JP2009129548A - 電子放出素子,電子銃およびそれを用いた電子ビーム応用装置 - Google Patents
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Abstract
本発明の課題は、長期間安定な電子放出特性を発揮可能な電子放出素子を提供することにある。また、電子放出素子の耐久性を向上させる。
【解決手段】
上記課題を解決する本願発明の特徴点は、電極に接続するワイヤ部分、該ワイヤ部分に接続する針部分、該針部分に接続されたナノチューブ部分を有する電子放出素子であって、該ワイヤ部分、該針部分、さらには該ワイヤ部分と該針部分との接合剤、該針部分と該ナノチューブ部分との接合剤に炭素を主成分とする材料を用いることにある。また、他の本願発明の特徴点は、ワイヤ部分,針部分を有する電子放出素子で、針部分は先鋭化されており、ワイヤ部分と針部分が炭素で一体に形成されていることにある。
【選択図】図2
Description
針部分302,402の先端は、機械切削,電解研磨,集束イオンビーム加工法等により先鋭化されている。先鋭化するほど、比較的低い引出電圧で電子を放出させることができる。先端部の曲率半径が100nm以下程度となることがよい。第3の実施例においても、ワイヤ部分301,401に電流を流すことにより、電子放出素子を加熱し、電子放出部分およびその付近に付着したガス分子を脱離させ、長時間安定な電子放出特性を得ることができる。
102,202,302,402 針部分
103,203 ナノチューブ部分
104,303 ワイヤ部分と針部分との接合剤
105 針部分とナノチューブ部分との接合剤
204 針部分とナノチューブ部分の接合剤
501,601 本発明の電子放出素子
502,602 電極
503,603 電極支持台
504 引出し電極
505,605 加速電極
506,606 引出し電極電源
507,607 加速電極電源
604 磁界レンズ
701,801 電子銃
702,802 アノード電極
703,803 第一収束レンズ
704,804 第二集束レンズ
705,805 対物レンズ
706,806 走査コイル
707,807 サンプル
708,808 二次電子検出器
709,809 電子軌道
810 ブランカー
1101 アルミニウム基板
1102 ポーラス陽極酸化膜
1103 炭素膜
1104 ナノチューブ
Claims (11)
- 電極に接続されるワイヤ部分と、該ワイヤ部分に接合された針部分と、該針部分に接合されたナノチューブ部分から構成される電子放出素子において、該針部分は、炭素を主成分とする材料で構成されていることを特徴とする電子放出素子。
- 請求項1に記載の電子放出素子において、
該ワイヤ部分と該針部分は、炭素を主成分とする接合剤、または白金あるいは金を主成分とする接合剤により接合されていることを特徴とする電子放出素子。 - 請求項1に記載の電子放出素子において、
該針部分と該ナノチューブ部分は、炭素を主成分とする接合剤、または白金あるいは金を主成分とする接合剤により接合されていることを特徴とする電子放出素子。 - 請求項1に記載の電子放出素子において、該ワイヤ部分と該針部分が炭素材料により一体に形成されていることを特徴とする電子放出素子。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の電子放出素子において、
前記ナノチューブ部分は、3族,4族および5族の少なくとも一種類以上の元素から構成された炭層ナノチューブあるいは多層ナノチューブであることを特徴とする電子放出素子。 - 電極に接続されるワイヤ部分と、該ワイヤ部分に接合された針部分とから構成される電子放出素子において、
前記電子放出素子は炭素を主成分とする材料で一体に構成されていることを特徴とする電子放出素子。 - 電極に接続されるワイヤ部分と、該ワイヤ部分に接合された針部分とから構成され、前記ワイヤ部分と前記針部分が炭素を主成分とする接合剤、または白金あるいは金を主成分とする接合剤により接合されている電子放出素子において、前記電子放出素子は炭素を主成分とする材料で構成されていることを特徴とする電子放出素子。
- 請求項6または7に記載の電子放出素子であって、
前記針部分の先端部の曲率半径が100nm以下であることを特徴とする電子放出素子。 - 陰極と、該陰極より電子を放出させる引出電極と、前記陰極より放出された電子を加速させる加速電極とを有する電子銃であって、前記陰極は、請求項1ないし8に記載された電子放出素子と、前記電子放出素子を支持する導電性基材とよりなることを特徴とする電子銃。
- 請求項9に記載の電子銃を搭載したことを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 請求項9に記載の電子銃を搭載したことを特徴とする電子線描画装置。
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