JP2009121664A - 除振装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ばね材と粘弾性体との特性を発揮させて、ばね材で共振周波数を低く抑えつつ、粘弾性体でばね材の自由振動を低く抑えることにより、振動減衰応答を早くすることができ、かつ、水平維持機能を有し、更に、10Hz以下の低周波領域においても共振現象を抑制できる適用範囲の広く薄型でコンパクトかつ安価な除振装置を提供する。
【解決手段】損失係数(η)が0.05〜0.8である「樹脂ラミネートばね板」をプレス成形により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工し、成形された該板状ばね材と平板状ばね材を荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ね、その両端部及び中央部を鋲止め、スポット溶接或いは樹脂接着し、その中央部に粘弾性体を配することによって上記課題を解決する。
【選択図】図8
【解決手段】損失係数(η)が0.05〜0.8である「樹脂ラミネートばね板」をプレス成形により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工し、成形された該板状ばね材と平板状ばね材を荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ね、その両端部及び中央部を鋲止め、スポット溶接或いは樹脂接着し、その中央部に粘弾性体を配することによって上記課題を解決する。
【選択図】図8
Description
本発明は、精密測定機器や振動を嫌う物体等に設置床からの振動が伝わることを防止することを目的とした除振装置に関するものである。
除振装置は、熱機械分析装置、精密天秤、或いは、プローブ顕微鏡等の精密測定機器や振動を嫌う物体に設置床からの振動が伝わることを防止することを目的として用いられるものであり、設置床と支持体を介して接する下部架台と精密機器を載置する上部架台との間に振動吸収のための除振部(102)を設けている(図1参照)。
例えば、従来の除振装置の除振部は、図5に示す様に、圧縮変形により振動を吸収するコイルスプリング(502)と、圧縮変形と引張り変形による振動の吸収を行う柱状粘弾性体(503)とを同軸上に備えている。これにより、コイルスプリングで振動の伝達を防止しつつ、柱状粘弾性体でコイルスプリングの自由振動を低く抑えることにより、振動減衰応答を早くすることができる(特許文献1参照)。
特開2004−630784
しかしながら、この例では、コイルスプリングと柱状粘弾性体とが独立で下部架台と上部架台との間に設置されているため、載置された精密測定機器の重量を支持するコイルスプリングの強度に対して柱状粘弾性体の振動減衰力が劣る場合があるため、結果として振動減衰性が十分に発揮されない場合があり、その適用範囲が限られたものになっている。
一方、本発明者らは、上記の課題を解決する手段として、振動減衰能のある粘弾性樹脂を間にラミネート状に張合せた樹脂ラミネートばね板(以下、「樹脂ラミネートばね板」という。)をプレス成形により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工し、成形された該「樹脂ラミネートばね板」を荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ね、その両端部及び中央部を鋲止め、スポット溶接或いは樹脂接着してなる除振台部(以下、「ハニカム状ばね」という。)から構成される除振装置を提案している(図2.参照)。これによれば、ばね材と粘弾性樹脂との特性を発揮させて、ばね材で共振周波数を低く抑えつつ、粘弾性樹脂でばね材の自由振動を低く抑えることにより、振動減衰応答を早くすることができ、適用範囲が広く、かつ、薄型でコンパクトな除振装置を提供できる(特許文献2参照)。
特開2007−255690
この技術に於いては、積載装置の重心位置が測定試料の重量等によって変化する場合があるが、除振部への荷重配分に応じて積載面の水平度が変化する。これによって装置の機能に影響が生じ、測定精度を阻害することが発生する。また、測定のために装置に触れると揺れ振動が生じ測定装置の操作性を悪くする。即ち、除振装置には本来の除振性能及び振動減衰性能に加えて積載装置の操作性も要求され、この解決のための水平維持機能が求められている。また、精密測定装置は、10Hz以下の低周波領域の振動にも影響を受けることが知られているので、このような10Hz以下の低周波領域では、従来の除振装置は、共振領域になっているので、十分な除振効果が発揮できないという問題がある。
建物は、その建物の空調設備や周辺の交通機関からの影響を受けて複雑な低周波振動をしている。ここで、精密測定装置は、10Hz以下の低周波領域の振動にも影響を受けることが知られている。このような10Hz以下の低周波領域では、従来の除振装置は、共振領域になっているので、十分な除振効果が発揮できないという問題がある。これに対して、振動の変位を検出して逆方向の力を作用させるようにした、所謂、アクテイブ除振装置は、上記の問題解決のために考案されたものである。しかしながら、このアクテイブ除振装置は、構造が複雑な上に極めて高価なためその用途は特殊な用途に限られている。
上述の如き問題を解決して、ばね材と粘弾性体との特性を発揮させて、ばね材で共振周波数を低く抑えつつ、粘弾性体でばね材の自由振動を低く抑えることにより、振動減衰応答を早くすることができ、10Hz以下の低周波領域においても十分な除振性能を発揮でき、更に、試料荷重を含めた測定装置系全体の偏荷重に対する水平維持機能を持ちかつ操作性の良好な、薄型、コンパクトで安価な除振装置が求められている。
本発明の請求項1記載の除振装置は、振動減衰能のある粘弾性樹脂を間にラミネート状に張合せた板状ばね材をプレス成形により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工し成形された「樹脂ラミネートばね板」を荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ねた「ハニカム状ばね」の各層毎の中央部に粘弾性体を設けることを特徴とする(図3参照)。
これによれば、ばね材と粘弾性体との特性を発揮させて、ばね材で共振周波数を低く抑えつつ、粘弾性体で「ハニカム状ばね」の共振振動を低く抑えることにより、振動減衰応答を早くすることができる。また、「ハニカム状ばね」の各層毎の中央部に粘弾性体を設けることにより、所定の撓みを超えると中央部に装置された粘弾性体の反発力によって荷重に対する撓み量が急激に減少し、所謂、水平維持機能を発揮する。更に、10Hz以下の低周波振動領域においても上記と同様の作用によって低周波振動域の共振振動を抑制することができる。
本発明の請求項2記載の除振装置は、その除振部を構成する「樹脂ラミネートばね板」の損失係数(η)が、0.05〜0.8であることを特徴とする。
これによれば、「樹脂ラミネートばね板」は、ばね材と粘弾性体との特性を発揮させて、ばね材で共振周波数を低く抑えつつ、粘弾性体でばね材の自由振動を低く抑えることにより、振動減衰応答を早くすることができるので、薄型でコンパクトかつ安価な除振装置が提供できる。
本発明の請求項3記載の除振装置は、層状に交互に重ねられた「ハニカム状ばね」の中央部に設けられた粘弾性体は、粘弾性樹脂又はゴムであり、そのばね定数は各層当り20N/mm以上、200N/mm以下であり、その一端のみが「ハニカム状ばね」に固定され、他端は固定されていないことを特徴とする(図3参照)。
これによれば、上記の粘弾性体のばね定数は各層当り20N/mm以上、200N/mm以下と高く設定されているので、所定の撓みを超えると中央部の粘弾性体の反発力によって、荷重に対する撓み量が急激に減少し、所謂、水平維持機能を発揮すると同時に、10Hz以下の低周波数の領域において、共振現象となり振動振幅が大きくなった時に、中央部に配置された上記の粘弾性体が共振現象を抑制するので、共振点における共振倍率を低く抑えることができる。このような作用をする物質は、ポリプロピレン等の粘弾性物質又はゴムである。
本発明の請求項5記載の除振装置は、積載装置の荷重による撓み量が5mm以上、20mm以下の状態で使用することを特徴とする(図6参照)。
これによれば、積載装置の荷重による撓み量を5mm以上20mm以下にすることによって除振装置の共振周波数を3〜5Hzと低くすることができるので、振動伝達率を低くすることができるので水平維持が保たれ、揺れのない操作性の良好な薄型でコンパクトかつ安価な除振装置を提供することができる。
本発明によれば、ばね材と粘弾性体との特性を発揮させて、ばね材で共振周波数を低く抑えつつ、粘弾性体でばね材の自由振動を低く抑えることにより、振動減衰応答を早くすることができ、更に、荷重に対して任意に設定した撓み量を超えると撓み量が急激に減少し、所謂、水平維持機能を発揮し、そして、10Hz以下の低周波領域においても共振現象を抑制できる、適用範囲の広い薄型でコンパクトかつ安価な除振装置を提供することができる。本発明による除振装置は、低周波領域においても、所謂、アクテイブ除振装置に匹敵する優れた除振性能を有する。
「樹脂ラミネートばね板」は、図4に示すように、ばね性のあるステンレス鋼(401)の間に40〜60μmの粘弾性樹脂(402)をラミネート状に張合せたもので、その損失係数(η)は、0.05〜0.8であり、例えば、新日本製鐵(株)製「バイブレス(商品名)」が好適に使われる。
本発明の除振部において、荷重P(N)とその時の撓みδ(mm)とは(1)式の関係にある。
ここで、kは除振部のばね定数(N/mm)である。
また、除振部における共振周波数f(Hz)と撓みδ(mm)とは(2)式の関係にある。ここで、Aは定数である。
従って、積載装置の荷重による撓み量を5〜20mmにすることによって、共振周波数を3〜5Hzになるよう設定することができる(図6.参照)。
また、除振部における共振周波数f(Hz)と撓みδ(mm)とは(2)式の関係にある。ここで、Aは定数である。
このために、「樹脂ラミネートばね板」の寸法形状(板厚、板幅及びスパン長さ)は、載置装置の重量及び所望の除振性能に従って適宜決定される。ばね板の板厚としては、0.6〜1.2mm望ましくは1.0mmが推奨される。このときの重要点は、載置装置の荷重を懸けたとき、除振部の撓み変形(δ)が5〜20mmになるようにその諸元を決定することであり、さらに好ましくは10〜20mmに調整することであり、こうすることによって除振部の系としての共振周波数を3〜5Hzと低くすることができ、所望の振動周波数領域において良好な除振性能を得ることができる。
層状に交互に重ねた「ハニカム状ばね」の各層毎の中央部に設けた粘弾性体は、その各層毎のばね定数は、20N/mm以上、200N/mm以下と高く設定されているので、荷重を掛けた時の撓み量が、任意に設定した撓み量(以下、「設定撓み量」という。)を超えるとそれ以降の変化量に比例した反発力を発生して、「設定撓み量」以上の撓みを少なくする作用をする。これが、前述の水平調整機能の作動原理である。この「設定撓み量」は、ハニカム層間と粘弾性体の厚みの相対位置関係及び粘弾性体のばね定数を既定の範囲内で調整することによって任意に設定ができる。
以下、本発明を好適な実施例によって説明する。本発明は、以下の実施例に拘らず、その技術思想によるものであれば、本発明の範囲であることは言うまでもない。
図3は、実施例1の除振部を示した図である。図3おいて(301)は、「樹脂ラミネートばね板」である。板幅50mm、板厚1.0mmで、損失係数(η)が0.6である「樹脂ラミネートばね板」をプレス成形して、両端部を5mm高さのフランジ状にまた中央部20mmを高さ5mmに凸状にしかつ梁長さを90mmとなるように一体成形した。これを交互に積層し3層となし、両端及び中央部を鋲によって固定した。更に、各層間にばね定数が100N/mmである10mm厚x20mm幅x20mm長の粘弾性体(302)の片端のみを上記「ハニカム状ばね」の中央部に固定した。この除振部の荷重―撓みの関係を図7に示す。一例として、これに16kgの荷重を懸けたところ16mmの撓みが計測された。この状態で除振部に振動を与えた時の振動伝達率―加振周波数の関係を図8に本発明例として示す。
比較例として、板幅50mm、板厚1.0mmの「樹脂ラミネートばね板」をプレス成形して、両端部を5mm高さのフランジ状にまた中央部20mmを高さ5mmに凸状にしかつ梁長さを100mmとなるように一体成形した。これを交互に積層し3層と成し、両端及び中央部を鋲によって固定した(図2参照)。これに7kgの荷重を懸けたところ14mmの撓みが計測された。本発明例と同様の方法で求めた荷重―撓みの関係及び振動伝達率―加振周波数の関係を図7.及び図8.に比較例として示す。
図7は、上記実施例1の除振部の荷重―撓みの関係を示すが、本発明例では「設定撓み量」の13mmを超える時点から荷重に対する撓み量が急激に減少することが分かる。これは、挿入した粘弾性体の反発力によるものであり、これによって水平維持機能が発揮されている。本発明例では16kgの荷重を懸け16mm撓ませた時及び比較例では7kgの荷重を懸け14mm撓ませた時の振動伝達率―加振周波数の試験を行った。その結果を図8に示す。これを纏めて、表1に示す。これによると、本発明例は、10Hz以下の低周波領域において比較例よりも良好な除振性能を示している。即ち、共振周波数での共振現象が挿入した粘弾性ゲルによって抑制されている。また、10Hz以上の加振周波数でも良好な除振性能を示している。
101 除振装置
102 除振部
201 プレス成形した「樹脂ラミネートばね材」
202 下部及び上部架台
301 プレス成形した「樹脂ラミネートばね材」
302 中央部に挿入した粘弾性体
401 「樹脂ラミネートばね材」を構成するばね材
402 「樹脂ラミネートばね材」を構成する粘弾性樹脂
501 コイルスプリング
502 柱状粘弾性樹脂
503 下部及び上部架台
102 除振部
201 プレス成形した「樹脂ラミネートばね材」
202 下部及び上部架台
301 プレス成形した「樹脂ラミネートばね材」
302 中央部に挿入した粘弾性体
401 「樹脂ラミネートばね材」を構成するばね材
402 「樹脂ラミネートばね材」を構成する粘弾性樹脂
501 コイルスプリング
502 柱状粘弾性樹脂
503 下部及び上部架台
Claims (4)
- 振動減衰能のある粘弾性樹脂を間にラミネート状に張合せた板状ばね材をプレス成形により両端をフランジ状に中央部を凸状に一体加工し成形された樹脂ラミネートばね板を荷重によって撓むことができるように層状に交互に重ねたハニカム状ばねの各層毎の中央部に粘弾性体を設けることを特徴とする除振装置。
- 振動減衰能のある粘弾性樹脂を間にラミネート状に張合せた板状ばね材の損失係数(η)が、0.05〜0.8であることを特徴とする請求項1記載の除振装置。
- 層状に交互に重ねられたハニカム状ばねの中央部に設けられた粘弾性体は、粘弾性樹脂又はゴムであり、そのばね定数は、各層当り20N/mm以上、200N/mm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の除振装置。
- 積載装置の荷重による撓み量が5mm以上、20mm以下の状態で使用することを特徴とする請求項1、2又は3記載の除振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007322595A JP2009121664A (ja) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007322595A JP2009121664A (ja) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 除振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009121664A true JP2009121664A (ja) | 2009-06-04 |
Family
ID=40814012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007322595A Pending JP2009121664A (ja) | 2007-11-16 | 2007-11-16 | 除振装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2009121664A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013019531A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Tk Techno Consulting:Kk | 除振装置 |
-
2007
- 2007-11-16 JP JP2007322595A patent/JP2009121664A/ja active Pending
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JP2013019531A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Tk Techno Consulting:Kk | 除振装置 |
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