JP2009164389A - 半導体レーザ及びこれを用いた記録再生用ピックアップ装置、並びに、半導体レーザの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チップ10は、n型クラッド層22、活性層24、p型クラッド層26、p型コンタクト層28がこの順にn型GaN基板20に積層して構成される。p型クラッド層の一部及びp型コンタクト層は、ストライプ状のリッジ部30a、30bを構成しており、活性層のうちリッジ部に対応する領域がそれぞれ、記録用レーザ出射端面32a、再生用レーザ出射端面32bとなっており、記録用、再生用レーザ33a、33bが放射される。例えば、リッジ部の幅、リッジ部の両側でのpクラッド層の厚さを変更する等により放射角を変える。光ピックアップ装置での記録時は放射角の小さいレーザを、再生時は放射角の大きいレーザを用い、レーザ量子ノイズを低減させる。
【選択図】図1
Description
GaN系モノリシック2ビーム半導体レーザは2つの共振器を有し、一方のレーザ共振器の結晶成長と、他方のレーザ共振器の結晶成長を、別々に分けて行うことも、一方のレーザ共振器と他方のレーザ共振器を同一の結晶成長で作製することもできる。また、レーザ共振器の窓構造設計やストライプ状のリッジ部の形状構造の違いによって、2つのレーザ出射の放射角を変えることができる。
なお、図2(E)に示す工程において、一方及び他方のレーザ共振器のストライプ状のリッジ部30a、30bに対してそれぞれ別々に、幅W1r、W2rを残し深さD1、D2だけエッチングすることによって、後述する図3(D)と同様に、リッジ部30c、30dを形成することができ、記録及び再生用に好適なレーザビームの放射角を有するレーザダイオードを形成することができる。
ホログラム光学エレメント62、光電子集積回路64、レンズ66、モニタPD68、GaN系レーザ70を集積化してBD光集積素子72としてまとめた構成を示している。
22…n型クラッド層、24…多重量子井戸構造活性層、26…p型クラッド層、
28…p型コンタクト層、29…p側電極層、
30a〜30h…ストライプ状のリッジ部、32a…記録用レーザ出射端面、
32b…再生用レーザ出射端面、33a…記録用レーザ、33b…再生用レーザ、
34a〜34e、36a〜36d…窓部、40…光ディスク、
42a、42b…記録再生層、44…レーザ、46…対物レンズ、50…ディスク、
52…対物レンズ、54…1/4波長板(QWP)、56…立上げミラー、
58…コリメータレンズ、60…偏光ビームスピリッタ(PBS)、
62…ホログラム光学エレメント(HOE)、64…光電子集積回路(OEIC)、
66…レンズ、68…モニタPD、69、70…GaN系レーザ(BD LD)、
72…BD光集積素子、74…プリズム系、76…レンズ系、
77…1/2波長板(HWP)、78…受光IC、80…2ビームレーザチップ、
90…アッテネータ、91…液晶アッテネータ、92…NDフィルタ、
93…ノイズキャンセラ
Claims (20)
- 第1導電型層、活性層、第2導電型層をこの順に積層して構成された半導体層を備え、前記第2導電型層の一部の領域がエッチングされ所定の厚さとされ、前記一部の領域以外の他の領域がストライプ状のリッジ部として形成され、同一波長帯のレーザを放射する第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子が同一の基板に形成され、前記第1の窒化物半導体レーザ素子によって放射されるレーザの放射角が、前記第2の窒化物半導体レーザ素子によって放射されるレーザの放射角より小さくなるように構成された、半導体レーザ。
- 前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記第2導電型層の前記一部の領域の前記所定の厚さが概ね0.1μm前後であり、且つ、前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記第2導電型層の前記一部の領域の前記所定の厚さよりも厚く形成された、請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記リッジ部の幅が、前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記リッジ部の幅よりも大きく形成された、請求項2に記載の半導体レーザ。
- 前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面側に第1の窓構造を有する、請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面側に第2の窓構造を有し、この第2の窓構造の窓の長さは、前記第1の窓の長さよりも短く形成された、請求項4に記載の半導体レーザ。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子が、前記基板に同じ結晶成長プロセスによって形成された、請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子のそれぞれが、前記基板に異なる結晶成長プロセスによって形成された、請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層はテーパ形状を有し、前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面での幅が、前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面での幅よりも大きく形成された、請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子がGaN系半導体レーザ素子である、請求項1に記載の半導体レーザ。
- 第1導電型層、活性層、第2導電型層をこの順に積層して構成された半導体層を備え、前記第2導電型層の一部の領域がエッチングされ所定の厚さとされ、前記一部の領域以外の他の領域がストライプ状のリッジ部として形成され、同一波長帯のレーザを放射する第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子が同一の基板に形成され、前記第1の窒化物半導体レーザ素子によって放射されるレーザの放射角が、前記第2の窒化物半導体レーザ素子によって放射されるレーザの放射角より小さくなるように構成された半導体レーザを有する、記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記第2導電型層の前記一部の領域の前記所定の厚さが概ね0.1μm前後であり、且つ、前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記第2導電型層の前記一部の領域の前記所定の厚さよりも厚く形成された、請求項10に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記リッジ部の幅が、前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記リッジ部の幅よりも大きく形成された、請求項11に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面側に第1の窓構造を有する、請求項10に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面側に第2の窓構造を有し、この第2の窓構造の窓の長さは、前記第1の窓の長さよりも短く形成された、請求項13に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子が、前記基板に同じ結晶成長プロセスによって形成された、請求項10に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子のそれぞれが、前記基板に異なる結晶成長プロセスによって形成された、請求項10に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層はテーパ形状を有し、前記第1の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面での幅が、前記第2の窒化物半導体レーザ素子の前記活性層のレーザ出射端面での幅よりも大きく形成された、請求項10に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子がGaN系半導体レーザ素子である、請求項10に記載の記録再生用光ピックアップ装置。
- 第1導電型層、活性層、第2導電型層をこの順に積層し第1及び第2の半導体層を形
成する第1の工程と、
前記第1の半導体層の前記第2導電型層の一部の領域をエッチングして第1の所定の
厚さとし、前記一部の領域以外の他の領域をストライプ状の第1のリッジ部として形成
する工程と、
前記第2の半導体層の前記第2導電型層の一部の領域をエッチングして第2の所定の
厚さとし、前記一部の領域以外の他の領域をストライプ状の第2のリッジ部として形成
する工程と、
を有し、前記第1のリッジ部を除く領域における前記第2導電型層の厚さが前記第1の所定の厚さである第1の窒化物半導体レーザ素子と、前記第2のリッジ部を除く領域における前記第2導電型層の厚さが前記第2の所定の厚さである第2の窒化物半導体レーザ素子が同一の基板の上に形成され、前記第1及び第2の窒化物半導体レーザ素子が同一波長帯のレーザを放射する、半導体レーザの製造方法。 - 請求項2から請求項9の何れか1項に記載の半導体レーザを形成する、請求項19に記載の半導体レーザの製造方法。
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2008
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