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus with improved reliability and reduced cost.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図である。図２は、図１のＡ−Ａ′断面図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view of an ink jet recording head that is an example of a liquid ejecting head according to Embodiment 1 of the invention. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.

図示するように、インクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生室１１を有する流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５とを具備する流路ユニット１６を有する。さらに、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子１７を有する圧電素子ユニット１８と、振動板１５上に固定されて圧電素子ユニット１８が収容される収容部１９を有するケースヘッド２０とを具備する。   As shown in the drawing, an ink jet recording head 10 includes a flow path forming substrate 12 having a plurality of pressure generation chambers 11, a nozzle plate 14 having a plurality of nozzle openings 13 communicating with each pressure generation chamber 11, and The flow path forming substrate 12 includes a flow path unit 16 including a diaphragm 15 provided on a surface opposite to the nozzle plate 14. Furthermore, a piezoelectric element unit 18 having a piezoelectric element 17 provided in a region corresponding to each pressure generating chamber 11 on the vibration plate 15, and an accommodating portion 19 that is fixed on the vibration plate 15 and accommodates the piezoelectric element unit 18. The case head 20 is provided.

流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によって区画されてその幅方向で複数並設されている。各圧力発生室１１の列の外側には、ケースヘッド２０の液体導入路であるインク導入路２１を介してインクが供給されるリザーバ２２が、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、リザーバ２２と各圧力発生室１１とは、インク供給路２３を介して連通し、各圧力発生室１１には、インク導入路２１、リザーバ２２及びインク供給路２３を介してインクが供給される。インク供給路２３は、本実施形態では、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成されており、リザーバ２２から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室１１のリザーバ２２とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１２に液体流路として、圧力発生室１１、リザーバ２２、インク供給路２３、ノズル連通孔２４が設けられている。このような流路形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。   In the flow path forming substrate 12, a plurality of pressure generating chambers 11 are partitioned by a partition wall and arranged in parallel in the width direction on the surface layer portion on one side. A reservoir 22 to which ink is supplied through an ink introduction path 21 that is a liquid introduction path of the case head 20 penetrates the flow path forming substrate 12 in the thickness direction outside the row of the pressure generation chambers 11. Is provided. The reservoir 22 and each pressure generation chamber 11 communicate with each other via an ink supply path 23, and ink is supplied to each pressure generation chamber 11 via an ink introduction path 21, a reservoir 22, and an ink supply path 23. The In this embodiment, the ink supply path 23 is formed with a width narrower than that of the pressure generation chamber 11, and plays a role of maintaining a constant flow path resistance of ink flowing from the reservoir 22 into the pressure generation chamber 11. Further, a nozzle communication hole 24 penetrating the flow path forming substrate 12 is formed on the end side of the pressure generating chamber 11 opposite to the reservoir 22. That is, in the present embodiment, the flow generation substrate 12 is provided with the pressure generation chamber 11, the reservoir 22, the ink supply path 23, and the nozzle communication hole 24 as liquid flow paths. In this embodiment, the flow path forming substrate 12 is made of a silicon single crystal substrate, and the pressure generating chamber 11 and the like provided in the flow path forming substrate 12 are formed by etching the flow path forming substrate 12. ing.

この流路形成基板１２の一方面側にはノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４が接合され、各ノズル開口１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室１１と連通している。   A nozzle plate 14 in which nozzle openings 13 are formed is joined to one surface side of the flow path forming substrate 12, and each nozzle opening 13 is connected to each other via a nozzle communication hole 24 provided in the flow path forming substrate 12. It communicates with the pressure generation chamber 11.

また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。   Further, a diaphragm 15 is bonded to the other surface side of the flow path forming substrate 12, that is, the opening surface side of the pressure generating chamber 11, and each pressure generating chamber 11 is sealed by the diaphragm 15.

この振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２５と、この弾性膜２５を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２６との複合板で形成されており、弾性膜２５側が流路形成基板１２に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜２５は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２６は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１７の先端部が当接する島部２７が設けられている。この圧電素子１７の先端面は、接着剤によって島部２７に接合されている。また、振動板１５のリザーバ２２に対向する領域には、支持板２６を貫通することで形成されたインク導入口２９が設けられており、ケースヘッド２０及び液体導入部材３０のインク導入路２１から供給されたインクは、インク導入口２９を介してリザーバ２２に供給される。また、振動板１５のリザーバ２２に相対向する領域のうち、インク導入口２９以外の領域、すなわち、インク導入口２９の圧力発生室１１の並設方向両側は、支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２５のみで構成されるコンプライアンス部（図示なし）が設けられている。なお、このコンプライアンス部は、リザーバ２２内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部の弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバ２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。   The diaphragm 15 is formed of a composite plate of, for example, an elastic film 25 made of an elastic member such as a resin film and a support plate 26 made of, for example, a metal material that supports the elastic film 25, and is elastic. The membrane 25 side is bonded to the flow path forming substrate 12. For example, in the present embodiment, the elastic film 25 is made of a PPS (polyphenylene sulfide) film having a thickness of about several μm, and the support plate 26 is made of a stainless steel plate (SUS) having a thickness of about several tens of μm. In addition, an island portion 27 with which the tip end portion of the piezoelectric element 17 abuts is provided in a region of the vibration plate 15 facing each pressure generation chamber 11. The front end surface of the piezoelectric element 17 is joined to the island portion 27 with an adhesive. Further, an ink introduction port 29 formed by penetrating the support plate 26 is provided in a region facing the reservoir 22 of the vibration plate 15, from the ink introduction path 21 of the case head 20 and the liquid introduction member 30. The supplied ink is supplied to the reservoir 22 through the ink introduction port 29. In addition, the support plate 26 is removed by etching in a region other than the ink introduction port 29 in the region opposite to the reservoir 22 of the vibration plate 15, that is, on both sides of the ink introduction port 29 in the juxtaposition direction of the pressure generation chamber 11. In addition, a compliance portion (not shown) that is substantially composed only of the elastic film 25 is provided. When the pressure change occurs in the reservoir 22, the compliance portion absorbs the pressure change due to deformation of the elastic film 25 of the compliance portion, and plays a role of constantly maintaining the pressure in the reservoir 22. .

ここで、圧力発生室１１内にインク滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段である圧電素子１７について説明する。本実施形態では、圧電素子１７は、一つの圧電素子ユニット１８において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子１７が形成されている。すなわち、本実施形態では、複数の圧電素子１７が一体的に形成されている。そして、この圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）の振動に寄与しない不活性領域、すなわち、圧電素子１７の基端部側が熱伝導部材３５に固着され、圧電素子１７は熱伝導部材３５を介してケースヘッド２０に固定されている。そして、圧電素子１７の基端部近傍には、熱伝導部材３５とは反対側の面に、各圧電素子１７を駆動するための信号を供給する配線層５１を有するフレキシブルプリント基板５０が接続され、本実施形態では、これら圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）と熱伝導部材３５とフレキシブルプリント基板５０とで圧電素子ユニット１８が構成されている。   Here, the piezoelectric element 17 which is a pressure generating means for generating a pressure for ejecting ink droplets into the pressure generating chamber 11 will be described. In the present embodiment, the piezoelectric element 17 is integrally formed in one piezoelectric element unit 18. That is, a piezoelectric element forming member 34 in which the piezoelectric material 31 and the electrode forming materials 32 and 33 are vertically sandwiched and laminated is formed to correspond to each pressure generating chamber 11. Each piezoelectric element 17 is formed by cutting into comb teeth. That is, in the present embodiment, the plurality of piezoelectric elements 17 are integrally formed. An inactive region that does not contribute to vibration of the piezoelectric element 17 (piezoelectric element forming member 34), that is, the base end side of the piezoelectric element 17 is fixed to the heat conducting member 35, and the piezoelectric element 17 is interposed via the heat conducting member 35. The case head 20 is fixed. In the vicinity of the base end portion of the piezoelectric element 17, a flexible printed board 50 having a wiring layer 51 for supplying a signal for driving each piezoelectric element 17 is connected to the surface opposite to the heat conducting member 35. In the present embodiment, the piezoelectric element unit 18 is configured by the piezoelectric element 17 (piezoelectric element forming member 34), the heat conducting member 35, and the flexible printed circuit board 50.

このような圧電素子ユニット１８は、圧電素子１７の先端部が上述したように振動板１５の島部２７に当接された状態で固定されている。例えば、本実施形態では、上述したように振動板１５上にケースヘッド２０が固定されており、圧電素子ユニット１８は、このケースヘッド２０の収容部１９内に収容されて、圧電素子１７が固定された熱伝導部材３５が、圧電素子１７とは反対面側でケースヘッド２０に固定されている。   Such a piezoelectric element unit 18 is fixed in a state where the distal end portion of the piezoelectric element 17 is in contact with the island portion 27 of the diaphragm 15 as described above. For example, in this embodiment, the case head 20 is fixed on the diaphragm 15 as described above, and the piezoelectric element unit 18 is accommodated in the accommodating portion 19 of the case head 20 and the piezoelectric element 17 is fixed. The heat conduction member 35 thus fixed is fixed to the case head 20 on the side opposite to the piezoelectric element 17.

具体的には、ケースヘッド２０は、振動板１５上に接合される樹脂材料からなり、ケースヘッド２０の島部２７に相対向する領域には、厚さ方向に貫通した収容部１９が設けられている。また、ケースヘッド２０の収容部１９のリザーバ２２側には、段差部３８が設けられており、ケースヘッド２０のリザーバ２２に相対向する領域には、液体導入部材３０が挿入される厚さ方向に貫通した保持孔３９が設けられている。   Specifically, the case head 20 is made of a resin material bonded onto the vibration plate 15, and a housing portion 19 penetrating in the thickness direction is provided in a region facing the island portion 27 of the case head 20. ing. Further, a stepped portion 38 is provided on the reservoir 22 side of the housing portion 19 of the case head 20, and the thickness direction in which the liquid introduction member 30 is inserted in a region facing the reservoir 22 of the case head 20. A holding hole 39 penetrating through is provided.

このようなケースヘッド２０の保持孔３９内には、インク導入口２９に連通してリザーバ２２にインクを供給する液体導入路であるインク導入路２１が設けられた液体導入部材３０が保持されている。ケースヘッド２０の保持孔３９は、液体導入部材３０の側面が段差部３８の側面に露出するように設けられており、保持孔３９に固定された液体導入部材３０と段差部３８に固定された圧電素子ユニット１８の熱伝導部材３５とは、接続されることで、熱伝導部材３５の熱が液体導入部材３０に熱伝導可能となっている。すなわち、熱伝導部材３５と液体導入部材３０とは熱伝導可能に接続（熱結合）されている。ここで、熱伝導部材３５と液体導入部材とが熱伝導可能に接続（熱結合）された状態とは、両者が互いに接触した状態又は両者が互いに接着剤等を介して接合された状態のことを言う。すなわち、熱伝導部材３５と液体導入部材とが互いに接触していても、また、接着剤等で接合されていてもよい。   In the holding hole 39 of the case head 20, a liquid introduction member 30 provided with an ink introduction path 21 that is a liquid introduction path that communicates with the ink introduction port 29 and supplies ink to the reservoir 22 is held. Yes. The holding hole 39 of the case head 20 is provided so that the side surface of the liquid introducing member 30 is exposed to the side surface of the stepped portion 38, and is fixed to the liquid introducing member 30 fixed to the holding hole 39 and the stepped portion 38. By being connected to the heat conducting member 35 of the piezoelectric element unit 18, the heat of the heat conducting member 35 can be conducted to the liquid introducing member 30. That is, the heat conducting member 35 and the liquid introducing member 30 are connected (thermally coupled) so as to be able to conduct heat. Here, the state in which the heat conducting member 35 and the liquid introducing member are connected (thermally coupled) so as to conduct heat is a state in which the two are in contact with each other or a state in which the two are joined to each other via an adhesive or the like. Say. That is, the heat conducting member 35 and the liquid introducing member may be in contact with each other, or may be joined with an adhesive or the like.

なお、熱伝導部材３５と液体導入部材３０とを熱伝導可能に接触させる際には、例えば、熱伝導部材３５をケースヘッド２０の段差部３８に接着剤等で固定することで、熱伝導部材３５と液体導入部材３０とを当接した状態（接触した状態）で固定することができる。また、熱伝導部材３５と液体導入部材３０とを接着剤を介して接合する際には、接着剤として比較的に熱伝導率の高い材料を用いて接着するのが好ましい。熱伝導率の高い接着剤としては、例えば、シリコーン材料からなる電熱フィラーが混練された接着剤等が挙げられる。本実施形態では、段差部３８に複数のリブ３８ａを設け、リブ３８ａの先端面を熱伝導部材３５に当接させると共に、リブ３８ａと熱伝導部材３５との隙間を接着剤７０で接着し、熱伝導部材３５と液体導入部材３０とを熱伝導率の高い、電熱フィラーが混練された接着剤７１で接着するようにした。また、ケースヘッド２０と液体導入部材３０とは、例えば、液体導入部材３０を保持孔３９に圧入してもよく、また接着剤等で接着するようにしてもよい。   When the heat conducting member 35 and the liquid introduction member 30 are brought into contact with each other so as to be able to conduct heat, the heat conducting member 35 is fixed to the stepped portion 38 of the case head 20 with an adhesive or the like, for example. 35 and the liquid introduction member 30 can be fixed in a contact state (contact state). In addition, when the heat conducting member 35 and the liquid introducing member 30 are joined via an adhesive, it is preferable to use a material having a relatively high thermal conductivity as the adhesive. Examples of the adhesive having a high thermal conductivity include an adhesive in which an electrothermal filler made of a silicone material is kneaded. In the present embodiment, a plurality of ribs 38a are provided in the stepped portion 38, the tip surface of the rib 38a is brought into contact with the heat conducting member 35, and the gap between the rib 38a and the heat conducting member 35 is adhered with an adhesive 70, The heat conducting member 35 and the liquid introducing member 30 are bonded with an adhesive 71 kneaded with an electrothermal filler having high heat conductivity. Further, the case head 20 and the liquid introduction member 30 may be press-fitted into the holding hole 39, for example, or may be bonded with an adhesive or the like.

また、ケースヘッド２０の収容部１９内には、圧電素子１７に電気的に接続されて圧電素子１７を駆動するための駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板５０が設けられている。   In addition, a flexible printed circuit board 50 on which a drive circuit that is electrically connected to the piezoelectric element 17 and drives the piezoelectric element 17 is mounted is provided in the housing portion 19 of the case head 20.

フレキシブルプリント基板５０は、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。詳しくは、フレキシブルプリント基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄等で所定のパターンの配線層５１を形成し、配線層５１の圧電素子１７と接続される端子部などの他の配線と接続される領域以外の領域をレジスト等の絶縁材料５３で覆ったものである。   The flexible printed circuit board 50 includes a flexible printing circuit (FPC), a tape carrier package (TCP), and the like. Specifically, the flexible printed circuit board 50 includes, for example, a terminal layer connected to the piezoelectric element 17 of the wiring layer 51 by forming a wiring layer 51 of a predetermined pattern using copper thin or the like on the surface of a base film 52 such as polyimide. A region other than a region connected to another wiring is covered with an insulating material 53 such as a resist.

このような、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１は、その基端部側で、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１７を構成する電極形成材料３２，３３に接続されている。一方、先端部側では、各配線層３６は詳しくは後述するケースヘッド２０上に設けられた配線基板４０の導電パッド４１と電気的に接続されている。   Such a wiring layer 51 of the flexible printed board 50 is connected to the electrode forming materials 32 and 33 constituting the piezoelectric element 17 by, for example, solder, anisotropic conductive material or the like on the base end side. On the other hand, on the tip end side, each wiring layer 36 is electrically connected to a conductive pad 41 of a wiring board 40 provided on the case head 20 described in detail later.

さらにフレキシブルプリント基板５０の配線層５１には、圧電素子１７を駆動するための駆動回路６０が実装されている。駆動回路６０は、フレキシブルプリント基板５０の熱伝導部材３５に相対向する領域に実装されており、駆動回路６０と熱伝導部材３５とは、接続されることで、駆動回路６０の熱が熱伝導部材３５に熱伝導可能となっている。すなわち、駆動回路６０と熱伝導部材３５とは熱伝導可能に接続（熱結合）されている。なお、駆動回路６０と熱伝導部材３５とが熱伝導可能に接続されているとは、熱伝導部材３５と液体導入部材３０との接続と同様に、両者が互いに接触していても、接着剤等で接合されていてもよい。本実施形態では、駆動回路６０と熱伝導部材３５とを電熱フィラーが混練された接着剤６１を介して接合するようにした。   Further, a drive circuit 60 for driving the piezoelectric element 17 is mounted on the wiring layer 51 of the flexible printed board 50. The drive circuit 60 is mounted on a region of the flexible printed circuit board 50 opposite to the heat conduction member 35. The drive circuit 60 and the heat conduction member 35 are connected to each other so that the heat of the drive circuit 60 is thermally conducted. The member 35 can conduct heat. That is, the drive circuit 60 and the heat conducting member 35 are connected (thermally coupled) so as to be able to conduct heat. Note that the drive circuit 60 and the heat conducting member 35 are connected so as to be able to conduct heat, as in the connection between the heat conducting member 35 and the liquid introducing member 30, even if they are in contact with each other, the adhesive Etc. may be joined. In the present embodiment, the drive circuit 60 and the heat conducting member 35 are joined via the adhesive 61 in which the electrothermal filler is kneaded.

また、駆動回路６０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）などが挙げられる。また、駆動回路６０は、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１に、例えば、フリップ実装で搭載されている。なお、駆動回路６０のフレキシブルプリント基板５０上への実装は、例えば、金（Ａｕ）−金（Ａｕ）接続、金（Ａｕ）−錫（Ｓｎ）接続などの金属接続や、ＡＣＦ（異方性導電ペースト）、ＡＣＰ（異方性導電膜）、半田バンプ接続などを用いることができる。   Examples of the drive circuit 60 include a circuit board and a semiconductor integrated circuit (IC). The drive circuit 60 is mounted on the wiring layer 51 of the flexible printed board 50 by, for example, flip mounting. The drive circuit 60 is mounted on the flexible printed board 50 by, for example, metal connection such as gold (Au) -gold (Au) connection, gold (Au) -tin (Sn) connection, or ACF (anisotropic). Conductive paste), ACP (anisotropic conductive film), solder bump connection, or the like can be used.

このような駆動回路６０が熱伝達可能に接続された熱伝導部材３５及び液体導入部材３０としては、比較的熱伝導率が高い材料、すなわち、放熱性が高い材料が好ましく、アルミニウム、銅、鉄及びステンレス鋼などが好適である。これにより、駆動回路６０の熱を熱伝導部材３５、液体導入部材３０及びケースヘッド２０に効率よく熱伝導させることができる。なお、液体導入部材３０は、比較的熱伝導率が高い材料を用いるのが好ましいが、インク導入路２１を通るインクの種類により、インクを加熱したい温度によってその材料を適宜決定すればよい。   As the heat conducting member 35 and the liquid introducing member 30 to which the drive circuit 60 is connected so as to be able to transfer heat, a material having a relatively high thermal conductivity, that is, a material having a high heat dissipation property is preferable, and aluminum, copper, iron Stainless steel and the like are preferable. Thereby, the heat of the drive circuit 60 can be efficiently conducted to the heat conducting member 35, the liquid introducing member 30, and the case head 20. The liquid introduction member 30 is preferably made of a material having a relatively high thermal conductivity, but the material may be appropriately determined depending on the type of ink passing through the ink introduction path 21 and the temperature at which the ink is to be heated.

また、ケースヘッド２０も熱伝導率が高く放熱性の高い材料を用いるのが好ましいが、金属材料を用いるとインクジェット式記録ヘッド１０が重くなってしまうと共に製造コストが高コストになってしまうため、樹脂材料で形成するのが好ましい。したがって、液体導入部材３０は、ケースヘッド２０よりも熱伝導率の高い材料で形成されていることになる。   The case head 20 is also preferably made of a material having high thermal conductivity and high heat dissipation, but if a metal material is used, the inkjet recording head 10 becomes heavy and the manufacturing cost becomes high. It is preferable to form with a resin material. Accordingly, the liquid introduction member 30 is formed of a material having a higher thermal conductivity than the case head 20.

さらにケースヘッド２０上には、フレキシブルプリント基板５０の各配線層５１がそれぞれ接続される複数の導電パッド４１が設けられた配線基板４０が固定されており、ケースヘッド２０の収容部１９は、この配線基板４０によって実質的に塞がれている。配線基板４０には、ケースヘッド２０の収容部１９に対向する領域にスリット状の開口部４２が形成されており、フレキシブルプリント基板５０はこの配線基板４０の開口部４２から収容部１９の外側に引き出されて、引き出された領域が屈曲されて導電パッド４１と接続されている。   Further, on the case head 20, a wiring board 40 provided with a plurality of conductive pads 41 to which the respective wiring layers 51 of the flexible printed board 50 are connected is fixed. The wiring board 40 is substantially blocked. The wiring board 40 has a slit-like opening 42 formed in a region facing the housing part 19 of the case head 20, and the flexible printed circuit board 50 extends from the opening 42 of the wiring board 40 to the outside of the housing part 19. The drawn region is bent and connected to the conductive pad 41.

このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１７及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開口１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しない液体貯留手段から液体導入路であるインク導入路を介してリザーバ２２にインクが供給されると、インク供給路２３を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。そして、駆動回路６０からの駆動信号によって所定の圧電素子１７に電圧を印加及び解除することによって、圧電素子１７を収縮及び伸張させて圧力発生室１１に圧力変化を生じさせて、ノズル開口１３からインクを吐出させる。   In such an ink jet recording head 10, when ejecting ink droplets, the volume of each pressure generating chamber 11 is changed by deformation of the piezoelectric element 17 and the diaphragm 15 to eject ink droplets from a predetermined nozzle opening 13. It is like that. Specifically, when ink is supplied from a liquid storage unit (not shown) to the reservoir 22 via an ink introduction path which is a liquid introduction path, the ink is distributed to each pressure generating chamber 11 via the ink supply path 23. . Then, by applying and releasing a voltage to and from a predetermined piezoelectric element 17 by a drive signal from the drive circuit 60, the piezoelectric element 17 is contracted and expanded to cause a pressure change in the pressure generating chamber 11, and from the nozzle opening 13. Ink is ejected.

そして、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０では、駆動回路６０が接続（熱伝導可能に接続）された熱伝導部材３５が、ケースヘッド２０に保持された液体導入部材３０に接続（熱伝導可能に接続）されているため、駆動回路６０の熱を駆動回路６０の表面からだけではなく、熱伝導部材３５及び液体導入部材３０を介してケースヘッド２０に熱伝導させて放熱することができる。すなわち、ケースヘッド２０は、外部に露出された外装部材であるため、駆動回路６０の熱を熱伝導部材３５及び液体導入部材３０を介してケースヘッド２０で外気に放熱することができる。また、熱伝導部材３５をインク導入路２１が設けられた液体導入部材３０に接続（熱伝導可能に接続）することで、熱伝導部材３５及び液体導入部材３０をインク導入路２１を流れるインクによっても冷却（放熱）することができる。   In the ink jet recording head 10 of this embodiment, the heat conducting member 35 to which the drive circuit 60 is connected (connected so as to allow heat conduction) is connected to the liquid introduction member 30 held by the case head 20 (heat conducting is possible). Therefore, the heat of the drive circuit 60 can be radiated not only from the surface of the drive circuit 60 but also to the case head 20 through the heat conduction member 35 and the liquid introduction member 30 for heat dissipation. That is, since the case head 20 is an exterior member exposed to the outside, the heat of the drive circuit 60 can be radiated to the outside air by the case head 20 via the heat conducting member 35 and the liquid introduction member 30. Further, by connecting the heat conduction member 35 to the liquid introduction member 30 provided with the ink introduction path 21 (connected so as to be able to conduct heat), the heat conduction member 35 and the liquid introduction member 30 are connected by the ink flowing through the ink introduction path 21. Can also be cooled (heat radiation).

これにより、駆動回路６０の熱による破壊を防止することができると共に、駆動回路６０の放熱性を高めるために大型化する必要がなく、小型化することができる。ちなみに、駆動回路６０の発熱を抑制するためには、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要があるため、駆動回路６０内のトランジスタの大きさを確保する必要があったが、駆動回路６０を熱伝導部材３５に熱伝導可能に接続し、この熱伝導部材３５をインク導入路２１が設けられた液体導入部材３０に熱伝導可能に接続することで、熱伝導部材３５、液体導入部材３０及びケースヘッド２０によって駆動回路６０の熱を放熱することができるため、トランジスタの大きさを確保する必要がない。したがって、駆動回路６０の内部抵抗を低減する必要がなく、駆動回路６０を小型化することができると共にコストを低減することができる。   As a result, it is possible to prevent the drive circuit 60 from being damaged due to heat, and it is not necessary to increase the size of the drive circuit 60 in order to improve the heat dissipation of the drive circuit 60, and the drive circuit 60 can be reduced in size. Incidentally, since it is necessary to reduce the internal resistance of the drive circuit 60 in order to suppress the heat generation of the drive circuit 60, it is necessary to ensure the size of the transistor in the drive circuit 60. The heat conducting member 35 is connected to the heat conducting member 35 so as to be able to conduct heat, and the heat conducting member 35 is connected to the liquid introducing member 30 provided with the ink introduction path 21 so as to be able to conduct heat, whereby the heat conducting member 35, the liquid introducing member 30 and Since the heat of the drive circuit 60 can be radiated by the case head 20, it is not necessary to ensure the size of the transistor. Therefore, it is not necessary to reduce the internal resistance of the drive circuit 60, and the drive circuit 60 can be reduced in size and the cost can be reduced.

また、駆動回路６０の発熱を抑制することができるため、駆動回路６０に与える電流を大きくしてインク吐出特性を向上することができると共に、インクの連続吐出性能を向上することができる。すなわち、駆動回路６０は、電流を大きくすることで発熱が大きくなると共に、連続吐出させることで放熱時間が短くなるため、駆動回路６０を流れる電流やインクの連続吐出性能が制限されてしまうが、ケースヘッド２０及び熱伝導部材３５によって駆動回路６０の熱を放熱することにより、駆動回路６０を流れる電流を大きくすることができると共にインクの連続吐出を短い間隔で長時間行わせることができる。   In addition, since the heat generation of the drive circuit 60 can be suppressed, the current applied to the drive circuit 60 can be increased to improve the ink discharge characteristics, and the continuous ink discharge performance can be improved. That is, the drive circuit 60 increases heat generation by increasing the current, and the heat dissipation time is shortened by continuously discharging, so that the current flowing through the drive circuit 60 and the continuous discharge performance of ink are limited. By dissipating the heat of the drive circuit 60 by the case head 20 and the heat conducting member 35, the current flowing through the drive circuit 60 can be increased and the continuous ejection of ink can be performed at short intervals for a long time.

また、駆動回路６０をインク導入路２１が設けられた液体導入部材３０に熱伝導部材３５を介して熱伝導可能に接続することによって、液体導入部材３０のインク導入路２１を流れるインクを加熱することができる。このように、インクを加熱することによってインクの粘度を下げることができるため、インクジェット式記録ヘッド１０から高粘度インクを吐出させることができる。すなわち、駆動回路６０の熱で液体導入部材３０を介して高粘度インクを加熱することで、高粘度インクの粘度を低くすることができ、通常の粘度と同様の吐出特性で吐出させることができる。また、圧電素子１７のインク粘度に伴う駆動条件として設定する温度範囲において、低温側の設定、例えば、０℃〜４０℃の温度範囲の場合には、０℃側の温度を高くすることができる。これにより、駆動条件の制限を広げて、所望の吐出特性でインクを吐出することができ、高品質の印刷を実現できる。   Further, the ink that flows through the ink introduction path 21 of the liquid introduction member 30 is heated by connecting the drive circuit 60 to the liquid introduction member 30 provided with the ink introduction path 21 through the heat conduction member 35 so as to be able to conduct heat. be able to. Thus, since the viscosity of the ink can be lowered by heating the ink, the high-viscosity ink can be ejected from the ink jet recording head 10. That is, by heating the high-viscosity ink through the liquid introduction member 30 with the heat of the drive circuit 60, the viscosity of the high-viscosity ink can be lowered and can be ejected with the same ejection characteristics as the normal viscosity. . Further, in the temperature range set as the driving condition according to the ink viscosity of the piezoelectric element 17, the temperature on the 0 ° C. side can be increased in the case of the low temperature side setting, for example, the temperature range of 0 ° C. to 40 ° C. . As a result, the restriction on the driving conditions can be expanded, and ink can be ejected with desired ejection characteristics, thereby realizing high-quality printing.

さらに、熱伝導部材３５とは別部材として液体導入部材３０を設けることで、インクの粘度に応じてインクを加熱したい温度となるように液体導入部材３０を変更することができる。すなわち、熱伝導部材３５と圧電素子１７とは一体的に形成されてケースヘッド２０に固定されるため、この熱伝導部材３５の材料を変更することなく、液体導入部材３０のみをインクを加熱したい温度に応じて適宜変更することができるため、製造コストを低減することができる。   Furthermore, by providing the liquid introduction member 30 as a separate member from the heat conducting member 35, the liquid introduction member 30 can be changed so that the temperature at which the ink is desired to be heated is reached according to the viscosity of the ink. That is, since the heat conducting member 35 and the piezoelectric element 17 are integrally formed and fixed to the case head 20, it is desired to heat only the liquid introducing member 30 without changing the material of the heat conducting member 35. Since it can be changed as appropriate according to the temperature, the manufacturing cost can be reduced.

（実施形態２）
図３は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。 (Embodiment 2)
FIG. 3 is a cross-sectional view of an ink jet recording head which is an example of a liquid jet head according to Embodiment 2 of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member similar to Embodiment 1 mentioned above, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図３に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０Ａは、流路ユニット１６と、圧電素子ユニット１８と、ケースヘッド２０Ａとを具備する。   As shown in FIG. 3, the ink jet recording head 10A of the present embodiment includes a flow path unit 16, a piezoelectric element unit 18, and a case head 20A.

流路ユニット１６には、図示していないが、複数の圧力発生室１１毎に共通するリザーバ２２が２つ設けられている。   Although not shown, the flow path unit 16 is provided with two reservoirs 22 common to the plurality of pressure generation chambers 11.

また、ケースヘッド２０Ａには、各リザーバ２２に連通するインク導入路２１が設けられた液体導入部材３０Ａ、３０Ｂがそれぞれ設けられている。本実施形態では、ケースヘッド２０Ａに２つの液体導入部材３０Ａ、３０Ｂがそれぞれ保持される２つの保持孔３９Ａ、３９Ｂを設け、各保持孔３９Ａ、３９Ｂに液体導入部材３０Ａ、３０Ｂが保持されている。なお、流路ユニット１６のインク導入口２９は、特に図示していないが、各液体導入部材３０Ａ、３０Ｂに連通して２つ設けられている。   In addition, the case head 20A is provided with liquid introduction members 30A and 30B each provided with an ink introduction path 21 communicating with each reservoir 22. In the present embodiment, the case head 20A is provided with two holding holes 39A and 39B for holding the two liquid introduction members 30A and 30B, respectively, and the liquid introduction members 30A and 30B are held in the holding holes 39A and 39B. . The ink inlet 29 of the flow path unit 16 is provided in two communication with the liquid introduction members 30A and 30B, although not particularly shown.

また、熱伝導部材３５は、ケースヘッド２０Ａの段差部３８に固定されると共に、２つの液体導入部材３０Ａ、３０Ｂにそれぞれ接着剤７１Ａ、７１Ｂによって熱伝導可能に接続されている。   Further, the heat conducting member 35 is fixed to the stepped portion 38 of the case head 20A and is connected to the two liquid introducing members 30A and 30B by the adhesives 71A and 71B so as to be able to conduct heat.

このようなインクジェット式記録ヘッド１０Ａでは、２つのリザーバ２２にそれぞれ異なるインクを供給することができ、１つのインクジェット式記録ヘッド１０Ａから２種類のインクを吐出させることができる。そして、種類の異なるインクに応じて、液体導入部材３０Ａ、３０Ｂとして異なる材料を用いることができる。すなわち、インクの種類や粘度に応じて、液体導入部材３０Ａ、３０Ｂとして熱伝導率の異なる材料を用いることができ、駆動回路６０の熱を熱伝導部材３５を介して液体導入部材３０Ａ、３０Ｂに伝わらせてインクを加熱した際に、インクを加熱する温度をそれぞれ調整することができる。これにより、異なる粘度のインクを同じ吐出特性で吐出することや、インクに応じた吐出特性に調整して吐出させることができる。   In such an ink jet recording head 10A, different inks can be supplied to the two reservoirs 22, respectively, and two types of ink can be discharged from one ink jet recording head 10A. Different materials can be used as the liquid introduction members 30A and 30B according to different types of ink. That is, materials having different thermal conductivities can be used as the liquid introduction members 30A and 30B according to the type and viscosity of the ink, and the heat of the drive circuit 60 is transferred to the liquid introduction members 30A and 30B via the heat conduction member 35. When the ink is conveyed and heated, the temperature at which the ink is heated can be adjusted. Thereby, inks having different viscosities can be ejected with the same ejection characteristics, or can be ejected while adjusting to ejection characteristics according to the ink.

勿論、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０Ａであっても、上述した実施形態１と同様に駆動回路６０の熱を放熱して駆動回路６０を小型化することができると共にコストを低減することができる。   Of course, even with the ink jet recording head 10A of the present embodiment, the heat of the drive circuit 60 can be dissipated as in the first embodiment to reduce the size of the drive circuit 60 and reduce the cost. it can.

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態２では、２つの液体導入部材３０Ａ、３０Ｂを設けるようにしたが、液体導入部材３０Ａ、３０Ｂの数及び位置は特にこれに限定されるものではなく、例えば、ケースヘッド２０に１つの保持孔３９を設け、２つの液体導入部材３０Ａ、３０Ｂが互いに当接した状態で１つの保持孔３９に保持されるようにしてもよい。 (Other embodiments)
As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the second embodiment described above, the two liquid introduction members 30A and 30B are provided. However, the number and position of the liquid introduction members 30A and 30B are not particularly limited thereto. One holding hole 39 may be provided, and the two liquid introduction members 30 </ b> A and 30 </ b> B may be held in one holding hole 39 in a state where they are in contact with each other.

また、上述した実施形態１及び２では、液体導入部材３０、３０Ａ、３０Ｂをケースヘッド２０の厚さ方向に亘って設けるようにしたが、液体導入部材３０、３０Ａ、３０Ｂは、少なくとも熱伝導部材３５が接続される領域のみに設けられていればよい。すなわち、熱伝導部材３５が熱伝導可能に接続される領域、すなわちケースヘッド２０の配線基板４０側のみに液体導入部材を設け、ケースヘッドの流路ユニット１６側に液体導入部材のインク導入路に連通する連通路を設けて、これらでインク導入路を構成してもよい。   In the first and second embodiments described above, the liquid introduction members 30, 30A, 30B are provided across the thickness direction of the case head 20, but the liquid introduction members 30, 30A, 30B are at least a heat conducting member. It suffices if it is provided only in the region to which 35 is connected. That is, the liquid introduction member is provided only in the region where the heat conduction member 35 is connected so as to conduct heat, that is, on the wiring board 40 side of the case head 20, and the ink introduction path of the liquid introduction member is provided on the flow path unit 16 side of the case head. A communication path that communicates may be provided, and these may constitute the ink introduction path.

また、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。   Further, the ink jet recording head of the above-described embodiment constitutes a part of a recording head unit including an ink flow path communicating with an ink cartridge or the like, and is mounted on the ink jet recording apparatus. FIG. 4 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus.

図４に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。   As shown in FIG. 4, in the recording head units 1A and 1B having the ink jet recording head, cartridges 2A and 2B constituting ink supply means are detachably provided, and a carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted. Is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus body 4 so as to be movable in the axial direction. The recording head units 1A and 1B, for example, are configured to eject a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。   The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted is moved along the carriage shaft 5. The On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.

なお、上述した実施形態１では、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。   In the first embodiment described above, an ink jet recording head has been described as the liquid ejecting head. However, the present invention is widely intended for all liquid ejecting heads, and ejects liquid other than ink. Of course, it can also be applied. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bioorganic matter ejection head used for biochip production, and the like.

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a recording head according to Embodiment 2 of the invention. 本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。1 is a schematic view of an ink jet recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １０、１０Ａ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １１ 圧力発生室、 １２ 流路形成基板、 １３ ノズル開口、 １４ ノズルプレート、 １５ 振動板、 １６ 流路ユニット、 １７ 圧電素子、 １８ 圧電素子ユニット、 １９ 収容部、 ２０ ケースヘッド、 ２１ インク導入路（液体導入路）、 ３０、３０Ａ、３０Ｂ 液体導入部材、 ３５ 熱伝導部材、 ４０ 配線基板、 ５０ フレキシブルプリント基板、 ６０ 駆動回路   I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus) 10, 10A ink jet recording head (liquid ejecting head), 11 pressure generating chamber, 12 flow path forming substrate, 13 nozzle opening, 14 nozzle plate, 15 vibrating plate, 16 flow path Unit, 17 piezoelectric element, 18 piezoelectric element unit, 19 accommodating portion, 20 case head, 21 ink introduction path (liquid introduction path), 30, 30A, 30B liquid introduction member, 35 heat conduction member, 40 wiring board, 50 flexible print Substrate, 60 drive circuit

Claims (4)

液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子及び該圧電素子の基端部が固定される熱伝導部材とからなる圧電素子ユニットと、
該圧電素子ユニットが収容される収容部を有するケースヘッドと、
前記圧電素子に接続されて当該圧電素子を駆動する駆動回路が実装されたフレキシブルプリント基板とを具備し、
前記駆動回路が、前記熱伝導部材に接続されていると共に、前記ケースヘッドの少なくとも前記熱伝導部材が接合される領域には、当該ケースヘッドの他の領域よりも熱伝導率の高い材料からなり、且つ前記圧力発生室に液体を供給する液体導入路が設けられた液体導入部材が設けられており、前記熱伝導部材と前記液体導入部材とが接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 A piezoelectric element unit comprising a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, a piezoelectric element that causes a pressure change in the pressure generating chamber, and a heat conductive member to which a base end portion of the piezoelectric element is fixed;
A case head having an accommodating portion for accommodating the piezoelectric element unit;
A flexible printed circuit board mounted with a drive circuit connected to the piezoelectric element and driving the piezoelectric element;
The drive circuit is connected to the heat conducting member, and at least a region of the case head where the heat conducting member is joined is made of a material having higher heat conductivity than other regions of the case head. And a liquid introducing member provided with a liquid introducing path for supplying a liquid to the pressure generating chamber, and the heat conducting member and the liquid introducing member are connected to each other. . 前記液体導入部材が複数個設けられて、複数の前記液体導入路が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a plurality of the liquid introduction members are provided, and a plurality of the liquid introduction paths are provided. 前記ケースヘッドが、樹脂材料からなると共に、前記液体導入部材が金属材料からなることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the case head is made of a resin material, and the liquid introducing member is made of a metal material. 請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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