JP2009136079A - Vibration actuator and imaging apparatus - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration actuator having a drive section which causes swing-rotation vibration of a stator. <P>SOLUTION: A vibration actuator includes a rotor, a resilient stator formed integrally into a hollow tube for accommodating the rotor, and a drive section formed integrally into a hollow tube and causing swing-rotation vibration of the stator wherein the stator is inserted into the drive section and fixed each other. The stator may be press fitted in the drive section and fixed each other. The stator and the drive section may be fixed each other through a gap between the outer wall of the stator and the inner wall of the drive section. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動アクチュエータおよび撮像装置に関する。より詳細には、電気機械変換素子等を用いて形成された駆動部を有する振動アクチュエータと、それを備える撮像装置に関する。   The present invention relates to a vibration actuator and an imaging apparatus. More specifically, the present invention relates to a vibration actuator having a drive unit formed using an electromechanical conversion element or the like, and an imaging apparatus including the vibration actuator.

超音波帯域の振動を回転運動または直線運動に変換して出力する振動アクチュエータがある。振動アクチュエータは、圧電材料等を用いて形成された駆動部を備え、周期的に変化する駆動電圧を駆動部に印加することより生じた振動を、回転運動または直線運動に変換して外部の被駆動部材に伝達する。   There are vibration actuators that convert vibrations in the ultrasonic band into rotary motion or linear motion and output them. A vibration actuator includes a drive unit formed of a piezoelectric material or the like, and converts vibration generated by applying a periodically changing drive voltage to the drive unit into a rotational motion or a linear motion to convert the vibration to an external target. Transmit to the drive member.

下記の特許文献１には、送りネジ型超音波モータの構造が記載されている。この超音波モータは、両端付近の内面にネジ溝を切られた貫通穴を有する角柱状弾性体と、角柱状弾性体の側方４面に個々に装着された電気機械変換素子と、貫通穴に螺入挿通されたネジ棒とを備える。４枚の電気機械変換素子に位相が順次遅れた周期的な駆動電圧を印加することにより弾性体に振動が生じ、振動がネジ棒を軸方向に進退させる。   Patent Document 1 below describes the structure of a feed screw type ultrasonic motor. This ultrasonic motor includes a prismatic elastic body having through holes with threaded grooves in the inner surfaces near both ends, electromechanical transducers individually mounted on four side surfaces of the prismatic elastic body, and through holes. And a threaded rod inserted into the thread. By applying periodic drive voltages whose phases are sequentially delayed to the four electromechanical transducers, vibration is generated in the elastic body, and the vibration causes the screw rod to advance and retreat in the axial direction.

下記の特許文献２にも、貫通穴を有すると共に側面に電気機械変換素子を装着された角柱状の弾性体と、貫通穴に挿通された回転子とを備えたチューブ型超音波モータが記載されている。弾性体はセラミックスにより形成される。
米国特許第６９４０２０９号明細書 特開２００７−０４９８９７号公報 Patent Document 2 below also describes a tube-type ultrasonic motor including a prismatic elastic body having a through-hole and having an electromechanical conversion element mounted on its side surface, and a rotor inserted through the through-hole. ing. The elastic body is formed of ceramics.
US Pat. No. 6,940,209 JP 2007-049897 A

上記のような振動アクチュエータは、高い応答速度、高い駆動トルクを有する他、動作音が小さい等の産業上有利な特徴を有する。また、エネルギー効率が高く、部品点数が少ないので小型化に適しているとされている。   The vibration actuator as described above has industrially advantageous features such as high response speed, high driving torque, and low noise. In addition, it is said to be suitable for miniaturization because of high energy efficiency and a small number of parts.

しかしながら、振動アクチュエータの製造には、セラミックス等の難加工材料を加工して部品を作製して、更にその部品を組み立てる工程が不可避になる。また、電気機械変換素子が複数の部材を含む場合がある。このため、製造コストが高く、製品が高価になるので利用範囲が制限されていた。   However, in manufacturing a vibration actuator, a process of manufacturing a part by processing difficult-to-process materials such as ceramics and further assembling the part becomes inevitable. The electromechanical conversion element may include a plurality of members. For this reason, since the manufacturing cost is high and the product becomes expensive, the range of use is limited.

そこで、上記課題を解決すべく、本発明の第１の形態として、ロータと、一体的に中空の筒型に形成され、弾性を有し、ロータを収容するステータと、一体的に中空の筒型に形成され、ステータを駆動して振れ回り振動させる駆動部とを備え、ステータが駆動部に挿入されて互いに固定された振動アクチュエータが提供される。   Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, as a first embodiment of the present invention, a rotor, a stator that is integrally formed in a hollow cylindrical shape, has elasticity, and accommodates the rotor, and an integrally hollow cylinder There is provided a vibration actuator that is formed in a mold and includes a drive unit that drives the stator to vibrate and vibrates, and the stator is inserted into the drive unit and fixed to each other.

上記振動アクチュエータにおいて、ステータが駆動部内に圧入されることにより、互いに固定されてもよい。   In the vibration actuator, the stators may be fixed to each other by being press-fitted into the drive unit.

また、上記振動アクチュエータにおいて、ステータ外壁と駆動部内壁との間に間隙を有して、互いに固定されてもよい。   The vibration actuator may be fixed to each other with a gap between the stator outer wall and the drive unit inner wall.

更に、上記振動アクチュエータにおいて、ステータは、軸方向の一端の近傍において、ステータの外壁から径方向の外側に延伸した当接部を有し、当接部は、駆動部の軸方向の一端が当接してもよい。   Further, in the vibration actuator, the stator has a contact portion extending radially outward from the outer wall of the stator in the vicinity of one end in the axial direction, and the contact portion is in contact with one end in the axial direction of the drive portion. You may touch.

また更に、上記振動アクチュエータにおいて、ステータの軸方向の他端においてステータの外壁に嵌められるキャップをさらに備え、キャップは、駆動部の軸方向の他端に当接することにより、当接部との間で駆動部を挟み込んでもよい。   Furthermore, the vibration actuator further includes a cap that is fitted to the outer wall of the stator at the other axial end of the stator, and the cap is in contact with the other end in the axial direction of the drive unit, thereby The drive unit may be sandwiched between.

また更に、上記振動アクチュエータにおいて、駆動部の外壁において、周方向に互いに電気的に離間して配された、複数の電極をさらに備えてもよい。   Furthermore, the vibration actuator may further include a plurality of electrodes arranged on the outer wall of the drive unit so as to be electrically separated from each other in the circumferential direction.

また、本発明の第２の形態として、光学部材、光学部材を収容するレンズ鏡筒、およびレンズ鏡筒の内部に設けられて、光学部材を駆動する振動アクチュエータを有するレンズユニットと、レンズユニットによって結像された画像を撮像する撮像部と、振動アクチュエータおよび撮像部を制御する制御部とを備える撮像装置であって、振動アクチュエータは、ロータ、一体的に中空の筒型に形成され、弾性を有し、ロータを収容するステータ、および、一体的に中空の筒型に形成され、ステータを駆動して振れ回り振動させる駆動部を有し、ステータが駆動部に挿入されて互いに固定された撮像装置が提供される。   According to a second aspect of the present invention, there is provided an optical member, a lens barrel that houses the optical member, a lens unit that is provided inside the lens barrel and has a vibration actuator that drives the optical member, and a lens unit. An imaging device including an imaging unit that captures an image that has been formed, and a vibration actuator and a control unit that controls the imaging unit, wherein the vibration actuator is integrally formed with a rotor, a hollow cylindrical shape, and has elasticity. And a stator that accommodates the rotor, and a drive unit that is integrally formed in a hollow cylindrical shape and drives the stator to vibrate and vibrate, and the stator is inserted into the drive unit and fixed to each other An apparatus is provided.

上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションも発明となり得る。   The above summary of the present invention does not enumerate all necessary features of the present invention. Further, a sub-combination of these feature groups can be an invention.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明する。しかしながら、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図１は、一実施形態に係る振動アクチュエータ１００の分解斜視図である。なお、以下の記載においては、図面の表示に従って、各要素の軸方向の一端を上端、他端を下端と記載する。しかしながら、このような記載は、振動アクチュエータ１００の使用を、図示の方向に限定するものではない。   FIG. 1 is an exploded perspective view of a vibration actuator 100 according to an embodiment. In the following description, one end in the axial direction of each element is described as an upper end and the other end is described as a lower end in accordance with the display of the drawings. However, such description does not limit the use of the vibration actuator 100 in the illustrated direction.

振動アクチュエータ１００は、ロータ１４０と、ロータ１４０を収容するステータ１２０と、一体的に中空の筒型に形成され、ステータ１２０を駆動して振れ回り振動させる駆動部１３０とを備える。更に、振動アクチュエータ１００は、ロータ１４０に装着するワッシャ１５０および付勢部材１６０と、ステータ１２０の上端または下端に装着する上キャップ１７０および下キャップ１１０と、ロータ１４０の上端近傍に装着する出力ギア１８０とを備える。   The vibration actuator 100 includes a rotor 140, a stator 120 that accommodates the rotor 140, and a drive unit 130 that is integrally formed in a hollow cylindrical shape and drives the stator 120 to vibrate and vibrate. Further, the vibration actuator 100 includes a washer 150 and a biasing member 160 attached to the rotor 140, an upper cap 170 and a lower cap 110 attached to the upper end or lower end of the stator 120, and an output gear 180 attached to the vicinity of the upper end of the rotor 140. With.

下キャップ１１０は、円筒部１１６の下端を塞ぐ円板部１１４と、円板部１１４の中央に形成された軸受穴１１２と、円筒部１１６の内面に形成されたネジ山部１１８とを有する。上キャップ１７０は、円筒部１７６の上端を塞ぐ円板部１７４と、円板部１７４の中央に形成された軸受穴１７２とを有する。また、この図では見えない円筒部１７６の内面に、ネジ山部１７８を有する。   The lower cap 110 has a disc portion 114 that closes the lower end of the cylindrical portion 116, a bearing hole 112 formed in the center of the disc portion 114, and a threaded portion 118 formed on the inner surface of the cylindrical portion 116. The upper cap 170 has a disc portion 174 that closes the upper end of the cylindrical portion 176, and a bearing hole 172 formed in the center of the disc portion 174. In addition, a thread portion 178 is provided on the inner surface of the cylindrical portion 176 that cannot be seen in this drawing.

ステータ１２０は、一体的に中空の円筒型に形成され、弾性を有する円筒部１２２を含む。また、ステータ１２０は、円筒部１２２の外周面の下端近傍に、ステータ１２０の外壁から径方向の外側に延伸した当接部１２６を有する。更に、ステータ１２０は、円筒部１２２の外周面の上端および下端にネジ溝部１２４、１２８を有する。ネジ溝部１２４、１２８は、上キャップ１７０および下キャップ１１０のネジ山部１７８、１１８に螺合する径とピッチとを有する。   The stator 120 is integrally formed in a hollow cylindrical shape and includes a cylindrical portion 122 having elasticity. In addition, the stator 120 has a contact portion 126 extending from the outer wall of the stator 120 to the outside in the radial direction in the vicinity of the lower end of the outer peripheral surface of the cylindrical portion 122. Further, the stator 120 has screw groove portions 124 and 128 at the upper end and the lower end of the outer peripheral surface of the cylindrical portion 122. The screw groove portions 124 and 128 have a diameter and a pitch to be screwed into the screw thread portions 178 and 118 of the upper cap 170 and the lower cap 110.

駆動部１３０は、一体的に中空の円筒型に形成された圧電材料管１３２と、圧電材料管１３２の周面に形成された複数の電極１３１を含む。圧電材料管１３２の内径は、ステータ１２０の円筒部１２２の外径に略等しい。また、圧電材料管１３２は、ステータ１２０よりも軸方向の長さが短い。   The drive unit 130 includes a piezoelectric material tube 132 integrally formed in a hollow cylindrical shape, and a plurality of electrodes 131 formed on the peripheral surface of the piezoelectric material tube 132. The inner diameter of the piezoelectric material tube 132 is substantially equal to the outer diameter of the cylindrical portion 122 of the stator 120. The piezoelectric material tube 132 is shorter in the axial direction than the stator 120.

圧電材料管１３２は、チタン酸ジルコン酸鉛、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の焼結体または成形体として製造できる。また、電極１３１は、銀等の金属により形成できる。電極１３１は、ニッケル、金等の電極材料を、鍍金、スパッタ、蒸着、厚膜印刷等の方法で、圧電材料管１３２の表面に直接に形成してもよい。また、圧電材料板１３２と電極１３１とは電気的に導通しなくてもよいので、電気材料の板材を貼り付けてもよい。   The piezoelectric material tube 132 is a sintered body or molded of lead zirconate titanate, crystal, lithium niobate, barium titanate, lead titanate, lead metaniobate, polyvinylidene fluoride, lead zinc niobate, lead scandium niobate, etc. Can be manufactured as a body. The electrode 131 can be formed of a metal such as silver. The electrode 131 may be formed directly on the surface of the piezoelectric material tube 132 by an electrode material such as nickel or gold by a method such as plating, sputtering, vapor deposition, or thick film printing. In addition, since the piezoelectric material plate 132 and the electrode 131 do not have to be electrically connected, an electric material plate may be attached.

電極１３１は、駆動部１３０の外壁において、周方向に互いに電気的に離間して配される。電極１３１は、圧電材料管１３２の側周面を周方向に等分した一定の領域を画成する。電極１３１は、圧電材料管１３２の側周面に倣った曲面をなす。また、上記実施形態では、電極１３１は、圧電材料管１３２の側周面を４等分して４枚形成される。しかしながら、電極１３１の数は４に限られることはなく、３以上あればよい。   The electrodes 131 are arranged on the outer wall of the driving unit 130 so as to be electrically separated from each other in the circumferential direction. The electrode 131 defines a certain region obtained by equally dividing the side peripheral surface of the piezoelectric material tube 132 in the circumferential direction. The electrode 131 forms a curved surface that follows the side peripheral surface of the piezoelectric material tube 132. In the above embodiment, four electrodes 131 are formed by dividing the side peripheral surface of the piezoelectric material tube 132 into four equal parts. However, the number of electrodes 131 is not limited to four, and may be three or more.

ロータ１４０は、円板状の接触部１４４と、接触部１４４から上方に延在する上側回転軸１４２と、接触部１４４から下方に延在する下側回転軸１４６とを含む。接触部１４４の外径は、ステータ１２０円筒部１２２の内径よりも小さく、上側回転軸１４２および下側回転軸１４６の外径よりも大きい。   The rotor 140 includes a disk-shaped contact portion 144, an upper rotation shaft 142 extending upward from the contact portion 144, and a lower rotation shaft 146 extending downward from the contact portion 144. The outer diameter of the contact portion 144 is smaller than the inner diameter of the stator 120 cylindrical portion 122 and larger than the outer diameters of the upper rotating shaft 142 and the lower rotating shaft 146.

ワッシャ１５０は、上側回転軸１４２の外径よりも大きく、接触部１４４の外径よりも小さな内径を有する。一方、付勢部材１６０は、接触部１４４の外径よりも小さな外径と、上側回転軸１４２の外径よりも大きな内径とを有する。   The washer 150 has an inner diameter that is larger than the outer diameter of the upper rotating shaft 142 and smaller than the outer diameter of the contact portion 144. On the other hand, the urging member 160 has an outer diameter smaller than the outer diameter of the contact portion 144 and an inner diameter larger than the outer diameter of the upper rotating shaft 142.

ワッシャ１５０および付勢部材１６０は、上側回転軸１４２を順次挿通される。なお、付勢部材１６０は、図中ではコイルばねとして描かれているが、この構造のバネ材に限られるものではない。   The washer 150 and the biasing member 160 are sequentially inserted through the upper rotating shaft 142. The biasing member 160 is depicted as a coil spring in the drawing, but is not limited to a spring material having this structure.

出力ギア１８０は、外周面に歯部１８４を、中心に軸穴１８２を、それぞれ有する。軸穴１８２は、上側回転軸１４２に嵌着する内径を有する。軸穴１８２に上側回転軸１４２を嵌着させた場合、出力ギア１８０はロータ１４０と一体的に回転する。   The output gear 180 has a tooth portion 184 on the outer peripheral surface and a shaft hole 182 at the center. The shaft hole 182 has an inner diameter that fits into the upper rotating shaft 142. When the upper rotary shaft 142 is fitted in the shaft hole 182, the output gear 180 rotates integrally with the rotor 140.

図２は、振動アクチュエータ１００の構造を示す縦断面図である。図１と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。   FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the structure of the vibration actuator 100. Elements that are the same as those in FIG. 1 are given the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted.

ステータ１２０は、駆動部１３０の内側に圧入されることにより、互いに固定されている。従って、駆動部１３０に変形か生じた場合は、ステータ１２０も共に変形する。なお、駆動部１３０の下端は、ステータ１２０の当接部１２６に当接して位置決めされる。   The stators 120 are fixed to each other by being press-fitted inside the driving unit 130. Therefore, when the drive unit 130 is deformed, the stator 120 is also deformed. Note that the lower end of the drive unit 130 is positioned in contact with the contact portion 126 of the stator 120.

ステータ１２０のネジ溝部１２４、１２８は、いずれも駆動部１３０の長手方向外側に位置して、上キャップ１７０および下キャップ１１０が装着される。なお、本実施形態では、ネジ山部１７８、１１８をネジ溝部１２４、１２８に螺着させることにより上キャップ１７０および下キャップ１１０が装着されるが、接着、嵌め合い等の他の方法により固定されてもよい。   The screw groove portions 124 and 128 of the stator 120 are both positioned on the outer side in the longitudinal direction of the drive unit 130, and the upper cap 170 and the lower cap 110 are attached thereto. In the present embodiment, the upper cap 170 and the lower cap 110 are mounted by screwing the screw thread portions 178 and 118 into the screw groove portions 124 and 128, but they are fixed by other methods such as adhesion and fitting. May be.

ステータ１２０は、長手方向の中程に、径方向に内側に向かって突出した肩部１２３を有する。肩部１２３の上面には、内側に向かって徐々に低くなるすり鉢状の斜面である駆動面１２１をなす。駆動面１２１は、ステータ１２０の内面に沿って環状に形成される。駆動面１２１の内径は、ロータ１４０の接触部１４４の外径よりも小さい。   The stator 120 has a shoulder 123 that protrudes inward in the radial direction in the middle in the longitudinal direction. A driving surface 121 that is a mortar-shaped slope gradually lowering inward is formed on the upper surface of the shoulder portion 123. The drive surface 121 is formed in an annular shape along the inner surface of the stator 120. The inner diameter of the drive surface 121 is smaller than the outer diameter of the contact portion 144 of the rotor 140.

ステータ１２０の内部には、ロータ１４０、ワッシャ１５０および付勢部材１６０が収容される。ロータ１４０は、下側回転軸１４６の下端を、下キャップ１１０の軸受穴１１２から下方外部に僅か突出させる。また、ロータ１４０は、上側回転軸１４２の上端を、上キャップ１７０の軸受穴１７２から上方外部に大きく突出させる。   Inside the stator 120, the rotor 140, the washer 150, and the biasing member 160 are accommodated. The rotor 140 slightly projects the lower end of the lower rotating shaft 146 outward from the bearing hole 112 of the lower cap 110. In addition, the rotor 140 causes the upper end of the upper rotating shaft 142 to protrude greatly upward and outward from the bearing hole 172 of the upper cap 170.

これにより、上側回転軸１４２および下側回転軸１４６は、上キャップ１７０および下キャップ１１０から回転自在に位置決めされる。軸受穴１７２、１１２は、転がり軸受け、滑り軸受け等であってもよい。   Accordingly, the upper rotating shaft 142 and the lower rotating shaft 146 are positioned so as to be rotatable from the upper cap 170 and the lower cap 110. The bearing holes 172 and 112 may be rolling bearings, sliding bearings, or the like.

出力ギア１８０は、上側回転軸１４２の上端を軸穴１８２に挿通されて嵌着される。これにより、ロータ１４０は出力ギア１８０と共に回転する。なお、図示の例では上側回転軸１４２に出力ギア１８０を装着した。しかしながら、下側回転軸１４６を下方に延長して、出力ギア１８０を装着することもできる。更に、上側回転軸１４２および下側回転軸１４６の両方に出力ギア１８０を装着してもよい。   The output gear 180 is fitted by inserting the upper end of the upper rotary shaft 142 into the shaft hole 182. As a result, the rotor 140 rotates together with the output gear 180. In the illustrated example, the output gear 180 is mounted on the upper rotating shaft 142. However, the output gear 180 can be mounted by extending the lower rotation shaft 146 downward. Further, the output gear 180 may be attached to both the upper rotating shaft 142 and the lower rotating shaft 146.

付勢部材１６０は、上端を上キャップ１７０の円板部１７４に対して直接に、下端をロータ１４０の接触部１４４にワッシャ１５０を介して、それぞれ当接させて、軸方向に圧縮された状態で装着される。これにより、接触部１４４の軸方向一端、具体的には下面縁部の被駆動部１４１が、ステータ１２０の駆動面１２１に向かって押し付けられる。従って、ステータ１２０の駆動面１２１に生じた変位は、ロータ１４０の接触部１４４に効率よく伝達される。   The biasing member 160 is compressed in the axial direction with the upper end directly contacting the disc portion 174 of the upper cap 170 and the lower end contacting the contact portion 144 of the rotor 140 via the washer 150. It is installed with. As a result, one end of the contact portion 144 in the axial direction, specifically, the driven portion 141 at the lower edge is pressed against the driving surface 121 of the stator 120. Accordingly, the displacement generated on the drive surface 121 of the stator 120 is efficiently transmitted to the contact portion 144 of the rotor 140.

なお、ワッシャ１５０は、付勢部材１６０および接触部１４４の間の滑り摩擦を緩和する。ワッシャ１５０に換えて、あるいは、ワッシャ１５０に加えて、付勢部材１６０および接触部１４４の間に潤滑材を塗布または貼付してもよい。   The washer 150 reduces sliding friction between the biasing member 160 and the contact portion 144. Instead of the washer 150, or in addition to the washer 150, a lubricant may be applied or pasted between the biasing member 160 and the contact portion 144.

図３は、振動アクチュエータ１００の動作を説明する概念図である。なお、本実施形態においては、ステータ１２０は、上キャップ１７０および下キャップ１１０を介して、長手方向の両端近傍で外部から支持されているものとするが、他の部位において支持されてもよい。   FIG. 3 is a conceptual diagram illustrating the operation of the vibration actuator 100. In the present embodiment, the stator 120 is supported from the outside in the vicinity of both ends in the longitudinal direction via the upper cap 170 and the lower cap 110, but may be supported at other portions.

電極１３１のいずれかに駆動電圧が印加された場合、当該電極１３１に応じた領域において、圧電材料管１３２は長手方向に伸張する。ステータ１２０の円筒部１２２は、圧電材料管１３２と共に一体的に変形するので、当該電極１３１の領域において、ステータ１２０が伸張するように、ステータ１２０が屈曲する。   When a driving voltage is applied to one of the electrodes 131, the piezoelectric material tube 132 extends in the longitudinal direction in a region corresponding to the electrode 131. Since the cylindrical portion 122 of the stator 120 is integrally deformed with the piezoelectric material tube 132, the stator 120 is bent so that the stator 120 extends in the region of the electrode 131.

更に、ステータ１２０の周方向に配列された電極１３１に、順次π／２遅れた位相の交流電圧を印加すると、ステータ１２０の屈曲の向きは順次変化する。一方、ステータ１２０は、両端において外部から支持されている。従って、図３（ｂ）に示すように、ステータ１２０全体に、上下端の近傍に位置する節Ｘ、Ｚと、長手方向の中央付近に位置する腹Ｙとを形成する振れ回り振動が生じる。   Further, when an alternating voltage having a phase delayed by π / 2 is applied to the electrodes 131 arranged in the circumferential direction of the stator 120, the bending direction of the stator 120 changes sequentially. On the other hand, the stator 120 is supported from the outside at both ends. Therefore, as shown in FIG. 3B, a whirling vibration is formed in the entire stator 120, forming nodes X and Z located near the upper and lower ends and an antinode Y located near the center in the longitudinal direction.

接触部１４４は、付勢部材１６０により下方に付勢されている。従って、被駆動部１４１は、駆動面１２１に押し付けられる。ステータ１２０の振れ回り振動による駆動面１２１の水平な変位は、傾斜した駆動面１２１を介して被駆動部１４１に作用する。被駆動部１４１に水平方向の変位が作用した場合、接触部１４４は、付勢部材１６０の付勢に逆らって軸方向に変位する。   The contact portion 144 is urged downward by the urging member 160. Accordingly, the driven part 141 is pressed against the driving surface 121. The horizontal displacement of the drive surface 121 due to the whirling vibration of the stator 120 acts on the driven part 141 via the inclined drive surface 121. When a horizontal displacement acts on the driven portion 141, the contact portion 144 is displaced in the axial direction against the urging force of the urging member 160.

接触部１４４が軸方向に変位すると、被駆動部１４１および駆動面１２１の間に間隙あるいは接触圧が低い領域が生じる。更に、振れ回り振動においては、駆動面１２１の変位の方向が回転するので、被駆動部１４１および駆動面１２１の間に接触部１４４を回転させる摩擦が生じる。この摩擦により駆動されて生じた接触部１４４の回転は、上側回転軸１４２および出力ギア１８０を介して外部に伝えられる。   When the contact portion 144 is displaced in the axial direction, a gap or a region having a low contact pressure is generated between the driven portion 141 and the drive surface 121. Further, in the whirling vibration, the direction of displacement of the drive surface 121 rotates, so that friction that rotates the contact portion 144 occurs between the driven portion 141 and the drive surface 121. The rotation of the contact portion 144 generated by the friction is transmitted to the outside through the upper rotating shaft 142 and the output gear 180.

なお、振れ回り振動により生じるステータ１２０の水平方向の変位は、長手方向について略中央において最も大きい。ロータ１４０の被駆動部１４１は、ステータ１２０に生じた振れ回り振動の腹Ｙの付近において駆動面１２１に当接する。従って、ステータ１２０の振動が、ロータ１４０に効率よく伝達される。   Note that the displacement in the horizontal direction of the stator 120 caused by the whirling vibration is the largest in the center in the longitudinal direction. The driven portion 141 of the rotor 140 contacts the drive surface 121 in the vicinity of the antinode Y of the whirling vibration generated in the stator 120. Therefore, the vibration of the stator 120 is efficiently transmitted to the rotor 140.

また、駆動部１３０に印加される駆動電圧の周波数は、駆動部１３０およびステータ１２０を含む振動の系の固有振動数に応じた共振周波数を含むことが好ましい。これにより、ステータ１２０は、投入された駆動電力に対して効率よく振れ回り振動を生じてそれを継続できる。また、ステータ１２０は、複数の腹および節を生じるような他の振動モードで振れ回り振動することもできる。更に、等間隔に配置された４枚の電極１３１を有する駆動部１３０を例示したが、駆動部１３０の構造はこれに限定されない。   The frequency of the drive voltage applied to the drive unit 130 preferably includes a resonance frequency corresponding to the natural frequency of the vibration system including the drive unit 130 and the stator 120. As a result, the stator 120 can efficiently generate a swaying vibration with respect to the input driving power and continue it. The stator 120 can also vibrate in other vibration modes that produce a plurality of antinodes and nodes. Furthermore, although the drive part 130 which has the four electrodes 131 arrange | positioned at equal intervals was illustrated, the structure of the drive part 130 is not limited to this.

図４は、他の実施形態に係る振動アクチュエータ１００の構造を示す断面図である。なお、以下に説明する部分以外の構造および作用は他の実施形態に係る振動アクチュエータ１００と同じなので、共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure of a vibration actuator 100 according to another embodiment. In addition, since structures and operations other than the portions described below are the same as those of the vibration actuator 100 according to the other embodiments, common elements are denoted by the same reference numerals and redundant description is omitted.

振動アクチュエータ１００において、駆動部１３０の圧電材料管１３２は、ステータ１２０の円筒部１２２の外径よりも大きな内径を有する。これにより、圧電材料管１３２の内面は、円筒部１２２の外面から離間する。   In the vibration actuator 100, the piezoelectric material tube 132 of the drive unit 130 has an inner diameter larger than the outer diameter of the cylindrical portion 122 of the stator 120. As a result, the inner surface of the piezoelectric material tube 132 is separated from the outer surface of the cylindrical portion 122.

また、圧電材料管１３２は、外面において周方向に分割されて等間隔に配置された複数の電極１３１を外周面に有する一方、内面においては、略全面にわたって連続した単一の共通電極１３９を有する。これにより圧電材料管１３２の周方向に配された複数の領域に対して、個別に電圧を印加することができる。   The piezoelectric material tube 132 has a plurality of electrodes 131 that are divided in the circumferential direction on the outer surface and arranged at equal intervals on the outer peripheral surface, while the inner surface has a single common electrode 139 that is continuous over substantially the entire surface. . Thereby, a voltage can be individually applied to a plurality of regions arranged in the circumferential direction of the piezoelectric material tube 132.

更に、圧電材料管１３２の上端は、ステータ１２０に装着された上キャップ１７０の円筒部１７６の下端面に当接するまで上方に延在する。これにより、圧電材料管１３２は、下端を当接部１２６に当接させると同時に、上端を上キャップ１７０に当接させ、当接部１２６および上キャップ１７０に挟まれる。こうして、ステータ１２０の外壁と駆動部１３０の内壁との間に間隙を有しつつも、ステータ１２０および駆動部１３０は互いに固定される。   Further, the upper end of the piezoelectric material tube 132 extends upward until it comes into contact with the lower end surface of the cylindrical portion 176 of the upper cap 170 attached to the stator 120. As a result, the piezoelectric material tube 132 is brought into contact with the contact portion 126 at the same time, and at the same time, the upper end is brought into contact with the upper cap 170 and is sandwiched between the contact portion 126 and the upper cap 170. Thus, the stator 120 and the drive unit 130 are fixed to each other while having a gap between the outer wall of the stator 120 and the inner wall of the drive unit 130.

いずれかの電極１３１と共通電極１３９との間に電圧が印加された場合、当該電極１３１に対応した領域において圧電材料管１３２は長手方向に伸張する。これにより、当接部１２６および上キャップ１７０を遠ざける応力が作用するので、ステータ１２０は屈曲する。   When a voltage is applied between any of the electrodes 131 and the common electrode 139, the piezoelectric material tube 132 extends in the longitudinal direction in a region corresponding to the electrode 131. As a result, a stress that moves away the abutting portion 126 and the upper cap 170 acts, so that the stator 120 bends.

従って、共通電極１３９を接地電位に保ちつつ、電極１３１に順次電圧を印加した場合、ステータ１２０は屈曲方向を周方向に変える振れ回り振動を生じる。以下、既に説明した通り、駆動面１２１に接した被駆動部１４１に、回転運動に変換された振れ回り振動が伝達される。   Therefore, when a voltage is sequentially applied to the electrode 131 while keeping the common electrode 139 at the ground potential, the stator 120 generates a whirling vibration that changes the bending direction to the circumferential direction. Hereinafter, as already described, the whirling vibration converted into the rotational motion is transmitted to the driven portion 141 in contact with the driving surface 121.

このような構造により駆動部１３０の寸法に係る許容公差が大きくなるので、圧電材料管１３２を歩留りよく製造できる。また、ステータ１２０は、圧電材料管１３２に対して単に挿通すれば足りるので、プレス工具等を用いる圧入工程を省略できる。   With such a structure, tolerances relating to the dimensions of the drive unit 130 are increased, and thus the piezoelectric material tube 132 can be manufactured with a high yield. Further, since it is sufficient to simply insert the stator 120 into the piezoelectric material tube 132, a press-fitting process using a press tool or the like can be omitted.

なお、図示は省いたが、ステータ１２０および駆動部１３０を、間隙を保って同軸に組み立てると共にその状態を維持する目的で、ステータ１２０に対して駆動部１３０を径方向に位置決めする位置決め部材を設けることも好ましい。位置決め部材は、ステータ１２０の外周面と圧電材料管１３２との間に間挿するスペーサの他、当接部１２６の上面または上キャップ１７０の下端面のいずれかに形成した段差によっても実現できる。   Although not shown, a positioning member is provided for positioning the drive unit 130 in the radial direction with respect to the stator 120 for the purpose of assembling the stator 120 and the drive unit 130 coaxially while maintaining a gap. It is also preferable. The positioning member can be realized by a step formed on either the upper surface of the contact portion 126 or the lower end surface of the upper cap 170 in addition to a spacer interposed between the outer peripheral surface of the stator 120 and the piezoelectric material tube 132.

図５は、更に他の実施形態に係る振動アクチュエータ１００の分解斜視図である。なお、以下に説明する部分以外の構造および作用は他の実施形態に係る振動アクチュエータ１００と同じなので、共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。   FIG. 5 is an exploded perspective view of a vibration actuator 100 according to still another embodiment. In addition, since structures and operations other than the portions described below are the same as those of the vibration actuator 100 according to the other embodiments, common elements are denoted by the same reference numerals and redundant description is omitted.

振動アクチュエータ１００において、駆動部１３０は、立方体の外形を有する圧電材料管１３２と、圧電材料管１３２の周囲の４面に各々形成された電極１３１とを有する。即ち、電極１３１の一部は、図上に見えない圧電材料管１３２の背面にも装着されている。   In the vibration actuator 100, the drive unit 130 includes a piezoelectric material tube 132 having a cubic outer shape, and electrodes 131 formed on four surfaces around the piezoelectric material tube 132. That is, a part of the electrode 131 is also attached to the back surface of the piezoelectric material tube 132 that cannot be seen in the drawing.

また、圧電材料管１３２は、ステータ１２０の外周面と相補的な円筒状の内面形状を有する。これにより、圧電材料管１３２にステータ１２０を圧入した場合、圧電材料管１３２およびステータ１２０は一体化する。従って、圧電材料管１３２が屈曲等の変形を生じた場合、圧入されたステータ１２０も共に変形する。従って、他の実施形態に係る振動アクチュエータ１００と同様に、電極１３１に位相の異なる交流電圧を印加した場合に、ステータ１２０を介して、ロータ１４０を回転させることができる。   The piezoelectric material tube 132 has a cylindrical inner surface shape complementary to the outer peripheral surface of the stator 120. Accordingly, when the stator 120 is press-fitted into the piezoelectric material tube 132, the piezoelectric material tube 132 and the stator 120 are integrated. Therefore, when the piezoelectric material tube 132 is deformed such as bending, the press-fitted stator 120 is also deformed. Therefore, similarly to the vibration actuator 100 according to another embodiment, when an AC voltage having a different phase is applied to the electrode 131, the rotor 140 can be rotated via the stator 120.

また、振動アクチュエータ１００において、圧電材料管１３２の外周面は、互いに直交する平坦な面により形成されるので、電極１３１を形成し易い。また、形成された電極１３１に印加された電界の方向も正確に直交するので、回転速度が安定して、より正確な制御ができる。   Further, in the vibration actuator 100, the outer peripheral surface of the piezoelectric material tube 132 is formed by flat surfaces orthogonal to each other, so that the electrode 131 can be easily formed. In addition, since the direction of the electric field applied to the formed electrode 131 is also accurately orthogonal, the rotational speed is stable and more accurate control is possible.

図６は、撮像装置４００の構造を模式的に示す縦断面図である。撮像装置４００は、レンズユニット４１０およびボディ４６０を含む。レンズユニット４１０は、マウント４５０を介して、ボディ４６０に対して着脱自在に装着される。レンズユニット４１０は、光学部材４２０、光学部材４２０を収容する鏡筒４３０、および、鏡筒４３０の内部に設けられて光学部材４２０を駆動する振動アクチュエータ１００を備える。   FIG. 6 is a longitudinal sectional view schematically showing the structure of the imaging device 400. The imaging device 400 includes a lens unit 410 and a body 460. The lens unit 410 is detachably attached to the body 460 via the mount 450. The lens unit 410 includes an optical member 420, a lens barrel 430 that houses the optical member 420, and a vibration actuator 100 that is provided inside the lens barrel 430 and drives the optical member 420.

光学部材４２０は、図中で左側にあたる入射端から順次配列された、フロントレンズ４２２、コンペンセータレンズ４２４、フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８を含む。フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８の間には、アイリスユニット４４０が配置される。   The optical member 420 includes a front lens 422, a compensator lens 424, a focusing lens 426, and a main lens 428, which are sequentially arranged from the incident end corresponding to the left side in the drawing. An iris unit 440 is disposed between the focusing lens 426 and the main lens 428.

振動アクチュエータ１００は、光軸方向について鏡筒４３０の中程にあって相対的に小径なフォーカシングレンズ４２６の下方に配置される。これにより、鏡筒４３０の径を拡大することなく、振動アクチュエータ１００は鏡筒４３０内に収容される。振動アクチュエータ１００は、例えば輪列を介してフォーカシングレンズ４２６を光軸方向に前進または後退させる。   The vibration actuator 100 is disposed in the middle of the lens barrel 430 in the optical axis direction and below the focusing lens 426 having a relatively small diameter. As a result, the vibration actuator 100 is accommodated in the lens barrel 430 without increasing the diameter of the lens barrel 430. The vibration actuator 100 moves the focusing lens 426 forward or backward in the optical axis direction via, for example, a train wheel.

ボディ４６０は、メインミラー５４０、ペンタプリズム４７０、接眼系４９０を含む光学部材を収容する。メインミラー５４０は、レンズユニット４１０を介して入射した入射光の光路上に傾斜して配置される待機位置と、入射光を避けて上昇する撮影位置（図中に点線で示す）との間を移動する。   The body 460 accommodates optical members including the main mirror 540, the pentaprism 470, and the eyepiece system 490. The main mirror 540 is located between a standby position inclined on the optical path of incident light incident through the lens unit 410 and an imaging position (indicated by a dotted line in the figure) that rises while avoiding incident light. Moving.

待機位置にあるメインミラー５４０は、入射光の大半を、上方に配置されたペンタプリズム４７０に導く。ペンタプリズム４７０は、入射光の鏡映を接眼系４９０に向かって出射するので、フォーカシングスクリーン（不図示）の映像を接眼系４９０から正像として見ることができる。入射光の残りは、ペンタプリズム４７０により測光ユニット４８０に導かれる。測光ユニット４８０は、入射光の強度およびその分布等を測定する。   The main mirror 540 at the standby position guides most of the incident light to the pentaprism 470 disposed above. Since the pentaprism 470 emits a reflection of incident light toward the eyepiece system 490, an image on a focusing screen (not shown) can be viewed from the eyepiece system 490 as a normal image. The remainder of the incident light is guided to the photometric unit 480 by the pentaprism 470. The photometric unit 480 measures the intensity and distribution of incident light.

なお、ペンタプリズム４７０および接眼系４９０の間には、ファインダ液晶４９４に形成された表示画像を、フォーカシングスクリーンの映像に重ねるハーフミラー４９２が配置される。表示画像は、ペンタプリズム４７０から投影された画像に重ねて表示される。   A half mirror 492 is disposed between the pentaprism 470 and the eyepiece system 490 to superimpose the display image formed on the finder liquid crystal 494 on the image of the focusing screen. The display image is displayed so as to overlap the image projected from the pentaprism 470.

また、メインミラー５４０は、入射光の入射面に対する裏面にサブミラー５４２を有する。サブミラー５４２は、メインミラー５４０を透過した入射光の一部を、下方に配置された測距ユニット５３０に導く。これにより、メインミラー５４０が待機位置にある場合は、測距ユニット５３０が被写体までの距離を測定する。なお、メインミラー５４０が撮影位置に移動した場合は、サブミラー５４２も入射光の光路から退避する。   The main mirror 540 has a sub mirror 542 on the back surface with respect to the incident surface of the incident light. The sub mirror 542 guides part of the incident light transmitted through the main mirror 540 to the distance measuring unit 530 disposed below. Thereby, when the main mirror 540 is in the standby position, the distance measuring unit 530 measures the distance to the subject. When the main mirror 540 is moved to the photographing position, the sub mirror 542 is also retracted from the optical path of the incident light.

更に、入射光に対してメインミラー５４０の後方には、シャッタ５２０、光学フィルタ５１０および撮像素子５００が順次配置される。シャッタ５２０が開放される場合、その直前にメインミラー５４０が撮影位置に移動するので、入射光は直進して撮像素子５００に入射される。これにより、入射光の形成する画像が電気信号に変換される。   Further, a shutter 520, an optical filter 510, and an image sensor 500 are sequentially arranged behind the main mirror 540 with respect to incident light. When the shutter 520 is opened, the main mirror 540 moves to the photographing position immediately before the shutter 520 is opened, so that incident light travels straight and enters the image sensor 500. Thereby, an image formed by incident light is converted into an electrical signal.

撮像装置４００において、レンズユニット４１０とボディ４６０とは電気的にも結合されている。従って、例えば、ボディ４６０側の測距ユニット５３０が検出した被写体までの距離の情報に基づいて振動アクチュエータ１００の回転を制御することにより、オートフォーカス機構を形成できる。また、測距ユニット５３０が振動アクチュエータ１００の動作量を参照することにより、フォーカスエイド機構を形成することもできる。   In the imaging device 400, the lens unit 410 and the body 460 are also electrically coupled. Therefore, for example, the autofocus mechanism can be formed by controlling the rotation of the vibration actuator 100 based on the distance information to the subject detected by the distance measuring unit 530 on the body 460 side. Further, when the distance measuring unit 530 refers to the operation amount of the vibration actuator 100, a focus aid mechanism can be formed.

なお、振動アクチュエータ１００によりフォーカシングレンズ４２６を移動させる場合について例示したが、アイリスユニット４４０の開閉、ズームレンズのバリエータレンズの移動等を振動アクチュエータ１００で駆動できることはいうまでもない。この場合も、電気信号を介して測光ユニット４８０、ファインダ液晶４９４等と情報を参照し合うことにより、振動アクチュエータ１００は、露出の自動化、シーンモードの実行、ブラケット撮影の実行等に寄与する。   Although the case where the focusing lens 426 is moved by the vibration actuator 100 has been illustrated, it goes without saying that the vibration actuator 100 can drive the opening / closing of the iris unit 440, the movement of the variator lens of the zoom lens, and the like. Also in this case, the vibration actuator 100 contributes to automating exposure, execution of a scene mode, execution of bracket photography, and the like by referring to information with the photometric unit 480, the finder liquid crystal 494, and the like via an electrical signal.

また、振動アクチュエータ１００は、レンズユニット４１０の光軸に長手方向が平行になるように実装される。換言すれば、振動アクチュエータ１００は、ロータ１４０が水平になるように実装される。   The vibration actuator 100 is mounted so that the longitudinal direction is parallel to the optical axis of the lens unit 410. In other words, the vibration actuator 100 is mounted such that the rotor 140 is horizontal.

従って、例えば、撮影機、双眼鏡等の光学系において、合焦機構、ズーム機構、手振れ補正機構等の駆動に好適に使用できる。ただし、振動アクチュエータ１００の用途がこれらに限られないことはいうまでもない。   Therefore, for example, in an optical system such as a photographing machine and binoculars, it can be suitably used for driving a focusing mechanism, a zoom mechanism, a camera shake correction mechanism, and the like. However, it goes without saying that the application of the vibration actuator 100 is not limited to these.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることは当業者に明らかである。また、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. Further, it is apparent from the description of the scope of claims that embodiments with such changes or improvements can also be included in the technical scope of the present invention.

一実施形態に係る振動アクチュエータ１００の分解斜視図である。It is an exploded perspective view of vibration actuator 100 concerning one embodiment. 振動アクチュエータ１００の縦断面図である。2 is a longitudinal sectional view of the vibration actuator 100. FIG. 振動アクチュエータ１００の動作を説明する概念図である。4 is a conceptual diagram illustrating the operation of the vibration actuator 100. FIG. 他の実施形態に係る振動アクチュエータ１００の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the vibration actuator 100 which concerns on other embodiment. 更に他の実施形態に係る振動アクチュエータ１００の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the vibration actuator 100 which concerns on other embodiment. 撮像装置４００の構造を模式的に示す縦断面図である。2 is a longitudinal sectional view schematically showing the structure of an imaging device 400. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１００ 振動アクチュエータ
１１０ 下キャップ
１１２ 軸受穴
１１４ 円板部
１１６ 円筒部
１１８ ネジ山部
１２０ ステータ
１２１ 駆動面
１２２ 円筒部
１２３ 肩部
１２４、１２８ ネジ溝部
１２６ 当接部
１３０ 駆動部
１３１ 電極
１３２ 圧電材料管
１３９ 共通電極
１４０ ロータ
１４１ 被駆動部
１４２ 上側回転軸
１４４ 接触部
１４６ 下側回転軸
１５０ ワッシャ
１６０ 付勢部材
１７０ 上キャップ
１７２ 軸受穴
１７４ 円板部
１７６ 円筒部
１７８ ネジ山部
１８０ 出力ギア
１８２ 軸穴
１８４ 歯部
４００ 撮像装置
４１０ レンズユニット
４２０ 光学部材
４２２ フロントレンズ
４２４ コンペンセータレンズ
４２６ フォーカシングレンズ
４２８ メインレンズ
４３０ 鏡筒
４４０ アイリスユニット
４５０ マウント
４６０ ボディ
４７０ ペンタプリズム
４８０ 測光ユニット
４９０ 接眼系
４９２ ハーフミラー
４９４ ファインダ液晶
５００ 撮像素子
５１０ 光学フィルタ
５２０ シャッタ
５３０ 測距ユニット
５４０ メインミラー
５４２ サブミラー DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Vibration actuator 110 Lower cap 112 Bearing hole 114 Disk part 116 Cylindrical part 118 Screw thread part 120 Stator 121 Driving surface 122 Cylindrical part 123 Shoulder part 124, 128 Screw groove part 126 Contact part 130 Driving part 131 Electrode 132 Piezoelectric material tube 139 Common electrode 140 Rotor 141 Driven portion 142 Upper rotating shaft 144 Contact portion 146 Lower rotating shaft 150 Washer 160 Biasing member 170 Upper cap 172 Bearing hole 174 Disk portion 176 Cylindrical portion 178 Screw thread portion 180 Output gear 182 Shaft hole 184 Tooth unit 400 Imaging device 410 Lens unit 420 Optical member 422 Front lens 424 Compensator lens 426 Focusing lens 428 Main lens 430 Lens barrel 440 Iris unit 450 Mount 460 Body 470 Penta prism 480 Photometry unit 490 Eyepiece system 492 Half mirror 494 Viewfinder liquid crystal 500 Image sensor 510 Optical filter 520 Shutter 530 Distance measurement unit 540 Main mirror 542 Sub mirror

Claims (7)

ロータと、
一体的に中空の筒型に形成され、弾性を有し、前記ロータを収容するステータと、
一体的に中空の筒型に形成され、前記ステータを駆動して振れ回り振動させる駆動部と
を備え、
前記ステータが前記駆動部に挿入されて互いに固定された振動アクチュエータ。 A rotor,
A stator that is integrally formed in a hollow cylindrical shape, has elasticity, and accommodates the rotor;
Integrally formed in a hollow cylindrical shape, and includes a drive unit that drives the stator to swing and vibrate,
A vibration actuator in which the stator is inserted into the drive unit and fixed to each other. 前記ステータが前記駆動部内に圧入されることにより、互いに固定される請求項１に記載の振動アクチュエータ。   The vibration actuator according to claim 1, wherein the stator is fixed to each other by being press-fitted into the drive unit. 前記ステータの外壁と前記駆動部の内壁との間に間隙を有して、互いに固定される請求項１に記載の振動アクチュエータ。   The vibration actuator according to claim 1, wherein the vibration actuator is fixed to each other with a gap between the outer wall of the stator and the inner wall of the driving unit. 前記ステータは、軸方向の一端の近傍において、前記ステータの外壁から径方向の外側に延伸した当接部を有し、
前記当接部は、前記駆動部の軸方向の一端が当接する請求項１に記載の振動アクチュエータ。 The stator has a contact portion extending radially outward from the outer wall of the stator in the vicinity of one end in the axial direction,
The vibration actuator according to claim 1, wherein the abutting portion abuts one end of the driving portion in the axial direction. 前記ステータの軸方向の他端において前記ステータの外壁に嵌められるキャップをさらに備え、
前記キャップは、前記駆動部の軸方向の他端に当接することにより、前記当接部との間で前記駆動部を挟み込む請求項４に記載の振動アクチュエータ。 A cap fitted to the outer wall of the stator at the other axial end of the stator;
5. The vibration actuator according to claim 4, wherein the cap sandwiches the drive unit between the cap and the contact portion by contacting the other end of the drive unit in the axial direction. 前記駆動部の外壁において、周方向に互いに電気的に離間して配された、複数の電極をさらに備える請求項１に記載の振動アクチュエータ。   The vibration actuator according to claim 1, further comprising a plurality of electrodes arranged on the outer wall of the drive unit so as to be electrically separated from each other in the circumferential direction. 光学部材、前記光学部材を収容するレンズ鏡筒、および前記レンズ鏡筒の内部に設けられて、前記光学部材を駆動する振動アクチュエータを有するレンズユニットと、
前記レンズユニットによって結像された画像を撮像する撮像部と、
前記振動アクチュエータおよび前記撮像部を制御する制御部と
を備える撮像装置であって、
前記振動アクチュエータは、
ロータ、
一体的に中空の筒型に形成され、弾性を有し、前記ロータを収容するステータ、および、
一体的に中空の筒型に形成され、前記ステータを駆動して振れ回り振動させる駆動部
を有し、
前記ステータが前記駆動部に挿入されて互いに固定された撮像装置。 An optical member, a lens barrel that houses the optical member, and a lens unit that is provided inside the lens barrel and has a vibration actuator that drives the optical member;
An imaging unit that captures an image formed by the lens unit;
An imaging apparatus comprising the vibration actuator and a control unit that controls the imaging unit,
The vibration actuator is
Rotor,
A stator that is integrally formed in a hollow cylindrical shape, has elasticity, and accommodates the rotor; and
Integrally formed in a hollow cylindrical shape, having a drive unit that drives the stator to vibrate and vibrate;
An imaging apparatus in which the stator is inserted into the drive unit and fixed to each other.

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