JP2009117740A - Clamping mechanism, circuit board fixing device, and circuit board inspecting device - Google Patents

Clamping mechanism, circuit board fixing device, and circuit board inspecting device Download PDF

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和彦 関
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clamping mechanism which can surely correct deformations of a circuit board, while surely clamping the circuit board. <P>SOLUTION: The clamping mechanism includes its body 41, which is arranged provided in a base mount for fixing the circuit board; a sliding portion 42, provided arranged in the body 41; and a turning portion 43 provided arranged provided in the sliding portion 42, with the edge of the circuit board being constituted so as to be clampable, where the body 41 includes a first air cylinder 51, which makes a first rod 51a protrude in the base mount and slides its body 41 along the arrow head direction A in the base mount, and where the sliding portion 42 includes a second air cylinder 52, which makes a second rod 52a protrude in the body 41 and slides the sliding portion 42 along the arrowhead direction B; a hinge portion 71 to support turnably the turning portion 43, and a third air cylinder 53, which makes a third rod 53a protrude in the turning portion 43 and turns the turning portion 43, in a direction in which the front end 204 of the body 41 and the front end 205 of the turning portion 43 mutually approach. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、回路基板をクランプするクランプ機構、そのクランプ機構を備えて回路基板を固定する回路基板固定装置、およびその回路基板固定装置を備えて回路基板に対する電気的検査を行う回路基板検査装置に関するものである。   The present invention relates to a clamping mechanism that clamps a circuit board, a circuit board fixing device that includes the clamping mechanism and fixes the circuit board, and a circuit board inspection device that includes the circuit board fixing device and performs electrical inspection on the circuit board. Is.

この種の回路基板固定装置を備えた回路基板検査装置として、特許2899492号公報に開示されたプリント基板の検査装置が知られている。この検査装置は、プリント基板固定装置によって固定されたプリント基板の測定ポイントに対して測定用プローブを当接させて、プリント基板を検査可能に構成されている。この場合、プリント基板固定装置は、ガイド支柱、基台、可動基台、並びに基台および可動基台にそれぞれ配設された把持装置を備えて構成されている。この場合、可動基台は、サーボモータによって回転させられるボールネジの伸縮に伴って縦方向(上下方向)に移動可能に構成されている。また、把持装置は、エアシリンダによって回動させられる伝達軸と、伝達軸のトルク(回動力)がリンクを介して伝達されることによって回動させられる可動爪と、可動爪と共にプリント基板の端縁を把持(クランプ)する固定爪とを備えて構成されている。また、可動爪および固定爪は、プリント基板の両端縁部の略全長に亘っての把持を可能とするため、長尺に形成されている。   As a circuit board inspection apparatus provided with this type of circuit board fixing apparatus, a printed circuit board inspection apparatus disclosed in Japanese Patent No. 2899492 is known. This inspection apparatus is configured such that a printed circuit board can be inspected by bringing a measurement probe into contact with a measurement point of the printed circuit board fixed by the printed circuit board fixing device. In this case, the printed circuit board fixing device includes a guide column, a base, a movable base, and a gripping device disposed on each of the base and the movable base. In this case, the movable base is configured to be movable in the vertical direction (vertical direction) with the expansion and contraction of the ball screw rotated by the servo motor. In addition, the gripping device includes a transmission shaft that is rotated by an air cylinder, a movable claw that is rotated by transmitting torque (rotational power) of the transmission shaft via a link, and an end of the printed circuit board together with the movable claw. And a fixed claw for gripping (clamping) the edge. In addition, the movable claw and the fixed claw are formed long in order to enable gripping over substantially the entire length of both end edges of the printed circuit board.

この検査装置を用いてプリント基板を検査する際には、まず、プリント基板固定装置の各把持装置における固定爪の把持面(挟持面)にプリント基板の両端縁を当接させる。次いで、プリント基板固定装置のエアシリンダを作動させて伝達軸を回動させる。これに伴って両可動爪が回動して、可動爪および固定爪の把持面によってプリント基板の両端縁が把持される。次いで、サーボモータを回転させてボールネジを回転させることにより、可動基台を上方に移動させる。この際に、可動基台の移動に伴ってプリント基板が引っ張られることで、プリント基板の反りが矯正される。このため、測定ポイントの位置ずれの防止が可能となっている。
特許2899492号公報(第2−4頁、第2−3図)
When inspecting a printed circuit board using this inspection device, first, both end edges of the printed circuit board are brought into contact with the gripping surfaces (clamping surfaces) of the fixing claws in each gripping device of the printed circuit board fixing device. Next, the air cylinder of the printed circuit board fixing device is operated to rotate the transmission shaft. Along with this, both movable claws rotate, and both edges of the printed circuit board are gripped by the gripping surfaces of the movable claws and the fixed claws. Next, the movable base is moved upward by rotating the servo motor to rotate the ball screw. At this time, the warping of the printed circuit board is corrected by pulling the printed circuit board as the movable base moves. For this reason, it is possible to prevent displacement of the measurement point.
Japanese Patent No. 2899492 (page 2-4, Fig. 2-3)

ところが、上記の検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この検査装置の把持装置では、エアシリンダで伝達軸を回動させて、その際の伝達軸のトルクを伝達して可動爪を回動させることで、プリント基板の端縁を把持している。この場合、堅いプリント基板に生じている反りを矯正するためには、大きな力でプリント基板を引っ張る必要があり、そのためには、プリント基板の縁部をその長さ方向の全域に亘って確実に把持して両爪からのプリント基板の外れを回避する必要がある。しかしながら、この種の伝達軸では、一般的に、基端部に加えられるトルクによってねじれ応力による変形が発生し、その伝達軸の変形量は先端部に向かうに従って大きくなる。したがって、この検査装置には、この伝達軸のねじれ応力による変形に起因して、可動爪に伝達されるトルクがその先端部に向かうに従って小さくなる結果、プリント基板の縁部を把持する力が可動爪の先端部において不足して、その部分からプリント基板が外れるおそれがあるという問題点が存在する。また、この検査装置の把持装置では、プリント基板を縦方向にのみ引っ張っている。この場合、例えば、プリント基板の縦方向に沿って皺が生じているときには、縦方向への引っ張りだけではこの皺を矯正するのは困難である。したがって、この検査装置には、反りや皺等の変形を確実には矯正できないおそれがあるという問題点も存在する。   However, the above inspection apparatus has the following problems. That is, the gripping device of this inspection apparatus grips the edge of the printed circuit board by rotating the transmission shaft with an air cylinder, transmitting the torque of the transmission shaft at that time, and rotating the movable claw. Yes. In this case, it is necessary to pull the printed circuit board with a large force in order to correct the warp generated in the rigid printed circuit board. For this purpose, the edge of the printed circuit board must be securely extended over the entire length direction. It is necessary to avoid detachment of the printed circuit board from both nails. However, this type of transmission shaft generally undergoes deformation due to torsional stress due to torque applied to the base end, and the amount of deformation of the transmission shaft increases toward the tip. Therefore, in this inspection device, the torque transmitted to the movable claw is reduced toward the tip due to the deformation due to the torsional stress of the transmission shaft, so that the force for gripping the edge of the printed circuit board is movable. There is a problem in that there is a possibility that the printed circuit board may be detached from the tip portion of the nail due to shortage. Further, in the gripping device of this inspection apparatus, the printed circuit board is pulled only in the vertical direction. In this case, for example, when wrinkles are generated along the vertical direction of the printed circuit board, it is difficult to correct the wrinkles only by pulling in the vertical direction. Therefore, this inspection apparatus also has a problem that deformation such as warpage and wrinkles may not be reliably corrected.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、回路基板を確実にクランプすると共に回路基板の変形を確実に矯正し得るクランプ機構、回路基板固定装置および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and provides a clamp mechanism, a circuit board fixing device, and a circuit board inspection device that can reliably clamp a circuit board and reliably correct deformation of the circuit board. The main purpose.

上記目的を達成すべく請求項1記載のクランプ機構は、回路基板固定用の基台に配設されて回路基板の縁部をクランプ可能に構成されたクランプ機構であって、前記基台における第1の方向に沿ってスライド可能に当該基台に配設されると共に前記回路基板における前記縁部の一面側をその先端部で支持する本体部と、前記第1の方向に直交する第2の方向に沿ってスライド可能に前記本体部に配設されたスライド部と、前記第1の方向と平行な回動軸を中心として回動可能に前記スライド部に配設されて前記回路基板における前記縁部の他面側をその先端部で押圧して前記本体部の前記先端部と共に当該縁部をクランプする回動部とを備え、前記本体部は、前記基台の所定部位に向けて第1ロッドを突出させることによって前記第1の方向に沿って当該本体部をスライドさせる第1エアシリンダを備え、前記スライド部は、前記本体部の所定部位に向けて第2ロッドを突出させることによって前記第2の方向に沿って当該スライド部をスライドさせる第2エアシリンダと、前記回動部を回動可能に支持するヒンジ部と、当該ヒンジ部に支持された前記回動部の所定部位に向けて第3ロッドを突出させることによって前記両先端部が互いに近接する向きに当該回動部を回動させる第3エアシリンダとを備えている。   In order to achieve the above object, a clamping mechanism according to claim 1 is a clamping mechanism which is arranged on a base for fixing a circuit board and is configured to be able to clamp an edge of the circuit board. A main body that is disposed on the base so as to be slidable in the direction of 1 and supports the one surface side of the edge of the circuit board by a tip thereof; and a second that is orthogonal to the first direction. A slide portion disposed on the main body portion so as to be slidable along a direction; and the slide portion disposed on the slide portion so as to be rotatable about a rotation axis parallel to the first direction. A pivot portion that presses the other surface side of the edge portion with its distal end portion and clamps the edge portion together with the distal end portion of the main body portion, and the main body portion is moved toward a predetermined portion of the base. The first direction by projecting one rod A first air cylinder that slides the body portion along the slide portion, and the slide portion slides the slide portion along the second direction by projecting a second rod toward a predetermined portion of the body portion. A second air cylinder to be moved; a hinge portion that rotatably supports the rotating portion; and a third rod that protrudes toward a predetermined portion of the rotating portion supported by the hinge portion, so that the both ends And a third air cylinder that rotates the rotating part in a direction in which the parts approach each other.

また、請求項2記載の回路基板固定装置は、請求項1記載のクランプ機構と、前記基台を構成する基台本体と、前記第1の方向とその長さ方向とがそれぞれ一致するように前記基台本体に配設されて当該基台本体と共に前記基台を構成する一対の梁部材と、当該各梁部材の少なくとも一方を前記第2の方向に沿って移動させる移動機構とを備えて前記回路基板を固定可能に構成された回路基板固定装置であって、前記クランプ機構は、前記各梁部材における前記長さ方向に沿って互いに離間する位置に少なくとも2つずつ配設されている。   According to a second aspect of the present invention, there is provided the circuit board fixing device according to the first aspect, wherein the clamping mechanism according to the first aspect, the base body constituting the base, and the first direction and the length direction thereof coincide with each other. A pair of beam members disposed on the base body and constituting the base together with the base body; and a moving mechanism for moving at least one of the beam members along the second direction. In the circuit board fixing device configured to be able to fix the circuit board, at least two of the clamp mechanisms are disposed at positions spaced apart from each other along the length direction of each beam member.

また、請求項3記載の回路基板固定装置は、請求項2記載の回路基板固定装置において、前記各梁部材における前記長さ方向の中央部に固定されて前記回路基板の前記縁部をクランプするセンタークランプ機構を備え、前記各梁部材には前記クランプ機構が2つずつ配設され、当該各クランプ機構は、前記各梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する位置にそれぞれ配設されている。   The circuit board fixing device according to claim 3 is the circuit board fixing device according to claim 2, wherein the edge portion of the circuit board is clamped by being fixed to the central portion in the length direction of each beam member. A center clamp mechanism is provided, and each of the beam members is provided with two clamp mechanisms, and each of the clamp mechanisms is provided at a position spaced apart from each other across the center clamp mechanism in each of the beam members. ing.

また、請求項4記載の回路基板固定装置は、請求項2または3記載の回路基板固定装置において、前記基台本体の所定の固定位置に固定されて前記回路基板の前記第2の方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備え、
前記移動機構は、前記補助クランプ機構の前記固定位置を中心として互いに接離するように前記一対の梁部材の双方を前記第2の方向に沿って移動させる請求項2または3記載の回路基板固定装置。
The circuit board fixing device according to claim 4 is the circuit board fixing device according to claim 2 or 3, wherein the circuit board fixing device is fixed to a predetermined fixing position of the base body along the second direction of the circuit board. An auxiliary clamp mechanism that clamps the edge
4. The circuit board fixing according to claim 2, wherein the moving mechanism moves both of the pair of beam members along the second direction so as to move toward and away from each other around the fixing position of the auxiliary clamp mechanism. apparatus.

また、請求項5記載の回路基板検査装置は、請求項2から4のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a circuit board inspection apparatus that contacts the circuit board fixing device according to any one of the second to fourth aspects and the circuit board fixed by the circuit board fixing apparatus. And a probing device that performs the predetermined electrical inspection on the circuit board based on the electrical signal input through the inspection probe.

請求項1記載のクランプ機構によれば、スライド部のヒンジ部に支持された回動部の所定部位(例えば基端部側)に向けて第3ロッドを突出させることによって本体部の先端部と回動部の先端部とが互いに近接する向きに回動部を回動させる第3エアシリンダを備えてクランプ機構を構成したことにより、伝達軸を回動させてその伝達軸のトルクによって可動爪を回動させることで回路基板を把持する従来の把持装置とは異なり、第3エアシリンダの第3ロッドによって回動部の基端部側を強く押圧することで、回動部の先端部をその幅方向の全域に亘って十分に強い力でしかも均一に回路基板に押し当てることができる結果、回路基板を確実にクランプすることができる。したがって、このクランプ機構によれば、移動機構によって回路基板をクランプしているクランプ機構を第2の方向に強い力で引っ張ったとしても、回路基板がクランプ機構から外れる事態を確実に防止することができる。   According to the clamp mechanism of the first aspect, the third rod protrudes toward a predetermined portion (for example, the base end side) of the rotating portion supported by the hinge portion of the slide portion, and the distal end portion of the main body portion Since the clamp mechanism is configured by including the third air cylinder for rotating the rotating portion in a direction in which the tip of the rotating portion is close to each other, the transmission shaft is rotated and the movable pawl is driven by the torque of the transmission shaft. Unlike the conventional gripping device that grips the circuit board by pivoting, the proximal end side of the pivoting part is strongly pressed by the third rod of the third air cylinder, so that the distal end of the pivoting part is The circuit board can be reliably clamped as a result of being able to press against the circuit board uniformly with a sufficiently strong force over the entire region in the width direction. Therefore, according to this clamping mechanism, even if the clamping mechanism that clamps the circuit board by the moving mechanism is pulled with a strong force in the second direction, it is possible to reliably prevent the circuit board from being detached from the clamping mechanism. it can.

また、請求項2記載の回路基板固定装置によれば、第1の方向に沿って本体部がスライド可能なクランプ機構を、移動機構によって第2の方向に沿って移動させられる一対の梁部材の互いに離間する位置に少なくとも2つずつ配設したことにより、第1の方向および第2方向の双方に回路基板を引っ張ることができる。したがって、この回路基板固定装置によれば、回路基板を縦方向にのみ引っ張る従来の把持装置とは異なり、皺等の変形がどの方向に沿って生じていたとしても、その変形を確実に矯正することができる。   According to the circuit board fixing device of the second aspect of the present invention, the clamp mechanism that can slide the main body portion along the first direction is a pair of beam members that are moved along the second direction by the moving mechanism. By disposing at least two at positions separated from each other, the circuit board can be pulled in both the first direction and the second direction. Therefore, according to this circuit board fixing device, unlike a conventional gripping device that pulls the circuit board only in the vertical direction, the deformation of the heel or the like can be reliably corrected regardless of which direction the deformation occurs. be able to.

また、請求項3記載の回路基板固定装置によれば、各梁部材における長さ方向の中央部に固定されたセンタークランプ機構を挟んで互いに離間した位置にクランプ機構を2つずつ配設したことにより、センタークランプ機構を中心として第1の方向に沿ってセンタークランプ機構から離反する方向に各クランプ機構の本体部を移動させることで、回路基板を第1の方向に沿って均等に引っ張ることかできる。このため、例えば、第1の方向に沿って湾曲するような変形が回路基板に生じていたとしても、回路基板を十分に平坦な状態に矯正することができる。   According to the circuit board fixing device of the third aspect, two clamp mechanisms are arranged at positions spaced apart from each other with the center clamp mechanism fixed to the center portion in the length direction of each beam member. By moving the main body of each clamp mechanism in the direction away from the center clamp mechanism along the first direction with the center clamp mechanism as the center, the circuit board can be pulled evenly along the first direction. it can. For this reason, for example, even if the circuit board is deformed so as to bend along the first direction, the circuit board can be corrected to a sufficiently flat state.

また、請求項4記載の回路基板固定装置によれば、回路基板の第2の方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備えて、移動機構が、補助クランプ機構の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材の双方を第2の方向に沿って移動させることにより、回路基板を第2の方向に沿って均等に引っ張ることかできる。このため、例えば、第2の方向に沿って湾曲するような変形が回路基板に生じていたとしても、回路基板を十分に平坦な状態に矯正することができる。   According to the circuit board fixing device of the fourth aspect, the auxiliary clamp mechanism that clamps the edge along the second direction of the circuit board is provided, and the moving mechanism is centered on the fixing position of the auxiliary clamp mechanism. By moving both of the beam members along the second direction so as to contact and separate from each other, the circuit board can be evenly pulled along the second direction. For this reason, for example, even if the circuit board is deformed so as to bend along the second direction, the circuit board can be corrected to a sufficiently flat state.

また、請求項5記載の回路基板検査装置によれば、請求項2から4のいずれかに記載の回路基板固定装置を備えたことにより、回路基板に皺等の変形が生じていたとしても、回路基板固定装置によってその変形を確実に矯正することができるため、検査対象の導体パターンに検査用プローブを確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。   Further, according to the circuit board inspection apparatus of the fifth aspect, even if the circuit board fixing device according to any one of the second to fourth aspects is provided, Since the deformation can be reliably corrected by the circuit board fixing device, the inspection probe can be reliably brought into contact with the conductor pattern to be inspected, so that the inspection can be performed accurately.

以下、本発明に係るクランプ機構、回路基板固定装置および回路基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, the best mode of a clamp mechanism, a circuit board fixing device, and a circuit board inspection device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、図1に示す検査装置1の構成について説明する。検査装置1は、本発明に係る回路基板検査装置の一例であって、同図に示すように、固定装置2、プロービング装置3および制御部4を備えて、回路基板100に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。この場合、回路基板100は、一例として、矩形に形成された基板本体と、基板本体の表面に形成された導体パターン(図示せず)とで構成されている。   First, the configuration of the inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 will be described. The inspection apparatus 1 is an example of a circuit board inspection apparatus according to the present invention. As shown in the figure, the inspection apparatus 1 includes a fixing device 2, a probing device 3, and a control unit 4, and performs a predetermined electrical inspection on the circuit board 100. Is configured to run. In this case, the circuit board 100 includes, as an example, a board body formed in a rectangular shape and a conductor pattern (not shown) formed on the surface of the board body.

固定装置2は、本発明に係る回路基板固定装置の一例であって、図2に示すように、基台本体11、梁部材12a,12b(以下、区別しないときには「梁部材12」ともいう)、移動機構13、クランプ機構14a〜14d(以下、区別しないときには「クランプ機構14」ともいう)、センタークランプ機構15a,15b(以下、区別しないときには「センタークランプ機構15」ともいう)、補助クランプ機構16a,16b(以下、区別しないときには「補助クランプ機構16」ともいう)、コンプレッサ17(図1参照)および電磁弁18(同図参照)を備えて構成されている。この場合、基台本体11および梁部材12a,12bによって本発明における基台が構成される。   The fixing device 2 is an example of a circuit board fixing device according to the present invention. As shown in FIG. 2, the base body 11, beam members 12a and 12b (hereinafter, also referred to as “beam member 12” when not distinguished). , Moving mechanism 13, clamp mechanisms 14a to 14d (hereinafter also referred to as "clamp mechanism 14" if not distinguished), center clamp mechanisms 15a and 15b (hereinafter also referred to as "center clamp mechanism 15" if not distinguished), and auxiliary clamp mechanism 16a, 16b (hereinafter also referred to as “auxiliary clamp mechanism 16” when not distinguished), a compressor 17 (see FIG. 1), and a solenoid valve 18 (see the same figure). In this case, the base body 11 and the beam members 12a and 12b constitute a base in the present invention.

基台本体11は、図2に示すように、一例として、略長方形の板状に形成されている。また、基台本体11の中央部には、略矩形の開口部11aが形成されている。梁部材12は、図2,4,5に示すように、全体として長尺の板状に形成されている。また、梁部材12には、後述するクランプ機構14の本体部41およびセンタークランプ機構15の本体部41aをそれぞれ嵌め込み可能な3つの凹部91が形成されて構成されている。また、梁部材12は、図2に示すように、基台本体11の長手方向(同図に示す矢印Aの方向)とその長さ方向とが一致するようにして、基台本体11にスライド可能に配設されている。具体的には、梁部材12aは、同図に示すように、基台本体11の幅方向(同図に示す矢印Bの方向)に沿って基台本体11における開口部11aの縁部に配設されたレール21a,21b上を移動可能なスライダー22a,22bにその両端部が固定されている。また、梁部材12bは、レール21a,21b上を移動可能なスライダー22c,22dにその両端部が固定されている。この場合、基台本体11の長手方向(矢印Aの方向)が本発明における第1の方向に相当し、基台本体11の幅方向(矢印Bの方向)が本発明における第2の方向に相当する。   As shown in FIG. 2, the base body 11 is formed in a substantially rectangular plate shape as an example. A substantially rectangular opening 11 a is formed at the center of the base body 11. The beam member 12 is formed in a long plate shape as a whole, as shown in FIGS. The beam member 12 is formed with three concave portions 91 into which a main body 41 of the clamp mechanism 14 and a main body 41a of the center clamp mechanism 15, which will be described later, can be respectively fitted. Further, as shown in FIG. 2, the beam member 12 slides on the base body 11 so that the longitudinal direction of the base body 11 (direction of arrow A shown in FIG. 2) coincides with the length direction thereof. It is arranged to be possible. Specifically, as shown in the figure, the beam member 12a is arranged at the edge of the opening 11a in the base body 11 along the width direction of the base body 11 (direction of arrow B shown in the figure). Both end portions are fixed to sliders 22a and 22b which are movable on the provided rails 21a and 21b. The beam member 12b is fixed at both ends thereof to sliders 22c and 22d that can move on the rails 21a and 21b. In this case, the longitudinal direction (the direction of arrow A) of the base body 11 corresponds to the first direction in the present invention, and the width direction (the direction of arrow B) of the base body 11 is the second direction in the present invention. Equivalent to.

移動機構13は、図2に示すように、モータ31、ベルト32a〜32c(以下、区別しないときには「ベルト32」ともいう)、回転軸33およびプーリ34a〜34f(以下、区別しないときには「プーリ34」ともいう)を備えて構成されている。モータ31は、制御部4の制御に従って駆動軸31aを回転させる。ベルト32aは、同図に示すように、モータ31の駆動軸31aに取り付けられているプーリ34aと回転軸33に取り付けられているプーリ34bとの間に架け渡されて、駆動軸31aのトルク(回転力)を回転軸33に伝達する。また、ベルト32b,32cは、タイミングベルト(歯付きベルト)であって、回転軸33に取り付けられているプーリ34cと基台本体11に取り付けられているプーリ34dとの間、および回転軸33に取り付けられているプーリ34eと基台本体11に取り付けられているプーリ34fとの間にそれぞれ架け渡されている。   As shown in FIG. 2, the moving mechanism 13 includes a motor 31, belts 32 a to 32 c (hereinafter also referred to as “belt 32” when not distinguished), a rotating shaft 33 and pulleys 34 a to 34 f (hereinafter referred to as “pulley 34” when not distinguished). ")". The motor 31 rotates the drive shaft 31 a according to the control of the control unit 4. As shown in the figure, the belt 32a is bridged between a pulley 34a attached to the drive shaft 31a of the motor 31 and a pulley 34b attached to the rotary shaft 33, and the torque ( Rotational force) is transmitted to the rotary shaft 33. The belts 32b and 32c are timing belts (toothed belts) between the pulley 34c attached to the rotating shaft 33 and the pulley 34d attached to the base body 11, and to the rotating shaft 33. They are bridged between the pulley 34e attached and the pulley 34f attached to the base body 11.

また、ベルト32b,32cは、上側(同図における紙面手前側)の所定部位がスライダー22a,22bに形成されているラック(図示せず)に噛合すると共に、下側(同図における紙面奥側)の所定部位がスライダー22c,22dに形成されているラックに噛合している。この構成により、回転軸33が矢印X1の向きに回転したときには、スライダー22a,22bが矢印B1の向きに移動させられると共に、スライダー22c,22dが矢印B2の向きに移動させられる。また、それとは逆に回転軸33が矢印X2の向きに回転したときには、スライダー22a,22bが矢印B2の向きに移動させられると共に、スライダー22c,22dが矢印B1の向きに移動させられる。つまり、移動機構13は、スライダー22a,22bに両端部が固定されている梁部材12a、およびスライダー22c,22dに両端部が固定されている梁部材12bを、レール21a,21bの長さ方向における中央部(後述する補助クランプ機構16a,16bの固定位置)を中心として互いに接離するように矢印Bの方向(第2の方向)に沿って移動させる。   Further, the belts 32b and 32c are meshed with racks (not shown) formed on the sliders 22a and 22b at predetermined portions on the upper side (the front side in the figure), and on the lower side (the back side in the figure). ) Is engaged with a rack formed on the sliders 22c and 22d. With this configuration, when the rotary shaft 33 rotates in the direction of the arrow X1, the sliders 22a and 22b are moved in the direction of the arrow B1, and the sliders 22c and 22d are moved in the direction of the arrow B2. On the contrary, when the rotating shaft 33 rotates in the direction of the arrow X2, the sliders 22a and 22b are moved in the direction of the arrow B2, and the sliders 22c and 22d are moved in the direction of the arrow B1. That is, the moving mechanism 13 converts the beam member 12a whose both ends are fixed to the sliders 22a and 22b and the beam member 12b whose both ends are fixed to the sliders 22c and 22d in the length direction of the rails 21a and 21b. It moves along the direction of the arrow B (second direction) so as to be close to and away from each other around the center (fixed positions of auxiliary clamp mechanisms 16a and 16b described later).

クランプ機構14は、本発明に係るクランプ機構の一例であって、図2,4,5に示すように、各梁部材12におけるセンタークランプ機構15を挟んで互いに離間する位置にそれぞれ配設されて(各梁部材12に2つずつ配設されて)、回路基板100の縁部をクランプ可能に構成されている。具体的には、クランプ機構14は、図3に示すように、本体部41、スライド部42および回動部43を備えて構成されている。本体部41は、図4,5に示すように、矢印Aの方向(第1の方向)に沿ってスライド可能に梁部材12の凹部91に嵌め込まれている。また、本体部41は、固定装置2を用いて回路基板100を固定する際に、回路基板100における縁部の一面101a(図8参照)側をその先端部204(同図における左上側の部分)で支持する。また、本体部41には、図3に示すように、スライド部42を嵌め込み可能な凹部92が形成されている。さらに、本体部41は、第1エアシリンダ51(第1エアシリンダ51の詳細な図示は省略する)およびバネ61を備えて構成されて、凹部91を構成する梁部材12の壁面201(本発明における基台の所定部位:図4,5参照)に向けて第1エアシリンダ51の第1ロッド51aを突出(または突出解除)させることによって矢印Aの方向に沿ってスライドする。この場合、本体部41は、第1エアシリンダ51にエアが供給されていない状態では、バネ61の弾性力によって梁部材12の長さ方向(図4における左右方向)における中央部側に向けて付勢されている。   The clamp mechanism 14 is an example of the clamp mechanism according to the present invention, and is disposed at positions spaced apart from each other with the center clamp mechanism 15 in each beam member 12 interposed therebetween, as shown in FIGS. (Two are disposed on each beam member 12), and the edge of the circuit board 100 is configured to be clamped. Specifically, as shown in FIG. 3, the clamp mechanism 14 includes a main body portion 41, a slide portion 42, and a rotation portion 43. As shown in FIGS. 4 and 5, the main body 41 is fitted in the recess 91 of the beam member 12 so as to be slidable along the direction of the arrow A (first direction). Further, when the circuit board 100 is fixed using the fixing device 2, the main body 41 has one end 101 a (see FIG. 8) side of the edge of the circuit board 100 at the tip end portion 204 (the upper left portion in the figure). ). Further, as shown in FIG. 3, the main body portion 41 is formed with a concave portion 92 into which the slide portion 42 can be fitted. Further, the main body 41 is configured to include a first air cylinder 51 (detailed illustration of the first air cylinder 51 is omitted) and a spring 61, and the wall surface 201 of the beam member 12 constituting the recess 91 (the present invention). The first rod 51a of the first air cylinder 51 protrudes (or is released from the protrusion) toward a predetermined portion of the base (see FIGS. 4 and 5), and slides in the direction of arrow A. In this case, in a state where air is not supplied to the first air cylinder 51, the main body portion 41 is directed toward the central portion in the length direction (the left-right direction in FIG. 4) of the beam member 12 by the elastic force of the spring 61. It is energized.

スライド部42は、図3に示すように、矢印Bの方向(第2の方向)に沿ってスライド可能に本体部41の凹部92に嵌め込まれている(本体部41に配設されている)。また、スライド部42は、一対の第2エアシリンダ52(第2エアシリンダ52の詳細な図示は省略する)および一対のバネ62を備えて構成されて、凹部92を構成する本体部41の基端部側の壁面202(本発明における本体部の所定部位:同図参照)に向けて各第2エアシリンダ52の第2ロッド52aを突出(または突出解除)させことによって矢印Bの方向に沿ってスライドする。この場合、スライド部42は、第2エアシリンダ52にエアが供給されていない状態では、図6示すように、バネ62の弾性力によって本体部41の基端部側(同図における右下側)に向けて付勢されている。   As shown in FIG. 3, the slide portion 42 is fitted in the recess 92 of the main body portion 41 so as to be slidable along the direction of the arrow B (second direction) (arranged in the main body portion 41). . The slide portion 42 includes a pair of second air cylinders 52 (detailed illustration of the second air cylinder 52 is omitted) and a pair of springs 62, and is a base of the main body portion 41 constituting the recess 92. The second rod 52a of each second air cylinder 52 protrudes (or is released) along the direction of arrow B toward the wall surface 202 on the end side (predetermined portion of the main body portion in the present invention: see the figure). And slide. In this case, in the state where air is not supplied to the second air cylinder 52, the slide portion 42 is, as shown in FIG. 6, the base end portion side (lower right side in FIG. 6) of the main body portion 41 by the elastic force of the spring 62. ).

また、スライド部42は、図3に示すように、矢印Aの方向(第1の方向)と平行な回動軸71aを支点(中心)として回動可能に回動部43を支持するヒンジ部71、一対の第3エアシリンダ53(第3エアシリンダ53の詳細な図示は省略する)およびバネ63を備えて構成されている。この場合、ヒンジ部71によって支持された回動部43の基端部側(同図における右下側)の下面203(本発明における回動部の所定部位:同図参照)に向けて各第3エアシリンダ53の第3ロッド53aを突出(または突出解除)させることにより、本体部41の先端部204と回動部43の先端部205とが接離する方向(同図に示す矢印Cの方向)に回動部43が回動させられる。   As shown in FIG. 3, the slide portion 42 is a hinge portion that supports the rotation portion 43 so as to be rotatable about a rotation shaft 71a parallel to the direction of the arrow A (first direction). 71, a pair of third air cylinders 53 (detailed illustration of the third air cylinder 53 is omitted) and a spring 63. In this case, each of the rotating portions 43 supported by the hinge portion 71 is directed toward the lower surface 203 (the lower right side in the drawing) of the rotating portion 43 (the predetermined portion of the rotating portion in the present invention: see the drawing). The third rod 53a of the three air cylinder 53 is protruded (or released), so that the distal end portion 204 of the main body portion 41 and the distal end portion 205 of the rotating portion 43 are in contact with and separated from each other (indicated by the arrow C shown in FIG. Direction) is rotated.

回動部43は、固定装置2を用いて回路基板100を固定する際に、図8に示すように、その先端部205と本体部41の先端部204とが互いに近接する向き(同図に示す矢印C1の向き)に上記した第3エアシリンダ53によって回動させられることにより、回路基板100における縁部の他面101bをその先端部205で押圧して本体部41の先端部と共に回路基板100の縁部をクランプする。この場合、回動部43は、第3エアシリンダ53にエアが供給されていない状態では、図6に示すように、バネ63の弾性力によって本体部41の先端部からその先端部205が離間する姿勢に維持されている。なお、この固定装置2では、図4,5に示すように、クランプ機構14a,14dにおける第1エアシリンダ51やバネ61の配設位置と、クランプ機構14b,14cにおけるこれらの配設位置とが左右逆となるように構成されている。したがって、クランプ機構14a,14dの詳細な図示を省略する。   When the circuit board 100 is fixed by using the fixing device 2, the rotating portion 43 has a direction in which the tip end portion 205 and the tip end portion 204 of the main body 41 are close to each other as shown in FIG. (The direction of the arrow C1 shown) is rotated by the third air cylinder 53 described above, whereby the other surface 101b of the edge of the circuit board 100 is pressed by the front end 205 and the circuit board together with the front end of the main body 41. Clamp 100 edges. In this case, when the air is not supplied to the third air cylinder 53, the rotating portion 43 is separated from the distal end portion 205 of the main body portion 41 by the elastic force of the spring 63 as shown in FIG. 6. Maintained in a posture to do. In the fixing device 2, as shown in FIGS. 4 and 5, the arrangement positions of the first air cylinder 51 and the spring 61 in the clamp mechanisms 14a and 14d and the arrangement positions of the clamp mechanisms 14b and 14c are determined. It is configured to be reversed left and right. Therefore, detailed illustration of the clamp mechanisms 14a and 14d is omitted.

センタークランプ機構15は、本体部41a、並びに上記したスライド部42および回動部43を備えて構成されている。この場合、本体部41aは第1エアシリンダ51およびバネ61を備えていない点を除いて、上記した本体部41とほぼ同様に構成されている。また、本体部41aは、梁部材12の凹部91に嵌め込まれた状態で梁部材12における長さ方向の中央部に固定されて(第1の方向への移動が規制されて)、回路基板100の縁部をクランプする。つまり、センタークランプ機構15は、本体部41aが第1の方向にスライドしない点を除いて、クランプ機構14と同様に構成されている。   The center clamp mechanism 15 includes a main body portion 41 a and the above-described slide portion 42 and rotating portion 43. In this case, the main body 41a is configured in substantially the same manner as the main body 41 described above, except that the first air cylinder 51 and the spring 61 are not provided. Further, the main body portion 41a is fixed to the central portion in the length direction of the beam member 12 while being fitted in the recess 91 of the beam member 12 (the movement in the first direction is restricted), and the circuit board 100 Clamp the edges. That is, the center clamp mechanism 15 is configured in the same manner as the clamp mechanism 14 except that the main body portion 41a does not slide in the first direction.

各補助クランプ機構16は、図2に示すように、開口部11aを挟んで互いに対向するようにして、開口部11aの縁部における基台本体11の幅方向の中央部(本発明における所定の固定位置)に固定されている。また、補助クランプ機構16は、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15によってクランプされる回路基板100の縁部を除く他の縁部をクランプ可能に構成されている。具体的には、補助クランプ機構16は、図9に示すように、本体部81、スライド部82および回動部83を備えて構成されている。本体部81は、図11に示すように、固定装置2を用いて回路基板100を固定する際に、回路基板100における縁部の一面101a側をその先端部206で支持する。また、本体部81には、スライド部82を嵌め込み可能な凹部93が形成されている。   As shown in FIG. 2, each auxiliary clamp mechanism 16 is opposed to each other with the opening 11a interposed therebetween, so that the widthwise central portion of the base body 11 at the edge of the opening 11a (predetermined in the present invention). It is fixed at a fixed position. Further, the auxiliary clamp mechanism 16 is configured to be able to clamp other edges except for the edge of the circuit board 100 clamped by the clamp mechanism 14 and the center clamp mechanism 15. Specifically, as shown in FIG. 9, the auxiliary clamp mechanism 16 includes a main body portion 81, a slide portion 82, and a rotation portion 83. As shown in FIG. 11, the main body 81 supports the one surface 101 a side of the edge of the circuit board 100 with the tip end 206 when the circuit board 100 is fixed using the fixing device 2. The main body 81 is formed with a recess 93 into which the slide portion 82 can be fitted.

スライド部82は、図9に示すように、矢印Aの方向(第1の方向)に沿ってスライド可能に本体部81の凹部93に嵌め込まれている。また、スライド部82は、同図に示すように矢印Bの方向(第2の方向)と平行な回動軸を中心として回動部83を回動可能に支持するヒンジ部(図示せず)を備えて構成されている。回動部83は、スライド部82のヒンジ部に取り付けられて、図11に示すように、本体部81の先端部206とその先端部207とが近接する向き(同図に示す矢印E1の向き)に回動させられたときに、回路基板100における縁部の他面101bを先端部207で押圧して本体部81の先端部206と共に回路基板100をクランプする。   As shown in FIG. 9, the slide portion 82 is fitted in the concave portion 93 of the main body portion 81 so as to be slidable along the direction of the arrow A (first direction). Further, as shown in the figure, the slide portion 82 is a hinge portion (not shown) that supports the rotation portion 83 so as to be rotatable about a rotation axis parallel to the direction of the arrow B (second direction). It is configured with. The rotating portion 83 is attached to the hinge portion of the slide portion 82, and as shown in FIG. 11, the tip portion 206 of the main body portion 81 and the tip portion 207 approach each other (the direction of the arrow E1 shown in the figure). ), The other surface 101b of the edge of the circuit board 100 is pressed by the tip portion 207, and the circuit board 100 is clamped together with the tip portion 206 of the main body 81.

また、補助クランプ機構16は、図9に示すように、第4エアシリンダ54およびバネ64,65を備えて構成されている。この場合、第4エアシリンダ54の第4ロッド54aを突出(または突出解除)させることにより、凹部93に配設されたスライド部82が同図に示す矢印Aの方向に沿って移動させられると共に、スライド部82に配設された回動部83が同図に示す矢印Eの方向に回動させられる。また、第4エアシリンダ54にエアが供給されていない状態では、同図に示すように、バネ64,65の弾性力により、スライド部82が本体部81の基端部側(同図における左側)に位置して、両先端部207,206が互いに離間する姿勢に回動部83が維持されている。   Further, as shown in FIG. 9, the auxiliary clamp mechanism 16 includes a fourth air cylinder 54 and springs 64 and 65. In this case, by causing the fourth rod 54a of the fourth air cylinder 54 to protrude (or to release the protrusion), the slide portion 82 disposed in the recess 93 is moved along the direction of the arrow A shown in FIG. The rotating portion 83 disposed on the slide portion 82 is rotated in the direction of arrow E shown in FIG. Further, in the state in which no air is supplied to the fourth air cylinder 54, as shown in the figure, the slide part 82 is moved to the base end side of the main body part 81 (the left side in the figure by the elastic force of the springs 64, 65). ), And the rotating portion 83 is maintained in a posture in which both the tip portions 207 and 206 are separated from each other.

コンプレッサ17は、エア(圧縮空気)を供給する。電磁弁18は、図外のエアチューブによってコンプレッサ17、第1エアカプラ51bの第1エアカプラ51b(図3参照)、第2エアシリンダ52の第2エアカプラ52b(同図参照)、第3エアシリンダ53の第3エアカプラ53b(同図参照)および第4エアシリンダ54の第4エアカプラ54b(図9参照)に連結されており、制御部4の制御に従い、エアチューブおよび各エアカプラ51b,52b,53b,54bを介しての各エアシリンダ51〜54に対するコンプレッサ17からのエアの供給および供給停止を行う。   The compressor 17 supplies air (compressed air). The solenoid valve 18 includes an air tube (not shown), the compressor 17, the first air coupler 51b of the first air coupler 51b (see FIG. 3), the second air coupler 52b of the second air cylinder 52 (see the same figure), and the third air cylinder 53. Are connected to the third air coupler 53b (see FIG. 9) and the fourth air coupler 54b (see FIG. 9) of the fourth air cylinder 54. Under the control of the control unit 4, the air tubes and the air couplers 51b, 52b, 53b, The supply of air from the compressor 17 to the air cylinders 51 to 54 through 54b and the supply stop are performed.

プロービング装置3は、図1に示すように、回路基板100の導体パターンに接触させる検査用プローブ301と、制御部4の制御に従って検査用プローブ301を移動させる移動機構302とを備えて構成されている。制御部4は、電磁弁18を制御して各エアシリンダ51〜54に対するエアの供給および供給停止を行う。また、制御部4は、プロービング装置3の移動機構302を制御することにより、検査用プローブ301を回路基板100の導体パターンに接触させる。さらに、制御部4は、本発明における検査部として機能し、検査用プローブ301を介して入力した電気信号Sに基づいて所定の電気的検査を実行する。   As shown in FIG. 1, the probing device 3 includes an inspection probe 301 that is brought into contact with the conductor pattern of the circuit board 100 and a moving mechanism 302 that moves the inspection probe 301 according to the control of the control unit 4. Yes. The control unit 4 controls the electromagnetic valve 18 to supply and stop supplying air to the air cylinders 51 to 54. Further, the control unit 4 controls the moving mechanism 302 of the probing device 3 to bring the inspection probe 301 into contact with the conductor pattern of the circuit board 100. Further, the control unit 4 functions as an inspection unit in the present invention, and executes a predetermined electrical inspection based on the electrical signal S input via the inspection probe 301.

次に、検査装置1を用いて回路基板100を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。   Next, a method for inspecting the circuit board 100 using the inspection apparatus 1 will be described with reference to the accompanying drawings.

まず、図外の操作部を操作して、回路基板100の大きさ等の各種設定値を入力する。次いで、制御部4がモータ31を制御して、所定の回転方向に所定の回転数だけ駆動軸31aを回転させる。続いて、駆動軸31aのトルクがベルト32aを介して回転軸33に伝達されて回転軸33が回転し、これに伴ってベルト32b,32cが牽引されて、各スライダー22a〜22dおよび梁部材12a,12bが、回路基板100の大きさに対応する移動量だけ矢印B1または矢印B2の向きに移動させられる。次いで、図12に示すように、各クランプ機構14における本体部41の先端部204、各センタークランプ機構15における本体部41aの先端部204a、および各補助クランプ機構16における本体部81の先端部206に回路基板100における一面101aの縁部を当接させるようにして載置する。   First, an operation unit (not shown) is operated to input various set values such as the size of the circuit board 100. Next, the control unit 4 controls the motor 31 to rotate the drive shaft 31a by a predetermined number of rotations in a predetermined rotation direction. Subsequently, the torque of the drive shaft 31a is transmitted to the rotary shaft 33 via the belt 32a, and the rotary shaft 33 rotates, and the belts 32b and 32c are pulled accordingly, and the sliders 22a to 22d and the beam member 12a are pulled. , 12b are moved in the direction of arrow B1 or arrow B2 by the amount of movement corresponding to the size of the circuit board 100. Next, as shown in FIG. 12, the front end portion 204 of the main body portion 41 in each clamp mechanism 14, the front end portion 204 a of the main body portion 41 a in each center clamp mechanism 15, and the front end portion 206 of the main body portion 81 in each auxiliary clamp mechanism 16. The circuit board 100 is placed so that the edge of the one surface 101a is brought into contact with the circuit board 100.

続いて、操作部を操作して測定を開始させる。この際に、コンプレッサ17が、エアの供給を開始する。次いで、制御部4が、電磁弁18を制御して、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15の第2エアシリンダ52にエアを供給させる。この際に、図7に示すように、各第2エアシリンダ52の第2ロッド52aが本体部41の基端部側の壁面202(クランプ機構14a,14bにおいては、図2に示す矢印B1の向き、クランプ機構14c,14dにおいては、同図に示す矢印B2の向き)に突出し、これに伴い、スライド部42が本体部41の先端部204側(クランプ機構14a,14bにおいては、同図に示す矢印B2の向き、クランプ機構14c,14dにおいては、同図に示す矢印B1の向き)にスライドさせられる。続いて、制御部4は、電磁弁18を制御して、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15の第3エアシリンダ53にエアを供給させる。この際に、図8に示すように、各第3エアシリンダ53の第3ロッド53aが同図に示す矢印D1の向きに突出して回動部43の基端部側(同図における右下側の部位)の下面203を押圧し、これに伴って回動部43が同図に示す矢印C1の向きに回動させられる。これにより、回動部43の先端部205が回路基板100の他面101bを押圧する結果、回動部43の先端部205と本体部41(本体部41a)の先端部204(先端部204a)とによって回路基板100の縁部がクランプされる。   Subsequently, the operation unit is operated to start measurement. At this time, the compressor 17 starts supplying air. Next, the control unit 4 controls the electromagnetic valve 18 to supply air to the second air cylinder 52 of the clamp mechanism 14 and the center clamp mechanism 15. At this time, as shown in FIG. 7, the second rod 52a of each second air cylinder 52 is connected to the wall 202 on the base end side of the main body 41 (in the clamp mechanisms 14a and 14b, the arrow B1 shown in FIG. The direction and the clamp mechanisms 14c and 14d protrude in the direction of the arrow B2 shown in the figure, and accordingly, the slide part 42 is located on the distal end part 204 side of the main body 41 (the clamp mechanisms 14a and 14b show the same figure). In the direction of the arrow B2 shown, the clamp mechanisms 14c and 14d are slid in the direction of the arrow B1 shown in FIG. Subsequently, the control unit 4 controls the electromagnetic valve 18 to supply air to the third air cylinder 53 of the clamp mechanism 14 and the center clamp mechanism 15. At this time, as shown in FIG. 8, the third rod 53a of each third air cylinder 53 protrudes in the direction of the arrow D1 shown in FIG. ) Is pressed, and the rotating portion 43 is rotated in the direction of the arrow C1 shown in FIG. Thereby, as a result of the tip part 205 of the rotation part 43 pressing the other surface 101b of the circuit board 100, the tip part 205 of the rotation part 43 and the tip part 204 (tip part 204a) of the main body part 41 (main body part 41a). As a result, the edge of the circuit board 100 is clamped.

この場合、このクランプ機構14(およびセンタークランプ機構15)では、回動部43の基端部側の下面203に第3エアシリンダ53の第3ロッド53aを突出させて直接押圧することによって回動軸71aを支点として回動部43を回動させて回路基板100をクランプしている。このため、伝達軸を回動させてその伝達軸のトルクによって可動爪を回動させることで回路基板を把持する従来の把持装置とは異なり、第3エアシリンダ53によって回動部43の基端部側を強く押圧することで、回動部43の先端部205をその幅方向の全域に亘って十分に強い力でしかも均一に回路基板100に押し当てることができる結果、回路基板100を確実にクランプすることが可能となっている。したがって、このクランプ機構14では、回路基板100をクランプしているクランプ機構14(クランプ機構14が配設されている梁部材12)を、後述するように移動機構13によって矢印Bの方向(第2の方向)に沿って強い力で引っ張ったとしても、回路基板100がクランプ機構14から外れる事態を確実に防止することが可能となっている。   In this case, in the clamp mechanism 14 (and the center clamp mechanism 15), the third rod 53a of the third air cylinder 53 protrudes from the lower surface 203 on the proximal end side of the rotation portion 43 and is directly pressed to rotate. The circuit board 100 is clamped by rotating the rotating part 43 about the shaft 71a. For this reason, unlike the conventional gripping device that grips the circuit board by rotating the transmission shaft and rotating the movable claw by the torque of the transmission shaft, the base end of the rotating portion 43 is driven by the third air cylinder 53. By strongly pressing the portion side, the tip end portion 205 of the rotating portion 43 can be pressed against the circuit board 100 with a sufficiently strong force and uniformly over the entire width direction. It is possible to clamp to. Therefore, in this clamping mechanism 14, the clamping mechanism 14 (the beam member 12 on which the clamping mechanism 14 is disposed) that clamps the circuit board 100 is moved in the direction of the arrow B (second state) by the moving mechanism 13 as described later. It is possible to reliably prevent the circuit board 100 from being detached from the clamp mechanism 14 even if it is pulled with a strong force along the direction of

次いで、制御部4は、電磁弁18を制御して、各クランプ機構14の第1エアシリンダ51にエアを供給させる。この際に、クランプ機構14a,14cにおける第1エアシリンダ51の第1ロッド51aが図2に示す矢印A2の向きに突出し(図8参照)、これに伴い、本体部41が図2に示す矢印A1の向きにスライドさせられる。また、クランプ機構14b,14dにおける第1エアシリンダ51の第1ロッド51aが同図に示す矢印A1の向きに突出し(図8参照)、これに伴い、本体部41が図2に示す矢印A2の向きにスライドさせられる。これにより、各クランプ機構14によってクランプされている回路基板100が矢印A1,A2の向き(外向き)に引っ張られる結果、回路基板100に矢印Bの方向に沿って皺が生じているときにはその皺が確実に矯正される。   Next, the control unit 4 controls the electromagnetic valve 18 to supply air to the first air cylinder 51 of each clamp mechanism 14. At this time, the first rod 51a of the first air cylinder 51 in the clamping mechanisms 14a and 14c protrudes in the direction of the arrow A2 shown in FIG. 2 (see FIG. 8), and accordingly, the main body portion 41 moves to the arrow shown in FIG. Slide in the direction of A1. Further, the first rod 51a of the first air cylinder 51 in the clamp mechanisms 14b and 14d protrudes in the direction of the arrow A1 shown in FIG. 8 (see FIG. 8), and accordingly, the main body portion 41 moves in the direction of the arrow A2 shown in FIG. Slide in the direction. As a result, when the circuit board 100 clamped by each clamp mechanism 14 is pulled in the directions (outwards) of the arrows A1 and A2, when the circuit board 100 is wrinkled along the direction of the arrow B, Is surely corrected.

続いて、制御部4は、電磁弁18を制御して、各補助クランプ機構16の第4エアシリンダ54にエアを供給させる。この際に、図10に示すように、補助クランプ機構16aにおける第4エアシリンダ54の第4ロッド54aがスライド部82側に向けて突出し、これに伴って第4ロッド54aの先端部に取り付けられている押圧部材54cが回動部83のベアリング83aを押圧し、これによってスライド部82および回動部83が前方(補助クランプ機構16aにおいては、図2に示す矢印A2の向き、補助クランプ機構16bにおいては、同図に示す矢印A1の向き)に移動させられる。次いで、第4ロッド54aがさらに突出したときには、図11に示すように、回動部83が同図に示す矢印E1の向きに回動させられる。これにより、回動部83の先端部207が回路基板100の他面101bを押圧する結果、本体部81の先端部206と回動部83の先端部207とによって回路基板100の縁部がクランプされる。   Subsequently, the control unit 4 controls the electromagnetic valve 18 to supply air to the fourth air cylinder 54 of each auxiliary clamp mechanism 16. At this time, as shown in FIG. 10, the fourth rod 54a of the fourth air cylinder 54 in the auxiliary clamp mechanism 16a protrudes toward the slide portion 82, and is attached to the tip of the fourth rod 54a accordingly. The pressing member 54c presses the bearing 83a of the rotating portion 83, whereby the slide portion 82 and the rotating portion 83 move forward (in the auxiliary clamp mechanism 16a, the direction of the arrow A2 shown in FIG. Is moved in the direction of arrow A1 shown in FIG. Next, when the fourth rod 54a further protrudes, as shown in FIG. 11, the turning portion 83 is turned in the direction of the arrow E1 shown in FIG. As a result, the distal end portion 207 of the rotating portion 83 presses the other surface 101 b of the circuit board 100, so that the edge portion of the circuit board 100 is clamped by the distal end portion 206 of the main body portion 81 and the distal end portion 207 of the rotating portion 83. Is done.

続いて、制御部4は、モータ31を制御して、図12に示すように、駆動軸31aを矢印X1の向きに回転させる。この際に、駆動軸31aのトルクがベルト32aを介して回転軸33に伝達されて回転軸33が矢印X1の向きに回転し、これに伴ってベルト32b,32cが牽引されて、各スライダー22a,22bおよび梁部材12aが矢印B1の向きに移動させられると共に、スライダー22c,22dおよび梁部材12bが矢印B2の向きに移動させられる。これにより、回路基板100が矢印B1,B2の向き(外向き)に引っ張られる結果、回路基板100に矢印Aの方向に沿って皺が生じているときにはその皺が確実に矯正される。   Subsequently, the control unit 4 controls the motor 31 to rotate the drive shaft 31a in the direction of the arrow X1 as shown in FIG. At this time, the torque of the drive shaft 31a is transmitted to the rotary shaft 33 via the belt 32a, and the rotary shaft 33 rotates in the direction of the arrow X1, and the belts 32b and 32c are pulled by this, and each slider 22a is pulled. 22b and beam member 12a are moved in the direction of arrow B1, and sliders 22c and 22d and beam member 12b are moved in the direction of arrow B2. As a result, when the circuit board 100 is pulled in the directions (outwards) of the arrows B1 and B2, when wrinkles are generated along the direction of the arrow A in the circuit board 100, the wrinkles are reliably corrected.

次いで、制御部4は、プロービング装置3の移動機構302を制御することにより、検査用プローブ301を移動させて回路基板100における検査対象の導体パターンに接触させる。この場合、回路基板100に皺等の変形が生じていたとしても、上記したように固定装置2によってその変形が確実に矯正されているため、検査対象の導体パターンに検査用プローブ301が確実に接触される。続いて、制御部4は、検査用プローブ301を介して入力した電気信号Sに基づいて所定の電気的検査を実行する。この後、回路基板100についての検査を終了したときには、制御部4は、電磁弁18を制御して、各エアシリンダ51〜54に対するエアの供給を停止する。これにより、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15における回動部43の先端部205、並びに補助クランプ機構16における回動部83の先端部207が、バネ63,64の弾性力によって本体部41,41a,81の先端部204,205,206から離間する向きにそれぞれ回動させられて、各クランプ機構14,15,16による回路基板100のクランプが解除される。   Next, the control unit 4 controls the moving mechanism 302 of the probing apparatus 3 to move the inspection probe 301 to contact the conductor pattern to be inspected on the circuit board 100. In this case, even if deformation such as wrinkles has occurred in the circuit board 100, the deformation is reliably corrected by the fixing device 2 as described above, so that the inspection probe 301 is reliably attached to the conductor pattern to be inspected. Touched. Subsequently, the control unit 4 performs a predetermined electrical inspection based on the electrical signal S input via the inspection probe 301. Thereafter, when the inspection of the circuit board 100 is finished, the control unit 4 controls the electromagnetic valve 18 to stop the supply of air to the air cylinders 51 to 54. As a result, the distal end portion 205 of the rotating portion 43 in the clamp mechanism 14 and the center clamp mechanism 15 and the distal end portion 207 of the rotating portion 83 in the auxiliary clamp mechanism 16 are brought into contact with the main body portions 41 and 41a by the elastic force of the springs 63 and 64. , 81 are respectively rotated in directions away from the tip portions 204, 205, 206 of the circuit board 81, and the clamp of the circuit board 100 by the clamp mechanisms 14, 15, 16 is released.

このように、このクランプ機構14、固定装置2および検査装置1によれば、スライド部42のヒンジ部71に支持された回動部43の基端部側の下面203に向けて第3ロッド53aを突出させることによって本体部41の先端部204と回動部43の先端部205とが互いに近接する向きに回動部43を回動させる第3エアシリンダ53を備えてクランプ機構14を構成したことにより、伝達軸を回動させてその伝達軸のトルクによって可動爪を回動させることで回路基板を把持する従来の把持装置とは異なり、第3エアシリンダ53の第3ロッド53aによって回動部43の基端部側の下面203を強く押圧することで、回動部43の先端部205をその幅方向の全域に亘って十分に強い力でしかも均一に回路基板100に押し当てることができる結果、回路基板100を確実にクランプすることができる。したがって、このクランプ機構14、固定装置2および検査装置1によれば、回路基板100をクランプしているクランプ機構14を第2の方向に強い力で引っ張ったとしても、回路基板100がクランプ機構14から外れる事態を確実に防止することができる。   Thus, according to the clamp mechanism 14, the fixing device 2, and the inspection device 1, the third rod 53 a is directed toward the lower surface 203 on the base end side of the rotating portion 43 supported by the hinge portion 71 of the slide portion 42. The clamp mechanism 14 is configured by including a third air cylinder 53 that rotates the rotating portion 43 in a direction in which the distal end portion 204 of the main body portion 41 and the distal end portion 205 of the rotating portion 43 approach each other. Thus, unlike the conventional gripping device that grips the circuit board by rotating the transmission shaft and rotating the movable claw by the torque of the transmission shaft, it is rotated by the third rod 53a of the third air cylinder 53. By strongly pressing the lower surface 203 on the base end portion side of the portion 43, the distal end portion 205 of the rotating portion 43 is pressed against the circuit board 100 evenly with a sufficiently strong force over the entire width direction. DOO can result, you are possible to reliably clamp the circuit board 100. Therefore, according to the clamp mechanism 14, the fixing device 2, and the inspection device 1, even if the clamp mechanism 14 that clamps the circuit board 100 is pulled with a strong force in the second direction, the circuit board 100 is not clamped. It is possible to surely prevent the situation from falling off.

また、この固定装置2および検査装置1によれば、第1の方向に沿って本体部41がスライド可能なクランプ機構14を、移動機構13によって第2の方向に沿って移動させられる一対の梁部材12の互いに離間する位置に複数(上記の例では2つ)ずつ配設して固定装置2を構成したことにより、第1の方向および第2方向の双方に回路基板100を引っ張ることができる。したがって、このクランプ機構14、固定装置2および検査装置1によれば、回路基板を縦方向にのみ引っ張る従来の把持装置とは異なり、皺等の変形がどの方向に沿って生じていたとしても、その変形を確実に矯正することができる。   Further, according to the fixing device 2 and the inspection device 1, the pair of beams that can move the clamp mechanism 14 slidable along the first direction along the first direction along the second direction by the moving mechanism 13. Since the fixing device 2 is configured by arranging a plurality (two in the above example) of the members 12 at positions separated from each other, the circuit board 100 can be pulled in both the first direction and the second direction. . Therefore, according to the clamp mechanism 14, the fixing device 2, and the inspection device 1, unlike the conventional gripping device that pulls the circuit board only in the vertical direction, no matter which direction the deformation of the wrinkles occurs, The deformation can be reliably corrected.

また、この固定装置2および検査装置1によれば、各梁部材12における長さ方向の中央部に固定されたセンタークランプ機構15を挟んで互いに離間した位置にクランプ機構14を2つずつ配設したことにより、センタークランプ機構15を中心として第1の方向に沿ってセンタークランプ機構15から離反する方向に各クランプ機構14の本体部41を移動させることで、回路基板100を第1の方向に沿って均等に引っ張ることかできる。このため、例えば、第1の方向に沿って湾曲するような変形が回路基板100に生じていたとしても、回路基板100を十分に平坦な状態に矯正することができる。   Further, according to the fixing device 2 and the inspection device 1, two clamp mechanisms 14 are disposed at positions spaced apart from each other with the center clamp mechanism 15 fixed at the center in the length direction of each beam member 12. As a result, the circuit board 100 is moved in the first direction by moving the main body 41 of each clamp mechanism 14 in the direction away from the center clamp mechanism 15 along the first direction around the center clamp mechanism 15. Can be pulled evenly along. For this reason, for example, even if the circuit board 100 is deformed to be bent along the first direction, the circuit board 100 can be corrected to a sufficiently flat state.

さらに、この固定装置2および検査装置1によれば、回路基板100の第2の方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構16を備えて、移動機構13が、補助クランプ機構16の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材12の双方を第2の方向に沿って移動させることにより、回路基板100を第2の方向に沿って均等に引っ張ることかできる。このため、例えば、第2の方向に沿って湾曲するような変形が回路基板100に生じていたとしても、回路基板100を十分に平坦な状態に矯正することができる。   Furthermore, according to the fixing device 2 and the inspection device 1, the auxiliary clamp mechanism 16 that clamps the edge portion along the second direction of the circuit board 100 is provided, and the moving mechanism 13 is fixed to the auxiliary clamp mechanism 16. By moving both the beam members 12 along the second direction so as to be close to and away from each other about the center, the circuit board 100 can be evenly pulled along the second direction. For this reason, for example, even if the circuit board 100 is deformed so as to bend along the second direction, the circuit board 100 can be corrected to a sufficiently flat state.

また、検査装置1によれば、上記の固定装置2を備えたことにより、回路基板100に皺等の変形が生じていたとしても、固定装置2によってその変形を確実に矯正することができるため、検査対象の導体パターンに検査用プローブ301を確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。   In addition, according to the inspection apparatus 1, since the fixing device 2 is provided, even if the circuit board 100 is deformed such as a wrinkle, the fixing device 2 can reliably correct the deformation. The inspection probe 301 can be reliably brought into contact with the conductor pattern to be inspected, so that the inspection can be performed accurately.

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、各梁部材12にクランプ機構14を2つずつ配設した構成例について上記したが、梁部材12に配設するクランプ機構14の数は2つに限定されず、3つ以上の任意の数に規定することができる。また、移動機構13が、補助クランプ機構16の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材12の双方を第2の方向に沿って移動させる構成例について上記したが、両梁部材12のいずれか一方だけを移動させる構成を採用することもできる。また、補助クランプ機構16を備えた構成例について上記したが、補助クランプ機構16を備えていない構成を採用することができる。   In addition, this invention is not limited to said structure. For example, the configuration example in which two clamp mechanisms 14 are disposed on each beam member 12 has been described above, but the number of clamp mechanisms 14 disposed on the beam member 12 is not limited to two, and any number of three or more arbitrary Can be specified in numbers. Moreover, although the moving mechanism 13 has been described above with respect to the configuration example in which both the beam members 12 are moved along the second direction so as to be moved toward and away from each other with the fixed position of the auxiliary clamp mechanism 16 as the center, the both beam members 12 have been described above. It is also possible to adopt a configuration in which only one of these is moved. In addition, although the configuration example including the auxiliary clamp mechanism 16 has been described above, a configuration that does not include the auxiliary clamp mechanism 16 may be employed.

検査装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of an inspection apparatus 1. FIG. 固定装置2の平面図である。3 is a plan view of the fixing device 2. FIG. 回動部43を取り外した状態のクランプ機構14の斜視図である。It is a perspective view of clamp mechanism 14 in the state where rotation part 43 was removed. クランプ機構14およびセンタークランプ機構15を梁部材12に配設した状態の平面図である。3 is a plan view of a state in which a clamp mechanism 14 and a center clamp mechanism 15 are disposed on a beam member 12. FIG. クランプ機構14およびセンタークランプ機構15を梁部材12に配設した状態の斜視図である。2 is a perspective view of a state in which a clamp mechanism 14 and a center clamp mechanism 15 are disposed on a beam member 12. FIG. クランプ機構14の動作を説明するための第1の説明図である。FIG. 6 is a first explanatory diagram for explaining the operation of the clamp mechanism 14. クランプ機構14の動作を説明するための第2の説明図である。FIG. 10 is a second explanatory diagram for explaining the operation of the clamp mechanism 14. クランプ機構14の動作を説明するための第3の説明図である。FIG. 10 is a third explanatory diagram for explaining the operation of the clamp mechanism 14. 補助クランプ機構16の斜視図である。3 is a perspective view of an auxiliary clamp mechanism 16. FIG. 補助クランプ機構16の動作を説明するための第1の説明図である。FIG. 6 is a first explanatory diagram for explaining the operation of the auxiliary clamp mechanism 16. 補助クランプ機構16の動作を説明するための第2の説明図である。FIG. 10 is a second explanatory diagram for explaining the operation of the auxiliary clamp mechanism 16. 固定装置2に対する回路基板100の固定方法を説明するための説明図である。5 is an explanatory diagram for explaining a method of fixing the circuit board 100 to the fixing device 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 検査装置
3 プロービング装置
4 制御部
11 基台本体
12a,12b 梁部材
13 移動機構
14a〜14d クランプ機構
15a,15b センタークランプ機構
16a,16b 補助クランプ機構
41 本体部
42 スライド部
43 回動部
51 第1エアシリンダ
51a 第1ロッド
52 第2エアシリンダ
52a 第2ロッド
53 第3エアシリンダ
53a 第3ロッド53a
71 ヒンジ部
71a 回動軸
92 凹部
100 回路基板
101a 一面
101b 他面
201,202 壁面
203 下面
204,204a,205〜207 先端部
301 検査用プローブ
302 移動機構
A,B 方向
S 電気信号
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection apparatus 3 Probing apparatus 4 Control part 11 Base body 12a, 12b Beam member 13 Movement mechanism 14a-14d Clamp mechanism 15a, 15b Center clamp mechanism 16a, 16b Auxiliary clamp mechanism 41 Main body part 42 Slide part 43 Rotating part 51 First 1 air cylinder 51a first rod 52 second air cylinder 52a second rod 53 third air cylinder 53a third rod 53a
71 Hinge portion 71a Rotating shaft 92 Recessed portion 100 Circuit board 101a One surface 101b Other surface 201, 202 Wall surface 203 Lower surface 204, 204a, 205-207 Tip portion 301 Inspection probe 302 Moving mechanism A, B direction S Electric signal

Claims (5)

回路基板固定用の基台に配設されて回路基板の縁部をクランプ可能に構成されたクランプ機構であって、
前記基台における第1の方向に沿ってスライド可能に当該基台に配設されると共に前記回路基板における前記縁部の一面側をその先端部で支持する本体部と、前記第1の方向に直交する第2の方向に沿ってスライド可能に前記本体部に配設されたスライド部と、前記第1の方向と平行な回動軸を中心として回動可能に前記スライド部に配設されて前記回路基板における前記縁部の他面側をその先端部で押圧して前記本体部の前記先端部と共に当該縁部をクランプする回動部とを備え、
前記本体部は、前記基台の所定部位に向けて第1ロッドを突出させることによって前記第1の方向に沿って当該本体部をスライドさせる第1エアシリンダを備え、
前記スライド部は、前記本体部の所定部位に向けて第2ロッドを突出させることによって前記第2の方向に沿って当該スライド部をスライドさせる第2エアシリンダと、前記回動部を回動可能に支持するヒンジ部と、当該ヒンジ部に支持された前記回動部の所定部位に向けて第3ロッドを突出させることによって前記両先端部が互いに近接する向きに当該回動部を回動させる第3エアシリンダとを備えているクランプ機構。
A clamp mechanism arranged on a base for fixing a circuit board and configured to clamp an edge of the circuit board,
A main body disposed on the base so as to be slidable along a first direction of the base and supporting one surface side of the edge of the circuit board at a tip thereof; and in the first direction A slide part disposed in the main body part so as to be slidable along a second direction orthogonal to the first part; and a slide part disposed in the slide part so as to be rotatable about a rotation axis parallel to the first direction. A rotation portion that presses the other surface side of the edge portion of the circuit board at its tip portion and clamps the edge portion together with the tip portion of the main body portion;
The main body includes a first air cylinder that slides the main body along the first direction by projecting a first rod toward a predetermined portion of the base,
The slide portion can rotate the second air cylinder that slides the slide portion along the second direction by projecting the second rod toward the predetermined portion of the main body portion, and the rotating portion. The third rod protrudes toward a predetermined portion of the hinge portion supported by the hinge portion and the pivot portion supported by the hinge portion, thereby rotating the pivot portion in a direction in which the both end portions are close to each other. A clamp mechanism comprising a third air cylinder.
請求項1記載のクランプ機構と、前記基台を構成する基台本体と、前記第1の方向とその長さ方向とがそれぞれ一致するように前記基台本体に配設されて当該基台本体と共に前記基台を構成する一対の梁部材と、当該各梁部材の少なくとも一方を前記第2の方向に沿って移動させる移動機構とを備えて前記回路基板を固定可能に構成された回路基板固定装置であって、
前記クランプ機構は、前記各梁部材における前記長さ方向に沿って互いに離間する位置に少なくとも2つずつ配設されている回路基板固定装置。
The clamp mechanism according to claim 1, a base body constituting the base, and the base body disposed on the base body so that the first direction and the length direction thereof coincide with each other. And a pair of beam members constituting the base, and a moving mechanism for moving at least one of the beam members along the second direction so that the circuit board can be fixed. A device,
At least two of the clamp mechanisms are arranged at positions spaced apart from each other along the length direction of each beam member.
前記各梁部材における前記長さ方向の中央部に固定されて前記回路基板の前記縁部をクランプするセンタークランプ機構を備え、
前記各梁部材には前記クランプ機構が2つずつ配設され、当該各クランプ機構は、前記各梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する位置にそれぞれ配設されている請求項2記載の回路基板固定装置。
A center clamp mechanism that clamps the edge of the circuit board fixed to the central portion in the length direction of each beam member;
3. Each of the beam members is provided with two clamp mechanisms, and each of the clamp mechanisms is provided at a position spaced apart from each other across the center clamp mechanism of the beam members. Circuit board fixing device.
前記基台本体の所定の固定位置に固定されて前記回路基板の前記第2の方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備え、
前記移動機構は、前記補助クランプ機構の前記固定位置を中心として互いに接離するように前記一対の梁部材の双方を前記第2の方向に沿って移動させる請求項2または3記載の回路基板固定装置。
An auxiliary clamp mechanism that clamps an edge portion of the circuit board that is fixed at a predetermined fixing position along the second direction of the circuit board;
4. The circuit board fixing according to claim 2, wherein the moving mechanism moves both of the pair of beam members along the second direction so as to move toward and away from each other around the fixing position of the auxiliary clamp mechanism. apparatus.
請求項2から4のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。   5. The circuit board fixing device according to claim 2, a probing device for bringing an inspection probe into contact with a circuit board fixed by the circuit board fixing device, and an input via the inspection probe. A circuit board inspection apparatus comprising: an inspection unit that performs a predetermined electrical inspection on the circuit board based on the electrical signal.
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