JP2009129042A - Motor controller and motor control method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce an effect of rotating operation of each drive shaft on other drive shafts while suppressing vibration of a conveying actuator. <P>SOLUTION: When a right conveying actuator 32 extends and retracts, a controller 12 of a central control unit 10 outputs a position command to move from a retracted position to an extended position to a right conveying actuator controller 30, outputs a position command of angle of 0 degrees to keep the present condition to a rotating actuator controller 40, and outputs a position command of distance of 0 to keep the present condition to a left conveying actuator controller 20. The right conveying actuator controller 30 performs vibration control using a position gain for vibration control, the rotating actuator controller 40 performs maintenance control so that a drive shaft 42-K does not rotate, and the left conveying actuator controller 20 performs maintenance control using a normal position gain so that a drive shaft 22-K does not rotate. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、自動搬送機、自動組立機等の自動機械や産業用ロボット等に用いられるモータ制御装置及びモータ制御方法に関し、特に、伸縮動作する搬送アクチュエータに対して制振制御を行うと共に、各駆動軸の回転に伴う他の駆動軸に与える影響を低減させるための多軸補間制御を行う技術に関する。   The present invention relates to a motor control device and a motor control method used for an automatic machine such as an automatic transfer machine and an automatic assembly machine, an industrial robot, and the like. The present invention relates to a technique for performing multi-axis interpolation control for reducing the influence on other drive shafts accompanying the rotation of the drive shaft.

従来、ガラス基板等を搬送する自動搬送機、部品等を組み立てる自動組立機等の自動機械や産業用ロボット等を制御する装置として、所定の位置にアクチュエータを停止させる際に振動を抑制するモータ制御装置が知られている（例えば、特許文献１を参照）。このモータ制御装置は、モータで駆動する機械（負荷）の剛性が低く振動しやすい場合であっても、モータトルクを許容値以下に抑えると共にモータトルク指令値への追従誤差を許容値以下に抑えるという制約条件を逸脱することなく、モータトルク指令値を少ない計算量で算出するものである。   Motor control that suppresses vibration when stopping an actuator at a predetermined position as a device for controlling automatic machines such as automatic transfer machines that transfer glass substrates, automatic assembly machines that assemble parts, and industrial robots An apparatus is known (see, for example, Patent Document 1). This motor control device suppresses the motor torque to the allowable value or less and the tracking error to the motor torque command value to the allowable value or less even when the rigidity of the machine (load) driven by the motor is low and easily vibrates. Thus, the motor torque command value is calculated with a small amount of calculation without departing from the constraint condition.

図１５は、従来のモータ制御装置を含む全体システムの概略構成を示す図である。このシステムは、モータ１００１により機械１００２を駆動させる際に、モータトルクを所定のトルク許容値１０１１以下に抑え、かつ、指令値生成手段１０１０の指令値算出手段１００５により算出されたトルク指令値に対する実際のモータトルクの追従誤差を所定の誤差許容値１０１２以下に抑えるようにするものであり、さらに、所定の場合に、前記トルク許容値１０１１及び誤差許容値１０１２を修正して、トルク指令値を新たに生成するものである。   FIG. 15 is a diagram showing a schematic configuration of an entire system including a conventional motor control device. In this system, when the machine 1002 is driven by the motor 1001, the motor torque is suppressed to a predetermined torque allowable value 1011 or less, and the actual torque command value calculated by the command value calculation unit 1005 of the command value generation unit 1010 is controlled. In this case, the torque allowable value 1011 and the error allowable value 1012 are corrected, and the torque command value is newly updated. Is generated.

以下、図１５に示す従来のモータ制御装置の概要について説明する。このモータ制御装置は、指令値生成手段１０１０により生成されたトルク指令値にモータ１００１を追従させるように制御するモータ制御手段１００３、実際のモータトルク及びモータトルク指令値に対する追従誤差を計測する被制約変数計測手段１０１３、計測したモータトルクの絶対値の最大値を検出する第１のトルク最大値検出手段１０１４、計測した追従誤差の絶対値の最大値を検出する第２の誤差最大値検出手段１０１５、トルク許容値１０１１とモータトルクの絶対値の最大値とを比較してその比を算出する第１の比較手段１０１６、誤差許容値１０１２と追従誤差の絶対値の最大値とを比較してその比を算出する第２の比較手段１０１７、第１の比較手段１０１６により算出された比を用いてトルク許容値１０１１を修正し、新たな第１の修正許容値となるトルク許容値１０２０を得る第１の許容値修正手段１０１８、第２の比較手段１０１７により算出された比を用いて誤差許容値１０１２を修正し、新たな第２の修正許容値となる誤差許容値１０２１を得る第２の許容値修正手段１０１９、モータ１００１と機械１００２とモータ制御手段１００３との特性をモデル化したモータ制御モデル１００７、モータ制御モデル１００７に基づいてモータトルク及び追従誤差を予測する予測モデル１００８、及び、指令値生成手段１０１０を備えている。指令値生成手段１０１０は、修正されたトルク許容値１０２０及び誤差許容値１０２１と予測されたトルク及び追従誤差とを用いて、時間スケール関数記憶手段１００６に記憶された時間スケール関数を最適化する最適化手段１００９、及び、基準指令値記憶手段１００４に記憶された基準指令値及び最適化された時間スケール関数によりトルク指令値を算出する指令値算出手段１００５を備えている。   The outline of the conventional motor control device shown in FIG. 15 will be described below. This motor control device includes a motor control unit 1003 that controls the motor 1001 to follow the torque command value generated by the command value generation unit 1010, a constraint that measures an actual motor torque and a tracking error with respect to the motor torque command value. Variable measuring means 1013, first torque maximum value detecting means 1014 for detecting the maximum absolute value of the measured motor torque, and second error maximum value detecting means 1015 for detecting the maximum absolute value of the measured tracking error The first comparison means 1016 for comparing the torque allowable value 1011 with the maximum absolute value of the motor torque and calculating the ratio thereof, comparing the error allowable value 1012 with the maximum absolute value of the tracking error The torque comparison value 1011 is corrected using the ratio calculated by the second comparison means 1017 and the first comparison means 1016 for calculating the ratio, The error tolerance 1012 is corrected using the ratio calculated by the first tolerance correction unit 1018 and the second comparison unit 1017 to obtain the torque tolerance 1020 as the first correction tolerance, and a new first Based on a second allowable value correction means 1019 that obtains an error allowable value 1021 that is a correction allowable value of 2, a motor control model 1007 that models the characteristics of the motor 1001, the machine 1002, and the motor control means 1003, and a motor control model 1007. A prediction model 1008 for predicting motor torque and tracking error, and command value generation means 1010. The command value generation means 1010 uses the corrected torque allowable value 1020 and error allowable value 1021 and the predicted torque and follow-up error to optimize the time scale function stored in the time scale function storage means 1006. And command value calculating means 1005 for calculating a torque command value based on a reference command value stored in the reference command value storage means 1004 and an optimized time scale function.

このモータ制御装置によれば、第１及び第２の許容値修正手段１０１８，１０１９が、実際に計測されたモータトルク及びモータトルク指令値への追従誤差を用いて、トルク許容値１０１１及び誤差許容値１０１２をそれぞれ修正し、最適化手段１００９が、これらの修正した許容値１０２０，１０２１を用いて最適な時間スケール関数を生成し、指令値算出手段１００５が、トルク指令値を算出するようにした。これにより、モータ制御モデル１００７にモデル誤差がある場合であっても、実際に計測したモータトルク及びその追従誤差が許容値以下になるようなトルク指令値を生成することができる。つまり、このモータ制御装置は、モータ１００１で駆動する機械１００２の剛性が低く振動しやすいため、モータ制御モデル１００７にモデル誤差がある場合であっても、モータトルク及びその追従誤差を許容値以下に抑えるという制約条件を逸脱することなく、トルク指令値を少ない計算量で算出することができるというものである。   According to this motor control device, the first and second allowable value correcting means 1018 and 1019 use the actually measured motor torque and the tracking error to the motor torque command value to determine the allowable torque value 1011 and the allowable error value. Each of the values 1012 is corrected, the optimization unit 1009 generates an optimal time scale function using the corrected allowable values 1020 and 1021, and the command value calculation unit 1005 calculates the torque command value. . As a result, even if there is a model error in the motor control model 1007, it is possible to generate a torque command value such that the actually measured motor torque and its tracking error are less than or equal to the allowable values. That is, in this motor control device, the rigidity of the machine 1002 driven by the motor 1001 is low and easily vibrates. Therefore, even if there is a model error in the motor control model 1007, the motor torque and its tracking error are less than the allowable values. The torque command value can be calculated with a small amount of calculation without departing from the constraint condition of suppressing.

また、他のモータ制御装置の例として、フィルタを制御ループに挿入することにより高い周波数の振動を抑制する装置、機械振動を抽出してその特性を同定し、機械振動モデルを用いてトルク指令値を生成することにより、位置決め整定時の低い振動数の残留振動を抑制する装置、及び、負荷の慣性モーメントがモータの数十倍以上と大きい場合であっても、機械剛性の低い領域で生じる低い周波数の振動を抑制する装置も知られている（例えば、非特許文献１を参照）。   Another example of a motor control device is a device that suppresses high-frequency vibrations by inserting a filter into the control loop. The machine vibration is extracted, its characteristics are identified, and a torque command value is determined using a mechanical vibration model. To reduce residual vibration at a low frequency during positioning settling, and even if the load moment of inertia is as large as several tens of times that of a motor, it is low in a region with low mechanical rigidity. An apparatus for suppressing frequency vibration is also known (see, for example, Non-Patent Document 1).

特開平１０−３２３０７０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-323070 宮崎友宏他、「新ＡＣサーボアンプ“ＭＲ−Ｊ３シリーズ”」、三菱電機株式会社、三菱電機技報、Ｖｏｌ．７９ Ｎｏ．３ ２００５、ｐ１１（１８１）−ｐ．１４（１８４）Tomohiro Miyazaki et al., “New AC Servo Amplifier“ MR-J3 Series ””, Mitsubishi Electric Corporation, Mitsubishi Electric Technical Report, Vol. 79 No. 3 2005, p11 (181) -p. 14 (184)

前述した特許文献１及び非特許文献１に記載のモータ制御装置は、例えば、モータにより駆動軸を回転させ、その回転により搬送アクチュエータを伸縮させる場合、その伸縮動作の停止時に生じる振動（伸縮方向の振動）を抑制するための制振制御を実現するものである。この伸縮動作の停止時に生じる振動は、搬送アクチュエータの剛性の低さや搬送中の駆動軸から見た負荷の慣性モーメントの変化等によって生じるものであり、このような振動により、搬送対象の受け渡しに支障を来たす恐れがある。このため、制振制御を用いることにより、前述の問題を解消することができる。   In the motor control devices described in Patent Document 1 and Non-Patent Document 1 described above, for example, when a drive shaft is rotated by a motor and the conveyance actuator is expanded and contracted by the rotation, vibrations generated when the expansion and contraction operation is stopped (in the expansion and contraction direction). Vibration suppression control for suppressing (vibration) is realized. The vibration generated when the expansion / contraction operation is stopped is caused by the low rigidity of the transport actuator or the change in the moment of inertia of the load as viewed from the drive shaft during transport. There is a risk of coming. For this reason, the above-mentioned problem can be solved by using damping control.

したがって、従来のモータ制御装置は、伸縮動作を行う搬送アクチュエータの負荷を制御する場合には有効であるが、伸縮動作を行う搬送アクチュエータに加えて旋回動作を行う旋回アクチュエータも含む負荷を制御する場合には、必ずしも有効ではないという問題があった。   Therefore, the conventional motor control device is effective when controlling the load of the conveyance actuator that performs the expansion / contraction operation, but controls the load including the rotation actuator that performs the rotation operation in addition to the conveyance actuator that performs the expansion / contraction operation. Has a problem that it is not always effective.

具体的には、搬送アクチュエータ用のモータにより駆動軸を回転させ、その回転により搬送アクチュエータを伸縮させる動作、及び、旋回アクチュエータ用のモータにより駆動軸を回転させ、その回転により旋回アクチュエータを旋回させる動作をそれぞれ実現するモータ制御装置において、各駆動軸の回転が他の駆動軸に影響を与えることがある。すなわち、駆動軸が回転すると他の駆動軸も少なからず回転してしまう場合、前述の制振制御だけでは、駆動軸相互間の影響を考慮していないため、結果として、旋回及び伸縮動作を精度高く実現することができないという問題があった。   Specifically, the drive shaft is rotated by the motor for the transport actuator and the transport actuator is expanded and contracted by the rotation, and the drive shaft is rotated by the motor for the swing actuator and the swing actuator is rotated by the rotation. In the motor control device that realizes each of the above, rotation of each drive shaft may affect other drive shafts. In other words, when the drive shaft rotates, the other drive shafts rotate a little, so the above-mentioned vibration suppression control alone does not consider the influence between the drive shafts. There was a problem that it could not be realized high.

そこで、本発明の目的は、搬送アクチュエータの振動を抑制すると共に、各駆動軸の回転動作が他の駆動軸に与える影響を低減することが可能なモータ制御装置及びモータ制御方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a motor control device and a motor control method capable of suppressing the vibration of the transport actuator and reducing the influence of the rotation operation of each drive shaft on other drive shafts. is there.

上記目的を達成するために、本発明のモータ制御装置は、所定の物を搬送するための搬送アクチュエータの駆動軸を回転させることにより、前記搬送アクチュエータを伸縮動作させる第１のモータ、及び、旋回アクチュエータの駆動軸を回転させることにより、前記旋回アクチュエータを旋回動作させる第２のモータをそれぞれ制御するモータ制御装置において、前記搬送アクチュエータが伸縮方向に振動しないように所定の第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、搬送アクチュエータを所定位置に停止させる搬送制御部と、前記旋回アクチュエータの旋回制御を行い、旋回アクチュエータを所定位置に停止させる旋回制御部と、を備え、前記搬送アクチュエータを伸縮動作させる場合に、前記搬送制御部が、第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、前記旋回制御部が、搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、旋回アクチュエータの駆動軸が回転しないように第２のモータを維持制御し、前記旋回アクチュエータを旋回動作させる場合に、前記搬送制御部が、旋回アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、搬送アクチュエータの駆動軸が旋回アクチュエータの駆動軸に同期して回転するように、第１の位置ゲインよりも大きい第２の位置ゲインを用いて第１のモータを多軸補間制御し、前記旋回制御部が、前記旋回動作を実現するための旋回制御を行うことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a motor control device according to the present invention includes a first motor for rotating and extending a transport actuator by rotating a drive shaft of a transport actuator for transporting a predetermined object, and turning In a motor control device that controls each of the second motors that rotate the swing actuator by rotating the drive shaft of the actuator, a predetermined first position gain is used so that the transport actuator does not vibrate in the expansion / contraction direction. And a vibration control unit for stopping the conveyance actuator at a predetermined position and a rotation control unit for controlling the rotation of the rotation actuator and stopping the rotation actuator at a predetermined position. When operating, the conveyance control unit uses the first position gain. When swing control is performed, the swing control unit maintains and controls the second motor so that the drive shaft of the swing actuator does not rotate with the rotation of the drive shaft of the transport actuator, and the swing actuator is rotated. The transport control unit sets a second position gain larger than the first position gain so that the drive shaft of the transport actuator rotates in synchronization with the drive shaft of the swing actuator as the drive shaft of the swing actuator rotates. The first motor is controlled by multi-axis interpolation, and the turning control unit performs turning control for realizing the turning operation.

また、本発明のモータ制御装置は、さらに、前記搬送制御部及び旋回制御部に位置指令を出力する中央制御部を備え、前記中央制御部は、搬送アクチュエータを伸縮動作させるための位置指令として、搬送アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を搬送制御部に出力すると共に、旋回アクチュエータの位置を維持させるための位置指令を旋回制御部に出力し、旋回アクチュエータを旋回動作させるための指令として、搬送アクチュエータを旋回アクチュエータに同期させるための位置指令を搬送制御部に出力すると共に、旋回アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を旋回制御部に出力することを特徴とする。   The motor control device of the present invention further includes a central control unit that outputs a position command to the transport control unit and the turning control unit, and the central control unit includes a position command for extending and contracting the transport actuator, A position command for stopping the transfer actuator at a predetermined position is output to the transfer control unit, and a position command for maintaining the position of the turning actuator is output to the turning control unit, and used as a command for turning the turning actuator. A position command for synchronizing the transport actuator with the swing actuator is output to the transport control unit, and a position command for stopping the swing actuator at a predetermined position is output to the swing control unit.

また、本発明のモータ制御装置は、搬送アクチュエータと、当該搬送アクチュエータを伸縮動作させる第１のモータと、前記第１のモータを制御する搬送制御部とが、それぞれ対になって複数設けられ、前記複数の搬送アクチュエータのうちの一つの搬送アクチュエータが伸縮動作する場合に、前記一つの搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部が、前記第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、前記複数の搬送アクチュエータのうちの他の搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部が、前記一つの搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、前記他の搬送アクチュエータの駆動軸が回転しないように、前記第１の位置ゲインよりも大きい第２の位置ゲインを用いて、対になっている第１のモータを維持制御し、前記旋回制御部が、前記一つの搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、旋回アクチュエータの駆動軸が回転しないように第２のモータを維持制御することを特徴とする。   The motor control device of the present invention is provided with a plurality of conveyance actuators, a first motor for extending and contracting the conveyance actuator, and a plurality of conveyance control units for controlling the first motor, When one of the plurality of transport actuators expands and contracts, a transport control unit paired with the one transport actuator performs vibration suppression control using the first position gain, The conveyance control unit paired with another conveyance actuator among the plurality of conveyance actuators, so that the drive shaft of the other conveyance actuator does not rotate with the rotation of the drive axis of the one conveyance actuator. The second position gain larger than the first position gain is used to maintain and control the paired first motors, and the turning control is performed. Part is, with the rotation of the drive shaft of the one of the transport actuator, the drive shaft of the turning actuator and controls maintain the second motor so as not to rotate.

また、本発明のモータ制御装置は、さらに、前記搬送制御部及び旋回制御部に位置指令を出力する中央制御部を備え、前記中央制御部は、前記一つの搬送アクチュエータを伸縮動作させるための位置指令として、前記一つの搬送アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を前記一つの搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部に出力すると共に、前記他の搬送アクチュエータの位置を維持させるための位置指令を前記他の搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部に出力し、さらに、旋回アクチュエータの位置を維持させるための位置指令を旋回制御部に出力し、旋回アクチュエータを旋回動作させるための指令として、前記全ての搬送アクチュエータを旋回アクチュエータに同期させるための位置指令をそれぞれの搬送制御部に出力すると共に、旋回アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を旋回制御部に出力することを特徴とする。   In addition, the motor control device of the present invention further includes a central control unit that outputs a position command to the transport control unit and the turning control unit, and the central control unit is a position for extending and contracting the one transport actuator. As a command, a position command for stopping the one transport actuator at a predetermined position is output to a transport control unit paired with the one transport actuator, and the position of the other transport actuator is maintained. A position command is output to the transport control unit paired with the other transport actuator, and a position command for maintaining the position of the swing actuator is output to the swing control unit, and the swing actuator is operated to swing. As commands, position commands to synchronize all the transport actuators with the turning actuators, respectively. And outputs to the conveyance control unit, and outputs a position command for stopping the turning actuator to a predetermined position to the turning controller.

また、本発明のモータ制御方法は、所定の物を搬送するための搬送アクチュエータの駆動軸を第１のモータにより回転させることにより、前記搬送アクチュエータを伸縮動作させ、旋回アクチュエータの駆動軸を第２のモータにより回転させることにより、前記旋回アクチュエータを旋回動作させるモータ制御方法において、前記搬送アクチュエータを伸縮動作させるための指令に基づいて、搬送アクチュエータが振動しないように所定の第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、搬送アクチュエータを所定位置に停止させるステップと、前記搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、旋回アクチュエータの駆動軸が回転しないように第２のモータを維持制御するステップと、前記第１の位置ゲインよりも大きい第２の位置ゲインを設定するステップと、前記旋回アクチュエータを旋回動作させるための指令に基づいて、前記旋回動作を実現するための旋回制御を行い、旋回アクチュエータを所定位置に停止させるステップと、前記旋回アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、搬送アクチュエータの駆動軸が旋回アクチュエータの駆動軸に同期して回転するように、第２の位置ゲインを用いて第１のモータを多軸補間制御するステップと、を有することを特徴とする。   In the motor control method of the present invention, the transport actuator for transporting a predetermined object is rotated by the first motor, so that the transport actuator is expanded and contracted, and the drive shaft of the turning actuator is second. In the motor control method of turning the turning actuator by rotating the turning actuator, a predetermined first position gain is used so that the carrying actuator does not vibrate based on a command for extending and retracting the carrying actuator. Performing vibration suppression control to stop the transport actuator at a predetermined position; maintaining the second motor so that the drive shaft of the turning actuator does not rotate with rotation of the drive shaft of the transport actuator; Set a second position gain greater than the first position gain A turning control for realizing the turning operation based on a command for turning the turning actuator, stopping the turning actuator at a predetermined position, and rotation of a drive shaft of the turning actuator And a step of performing multi-axis interpolation control of the first motor using the second position gain so that the drive shaft of the transport actuator rotates in synchronization with the drive shaft of the turning actuator. To do.

以上説明したように、本発明によれば、搬送アクチュエータの伸縮時には、搬送アクチュエータが振動しないように、第１の位置ゲインを用いて制振制御を行うと共に、搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い旋回アクチュエータの駆動軸が回転しないように維持制御を行うようにした。また、旋回アクチュエータの旋回時には、旋回アクチュエータを旋回制御すると共に、旋回アクチュエータの駆動軸の回転に伴い搬送アクチュエータの駆動軸が旋回アクチュエータの駆動軸に同期して回転するように、第１の位置ゲインよりも大きい位置ゲインを用いて多軸補間制御を行うようにした。これにより、搬送アクチュエータの振動を抑制すると共に、各駆動軸の回転動作が他の駆動軸に与える影響を低減することが可能なモータ制御装置及びモータ制御方法を実現することができる。   As described above, according to the present invention, during the expansion and contraction of the transport actuator, vibration suppression control is performed using the first position gain so that the transport actuator does not vibrate, and along with the rotation of the drive shaft of the transport actuator. Maintenance control is performed so that the drive shaft of the turning actuator does not rotate. In addition, during the turning of the turning actuator, the turning position of the turning actuator is controlled, and the first position gain is set so that the drive shaft of the transport actuator rotates in synchronization with the drive shaft of the turning actuator as the drive shaft of the turning actuator rotates. Multi-axis interpolation control is performed using a larger position gain. Thereby, while suppressing the vibration of a conveyance actuator, the motor control apparatus and motor control method which can reduce the influence which the rotational operation of each drive shaft has on other drive shafts are realizable.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
〔モータ制御装置の構成〕
まず、モータ制御装置の構成について、モータ制御装置を含む全体システム、モータ制御装置に備えた左（右）搬送アクチュエータ制御装置及び旋回アクチュエータ制御装置に区別してそれぞれ説明する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[Configuration of motor controller]
First, the configuration of the motor control device will be described by distinguishing between an overall system including the motor control device, a left (right) transport actuator control device and a turning actuator control device provided in the motor control device.

（全体システムの構成）
まず、モータ制御装置を含む全体システムの構成について説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るモータ制御装置を含む全体システムの概略構成を示す図である。このシステムは、２つの伸縮動作及び１つの旋回動作を制御するモータ制御装置１と、第１のアクチュエータ（左搬送アクチュエータ２２）の駆動軸２２−Ｋを回転させるモータ２１と、第２のアクチュエータ（右搬送アクチュエータ３２）の駆動軸３２−Ｋを回転させるモータ３１と、第３のアクチュエータ（旋回アクチュエータ４２）の駆動軸４２−Ｋを回転させるモータ４１と、左搬送アクチュエータ２２、右搬送アクチュエータ３２及び旋回アクチュエータ４２の負荷２とを備えて構成される。 (Entire system configuration)
First, the configuration of the entire system including the motor control device will be described. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an entire system including a motor control device according to an embodiment of the present invention. This system includes a motor control device 1 that controls two telescopic operations and one turning operation, a motor 21 that rotates a drive shaft 22-K of a first actuator (left transport actuator 22), and a second actuator ( Motor 31 for rotating drive shaft 32-K of right transport actuator 32), motor 41 for rotating drive shaft 42-K of third actuator (turning actuator 42), left transport actuator 22, right transport actuator 32, and And a load 2 of the turning actuator 42.

モータ制御装置１は、制御部１１，１２を有する中央制御装置１０と、左搬送アクチュエータ２２の伸縮位置を、モータ２１を介して制御する左搬送アクチュエータ制御装置２０と、右搬送アクチュエータ３２の伸縮位置を、モータ３１を介して制御する右搬送アクチュエータ制御装置３０と、旋回アクチュエータ４２の旋回角度を、モータ４１を介して制御する旋回アクチュエータ制御装置４０とを備えている。   The motor control device 1 includes a central control device 10 having control units 11, 12, a left transport actuator control device 20 that controls the expansion / contraction position of the left transport actuator 22 via the motor 21, and an expansion / contraction position of the right transport actuator 32. The right transport actuator control device 30 that controls the turning angle of the turning actuator 42 via the motor 41 and the turning actuator control device 40 that controls the turning angle of the turning actuator 42 via the motor 41.

また、負荷２である左搬送アクチュエータ２２は、先端部分２２−Ｓが駆動軸２２−Ｋの回転により矢印で示す直線の方向２２−Ｄに伸縮し、右搬送アクチュエータ３２は、先端部分３２−Ｓが駆動軸３２−Ｋの回転により矢印で示す直線の方向３２−Ｄに伸縮し、旋回アクチュエータ４２は、駆動軸４２−Ｋの回転により左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２と共に、右回り及び左回りの方向４２−Ｒに旋回する。   Further, the left transport actuator 22 that is the load 2 has its tip portion 22-S expanded and contracted in the direction 22-D of the straight line indicated by the arrow by the rotation of the drive shaft 22-K, and the right transport actuator 32 Expands and contracts in a linear direction 32-D indicated by an arrow by the rotation of the drive shaft 32-K, and the turning actuator 42 rotates clockwise and left together with the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 by the rotation of the drive shaft 42-K. Turn in the surrounding direction 42-R.

ここで、駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋ，４２−Ｋは、それぞれ独立して回転し、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の伸縮は、旋回用の駆動軸４２−Ｋが回転していないときに行われるものとする。つまり、左搬送アクチュエータ２２の伸縮は、旋回用の駆動軸４２−Ｋに対して搬送用の駆動軸２２−Ｋが回転した場合に行われる。右搬送アクチュエータ３２についても同様である。また、左搬送アクチュエータ２２の伸縮は、旋回用の駆動軸４２−Ｋに対して搬送用の駆動軸２２−Ｋが回転しない場合には行われない。右搬送アクチュエータ３２についても同様である。すなわち、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の伸縮は、それぞれの駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋが旋回用の駆動軸４２−Ｋに対して相対的に回転したときに行われる。   Here, the drive shafts 22-K, 32-K, and 42-K rotate independently of each other, and the expansion and contraction of the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 is caused by the rotation of the drive shaft 42-K for rotation. Shall be done when not. That is, the left conveyance actuator 22 is expanded and contracted when the conveyance drive shaft 22-K rotates with respect to the turning drive shaft 42-K. The same applies to the right transport actuator 32. Further, the expansion and contraction of the left transport actuator 22 is not performed when the transport drive shaft 22-K does not rotate with respect to the turning drive shaft 42-K. The same applies to the right transport actuator 32. That is, the expansion and contraction of the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 is performed when the respective drive shafts 22-K and 32-K rotate relative to the turning drive shaft 42-K.

また、旋回アクチュエータ４２の旋回は、旋回用の駆動軸４２−Ｋが回転することにより行われるが、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の先端部分２２−Ｓ，３２−Ｓを伸縮位置に維持したまま、その向きを変えるためには、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２も旋回アクチュエータ４２に同期して旋回させる必要がある。   Further, the turning of the turning actuator 42 is performed by the rotation of the turning drive shaft 42-K, but the front end portions 22-S and 32-S of the left transfer actuator 22 and the right transfer actuator 32 are maintained at the expansion / contraction positions. In order to change the direction, the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 need to be rotated in synchronization with the swing actuator 42.

本発明の実施の形態では、左搬送アクチュエータ制御装置２０が、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓを移動させてその伸び位置または縮み位置で停止させるときに、通常よりも低い値の位置ゲインを用いて制振制御を行うことにより、低周波の残留振動を抑制する。右搬送アクチュエータ制御装置３０が右搬送アクチュエータ３２を制振制御するときも同様である。   In the embodiment of the present invention, when the left transport actuator controller 20 moves the front end portion 22-S of the left transport actuator 22 and stops it at its extended position or contracted position, the position gain of a value lower than normal is obtained. By performing vibration suppression control using, low frequency residual vibration is suppressed. The same applies when the right transport actuator control device 30 controls the right transport actuator 32 for vibration suppression.

ここで、例えば、左搬送アクチュエータ２２が駆動軸２２−Ｋの回転により駆動しているとき、他の右搬送アクチュエータ３２及び旋回アクチュエータ４２の駆動軸３２−Ｋ，４２−Ｋは、駆動軸２２−Ｋの回転の影響を受けてしまうため、回転してしまう。そこで、本発明の実施の形態では、駆動軸２２−Ｋの回転による影響を受けないように、右搬送アクチュエータ３２を位置制御する右搬送アクチュエータ制御装置３０及び旋回アクチュエータ４２を旋回制御する旋回アクチュエータ制御装置４０が維持制御を行う。具体的には、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制振制御時よりも大きい値の位置ゲインを用いて、右搬送アクチュエータ３２の現在位置を維持するように位置指令を出力する。また、旋回アクチュエータ制御装置４０は、旋回アクチュエータ４２の現在角度を維持するように位置指令を出力する。右搬送アクチュエータ３２が駆動軸３２−Ｋの回転により駆動しているときも同様である。   Here, for example, when the left transport actuator 22 is driven by the rotation of the drive shaft 22-K, the drive shafts 32-K and 42-K of the other right transport actuator 32 and the turning actuator 42 are the drive shaft 22-. Since it is affected by the rotation of K, it rotates. Therefore, in the embodiment of the present invention, the right transport actuator control device 30 that controls the position of the right transport actuator 32 and the swing actuator control that controls the swing actuator 42 so as not to be affected by the rotation of the drive shaft 22-K. The device 40 performs maintenance control. Specifically, the right transport actuator control device 30 outputs a position command so as to maintain the current position of the right transport actuator 32 by using a position gain having a larger value than that during vibration suppression control. Further, the turning actuator control device 40 outputs a position command so as to maintain the current angle of the turning actuator 42. The same applies when the right transport actuator 32 is driven by the rotation of the drive shaft 32-K.

また、例えば、旋回アクチュエータ４２が駆動軸４２−Ｋの回転により駆動しているとき、他の左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋも駆動軸４２−Ｋの回転の影響を受けてしまうため、旋回アクチュエータ４２と左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２との機械的な結合のみでは、正確な位置制御が実現することができない。そこで、本発明の実施の形態では、駆動軸４２−Ｋの回転による影響を受けないように、左搬送アクチュエータ２２を位置制御する左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ３２を位置制御する右搬送アクチュエータ制御装置３０が多軸補間制御を行う。具体的には、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０は、旋回アクチュエータ４２が旋回する角度と同等の角度に相当する左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の伸縮位置の位置指令を生成し、その位置指令を出力する。この場合、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋの回転に追従（同期）して駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋが回転する限り、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の先端部分２２−Ｓ，３２−Ｓの位置は、伸縮方向２２−Ｄ，３２−Ｄにおいて変化はない。   For example, when the turning actuator 42 is driven by the rotation of the drive shaft 42-K, the drive shafts 22-K and 32-K of the other left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 are also connected to the drive shaft 42-K. Since it is affected by rotation, accurate position control cannot be realized only by mechanical coupling of the turning actuator 42, the left transport actuator 22, and the right transport actuator 32. Therefore, in the embodiment of the present invention, the left transport actuator controller 20 that controls the position of the left transport actuator 22 and the right transport that controls the position of the right transport actuator 32 so as not to be affected by the rotation of the drive shaft 42-K. The actuator control device 30 performs multi-axis interpolation control. Specifically, the left transfer actuator control device 20 and the right transfer actuator control device 30 issue position commands for the expansion / contraction positions of the left transfer actuator 22 and the right transfer actuator 32 corresponding to the same angle as the turning angle of the turning actuator 42. Generate and output its position command. In this case, as long as the drive shafts 22-K and 32-K rotate following (synchronizing) with the rotation of the drive shaft 42-K of the turning actuator 42, the tip portions 22-S of the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 are rotated. , 32-S does not change in the expansion / contraction directions 22-D, 32-D.

（左（右）搬送アクチュエータ制御装置の構成）
次に、モータ制御装置１における左（右）搬送アクチュエータ制御装置２０（３０）の構成について説明する。図２は、図１に示した左搬送アクチュエータ制御装置２０の構成を示すブロック図である。図２は左搬送アクチュエータ制御装置２０の構成を示しているが、右搬送アクチュエータ制御装置３０についても同様である。この左搬送アクチュエータ制御装置２０は、減算器２０１，２０２，２０３，２２１、加減算器２２２，２２３、位置制御モデル２１１、速度制御モデル２１２、電流制御モデル２１３、負荷モデル２１４、位置制御器２３１、速度制御器２３２及び電流制御器２３３を備えており、中央制御装置１０から位置指令及び位置ゲインを入力し、操作量を算出してモータ２１へ出力すると共に、モータ２１及び左搬送アクチュエータ２２の実負荷からモータ電流値、モータ回転速度値及び左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓの位置情報を入力する。 (Left (right) transfer actuator controller configuration)
Next, the configuration of the left (right) transport actuator controller 20 (30) in the motor controller 1 will be described. FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the left transport actuator control device 20 shown in FIG. FIG. 2 shows the configuration of the left transport actuator control device 20, but the same applies to the right transport actuator control device 30. This left transport actuator control device 20 includes subtractors 201, 202, 203, 221, adders / subtracters 222, 223, a position control model 211, a speed control model 212, a current control model 213, a load model 214, a position controller 231, and a speed. The controller 232 and the current controller 233 are provided, a position command and a position gain are input from the central controller 10, an operation amount is calculated and output to the motor 21, and the actual loads of the motor 21 and the left transport actuator 22 are also calculated. From the motor current value, the motor rotation speed value, and the position information of the front end portion 22 -S of the left transport actuator 22.

負荷モデル２１４は、モータ２１及び左搬送アクチュエータ２２の実負荷の特性をモデル化したものであり、そのモデルにより電流値、速度値及び左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓの位置情報を算出する。   The load model 214 models the actual load characteristics of the motor 21 and the left transport actuator 22, and the current value, the speed value, and the position information of the front end portion 22-S of the left transport actuator 22 are calculated based on the model. .

減算器２０１は、中央制御装置１０から位置指令を、負荷モデル２１４から位置情報をそれぞれ入力し、差分値を算出して位置制御モデル２１１に出力する。位置制御モデル２１１は、規範モデルの位置制御器であり、中央制御装置１０から位置ゲインを入力し、増幅演算に用いる位置ゲインとしてメモリに格納し、また、減算器２０１から位置指令と位置情報との間の差分値を入力し、メモリに格納した位置ゲインを用いてその差分値を増幅し、速度指令として減算器２０２及び加減算器２２２に出力する。   The subtracter 201 receives a position command from the central controller 10 and position information from the load model 214, calculates a difference value, and outputs the difference value to the position control model 211. The position control model 211 is a reference model position controller, which receives a position gain from the central control device 10 and stores it in a memory as a position gain used for amplification calculation, and also receives a position command and position information from the subtractor 201. And the difference value is amplified using the position gain stored in the memory, and is output to the subtracter 202 and the adder / subtractor 222 as a speed command.

ここで、規範モデルによる制御方法について簡単に説明する。理想的な制御器として、実負荷の伝達関数の逆関数を導き出し、これを用いる手法がある。すなわち、実負荷の伝達関数を特定し、その逆関数を制御器として設計することにより、入出力が１対１の関係となる理想的なシステムを実現するものである。しかし、現実には、実負荷の伝達関数を特定したり、その逆関数を設計したりすることが、必ずしも解析的に実現することができない。そこで、その発展的な手法として、規範モデルの制御器が提案されている。本発明の実施形態で用いる制御器は、１．規範モデルとして、実負荷の特性から類推される負荷モデルとこれを制御する制御器モデルを用意し、２．その負荷モデルが望ましい応答になるように帰還を制御器モデルに施して、３．同帰還が指令値となって実負荷を追従させることを目的としている。   Here, a control method based on the reference model will be briefly described. As an ideal controller, there is a method of deriving an inverse function of an actual load transfer function and using this. That is, an ideal system having a one-to-one relationship between input and output is realized by specifying a transfer function of an actual load and designing the inverse function as a controller. However, in reality, it is not always possible to analytically realize the transfer function of the actual load or design the inverse function. Therefore, a normative model controller has been proposed as an advanced technique. The controller used in the embodiment of the present invention is 1. As a reference model, prepare a load model inferred from the characteristics of the actual load and a controller model to control it. 2. feedback the controller model so that the load model has the desired response; The purpose of this feedback is to make the actual load follow the command value.

また、位置ゲインは、左搬送アクチュエータ２２の伸縮動作の停止時における制振制御を実現するための値（第１の位置ゲイン／通常の位置ゲインの値よりも小さい値であって、振動周波数の定数倍以下の値）と、通常の値（第２の位置ゲイン／制振制御を実現するための位置ゲインよりも大きい値）との２つの値が存在し、中央制御装置１０の制御部１２に格納されている。位置制御モデル２１１は、伸縮動作の開始から終了までの間に、制振制御を行うための第１の位置ゲインを用いて速度指令を算出し、伸縮動作以外の期間に、補間制御を行うための第２の位置ゲインを用いて速度指令を算出する。   The position gain is a value for realizing vibration suppression control when stopping the expansion / contraction operation of the left transport actuator 22 (a value smaller than the value of the first position gain / normal position gain, There are two values, a value less than a constant multiple) and a normal value (a value greater than the second position gain / position gain for realizing vibration suppression control), and the control unit 12 of the central controller 10 Stored in The position control model 211 calculates a speed command using the first position gain for performing vibration suppression control from the start to the end of the expansion / contraction operation, and performs interpolation control during a period other than the expansion / contraction operation. The speed command is calculated using the second position gain.

尚、中央制御装置１０の制御部１２は、実際に測定された左搬送アクチュエータ２２の振動周波数を用いて、その定数倍以下の値を第１の位置ゲインとして決定する。また、第１の位置ゲインよりも大きい値であって、後述する多軸補間制御及び維持制御を行うために左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋを回転させるために必要な値を第２の位置ゲインとして決定する。右搬送アクチュエータ３２についても同様である。このようにして決定された位置ゲインは、制御部１２のメモリに記憶される。   Note that the control unit 12 of the central control device 10 determines a value equal to or smaller than the constant multiple as the first position gain by using the actually measured vibration frequency of the left transport actuator 22. Further, a value larger than the first position gain and a value necessary for rotating the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 in order to perform multi-axis interpolation control and maintenance control described later is set to the second value. Determined as position gain. The same applies to the right transport actuator 32. The position gain determined in this way is stored in the memory of the control unit 12.

減算器２０２は、位置制御モデル２１１から速度指令を、負荷モデル２１４から速度値をそれぞれ入力し、差分値を算出して速度制御モデル２１２に出力する。速度制御モデル２１２は、規範モデルの速度制御器であり、減算器２０２から速度指令と速度値との間の差分値を入力し、予め設定された速度ゲインを用いてその差分値を増幅し、電流指令として減算器２０３及び加減算器２２３に出力する。   The subtractor 202 receives a speed command from the position control model 211 and a speed value from the load model 214, calculates a difference value, and outputs the difference value to the speed control model 212. The speed control model 212 is a reference model speed controller, which receives a difference value between the speed command and the speed value from the subtractor 202, amplifies the difference value using a preset speed gain, The current command is output to the subtracter 203 and the adder / subtracter 223.

減算器２０３は、速度制御モデル２１２から電流指令を、負荷モデル２１４から電流値をそれぞれ入力し、差分値を算出して電流制御モデル２１３に出力する。電流制御モデル２１３は、規範モデルの電流制御器であり、減算器２０３から電流指令と電流値との間の差分値を入力し、予め設定された電流ゲインを用いてその差分値を増幅し、操作量として負荷モデル２１４に出力する。   The subtracter 203 receives a current command from the speed control model 212 and a current value from the load model 214, calculates a difference value, and outputs the difference value to the current control model 213. The current control model 213 is a reference model current controller, which receives a difference value between a current command and a current value from the subtractor 203, amplifies the difference value using a preset current gain, The operation amount is output to the load model 214.

また、減算器２２１は、負荷モデル２１４から位置情報を、モータ２１及び左搬送アクチュエータ２２の実負荷から位置情報をそれぞれ入力し、差分値を算出して位置制御器２３１に出力する。位置制御器２３１は、減算器２２１から負荷モデル２１４と実負荷とのの間の位置情報の差分値を入力し、予め設定された位置ゲインを用いてその差分値を増幅し、速度指令として加減算器２２２に出力する。   The subtractor 221 receives position information from the load model 214 and position information from actual loads of the motor 21 and the left transport actuator 22, calculates a difference value, and outputs the difference value to the position controller 231. The position controller 231 inputs the difference value of the position information between the load model 214 and the actual load from the subtractor 221, amplifies the difference value using a preset position gain, and performs addition / subtraction as a speed command. Output to the device 222.

加減算器２２２は、位置制御モデル２１１から速度指令を、位置制御器２３１から速度指令を、モータ２１及び左搬送アクチュエータ２２の実負荷から速度値をそれぞれ入力し、２つの速度指令を加算し、その加算結果と実負荷からの速度値との間の差分値を算出して速度制御器２３２に出力する。速度制御器２３２は、加減算器２２２から速度指令と速度値との間の差分値を入力し、予め設定された速度ゲインを用いてその差分値を増幅し、電流指令として加減算器２２３に出力する。   The adder / subtracter 222 inputs a speed command from the position control model 211, a speed command from the position controller 231 and a speed value from the actual load of the motor 21 and the left transport actuator 22, respectively, and adds two speed commands. A difference value between the addition result and the speed value from the actual load is calculated and output to the speed controller 232. The speed controller 232 receives the difference value between the speed command and the speed value from the adder / subtractor 222, amplifies the difference value using a preset speed gain, and outputs it as a current command to the adder / subtracter 223. .

加減算器２２３は、速度制御モデル２１２から電流指令を、速度制御器２３２から電流指令を、モータ２１及び左搬送アクチュエータ２２の実負荷から電流値をそれぞれ入力し、２つの電流指令を加算し、その加算結果と実負荷からの電流値との間の差分値を算出して電流制御器２３３に出力する。電流制御器２３３は、加減算器２２３から電流指令と電流値との間の差分値を入力し、予め設定された電流ゲインを用いてその差分値を増幅し、操作量としてモータ２１に出力する。   The adder / subtracter 223 inputs the current command from the speed control model 212, the current command from the speed controller 232, and the current value from the actual load of the motor 21 and the left transport actuator 22, and adds the two current commands. A difference value between the addition result and the current value from the actual load is calculated and output to the current controller 233. The current controller 233 receives the difference value between the current command and the current value from the adder / subtracter 223, amplifies the difference value using a preset current gain, and outputs the amplified value to the motor 21 as an operation amount.

（旋回アクチュエータ制御装置の構成）
次に、モータ制御装置１における旋回アクチュエータ制御装置４０の構成について説明する。図３は、図１に示した旋回アクチュエータ制御装置４０の構成を示すブロック図である。この旋回アクチュエータ制御装置４０は、減算器４０１，４０２，４０３，４２１、加減算器４２２，４２３、位置制御モデル４１１、速度制御モデル４１２、電流制御モデル４１３、負荷モデル４１４、位置制御器４３１、速度制御器４３２及び電流制御器４３３を備えており、中央制御装置１０から位置指令を入力し、操作量を算出してモータ４１へ出力すると共に、モータ４１及び旋回アクチュエータ４２の実負荷からモータ電流値、モータ回転速度値及び旋回アクチュエータ４２の位置情報を入力する。 (Configuration of swivel actuator controller)
Next, the configuration of the turning actuator control device 40 in the motor control device 1 will be described. FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the turning actuator control device 40 shown in FIG. This turning actuator control device 40 includes subtractors 401, 402, 403, 421, adders / subtractors 422, 423, a position control model 411, a speed control model 412, a current control model 413, a load model 414, a position controller 431, and a speed control. 432 and a current controller 433, a position command is input from the central controller 10, an operation amount is calculated and output to the motor 41, and a motor current value is calculated from actual loads of the motor 41 and the turning actuator 42, The motor rotation speed value and the position information of the turning actuator 42 are input.

図２に示した左搬送アクチュエータ制御装置２０の構成と、この旋回アクチュエータ制御装置４０の構成とを比較すると、左搬送アクチュエータ制御装置２０の位置制御モデル２１１は、中央制御装置１０から位置ゲインを入力し、入力した位置ゲインを用いて速度指令を算出するのに対し、旋回アクチュエータ制御装置４０の位置制御モデル４１１は、予め設定された位置ゲインを用いて速度指令を算出する点で相違する。その他の構成要素は同じであるため、旋回アクチュエータ制御装置４０の構成の説明は省略する。   Comparing the configuration of the left transport actuator control device 20 shown in FIG. 2 with the configuration of the turning actuator control device 40, the position control model 211 of the left transport actuator control device 20 receives a position gain from the central control device 10. However, the position command is calculated using the input position gain, whereas the position control model 411 of the turning actuator control device 40 is different in that the speed command is calculated using a preset position gain. Since other components are the same, description of the configuration of the turning actuator control device 40 is omitted.

〔モータ制御装置の処理〕
次に、図１に示したモータ制御装置１の処理について説明する。図４は、図１に示したモータ制御装置１の処理による左搬送アクチュエータ２２、右搬送アクチュエータ３２及び旋回アクチュエータ４２の動作例を示す図である。また、図５は、図４に示す動作と、左搬送アクチュエータ制御装置２０、右搬送アクチュエータ制御装置３０及び旋回アクチュエータ制御装置４０により行われる制御との間の関係を示す図である。図４（１）は、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２がＸ軸のマイナス方向を向いており、かつ縮んでいる状態にある（両搬送アクチュエータ２２，３２の先端部分２２−Ｓ，３２−Ｓが縮み位置にある）ことを示している。 [Processing of motor controller]
Next, processing of the motor control device 1 shown in FIG. 1 will be described. FIG. 4 is a diagram illustrating an operation example of the left transport actuator 22, the right transport actuator 32, and the turning actuator 42 by the process of the motor control device 1 illustrated in FIG. FIG. 5 is a diagram illustrating a relationship between the operation illustrated in FIG. 4 and the control performed by the left transport actuator control device 20, the right transport actuator control device 30, and the turning actuator control device 40. 4 (1) shows that the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 are in the minus direction of the X-axis and are in a contracted state (the tip portions 22-S, 32-- of the both transport actuators 22, 32). S is in the contracted position).

図４（２）は、左搬送アクチュエータ２２、右搬送アクチュエータ３２及び旋回アクチュエータ４２が（１）の状態から中央の丸印（駆動軸）を中心にして右９０°旋回した結果、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２がＹ軸のマイナス方向を向いており、かつ縮んでいる状態にある（両搬送アクチュエータ２２，３２の先端部分２２−Ｓ，３２−Ｓが縮み位置にある）ことを示している。図５を参照して、（１）から（２）への状態変化に際し、旋回アクチュエータ制御装置４０は旋回制御及び多軸補間制御を行い、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋの回転に伴う多軸補間制御を行う。この多軸補間制御は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋ、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋ及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋがそれぞれ同期して回転動作するための制御である。   FIG. 4 (2) shows that the left transport actuator 22, the right transport actuator 32, and the turning actuator 42 are turned from the state (1) by 90 ° right about the center circle (drive shaft). And the right transport actuator 32 is in the negative direction of the Y axis and is in a contracted state (the tip portions 22-S and 32-S of both transport actuators 22 and 32 are in the contracted position). Yes. Referring to FIG. 5, when the state changes from (1) to (2), the turning actuator control device 40 performs turning control and multi-axis interpolation control, and the left transfer actuator control device 20 and the right transfer actuator control device 30 are Then, multi-axis interpolation control accompanying the rotation of the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 is performed. This multi-axis interpolation control is a control for rotating the drive shaft 42-K of the turning actuator 42, the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 and the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 in synchronization with each other. is there.

図４（３）は、右搬送アクチュエータ３２が（２）の状態から伸び位置まで移動した結果、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２がＹ軸のマイナス方向を向いており、左搬送アクチュエータ２２が縮んでいる状態にあり、右搬送アクチュエータ３２が伸びている状態にある（左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓが縮み位置にあり、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓが伸び位置にある）ことを示している。図５を参照して、（２）から（３）への状態変化に際し、右搬送アクチュエータ制御装置３０は制振制御を行い、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び旋回アクチュエータ制御装置４０は、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋの回転の影響を排除し、現在位置を維持するための維持制御を行う。左搬送アクチュエータ制御装置２０による維持制御は、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋを回転させないように、左搬送アクチュエータ２２の現在位置を維持するための制御である。同様に、旋回アクチュエータ制御装置４０による維持制御は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋを回転させないように、旋回アクチュエータ４２の現在位置を維持するための制御である。   FIG. 4 (3) shows that as a result of the right transport actuator 32 moving from the state (2) to the extended position, the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 are directed in the negative direction of the Y axis, and the left transport actuator 22 is In the contracted state, the right transport actuator 32 is in the extended state (the front end portion 22-S of the left transport actuator 22 is in the contracted position, and the front end portion 32-S of the right transport actuator 32 is in the extended position. )It is shown that. Referring to FIG. 5, when the state changes from (2) to (3), the right transport actuator control device 30 performs vibration suppression control, and the left transport actuator control device 20 and the turning actuator control device 40 are the right transport actuator. The maintenance control is performed to eliminate the influence of the rotation of the 32 drive shafts 32-K and maintain the current position. The maintenance control by the left transport actuator controller 20 is control for maintaining the current position of the left transport actuator 22 so as not to rotate the drive shaft 22 -K of the left transport actuator 22. Similarly, the maintenance control by the turning actuator control device 40 is control for maintaining the current position of the turning actuator 42 so as not to rotate the drive shaft 42 -K of the turning actuator 42.

図４（４）は、左搬送アクチュエータ２２が（３）の状態から伸び位置まで移動し、右搬送アクチュエータ３２が（３）の状態から縮み位置まで移動した結果、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２がＹ軸のマイナス方向を向いており、左搬送アクチュエータ２２が伸びている状態にあり、右搬送アクチュエータ３２が縮んでいる状態にある（左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓが伸び位置にあり、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓが縮み位置にある）ことを示している。図５を参照して、（３）から（４）への状態変化に際し、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０は制振制御を行い、旋回アクチュエータ制御装置４０は、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋの回転及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋの回転の影響を排除し、現在位置を維持するための維持制御を行う。旋回アクチュエータ制御装置４０による維持制御は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋを回転させないように、旋回アクチュエータ４２の現在位置を維持するための制御である。   4 (4) shows that the left transport actuator 22 moves from the state (3) to the extended position, and the right transport actuator 32 moves from the state (3) to the contracted position. 32 is directed in the negative direction of the Y axis, the left transport actuator 22 is in an extended state, and the right transport actuator 32 is in a contracted state (the leading end portion 22-S of the left transport actuator 22 is in the extended position). Yes, the tip end portion 32-S of the right transport actuator 32 is in the contracted position). Referring to FIG. 5, when the state changes from (3) to (4), the left transport actuator control device 20 and the right transport actuator control device 30 perform vibration suppression control, and the turning actuator control device 40 includes the left transport actuator. The maintenance control for maintaining the current position is performed by eliminating the influence of the rotation of the drive shaft 22 -K of 22 and the rotation of the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32. The maintenance control by the turning actuator control device 40 is control for maintaining the current position of the turning actuator 42 so as not to rotate the drive shaft 42 -K of the turning actuator 42.

図４（５）は、左搬送アクチュエータ２２が（４）の状態から縮み位置まで移動した結果、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２がＹ軸のマイナス方向を向いており、かつ縮んでいる状態にある（両搬送アクチュエータ２２，３２の先端部分２２−Ｓ，３２−Ｓが縮み位置にある）ことを示している。図５を参照して、（４）から（５）への状態変化に際し、左搬送アクチュエータ制御装置２０は制振制御を行い、右搬送アクチュエータ制御装置３０及び旋回アクチュエータ制御装置４０は、左搬送アクチュエータ制御装置２０の駆動軸２２−Ｋの回転の影響を排除し、現在位置を維持するための維持制御を行う。右搬送アクチュエータ制御装置３０による維持制御は、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋを回転させないように、右搬送アクチュエータ３２の現在位置を維持するための制御である。同様に、旋回アクチュエータ制御装置４０による維持制御は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋを回転させないように、旋回アクチュエータ４２の現在位置を維持するための制御である。   FIG. 4 (5) shows a state in which the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 are directed in the negative direction of the Y axis and are contracted as a result of the left transport actuator 22 moving from the state (4) to the contracted position. (The front end portions 22-S and 32-S of both transport actuators 22 and 32 are in the contracted position). Referring to FIG. 5, when the state changes from (4) to (5), the left transport actuator controller 20 performs vibration suppression control, and the right transport actuator controller 30 and the turning actuator controller 40 are the left transport actuator. Maintenance control is performed to eliminate the influence of the rotation of the drive shaft 22-K of the control device 20 and maintain the current position. The maintenance control by the right transport actuator control device 30 is control for maintaining the current position of the right transport actuator 32 so that the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 is not rotated. Similarly, the maintenance control by the turning actuator control device 40 is control for maintaining the current position of the turning actuator 42 so as not to rotate the drive shaft 42 -K of the turning actuator 42.

図４（６）は、左搬送アクチュエータ２２、右搬送アクチュエータ３２及び旋回アクチュエータ４２が（５）の状態から中央の丸印（駆動軸）を中心にして右９０°旋回した結果、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２がＹ軸のプラス方向を向いており、かつ縮んでいる状態にある（両搬送アクチュエータ２２，３２の先端部分２２−Ｓ，３２−Ｓが縮み位置にある）ことを示している。図５を参照して、（５）から（６）への状態変化に際し、旋回アクチュエータ制御装置４０は旋回制御及び多軸補間制御を行い、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋの回転に伴う多軸補間制御を行う。この多軸補間制御は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋ、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋ及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋがそれぞれ同期して回転動作するための制御である。   FIG. 4 (6) shows that the left transport actuator 22, the right transport actuator 32, and the turning actuator 42 are turned 90 ° to the right from the state (5) about the center circle (drive shaft). And the right transport actuator 32 is in the positive direction of the Y-axis and is in a contracted state (the tip portions 22-S and 32-S of both transport actuators 22 and 32 are in the contracted position). Yes. Referring to FIG. 5, when the state changes from (5) to (6), the turning actuator control device 40 performs turning control and multi-axis interpolation control, and the left transfer actuator control device 20 and the right transfer actuator control device 30 are Then, multi-axis interpolation control accompanying the rotation of the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 is performed. This multi-axis interpolation control is a control for rotating the drive shaft 42-K of the turning actuator 42, the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 and the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 in synchronization with each other. is there.

（全体フロー）
次に、図４に示した動作を実現するモータ制御装置１の処理について具体的に説明する。まず、モータ制御装置１の処理による全体フローについて説明する。図６は、モータ制御装置１における中央制御装置１０の制御部１１の処理による全体フローを示す図である。 (Overall flow)
Next, the process of the motor control device 1 that realizes the operation shown in FIG. 4 will be specifically described. First, the entire flow by the process of the motor control device 1 will be described. FIG. 6 is a diagram illustrating an overall flow by the processing of the control unit 11 of the central control device 10 in the motor control device 1.

制御部１１は、動作受付の処理を開始すると、受け付けた動作指令の内容を解釈し、その動作指令の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の前処理を行う（ステップＳ６０１）。例えば、動作指令がモータ制御装置１の動作として許容されている内容であるか否かを判定し、許容されていない内容である場合は異常を検知する。   When the control unit 11 starts the operation reception process, the control unit 11 interprets the content of the received operation command and verifies the validity of the operation command, thereby detecting an abnormality and issuing a trigger for the abnormality process. Processing is performed (step S601). For example, it is determined whether or not the operation command is a content that is permitted as an operation of the motor control device 1, and if it is a content that is not permitted, an abnormality is detected.

そして、制御部１１は、動作指令による処理を判断する（ステップＳ６０２）。ステップＳ６０２において、その動作指令が旋回動作に関する指令、アクチュエータ伸び動作に関する指令、アクチュエータ縮み動作に関する指令、アクチュエータ同時動作に関する指令、またはその他の動作に関する指令であると判断した場合（ステップＳ６０２：Ｙ）、旋回動作（ステップＳ６０３）、アクチュエータ伸び動作（ステップＳ６０４）、アクチュエータ縮み動作（ステップＳ６０５）、アクチュエータ同時動作（ステップＳ６０６）、またはその他の動作（ステップＳ６０７）の処理を行う。一方、ステップＳ６０２において、その動作指令が旋回動作に関する指令等でないと判断した場合（ステップＳ６０２：Ｎ）、異常処理を行う（ステップＳ６０８）。   And the control part 11 judges the process by an operation command (step S602). If it is determined in step S602 that the operation command is a command related to a turning operation, a command related to an actuator extension operation, a command related to an actuator contraction operation, a command related to an actuator simultaneous operation, or a command related to other operations (step S602: Y), The turning operation (step S603), the actuator extension operation (step S604), the actuator contraction operation (step S605), the actuator simultaneous operation (step S606), or other operations (step S607) are performed. On the other hand, when it is determined in step S602 that the operation command is not a command related to the turning operation (step S602: N), an abnormality process is performed (step S608).

そして、制御部１１は、ステップＳ６０３〜ステップＳ６０７の処理の後、動作結果の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行し、動作結果レポートを出力する等の後処理を行う（ステップＳ６０９）。例えば、ステップＳ６０３において右９０°の旋回動作の処理を行った後、全アクチュエータ２２，３２，４２が右９０°の旋回を完了できたか否かを判定し、旋回を完了できなかった場合は異常を検知する。   Then, after the processing of step S603 to step S607, the control unit 11 verifies the validity of the operation result, detects an abnormality, issues an abnormality processing trigger, and outputs an operation result report. Processing is performed (step S609). For example, it is determined whether or not all the actuators 22, 32, and 42 have completed the 90 ° right turn after performing the 90 ° right turn operation in step S603. Is detected.

（旋回動作フロー）
次に、図６に示した全体フローにおける旋回動作（ステップＳ６０３）の処理について詳細に説明する。図７は、その旋回動作フロー（図４において（１）の状態から（２）の状態に変化させる処理）を示す図である。 (Swivel operation flow)
Next, the process of the turning operation (step S603) in the overall flow shown in FIG. 6 will be described in detail. FIG. 7 is a diagram showing the turning operation flow (processing for changing the state from (1) to (2) in FIG. 4).

制御部１１は、図６のステップＳ６０３において旋回動作指令の処理を開始すると、その旋回動作指令の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の前処理を行う（ステップＳ７０１）。ここでの旋回動作指令は、各アクチュエータ２２，３２，４２を原点位置（図４の（１））から右に９０°旋回させる指令である。したがって、制御部１１は、前処理により、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２が縮み位置にある等の原点位置から右に９０°旋回させるための条件を満たしていることを検証する。   When the processing of the turning motion command is started in step S603 of FIG. 6, the control unit 11 performs preprocessing such as detecting an abnormality and issuing a trigger for the abnormal processing by verifying the validity of the turning motion command. This is performed (step S701). The turning operation command here is a command for turning each actuator 22, 32, 42 90 ° to the right from the origin position ((1) in FIG. 4). Therefore, the control unit 11 verifies that the pre-processing satisfies the condition for turning the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 90 degrees to the right from the origin position such as being in the contracted position.

そして、制御部１１は、旋回動作指令に基づいて旋回軸同期動作指令を生成し、その指令を制御部１２に出力する（ステップＳ７０２）。ここで、旋回軸同期動作指令は、旋回アクチュエータ４２が原点位置から右９０°旋回するのに伴い、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２もそれに同期して原点位置から右９０°旋回すること示す、角度を単位とした指令である。   And the control part 11 produces | generates a turning axis synchronous operation command based on a turning operation command, and outputs the command to the control part 12 (step S702). Here, the turning axis synchronization operation command indicates that, as the turning actuator 42 turns 90 ° to the right from the origin position, the left transfer actuator 22 and the right transfer actuator 32 also turn 90 ° to the right from the origin position in synchronization therewith. The command is in units of angles.

制御部１２は、制御部１１から旋回軸同期動作指令を入力すると、旋回制御の処理を開始する（ステップＳ７０３）。具体的には、旋回軸同期指令信号に基づいて、旋回アクチュエータ制御装置４０、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０毎の位置指令を生成して出力する。   When the control unit 12 receives the turning axis synchronization operation command from the control unit 11, the control unit 12 starts the turning control process (step S703). Specifically, based on the turning axis synchronization command signal, a position command for each of the turning actuator control device 40, the left transfer actuator control device 20, and the right transfer actuator control device 30 is generated and output.

図１１は、制御部１２がステップＳ７０３において出力する位置指令を示す図である。図１１に示すように、制御部１２は、右回り９０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力すると共に、右回り９０°に相当する距離の位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力する。ここで、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力される位置指令が右回り９０°に相当する位置の位置指令になっているのは、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０が、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓ及び右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓの移動距離を単位とした位置指令を入力するようになっているからである。すなわち、右回り９０°に相当する距離の位置指令は、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋが右に９０°回転したときに移動する先端部分２２−Ｓ，３２−Ｓの移動距離に相当する指令である。この場合、駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋは駆動軸４２−Ｋと共に同期して回転するから、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の伸縮方向の移動はない。   FIG. 11 is a diagram illustrating the position command output by the control unit 12 in step S703. As shown in FIG. 11, the control unit 12 outputs a 90 ° clockwise position command to the turning actuator control device 40, and outputs a position command for a distance corresponding to 90 ° clockwise to the left transport actuator control device 20 and the right. Output to the transport actuator controller 30. Here, the position command output to the left transport actuator control device 20 and the right transport actuator control device 30 is the position command of the position corresponding to 90 ° clockwise, that is, the left transport actuator control device 20 and the right transport actuator. This is because the actuator control device 30 inputs a position command in units of the moving distance of the front end portion 22 -S of the left transport actuator 22 and the front end portion 32-S of the right transport actuator 32. That is, the position command for the distance corresponding to 90 ° clockwise is the tip portion 22-S that moves when the drive shafts 22-K and 32-K of the left transfer actuator 22 and the right transfer actuator 32 rotate 90 ° to the right. , 32-S. In this case, since the drive shafts 22-K and 32-K rotate in synchronization with the drive shaft 42-K, the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 do not move in the expansion / contraction direction.

図７に戻って、旋回アクチュエータ制御装置４０は、制御部１２から右回り９０°の位置指令を入力し、モータ４１を用いて旋回制御及び多軸補間制御を行い、旋回軸である駆動軸４２−Ｋを主軸として右回り９０°回転させる（ステップＳ７０４）。また、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制御部１２から右回り９０°に相当する距離の位置指令を入力し、通常の位置ゲイン（制振制御を実現するために位置ゲインよりも大きい値）を用いてモータ２１により、駆動軸２２−Ｋを駆動軸４２−Ｋ（主軸）の従軸として右回り９０°回転させる（ステップＳ７０５）。また、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制御部１２から右回り９０°に相当する距離の位置指令を入力し、通常の位置ゲインを用いてモータ３１により、駆動軸３２−Ｋを駆動軸４２−Ｋ（主軸）の従軸として右回り９０°回転させる（ステップＳ７０６）。これにより、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋ及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋにおける旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋに対する相対位置を維持させることができるから、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２は伸縮しない。ここで、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０による回転動作は、旋回アクチュエータ制御装置４０の旋回制御に従って行われ、旋回アクチュエータ制御装置４０による旋回動作は、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０による回転動作と共に行われることから、これらの制御は、図５に示したように、それぞれ多軸補間制御となる。これにより、図４に示したように、（１）の状態から（２）の状態に変化させることができる。そして、旋回アクチュエータ制御装置４０、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０は、各動作が完了すると、指令完了をそれぞれ制御部１２に出力する。   Returning to FIG. 7, the turning actuator control device 40 inputs a 90 ° clockwise position command from the control unit 12, performs turning control and multi-axis interpolation control using the motor 41, and a drive shaft 42 which is a turning axis. Rotate 90 ° clockwise about −K as the main axis (step S704). Further, the left transport actuator control device 20 receives a position command of a distance corresponding to 90 ° clockwise from the control unit 12 and outputs a normal position gain (a value larger than the position gain in order to realize vibration suppression control). Using the motor 21, the drive shaft 22-K is rotated 90 ° clockwise as a slave shaft of the drive shaft 42-K (main shaft) (step S705). Further, the right transport actuator control device 30 receives a position command of a distance corresponding to 90 ° clockwise from the control unit 12, and the drive shaft 32-K is driven to the drive shaft 42- by the motor 31 using a normal position gain. As a slave shaft of K (main shaft), it is rotated 90 degrees clockwise (step S706). Accordingly, the relative positions of the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 and the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 with respect to the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 can be maintained. The right transport actuator 32 does not expand and contract. Here, the rotation operation by the left transfer actuator control device 20 and the right transfer actuator control device 30 is performed according to the turn control of the turning actuator control device 40, and the turning operation by the turning actuator control device 40 is performed by the left transfer actuator control device 20 and Since these operations are performed together with the rotation operation by the right transport actuator control device 30, these controls are multi-axis interpolation controls as shown in FIG. Thereby, as shown in FIG. 4, it can change from the state of (1) to the state of (2). Then, the turning actuator control device 40, the left transport actuator control device 20, and the right transport actuator control device 30 output a command completion to the control unit 12 when each operation is completed.

制御部１２は、旋回アクチュエータ制御装置４０、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０から指令完了をそれぞれ入力すると、旋回制御の処理を完了し、指令完了を制御部１１に出力する（ステップＳ７０７）。   When the command completion is input from each of the turning actuator control device 40, the left transfer actuator control device 20, and the right transfer actuator control device 30, the control unit 12 completes the turning control process and outputs the command completion to the control unit 11 ( Step S707).

制御部１１は、制御部１２から指令完了を入力すると、動作結果の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の後処理を行う（ステップＳ７０８）。   When the command completion is input from the control unit 12, the control unit 11 verifies the validity of the operation result, thereby detecting an abnormality and performing post-processing such as issuing an abnormality processing trigger (step S708).

尚、前述した旋回動作フローは、図４において（５）の状態から（６）の状態に変化させる処理を示すフローでもある。   The turning operation flow described above is also a flow showing a process of changing from the state (5) to the state (6) in FIG.

（右搬送アクチュエータ伸び動作フロー）
次に、図６に示した全体フローにおけるアクチュエータ伸び動作（ステップＳ６０４）の処理について詳細に説明する。図８は、その右搬送アクチュエータ伸び動作フロー（図４において（２）の状態から（３）の状態に変化させる処理）を示す図である。 (Right transfer actuator extension operation flow)
Next, the actuator extension operation (step S604) in the overall flow shown in FIG. 6 will be described in detail. FIG. 8 is a diagram showing the right transport actuator extension operation flow (processing for changing the state from (2) to (3) in FIG. 4).

制御部１１は、図６のステップＳ６０４において右搬送アクチュエータ伸び指令の処理を開始すると、その右搬送アクチュエータ伸び指令の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の前処理を行う（ステップＳ８０１）。ここでの右搬送アクチュエータ伸び指令は、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓを縮み位置から伸び位置へ移動させる指令である。したがって、制御部１１は、前処理により、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓを縮み位置から伸び位置へ移動させるための条件を満たしていることを検証する。   When the control unit 11 starts processing of the right transport actuator extension command in step S604 of FIG. 6, the controller 11 verifies the validity of the right transport actuator extension command, detects an abnormality, issues a trigger for the abnormality processing, etc. Pre-processing is performed (step S801). The right transfer actuator extension command here is a command to move the tip end portion 32-S of the right transfer actuator 32 from the contracted position to the extended position. Therefore, the control unit 11 verifies that the condition for moving the tip end portion 32-S of the right transport actuator 32 from the contracted position to the extended position is satisfied by the preprocessing.

そして、制御部１１は、右軸の制振制御をオン（開始）し、右軸制振制御オン指令を制御部１２に出力する（ステップＳ８０２）。制御部１２は、制御部１１から右軸制振制御オン指令を入力すると、予め設定された制振制御用の位置ゲインを右軸制御切替指令として右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力する（ステップＳ８０３）。   Then, the control unit 11 turns on (starts) the right-axis vibration suppression control, and outputs a right-axis vibration suppression control on command to the control unit 12 (step S802). When the control unit 11 inputs the right-axis vibration suppression control ON command from the control unit 11, the control unit 12 outputs a preset position gain for vibration suppression control to the right transport actuator control device 30 as a right-axis control switching command (step S803). ).

図１２は、制御部１２がステップＳ８０３及び後述するステップＳ８０７において出力する位置ゲイン及び位置指令を示す図である。図１２に示すように、制御部１２は、制振制御用の位置ゲインを右軸制御切替指令として右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力する。   FIG. 12 is a diagram showing the position gain and position command output by the control unit 12 in step S803 and step S807 described later. As shown in FIG. 12, the control unit 12 outputs the position gain for vibration suppression control to the right transport actuator control device 30 as a right axis control switching command.

ここで、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、右搬送アクチュエータ３２の伸縮動作時に発生する振動を抑制するための位置ゲイン（制振制御用の位置ゲイン）と、伸縮動作以外の補間制御時に使用する位置ゲイン（通常の位置ゲイン）とのいずれかを用いて制御を行う。この制振制御用の位置ゲインは、前述したように、通常の位置ゲインよりも小さい値であって、共振周波数の定数倍以下の値である。尚、左搬送アクチュエータ制御装置２０も、右搬送アクチュエータ制御装置３０と同様に、左搬送アクチュエータ２２の伸縮動作時に発生する振動を抑制するための制振制御用の位置ゲインと、伸縮動作以外の補間制御時に使用する通常の位置ゲインとのいずれかを用いて制御を行う。   Here, the right transport actuator control device 30 has a position gain (position gain for vibration suppression control) for suppressing vibration generated during the expansion / contraction operation of the right transport actuator 32 and a position used during interpolation control other than the expansion / contraction operation. Control is performed using either gain (normal position gain). As described above, the position gain for vibration suppression control is a value smaller than the normal position gain and a value equal to or smaller than a constant multiple of the resonance frequency. Note that, similarly to the right transfer actuator control device 30, the left transfer actuator control device 20 also has a position gain for vibration suppression control for suppressing vibration generated during the extension operation of the left transfer actuator 22, and interpolation other than the extension operation. Control is performed using one of the normal position gains used during control.

図８に戻って、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制御部１２から右軸制御切替指令として制振制御用の位置ゲインを入力すると、右軸制御切替を実行し、右軸制御切替指令完了を制御部１２に出力する（ステップＳ８０４）。具体的には、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、図２に示した位置制御モデル２１１に相当する位置制御モデルがその制振制御用の位置ゲインを用いて処理するように、入力した位置ゲインを格納する。制御部１２は、右軸制御切替指令完了を右搬送アクチュエータ制御装置３０から入力すると、右軸制御切替の受付を完了し、右軸制御切替受付完了を制御部１１に出力する（ステップＳ８０５）。   Returning to FIG. 8, when the position control gain for vibration suppression control is input from the control unit 12 as the right axis control switching command, the right transport actuator control device 30 executes the right axis control switching and completes the right axis control switching command completion. It outputs to the control part 12 (step S804). Specifically, the right transport actuator control device 30 calculates the input position gain so that the position control model corresponding to the position control model 211 shown in FIG. 2 processes using the position gain for vibration suppression control. Store. When the control unit 12 inputs the completion of the right axis control switching command from the right transport actuator control device 30, the control unit 12 completes the reception of the right axis control switching and outputs the completion of the right axis control switching reception to the control unit 11 (step S805).

制御部１１は、制御部１２から右軸制御切替受付完了を入力すると、右搬送アクチュエータ伸び指令に基づいて右軸移動指令を生成し、その指令を制御部１２に出力する（ステップＳ８０６）。ここで、右軸移動指令は、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋを回転させて、その先端部分３２−Ｓを縮み位置から伸び位置へ移動させることを示す、距離を単位とした指令である。   When the control unit 11 inputs the completion of acceptance of the right axis control switching from the control unit 12, the control unit 11 generates a right axis movement command based on the right transport actuator extension command, and outputs the command to the control unit 12 (step S806). Here, the right axis movement command is a command in units of distance indicating that the driving shaft 32-K of the right transport actuator 32 is rotated and the tip end portion 32-S is moved from the contracted position to the extended position. is there.

制御部１２は、制御部１１から右軸移動指令を入力すると、右軸移動制御の処理を開始する（ステップＳ８０７）。具体的には、制御部１２は、右軸移動指令に基づいて、右搬送アクチュエータ制御装置３０、旋回アクチュエータ制御装置４０及び左搬送アクチュエータ制御装置２０毎の位置指令を生成する。そして、図１２に示すように、縮み位置から伸び位置へ移動させるための位置指令を右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力すると共に、角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力し、位置を変化させないで現状を維持するための距離０の位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力する。   When receiving a right axis movement command from the control unit 11, the control unit 12 starts a right axis movement control process (step S807). Specifically, the control unit 12 generates a position command for each of the right transport actuator control device 30, the turning actuator control device 40, and the left transport actuator control device 20 based on the right axis movement command. Then, as shown in FIG. 12, a position command for moving from the contracted position to the extended position is output to the right transport actuator control device 30, and a position command of 0 ° for maintaining the current state without changing the angle. It outputs to the turning actuator control device 40 and outputs to the left transport actuator control device 20 a position command of distance 0 for maintaining the current state without changing the position.

図８に戻って、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制御部１２から縮み位置から伸び位置へ移動させるための位置指令を入力すると、モータ３１により駆動軸３２−Ｋを回転させ、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓが伸び位置で停止するように位置制御を行う。この場合、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制振制御用の位置ゲイン（通常よりも小さい値）を用いてモータ３１を制御し、制振制御を行う（ステップＳ８１０）。   Returning to FIG. 8, when the position command for moving from the contracted position to the extended position is input from the control unit 12, the right transport actuator control device 30 rotates the drive shaft 32 -K by the motor 31, and the right transport actuator 32. Position control is performed so that the tip portion 32-S of the lens stops at the extended position. In this case, the right transport actuator control device 30 controls the motor 31 using the position gain for vibration suppression control (a value smaller than normal) to perform vibration suppression control (step S810).

また、旋回アクチュエータ制御装置４０は、制御部１２から角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を入力し、モータ４１により駆動軸４２−Ｋの現在位置を維持させる（ステップＳ８０８）。具体的には、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋの回転に伴って、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋもその影響を受けて回転してしまうから、駆動軸４２−Ｋをその逆方向に回転させることにより、角度を変化させないで現状の角度を維持するように維持制御を行う。   Further, the turning actuator control device 40 receives a 0 ° position command for maintaining the current state without changing the angle from the control unit 12, and maintains the current position of the drive shaft 42-K by the motor 41 (step S808). ). Specifically, as the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 rotates, the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 also rotates under the influence, so that the drive shaft 42-K is reversed. By performing rotation in the direction, maintenance control is performed so as to maintain the current angle without changing the angle.

また、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制御部１２から位置を変化させないで現状を維持するための距離０の位置指令を入力し、モータ２１により駆動軸２２−Ｋの現在位置を維持させる（ステップＳ８０９）。具体的には、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋの回転に伴い、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋもその影響を受けて回転してしまうから、駆動軸２２−Ｋをその逆方向に回転させることにより、角度を変化させないで現状の角度を維持するように維持制御を行う。この場合、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、通常の位置ゲイン（制振制御用の位置ゲインよりも大きい値）を用いてモータ２１を制御する。   Further, the left transport actuator control device 20 receives a position command of a distance 0 for maintaining the current state without changing the position from the control unit 12, and maintains the current position of the drive shaft 22-K by the motor 21 (step). S809). Specifically, as the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 rotates, the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 also rotates under the influence thereof, so that the drive shaft 22-K is reversed. By performing rotation in the direction, maintenance control is performed so as to maintain the current angle without changing the angle. In this case, the left transport actuator controller 20 controls the motor 21 using a normal position gain (a value larger than the position gain for vibration suppression control).

ここで、旋回アクチュエータ制御装置４０及び左搬送アクチュエータ制御装置２０による回転動作は、右搬送アクチュエータ制御装置３０の位置制御に従って行われることから、図５に示したように、多軸の影響を排除し、現在位置を維持するための維持制御となる。そして、右搬送アクチュエータ制御装置３０、旋回アクチュエータ制御装置４０及び左搬送アクチュエータ制御装置２０は、各動作が完了すると、指令完了をそれぞれ制御部１２に出力する。   Here, since the rotation operation by the turning actuator control device 40 and the left transport actuator control device 20 is performed according to the position control of the right transport actuator control device 30, the influence of multi-axis is eliminated as shown in FIG. The maintenance control is to maintain the current position. Then, the right transport actuator control device 30, the turning actuator control device 40, and the left transport actuator control device 20 output a command completion to the control unit 12 when each operation is completed.

制御部１２は、右搬送アクチュエータ制御装置３０、旋回アクチュエータ制御装置４０及び左搬送アクチュエータ制御装置２０から指令完了をそれぞれ入力すると、右軸移動制御の処理を完了し、指令完了を制御部１１に出力する（ステップＳ８１１）。   When the command completion is input from the right transport actuator control device 30, the turning actuator control device 40, and the left transport actuator control device 20, the control unit 12 completes the right axis movement control process and outputs the command completion to the control unit 11. (Step S811).

制御部１１は、制御部１２から指令完了を入力すると、動作結果の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の後処理を行う（ステップＳ８１２）。   When the command completion is input from the control unit 12, the control unit 11 verifies the validity of the operation result, thereby detecting an abnormality and performing post-processing such as issuing an abnormality processing trigger (step S812).

（右搬送アクチュエータ及び左搬送アクチュエータ同時動作フロー）
次に、図６に示した全体フローにおける同時動作（ステップＳ６０６）の処理について詳細に説明する。図９−１は、その同時動作における左搬送アクチュエータ伸び動作フローを示す図であり、図９−２は、その同時動作における右搬送アクチュエータ縮み動作フローを示す図である。これらのフローは、図４において（３）の状態から（４）の状態に変化させる処理を示している。 (Right transfer actuator and left transfer actuator simultaneous operation flow)
Next, the process of the simultaneous operation (step S606) in the overall flow shown in FIG. 6 will be described in detail. FIG. 9A is a diagram illustrating a left transport actuator extending operation flow in the simultaneous operation, and FIG. 9B is a diagram illustrating a right transport actuator contracting operation flow in the simultaneous operation. These flows show processing for changing from the state (3) to the state (4) in FIG.

図９−１を参照して、制御部１１は、図６のステップＳ６０６において同時動作指令の処理を開始すると、その同時動作指令の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の前処理を行う（ステップＳ９０１）。ここでの同時動作指令は、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓを縮み位置から伸び位置へ移動させると共に、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓを伸び位置から縮み位置へ移動させる指令である。したがって、制御部１１は、前処理により、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓを縮み位置から伸び位置へ移動させるための条件を満たし、かつ、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓを伸び位置から縮み位置へ移動させるための条件を満たしていることを検証する。   Referring to FIG. 9A, when starting the process of the simultaneous operation command in step S606 of FIG. 6, the control unit 11 detects the abnormality by verifying the validity of the simultaneous operation command, and performs the process of the abnormality process. Preprocessing such as issuing a trigger is performed (step S901). Here, the simultaneous operation command is a command for moving the front end portion 22-S of the left transport actuator 22 from the contracted position to the extended position and moving the front end portion 32-S of the right transport actuator 32 from the extended position to the contracted position. is there. Accordingly, the control unit 11 satisfies the condition for moving the front end portion 22-S of the left transport actuator 22 from the contracted position to the extended position by preprocessing, and extends the front end portion 32-S of the right transport actuator 32. Verify that the conditions for moving from the position to the contracted position are satisfied.

そして、制御部１１は、左軸の制振制御をオン（開始）し、左軸制振制御オン指令を制御部１２に出力する（ステップＳ９０２）。制御部１２は、制御部１１から左軸制振制御オン指令を入力すると、予め設定された制振制御用の位置ゲインを左軸制御切替指令として左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力する（ステップＳ９０３）。   Then, the control unit 11 turns on (starts) the left-axis vibration suppression control, and outputs a left-axis vibration suppression control on command to the control unit 12 (step S902). When receiving the left-axis vibration suppression control ON command from the control unit 11, the control unit 12 outputs a preset position gain for vibration suppression control to the left transport actuator control device 20 as a left-axis control switching command (step S903). ).

図１３は、制御部１２がステップＳ９０３、後述するステップＳ９０７、ステップＳ９１３及びステップＳ９１９において出力する位置ゲイン及び位置指令を示す図である。図１３に示すように、制御部１２は、制振制御用の位置ゲインを左軸制御切替指令として左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力する。   FIG. 13 is a diagram illustrating the position gain and position command output by the control unit 12 in step S903, step S907, step S913, and step S919 described later. As shown in FIG. 13, the control unit 12 outputs a position gain for vibration suppression control to the left transport actuator control device 20 as a left axis control switching command.

図９−１に戻って、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制御部１２から左軸制御切替指令として制振制御用の位置ゲインを入力すると、左軸制御切替を実行し、左軸制御切替指令完了を制御部１２に出力する（ステップＳ９０４）。具体的には、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、図２に示した位置制御モデル２１１がその制振制御用の位置ゲインを用いて処理するように、入力した位置ゲインを格納する。制御部１２は、左軸制御切替指令完了を左搬送アクチュエータ制御装置２０から入力すると、左軸制御切替の受付を完了し、左軸制御切替受付完了を制御部１１に出力する（ステップＳ９０５）。   Returning to FIG. 9A, when the position control gain for vibration suppression control is input from the control unit 12 as the left axis control switching command, the left transport actuator control device 20 executes the left axis control switching and the left axis control switching command. Completion is output to the control unit 12 (step S904). Specifically, the left transport actuator controller 20 stores the input position gain so that the position control model 211 shown in FIG. 2 performs processing using the position gain for vibration suppression control. When the control unit 12 inputs the completion of the left axis control switching command from the left transport actuator control device 20, the control unit 12 completes the reception of the left axis control switching and outputs the completion of the left axis control switching reception to the control unit 11 (step S905).

制御部１１は、制御部１２から右軸制御切替受付完了を入力すると、同時動作指令のうちの左搬送アクチュエータ伸び指令に基づいて左軸移動指令を生成し、その指令を制御部１２に出力する（ステップＳ９０６）。ここで、左軸移動指令は、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋを回転させて、その先端部分２２−Ｓを縮み位置から伸び位置へ移動させることを示す、距離を単位とした指令である。   When the control unit 11 receives the right axis control switching acceptance completion from the control unit 12, the control unit 11 generates a left axis movement command based on the left transport actuator extension command in the simultaneous operation command, and outputs the command to the control unit 12. (Step S906). Here, the left axis movement command is a command in units of distance indicating that the driving shaft 22-K of the left transport actuator 22 is rotated and the tip portion 22-S is moved from the contracted position to the extended position. is there.

制御部１２は、制御部１１から同時動作指令における左軸移動指令を入力すると、左軸移動制御の処理を開始する（ステップＳ９０７）。具体的には、制御部１２は、同時動作指令における左軸移動指令に基づいて、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び旋回アクチュエータ制御装置４０の位置指令を生成する。そして、図１３に示すように、縮み位置から伸び位置へ移動させるための位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力すると共に、角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力する。   When the control unit 12 inputs a left-axis movement command in the simultaneous operation command from the control unit 11, the control unit 12 starts a process of left-axis movement control (step S907). Specifically, the control unit 12 generates position commands for the left transport actuator control device 20 and the turning actuator control device 40 based on the left axis movement command in the simultaneous operation command. Then, as shown in FIG. 13, a position command for moving from the contracted position to the extended position is output to the left transport actuator control device 20, and a 0 ° position command for maintaining the current state without changing the angle. It outputs to the turning actuator control device 40.

図９−１に戻って、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制御部１２から縮み位置から伸び位置へ移動させるための位置指令を入力すると、モータ２１により駆動軸２２−Ｋを回転させ、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓが伸び位置で停止するように位置制御を行う。この場合、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制振制御用の位置ゲイン（通常よりも小さい値）を用いてモータ２１を制御し、制振制御を行う（ステップＳ９０９）。   Returning to FIG. 9A, when the left transport actuator control device 20 inputs a position command for moving from the contracted position to the extended position from the control unit 12, the motor 21 rotates the drive shaft 22 -K to move the left transport. Position control is performed so that the tip 22-S of the actuator 22 stops at the extended position. In this case, the left transport actuator controller 20 controls the motor 21 using the position gain for vibration suppression control (a value smaller than normal) to perform vibration suppression control (step S909).

また、旋回アクチュエータ制御装置４０は、制御部１２から角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を入力し、モータ４１を用いて駆動軸４２−Ｋの現在位置を維持させる（ステップＳ９０８）。具体的には、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋの回転に伴って、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋもその影響を受けて回転してしまうから、駆動軸４２−Ｋをその逆方向に回転させることにより、角度を変化させないで現状の角度を維持するように維持制御を行う。   Further, the turning actuator control device 40 receives a 0 ° position command for maintaining the current state from the control unit 12 without changing the angle, and maintains the current position of the drive shaft 42 -K using the motor 41 ( Step S908). Specifically, as the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 rotates, the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 also rotates under the influence, so that the drive shaft 42-K is reversed. By performing rotation in the direction, maintenance control is performed so as to maintain the current angle without changing the angle.

尚、制御部１２は、位置を変化させないで現状を維持するための距離０の位置指令を右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力しない。右搬送アクチュエータ制御装置３０は、同時動作指令のうちの右搬送アクチュエータ縮み指令により、位置制御を行っており、右搬送アクチュエータ３２が移動中だからである（ステップＳ９１０）。   Note that the control unit 12 does not output a position command with a distance of 0 to maintain the current state without changing the position to the right transport actuator control device 30. This is because the right transport actuator control device 30 performs position control according to the right transport actuator contraction command among the simultaneous operation commands, and the right transport actuator 32 is moving (step S910).

ここで、旋回アクチュエータ制御装置４０による回転動作は、左搬送アクチュエータ制御装置２０の位置制御に従って行われることから、図５に示したように、多軸の影響を排除し、現在位置を維持するための維持制御となる。そして、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び旋回アクチュエータ制御装置４０は、各動作が完了すると、指令完了をそれぞれ制御部１２に出力する。   Here, since the rotation operation by the turning actuator control device 40 is performed according to the position control of the left transport actuator control device 20, in order to eliminate the influence of multi-axis and maintain the current position as shown in FIG. Maintenance control. Then, when each operation is completed, the left transport actuator control device 20 and the turning actuator control device 40 each output a command completion to the control unit 12.

制御部１２は、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び旋回アクチュエータ制御装置４０から指令完了をそれぞれ入力すると、左軸移動制御の処理を完了し、指令完了を制御部１１に出力する（ステップＳ９１１）。   When the command completion is input from the left transport actuator control device 20 and the turning actuator control device 40, the control unit 12 completes the left axis movement control process and outputs the command completion to the control unit 11 (step S911).

一方、ステップＳ９０５の後、図９−２を参照して、制御部１１は、制御部１２から右軸制御切替受付完了を入力すると、同時動作指令のうちの右搬送アクチュエータ縮み指令に基づいて右軸移動指令を生成し、その指令を制御部１２に出力する（ステップＳ９１２）。ここで、右軸移動指令は、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋを回転させて、その先端部分３２−Ｓを伸び位置から縮み位置へ移動させることを示す、距離を単位とした指令である。   On the other hand, after step S905, referring to FIG. 9-2, when the control unit 11 inputs the right axis control switching acceptance completion from the control unit 12, the control unit 11 performs the right operation based on the right transport actuator contraction command in the simultaneous operation commands. An axis movement command is generated, and the command is output to the control unit 12 (step S912). Here, the right axis movement command is a command in units of distance indicating that the driving shaft 32-K of the right transport actuator 32 is rotated and the tip end portion 32-S is moved from the extended position to the contracted position. is there.

制御部１２は、制御部１１から右軸移動指令を入力すると、右軸移動制御の処理を開始する（ステップＳ９１３）。具体的には、制御部１２は、右軸移動指令に基づいて、右搬送アクチュエータ制御装置３０及び旋回アクチュエータ制御装置４０毎の位置指令を生成する。そして、図１３に示すように、伸び位置から縮み位置へ移動させるための位置指令を右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力すると共に、角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力する。   When receiving the right axis movement command from the control unit 11, the control unit 12 starts the right axis movement control process (step S913). Specifically, the control unit 12 generates a position command for each of the right transport actuator control device 30 and the turning actuator control device 40 based on the right axis movement command. Then, as shown in FIG. 13, a position command for moving from the extended position to the contracted position is output to the right transport actuator control device 30, and a 0 ° position command for maintaining the current state without changing the angle. It outputs to the turning actuator control device 40.

図９−２に戻って、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制御部１２から伸び位置から縮み位置へ移動させるための位置指令を入力すると、モータ３１により駆動軸３２−Ｋを回転させ、右搬送アクチュエータ３２の先端部分３２−Ｓが縮み位置で停止するように位置制御を行う。この場合、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制振制御用の位置ゲイン（通常よりも小さい値）を用いてモータ２１を制御し、制振制御を行う（ステップＳ９１６）。   Returning to FIG. 9-2, when the position command for moving from the extended position to the retracted position is input from the control unit 12, the right transport actuator control device 30 rotates the drive shaft 32 -K by the motor 31 to perform the right transport. Position control is performed so that the tip portion 32-S of the actuator 32 stops at the contracted position. In this case, the left transport actuator control device 20 controls the motor 21 using the position gain for vibration suppression control (a value smaller than normal) to perform vibration suppression control (step S916).

また、旋回アクチュエータ制御装置４０は、制御部１２から角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を入力し、モータ４１を用いて駆動軸４２−Ｋの現在位置を維持させる（ステップＳ９１４）。具体的には、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋの回転に伴って、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋもその影響を受けて回転してしまうから、駆動軸４２−Ｋをその逆方向に回転させることにより、角度を変化させないで現状の角度を維持するように維持制御を行う。   Further, the turning actuator control device 40 receives a 0 ° position command for maintaining the current state from the control unit 12 without changing the angle, and maintains the current position of the drive shaft 42 -K using the motor 41 ( Step S914). Specifically, as the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 rotates, the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 also rotates under the influence, so that the drive shaft 42-K is reversed. By performing rotation in the direction, maintenance control is performed so as to maintain the current angle without changing the angle.

尚、制御部１２は、位置を変化させないで現状を維持するための距離０の位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力しない。左搬送アクチュエータ制御装置２０は、同時動作指令のうちの左搬送アクチュエータ伸び指令により、位置制御を行っており、左搬送アクチュエータ２２が移動中だからである（ステップＳ９１０）。   Note that the control unit 12 does not output a position command of a distance 0 for maintaining the current state without changing the position to the left transport actuator control device 20. This is because the left transport actuator control device 20 performs position control according to the left transport actuator extension command among the simultaneous operation commands, and the left transport actuator 22 is moving (step S910).

ここで、旋回アクチュエータ制御装置４０による回転動作は、右搬送アクチュエータ制御装置３０の位置制御に従って行われることから、図５に示したように、多軸の影響を排除し、現在位置を維持するための維持制御となる。そして、右搬送アクチュエータ制御装置３０及び旋回アクチュエータ制御装置４０は、各動作が完了すると、指令完了をそれぞれ制御部１２に出力する。   Here, since the rotation operation by the turning actuator control device 40 is performed according to the position control of the right transport actuator control device 30, as shown in FIG. 5, the influence of multi-axis is eliminated and the current position is maintained. Maintenance control. Then, the right transport actuator control device 30 and the turning actuator control device 40 output a command completion to the control unit 12 when each operation is completed.

制御部１２は、右搬送アクチュエータ制御装置３０及び旋回アクチュエータ制御装置４０から指令完了をそれぞれ入力すると、右軸移動制御の処理を完了し、指令完了を制御部１１に出力する（ステップＳ９１７）。   When the command completion is input from the right transport actuator control device 30 and the turning actuator control device 40, the control unit 12 completes the right axis movement control process and outputs the command completion to the control unit 11 (step S917).

制御部１１は、制御部１２から指令完了を入力すると、右軸の制振制御をオフ（終了）し、右軸制振制御オフ指令を制御部１２に出力する（ステップＳ９１８）。制御部１２は、制御部１１から右軸制振制御オフ指令を入力すると、図１３に示すように、予め設定された通常の位置ゲインを右軸制御切替指令として右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力する（ステップＳ９１９）。   When the command completion is input from the control unit 12, the control unit 11 turns off (ends) the right-axis vibration suppression control and outputs a right-axis vibration suppression control off command to the control unit 12 (step S918). When the control unit 12 inputs the right-axis vibration suppression control off command from the control unit 11, as shown in FIG. 13, the preset normal position gain is output to the right transport actuator control device 30 as the right-axis control switching command. (Step S919).

図９−２に戻って、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制御部１２から右軸制御切替指令として通常の位置ゲインを入力すると、右軸制御切替を実行し、右軸制御切替指令完了を制御部１２に出力する（ステップＳ９２０）。具体的には、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、図２に示した位置制御モデル２１１に相当する位置制御モデルがその通常の位置ゲインを用いて処理するように、入力した位置ゲインを格納する。制御部１２は、右軸制御切替指令完了を右搬送アクチュエータ制御装置３０から入力すると、右軸制御切替の受付を完了し、右軸制御切替受付完了を制御部１１に出力する（ステップＳ９２１）。   Returning to FIG. 9-2, when the normal position gain is input as the right axis control switching command from the control unit 12, the right transport actuator control device 30 executes the right axis control switching and controls the completion of the right axis control switching command. The data is output to the unit 12 (step S920). Specifically, the right transport actuator control device 30 stores the input position gain so that a position control model corresponding to the position control model 211 shown in FIG. 2 performs processing using the normal position gain. When the control unit 12 inputs the completion of the right axis control switching command from the right transport actuator controller 30, the control unit 12 completes the reception of the right axis control switching and outputs the completion of the right axis control switching reception to the control unit 11 (step S921).

そして、図９−１に戻って、制御部１１は、制御部１２からステップＳ９１１における指令完了、及びステップＳ９２１における右軸制御切替受付完了をそれぞれ入力すると（ステップＳ９２２）、動作結果の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の後処理を行う（ステップＳ９２３）。   Returning to FIG. 9A, when the control unit 11 inputs the command completion in step S911 and the right axis control switching acceptance completion in step S921 from the control unit 12 (step S922), the validity of the operation result is confirmed. By performing verification, an abnormality is detected, and post-processing such as issuing an abnormality processing trigger is performed (step S923).

（左搬送アクチュエータ縮み動作フロー）
次に、図６に示した全体フローにおけるアクチュエータ縮み動作（ステップＳ６０５）の処理について詳細に説明する。図１０は、その左搬送アクチュエータ縮み動作フロー（図４において（４）の状態から（５）の状態に変化させる処理）を示す図である。 (Left transport actuator shrinking operation flow)
Next, the actuator contracting operation (step S605) in the overall flow shown in FIG. 6 will be described in detail. FIG. 10 is a diagram showing the left transport actuator shrinking operation flow (processing for changing the state from (4) to (5) in FIG. 4).

制御部１１は、図６のステップＳ６０５において左搬送アクチュエータ縮み指令の処理を開始すると、その左搬送アクチュエータ縮み指令の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の前処理を行う（ステップＳ１００１）。ここでの左アクチュエータ縮み指令は、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓを伸び位置から縮み位置へ移動させる指令である。したがって、制御部１１は、前処理により、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓを伸び位置から縮み位置へ移動させるための条件を満たしていることを検証する。   When the processing of the left transport actuator contraction command is started in step S605 of FIG. 6, the control unit 11 detects an abnormality by issuing a validation of the left transport actuator contraction command and issues a trigger for the abnormal process. Is performed (step S1001). Here, the left actuator contraction command is a command for moving the front end portion 22 -S of the left transport actuator 22 from the extended position to the contracted position. Therefore, the control unit 11 verifies that the condition for moving the front end portion 22 -S of the left transport actuator 22 from the extended position to the contracted position is satisfied by the preprocessing.

制御部１１は、左搬送アクチュエータ縮み指令に基づいて左軸移動指令を生成し、その指令を制御部１２に出力する（ステップＳ１００２）。ここで、左軸移動指令は、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋを回転させて、その先端部分２２−Ｓを伸び位置から縮み位置へ移動させることを示す、距離を単位とした指令である。   The control unit 11 generates a left axis movement command based on the left transport actuator contraction command, and outputs the command to the control unit 12 (step S1002). Here, the left axis movement command is a command in units of distance indicating that the driving shaft 22-K of the left transport actuator 22 is rotated and the tip portion 22-S is moved from the extended position to the contracted position. is there.

制御部１２は、制御部１１から左軸移動指令を入力すると、左軸移動制御の処理を開始する（ステップＳ１００３）。具体的には、左軸移動指令に基づいて、左搬送アクチュエータ制御装置２０、旋回アクチュエータ制御装置４０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０毎の位置指令を生成して出力する。   When receiving the left axis movement command from the control unit 11, the control unit 12 starts the left axis movement control process (step S1003). Specifically, based on the left axis movement command, a position command for each of the left transport actuator control device 20, the turning actuator control device 40, and the right transport actuator control device 30 is generated and output.

図１４は、制御部１２がステップＳ１００３及び後述するステップＳ１００９において出力する位置指令及び位置ゲインを示す図である。図１４に示すように、制御部１２は、伸び位置から縮み位置へ移動させるための位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力すると共に、角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力し、位置を変化させないで現状を維持するための距離０の位置指令を右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力する。   FIG. 14 is a diagram illustrating position commands and position gains output from the control unit 12 in step S1003 and step S1009 described later. As shown in FIG. 14, the control unit 12 outputs a position command for moving from the extended position to the retracted position to the left transport actuator control device 20, and 0 ° for maintaining the current state without changing the angle. The position command is output to the turning actuator control device 40, and the position command of the distance 0 for maintaining the current state without changing the position is output to the right transport actuator control device 30.

図１０に戻って、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制御部１２から伸び位置から縮み位置へ移動させるための位置指令を入力すると、モータ２１により駆動軸２２−Ｋを回転させ、左搬送アクチュエータ２２の先端部分２２−Ｓが縮み位置で停止するように位置制御を行う。この場合、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制振制御用の位置ゲイン（通常よりも小さい値）を用いてモータ３１を制御し、制振制御を行う（ステップＳ１００５）。   Returning to FIG. 10, when the position command for moving from the extended position to the retracted position is input from the control unit 12, the left transport actuator controller 20 rotates the drive shaft 22 -K by the motor 21, and the left transport actuator 22. Position control is performed so that the tip portion 22-S of the lens stops at the contracted position. In this case, the right transport actuator control device 30 controls the motor 31 using the position gain for vibration suppression control (a value smaller than normal) to perform vibration suppression control (step S1005).

また、旋回アクチュエータ制御装置４０は、制御部１２から角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を入力し、モータ４１を用いて駆動軸４２−Ｋの現在位置を維持させる（ステップＳ１００４）。具体的には、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋの回転に伴って、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋもその影響を受けて回転してしまうから、駆動軸４２−Ｋを逆方向に回転させることにより、角度を変化させないで現状の角度を維持するように維持制御を行う。   Further, the turning actuator control device 40 receives a 0 ° position command for maintaining the current state from the control unit 12 without changing the angle, and maintains the current position of the drive shaft 42 -K using the motor 41 ( Step S1004). Specifically, as the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 rotates, the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 also rotates under the influence, so the drive shaft 42-K is moved in the reverse direction. By performing the rotation, the maintenance control is performed so as to maintain the current angle without changing the angle.

また、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制御部１２から位置を変化させないで現状を維持するための距離０の位置指令を入力し、モータ３１を用いて駆動軸３２−Ｋの現在位置を維持させる（ステップＳ１００６）。具体的には、左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋの回転に伴って、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋもその影響を受けて回転してしまうから、駆動軸３２−Ｋを逆方向に回転させることにより、角度を変化させないで現状の角度を維持するように維持制御を行う。この場合、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、通常の位置ゲイン（制振制御用の位置ゲインよりも大きい値）を用いてモータ３１を制御する。   Further, the right transport actuator control device 30 receives a position command of a distance 0 for maintaining the current state from the control unit 12 without changing the position, and uses the motor 31 to maintain the current position of the drive shaft 32-K. (Step S1006). Specifically, as the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 rotates, the drive shaft 32-K of the right transport actuator 32 also rotates under the influence, so the drive shaft 32-K is reversed. By performing rotation in the direction, maintenance control is performed so as to maintain the current angle without changing the angle. In this case, the right transport actuator control device 30 controls the motor 31 using a normal position gain (a value larger than the position gain for vibration suppression control).

ここで、旋回アクチュエータ制御装置４０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０による回転動作は、左搬送アクチュエータ制御装置２０の位置制御に従って行われることから、図５に示したように、多軸の影響を排除し、現在位置を維持するための維持制御となる。そして、左搬送アクチュエータ制御装置２０、旋回アクチュエータ制御装置４０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０は、各動作が完了すると、指令完了をそれぞれ制御部１２に出力する。   Here, since the rotation operation by the turning actuator control device 40 and the right transfer actuator control device 30 is performed according to the position control of the left transfer actuator control device 20, as shown in FIG. The maintenance control is to maintain the current position. Then, the left transfer actuator control device 20, the turning actuator control device 40, and the right transfer actuator control device 30 each output a command completion to the control unit 12 when each operation is completed.

制御部１２は、左搬送アクチュエータ制御装置２０、旋回アクチュエータ制御装置４０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０から指令完了をそれぞれ入力すると、左軸移動制御の処理を完了し、指令完了を制御部１１に出力する（ステップＳ１００７）。   When the command completion is input from each of the left transport actuator control device 20, the turning actuator control device 40, and the right transport actuator control device 30, the control unit 12 completes the left axis movement control process and outputs the command completion to the control unit 11. (Step S1007).

制御部１１は、制御部１２から指令完了を入力すると、左軸の制振制御をオフ（終了）し、左軸制振制御オフ指令を制御部１２に出力する（ステップＳ１００８）。制御部１２は、制御部１１から左軸制振制御オフ指令を入力すると、図１４に示すように、予め設定された通常の位置ゲインを左軸制御切替指令として左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力する（ステップＳ１０１０）。   When the command completion is input from the control unit 12, the control unit 11 turns off (ends) the left-axis vibration suppression control and outputs a left-axis vibration suppression control off command to the control unit 12 (step S1008). When the control unit 12 inputs the left-axis vibration suppression control off command from the control unit 11, as shown in FIG. 14, the preset normal position gain is output to the left transport actuator control device 20 as a left-axis control switching command. (Step S1010).

図１０に戻って、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、制御部１２から左軸制御切替指令として通常の位置ゲインを入力すると、左軸制御切替を実行し、左軸制御切替指令完了を制御部１２に出力する（ステップＳ１０１０）。具体的には、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、図２に示した位置制御モデル２１１がその通常の位置ゲインを用いて処理するように、入力した位置ゲインを格納する。制御部１２は、左軸制御切替指令完了を左搬送アクチュエータ制御装置２０から入力すると、左軸制御切替の受付を完了し、左軸制御切替受付完了を制御部１１に出力する（ステップＳ１０１１）。   Returning to FIG. 10, when the normal position gain is input as the left axis control switching command from the control unit 12, the left transport actuator control device 20 executes the left axis control switching and completes the left axis control switching command. (Step S1010). Specifically, the left transport actuator controller 20 stores the input position gain so that the position control model 211 shown in FIG. 2 performs processing using the normal position gain. When the left axis control switching command completion is input from the left transport actuator control device 20, the control unit 12 completes the reception of the left axis control switching and outputs the left axis control switching reception completion to the control unit 11 (step S1011).

制御部１１は、制御部１２から左軸制御切替受付完了を入力すると、動作結果の妥当性を検証することにより、異常を検知し、異常処理のトリガを発行する等の後処理を行う（ステップＳ１０１２）。   When the control unit 12 inputs the left axis control switching acceptance completion from the control unit 12, the controller 11 performs post-processing such as detecting an abnormality and issuing a trigger for the abnormality process by verifying the validity of the operation result (Step S1). S1012).

以上のように、本発明の実施の形態によるモータ制御装置１によれば、全アクチュエータ２２，３２，４２を右９０°旋回動作させるために、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０が、通常の位置ゲイン（制振制御用の位置ゲインよりも大きい値）を前もって中央制御装置１０の制御部１２から入力し、中央制御装置１０の制御部１２が、右回り９０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力すると共に、右回り９０°に相当する距離の位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力するようにした。これにより、旋回アクチュエータ制御装置４０は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋが右回り９０°旋回するように旋回制御及び多軸補間制御を行う共に、左搬送アクチュエータ制御装置２０及び右搬送アクチュエータ制御装置３０は、通常の位置ゲインを用いて左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋが右回り９０°に駆動軸４２−Ｋと同期して旋回するように多軸補間制御を行う。つまり、モータ制御装置１は、全アクチュエータ２２，３２，４２をそれぞれ制御することにより、右９０°旋回動作させることができる。したがって、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋの回転に伴い、左搬送アクチュエータ２２及び右搬送アクチュエータ３２の駆動軸２２−Ｋ，３２−Ｋが回転してしまうという影響を低減することが可能となる。   As described above, according to the motor control device 1 according to the embodiment of the present invention, the left transport actuator control device 20 and the right transport actuator control device 30 are used to rotate all the actuators 22, 32, and 42 by 90 ° to the right. However, a normal position gain (a value larger than the position gain for vibration suppression control) is input from the control unit 12 of the central control device 10 in advance, and the control unit 12 of the central control device 10 receives a position command of 90 ° clockwise. Is output to the turning actuator control device 40, and a position command for a distance corresponding to 90 ° clockwise is output to the left transport actuator control device 20 and the right transport actuator control device 30. Thereby, the turning actuator control device 40 performs the turning control and the multi-axis interpolation control so that the drive shaft 42-K of the turning actuator 42 turns 90 ° clockwise, and the left transfer actuator control device 20 and the right transfer actuator control. The apparatus 30 uses a normal position gain so that the drive shafts 22-K and 32-K of the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 are rotated 90 degrees clockwise in synchronization with the drive shaft 42-K. Axis interpolation control is performed. That is, the motor control device 1 can turn 90 ° to the right by controlling all the actuators 22, 32, and 42, respectively. Therefore, it is possible to reduce the influence that the drive shafts 22-K and 32-K of the left transport actuator 22 and the right transport actuator 32 rotate with the rotation of the drive shaft 42-K of the turning actuator 42. .

また、本発明の実施の形態によるモータ制御装置１によれば、例えば、右搬送アクチュエータ３２を伸縮動作させるために、右搬送アクチュエータ制御装置３０が、制振制御用の位置ゲイン（通常の位置ゲインよりも小さい値であって、振動周波数の定数倍以下の値）を前もって中央制御装置１０の制御部１２から入力し、左搬送アクチュエータ制御装置２０が、通常の位置ゲインを前もって中央制御装置１０の制御部１２から入力し、中央制御装置１０の制御部１２が、縮み位置から伸び位置へ移動させるための位置指令を右搬送アクチュエータ制御装置３０に出力すると共に、角度を変化させないで現状を維持するための０°の位置指令を旋回アクチュエータ制御装置４０に出力し、位置を変化させないで現状を維持するための距離０の位置指令を左搬送アクチュエータ制御装置２０に出力するようにした。これにより、右搬送アクチュエータ制御装置３０は、制振制御用の位置ゲインを用いて制振制御を行うと共に、旋回アクチュエータ制御装置４０は、旋回アクチュエータ４２の駆動軸４２−Ｋが回転しないように維持制御を行い、左搬送アクチュエータ制御装置２０は、通常の位置ゲインを用いて左搬送アクチュエータ２２の駆動軸２２−Ｋが回転しないように維持制御を行う。つまり、モータ制御装置１は、旋回アクチュエータ４２及び左搬送アクチュエータ２２を現状の位置に維持させたまま、右搬送アクチュエータ３２を伸縮動作させることができる。したがって、右搬送アクチュエータ３２の伸縮動作時に発生する振動を抑制することができると共に、右搬送アクチュエータ３２の駆動軸３２−Ｋの回転に伴い、旋回アクチュエータ４２及び左搬送アクチュエータ２２の駆動軸４２−Ｋ，２２−Ｋが回転してしまうという影響を低減することが可能となる。   In addition, according to the motor control device 1 according to the embodiment of the present invention, for example, in order to cause the right transfer actuator 32 to extend and contract, the right transfer actuator control device 30 performs position control (normal position gain) for vibration suppression control. Less than a constant multiple of the vibration frequency) is input from the control unit 12 of the central control device 10 in advance, and the left transport actuator control device 20 determines the normal position gain of the central control device 10 in advance. Input from the control unit 12, the control unit 12 of the central control device 10 outputs a position command for moving from the contracted position to the extended position to the right transport actuator control device 30 and maintains the current state without changing the angle. A 0 ° position command is output to the turning actuator controller 40, and the distance 0 for maintaining the current state without changing the position is output. The 置指 age were to output the left transport actuator controller 20. Accordingly, the right transport actuator control device 30 performs vibration suppression control using the position gain for vibration suppression control, and the swing actuator control device 40 maintains the drive shaft 42-K of the swing actuator 42 so as not to rotate. The left transport actuator control device 20 performs maintenance control so that the drive shaft 22-K of the left transport actuator 22 does not rotate using a normal position gain. That is, the motor control device 1 can extend and contract the right transport actuator 32 while maintaining the turning actuator 42 and the left transport actuator 22 at their current positions. Therefore, vibration generated during the expansion / contraction operation of the right transport actuator 32 can be suppressed, and the rotation shaft 42 and the drive shaft 42 -K of the left transport actuator 22 are rotated along with the rotation of the drive shaft 32 -K of the right transport actuator 32. , 22-K can be reduced.

以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その技術思想を逸脱しない範囲で種々変形可能である。例えば、前記実施の形態では、モータ制御装置１が３軸を対象として制御を行うようにしたが、３軸に限定されるものではなく、それよりも多い軸を対象として制御を行うようにしてもよい。   The present invention has been described with reference to the embodiment. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the technical idea thereof. For example, in the above-described embodiment, the motor control device 1 controls the three axes. However, the control is not limited to the three axes, and the control is performed on more axes. Also good.

本発明の実施の形態に係るモータ制御装置を含む全体システムの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the whole system containing the motor control apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図１のモータ制御装置における左（右）搬送アクチュエータ制御装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the left (right) conveyance actuator control apparatus in the motor control apparatus of FIG. 図１のモータ制御装置における旋回アクチュエータ制御装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the turning actuator control apparatus in the motor control apparatus of FIG. アクチュエータの動作例を示す図である。It is a figure which shows the operation example of an actuator. 図４の動作と制御との間の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the operation | movement of FIG. 4, and control. 中央制御装置の処理による全体フローを示す図である。It is a figure which shows the whole flow by the process of a central controller. 旋回動作フローを示す図である。It is a figure which shows a turning operation | movement flow. 右搬送アクチュエータ伸び動作フローを示す図である。It is a figure which shows the right conveyance actuator extension operation | movement flow. 同時動作における左搬送アクチュエータ伸び動作フローを示す図である。It is a figure which shows the left conveyance actuator extension operation | movement flow in simultaneous operation | movement. 同時動作における右搬送アクチュエータ縮み動作フローを示す図である。It is a figure which shows the right conveyance actuator shrinkage | contraction operation | movement flow in simultaneous operation | movement. 左搬送アクチュエータ縮み動作フローを示す図である。It is a figure which shows the left conveyance actuator contraction operation | movement flow. 旋回動作における指令を示す図である。It is a figure which shows the command in turning operation | movement. 右搬送アクチュエータ伸び動作における指令を示す図である。It is a figure which shows the command in right conveyance actuator extension operation | movement. 同時動作における指令を示す図である。It is a figure which shows the command in simultaneous operation | movement. 左搬送アクチュエータ縮み動作における指令を示す図である。It is a figure which shows the command in a left conveyance actuator shrinkage | contraction operation | movement. 従来のモータ制御装置を含む全体システムの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the whole system containing the conventional motor control apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ モータ制御装置
２ 負荷
１０ 中央制御装置
１１，１２ 制御部
２０ 左搬送アクチュエータ制御装置
２１，３１，４１ モータ
２２ 左搬送アクチュエータ
３０ 右搬送アクチュエータ制御装置
３２ 右搬送アクチュエータ
４０ 旋回アクチュエータ制御装置
４２ 旋回アクチュエータ
２０１，２０２，２０３，２２１，４０１，４０２，４０３，４２１ 減算器
２１１，４１１ 位置制御モデル
２１２，４１２ 速度制御モデル
２１３，４１３ 電流制御モデル
２１４，４１４ 負荷モデル
２３１，４３１ 位置制御器
２３２，４３２ 速度制御器
２３３，４３３ 電流制御器
２２２，２２３，４２２，４２３ 加減算器
１００１ モータ
１００２ 機械
１００３ モータ制御手段
１００４ 基準指令値記憶手段
１００５ 指令値算出手段
１００６ 時間スケール関数記憶手段
１００７ モータ制御モデル
１００８ 予測モデル
１００９ 最適化手段
１０１０ 指令値生成手段
１０１１ トルク許容値
１０１２ 誤差許容値
１０１３ 被制約変数計測手段
１０１４ 第１のトルク最大値検出手段
１０１５ 第２のトルク誤差最大値検出手段
１０１６ 第１の比較手段
１０１７ 第２の比較手段
１０１８ 第１の許容値修正手段
１０１９ 第２の許容値修正手段
１０２０ 第１の修正許容値
１０２１ 第２の修正許容値 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Motor control apparatus 2 Load 10 Central control apparatus 11,12 Control part 20 Left conveyance actuator control apparatus 21,31,41 Motor 22 Left conveyance actuator 30 Right conveyance actuator control apparatus 32 Right conveyance actuator 40 Turning actuator control apparatus 42 Turning actuator 201 , 202, 203, 221, 401, 402, 403, 421 Subtractor 211, 411 Position control model 212, 412 Speed control model 213, 413 Current control model 214, 414 Load model 231, 431 Position controller 232, 432 Speed control 233, 433 Current controller 222, 223, 422, 423 Adder / Subtractor 1001 Motor 1002 Machine 1003 Motor control means 1004 Reference command value storage means 1005 Command value calculation means 1006 Time scale function description Means 1007 Motor control model 1008 Prediction model 1009 Optimization means 1010 Command value generation means 1011 Allowable torque value 1012 Error tolerance value 1013 Constrained variable measurement means 1014 First torque maximum value detection means 1015 Second torque error maximum value detection means 1016 1st comparison means 1017 2nd comparison means 1018 1st allowable value correction means 1019 2nd allowable value correction means 1020 1st correction allowable value 1021 2nd correction allowable value

Claims (5)

所定の物を搬送するための搬送アクチュエータの駆動軸を回転させることにより、前記搬送アクチュエータを伸縮動作させる第１のモータ、及び、旋回アクチュエータの駆動軸を回転させることにより、前記旋回アクチュエータを旋回動作させる第２のモータをそれぞれ制御するモータ制御装置において、
前記搬送アクチュエータが伸縮方向に振動しないように所定の第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、搬送アクチュエータを所定位置に停止させる搬送制御部と、
前記旋回アクチュエータの旋回制御を行い、旋回アクチュエータを所定位置に停止させる旋回制御部と、を備え、
前記搬送アクチュエータを伸縮動作させる場合に、
前記搬送制御部が、第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、
前記旋回制御部が、搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、旋回アクチュエータの駆動軸が回転しないように第２のモータを維持制御し、
前記旋回アクチュエータを旋回動作させる場合に、
前記搬送制御部が、旋回アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、搬送アクチュエータの駆動軸が旋回アクチュエータの駆動軸に同期して回転するように、第１の位置ゲインよりも大きい第２の位置ゲインを用いて第１のモータを多軸補間制御し、
前記旋回制御部が、前記旋回動作を実現するための旋回制御を行うことを特徴とするモータ制御装置。 Rotating the swing actuator by rotating the drive shaft of the swing actuator by rotating the drive shaft of the transport actuator for rotating the transport actuator by rotating the drive shaft of the transport actuator for transporting a predetermined object A motor control device for controlling each of the second motors,
A conveyance control unit that performs vibration suppression control using a predetermined first position gain so that the conveyance actuator does not vibrate in the expansion and contraction direction, and stops the conveyance actuator at a predetermined position;
A turning control unit that performs turning control of the turning actuator and stops the turning actuator at a predetermined position;
When extending and retracting the transport actuator,
The conveyance control unit performs vibration suppression control using the first position gain,
The turning control unit maintains and controls the second motor so that the driving shaft of the turning actuator does not rotate with the rotation of the driving shaft of the transport actuator,
When turning the turning actuator,
The transport control unit sets a second position gain larger than the first position gain so that the drive shaft of the transport actuator rotates in synchronization with the drive shaft of the swing actuator as the drive shaft of the swing actuator rotates. Using the first motor to control multi-axis interpolation,
The motor control device, wherein the turning control unit performs turning control for realizing the turning operation. 請求項１に記載のモータ制御装置において、
さらに、前記搬送制御部及び旋回制御部に位置指令を出力する中央制御部を備え、
前記中央制御部は、搬送アクチュエータを伸縮動作させるための位置指令として、搬送アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を搬送制御部に出力すると共に、旋回アクチュエータの位置を維持させるための位置指令を旋回制御部に出力し、旋回アクチュエータを旋回動作させるための指令として、搬送アクチュエータを旋回アクチュエータに同期させるための位置指令を搬送制御部に出力すると共に、旋回アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を旋回制御部に出力することを特徴とするモータ制御装置。 The motor control device according to claim 1,
And a central control unit that outputs a position command to the conveyance control unit and the turning control unit,
The central control unit outputs a position command for stopping the conveyance actuator to a predetermined position to the conveyance control unit as a position command for expanding and contracting the conveyance actuator, and a position command for maintaining the position of the turning actuator. Is output to the turning control unit, and as a command for turning the turning actuator, a position command for synchronizing the transfer actuator to the turning actuator is output to the transfer control unit, and the turning actuator is stopped at a predetermined position. A motor control device that outputs a position command to a turning control unit. 請求項１に記載のモータ制御装置において、
搬送アクチュエータと、当該搬送アクチュエータを伸縮動作させる第１のモータと、前記第１のモータを制御する搬送制御部とが、それぞれ対になって複数設けられ、
前記複数の搬送アクチュエータのうちの一つの搬送アクチュエータが伸縮動作する場合に、
前記一つの搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部が、前記第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、
前記複数の搬送アクチュエータのうちの他の搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部が、前記一つの搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、前記他の搬送アクチュエータの駆動軸が回転しないように、前記第１の位置ゲインよりも大きい第２の位置ゲインを用いて、対になっている第１のモータを維持制御し、
前記旋回制御部が、前記一つの搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、旋回アクチュエータの駆動軸が回転しないように第２のモータを維持制御することを特徴とするモータ制御装置。 The motor control device according to claim 1,
A plurality of conveyance actuators, a first motor for extending and contracting the conveyance actuator, and a conveyance control unit for controlling the first motor are provided in pairs,
When one transfer actuator of the plurality of transfer actuators expands and contracts,
A conveyance control unit paired with the one conveyance actuator performs vibration suppression control using the first position gain,
The conveyance control unit paired with another conveyance actuator among the plurality of conveyance actuators, so that the drive shaft of the other conveyance actuator does not rotate with the rotation of the drive axis of the one conveyance actuator. Maintaining and controlling the paired first motors using a second position gain that is greater than the first position gain;
The motor control device, wherein the turning control unit maintains and controls the second motor so that the driving shaft of the turning actuator does not rotate as the driving shaft of the one transport actuator rotates. 請求項３に記載のモータ制御装置において、
さらに、前記搬送制御部及び旋回制御部に位置指令を出力する中央制御部を備え、
前記中央制御部は、前記一つの搬送アクチュエータを伸縮動作させるための位置指令として、前記一つの搬送アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を前記一つの搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部に出力すると共に、前記他の搬送アクチュエータの位置を維持させるための位置指令を前記他の搬送アクチュエータと対になっている搬送制御部に出力し、さらに、旋回アクチュエータの位置を維持させるための位置指令を旋回制御部に出力し、旋回アクチュエータを旋回動作させるための指令として、前記全ての搬送アクチュエータを旋回アクチュエータに同期させるための位置指令をそれぞれの搬送制御部に出力すると共に、旋回アクチュエータを所定位置に停止させるための位置指令を旋回制御部に出力することを特徴とするモータ制御装置。 The motor control device according to claim 3,
In addition, a central control unit that outputs a position command to the transport control unit and the turning control unit,
The central control unit, as a position command for expanding and contracting the one transport actuator, a transport control paired with the one transport actuator as a position command for stopping the one transport actuator at a predetermined position. And a position command for maintaining the position of the other transport actuator is output to the transport control unit paired with the other transport actuator, and further, the position of the turning actuator is maintained. A position command is output to the turning control unit, and as a command for turning the turning actuator, a position command for synchronizing all the transport actuators to the turning actuator is output to each transfer control unit, and the turning actuator is A position command for stopping at a predetermined position is output to the turning control unit. Motor control apparatus according to claim and. 所定の物を搬送するための搬送アクチュエータの駆動軸を第１のモータにより回転させることにより、前記搬送アクチュエータを伸縮動作させ、旋回アクチュエータの駆動軸を第２のモータにより回転させることにより、前記旋回アクチュエータを旋回動作させるモータ制御方法において、
前記搬送アクチュエータを伸縮動作させるための指令に基づいて、搬送アクチュエータが振動しないように所定の第１の位置ゲインを用いて制振制御を行い、搬送アクチュエータを所定位置に停止させるステップと、
前記搬送アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、旋回アクチュエータの駆動軸が回転しないように第２のモータを維持制御するステップと、
前記第１の位置ゲインよりも大きい第２の位置ゲインを設定するステップと、
前記旋回アクチュエータを旋回動作させるための指令に基づいて、前記旋回動作を実現するための旋回制御を行い、旋回アクチュエータを所定位置に停止させるステップと、
前記旋回アクチュエータの駆動軸の回転に伴い、搬送アクチュエータの駆動軸が旋回アクチュエータの駆動軸に同期して回転するように、第２の位置ゲインを用いて第１のモータを多軸補間制御するステップと、
を有することを特徴とするモータ制御方法。 By rotating a drive shaft of a transport actuator for transporting a predetermined object by a first motor, the transport actuator is expanded and contracted, and by rotating a drive shaft of a swing actuator by a second motor, the swivel In the motor control method for turning the actuator,
Performing vibration suppression control using a predetermined first position gain so that the transport actuator does not vibrate based on a command for extending and retracting the transport actuator, and stopping the transport actuator at a predetermined position;
Maintaining and controlling the second motor so that the drive shaft of the turning actuator does not rotate with the rotation of the drive shaft of the transport actuator;
Setting a second position gain larger than the first position gain;
Performing a turning control for realizing the turning operation based on a command for turning the turning actuator, and stopping the turning actuator at a predetermined position;
Performing multi-axis interpolation control of the first motor using the second position gain so that the drive shaft of the transport actuator rotates in synchronization with the drive shaft of the swing actuator as the drive shaft of the swing actuator rotates. When,
A motor control method characterized by comprising:
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