JP2009139210A - Pressure sensor - Google Patents

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Toshiya Ikezawa
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor for preventing crack of a metal diaphragm 34 and disconnection of a bonding wire 13 when high surge pressure occurs in a measurement medium. <P>SOLUTION: A pressure introducing member 40 having a passage 41 for passing the measurement medium is joined to an end on the opposite side to the side of a housing 30 assembled to a connector case 10, the passage 41 is connected to a pressure introduction hole 31, and the measurement medium is introduced into a chamber 32 via the passage 41 and the pressure introduction hole 31. Such a pressure sensor produces a pressure damping effect higher than that of a conventional pressure sensor because the pressure energy is converted into thermal energy by the friction of the measurement medium with the inner wall of the pressure introduction hole 31 and the friction with the inner wall of the passage 41. Thus, the measurement medium is prevented from being applied to the metal diaphragm 34 while the high pressure is kept, and the crack of the metal diaphragm 34 and the disconnection of the bonding wire 13 is prevented. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、圧力導入孔を通じて導入される測定媒体の圧力を検出するための圧力センサに関するものである。   The present invention relates to a pressure sensor for detecting the pressure of a measurement medium introduced through a pressure introduction hole.

従来より、圧力導入孔を備えたハウジングとセンサチップを搭載したコネクタケースとをかしめ固定により一体に組み付けて構成される圧力センサが知られている。具体的には、ハウジングとコネクタケースとの間にはメタルダイヤフラムが備えられ、センサチップはメタルダイヤフラムで覆われた圧力検出室内に備えられていると共に、圧力検出室内はオイルで充填されており、センサチップはターミナルとボンディングワイヤを介して電気的に接続されている（例えば、特許文献１参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a pressure sensor configured by integrally assembling a housing having a pressure introduction hole and a connector case on which a sensor chip is mounted by caulking and fixing. Specifically, a metal diaphragm is provided between the housing and the connector case, the sensor chip is provided in a pressure detection chamber covered with the metal diaphragm, and the pressure detection chamber is filled with oil, The sensor chip is electrically connected to the terminal via a bonding wire (see, for example, Patent Document 1).

このような圧力センサは、圧力導入孔のうちセンサチップ側の端部が広げられて部屋が構成されており、この部屋に圧力導入孔を介して測定媒体が導入されることでメタルダイヤフラムに測定媒体の圧力が印加され、圧力検出室内に充填されているオイルを介してセンサチップに測定媒体の圧力が印加される。そして、センサチップは圧力に応じた電気信号を出力し、この電気信号がボンディングワイヤおよびターミナルを介して外部に出力されることで測定媒体の圧力の検出が行われる。
特開平７−２４３９２６号公報 In such a pressure sensor, the end of the pressure introduction hole on the sensor chip side is widened to form a room, and a measurement medium is introduced into the room through the pressure introduction hole to measure the metal diaphragm. The pressure of the medium is applied, and the pressure of the measurement medium is applied to the sensor chip via the oil filled in the pressure detection chamber. The sensor chip outputs an electrical signal corresponding to the pressure, and the electrical signal is output to the outside through the bonding wire and the terminal, whereby the pressure of the measurement medium is detected.
JP 7-243926 A

しかしながら、上記特許文献１の圧力センサでは、メタルダイヤフラムに向かって直線状に形成されているため測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際に、測定媒体は圧力導入孔を介して高圧のまま部屋に導入される。そして、高圧のまま測定媒体が直接メタルダイヤフラムに印加されことになるので、メタルダイヤフラムの割れが発生したり、圧力検出室を充填するオイルに流れを発生させてボンディングワイヤを断線するという問題がある。   However, since the pressure sensor of Patent Document 1 is formed linearly toward the metal diaphragm, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, the measurement medium remains in a high pressure chamber through the pressure introduction hole. To be introduced. Then, since the measurement medium is directly applied to the metal diaphragm with a high pressure, there is a problem that the metal diaphragm is cracked or the bonding wire is disconnected by generating a flow in the oil filling the pressure detection chamber. .

本発明は上記点に鑑みて、測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際に、メタルダイヤフラムの割れやボンディングワイヤの断線を防止することのできる圧力センサを提供することを目的とする。   In view of the above points, an object of the present invention is to provide a pressure sensor that can prevent a metal diaphragm from cracking or a bonding wire from being broken when a high surge pressure is generated in a measurement medium.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、第１のケース（１０）と圧力導入孔（３１）を備えた第２のケース（３０）とを一体に組み付けてケーシング（１００）を構成し、このケーシング（１００）内にセンシング部（２０）を備えると共に、第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間にメタルダイヤフラム（３４）を配置した圧力センサであって、第２のケース（３０）のうち圧力導入孔（３１）を広げることで形成した部屋（３２）内に測定媒体が導入され、この測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム（３４）に印加されると、測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム（３４）を介してセンシング部（２０）に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、第２のケース（３０）のうち第１のケース（１０）と組み付けられる側と反対側の端部に、測定媒体を通過させる通路（４１）を形成した圧力導入部材（４０）を接合し、通路（４１）と圧力導入孔（３１）とを連結して、測定媒体を通路（４１）および圧力導入孔（３１）を介して部屋（３２）内に導入することを第１の特徴とする。   In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, the first case (10) and the second case (30) provided with the pressure introducing hole (31) are assembled together to form a casing (100). The casing (100) is provided with a sensing unit (20), and between the front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30). A pressure sensor in which a metal diaphragm (34) is arranged, and the measurement medium is introduced into a room (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30). Is applied to the metal diaphragm (34), the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed. Case 30), a pressure introducing member (40) having a passage (41) through which the measurement medium passes is joined to an end opposite to the side assembled with the first case (10), and the passage (41) The first feature is that the measurement medium is introduced into the room (32) through the passage (41) and the pressure introduction hole (31) by connecting the pressure introduction hole (31).

このような圧力センサによれば、測定媒体が通路（４１）に導入される際に流入が規制されるので圧力減衰効果を得ることができる。また、測定媒体は圧力導入孔（３１）の内壁との摩擦に加えて、通路（４１）の内壁との摩擦により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので従来の圧力センサより圧力減衰効果を得ることができる。これらのように測定媒体の圧力減衰効果を得ることができるので、測定媒体が高圧のまま部屋（３２）内に導入されることを防止することができると共に、測定媒体が高圧のままメタルダイヤフラム（３４）に印加されることを防止することができ、メタルダイヤフラム（３４）の割れやボンディングワイヤ（１３）の断線を防止することができる。   According to such a pressure sensor, since the inflow is restricted when the measurement medium is introduced into the passage (41), a pressure damping effect can be obtained. In addition to friction with the inner wall of the pressure introduction hole (31), the measurement medium converts pressure energy into thermal energy due to friction with the inner wall of the passage (41), so that a pressure damping effect is obtained from a conventional pressure sensor. be able to. Since the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained as described above, it is possible to prevent the measurement medium from being introduced into the chamber (32) with a high pressure, and a metal diaphragm ( 34) can be prevented, and cracking of the metal diaphragm (34) and disconnection of the bonding wire (13) can be prevented.

例えば、請求項２に記載の発明のように、通路（４１）を圧力導入部材（４０）を貫通する貫通孔（４３）を有して構成し、貫通孔（４３）のうち一端側を圧力導入部材（４０）のうち第２のケース（３０）との接合面に形成することで貫通孔（４３）と圧力導入孔（３１）とを連結することができる。   For example, as in the invention described in claim 2, the passage (41) is configured to have a through hole (43) penetrating the pressure introducing member (40), and one end side of the through hole (43) is pressurized. A through-hole (43) and a pressure introduction hole (31) can be connected by forming in a joint surface with the 2nd case (30) among introduction members (40).

この場合、請求項３に記載の発明のように、通路（４１）を構成する貫通孔（４３）をスパイラル形状とすることができる。   In this case, the through-hole (43) which comprises a channel | path (41) can be made into a spiral shape like invention of Claim 3.

このような圧力センサによれば、通路（４１）がスパイラル形状とされているので、測定媒体は通路（４１）の内壁と衝突しながら通路（４１）を通過していく。この際に、通路（４１）の外周側の測定媒体は通路（４１）の外周壁面と衝突することで既に流動方向が外周に沿った方向とされているが、この測定媒体より内周側の測定媒体の流動方向に関してはまだ流動方向が外周壁面に向いているため、これらの測定媒体の流動方向が異なることになり測定媒体同士で衝突する。このため、測定媒体はスパイラル形状を通過する際に、通路（４１）および測定媒体同士との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the passage (41) has a spiral shape, the measurement medium passes through the passage (41) while colliding with the inner wall of the passage (41). At this time, the measurement medium on the outer circumference side of the passage (41) collides with the outer peripheral wall surface of the passage (41), so that the flow direction is already in the direction along the outer circumference. With respect to the flow direction of the measurement medium, the flow direction is still directed toward the outer peripheral wall surface, so that the flow directions of these measurement media are different and the measurement media collide with each other. For this reason, when the measurement medium passes through the spiral shape, pressure energy is converted into thermal energy by collision with the passage (41) and the measurement medium, so that the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained. The same effect can be obtained.

また、請求項４に記載の発明のように、圧力導入部材（４０）を複数の板状部材（４６）で構成し、板状部材（４６）に孔（４５）を形成して、通路（４１）を構成する貫通孔（４３）を板状部材（４６）の孔（４５）同士の一部分がずれるように板状部材（４６）を貼り合わせることで形成してもよい。   Further, as in the invention described in claim 4, the pressure introducing member (40) is constituted by a plurality of plate-like members (46), holes (45) are formed in the plate-like member (46), and a passage ( You may form the through-hole (43) which comprises 41) by bonding a plate-shaped member (46) so that a part of hole (45) of a plate-shaped member (46) may shift | deviate.

このような圧力センサによれば、圧力導入部材（４０）に形成された通路（４１）が各板状部材（４６）の孔（４５）同士の一部分がずらして貼り合わされることで形成されているため、測定媒体は通路（４１）を通過する際に、板状部材（４６）のうち孔（４５）の一部を封鎖する部分と衝突しながら通路（４１）を通過していく。このため、測定媒体は通路（４１）との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, the passage (41) formed in the pressure introducing member (40) is formed by bonding a part of the holes (45) of the plate-like members (46) while being shifted. Therefore, when the measurement medium passes through the passage (41), it passes through the passage (41) while colliding with a portion of the plate-like member (46) that blocks a part of the hole (45). For this reason, since the pressure energy is converted into thermal energy by the collision with the passage (41), the measurement medium can obtain the pressure attenuation effect of the measurement medium, and can obtain the same effect as the above effect.

また、請求項５に記載の発明のように、圧力導入部材（４０）を底部および側壁を備えると共に、中空部を備えて構成し、側壁のうち底部側と反対側の端部を第２のケース（３０）と接合し、圧力導入部材（４０）に、通路（４１）の一部として圧力導入部材（４０）に到達する前の測定媒体の流動方向と異なる方向から測定媒体を中空部に導入する導入部（４４）を形成してもよい。   Further, as in the invention described in claim 5, the pressure introducing member (40) includes a bottom portion and a side wall, and includes a hollow portion, and an end portion of the side wall opposite to the bottom side is formed as the second end portion. The measurement medium is joined to the case (30) from the direction different from the flow direction of the measurement medium before reaching the pressure introduction member (40) as a part of the passage (41) to the pressure introduction member (40). An introduction part (44) to be introduced may be formed.

このような圧力センサによれば、測定媒体は圧力導入部材（４０）に到達すると流動方向が変化され、流動方向が変化された測定媒体が導入部（４４）から中空部に導入される。このため、測定媒体が中空部に導入される際に、測定媒体の流動方向を変化させることができるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる
また、請求項６に記載の発明のように、圧力導入部材（４０）を、第２のケース（３０）との接合面から第２のケース（３０）と反対側に伸びている中心部分（４０ａ）と、中心部分（４０ａ）のうち接合面と反対側の端部に中心部分（４０ａ）の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部分（４０ｂ）とを有して構成し、貫通孔（４３）を中心部分（４０ａ）および突出部分（４０ｂ）の中心軸に沿って形成してもよい。 According to such a pressure sensor, when the measurement medium reaches the pressure introduction member (40), the flow direction is changed, and the measurement medium whose flow direction is changed is introduced from the introduction part (44) into the hollow part. For this reason, when the measurement medium is introduced into the hollow portion, the flow direction of the measurement medium can be changed, so that the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained, and the same effect as the above effect can be obtained. Further, as in the sixth aspect of the invention, the pressure introduction member (40) is extended from the joint surface with the second case (30) to the center portion ( 40a) and a projecting portion (40b) projecting perpendicularly to the central axis of the central portion (40a) at the end of the central portion (40a) opposite to the joint surface. The hole (43) may be formed along the central axis of the central portion (40a) and the protruding portion (40b).

このような圧力センサによれば、通路（４１）が中心部分（４０ａ）および突出部分（４０ｂ）に沿って形成されているので、通路（４１）は圧力導入部材（４０）内で垂直に曲げられており、測定媒体の流動方向を圧力導入部材（４０）内で垂直に変化させることができ、圧力減衰効果を得ることができる。さらに、測定媒体は通路（４１）を構成する内壁のうち垂直に曲がる部分と衝突することで流動方向が変化されるため、衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されることで圧力減衰効果を得ることができる。このため、上記効果と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the passage (41) is formed along the central portion (40a) and the protruding portion (40b), the passage (41) is bent vertically in the pressure introducing member (40). Therefore, the flow direction of the measurement medium can be changed vertically in the pressure introduction member (40), and a pressure damping effect can be obtained. Furthermore, since the flow direction is changed when the measurement medium collides with a vertically bent portion of the inner wall constituting the passage (41), the pressure energy is converted into thermal energy by the collision, thereby obtaining a pressure damping effect. be able to. For this reason, the effect similar to the said effect can be acquired.

また、請求項７および請求項１１に記載の発明では、圧力導入孔（３１）の内壁に、圧力導入孔（３１）の内壁を凹ませた凹み部（３９ｂ）を形成することを特徴としている。   The inventions according to claims 7 and 11 are characterized in that a recess (39b) in which the inner wall of the pressure introduction hole (31) is recessed is formed on the inner wall of the pressure introduction hole (31). .

このような圧力センサによれば、圧力導入孔（３１）に凹み部（３９ｂ）が形成されているので、圧力導入孔（３１）の内壁を構成する表面積を増加させることができる。このため、測定媒体が圧力導入孔（３１）を通過する際に、測定媒体が通路（４１）の内壁と摩擦を起こすことのできる部分を増加させることができ、従来の圧力センサより測定媒体の圧力エネルギーを熱エネルギーに変換することができ、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができるので上記効果と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the recess (39b) is formed in the pressure introduction hole (31), the surface area constituting the inner wall of the pressure introduction hole (31) can be increased. For this reason, when the measurement medium passes through the pressure introduction hole (31), it is possible to increase the portion where the measurement medium can cause friction with the inner wall of the passage (41). Since pressure energy can be converted into thermal energy and the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained, the same effect as the above effect can be obtained.

例えば、請求項８および請求項１２に記載の発明のように、圧力導入孔（３１）に、圧力導入孔（３１）のうち部屋（３２）側の径を部屋（３２）と反対側の径より拡大した拡大部（３９ａ）を形成してもよい。   For example, as in the invention described in claims 8 and 12, the diameter of the pressure introduction hole (31) on the side of the room (32) in the pressure introduction hole (31) is opposite to the diameter of the room (32). A further enlarged portion (39a) may be formed.

このような圧力センサによれば、圧力導入孔（３１）に導入された測定媒体が拡大部（３９ａ）にも流動することになり、測定媒体が拡大部（３９ａ）に流動された際に、測定媒体は拡大部（３９ａ）の壁面と衝突することで圧力エネルギーが熱エネルギーに変換される。このため測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, the measurement medium introduced into the pressure introduction hole (31) will also flow into the enlarged portion (39a), and when the measurement medium is flowed into the enlarged portion (39a), When the measurement medium collides with the wall surface of the enlarged portion (39a), the pressure energy is converted into thermal energy. For this reason, the pressure attenuation effect of a measurement medium can be acquired and the effect similar to the said effect can be acquired.

また、請求項９、請求項１３および請求項１５に記載の発明のように、メタルダイヤフラム（３４）に底面および頂点を有する錐形状の流動規制部材（５０）を備え、流動規制部材（５０）のうち底面をメタルダイヤフラム（３４）と対向するように配置すると共に頂点を圧力導入孔（３１）側に向けて配置してもよい。   Further, as in the inventions of claims 9, 13 and 15, the metal diaphragm (34) includes a conical flow restricting member (50) having a bottom surface and a vertex, and the flow restricting member (50). Among them, the bottom surface may be disposed so as to face the metal diaphragm (34) and the apex may be disposed toward the pressure introduction hole (31).

このような圧力センサによれば、メタルダイヤフラム（３４）に備えられた流動規制部材（５０）により測定媒体の流動が規制されるので圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the flow of the measurement medium is regulated by the flow regulating member (50) provided in the metal diaphragm (34), a pressure damping effect can be obtained, and the same effect as the above effect can be obtained. Obtainable.

また、請求項１０および請求項１５に記載の発明のように、部屋（３２）に、部屋（３２）をメタルダイヤフラム（３４）側と圧力導入孔（３１）側とに区画する複数の貫通孔（５２）を備えたバッフル板（５１）を配置し、バッフル板（５１）とメタルダイヤフラム（３４）との間に測定媒体がメタルダイヤフラム（３４）に流動することを規制するビーズ（５３）を配置してもよい。   Further, as in the inventions according to claims 10 and 15, the chamber (32) has a plurality of through holes that divide the chamber (32) into a metal diaphragm (34) side and a pressure introduction hole (31) side. A baffle plate (51) provided with (52) is arranged, and beads (53) for restricting the flow of the measurement medium to the metal diaphragm (34) between the baffle plate (51) and the metal diaphragm (34) are provided. You may arrange.

このような圧力センサによれば、部屋（３２）内にバッフル板（５１）とビーズ（５３）とが配置されているので、測定媒体が部屋（３２）のうちメタルダイヤフラム（３４）側の部屋（３２）に導入される際に、測定媒体はバッフル板（５１）とビーズ（５３）とにより流入が規制されると共に、バッフル板（５１）およびビーズ（５３）に衝突する。このため、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記効果と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the baffle plate (51) and the beads (53) are arranged in the room (32), the measurement medium is a room on the metal diaphragm (34) side of the room (32). When introduced into (32), the flow of the measurement medium is restricted by the baffle plate (51) and the beads (53) and collides with the baffle plate (51) and the beads (53). For this reason, the pressure attenuation effect of a measurement medium can be acquired and the effect similar to the said effect can be acquired.

また、請求項１６および請求項１７に記載の発明のように、第２のケース（３０）のうち第１のケース（１０）と組み付けられる側と反対側の端部に第２のケース（３０）の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部を有し、圧力導入孔（３１）を第２のケース（３０）および突出部の中心軸に沿って備えてもよい。   Further, as in the inventions according to claims 16 and 17, the second case (30) is provided at the end of the second case (30) opposite to the side assembled with the first case (10). ), And a pressure introduction hole (31) may be provided along the central axis of the second case (30) and the protrusion.

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.

（第１実施形態）
以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図１に、本実施形態における圧力センサの全体断面図を示し、図２に図１に示すＡ−Ａ断面図を示す。これら図１および図２に基づいて説明する。なお、この圧力センサは、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力、エンジン内のエンジンオイル圧、駆動系のＣＶＴオイル圧およびディーゼル車の排気洗浄フィルタであるＤＰＦの差圧計測等の検出に用いられる。 (First embodiment)
Hereinafter, a pressure sensor to which an embodiment of the present invention is applied will be described. FIG. 1 shows an overall cross-sectional view of the pressure sensor in the present embodiment, and FIG. 2 shows an AA cross-sectional view shown in FIG. This will be described with reference to FIG. 1 and FIG. The pressure sensor is mounted on a vehicle, for example, a refrigerant pressure in a refrigerant pipe of an automobile air conditioner, an engine oil pressure in an engine, a CVT oil pressure in a drive system, and a differential pressure of a DPF that is an exhaust cleaning filter of a diesel vehicle. Used for detection of measurement and the like.

図１に示されるように、第１のケースとしてのコネクタケース１０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース１０の一端部（図１中、下方側の端部）には、凹部１１が形成されている。   As shown in FIG. 1, a connector case 10 as a first case is made by molding a resin such as PPS (polyphenylene sulfide) or PBT (polybutylene terephthalate). In this embodiment, the connector case 10 has a cylindrical shape. There is no. A concave portion 11 is formed at one end (the lower end in FIG. 1) of the connector case 10 as the resin case.

この凹部１１の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０が配設されている。   A sensor element 20 as a pressure detecting sensing part is disposed on the bottom surface of the recess 11.

センサ素子２０は、その表面に受圧面としてのダイヤフラムを有し、このダイヤフラムの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイヤフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものである。   The sensor element 20 has a diaphragm as a pressure receiving surface on the surface thereof, and converts the pressure received by the diaphragm into an electric signal by a gauge resistance formed on the surface of the diaphragm, and outputs the electric signal as a sensor signal. Semiconductor diaphragm type.

そして、センサ素子２０は、ガラス等よりなる台座２１に陽極接合等により一体化されており、この台座２１を凹部１１の底面に接着することで、センサ素子２０はコネクタケース１０に搭載されている。   The sensor element 20 is integrated with a pedestal 21 made of glass or the like by anodic bonding or the like, and the sensor element 20 is mounted on the connector case 10 by bonding the pedestal 21 to the bottom surface of the recess 11. .

また、コネクタケース１０には、センサ素子２０と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル１２が貫通している。   In addition, a plurality of metal rod-shaped terminals 12 for electrically connecting the sensor element 20 and an external circuit or the like pass through the connector case 10.

本実施形態では、ターミナル１２は黄銅（真鍮）にメッキ処理（例えばＮｉメッキ）を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０内にて保持されている。   In the present embodiment, the terminal 12 is made of a material obtained by plating brass (brass) (for example, Ni plating), and is held in the connector case 10 by being integrally formed with the connector case 10 by insert molding. Yes.

各ターミナル１２の一端側（図１中、下方端側）の端部は、センサ素子２０の搭載領域の周囲において凹部１１の底面から突出して配置されている。一方、各ターミナル１２の他端側（図１中、上方端側）の端部は、コネクタケース１０の他端側の開口部１５内に露出している。   The end of each terminal 12 on one end side (the lower end side in FIG. 1) is disposed so as to protrude from the bottom surface of the recess 11 around the mounting area of the sensor element 20. On the other hand, the end of each terminal 12 on the other end side (the upper end side in FIG. 1) is exposed in the opening 15 on the other end side of the connector case 10.

この凹部１１内に突出する各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ１３により結線され電気的に接続されている。   One end of each terminal 12 protruding into the recess 11 and the sensor element 20 are connected and electrically connected by a bonding wire 13 such as gold or aluminum.

また、凹部１１内にはシリコーン系樹脂等からなるシール剤１４が設けられており、このシール剤１４によって、凹部１１に突出するターミナル１２の根元部とコネクタケース１０との隙間が封止されている。   Further, a sealing agent 14 made of silicone resin or the like is provided in the recess 11, and the seal agent 14 seals a gap between the base portion of the terminal 12 protruding into the recess 11 and the connector case 10. Yes.

一方、図１において、コネクタケース１０の他端部（図１中、上方側の端部）側は開口部１５となっており、この開口部１５は、ターミナル１２の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材（図示せず）を介して上記外部回路（車両のＥＣＵ等）に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。   On the other hand, in FIG. 1, the other end portion (the upper end portion in FIG. 1) side of the connector case 10 is an opening portion 15. The opening portion 15 is connected to the other end side of the terminal 12, for example, a wire harness. This is a connector portion for electrically connecting to the external circuit (such as an ECU of the vehicle) via an external wiring member (not shown).

つまり、開口部１５内に露出する各ターミナル１２の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子２０と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ１３およびターミナル１２を介して行われるようになっている。   That is, the other end side of each terminal 12 exposed in the opening 15 can be electrically connected to the outside by this connector portion. Thus, signal transmission between the sensor element 20 and the outside is performed via the bonding wire 13 and the terminal 12.

また、図１に示されるように、コネクタケース１０の一端部には、第２のケースとしてのハウジング３０が組み付けられている。具体的には、ハウジング３０には収容凹部３０ａが形成されており、この収容凹部３０ａ内にコネクタケース１０の一端側が挿入されることで、コネクタケース１０にハウジング３０が組みつけられた構成となっている。   As shown in FIG. 1, a housing 30 as a second case is assembled to one end of the connector case 10. Specifically, the housing 30 is provided with a housing recess 30a, and the housing 30 is assembled to the connector case 10 by inserting one end of the connector case 10 into the housing recess 30a. ing.

これにより、第１のケースとしてのコネクタケース１０と第２のケースとしてのハウジング３０とが一体に組み付けられてなるケーシング１００が構成されており、このケーシング１００内にセンサ素子２０が設けられた形となっている。   Thus, a casing 100 is formed in which the connector case 10 as the first case and the housing 30 as the second case are assembled together, and the sensor element 20 is provided in the casing 100. It has become.

このハウジング３０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等の金属材料よりなるものであり、圧力導入孔３１と、圧力導入孔３１におけるセンサ素子２０側の端部が断面テーパ状（ラッパ形状）に広げられることで形成された部屋３２と、圧力センサを測定対象物に固定するためのネジ部３３とを有する。上述したように、圧力センサは、例えば、自動車エアコンの冷媒配管内に搭載され、測定圧力は、その冷媒配管内の冷媒圧力等である。   The housing 30 is made of, for example, a metal material such as aluminum (Al), and the pressure introduction hole 31 and the end of the pressure introduction hole 31 on the sensor element 20 side are expanded in a tapered cross section (trumpet shape). And a screw portion 33 for fixing the pressure sensor to the measurement object. As described above, the pressure sensor is mounted, for example, in a refrigerant pipe of an automobile air conditioner, and the measurement pressure is a refrigerant pressure or the like in the refrigerant pipe.

また、ハウジング３０のうちコネクタケース１０に組み付けられる側と反対側の端部に円柱状の圧力導入部材４０が例えば、シリコーン樹脂等からなる接着剤を介して備えられている。この圧力導入部材４０は、例えば、ＰＰＳを型成形することで作られ、圧力導入部材４０の内部には、測定媒体を導入して圧力導入孔３１に導く通路４１が形成されている。   Further, a cylindrical pressure introducing member 40 is provided at an end of the housing 30 opposite to the side assembled to the connector case 10 via an adhesive made of, for example, silicone resin. The pressure introducing member 40 is made, for example, by molding PPS, and a passage 41 is formed inside the pressure introducing member 40 to introduce the measurement medium and lead it to the pressure introducing hole 31.

図１および図２に示されるように、この通路４１は凹部４２と貫通孔４３とを有して構成されている。具体的には、圧力導入部材４０のうちハウジング３０側の端部に凹部４２が形成されており、凹部４２の底面から圧力導入部材４０のうちハウジング３０側と反対側の端部まで圧力導入部材４０を貫通する五つの貫通孔４３が形成されている。これらの貫通孔４３のうち圧力導入部材４０の中心部に形成された貫通孔４３は圧力導入部材４０の中心軸に沿って形成されており、残りの貫通孔４３は凹部４２の底面から圧力導入部材４０のうちハウジング３０側と反対側の端部に向かって圧力導入部材４０の中心軸に収束されるように斜めに形成さている。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the passage 41 has a recess 42 and a through hole 43. Specifically, a recess 42 is formed at the end of the pressure introduction member 40 on the housing 30 side, and the pressure introduction member extends from the bottom surface of the recess 42 to the end of the pressure introduction member 40 opposite to the housing 30 side. Five through holes 43 penetrating 40 are formed. Among these through holes 43, the through hole 43 formed at the center of the pressure introducing member 40 is formed along the central axis of the pressure introducing member 40, and the remaining through holes 43 are introduced from the bottom surface of the recess 42. The member 40 is formed obliquely so as to converge on the central axis of the pressure introducing member 40 toward the end opposite to the housing 30 side.

さらに、図１に示されるように、コネクタケース１０の先端面１０ａとハウジング３０における収容凹部３０ａのうちコネクタケース１０の先端面１０ａと対向する一面３０ｂとの間に、薄い金属（例えば、ＳＵＳ等）製のメタルダイヤフラム３４と金属（例えば、ＳＵＳ等）製のリングウェルド（押さえ部材）３５とが配置されている。ハウジング３０の一面３０ｂとリングウェルド３５とは、全周にわたって例えば溶接等によって気密接合されている。リングウェルド３５とメタルダイヤフラム３４とは予め溶接によって、もしくは、リングウェルド３５をハウジング３０に溶接するときに、全周が気密接合された状態となっている。   Further, as shown in FIG. 1, a thin metal (for example, SUS or the like) is formed between the front end surface 10a of the connector case 10 and one surface 30b of the housing recess 30a of the housing 30 facing the front end surface 10a of the connector case 10. ) Made of metal diaphragm 34 and a ring weld (pressing member) 35 made of metal (for example, SUS). One surface 30b of the housing 30 and the ring weld 35 are airtightly joined, for example, by welding or the like over the entire circumference. The ring weld 35 and the metal diaphragm 34 are in a state in which the entire circumference is hermetically joined by welding in advance or when the ring weld 35 is welded to the housing 30.

そして、ハウジング３０のうち収容凹部３０ａ側の端部がコネクタケース１０の一端部にかしめられることで、かしめ部３６が形成され、それによって、ハウジング３０とコネクタケース１０とが固定され一体化されている。   And the crimping | crimped part 36 is formed when the edge part by the side of the accommodation recessed part 30a of the housing 30 is crimped to the one end part of the connector case 10, Thereby, the housing 30 and the connector case 10 are fixed and integrated. Yes.

こうして組み合わせられたコネクタケース１０とハウジング３０とにおいて、コネクタケース１０の凹部１１とハウジング３０のダイヤフラム３４との間で、圧力検出室３７が構成されている。   In the connector case 10 and the housing 30 thus combined, a pressure detection chamber 37 is formed between the concave portion 11 of the connector case 10 and the diaphragm 34 of the housing 30.

この圧力検出室３７には圧力伝達媒体であり封入液であるオイル（フッ素オイル等）３８が充填され封入されている。このオイル３８の封入により、凹部１１にはセンサ素子２０及びワイヤ１３等の電気接続部分を覆うようにオイル３８が充填され、さらに、オイル３８はダイヤフラム３４により覆われて封止された形となる。   The pressure detection chamber 37 is filled and filled with oil (fluorine oil or the like) 38 which is a pressure transmission medium and is a sealing liquid. By sealing the oil 38, the recess 11 is filled with the oil 38 so as to cover the electrical connection portions such as the sensor element 20 and the wire 13, and the oil 38 is covered and sealed by the diaphragm 34. .

このような圧力検出室３７を構成することにより、圧力導入孔３１から導入された圧力は、メタルダイヤフラム３４、オイル３８を介して、圧力検出室３７内のセンサ素子２０、ボンディングワイヤ１３、ターミナル１２に印加されることになる。   By constructing such a pressure detection chamber 37, the pressure introduced from the pressure introduction hole 31 passes through the metal diaphragm 34 and the oil 38, and the sensor element 20, the bonding wire 13, and the terminal 12 in the pressure detection chamber 37. Will be applied.

また、コネクタケース１０の先端面１０ａに、圧力検出室３７の外周を囲むように、環状の溝（Ｏリング溝）１６が形成され、この溝１６内には、圧力検出室３７を気密封止するためのＯリング１７が配設されている。   Further, an annular groove (O-ring groove) 16 is formed on the distal end surface 10 a of the connector case 10 so as to surround the outer periphery of the pressure detection chamber 37, and the pressure detection chamber 37 is hermetically sealed in the groove 16. An O-ring 17 is provided for this purpose.

このＯリング１７は例えばシリコーンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース１０とハウジング３０とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイヤフラム３４とＯリング１７とにより圧力検出室３７が封止され閉塞される。   The O-ring 17 is made of an elastic material such as silicone rubber and is pressed between the connector case 10 and the housing 30. Thus, the pressure detection chamber 37 is sealed and closed by the metal diaphragm 34 and the O-ring 17.

このような圧力センサは、基本的には従来と同様（例えば、特開平７−２４３９２６号公報参照）にして製造され、ハウジング３０に圧力導入部材４０を備える工程を追加すればよい。すなわち、ハウジング３０をコネクタケース１０に嵌合する前に、上記形状の通路４１を備えた圧力導入部材４０のうち凹部４２が形成された端部をハウジング３０のうちコネクタケース１０に組み付けられる側と反対側の端部にシリコーン樹脂等からなる接着剤を介して接合しておけばよい。   Such a pressure sensor is basically manufactured in the same manner as the conventional one (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-243926), and a process of providing the housing 30 with the pressure introducing member 40 may be added. That is, before fitting the housing 30 to the connector case 10, the end of the pressure introducing member 40 having the above-described shape passage 41 where the recess 42 is formed is connected to the connector case 10 side of the housing 30. What is necessary is just to join to the edge part on the opposite side through the adhesive agent which consists of silicone resins etc.

かかる圧力センサの基本的な圧力検出動作について述べる。   The basic pressure detection operation of such a pressure sensor will be described.

圧力センサは、例えば、ハウジング３０のネジ部３３を介して、車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付けられる。そして、配管内の測定媒体が圧力導入部材４０内に形成された通路４１およびハウジング３０に備えられた圧力導入孔３１を介して部屋３２に導入される。   For example, the pressure sensor is attached to an appropriate position of the refrigerant piping system of the air conditioner in the vehicle via the screw portion 33 of the housing 30. Then, the measurement medium in the pipe is introduced into the room 32 through the passage 41 formed in the pressure introduction member 40 and the pressure introduction hole 31 provided in the housing 30.

このため、導入された測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム３４から圧力検出室３７内のオイル３８を介して、センサ素子２０の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子２０から出力される。このセンサ信号は、センサ素子２０からワイヤ１３、ターミナル１２を介して、上記外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、本実施形態の圧力センサにおける圧力検出が行われる。   Therefore, the pressure of the introduced measurement medium is applied from the metal diaphragm 34 to the surface of the sensor element 20, that is, the pressure receiving surface, through the oil 38 in the pressure detection chamber 37. And the electrical signal according to the applied pressure is output from the sensor element 20 as a sensor signal. This sensor signal is transmitted from the sensor element 20 to the external circuit via the wire 13 and the terminal 12, and the refrigerant pressure in the refrigerant pipe is detected. In this way, pressure detection is performed in the pressure sensor of the present embodiment.

このような圧力センサによれば、測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際には、この測定媒体は圧力導入部材４０に形成された上記形状の通路４１を通過して圧力導入孔３１に導入されるため、測定媒体が配管から通路４１に導入される際に、測定媒体の流入が規制され圧力減衰効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, the measurement medium passes through the passage 41 having the shape formed in the pressure introduction member 40 and is introduced into the pressure introduction hole 31. Therefore, when the measurement medium is introduced into the passage 41 from the pipe, the inflow of the measurement medium is restricted and a pressure attenuation effect can be obtained.

また、測定媒体に高圧のサージ圧が発生すると、測定媒体は粒子の運動が活発になるので、測定媒体は通路４１および圧力導入孔３１の内壁と衝突を繰り返しながら部屋３２内に導入される。このため、この測定媒体は圧力導入孔３１の内壁との摩擦に加えて、通路４１の内壁との摩擦により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので、圧力導入孔３１のみを備えた従来の圧力センサより圧力減衰効果を得ることができる。   Further, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, the movement of particles in the measurement medium becomes active, so that the measurement medium is introduced into the room 32 while repeatedly colliding with the passage 41 and the inner wall of the pressure introduction hole 31. For this reason, in addition to the friction with the inner wall of the pressure introducing hole 31, this measuring medium converts the pressure energy into thermal energy by the friction with the inner wall of the passage 41. Therefore, the conventional pressure medium having only the pressure introducing hole 31 is used. A pressure attenuation effect can be obtained from the sensor.

これらのように本実施形態では、測定媒体に高圧のサージ圧が発生した際には圧力の減衰効果を得ることができるので、測定媒体が高圧のまま部屋３２内に導入されることを防止することができると共に、測定媒体が高圧のままメタルダイヤフラム３４に印加されることを防止することができ、メタルダイヤフラム３４の割れやボンディングワイヤ１３の断線を防止することができる。なお、通常の圧力検出動作中においても、測定媒体が配管から通路４１に導入される際に、測定媒体の流入が規制されることで圧力が減衰されることになるが、例えば、センサ部２０の検出精度を調整しておけば通常通り圧力の検出を正確に行うことができる。   As described above, in the present embodiment, when a high surge pressure is generated in the measurement medium, a pressure attenuation effect can be obtained, and therefore, the measurement medium is prevented from being introduced into the room 32 with a high pressure. In addition, the measurement medium can be prevented from being applied to the metal diaphragm 34 with a high pressure, and the metal diaphragm 34 can be prevented from cracking and the bonding wire 13 from being disconnected. Even during normal pressure detection operation, when the measurement medium is introduced from the pipe into the passage 41, the pressure is attenuated by restricting the inflow of the measurement medium. For example, the sensor unit 20 If the detection accuracy is adjusted, the pressure can be accurately detected as usual.

また、本実施形態では、貫通孔４３を斜めに形成することで、測定媒体と通路４１の内壁との摩擦が起こる長さを長くし、圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されやすくしている。さらに、各貫通孔４３は圧力導入部材４０の中心軸に収束するように形成されているが、各貫通孔４３は中心軸と平行に形成されていてもよい。また、本実施形態では通路４１は凹部４２と貫通孔４３とを有して構成されているが、貫通孔４３のみで通路４１を構成してもよい。さらに、貫通孔４３の本数は５本に限られるものではなく、適宜変更可能である。   In the present embodiment, the through holes 43 are formed obliquely to increase the length at which the friction between the measurement medium and the inner wall of the passage 41 occurs, and the pressure energy is easily converted into heat energy. Furthermore, although each through-hole 43 is formed so that it may converge on the central axis of the pressure introduction member 40, each through-hole 43 may be formed in parallel with the central axis. Further, in the present embodiment, the passage 41 is configured to include the recess 42 and the through hole 43, but the passage 41 may be configured only by the through hole 43. Furthermore, the number of the through holes 43 is not limited to five and can be changed as appropriate.

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、圧力導入部材４０の内部に形成された通路４１の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図３は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。なお、図３中では圧力導入部材４０を正面レイアウト図で描いている。 (Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is different from the first embodiment in the configuration of the passage 41 formed inside the pressure introducing member 40, and is otherwise the same as the first embodiment. Description is omitted. FIG. 3 is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment. In FIG. 3, the pressure introducing member 40 is depicted in a front layout view.

図３に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材４０の内部に形成された通路４１がスパイラル形状とされている。具体的には、この通路４１は圧力導入部材４０の中心軸に対してスパイラル形状とされており、通路４１のうち、一端部が圧力導入孔３１と連結され、他端部が圧力導入部材４０のうちハウジング３０との接合面と反対側の面に形成されている。   As shown in FIG. 3, in the pressure sensor of the present embodiment, the passage 41 formed inside the pressure introducing member 40 has a spiral shape. Specifically, the passage 41 has a spiral shape with respect to the central axis of the pressure introduction member 40, and one end of the passage 41 is connected to the pressure introduction hole 31 and the other end is the pressure introduction member 40. Of these, it is formed on the surface opposite to the joint surface with the housing 30.

このような圧力センサによれば、通路４１がスパイラル形状とされているので、測定媒体は通路４１の内壁と衝突しながら通路４１を通過していく。この際に、通路４１の外周側の測定媒体は通路４１の外周壁面と衝突することで既に流動方向が外周に沿った方向とされているが、この測定媒体より内周側の測定媒体の流動方向に関してはまだ流動方向が外周壁面に向いているため、これらの測定媒体の流動方向が異なることになり測定媒体同士で衝突する。このため、測定媒体はスパイラル形状を通過する際に、通路４１および測定媒体同士との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the passage 41 has a spiral shape, the measurement medium passes through the passage 41 while colliding with the inner wall of the passage 41. At this time, the measurement medium on the outer peripheral side of the passage 41 collides with the outer peripheral wall surface of the passage 41 so that the flow direction is already in the direction along the outer periphery. Regarding the direction, since the flow direction is still directed toward the outer peripheral wall surface, the flow directions of these measurement media are different and the measurement media collide with each other. For this reason, when the measurement medium passes through the spiral shape, pressure energy is converted into thermal energy by collision with the passage 41 and the measurement medium, so that the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained. The same effect as the form can be obtained.

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、圧力導入部材４０の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図４は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。 (Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the pressure introducing member 40, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. FIG. 4 is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment.

図４に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材４０が金属（例えば、ＳＵＳ等）製の孔４５を備えた３枚の円盤４６にて構成されており、各円盤４６に形成された孔４５同士の一部分がずれるように各円盤４６が貼り合わされている。つまり、圧力導入部材４０の内部に形成された通路４１を構成する貫通孔４３が各円盤４６に形成された孔４５の中心軸がずらして貼り合わされることで段形状とされている。   As shown in FIG. 4, in the pressure sensor of the present embodiment, the pressure introducing member 40 is composed of three disks 46 each having a hole 45 made of metal (for example, SUS). Each disk 46 is bonded so that a part of the holes 45 formed on each other is displaced. That is, the through holes 43 constituting the passages 41 formed inside the pressure introducing member 40 are formed in a step shape by being bonded together with the center axes of the holes 45 formed in the respective disks 46 being shifted.

このような圧力センサによれば、圧力導入部材４０に形成された通路４１が各円盤４６の孔４５同士の一部分がずらして貼り合わされることで形成されているため、測定媒体は通路４１を通過する際に、円盤４６の端面のうち孔４５の一部を封鎖する部分と衝突しながら通路４１を通過していく。このため、測定媒体は通路４１との衝突により圧力エネルギーが熱エネルギーに変換されるので、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the passage 41 formed in the pressure introducing member 40 is formed by affixing a part of the holes 45 of each disk 46 while being shifted, the measurement medium passes through the passage 41. In doing so, it passes through the passage 41 while colliding with a portion of the end face of the disk 46 that blocks a part of the hole 45. For this reason, since the pressure energy is converted into thermal energy due to the collision with the passage 41, the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained, and the same effect as in the first embodiment can be obtained.

なお、本実施形態では板状部材として円盤４６を用いているが、もちろん円盤４６に限定されるものではない。また、各円盤４６に形成される孔４５をそれぞれ異なる形状としてもよい。   In the present embodiment, the disk 46 is used as the plate-like member, but the present invention is not limited to the disk 46. The holes 45 formed in each disk 46 may have different shapes.

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、圧力導入部材４０の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図５（ａ）は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図、図５（ｂ）は（ａ）に示すＢ−Ｂ断面図である。 (Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the configuration of the pressure introducing member 40 with respect to the first embodiment, and the other aspects are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. FIG. 5A is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line BB shown in FIG.

図５（ａ）に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材４０が底部および側壁を有すると共に中空部を備えた有底円筒部材で構成されている。この圧力導入部材４０はステンレス等の部材で構成されており、側壁のうち底部と反対側の端部がハウジング３０と金属接合されている。そして、圧力導入部材４０の側壁のうち、ハウジング３０と接合される端部側に導入部４４が形成されている。具体的には、図５（ｂ）に示されるように、圧力センサを配管に取り付けた際に、圧力導入部材４０に到達する前の測定媒体の流動方向はＰ１で示す側壁から圧力導入部材４０の中心軸に向かう方向であり、導入部４４は側壁のうちこの方向と垂直な部分に形成されている。   As shown in FIG. 5A, in the pressure sensor of the present embodiment, the pressure introducing member 40 includes a bottomed cylindrical member having a bottom portion and a side wall and having a hollow portion. The pressure introducing member 40 is made of a member such as stainless steel, and the end of the side wall opposite to the bottom is metal-bonded to the housing 30. An introduction portion 44 is formed on the side of the pressure introduction member 40 on the end portion side that is joined to the housing 30. Specifically, as shown in FIG. 5B, when the pressure sensor is attached to the pipe, the flow direction of the measurement medium before reaching the pressure introduction member 40 is from the side wall indicated by P1 to the pressure introduction member 40. The introduction portion 44 is formed in a portion of the side wall that is perpendicular to this direction.

このような圧力センサによれば、図５（ｂ）に示されるように、測定媒体は圧力導入部材４０に到達すると測定媒体の流動方向が圧力導入部材４０の周方向（図５（ｂ）中でＰ２と示す）に変化される。そして、流動方向が変化された測定媒体が導入部４４から中空部に導入される。このため、測定媒体が中空部に導入される際に、測定媒体の流動方向を変化させることができるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, as shown in FIG. 5B, when the measurement medium reaches the pressure introduction member 40, the flow direction of the measurement medium changes in the circumferential direction of the pressure introduction member 40 (in FIG. 5B). (Indicated as P2). Then, the measurement medium whose flow direction is changed is introduced from the introduction part 44 into the hollow part. For this reason, when the measurement medium is introduced into the hollow portion, the flow direction of the measurement medium can be changed, so that the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained, and the same effect as in the first embodiment can be obtained. be able to.

なお、本実施形態では導入部４４は圧力導入部材４０の側壁のうちハウジング３０側に形成されているが、もちらんこれに限定されるものではない。さらに、導入部４４は圧力導入部材４０の側壁のうち圧力導入部材４０に到達する前の測定媒体の流動方向と垂直な部分に備えられているが、流動方向と導入部４４との角度をより大きくすればさらに測定媒体の流動方向を変化させることができ、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができる。   In addition, in this embodiment, although the introduction part 44 is formed in the housing 30 side among the side walls of the pressure introduction member 40, of course, it is not limited to this. Further, the introduction portion 44 is provided in a portion of the side wall of the pressure introduction member 40 that is perpendicular to the flow direction of the measurement medium before reaching the pressure introduction member 40. However, the angle between the flow direction and the introduction portion 44 is further increased. If it is increased, the flow direction of the measurement medium can be further changed, and the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained.

（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、圧力導入部材４０の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図６は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。 (Fifth embodiment)
A fifth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the pressure introducing member 40 with respect to the first embodiment, and the other aspects are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. FIG. 6 is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment.

図６に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入部材４０は、ハウジング３０との接合面からハウジング３０と反対側に伸びている中心部分４０ａと、中心部分４０ａのうち接合面と反対側の端部に中心部分４０ａの中心軸に対して垂直方向に突出している突出部分４０ｂとを有して構成されている。そして、貫通孔４３は中心部分４０ａおよび突出部分４０ｂの中心軸に沿って形成されている。   As shown in FIG. 6, in the pressure sensor of the present embodiment, the pressure introducing member 40 includes a center portion 40 a extending from the joint surface with the housing 30 to the opposite side of the housing 30, and the joint surface of the center portions 40 a. And a protruding portion 40b that protrudes in a direction perpendicular to the central axis of the central portion 40a. And the through-hole 43 is formed along the central axis of the center part 40a and the protrusion part 40b.

このような圧力センサによれば、圧力導入部材４０に形成された通路４１は圧力導入部材４０の内部で垂直に曲げられているので、測定媒体が通路４１を通過する際に流動方向を垂直に変化させることができ、圧力減衰効果を得ることができる。さらに、測定媒体は流動方向が垂直に変化される際に通路４１の内壁と衝突することになるので、衝突により測定媒体の圧力エネルギーを熱エネルギーに変換することができ、圧力減衰効果を得ることができる。本実施形態ではこれらのように圧力減衰効果を得ることができるので上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, the passage 41 formed in the pressure introduction member 40 is bent vertically inside the pressure introduction member 40, so that the flow direction is vertical when the measurement medium passes through the passage 41. The pressure attenuation effect can be obtained. Furthermore, since the measurement medium collides with the inner wall of the passage 41 when the flow direction is changed vertically, the pressure energy of the measurement medium can be converted into thermal energy by the collision, and a pressure damping effect can be obtained. Can do. In this embodiment, since the pressure attenuation effect can be obtained as described above, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

なお、本実施形態では圧力導入部材４０を中心部分４０ａと突出部分４０ｂとを有して構成し、通路４１を圧力導入部材４０の内部で垂直に曲げているが、ハウジング３０に圧力導入部材４０を備え付けず、ハウジング３０のうちコネクタケース１０に組み付けられる側と反対側の端部を垂直に折り曲げてもよい。   In the present embodiment, the pressure introducing member 40 includes the central portion 40 a and the protruding portion 40 b and the passage 41 is bent vertically inside the pressure introducing member 40. The end of the housing 30 opposite to the side assembled to the connector case 10 may be bent vertically.

（第６実施形態）
本発明の第６実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは圧力導入孔３１の構造を変更したものであり、その他の構造に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図７は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。 (Sixth embodiment)
A sixth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the structure of the pressure introducing hole 31. The other structures are the same as those of the first embodiment, and thus description thereof is omitted here. FIG. 7 is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment.

図７に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入孔３１に、圧力導入孔３１のうち部屋３２側の径が圧力導入部材４０側の径より拡大された拡大部３９ａが形成されている。   As shown in FIG. 7, in the pressure sensor of the present embodiment, the pressure introduction hole 31 is formed with an enlarged portion 39 a in which the diameter on the chamber 32 side of the pressure introduction hole 31 is larger than the diameter on the pressure introduction member 40 side. Has been.

このような圧力センサによれば、圧力導入孔３１に導入された測定媒体が拡大部３９ａにも流動することになり、測定媒体が拡大部３９ａに流動された際に、測定媒体は拡大部３９ａの壁面と衝突することで圧力エネルギーが熱エネルギーに変換される。このため測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, the measurement medium introduced into the pressure introducing hole 31 also flows into the enlarged portion 39a. When the measurement medium flows into the enlarged portion 39a, the measurement medium is expanded into the enlarged portion 39a. The pressure energy is converted into thermal energy by colliding with the wall surface. For this reason, the pressure attenuation effect of a measurement medium can be acquired and the effect similar to the said 1st Embodiment can be acquired.

（第７実施形態）
本発明の第７実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは圧力導入孔３１の構成を変更したものであり、その他の構造に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図８は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。 (Seventh embodiment)
A seventh embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor according to the present embodiment is obtained by changing the configuration of the pressure introducing hole 31. The other structures are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. FIG. 8 is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment.

図８に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、圧力導入孔３１に圧力導入孔３１の内壁が凹まされた凹み部３９ｂが形成されている。このような圧力センサによれば、圧力導入孔３１に凹み部３９ｂが形成されているので、圧力導入孔３１の内壁を構成する表面積を増加させることができる。このため、測定媒体が圧力導入孔３１を通過する際に、測定媒体が通路４１の内壁と摩擦を起こすことのできる部分を増加させることができ、従来の圧力センサより測定媒体の圧力エネルギーを熱エネルギーに変換することができる。本実施形態ではこのように圧力減衰効果を得ることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   As shown in FIG. 8, in the pressure sensor of the present embodiment, the pressure introducing hole 31 is formed with a recessed portion 39 b in which the inner wall of the pressure introducing hole 31 is recessed. According to such a pressure sensor, since the recessed portion 39b is formed in the pressure introduction hole 31, the surface area constituting the inner wall of the pressure introduction hole 31 can be increased. For this reason, when the measurement medium passes through the pressure introduction hole 31, it is possible to increase a portion where the measurement medium can cause friction with the inner wall of the passage 41, and the pressure energy of the measurement medium is more heated than the conventional pressure sensor. Can be converted into energy. In this embodiment, the pressure attenuation effect can be obtained in this way, and the same effect as in the first embodiment can be obtained.

なお、この凹み部３９ｂは圧力導入孔３１に例えば、ショットブラスト等を行うことで形成することができる。また、凹み部３９ｂは、規則的に形成されていても良く、例えば内ねじ形状とされていてもよい。   In addition, this recessed part 39b can be formed by performing shot blast etc. in the pressure introduction hole 31, for example. Moreover, the recessed part 39b may be formed regularly, for example, may be made into the internal thread shape.

（第８実施形態）
本発明の第８実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、メタルダイヤフラム３４に流動規制部材を備えたものであり、その他の構造に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図９は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。 (Eighth embodiment)
An eighth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is different from the first embodiment in that the metal diaphragm 34 is provided with a flow restricting member, and the other structures are the same as those in the first embodiment, so that the description thereof is omitted here. FIG. 9 is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment.

図９に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、メタルダイヤフラム３４に、底面および頂点を有する円錐形状であると共に底面に突出部５０ａを備えた流動規制部材５０が備えられている。この流動規制部材５０はステンレス等で構成することができ、流動規制部材５０のうち、突出部５０ａとメタルダイヤフラム３４とが金属接合されており、頂点が圧力導入孔３１側に向けられている。   As shown in FIG. 9, in the pressure sensor of the present embodiment, the metal diaphragm 34 is provided with a flow restriction member 50 that has a conical shape having a bottom surface and an apex and has a protrusion 50 a on the bottom surface. The flow restricting member 50 can be made of stainless steel or the like, and the protrusion 50a and the metal diaphragm 34 of the flow restricting member 50 are metal-bonded and the apex is directed to the pressure introducing hole 31 side.

このような圧力センサによれば、部屋３２内に導入された測定媒体の流動方向が流動規制部材５０により変化されるので測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the flow direction of the measurement medium introduced into the room 32 is changed by the flow regulating member 50, the pressure attenuation effect of the measurement medium can be obtained, which is the same as in the first embodiment. The effect of can be obtained.

（第９実施形態）
本発明の第９実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、部屋３２内にビーズを配置したものであり、その他の構造に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図１０は本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図である。 (Ninth embodiment)
A ninth embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is different from that of the first embodiment in that beads are arranged in the room 32, and the other structure is the same as that of the first embodiment, so that the description thereof is omitted here. FIG. 10 is an overall cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment.

図１０に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、部屋３２に、この部屋３２をメタルダイヤフラム３４側と圧力導入孔３１側とに区画する複数の貫通孔５２を備えたバッフル板５１が配置されている。そして、このバッフル板５１とメタルダイヤフラム３４との間には、例えば、樹脂で構成される球状のビーズ５３が配置されている。   As shown in FIG. 10, in the pressure sensor of the present embodiment, a baffle plate 51 having a plurality of through holes 52 that divide the room 32 into a metal diaphragm 34 side and a pressure introduction hole 31 side is provided in the room 32. Has been placed. Between the baffle plate 51 and the metal diaphragm 34, for example, spherical beads 53 made of resin are disposed.

このような圧力センサによれば、部屋３２内にバッフル板５１とビーズ５３とが配置されているので、測定媒体が部屋３２のうちメタルダイヤフラム３４側の部屋３２に導入される際に、測定媒体はバッフル板５１とビーズ５３とにより流入が規制されると共に、バッフル板５１およびビーズ５３に衝突する。このため、測定媒体の圧力減衰効果を得ることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。   According to such a pressure sensor, since the baffle plate 51 and the beads 53 are arranged in the room 32, when the measurement medium is introduced into the room 32 on the metal diaphragm 34 side in the room 32, the measurement medium. Is restricted by the baffle plate 51 and the beads 53 and collides with the baffle plate 51 and the beads 53. For this reason, the pressure attenuation effect of a measurement medium can be acquired and the effect similar to the said 1st Embodiment can be acquired.

なお、本実施形態では、ビーズ５３として樹脂で構成される球状のものを例に挙げて説明しているが、もちろんこれらに限定されるものではなく、例えば、角柱型であっても円柱型であってもよく、また、例えば、ゴムで構成してもよい。   In the present embodiment, the spherical shape made of resin is used as an example of the bead 53. However, the present invention is of course not limited thereto, and for example, a prismatic shape may be a cylindrical shape. For example, rubber may be used.

（他の実施形態）
上記第６実施形態では圧力導入部材４０を備えた圧力センサを例に挙げて説明しているが、圧力導入部材４０を備えていなくても上記第６実施形態の効果を得ることができる。また、上記第７、第８および第９実施形態においても同様に、圧力導入部材４０を備えていなくても上記各実施形態の効果を得ることができる。 (Other embodiments)
In the sixth embodiment, the pressure sensor including the pressure introducing member 40 is described as an example. However, even if the pressure introducing member 40 is not provided, the effect of the sixth embodiment can be obtained. Similarly, in the seventh, eighth and ninth embodiments, the effects of the above embodiments can be obtained even if the pressure introducing member 40 is not provided.

また、上記各実施形態を組み合わせてもよい。例えば、上記第６実施形態は他の全ての実施形態に組み合わせることができ、各実施形態において、圧力導入孔３１に、圧力導入孔３１のうち部屋３２側の径が圧力導入部材４０側の径より拡大された拡大部３９ａを形成してもよい。さらに、上記第７実施形態、上記第８実施形態および上記第９実施形態も同様に他の全ての実施形態に組み合わせることができる。例えば、各実施形態に上記第７実施形態を組み合わせて圧力導入孔３１に圧力導入孔３１の内壁が凹まされた凹み部３９ａを備えてもよく、また、各実施形態に上記第８実施形態を組み合わせて流動規制部材５０をメタルダイヤフラム３４に備えてもよく、また、各実施形態に上記第９実施形態を組み合わせて部屋３２内にバッフル板５１とビーズ５３とを備えてもよく、組み合わせは適宜変更可能である。   Moreover, you may combine said each embodiment. For example, the sixth embodiment can be combined with all the other embodiments. In each embodiment, the pressure introduction hole 31 has a diameter on the chamber 32 side of the pressure introduction hole 31 and a diameter on the pressure introduction member 40 side. A further enlarged portion 39a may be formed. Furthermore, the seventh embodiment, the eighth embodiment and the ninth embodiment can be combined with all other embodiments as well. For example, the seventh embodiment may be combined with each embodiment, and the pressure introduction hole 31 may be provided with a recessed portion 39a in which the inner wall of the pressure introduction hole 31 is recessed. In addition, the eighth embodiment is included in each embodiment. In combination, the flow restricting member 50 may be provided in the metal diaphragm 34, and the ninth embodiment may be combined with each embodiment to include the baffle plate 51 and the beads 53 in the room 32. It can be changed.

さらに、上記各実施形態において、圧力検出室３７には、オイル３８が封入されていなくてもよい。つまり、メタルダイヤフラム３４を介して圧力検出室３７内のセンサ素子２０に測定圧力が印加されればよく、圧力検出室３７内の圧力伝達媒体としては気体等であっても構わない。   Furthermore, in each of the above embodiments, the pressure detection chamber 37 may not contain the oil 38. That is, it is only necessary to apply the measurement pressure to the sensor element 20 in the pressure detection chamber 37 via the metal diaphragm 34, and the pressure transmission medium in the pressure detection chamber 37 may be gas or the like.

また、第１のケースとなるコネクタケース１０や第２のケースとなるハウジング３０の材質等についても、それぞれ樹脂や金属というように限定されるものではなく、適宜変更可能である。   Further, the material of the connector case 10 serving as the first case and the housing 30 serving as the second case are not limited to resin or metal, and can be appropriately changed.

さらに、センサ素子２０は、上記したダイヤフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものに限定されるものではない。   Further, the sensor element 20 is not limited to a semiconductor diaphragm type that converts the pressure received by the diaphragm into an electrical signal and outputs the electrical signal as a sensor signal.

本発明の第１実施形態における圧力センサの全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional view of the pressure sensor in 1st Embodiment of this invention. 図１に示すＡ−Ａ線の断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of the AA line shown in FIG. 本発明の第２実施形態にかかる全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態にかかる全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 3rd Embodiment of this invention. (ａ)は本発明の第４実施形態にかかる全体断面図を示す図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＢ−Ｂ線の断面図を示す図である。(a) is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 4th Embodiment of this invention, (b) is a figure which shows sectional drawing of the BB line shown to (a). 本発明の第５実施形態にかかる全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態にかかる全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 6th Embodiment of this invention. 本発明の第７実施形態にかかる全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 7th Embodiment of this invention. 本発明の第８実施形態にかかる全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 8th Embodiment of this invention. 本発明の第９実施形態にかかる全体断面図を示す図である。It is a figure which shows the whole sectional drawing concerning 9th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０…第１のケースとしてのコネクタケース、２０…センシング部としてのセンサ素子、３０…第２のケースとしてのハウジング、３４…メタルダイヤフラム、３９ａ…拡大部、３９ｂ…凹み部、４０…圧力導入部材、４１…通路、４３…貫通孔、４４…導入部、４５…孔、４６…板状部材としての円盤、５０…流動規制部材、５１…バッフル板、５３…ビーズ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Connector case as 1st case, 20 ... Sensor element as sensing part, 30 ... Housing as 2nd case, 34 ... Metal diaphragm, 39a ... Enlarged part, 39b ... Recessed part, 40 ... Pressure introduction member , 41 ... passage, 43 ... through hole, 44 ... introduction part, 45 ... hole, 46 ... disk as plate-like member, 50 ... flow regulating member, 51 ... baffle plate, 53 ... bead

Claims (17)

第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンシング部（２０）と、
前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイヤフラム（３４）と、を備え、
前記第２のケース（３０）のうち前記圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（３４）に印加されると、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（３４）を介して前記センシング部（２０）に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
前記第２のケース（３０）のうち前記第１のケース（１０）と組み付けられる側と反対側の端部には、前記測定媒体を通過させる通路（４１）が形成された圧力導入部材（４０）が接合されており、前記通路（４１）と前記圧力導入孔（３１）とが連結され、前記測定媒体は前記通路（４１）および前記圧力導入孔（３１）を介して前記部屋（３２）内に導入されるように構成されていることを特徴とする圧力センサ。 A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). When applied to the pressure, the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed.
A pressure introducing member (40) having a passage (41) through which the measurement medium passes is formed at an end of the second case (30) opposite to the side assembled with the first case (10). ), The passage (41) and the pressure introduction hole (31) are connected, and the measurement medium passes through the passage (41) and the pressure introduction hole (31), and the chamber (32). A pressure sensor configured to be introduced into a pressure sensor. 前記通路（４１）は前記圧力導入部材（４０）を貫通する貫通孔（４３）を有して構成されており、前記貫通孔（４３）のうち一端側が前記圧力導入部材（４０）のうち前記第２のケース（３０）との接合面に形成されることで前記貫通孔（４３）と前記圧力導入孔（３１）とが連結されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 The passage (41) has a through hole (43) that penetrates the pressure introducing member (40), and one end side of the through hole (43) is the above-mentioned pressure introducing member (40). The pressure sensor according to claim 1, wherein the through hole (43) and the pressure introducing hole (31) are connected to each other by being formed on a joint surface with the second case (30). . 前記通路（４１）を構成する前記貫通孔（４３）はスパイラル形状とされていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。 The pressure sensor according to claim 2, wherein the through hole (43) constituting the passage (41) has a spiral shape. 前記圧力導入部材（４０）は複数の板状部材（４６）で構成されており、前記板状部材（４６）には孔（４５）が形成され、前記通路（４１）を構成する前記貫通孔（４３）は前記板状部材（４６）の孔（４５）同士の一部分がずれるように前記板状部材（４６）が貼り合わされることで形成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。 The pressure introducing member (40) is composed of a plurality of plate-like members (46), and the plate-like member (46) is formed with a hole (45), and the through-hole constituting the passage (41). (43) is formed by bonding said plate-like member (46) so that a part of holes (45) of said plate-like member (46) may shift | deviate. Pressure sensor. 前記圧力導入部材（４０）は底部および側壁を有すると共に、中空部を備えて構成されており、前記側壁のうち底部側と反対側の端部が前記第２のケース（３０）と接合され、前記圧力導入部材（４０）には、前記通路（４１）の一部として前記圧力導入部材（４０）に到達する前の前記測定媒体の流動方向と異なる方向から前記測定媒体を前記中空部に導入する導入部（４４）が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。 The pressure introducing member (40) has a bottom portion and a side wall, and is configured to include a hollow portion, and an end portion of the side wall opposite to the bottom portion side is joined to the second case (30), Into the pressure introduction member (40), the measurement medium is introduced into the hollow portion from a direction different from the flow direction of the measurement medium before reaching the pressure introduction member (40) as a part of the passage (41). The pressure sensor according to claim 1, wherein an introduction portion (44) is formed. 前記圧力導入部材（４０）は、前記第２のケース（３０）との前記接合面から前記第２のケース（３０）と反対側に伸びている中心部分（４０ａ）と、前記中心部分（４０ａ）のうち前記接合面と反対側の端部に前記中心部分（４０ａ）の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部分（４０ｂ）と、を有して構成されており、前記貫通孔（４３）は前記中心部分（４０ａ）および前記突出部分（４０ｂ）の中心軸に沿って形成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。 The pressure introduction member (40) includes a central portion (40a) extending from the joint surface with the second case (30) to the opposite side of the second case (30), and the central portion (40a). ) And a protruding portion (40b) protruding in a direction perpendicular to the central axis of the central portion (40a) at the end opposite to the joint surface, and the through hole ( 43. The pressure sensor according to claim 2, wherein 43) is formed along the central axis of the central portion (40a) and the protruding portion (40b). 前記圧力導入孔（３１）の内壁には、前記圧力導入孔（３１）の内壁が凹まされた凹み部（３９ｂ）が形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The inner wall of the pressure introduction hole (31) is formed with a recess (39b) in which the inner wall of the pressure introduction hole (31) is recessed. The pressure sensor described in 1. 前記圧力導入孔（３１）には、前記圧力導入孔（３１）のうち前記部屋（３２）側の径が前記圧力導入部材（４０）側の径より大きくされた拡大部（３９ａ）が形成されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The pressure introducing hole (31) is formed with an enlarged portion (39a) in which the diameter on the chamber (32) side of the pressure introducing hole (31) is larger than the diameter on the pressure introducing member (40) side. The pressure sensor according to claim 1, wherein the pressure sensor is provided. 前記メタルダイヤフラム（３４）には底面および頂点を有する錐形状の流動規制部材（５０）が備えられており、前記流動規制部材（５０）のうち前記底面が前記メタルダイヤフラム（３４）と対向するように配置されていると共に前記頂点が前記圧力導入孔（３１）側に向けて配置されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The metal diaphragm (34) is provided with a conical flow restricting member (50) having a bottom surface and an apex, and the bottom surface of the flow restricting member (50) faces the metal diaphragm (34). The pressure sensor according to claim 1, wherein the apex is arranged toward the pressure introduction hole (31). 前記部屋（３２）には、前記部屋（３２）を前記メタルダイヤフラム（３４）側と前記圧力導入孔（３１）側とに区画する複数の貫通孔（５２）を備えたバッフル板（５１）が配置されており、前記バッフル板（５１）と前記メタルダイヤフラム（３４）との間には前記測定媒体が前記メタルダイヤフラム（３４）に流動することを規制するビーズ（５３）が配置されていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The chamber (32) includes a baffle plate (51) having a plurality of through holes (52) that divide the chamber (32) into the metal diaphragm (34) side and the pressure introduction hole (31) side. Between the baffle plate (51) and the metal diaphragm (34), beads (53) that restrict the measurement medium from flowing to the metal diaphragm (34) are disposed. The pressure sensor according to any one of claims 1 to 9. 第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンシング部（２０）と、
前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイヤフラム（３４）と、を備え、
前記第２のケース（３０）のうち前記圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（３４）に印加されると、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（３４）を介して前記センシング部（２０）に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
前記圧力導入孔（３１）には、前記圧力導入孔（３１）の内壁が凹まされた凹み部（３９ｂ）が形成されていることを特徴とする圧力センサ。 A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). When applied to the pressure, the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed.
The pressure sensor, wherein the pressure introduction hole (31) has a recess (39b) in which an inner wall of the pressure introduction hole (31) is recessed. 前記圧力導入孔（３１）には、前記圧力導入孔（３１）のうち前記部屋（３２）側の径が前記圧力導入部材（４０）側の径より大きくされた拡大部（３９ａ）が形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の圧力センサ。 The pressure introducing hole (31) is formed with an enlarged portion (39a) in which the diameter on the chamber (32) side of the pressure introducing hole (31) is larger than the diameter on the pressure introducing member (40) side. The pressure sensor according to claim 11. 前記メタルダイヤフラム（３４）には底面および頂点を有する錐形状の流動規制部材（５０）が備えられており、前記流動規制部材（５０）のうち前記底面が前記メタルダイヤフラム（３４）と対向するように配置されていると共に前記頂点が前記圧力導入孔（３１）側に向けて配置されていることを特徴とすることを特徴とする請求項１１または１２に記載の圧力センサ。 The metal diaphragm (34) is provided with a conical flow restricting member (50) having a bottom surface and an apex, and the bottom surface of the flow restricting member (50) faces the metal diaphragm (34). The pressure sensor according to claim 11 or 12, wherein the pressure sensor is arranged at the top and the apex is arranged toward the pressure introduction hole (31). 前記部屋（３２）には、前記部屋（３２）を前記メタルダイヤフラム（３４）側と前記圧力導入孔（３１）側に区画する複数の貫通孔（５２）を備えたバッフル板（５１）が配置されており、前記バッフル板（５１）と前記メタルダイヤフラム（３４）との間には前記測定媒体が前記メタルダイヤフラム（３４）に流動することを規制するビーズ（５３）が配置されていることを特徴とする請求項１１ないし１３のいずれか１つに記載の圧力センサ。 A baffle plate (51) having a plurality of through holes (52) dividing the room (32) into the metal diaphragm (34) side and the pressure introduction hole (31) side is disposed in the room (32). And a bead (53) is disposed between the baffle plate (51) and the metal diaphragm (34) to restrict the measurement medium from flowing to the metal diaphragm (34). The pressure sensor according to any one of claims 11 to 13, characterized in that: 第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンシング部（２０）と、
前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイヤフラム（３４）と、を備え、
前記第２のケース（３０）のうち前記圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（３４）に印加されると、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（３４）を介して前記センシング部（２０）に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
底面および頂点を有する錐形状で、底面が前記メタルダイヤフラム（３４）と対向するように配置され、頂点が前記圧力導入孔（３１）側に向けて配置される流動規制部材（５０）と、前記部屋（３２）に前記部屋（３２）を前記メタルダイヤフラム（３４）側と前記圧力導入孔（３１）側とに区画する複数の貫通孔（５２）を備えたバッフル板（５１）を備え、前記バッフル板（５１）と前記メタルダイヤフラム（３４）との間に配置される前記測定媒体が前記メタルダイヤフラム（３４）に流動することを規制するビーズ（５３）と、のうち少なくともいずれか一方が備えられていることを特徴とする圧力センサ。 A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). When applied to the pressure, the pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) via the metal diaphragm (34), and pressure detection is performed.
A flow regulating member (50) having a conical shape having a bottom surface and an apex, the bottom surface being arranged to face the metal diaphragm (34), and the apex being arranged toward the pressure introduction hole (31); The room (32) includes a baffle plate (51) provided with a plurality of through holes (52) dividing the room (32) into the metal diaphragm (34) side and the pressure introduction hole (31) side, At least one of beads (53) for restricting the measurement medium disposed between a baffle plate (51) and the metal diaphragm (34) from flowing to the metal diaphragm (34) is provided. A pressure sensor. 前記第２のケース（３０）は、前記第１のケース（１０）と組み付けられる側と反対側の端部に前記第２のケース（３０）の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部を有しており、前記圧力導入孔（３１）は前記第２のケース（３０）および前記突出部の中心軸に沿って備えられていることを特徴とする請求項１１ないし１５のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The second case (30) has a protruding portion that protrudes in a direction perpendicular to the central axis of the second case (30) at the end opposite to the side assembled with the first case (10). The pressure introduction hole (31) is provided along the central axis of the second case (30) and the projecting portion, according to any one of claims 11 to 15. The pressure sensor described in 1. 第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンシング部（２０）と、
前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイヤフラム（３４）と、を備え、
前記第２のケース（３０）のうち前記圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）内に前記測定媒体が導入され、前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（３４）に印加されると前記測定媒体の圧力は前記メタルダイヤフラム（３４）を介して前記センシング部（２０）に伝達され、圧力検出を行うように構成されており、
前記第２のケース（３０）は、前記第１のケース（１０）と組み付けられる側と反対側の端部に前記第２のケース（３０）の中心軸に対して垂直方向に突出した突出部を有しており、前記圧力導入孔（３１）は前記第２のケース（３０）および前記突出部の中心軸に沿って備えられていることを特徴とする圧力センサ。
A casing (100) formed by integrally assembling a first case (10) and a second case (30) having a pressure introduction hole (31) into which a measurement medium is introduced;
A sensing unit (20) for pressure detection provided in the casing (100);
A metal diaphragm (34) disposed between a front end surface (10a) of the first case (10) and one surface (30b) of the second case (30);
The measurement medium is introduced into a chamber (32) formed by expanding the pressure introduction hole (31) in the second case (30), and the pressure of the measurement medium is changed to the metal diaphragm (34). The pressure of the measurement medium is transmitted to the sensing unit (20) through the metal diaphragm (34) when applied to the sensor, and pressure detection is performed.
The second case (30) has a protruding portion that protrudes in a direction perpendicular to the central axis of the second case (30) at the end opposite to the side assembled with the first case (10). The pressure sensor is characterized in that the pressure introducing hole (31) is provided along the central axis of the second case (30) and the protruding portion.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101256753B1 (en) * 2011-10-05 2013-04-19 주식회사 현대케피코 Semi-conductor pressure sensor module with preventing structure for physical shock of continuous over-pressure of fluid flow
JP2013522646A (en) * 2010-03-24 2013-06-13 ケアフュージョン ３０３、インコーポレイテッド Pressure sensing system and method
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DE102022101817A1 (en) 2022-01-26 2023-07-27 Danfoss A/S Pressure connection arrangement and pressure sensor arrangement

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