JP2009123814A - 緩衝体及び梱包体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハ搭載用の処理治具を収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形され、処理治具用収納ケースを挟持する可撓性の一対のトレー30とを備え、各トレー30を、容器本体に嵌入されて被覆する嵌入被覆部31と、嵌入被覆部31の周囲に形成されて外方向に伸びるフランジ35と、フランジ35の一部に形成される凹溝38と、フランジ35の残部に形成される凸条39とから形成する。嵌入被覆部31の底を凹凸32に形成し、フランジ35の一部分を折曲してベローズ37を形成し、ベローズ37を嵌入被覆部31と凹溝38及び凸条39の間に介在させ、処理治具用収納ケースを一対のトレー30間に挟む際、一方のトレー30の凹溝38と他方のトレー30の凸条39とを嵌合する。
【選択図】図9
Description
そこで係る問題を解消すべく、アルミニウム製フレームカセットの代わりとして、樹脂製のフレームカセットが提案され、このフレームカセットにテープフレームを収納して直ちに出荷・輸送し、テープフレームの移し替え作業を省く手法が検討されている。
処理治具用収納ケースは、前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内に対向して突出形成され、処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを含み、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
各トレーは、処理治具用収納ケースの容器本体に嵌め入れられて被覆する嵌入被覆部と、この嵌入被覆部の周囲に形成されて外方向に伸びるフランジと、このフランジの一部に形成される凹部と、フランジの残部に形成される凸部とを含み、嵌入被覆部を断面略U字形に形成してその底を凹凸に形成し、フランジの一部分を折り曲げてベローズを形成し、このベローズを嵌入被覆部と凹部及び凸部との間に介在させ、
処理治具用収納ケースを一対のトレー間に挟む際、一方のトレーの凹部と他方のトレーの凸部とを嵌め合わせるようにしたことを特徴としている。
また、トレーを、真空成形あるいは圧空成形することができる。
さらに、トレーの嵌入被覆部における底の隅部を、平面略半円形に形成して処理治具用収納ケースの容器本体との接触を回避する接触回避部とすることが可能である。
また、処理治具用収納ケースの容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する可撓性の蓋体を備え、この蓋体に、処理治具のリングフレームに干渉する膨出部を形成すれば、容器本体に収納された処理治具のがたつきを抑制することができる。
さらに、トレーの嵌入被覆部における底の隅部を、平面略半円形に形成して処理治具用収納ケースの容器本体との接触を回避する接触回避部とすれば、嵌入被覆部の底の隅部が容器本体との接触で損傷するのを抑制し、トレーの反復使用を可能として環境負荷を軽減することができるという効果がある。
すると、容器本体20の挿入溝27にリングフレーム2が水平に挿入されてスライドするとともに、一対の支持片26にリングフレーム2の両側部が下方から略水平に支持され、ストッパ28の傾斜面29にリングフレーム2が案内されて接触・停止し、これらにより、容器本体20内にリングフレーム2が適切に位置決め収納されることになる。
2 リングフレーム
3 粘着層
10 処理治具用収納ケース
20 容器本体
23 側壁
26 支持片
27 挿入溝
28 ストッパ
29 傾斜面
30 トレー
31 嵌入被覆部
32 凹凸
33 有底円筒部
34 接触回避部
35 フランジ
37 ベローズ
38 凹溝(凹部)
39 凸条(凸部)
40 蓋体
41 突部
42 膨出部
43 係止部
50 梱包体
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (6)
- 基板を搭載する処理治具を容器本体内に収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形され、処理治具用収納ケースを挟み持つ可撓性の一対のトレーとを備えた緩衝体であって、
処理治具用収納ケースは、前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁内に対向して突出形成され、処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを含み、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
各トレーは、処理治具用収納ケースの容器本体に嵌め入れられて被覆する嵌入被覆部と、この嵌入被覆部の周囲に形成されて外方向に伸びるフランジと、このフランジの一部に形成される凹部と、フランジの残部に形成される凸部とを含み、嵌入被覆部を断面略U字形に形成してその底を凹凸に形成し、フランジの一部分を折り曲げてベローズを形成し、このベローズを嵌入被覆部と凹部及び凸部との間に介在させ、
処理治具用収納ケースを一対のトレー間に挟む際、一方のトレーの凹部と他方のトレーの凸部とを嵌め合わせるようにしたことを特徴とする緩衝体。 - 処理治具用収納ケースの容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する可撓性の蓋体を備え、この蓋体に、処理治具のリングフレームに干渉する膨出部を形成した請求項1記載の緩衝体。
- トレーを、真空成形あるいは圧空成形した請求項1又は2記載の緩衝体。
- トレーの凹部と凸部とをそれぞれ平面略U字形に形成し、これら凹部と凸部との両端部同士を突き合わせるようにした請求項1、2、又は3記載の緩衝体。
- トレーの嵌入被覆部における底の隅部を、平面略半円形に形成して処理治具用収納ケースの容器本体との接触を回避する接触回避部とした請求項1ないし4いずれかに記載の緩衝体。
- 請求項1ないし5いずれかに記載の緩衝体を収納することを特徴とする梱包体。
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