JP2009139210A - Pressure sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧力導入孔を通じて導入される測定媒体の圧力を検出するための圧力センサに関するものである。 The present invention relates to a pressure sensor for detecting the pressure of a measurement medium introduced through a pressure introduction hole.
従来より、圧力導入孔を備えたハウジングとセンサチップを搭載したコネクタケースとをかしめ固定により一体に組み付けて構成される圧力センサが知られている。具体的には、ハウジングとコネクタケースとの間にはメタルダイヤフラムが備えられ、センサチップはメタルダイヤフラムで覆われた圧力検出室内に備えられていると共に、圧力検出室内はオイルで充填されており、センサチップはターミナルとボンディングワイヤを介して電気的に接続されている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a pressure sensor configured by integrally assembling a housing having a pressure introduction hole and a connector case on which a sensor chip is mounted by caulking and fixing. Specifically, a metal diaphragm is provided between the housing and the connector case, the sensor chip is provided in a pressure detection chamber covered with the metal diaphragm, and the pressure detection chamber is filled with oil, The sensor chip is electrically connected to the terminal via a bonding wire (see, for example, Patent Document 1).
このような圧力センサは、圧力導入孔のうちセンサチップ側の端部が広げられて部屋が構成されており、この部屋に圧力導入孔を介して測定媒体が導入されることでメタルダイヤフラムに測定媒体の圧力が印加され、圧力検出室内に充填されているオイルを介してセンサチップに測定媒体の圧力が印加される。そして、センサチップは圧力に応じた電気信号を出力し、この電気信号がボンディングワイヤおよびターミナルを介して外部に出力されることで測定媒体の圧力の検出が行われる。
しかしながら、上記特許文献1の圧力センサでは、メタルダイヤフラムに向かって直線状に形成されているため測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際に、測定媒体は圧力導入孔を介して高圧のまま部屋に導入される。そして、高圧のまま測定媒体が直接メタルダイヤフラムに印加されことになるので、メタルダイヤフラムの割れが発生したり、圧力検出室を充填するオイルに流れを発生させてボンディングワイヤを断線するという問題がある。 However, since the pressure sensor of Patent Document 1 is formed linearly toward the metal diaphragm, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, the measurement medium remains in a high pressure chamber through the pressure introduction hole. To be introduced. Then, since the measurement medium is directly applied to the metal diaphragm with a high pressure, there is a problem that the metal diaphragm is cracked or the bonding wire is disconnected by generating a flow in the oil filling the pressure detection chamber. .
本発明は上記点に鑑みて、測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際に、メタルダイヤフラムの割れやボンディングワイヤの断線を防止することのできる圧力センサを提供することを目的とする。 In view of the above points, an object of the present invention is to provide a pressure sensor that can prevent a metal diaphragm from cracking or a bonding wire from being broken when a high surge pressure is generated in a measurement medium.
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、第1のケース(10)と圧力導入孔(31)を備えた第2のケース(30)とを一体に組み付けてケーシング(100)を構成し、このケーシング(100)内にセンシング部(20)を備えると共に、第1のケース(10)の先端面(10a)と第2のケース(30)の一面(30b)との間にメタルダイヤフラム(34)を配置した圧力センサであって、第2のケース(30)のうち圧力導入孔(31)を広げることで形成した部屋(32)内に測定媒体が導入され、この測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム(34)に印加されると、測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム(34)を介してセンシング部(20)に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、第2のケース(30)のうち第1のケース(10)と組み付けられる側と反対側の端部に、測定媒体を通過させる通路(41)を形成した圧力導入部材(40)を接合し、通路(41)と圧力導入孔(31)とを連結して、測定媒体を通路(41)および圧力導入孔(31)を介して部屋(32)内に導入することを第1の特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, the first case (10) and the second case (30) provided with the pressure introducing hole (31) are assembled together to form a casing (100). The casing (100) is provided with a sensing unit (20), and between the front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30). A pressure sensor in which a metal diaphragm (34) is arranged, and the measurement medium is introduced into a room (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30). Is applied to the metal diaphragm (34), the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed. Case 30), a pressure introducing member (40) having a passage (41) through which the measurement medium passes is joined to an end opposite to the side assembled with the first case (10), and the passage (41) The first feature is that the measurement medium is introduced into the room (32) through the passage (41) and the pressure introduction hole (31) by connecting the pressure introduction hole (31).
このような圧力センサによれば、測定媒体が通路(41)に導入される際に流入が規制されるので圧力減衰効果を得ることができる。また、測定媒体は圧力導入孔(31)の内壁との摩擦に加えて、通路(41)の内壁との摩擦により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので従来の圧力センサより圧力減衰効果を得ることができる。これらのように測定媒体の圧力減衰効果を得ることができるので、測定媒体が高圧のまま部屋(32)内に導入されることを防止することができると共に、測定媒体が高圧のままメタルダイヤフラム(34)に印加されることを防止することができ、メタルダイヤフラム(34)の割れやボンディングワイヤ(13)の断線を防止することができる。 According to such a pressure sensor, since the inflow is restricted when the measurement medium is introduced into the passage (41), a pressure damping effect can be obtained. In addition to friction with the inner wall of the pressure introduction hole (31), the measurement medium converts pressure energy into thermal energy due to friction with the inner wall of the passage (41), so that a pressure damping effect is obtained from a conventional pressure sensor. be able to. Since the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained as described above, it is possible to prevent the measurement medium from being introduced into the chamber (32) with a high pressure, and a metal diaphragm ( 34) can be prevented, and cracking of the metal diaphragm (34) and disconnection of the bonding wire (13) can be prevented.
例えば、請求項2に記載の発明のように、通路(41)を圧力導入部材(40)を貫通する貫通孔(43)を有して構成し、貫通孔(43)のうち一端側を圧力導入部材(40)のうち第2のケース(30)との接合面に形成することで貫通孔(43)と圧力導入孔(31)とを連結することができる。 For example, as in the invention described in claim 2, the passage (41) is configured to have a through hole (43) penetrating the pressure introducing member (40), and one end side of the through hole (43) is pressurized. A through-hole (43) and a pressure introduction hole (31) can be connected by forming in a joint surface with the 2nd case (30) among introduction members (40).
この場合、請求項3に記載の発明のように、通路(41)を構成する貫通孔(43)をスパイラル形状とすることができる。 In this case, the through-hole (43) which comprises a channel | path (41) can be made into a spiral shape like invention of Claim 3.
このような圧力センサによれば、通路(41)がスパイラル形状とされているので、測定媒体は通路(41)の内壁と衝突しながら通路(41)を通過していく。この際に、通路(41)の外周側の測定媒体は通路(41)の外周壁面と衝突することで既に流動方向が外周に沿った方向とされているが、この測定媒体より内周側の測定媒体の流動方向に関してはまだ流動方向が外周壁面に向いているため、これらの測定媒体の流動方向が異なることになり測定媒体同士で衝突する。このため、測定媒体はスパイラル形状を通過する際に、通路(41)および測定媒体同士との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。 According to such a pressure sensor, since the passage (41) has a spiral shape, the measurement medium passes through the passage (41) while colliding with the inner wall of the passage (41). At this time, the measurement medium on the outer circumference side of the passage (41) collides with the outer peripheral wall surface of the passage (41), so that the flow direction is already in the direction along the outer circumference. With respect to the flow direction of the measurement medium, the flow direction is still directed toward the outer peripheral wall surface, so that the flow directions of these measurement media are different and the measurement media collide with each other. For this reason, when the measurement medium passes through the spiral shape, pressure energy is converted into thermal energy by collision with the passage (41) and the measurement medium, so that the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained. The same effect can be obtained.
また、請求項4に記載の発明のように、圧力導入部材(40)を複数の板状部材(46)で構成し、板状部材(46)に孔(45)を形成して、通路(41)を構成する貫通孔(43)を板状部材(46)の孔(45)同士の一部分がずれるように板状部材(46)を貼り合わせることで形成してもよい。 Further, as in the invention described in claim 4, the pressure introducing member (40) is constituted by a plurality of plate-like members (46), holes (45) are formed in the plate-like member (46), and a passage ( You may form the through-hole (43) which comprises 41) by bonding a plate-shaped member (46) so that a part of hole (45) of a plate-shaped member (46) may shift | deviate.
このような圧力センサによれば、圧力導入部材(40)に形成された通路(41)が各板状部材(46)の孔(45)同士の一部分がずらして貼り合わされることで形成されているため、測定媒体は通路(41)を通過する際に、板状部材(46)のうち孔(45)の一部を封鎖する部分と衝突しながら通路(41)を通過していく。このため、測定媒体は通路(41)との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。 According to such a pressure sensor, the passage (41) formed in the pressure introducing member (40) is formed by bonding a part of the holes (45) of the plate-like members (46) while being shifted. Therefore, when the measurement medium passes through the passage (41), it passes through the passage (41) while colliding with a portion of the plate-like member (46) that blocks a part of the hole (45). For this reason, since the pressure energy is converted into thermal energy by the collision with the passage (41), the measurement medium can obtain the pressure attenuation effect of the measurement medium, and can obtain the same effect as the above effect.
また、請求項5に記載の発明のように、圧力導入部材(40)を底部および側壁を備えると共に、中空部を備えて構成し、側壁のうち底部側と反対側の端部を第2のケース(30)と接合し、圧力導入部材(40)に、通路(41)の一部として圧力導入部材(40)に到達する前の測定媒体の流動方向と異なる方向から測定媒体を中空部に導入する導入部(44)を形成してもよい。 Further, as in the invention described in claim 5, the pressure introducing member (40) includes a bottom portion and a side wall, and includes a hollow portion, and an end portion of the side wall opposite to the bottom side is formed as the second end portion. The measurement medium is joined to the case (30) from the direction different from the flow direction of the measurement medium before reaching the pressure introduction member (40) as a part of the passage (41) to the pressure introduction member (40). An introduction part (44) to be introduced may be formed.
このような圧力センサによれば、測定媒体は圧力導入部材(40)に到達すると流動方向が変化され、流動方向が変化された測定媒体が導入部(44)から中空部に導入される。このため、測定媒体が中空部に導入される際に、測定媒体の流動方向を変化させることができるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる
また、請求項6に記載の発明のように、圧力導入部材(40)を、第2のケース(30)との接合面から第2のケース(30)と反対側に伸びている中心部分(40a)と、中心部分(40a)のうち接合面と反対側の端部に中心部分(40a)の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部分(40b)とを有して構成し、貫通孔(43)を中心部分(40a)および突出部分(40b)の中心軸に沿って形成してもよい。
According to such a pressure sensor, when the measurement medium reaches the pressure introduction member (40), the flow direction is changed, and the measurement medium whose flow direction is changed is introduced from the introduction part (44) into the hollow part. For this reason, when the measurement medium is introduced into the hollow portion, the flow direction of the measurement medium can be changed, so that the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained, and the same effect as the above effect can be obtained. Further, as in the sixth aspect of the invention, the pressure introduction member (40) is extended from the joint surface with the second case (30) to the center portion ( 40a) and a projecting portion (40b) projecting perpendicularly to the central axis of the central portion (40a) at the end of the central portion (40a) opposite to the joint surface. The hole (43) may be formed along the central axis of the central portion (40a) and the protruding portion (40b).
このような圧力センサによれば、通路(41)が中心部分(40a)および突出部分(40b)に沿って形成されているので、通路(41)は圧力導入部材(40)内で垂直に曲げられており、測定媒体の流動方向を圧力導入部材(40)内で垂直に変化させることができ、圧力減衰効果を得ることができる。さらに、測定媒体は通路(41)を構成する内壁のうち垂直に曲がる部分と衝突することで流動方向が変化されるため、衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されることで圧力減衰効果を得ることができる。このため、上記効果と同様の効果を得ることができる。 According to such a pressure sensor, since the passage (41) is formed along the central portion (40a) and the protruding portion (40b), the passage (41) is bent vertically in the pressure introducing member (40). Therefore, the flow direction of the measurement medium can be changed vertically in the pressure introduction member (40), and a pressure damping effect can be obtained. Furthermore, since the flow direction is changed when the measurement medium collides with a vertically bent portion of the inner wall constituting the passage (41), the pressure energy is converted into thermal energy by the collision, thereby obtaining a pressure damping effect. be able to. For this reason, the effect similar to the said effect can be acquired.
また、請求項7および請求項11に記載の発明では、圧力導入孔(31)の内壁に、圧力導入孔(31)の内壁を凹ませた凹み部(39b)を形成することを特徴としている。
The inventions according to
このような圧力センサによれば、圧力導入孔(31)に凹み部(39b)が形成されているので、圧力導入孔(31)の内壁を構成する表面積を増加させることができる。このため、測定媒体が圧力導入孔(31)を通過する際に、測定媒体が通路(41)の内壁と摩擦を起こすことのできる部分を増加させることができ、従来の圧力センサより測定媒体の圧力エネルギーを熱エネルギーに変換することができ、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができるので上記効果と同様の効果を得ることができる。 According to such a pressure sensor, since the recess (39b) is formed in the pressure introduction hole (31), the surface area constituting the inner wall of the pressure introduction hole (31) can be increased. For this reason, when the measurement medium passes through the pressure introduction hole (31), it is possible to increase the portion where the measurement medium can cause friction with the inner wall of the passage (41). Since pressure energy can be converted into thermal energy and the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained, the same effect as the above effect can be obtained.
例えば、請求項8および請求項12に記載の発明のように、圧力導入孔(31)に、圧力導入孔(31)のうち部屋(32)側の径を部屋(32)と反対側の径より拡大した拡大部(39a)を形成してもよい。
For example, as in the invention described in
このような圧力センサによれば、圧力導入孔(31)に導入された測定媒体が拡大部(39a)にも流動することになり、測定媒体が拡大部(39a)に流動された際に、測定媒体は拡大部(39a)の壁面と衝突することで圧力エネルギーが熱エネルギーに変換される。このため測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。 According to such a pressure sensor, the measurement medium introduced into the pressure introduction hole (31) will also flow into the enlarged portion (39a), and when the measurement medium is flowed into the enlarged portion (39a), When the measurement medium collides with the wall surface of the enlarged portion (39a), the pressure energy is converted into thermal energy. For this reason, the pressure attenuation effect of a measurement medium can be acquired and the effect similar to the said effect can be acquired.
また、請求項9、請求項13および請求項15に記載の発明のように、メタルダイヤフラム(34)に底面および頂点を有する錐形状の流動規制部材(50)を備え、流動規制部材(50)のうち底面をメタルダイヤフラム(34)と対向するように配置すると共に頂点を圧力導入孔(31)側に向けて配置してもよい。
Further, as in the inventions of
このような圧力センサによれば、メタルダイヤフラム(34)に備えられた流動規制部材(50)により測定媒体の流動が規制されるので圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。 According to such a pressure sensor, since the flow of the measurement medium is regulated by the flow regulating member (50) provided in the metal diaphragm (34), a pressure damping effect can be obtained, and the same effect as the above effect can be obtained. Obtainable.
また、請求項10および請求項15に記載の発明のように、部屋(32)に、部屋(32)をメタルダイヤフラム(34)側と圧力導入孔(31)側とに区画する複数の貫通孔(52)を備えたバッフル板(51)を配置し、バッフル板(51)とメタルダイヤフラム(34)との間に測定媒体がメタルダイヤフラム(34)に流動することを規制するビーズ(53)を配置してもよい。
Further, as in the inventions according to
このような圧力センサによれば、部屋(32)内にバッフル板(51)とビーズ(53)とが配置されているので、測定媒体が部屋(32)のうちメタルダイヤフラム(34)側の部屋(32)に導入される際に、測定媒体はバッフル板(51)とビーズ(53)とにより流入が規制されると共に、バッフル板(51)およびビーズ(53)に衝突する。このため、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。 According to such a pressure sensor, since the baffle plate (51) and the beads (53) are arranged in the room (32), the measurement medium is a room on the metal diaphragm (34) side of the room (32). When introduced into (32), the flow of the measurement medium is restricted by the baffle plate (51) and the beads (53) and collides with the baffle plate (51) and the beads (53). For this reason, the pressure attenuation effect of a measurement medium can be acquired and the effect similar to the said effect can be acquired.
また、請求項16および請求項17に記載の発明のように、第2のケース(30)のうち第1のケース(10)と組み付けられる側と反対側の端部に第2のケース(30)の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部を有し、圧力導入孔(31)を第2のケース(30)および突出部の中心軸に沿って備えてもよい。
Further, as in the inventions according to
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.
(第1実施形態)
以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図1に、本実施形態における圧力センサの全体断面図を示し、図2に図1に示すA−A断面図を示す。これら図1および図2に基づいて説明する。なお、この圧力センサは、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力、エンジン内のエンジンオイル圧、駆動系のCVTオイル圧およびディーゼル車の排気洗浄フィルタであるDPFの差圧計測等の検出に用いられる。
(First embodiment)
Hereinafter, a pressure sensor to which an embodiment of the present invention is applied will be described. FIG. 1 shows an overall cross-sectional view of the pressure sensor in the present embodiment, and FIG. 2 shows an AA cross-sectional view shown in FIG. This will be described with reference to FIG. 1 and FIG. The pressure sensor is mounted on a vehicle, for example, a refrigerant pressure in a refrigerant pipe of an automobile air conditioner, an engine oil pressure in an engine, a CVT oil pressure in a drive system, and a differential pressure of a DPF that is an exhaust cleaning filter of a diesel vehicle. Used for detection of measurement and the like.
図1に示されるように、第1のケースとしてのコネクタケース10は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース10の一端部(図1中、下方側の端部)には、凹部11が形成されている。
As shown in FIG. 1, a
この凹部11の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子20が配設されている。
A
センサ素子20は、その表面に受圧面としてのダイヤフラムを有し、このダイヤフラムの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイヤフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものである。
The
そして、センサ素子20は、ガラス等よりなる台座21に陽極接合等により一体化されており、この台座21を凹部11の底面に接着することで、センサ素子20はコネクタケース10に搭載されている。
The
また、コネクタケース10には、センサ素子20と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル12が貫通している。
In addition, a plurality of metal rod-shaped
本実施形態では、ターミナル12は黄銅(真鍮)にメッキ処理(例えばNiメッキ)を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース10と一体に成形されることによってコネクタケース10内にて保持されている。
In the present embodiment, the terminal 12 is made of a material obtained by plating brass (brass) (for example, Ni plating), and is held in the
各ターミナル12の一端側(図1中、下方端側)の端部は、センサ素子20の搭載領域の周囲において凹部11の底面から突出して配置されている。一方、各ターミナル12の他端側(図1中、上方端側)の端部は、コネクタケース10の他端側の開口部15内に露出している。
The end of each terminal 12 on one end side (the lower end side in FIG. 1) is disposed so as to protrude from the bottom surface of the
この凹部11内に突出する各ターミナル12の一端部とセンサ素子20とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ13により結線され電気的に接続されている。
One end of each terminal 12 protruding into the
また、凹部11内にはシリコーン系樹脂等からなるシール剤14が設けられており、このシール剤14によって、凹部11に突出するターミナル12の根元部とコネクタケース10との隙間が封止されている。
Further, a sealing
一方、図1において、コネクタケース10の他端部(図1中、上方側の端部)側は開口部15となっており、この開口部15は、ターミナル12の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材(図示せず)を介して上記外部回路(車両のECU等)に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。
On the other hand, in FIG. 1, the other end portion (the upper end portion in FIG. 1) side of the
つまり、開口部15内に露出する各ターミナル12の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子20と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ13およびターミナル12を介して行われるようになっている。
That is, the other end side of each terminal 12 exposed in the
また、図1に示されるように、コネクタケース10の一端部には、第2のケースとしてのハウジング30が組み付けられている。具体的には、ハウジング30には収容凹部30aが形成されており、この収容凹部30a内にコネクタケース10の一端側が挿入されることで、コネクタケース10にハウジング30が組みつけられた構成となっている。
As shown in FIG. 1, a
これにより、第1のケースとしてのコネクタケース10と第2のケースとしてのハウジング30とが一体に組み付けられてなるケーシング100が構成されており、このケーシング100内にセンサ素子20が設けられた形となっている。
Thus, a
このハウジング30は、例えばアルミニウム(Al)等の金属材料よりなるものであり、圧力導入孔31と、圧力導入孔31におけるセンサ素子20側の端部が断面テーパ状(ラッパ形状)に広げられることで形成された部屋32と、圧力センサを測定対象物に固定するためのネジ部33とを有する。上述したように、圧力センサは、例えば、自動車エアコンの冷媒配管内に搭載され、測定圧力は、その冷媒配管内の冷媒圧力等である。
The
また、ハウジング30のうちコネクタケース10に組み付けられる側と反対側の端部に円柱状の圧力導入部材40が例えば、シリコーン樹脂等からなる接着剤を介して備えられている。この圧力導入部材40は、例えば、PPSを型成形することで作られ、圧力導入部材40の内部には、測定媒体を導入して圧力導入孔31に導く通路41が形成されている。
Further, a cylindrical
図1および図2に示されるように、この通路41は凹部42と貫通孔43とを有して構成されている。具体的には、圧力導入部材40のうちハウジング30側の端部に凹部42が形成されており、凹部42の底面から圧力導入部材40のうちハウジング30側と反対側の端部まで圧力導入部材40を貫通する五つの貫通孔43が形成されている。これらの貫通孔43のうち圧力導入部材40の中心部に形成された貫通孔43は圧力導入部材40の中心軸に沿って形成されており、残りの貫通孔43は凹部42の底面から圧力導入部材40のうちハウジング30側と反対側の端部に向かって圧力導入部材40の中心軸に収束されるように斜めに形成さている。
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
さらに、図1に示されるように、コネクタケース10の先端面10aとハウジング30における収容凹部30aのうちコネクタケース10の先端面10aと対向する一面30bとの間に、薄い金属(例えば、SUS等)製のメタルダイヤフラム34と金属(例えば、SUS等)製のリングウェルド(押さえ部材)35とが配置されている。ハウジング30の一面30bとリングウェルド35とは、全周にわたって例えば溶接等によって気密接合されている。リングウェルド35とメタルダイヤフラム34とは予め溶接によって、もしくは、リングウェルド35をハウジング30に溶接するときに、全周が気密接合された状態となっている。
Further, as shown in FIG. 1, a thin metal (for example, SUS or the like) is formed between the
そして、ハウジング30のうち収容凹部30a側の端部がコネクタケース10の一端部にかしめられることで、かしめ部36が形成され、それによって、ハウジング30とコネクタケース10とが固定され一体化されている。
And the crimping |
こうして組み合わせられたコネクタケース10とハウジング30とにおいて、コネクタケース10の凹部11とハウジング30のダイヤフラム34との間で、圧力検出室37が構成されている。
In the
この圧力検出室37には圧力伝達媒体であり封入液であるオイル(フッ素オイル等)38が充填され封入されている。このオイル38の封入により、凹部11にはセンサ素子20及びワイヤ13等の電気接続部分を覆うようにオイル38が充填され、さらに、オイル38はダイヤフラム34により覆われて封止された形となる。
The
このような圧力検出室37を構成することにより、圧力導入孔31から導入された圧力は、メタルダイヤフラム34、オイル38を介して、圧力検出室37内のセンサ素子20、ボンディングワイヤ13、ターミナル12に印加されることになる。
By constructing such a
また、コネクタケース10の先端面10aに、圧力検出室37の外周を囲むように、環状の溝(Oリング溝)16が形成され、この溝16内には、圧力検出室37を気密封止するためのOリング17が配設されている。
Further, an annular groove (O-ring groove) 16 is formed on the
このOリング17は例えばシリコーンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース10とハウジング30とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイヤフラム34とOリング17とにより圧力検出室37が封止され閉塞される。
The O-
このような圧力センサは、基本的には従来と同様(例えば、特開平7−243926号公報参照)にして製造され、ハウジング30に圧力導入部材40を備える工程を追加すればよい。すなわち、ハウジング30をコネクタケース10に嵌合する前に、上記形状の通路41を備えた圧力導入部材40のうち凹部42が形成された端部をハウジング30のうちコネクタケース10に組み付けられる側と反対側の端部にシリコーン樹脂等からなる接着剤を介して接合しておけばよい。
Such a pressure sensor is basically manufactured in the same manner as the conventional one (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-243926), and a process of providing the
かかる圧力センサの基本的な圧力検出動作について述べる。 The basic pressure detection operation of such a pressure sensor will be described.
圧力センサは、例えば、ハウジング30のネジ部33を介して、車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付けられる。そして、配管内の測定媒体が圧力導入部材40内に形成された通路41およびハウジング30に備えられた圧力導入孔31を介して部屋32に導入される。
For example, the pressure sensor is attached to an appropriate position of the refrigerant piping system of the air conditioner in the vehicle via the
このため、導入された測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム34から圧力検出室37内のオイル38を介して、センサ素子20の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子20から出力される。このセンサ信号は、センサ素子20からワイヤ13、ターミナル12を介して、上記外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、本実施形態の圧力センサにおける圧力検出が行われる。
Therefore, the pressure of the introduced measurement medium is applied from the
このような圧力センサによれば、測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際には、この測定媒体は圧力導入部材40に形成された上記形状の通路41を通過して圧力導入孔31に導入されるため、測定媒体が配管から通路41に導入される際に、測定媒体の流入が規制され圧力減衰効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, the measurement medium passes through the
また、測定媒体に高圧のサージ圧が発生すると、測定媒体は粒子の運動が活発になるので、測定媒体は通路41および圧力導入孔31の内壁と衝突を繰り返しながら部屋32内に導入される。このため、この測定媒体は圧力導入孔31の内壁との摩擦に加えて、通路41の内壁との摩擦により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので、圧力導入孔31のみを備えた従来の圧力センサより圧力減衰効果を得ることができる。
Further, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, the movement of particles in the measurement medium becomes active, so that the measurement medium is introduced into the
これらのように本実施形態では、測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際には圧力の減衰効果を得ることができるので、測定媒体が高圧のまま部屋32内に導入されることを防止することができると共に、測定媒体が高圧のままメタルダイヤフラム34に印加されることを防止することができ、メタルダイヤフラム34の割れやボンディングワイヤ13の断線を防止することができる。なお、通常の圧力検出動作中においても、測定媒体が配管から通路41に導入される際に、測定媒体の流入が規制されることで圧力が減衰されることになるが、例えば、センサ部20の検出精度を調整しておけば通常通り圧力の検出を正確に行うことができる。
As described above, in the present embodiment, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, a pressure attenuation effect can be obtained, and therefore, the measurement medium is prevented from being introduced into the
また、本実施形態では、貫通孔43を斜めに形成することで、測定媒体と通路41の内壁との摩擦が起こる長さを長くし、圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されやすくしている。さらに、各貫通孔43は圧力導入部材40の中心軸に収束するように形成されているが、各貫通孔43は中心軸と平行に形成されていてもよい。また、本実施形態では通路41は凹部42と貫通孔43とを有して構成されているが、貫通孔43のみで通路41を構成してもよい。さらに、貫通孔43の本数は5本に限られるものではなく、適宜変更可能である。
In the present embodiment, the through
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、圧力導入部材40の内部に形成された通路41の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図3は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。なお、図3中では圧力導入部材40を正面レイアウト図で描いている。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is different from the first embodiment in the configuration of the
図3に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材40の内部に形成された通路41がスパイラル形状とされている。具体的には、この通路41は圧力導入部材40の中心軸に対してスパイラル形状とされており、通路41のうち、一端部が圧力導入孔31と連結され、他端部が圧力導入部材40のうちハウジング30との接合面と反対側の面に形成されている。
As shown in FIG. 3, in the pressure sensor of the present embodiment, the
このような圧力センサによれば、通路41がスパイラル形状とされているので、測定媒体は通路41の内壁と衝突しながら通路41を通過していく。この際に、通路41の外周側の測定媒体は通路41の外周壁面と衝突することで既に流動方向が外周に沿った方向とされているが、この測定媒体より内周側の測定媒体の流動方向に関してはまだ流動方向が外周壁面に向いているため、これらの測定媒体の流動方向が異なることになり測定媒体同士で衝突する。このため、測定媒体はスパイラル形状を通過する際に、通路41および測定媒体同士との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, since the
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、圧力導入部材40の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図4は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the
図4に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材40が金属(例えば、SUS等)製の孔45を備えた3枚の円盤46にて構成されており、各円盤46に形成された孔45同士の一部分がずれるように各円盤46が貼り合わされている。つまり、圧力導入部材40の内部に形成された通路41を構成する貫通孔43が各円盤46に形成された孔45の中心軸がずらして貼り合わされることで段形状とされている。
As shown in FIG. 4, in the pressure sensor of the present embodiment, the
このような圧力センサによれば、圧力導入部材40に形成された通路41が各円盤46の孔45同士の一部分がずらして貼り合わされることで形成されているため、測定媒体は通路41を通過する際に、円盤46の端面のうち孔45の一部を封鎖する部分と衝突しながら通路41を通過していく。このため、測定媒体は通路41との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, since the
なお、本実施形態では板状部材として円盤46を用いているが、もちろん円盤46に限定されるものではない。また、各円盤46に形成される孔45をそれぞれ異なる形状としてもよい。
In the present embodiment, the
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、圧力導入部材40の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図5(a)は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図、図5(b)は(a)に示すB−B断面図である。
(Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the
図5(a)に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材40が底部および側壁を有すると共に中空部を備えた有底円筒部材で構成されている。この圧力導入部材40はステンレス等の部材で構成されており、側壁のうち底部と反対側の端部がハウジング30と金属接合されている。そして、圧力導入部材40の側壁のうち、ハウジング30と接合される端部側に導入部44が形成されている。具体的には、図5(b)に示されるように、圧力センサを配管に取り付けた際に、圧力導入部材40に到達する前の測定媒体の流動方向はP1で示す側壁から圧力導入部材40の中心軸に向かう方向であり、導入部44は側壁のうちこの方向と垂直な部分に形成されている。
As shown in FIG. 5A, in the pressure sensor of the present embodiment, the
このような圧力センサによれば、図5(b)に示されるように、測定媒体は圧力導入部材40に到達すると測定媒体の流動方向が圧力導入部材40の周方向(図5(b)中でP2と示す)に変化される。そして、流動方向が変化された測定媒体が導入部44から中空部に導入される。このため、測定媒体が中空部に導入される際に、測定媒体の流動方向を変化させることができるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, as shown in FIG. 5B, when the measurement medium reaches the
なお、本実施形態では導入部44は圧力導入部材40の側壁のうちハウジング30側に形成されているが、もちらんこれに限定されるものではない。さらに、導入部44は圧力導入部材40の側壁のうち圧力導入部材40に到達する前の測定媒体の流動方向と垂直な部分に備えられているが、流動方向と導入部44との角度をより大きくすればさらに測定媒体の流動方向を変化させることができ、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができる。
In addition, in this embodiment, although the
(第5実施形態)
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、圧力導入部材40の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図6は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。
(Fifth embodiment)
A fifth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the
図6に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材40は、ハウジング30との接合面からハウジング30と反対側に伸びている中心部分40aと、中心部分40aのうち接合面と反対側の端部に中心部分40aの中心軸に対して垂直方向に突出している突出部分40bとを有して構成されている。そして、貫通孔43は中心部分40aおよび突出部分40bの中心軸に沿って形成されている。
As shown in FIG. 6, in the pressure sensor of the present embodiment, the
このような圧力センサによれば、圧力導入部材40に形成された通路41は圧力導入部材40の内部で垂直に曲げられているので、測定媒体が通路41を通過する際に流動方向を垂直に変化させることができ、圧力減衰効果を得ることができる。さらに、測定媒体は流動方向が垂直に変化される際に通路41の内壁と衝突することになるので、衝突により測定媒体の圧力エネルギーを熱エネルギーに変換することができ、圧力減衰効果を得ることができる。本実施形態ではこれらのように圧力減衰効果を得ることができるので上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, the
なお、本実施形態では圧力導入部材40を中心部分40aと突出部分40bとを有して構成し、通路41を圧力導入部材40の内部で垂直に曲げているが、ハウジング30に圧力導入部材40を備え付けず、ハウジング30のうちコネクタケース10に組み付けられる側と反対側の端部を垂直に折り曲げてもよい。
In the present embodiment, the
(第6実施形態)
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは圧力導入孔31の構造を変更したものであり、その他の構造に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図7は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。
(Sixth embodiment)
A sixth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the structure of the
図7に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入孔31に、圧力導入孔31のうち部屋32側の径が圧力導入部材40側の径より拡大された拡大部39aが形成されている。
As shown in FIG. 7, in the pressure sensor of the present embodiment, the
このような圧力センサによれば、圧力導入孔31に導入された測定媒体が拡大部39aにも流動することになり、測定媒体が拡大部39aに流動された際に、測定媒体は拡大部39aの壁面と衝突することで圧力エネルギーが熱エネルギーに変換される。このため測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, the measurement medium introduced into the
(第7実施形態)
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは圧力導入孔31の構成を変更したものであり、その他の構造に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図8は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。
(Seventh embodiment)
A seventh embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor according to the present embodiment is obtained by changing the configuration of the
図8に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入孔31に圧力導入孔31の内壁が凹まされた凹み部39bが形成されている。このような圧力センサによれば、圧力導入孔31に凹み部39bが形成されているので、圧力導入孔31の内壁を構成する表面積を増加させることができる。このため、測定媒体が圧力導入孔31を通過する際に、測定媒体が通路41の内壁と摩擦を起こすことのできる部分を増加させることができ、従来の圧力センサより測定媒体の圧力エネルギーを熱エネルギーに変換することができる。本実施形態ではこのように圧力減衰効果を得ることができ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
As shown in FIG. 8, in the pressure sensor of the present embodiment, the
なお、この凹み部39bは圧力導入孔31に例えば、ショットブラスト等を行うことで形成することができる。また、凹み部39bは、規則的に形成されていても良く、例えば内ねじ形状とされていてもよい。
In addition, this recessed
(第8実施形態)
本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、メタルダイヤフラム34に流動規制部材を備えたものであり、その他の構造に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図9は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。
(Eighth embodiment)
An eighth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is different from the first embodiment in that the
図9に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、メタルダイヤフラム34に、底面および頂点を有する円錐形状であると共に底面に突出部50aを備えた流動規制部材50が備えられている。この流動規制部材50はステンレス等で構成することができ、流動規制部材50のうち、突出部50aとメタルダイヤフラム34とが金属接合されており、頂点が圧力導入孔31側に向けられている。
As shown in FIG. 9, in the pressure sensor of the present embodiment, the
このような圧力センサによれば、部屋32内に導入された測定媒体の流動方向が流動規制部材50により変化されるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, since the flow direction of the measurement medium introduced into the
(第9実施形態)
本発明の第9実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第1実施形態に対して、部屋32内にビーズを配置したものであり、その他の構造に関しては第1実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図10は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。
(Ninth embodiment)
A ninth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is different from that of the first embodiment in that beads are arranged in the
図10に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、部屋32に、この部屋32をメタルダイヤフラム34側と圧力導入孔31側とに区画する複数の貫通孔52を備えたバッフル板51が配置されている。そして、このバッフル板51とメタルダイヤフラム34との間には、例えば、樹脂で構成される球状のビーズ53が配置されている。
As shown in FIG. 10, in the pressure sensor of the present embodiment, a
このような圧力センサによれば、部屋32内にバッフル板51とビーズ53とが配置されているので、測定媒体が部屋32のうちメタルダイヤフラム34側の部屋32に導入される際に、測定媒体はバッフル板51とビーズ53とにより流入が規制されると共に、バッフル板51およびビーズ53に衝突する。このため、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
According to such a pressure sensor, since the
なお、本実施形態では、ビーズ53として樹脂で構成される球状のものを例に挙げて説明しているが、もちろんこれらに限定されるものではなく、例えば、角柱型であっても円柱型であってもよく、また、例えば、ゴムで構成してもよい。 In the present embodiment, the spherical shape made of resin is used as an example of the bead 53. However, the present invention is of course not limited thereto, and for example, a prismatic shape may be a cylindrical shape. For example, rubber may be used.
(他の実施形態)
上記第6実施形態では圧力導入部材40を備えた圧力センサを例に挙げて説明しているが、圧力導入部材40を備えていなくても上記第6実施形態の効果を得ることができる。また、上記第7、第8および第9実施形態においても同様に、圧力導入部材40を備えていなくても上記各実施形態の効果を得ることができる。
(Other embodiments)
In the sixth embodiment, the pressure sensor including the
また、上記各実施形態を組み合わせてもよい。例えば、上記第6実施形態は他の全ての実施形態に組み合わせることができ、各実施形態において、圧力導入孔31に、圧力導入孔31のうち部屋32側の径が圧力導入部材40側の径より拡大された拡大部39aを形成してもよい。さらに、上記第7実施形態、上記第8実施形態および上記第9実施形態も同様に他の全ての実施形態に組み合わせることができる。例えば、各実施形態に上記第7実施形態を組み合わせて圧力導入孔31に圧力導入孔31の内壁が凹まされた凹み部39aを備えてもよく、また、各実施形態に上記第8実施形態を組み合わせて流動規制部材50をメタルダイヤフラム34に備えてもよく、また、各実施形態に上記第9実施形態を組み合わせて部屋32内にバッフル板51とビーズ53とを備えてもよく、組み合わせは適宜変更可能である。
Moreover, you may combine said each embodiment. For example, the sixth embodiment can be combined with all the other embodiments. In each embodiment, the
さらに、上記各実施形態において、圧力検出室37には、オイル38が封入されていなくてもよい。つまり、メタルダイヤフラム34を介して圧力検出室37内のセンサ素子20に測定圧力が印加されればよく、圧力検出室37内の圧力伝達媒体としては気体等であっても構わない。
Furthermore, in each of the above embodiments, the
また、第1のケースとなるコネクタケース10や第2のケースとなるハウジング30の材質等についても、それぞれ樹脂や金属というように限定されるものではなく、適宜変更可能である。
Further, the material of the
さらに、センサ素子20は、上記したダイヤフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものに限定されるものではない。
Further, the
10…第1のケースとしてのコネクタケース、20…センシング部としてのセンサ素子、30…第2のケースとしてのハウジング、34…メタルダイヤフラム、39a…拡大部、39b…凹み部、40…圧力導入部材、41…通路、43…貫通孔、44…導入部、45…孔、46…板状部材としての円盤、50…流動規制部材、51…バッフル板、53…ビーズ
DESCRIPTION OF
Claims (17)
該ケーシング(100)内に備えられた圧力検出用のセンシング部(20)と、
前記第1のケース(10)の先端面(10a)と前記第2のケース(30)の一面(30b)との間に配置されたメタルダイヤフラム(34)と、を備え、
前記第2のケース(30)のうち前記圧力導入孔(31)が広げられることで形成された部屋(32)内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム(34)に印加されると、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム(34)を介して前記センシング部(20)に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
前記第2のケース(30)のうち前記第1のケース(10)と組み付けられる側と反対側の端部には、前記測定媒体を通過させる通路(41)が形成された圧力導入部材(40)が接合されており、前記通路(41)と前記圧力導入孔(31)とが連結され、前記測定媒体は前記通路(41)および前記圧力導入孔(31)を介して前記部屋(32)内に導入されるように構成されていることを特徴とする圧力センサ。 A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). When applied to the pressure, the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed.
A pressure introducing member (40) having a passage (41) through which the measurement medium passes is formed at an end of the second case (30) opposite to the side assembled with the first case (10). ), The passage (41) and the pressure introduction hole (31) are connected, and the measurement medium passes through the passage (41) and the pressure introduction hole (31), and the chamber (32). A pressure sensor configured to be introduced into a pressure sensor.
該ケーシング(100)内に備えられた圧力検出用のセンシング部(20)と、
前記第1のケース(10)の先端面(10a)と前記第2のケース(30)の一面(30b)との間に配置されたメタルダイヤフラム(34)と、を備え、
前記第2のケース(30)のうち前記圧力導入孔(31)が広げられることで形成された部屋(32)内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム(34)に印加されると、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム(34)を介して前記センシング部(20)に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
前記圧力導入孔(31)には、前記圧力導入孔(31)の内壁が凹まされた凹み部(39b)が形成されていることを特徴とする圧力センサ。 A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). When applied to the pressure, the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed.
The pressure sensor, wherein the pressure introduction hole (31) has a recess (39b) in which an inner wall of the pressure introduction hole (31) is recessed.
該ケーシング(100)内に備えられた圧力検出用のセンシング部(20)と、
前記第1のケース(10)の先端面(10a)と前記第2のケース(30)の一面(30b)との間に配置されたメタルダイヤフラム(34)と、を備え、
前記第2のケース(30)のうち前記圧力導入孔(31)が広げられることで形成された部屋(32)内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム(34)に印加されると、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム(34)を介して前記センシング部(20)に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
底面および頂点を有する錐形状で、底面が前記メタルダイヤフラム(34)と対向するように配置され、頂点が前記圧力導入孔(31)側に向けて配置される流動規制部材(50)と、前記部屋(32)に前記部屋(32)を前記メタルダイヤフラム(34)側と前記圧力導入孔(31)側とに区画する複数の貫通孔(52)を備えたバッフル板(51)を備え、前記バッフル板(51)と前記メタルダイヤフラム(34)との間に配置される前記測定媒体が前記メタルダイヤフラム(34)に流動することを規制するビーズ(53)と、のうち少なくともいずれか一方が備えられていることを特徴とする圧力センサ。 A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). When applied to the pressure, the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed.
A flow regulating member (50) having a conical shape having a bottom surface and an apex, the bottom surface being arranged to face the metal diaphragm (34), and the apex being arranged toward the pressure introduction hole (31); The room (32) includes a baffle plate (51) provided with a plurality of through holes (52) dividing the room (32) into the metal diaphragm (34) side and the pressure introduction hole (31) side, At least one of beads (53) for restricting the measurement medium disposed between a baffle plate (51) and the metal diaphragm (34) from flowing to the metal diaphragm (34) is provided. A pressure sensor.
該ケーシング(100)内に備えられた圧力検出用のセンシング部(20)と、
前記第1のケース(10)の先端面(10a)と前記第2のケース(30)の一面(30b)との間に配置されたメタルダイヤフラム(34)と、を備え、
前記第2のケース(30)のうち前記圧力導入孔(31)が広げられることで形成された部屋(32)内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム(34)に印加されると前記測定媒体の圧力は前記メタルダイヤフラム(34)を介して前記センシング部(20)に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
前記第2のケース(30)は、前記第1のケース(10)と組み付けられる側と反対側の端部に前記第2のケース(30)の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部を有しており、前記圧力導入孔(31)は前記第2のケース(30)および前記突出部の中心軸に沿って備えられていることを特徴とする圧力センサ。
A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). The pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) through the metal diaphragm (34) when applied to the sensor, and pressure detection is performed.
The second case (30) has a protruding portion that protrudes in a direction perpendicular to the central axis of the second case (30) at the end opposite to the side assembled with the first case (10). The pressure sensor is characterized in that the pressure introducing hole (31) is provided along the central axis of the second case (30) and the protruding portion.
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---|---|---|---|---|
KR101256753B1 (en) * | 2011-10-05 | 2013-04-19 | 주식회사 현대케피코 | Semi-conductor pressure sensor module with preventing structure for physical shock of continuous over-pressure of fluid flow |
JP2013522646A (en) * | 2010-03-24 | 2013-06-13 | ケアフュージョン 303、インコーポレイテッド | Pressure sensing system and method |
KR101918415B1 (en) | 2017-10-25 | 2018-11-13 | 주식회사 현대케피코 | Oil complex ssensor with shock wave reduction filter |
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2007
- 2007-12-06 JP JP2007315586A patent/JP2009139210A/en not_active Withdrawn
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