JP2009116975A - Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method thereof - Google Patents

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Takahiro Onoe
貴弘 尾上
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Hoya Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a perpendicular magnetic recording medium wherein a spike noise is reduced and an SNR is enhanced by preventing generation of a domain wall caused by a magnetic domain in a soft magnetic layer and to provide a manufacturing method thereof. <P>SOLUTION: The perpendicular magnetic recording medium is provided with: a magnetic recording layer 26 for recording a signal; a soft magnetic layer 18 formed on a substrate side of the magnetic recording layer 26; and a magnetic domain control layer 14 formed on the substrate side of the soft magnetic layer 18, having a hard magnetic property and changing the magnetic domain of the soft magnetic layer into a single magnetic domain, in this order. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、垂直磁気記録方式のＨＤＤ（ハードディスクドライブ）などに搭載される垂直磁気記録媒体およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a perpendicular magnetic recording medium mounted on a perpendicular magnetic recording type HDD (hard disk drive) and the like, and a method of manufacturing the same.

近年の情報処理の大容量化に伴い、各種の情報記録技術が開発されている。特に磁気記録技術を用いたＨＤＤの面記録密度は年率１００％程度の割合で増加し続けている。最近では、ＨＤＤ等に用いられる２．５インチ径磁気ディスクにして、１枚あたり１６０ＧＢを超える情報記録容量が求められるようになってきており、このような要請にこたえるためには１平方インチあたり２５０Ｇビットを超える情報記録密度を実現することが求められる。   Various information recording techniques have been developed with the recent increase in information processing capacity. In particular, the surface recording density of HDDs using magnetic recording technology continues to increase at an annual rate of about 100%. Recently, an information recording capacity exceeding 160 GB has been demanded for a 2.5-inch diameter magnetic disk used for HDDs and the like, and in order to meet such a demand, per square inch. It is required to realize an information recording density exceeding 250 Gbits.

ＨＤＤ等に用いられる磁気ディスクにおいて高記録密度を達成するために、近年、垂直磁気記録方式の磁気ディスクが提案されている。垂直磁気記録方式は、磁気記録層の磁化容易軸が基板面に対して垂直方向に配向するよう調整されている。垂直磁気記録方式は従来の面内記録方式に比べて熱揺らぎ現象を抑制することができるので、高記録密度化に対して好適である。   In recent years, perpendicular magnetic recording type magnetic disks have been proposed in order to achieve high recording density in magnetic disks used in HDDs and the like. The perpendicular magnetic recording system is adjusted so that the easy axis of magnetization of the magnetic recording layer is oriented in a direction perpendicular to the substrate surface. The perpendicular magnetic recording method can suppress the thermal fluctuation phenomenon as compared with the conventional in-plane recording method, and is suitable for increasing the recording density.

上記垂直記録方式においては、単磁極型垂直ヘッドが用いられ磁気記録層に対して垂直方向の磁界を生じさせている。しかし、単に単磁極型垂直ヘッドを用いるのみでは、単磁極端部を出た磁束が直ぐに反対側のリターン磁極に戻ろうとするため十分な強度の磁界を磁気記録層に印加することができない。そこで、垂直磁気記録媒体の磁気記録層の下に軟磁性層を設け、軟磁性層に磁束の通り道（磁路）を形成することで磁気記録層に垂直方向の強い磁化を印加することが可能となる。すなわち軟磁性層は、書き込むときの磁場によって磁化方向が整列し、動的に磁路を形成する層である。   In the perpendicular recording system, a single pole type perpendicular head is used to generate a magnetic field perpendicular to the magnetic recording layer. However, simply using a single magnetic pole type vertical head makes it impossible to apply a sufficiently strong magnetic field to the magnetic recording layer because the magnetic flux exiting the single magnetic pole end immediately returns to the return magnetic pole on the opposite side. Therefore, it is possible to apply a strong magnetization in the perpendicular direction to the magnetic recording layer by providing a soft magnetic layer under the magnetic recording layer of the perpendicular magnetic recording medium and forming a magnetic flux path (magnetic path) in the soft magnetic layer. It becomes. That is, the soft magnetic layer is a layer in which the magnetization direction is aligned by a magnetic field when writing and dynamically forms a magnetic path.

軟磁性層は書き込む際に利用される層であり、書き込む際の磁場に沿って磁化方向が整列する。しかし読み出す際には軟磁性層に磁化方向を整列させる磁場はかからないので、原則として磁化方向は不規則な方向に散乱している。この不規則な方向は３次元方向であり、軟磁性層の磁化方向に垂直成分が含まれていると、磁気ヘッドで読み出す際に磁気記録層の信号と共にノイズとして拾ってしまうおそれがある。   The soft magnetic layer is a layer used for writing, and the magnetization direction is aligned along the magnetic field at the time of writing. However, since a magnetic field that aligns the magnetization direction is not applied to the soft magnetic layer when reading, the magnetization direction is scattered in an irregular direction in principle. This irregular direction is a three-dimensional direction, and if a perpendicular component is included in the magnetization direction of the soft magnetic layer, it may be picked up as noise together with the signal of the magnetic recording layer when reading by the magnetic head.

そこで軟磁性層については、２層に分割し、間に非磁性のスペーサ層を介在させたＡＦＣ（Antiferro-magnetic exchange coupling：反強磁***換結合）構造が提案され、実施されている。ＡＦＣ構造においては、軟磁性層が下層と上層で磁化方向が逆転し、相互に引き合うことで結合して固定される。したがって、磁場がかかっていないときの各軟磁性層の磁化方向は互いに反平行（平行かつ互いに逆向き）となり、すなわち基板主表面と平行になる。これにより、磁化の垂直成分が極めて少なくなることで軟磁性層から生じるノイズを低減することができる（特許文献１）。   Therefore, an AFC (Antiferro-magnetic exchange coupling) structure in which the soft magnetic layer is divided into two layers and a nonmagnetic spacer layer is interposed between the two layers has been proposed and implemented. In the AFC structure, the soft magnetic layer has its magnetization direction reversed between the lower layer and the upper layer, and is coupled and fixed by attracting each other. Accordingly, the magnetization directions of the soft magnetic layers when no magnetic field is applied are antiparallel to each other (parallel and opposite to each other), that is, parallel to the main surface of the substrate. Thereby, the noise generated from the soft magnetic layer due to the extremely small perpendicular component of magnetization can be reduced (Patent Document 1).

しかしながら、ＡＦＣ構造をとっている軟磁性層においては、磁化が面内方向に向くことを保証しているのみで、巨視的には磁気ディスクを５〜１０分割するように磁区が形成され、これが新たなノイズの原因となる。言い換えれば、ＡＦＣ構造においては垂直面で見れば上下の軟磁性層で磁化方向が反平行に反転しているが、さらに平面で見れば上下層両方の磁化方向が共に磁区毎に反転していることになる。従って、上記磁区をヘッドが横切る際にノイズを生じることとなる。   However, in the soft magnetic layer having the AFC structure, it is only guaranteed that the magnetization is directed in the in-plane direction. It causes new noise. In other words, in the AFC structure, the magnetization direction is reversed antiparallel in the upper and lower soft magnetic layers when viewed in the vertical plane, but the magnetization direction in both the upper and lower layers is reversed for each magnetic domain when viewed in a plane. It will be. Therefore, noise is generated when the head crosses the magnetic domain.

そこで軟磁性層の設計においては、軟磁性層に起因するノイズの低減、すなわち軟磁性層の単磁区化が求められることとなる。そこで、軟磁性層においてはＳｍＣｏ等の材料を用いた磁区制御（特開２００６−５９４５３号公報）や、ＩｒＭｎ等の反強磁性層を用いた磁区制御（特開２００４−３４８８４９号公報）が提案されている。しかしながら、上記手法においては、十分な耐食性を得ることが難しいことや、膜構成が複雑となることから実用化は難しい。
特開２００５−２８５１４９号公報 特開２００６−５９４５３号公報 特開２００４−３４８８４９号公報 Therefore, in designing the soft magnetic layer, it is required to reduce noise caused by the soft magnetic layer, that is, to make the soft magnetic layer have a single magnetic domain. Therefore, magnetic domain control using a material such as SmCo (Japanese Patent Laid-Open No. 2006-59453) and magnetic domain control using an antiferromagnetic layer such as IrMn (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-348849) are proposed for the soft magnetic layer. Has been. However, the above method is difficult to put into practical use because it is difficult to obtain sufficient corrosion resistance and the film configuration is complicated.
JP 2005-285149 A JP 2006-59453 A JP 2004-348849 A

上記したように、磁気記録媒体の大容量化、すなわち高記録密度化は益々要求が高まっている。これを達成するためには、電気特性としてＳＮＲ（Signal Noise Ratio）やＯＷ特性（OverWrite特性）などの向上、磁気特性として保磁力（Ｈｃ）や逆磁区核形成磁界（Ｈｎ）などの向上、そのための磁性粒の微細化や平均化、磁気ヘッドの低浮上量化、トラック幅の削減など様々な要素がある。なかでも電気特性として最も有効な指標とされるＳＮＲは記録密度に影響が大きく、優先的に向上を図る要請がある。   As described above, there is an increasing demand for increasing the capacity of the magnetic recording medium, that is, increasing the recording density. To achieve this, electrical characteristics such as SNR (Signal Noise Ratio) and OW characteristics (OverWrite characteristics) are improved, and magnetic characteristics such as coercive force (Hc) and reverse domain nucleation magnetic field (Hn) are improved. There are various factors such as miniaturization and averaging of the magnetic grains, low flying height of the magnetic head, and reduction of the track width. Among them, the SNR, which is the most effective index as an electrical characteristic, has a large influence on the recording density, and there is a demand for improvement with priority.

そこで本発明は、容易かつ確実に軟磁性層を単磁区化することにより、軟磁性層における磁区に起因する磁壁の発生を防止し、ＳＮＲを向上した簡便かつ実用可能な垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a simple and practical perpendicular magnetic recording medium with improved SNR by preventing the occurrence of a domain wall due to the magnetic domain in the soft magnetic layer by easily and reliably making the soft magnetic layer into a single magnetic domain. The purpose is to do.

上記課題を解決するために発明者らが鋭意検討したところ、非磁性層（例えばＲｕ）を介した軟磁性層/非磁性層/軟磁性層のＡＦＣ構造においては、静磁気的な磁区の安定性から考慮すると多磁区構造となることは避けられないことがわかった。すなわち、仮固定される相手が相互に軟磁性層では、磁化方向はいずれも流動的であり、相対的に反平行であることしか補償されない。   In order to solve the above problems, the inventors have intensively studied, and in the AFC structure of a soft magnetic layer / nonmagnetic layer / soft magnetic layer through a nonmagnetic layer (for example, Ru), the magnetostatic domain stability is improved. In view of the characteristics, it was found that a multi-domain structure is inevitable. That is, when the temporarily fixed partners are soft magnetic layers, the magnetization directions are all fluid and only compensated for being relatively antiparallel.

そこで、軟磁性層/非磁性層/軟磁性層の構造の一方側が固定的な面内方向の磁化を有すれば、これとの相互作用により他方側の磁化方向も安定化されることに想到した。また、ＳｍＣｏのように耐食性に劣る材料を用いなくとも、例えば面内磁気記録で用いられたＣｏＣｒ系の材料を用いても磁区の制御は可能であるということに想到し、本発明を完成するに到った。   Therefore, if one side of the soft magnetic layer / non-magnetic layer / soft magnetic layer structure has a fixed in-plane magnetization, the interaction with this will stabilize the magnetization direction on the other side. did. Further, the inventors have conceived that the magnetic domain can be controlled without using a material having poor corrosion resistance such as SmCo, for example, using a CoCr-based material used in in-plane magnetic recording, and the present invention is completed. It reached.

すなわち、本発明にかかる垂直磁気記録媒体の代表的な構成は、信号を記録するための磁気記録層と、磁気記録層より基板側に形成された軟磁性層と、軟磁性層より基板側に形成され、硬磁性を有し、軟磁性層を単磁区化する磁区制御層とをこの順に備えることを特徴とする。   That is, a typical configuration of the perpendicular magnetic recording medium according to the present invention includes a magnetic recording layer for recording a signal, a soft magnetic layer formed on the substrate side from the magnetic recording layer, and a substrate side from the soft magnetic layer. A magnetic domain control layer that is formed, has hard magnetism, and forms a soft magnetic layer into a single magnetic domain is provided in this order.

上記構成によれば、磁化方向が様々な方向を向いている軟磁性層の磁化方向を一定方向に制御することができる。このことによって、軟磁性層を単磁区化し、磁区起因の磁壁（ドメイン）の発生を防ぐことができる。よって、スパイクノイズを低減させ、ＳＮＲを向上することができる。   According to the above configuration, the magnetization direction of the soft magnetic layer whose magnetization direction is in various directions can be controlled to a constant direction. As a result, the soft magnetic layer can be made into a single magnetic domain, and the occurrence of domain walls (domains) due to the magnetic domain can be prevented. Therefore, spike noise can be reduced and SNR can be improved.

また、あらかじめ、磁区制御層の磁化方向をディスク主表面と平行且つ半径方向内向きまたは外向きにしておく。その結果、軟磁性層の磁化方向は磁区制御層との相互作用により、ディスク主表面と平行の単磁区構造を形成する。磁化方向がディスク主表面と平行となることにより、磁化方向の垂直成分がないため、ノイズが低減される。また、漏れ磁場による磁路形成を防止し、磁束密度を高めてオーバーライト特性を向上させ、かつトラック幅を狭くすることができる。   Further, the magnetization direction of the magnetic domain control layer is set in advance parallel to the disk main surface and inward or outward in the radial direction. As a result, the magnetization direction of the soft magnetic layer forms a single domain structure parallel to the disk main surface by interaction with the magnetic domain control layer. Since the magnetization direction is parallel to the disk main surface, noise is reduced because there is no perpendicular component of the magnetization direction. In addition, magnetic path formation due to a leakage magnetic field can be prevented, the magnetic flux density can be increased to improve the overwrite characteristics, and the track width can be narrowed.

層の構成として、軟磁性層と磁気制御層との間に、非磁性のスペーサ層を形成するとよい。これにより、軟磁性層と磁区制御層間に数ｎｍの間隔が生じる。その結果、硬磁性層と軟磁性層の相互作用により、軟磁性層の磁区の安定性を高めることができる。   As a layer structure, a nonmagnetic spacer layer may be formed between the soft magnetic layer and the magnetic control layer. As a result, an interval of several nanometers is generated between the soft magnetic layer and the magnetic domain control layer. As a result, the magnetic domain stability of the soft magnetic layer can be enhanced by the interaction between the hard magnetic layer and the soft magnetic layer.

上記課題を解決するために、本発明にかかる垂直磁気記録媒体の製造方法の代表的な構成は、基板上に少なくとも、硬磁性を有する磁区制御層を成膜する工程と、磁路を形成する軟磁性層を成膜する工程と、信号を記録する磁気記録層を成膜する工程と、をこの順に含むことを特徴とする。   In order to solve the above problems, a typical configuration of a method for manufacturing a perpendicular magnetic recording medium according to the present invention is to form at least a magnetic domain control layer having hard magnetism on a substrate and to form a magnetic path. The method includes a step of forming a soft magnetic layer and a step of forming a magnetic recording layer for recording a signal in this order.

上記製造方法によれば、垂直磁気記録媒体同様、磁区制御層の磁化容易軸による軟磁性層の磁化方向の制御が可能になり、軟磁性層を単純な膜構成で単磁区化することができる。   According to the above manufacturing method, the magnetization direction of the soft magnetic layer can be controlled by the easy magnetization axis of the magnetic domain control layer as in the case of the perpendicular magnetic recording medium, and the soft magnetic layer can be made into a single magnetic domain with a simple film configuration. .

磁区制御層を成膜する工程において、基板の半径方向内向きまたは外向きのいずれかに磁場をかけながら成膜するとよい。   In the step of forming the magnetic domain control layer, the film formation may be performed while applying a magnetic field inward or outward in the radial direction of the substrate.

これにより、磁区制御層の磁化容易軸が一定方向を向く。そして磁区制御層は硬磁性層であり、保磁力を有することから、成膜時の磁場によって一方向を向いた磁化容易軸はその方向を維持したまま固定される。したがって、磁区制御層によって制御される軟磁性層の磁化方向も一定方向に向けることが可能となる。   Thereby, the easy axis of magnetization of the magnetic domain control layer is oriented in a certain direction. Since the magnetic domain control layer is a hard magnetic layer and has a coercive force, the easy axis of magnetization directed in one direction by the magnetic field during film formation is fixed while maintaining that direction. Therefore, the magnetization direction of the soft magnetic layer controlled by the magnetic domain control layer can also be directed to a certain direction.

本発明によれば、軟磁性層における磁区発生を防ぐことにより、磁気ヘッドが磁壁を通過する際のスパイクノイズを低減し、ＳＮＲを向上した垂直磁気記録媒体を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide a perpendicular magnetic recording medium with improved SNR by reducing spike noise when the magnetic head passes through the domain wall by preventing the occurrence of magnetic domains in the soft magnetic layer.

本発明にかかる垂直磁気記録媒体及び垂直磁気記録媒体の製造方法の実施形態について説明する。図１は本実施形態にかかる垂直磁気記録媒体の構成を説明する図である。なお、以下の実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値などは、発明の理解を容易とするための例示に過ぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。   Embodiments of a perpendicular magnetic recording medium and a method of manufacturing the perpendicular magnetic recording medium according to the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram for explaining the configuration of a perpendicular magnetic recording medium according to this embodiment. Note that dimensions, materials, and other specific numerical values shown in the following embodiments are merely examples for facilitating understanding of the invention, and do not limit the present invention unless otherwise specified.

図１は、本実施形態にかかる垂直磁気記録媒体の構成を説明する図である。図１に示す垂直磁気記録媒体１００は、基体１０、付着層１２、磁区制御層１４、スペーサ層１６、軟磁性層１８、配向制御層２０、第一下地層２２ａ、第二下地層２２ｂ、第一磁気記録層２６ａ、第二磁気記録層２６ｂ、補助記録層２８、媒体保護層３０、潤滑層３２で構成されている。なお第一下地層２２ａと第二下地層２２ｂはあわせて下地層２２を構成する。第一磁気記録層２６ａと第二磁気記録層２６ｂとはあわせて磁気記録層２６を構成する。   FIG. 1 is a diagram for explaining the configuration of a perpendicular magnetic recording medium according to this embodiment. The perpendicular magnetic recording medium 100 shown in FIG. 1 includes a substrate 10, an adhesion layer 12, a magnetic domain control layer 14, a spacer layer 16, a soft magnetic layer 18, an orientation control layer 20, a first underlayer 22a, a second underlayer 22b, The magnetic recording layer 26 includes a magnetic recording layer 26 a, a second magnetic recording layer 26 b, an auxiliary recording layer 28, a medium protective layer 30, and a lubricating layer 32. The first underlayer 22a and the second underlayer 22b together constitute the underlayer 22. The first magnetic recording layer 26a and the second magnetic recording layer 26b together constitute the magnetic recording layer 26.

まず、アモルファスのアルミノシリケートガラスをダイレクトプレスで円盤状に成型し、ガラスディスクを作成した。このガラスディスクに研削、研磨、化学強化を順次施し、化学強化ガラスディスクからなる平滑な非磁性の基体１０を得た。   First, an amorphous aluminosilicate glass was formed into a disk shape by direct pressing to produce a glass disk. This glass disk was subjected to grinding, polishing, and chemical strengthening in order to obtain a smooth nonmagnetic substrate 10 made of a chemically strengthened glass disk.

得られた基体１０上に、真空引きを行った成膜装置を用いて、Ａｒ雰囲気中でＤＣマグネトロンスパッタリング法にて、付着層１２から補助記録層２８まで順次成膜を行い、媒体保護層３０はＣＶＤ法により成膜した。この後、潤滑層３２をディップコート法により形成した。なお、生産性が高いという点で、インライン型成膜方法を用いることも好ましい。以下、各層の構成および製造方法について説明する。   On the obtained substrate 10, a film forming apparatus that has been evacuated is used to sequentially form a film from the adhesion layer 12 to the auxiliary recording layer 28 in the Ar atmosphere by the DC magnetron sputtering method. Was formed by CVD. Thereafter, the lubricating layer 32 was formed by a dip coating method. Note that it is also preferable to use an in-line film forming method in terms of high productivity. Hereinafter, the configuration and manufacturing method of each layer will be described.

付着層１２は１０ｎｍのＣｒ合金層となるように、Ｃｒ合金ターゲットを用いて成膜した。付着層１２を形成することにより、基体１０と磁区制御層１４との間の付着性を向上させることができるので、磁区制御層１４の剥離を防止することができる。付着層１２の材料としては、例えばＣｒＴｉ、ＣｒＭｏ合金を用いることができる。また、本発明においては、本層は、付着層という役割だけでなく、磁区制御層１４の保磁力を向上させるための層としても機能する。   The adhesion layer 12 was formed using a Cr alloy target so as to be a 10 nm Cr alloy layer. By forming the adhesion layer 12, the adhesion between the substrate 10 and the magnetic domain control layer 14 can be improved, so that the magnetic domain control layer 14 can be prevented from being peeled off. As a material of the adhesion layer 12, for example, CrTi or CrMo alloy can be used. In the present invention, this layer functions not only as an adhesion layer but also as a layer for improving the coercive force of the magnetic domain control layer 14.

磁区制御層１４は、軟磁性層１８の磁化方向を制御し、軟磁性層１８における磁壁の発生に起因するスパイクノイズの発生を防止する作用を備える。磁区制御層１４の材料としては、硬磁性を有する磁性体であればよく、具体的には例えば、ＣｏＣｒＰｔ系材料とすることができる。ＣｏＣｒＰｔ系材料以外には、ＣｏＣｒＴａ系材料、ＣｏＰｔ系材料等のＣｏ系材料が挙げられる。   The magnetic domain control layer 14 has a function of controlling the magnetization direction of the soft magnetic layer 18 and preventing the occurrence of spike noise due to the occurrence of domain walls in the soft magnetic layer 18. The material of the magnetic domain control layer 14 may be a magnetic material having hard magnetism. Specifically, for example, a CoCrPt-based material can be used. In addition to the CoCrPt-based material, Co-based materials such as a CoCrTa-based material and a CoPt-based material can be used.

磁区制御層１４を成膜する際に、基板の半径方向内向きまたは外向きのいずれかに磁場をかけることにより、磁区制御層１４の磁化容易軸をディスク主表面と平行且つ半径方向内向きまたは外向きに一定方向を向かせることができる。したがって、磁区制御層１４によって制御される軟磁性層１８の磁化方向も一定方向を向けることが可能となる。その結果、軟磁性層１８の磁化方向もディスク平面と平行なベクトル成分のみとなるため、ＡＦＣ構造の作用と同様に、ノイズが低減されるという効果がある。   When the magnetic domain control layer 14 is formed, a magnetic field is applied either inward or outward in the radial direction of the substrate, so that the easy axis of magnetization of the magnetic domain control layer 14 is parallel to the disk main surface and inward in the radial direction or A certain direction can be directed outward. Therefore, the magnetization direction of the soft magnetic layer 18 controlled by the magnetic domain control layer 14 can also be directed to a certain direction. As a result, since the magnetization direction of the soft magnetic layer 18 is only a vector component parallel to the disk plane, there is an effect that noise is reduced in the same manner as the operation of the AFC structure.

軟磁性層１８は、ヘッドから書き込むときの磁場によって磁化方向が整列し、動的に磁路を形成する作用を備える。軟磁性層１８の組成はＦｅＣｏＣｒＢまたはＦｅＣｏＴａＺｒとしたが、特に限定されず、公知の軟磁性材料を用いることができる。例えば、ＦｅＣｏ系合金（ＦｅＣｏＢ、ＦｅＣｏＳｉＢ、ＦｅＣｏＺｒ、ＦｅＣｏＴａＺｒ、ＦｅＣｏＺｒＢなど）、Ｆｅ系合金（ＦｅＴａＮ、ＦｅＴａＣなど）、Ｃｏ系合金（ＣｏＴａＺｒ、ＣｏＺｒＮｂ、ＣｏＢなど）等を挙げることができる。   The soft magnetic layer 18 has a function of aligning the magnetization direction by a magnetic field when writing from the head and dynamically forming a magnetic path. The composition of the soft magnetic layer 18 is FeCoCrB or FeCoTaZr, but is not particularly limited, and a known soft magnetic material can be used. For example, FeCo alloys (FeCoB, FeCoSiB, FeCoZr, FeCoTaZr, FeCoZrB, etc.), Fe alloys (FeTaN, FeTaC, etc.), Co alloys (CoTaZr, CoZrNb, CoB, etc.) and the like can be mentioned.

スペーサ層１６は、磁区制御層１４と軟磁性層１８の間に介在する。スペーサ層１６の組成は非磁性材料が好ましく、具体的には、Ｒｕ（ルテニウム）とすることができる。スペーサ層１６を形成することにより、軟磁性層１８と磁区制御層１４間に数ｎｍの間隔が生じ、磁区制御層１４の磁化容易軸と軟磁性層１８の相互作用の強度が向上する。これにより、漏れ磁場によって軟磁性層１８に磁路が形成されることを防止し、磁束密度を高めてオーバーライト特性を向上させ、かつトラック幅を狭くすることができる。   The spacer layer 16 is interposed between the magnetic domain control layer 14 and the soft magnetic layer 18. The composition of the spacer layer 16 is preferably a nonmagnetic material, specifically, Ru (ruthenium). By forming the spacer layer 16, an interval of several nanometers is generated between the soft magnetic layer 18 and the magnetic domain control layer 14, and the strength of the interaction between the easy axis of the magnetic domain control layer 14 and the soft magnetic layer 18 is improved. Thereby, it is possible to prevent a magnetic path from being formed in the soft magnetic layer 18 due to the leakage magnetic field, to increase the magnetic flux density, to improve the overwrite characteristics, and to narrow the track width.

配向制御層２０は、軟磁性層１８を防護する作用と、下地層２２の結晶粒の配向の整列を促進する作用を備える。配向制御層２０の材質としては、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂから選択することができる。さらにこれらの金属を主成分とし、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗのいずれか１つ以上の添加元素を含む合金としてもよい。例えば、ＮｉＷ、ＣｕＷ、ＣｕＣｒを好適に選択することができる。   The orientation control layer 20 has an action of protecting the soft magnetic layer 18 and an action of promoting alignment of crystal grains of the underlayer 22. The material of the orientation control layer 20 can be selected from Ni, Cu, Pt, Pd, Zr, Hf, and Nb. Furthermore, it is good also as an alloy which contains these metals as a main component and contains any one or more additional elements of Ti, V, Ta, Cr, Mo, and W. For example, NiW, CuW, or CuCr can be suitably selected.

下地層２２は、ｈｃｐ構造であって、磁気記録層２６のｈｃｐ構造の結晶をグラニュラー構造として成長させることができる。したがって、下地層２２の結晶配向性が高いほど、磁気記録層２６の配向性を向上することができる。下地層２２の材質としては、Ｒｕの他に、ＲｕＣｒ、ＲｕＣｏから選択することができる。Ｒｕはｈｃｐ構造をとり、Ｃｏを主成分とする磁気記録層２６を良好に配向させることができる。   The underlayer 22 has an hcp structure, and the crystal of the hcp structure of the magnetic recording layer 26 can be grown as a granular structure. Therefore, the higher the crystal orientation of the underlayer 22, the more the orientation of the magnetic recording layer 26 can be improved. The material of the underlayer 22 can be selected from RuCr and RuCo in addition to Ru. Ru has an hcp structure and can satisfactorily orient the magnetic recording layer 26 containing Co as a main component.

本実施形態において下地層２２は、Ｒｕからなる２層構造となっている。上層側の第二下地層２２ｂを形成する際に、下層側の第一下地層２２ａを形成するときよりもＡｒのガス圧を高くしている。ガス圧を高くするとスパッタリングされるプラズマイオンの自由移動距離が短くなるため、成膜速度が遅くなり、結晶粒子を微細化することができる。   In the present embodiment, the underlayer 22 has a two-layer structure made of Ru. When forming the second base layer 22b on the upper layer side, the Ar gas pressure is set higher than when forming the first base layer 22a on the lower layer side. When the gas pressure is increased, the free movement distance of the plasma ions to be sputtered is shortened, so that the film formation rate is reduced and the crystal grains can be miniaturized.

第一磁気記録層２６ａは、非磁性物質の例としての酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）を含有するＣｏＣｒＰｔからなる硬磁性体のターゲットを用いて、２ｎｍのＣｏＣｒＰｔ−Ｃｒ２Ｏ３のｈｃｐ結晶構造を形成した。非磁性物質は磁性物質の周辺に偏析して粒界を形成し、磁性粒（磁性グレイン）は柱状のグラニュラー構造を形成した。この磁性粒は、微細化促進層２４のグラニュラー構造から継続してエピタキシャル成長した。 The first magnetic recording layer 26a uses a hard magnetic target made of CoCrPt containing chromium oxide (Cr 2 O 3 ) as an example of a non-magnetic substance, and has an hcp crystal structure of 2 nm CoCrPt—Cr 2 O 3. Formed. Nonmagnetic substances segregated around the magnetic substance to form grain boundaries, and the magnetic grains (magnetic grains) formed a columnar granular structure. The magnetic grains were epitaxially grown continuously from the granular structure of the miniaturization promoting layer 24.

第二磁気記録層２６ｂは、非磁性物質の例としての酸化チタン（ＴｉＯ２）を含有するＣｏＣｒＰｔからなる硬磁性体のターゲットを用いて、１０ｎｍのＣｏＣｒＰｔ−ＴｉＯ２のｈｃｐ結晶構造を形成した。第二磁気記録層２６ｂにおいても磁性粒はグラニュラー構造を形成した。 The second magnetic recording layer 26b was formed of a 10 nm CoCrPt—TiO 2 hcp crystal structure using a hard magnetic target made of CoCrPt containing titanium oxide (TiO 2 ) as an example of a non-magnetic substance. Also in the second magnetic recording layer 26b, the magnetic grains formed a granular structure.

補助記録層２８は、グラニュラー磁性層の上に高い垂直磁気異方性を示す薄膜（連続層）を形成し、ＣＧＣ構造（Coupled Granular Continuous）を形成するものである。これによりグラニュラー層の高密度記録性と低ノイズ性に加えて、連続膜の高熱ゆらぎ耐性を付け加えることができる。補助記録層２８の組成は、ＣｏＣｒＰｔＢとした。   The auxiliary recording layer 28 forms a thin film (continuous layer) exhibiting high perpendicular magnetic anisotropy on the granular magnetic layer to form a CGC structure (Coupled Granular Continuous). Thereby, in addition to the high density recording property and low noise property of the granular layer, the high thermal fluctuation resistance of the continuous film can be added. The composition of the auxiliary recording layer 28 was CoCrPtB.

媒体保護層３０は、真空を保ったままカーボンをＣＶＤ法により成膜して形成した。媒体保護層３０は、磁気ヘッドの衝撃から磁気記録層２６を防護するための保護層である。一般にＣＶＤ法によって成膜されたカーボンはスパッタ法によって成膜したものと比べて膜硬度が向上するので、磁気ヘッドからの衝撃に対してより有効に磁気記録層２６を防護することができる。   The medium protective layer 30 was formed by depositing carbon by a CVD method while maintaining a vacuum. The medium protective layer 30 is a protective layer for protecting the magnetic recording layer 26 from the impact of the magnetic head. In general, carbon deposited by the CVD method has improved film hardness as compared with that deposited by the sputtering method, so that the magnetic recording layer 26 can be more effectively protected against the impact from the magnetic head.

潤滑層３２は、ＰＦＰＥ（パーフルオロポリエーテル）をディップコート法により成膜した。潤滑層３２の膜厚は約１ｎｍである。   The lubricating layer 32 was formed of PFPE (perfluoropolyether) by dip coating. The film thickness of the lubricating layer 32 is about 1 nm.

［評価］
以上の製造工程により、垂直磁気記録媒体が得られた。以下に実施例と比較例を用いて、本発明の有効性について説明する。なお、以下の各種データ測定において、実施例及び比較例は上記実施形態のようにすべての層を形成した垂直磁気記録媒体１００ではなく、基体上に付着層、磁区制御層、スペーサ層、軟磁性層、媒体保護層のみを成膜した評価用サンプルを用いて測定を行った。 [Evaluation]
Through the above manufacturing process, a perpendicular magnetic recording medium was obtained. The effectiveness of the present invention will be described below using examples and comparative examples. In the following various data measurements, the examples and comparative examples are not the perpendicular magnetic recording medium 100 in which all the layers are formed as in the above-described embodiment, but the adhesion layer, the magnetic domain control layer, the spacer layer, the soft magnetic layer on the substrate. Measurement was performed using an evaluation sample in which only the layer and the medium protective layer were formed.

図２は比較例の膜構成における評価を説明する図であって、図２（ａ）はヒステリシス曲線の図、図２（ｂ）は磁区を観察したＯＳＡ（Optical Surface Analyzer）図である。比較例はＦｅＣｏＣｒＢからなる２層の軟磁性層間にＲｕスペーサ層を介在させ、上記従来例で説明したようにＡＦＣ構造を形成している。   2A and 2B are diagrams for explaining evaluation in the film configuration of the comparative example. FIG. 2A is a hysteresis curve diagram, and FIG. 2B is an OSA (Optical Surface Analyzer) diagram in which magnetic domains are observed. In the comparative example, a Ru spacer layer is interposed between two soft magnetic layers made of FeCoCrB, and an AFC structure is formed as described in the conventional example.

図３は実施例１の膜構成における評価を説明する図であって、図３（ａ）はヒステリシス曲線の図、図３（ｂ）は磁区を観察したＯＳＡ図である。実施例１は、従来は２層あった軟磁性層のうち基板側に形成する層を硬磁性を有する磁区制御層としたサンプルであって、付着層はＣｒＴｉ、磁区制御層の組成はＣｏＣｒＴａである。   3A and 3B are diagrams for explaining the evaluation in the film configuration of Example 1. FIG. 3A is a hysteresis curve diagram, and FIG. 3B is an OSA diagram in which magnetic domains are observed. Example 1 is a sample in which the layer formed on the substrate side of the two soft magnetic layers conventionally used is a magnetic domain control layer having hard magnetism, the adhesion layer is CrTi, and the composition of the magnetic domain control layer is CoCrTa. is there.

図２（ａ）に示すヒステリシス曲線は、比較例では反強磁***換結合を成しており、ＡＦＣ構造を備えていることを示している。一方、図３（ａ）のヒステリシス曲線は、実施例１の構成では、ほぼＡＦＣ構造を備えていない軟磁性体と同様であることを示している。実施例１においてヒステリシス曲線がほぼ軟磁性体の様相を呈するのは、実施例１の構成では磁区制御層の保磁力が極めて低いためであると考えられる。   The hysteresis curve shown in FIG. 2A indicates that the comparative example has antiferromagnetic exchange coupling and has an AFC structure. On the other hand, the hysteresis curve of FIG. 3A shows that the configuration of Example 1 is almost the same as that of the soft magnetic material not having the AFC structure. The reason why the hysteresis curve in the first embodiment is almost a soft magnetic material is considered to be due to the extremely low coercivity of the magnetic domain control layer in the configuration of the first embodiment.

また図２（ｂ）のＯＳＡ図は、比較例では軟磁性層の磁区が多磁区化していることを示している。図３（ｂ）のＯＳＡ図は、実施例１では、若干の磁区を除くと、軟磁性層の磁区がほぼ単磁区化していることを示している。すなわち、２層の軟磁性層のうち、基板側に形成する軟磁性層を硬磁性の磁区制御層に置換することにより、軟磁性層の多磁区化を大幅に改善できることがわかる。   Further, the OSA diagram of FIG. 2B shows that the magnetic domain of the soft magnetic layer is multi-domained in the comparative example. The OSA diagram of FIG. 3B shows that in Example 1, the magnetic domain of the soft magnetic layer is substantially single-domain except for some magnetic domains. That is, it can be seen that by replacing the soft magnetic layer formed on the substrate side of the two soft magnetic layers with a hard magnetic domain control layer, the multi-domain of the soft magnetic layer can be greatly improved.

図４は実施例２における評価を説明する図であって、図４（ａ）はヒステリシス曲線の図、図４（ｂ）は磁区を観察したＯＳＡ図である。図５は実施例３における評価を説明する図であって、図５（ａ）はヒステリシス曲線の図、図５（ｂ）は磁区を観察したＯＳＡ図である。実施例２および実施例３は、従来は２層あった軟磁性層のうち基板側に形成する層を硬磁性を有する磁区制御層に置換したサンプルであり、実施例２における付着層はＣｒＭｏ、磁区制御層の組成はＣｏＣｒＴａ系材料である。また、実施例３における付着層はＣｒＭｏ、磁区制御層の組成はＣｏＣｒＰｔ系材料である。ここで、ＣｒＭｏは付着層としての役割だけでなく、磁区制御層の保磁力を増加させる層としての役割も担っている。   4A and 4B are diagrams for explaining evaluation in Example 2. FIG. 4A is a diagram of a hysteresis curve, and FIG. 4B is an OSA diagram in which magnetic domains are observed. FIG. 5 is a diagram for explaining the evaluation in Example 3. FIG. 5A is a diagram of a hysteresis curve, and FIG. 5B is an OSA diagram in which magnetic domains are observed. Example 2 and Example 3 are samples in which the layer formed on the substrate side in the conventional two soft magnetic layers was replaced with a magnetic domain control layer having hard magnetism, and the adhesion layer in Example 2 was CrMo, The composition of the magnetic domain control layer is a CoCrTa-based material. In Example 3, the adhesion layer is CrMo, and the composition of the magnetic domain control layer is a CoCrPt-based material. Here, CrMo not only serves as an adhesion layer but also serves as a layer that increases the coercivity of the magnetic domain control layer.

図４（ａ）、図５（ａ）共に、ヒステリシス曲線には、図２（ａ）のような交換結合磁界Ｈｅｘはほとんど出現していないが、保磁力は図３（ａ）と比較して高い値を示している。また図４（ａ）と図５（ａ）を比較すると、図５（ａ）の方が保磁力が高くなっており、磁区制御層の組成をＣｏＣｒＰｔ系材料にし、かつ、付着層をＣｒＭｏにした効果により、磁区制御層の保磁力が向上していることが示唆される。すなわち、上記したように、少なくとも磁場がかかっていない状態においては、軟磁性層の磁化方向は磁区制御層の磁化との相互作用により一定の方向を向いていると考えられる。   In both FIGS. 4 (a) and 5 (a), the exchange coupling magnetic field Hex as shown in FIG. 2 (a) hardly appears in the hysteresis curve, but the coercive force is smaller than that in FIG. 3 (a). It shows a high value. 4A is compared with FIG. 5A, the coercive force is higher in FIG. 5A, the composition of the magnetic domain control layer is a CoCrPt-based material, and the adhesion layer is CrMo. This suggests that the coercivity of the magnetic domain control layer is improved. That is, as described above, at least in a state where no magnetic field is applied, the magnetization direction of the soft magnetic layer is considered to be in a certain direction due to the interaction with the magnetization of the magnetic domain control layer.

図４（ｂ）のＯＳＡ図は、実施例２の構成では、一部分を除くと、軟磁性層の磁区が単磁区化していることを示している。また、図５（ｂ）のＯＳＡ図は、実施例３の構成では、軟磁性層の磁区が全体で単磁区化していることを示している。よって、図４（ａ）及び図５（ａ）が示す結果に基づいて考察すると、磁区制御層の組成をＣｏＣｒＴａ系材料からＣｏＣｒＰｔ系材料にすると磁区制御層の保磁力が向上し、これに伴って軟磁性層の磁区が単磁区化することがわかる。これは、より保磁力の高いＣｏＣｒＰｔを磁区制御層として用いることにより、磁区制御層と軟磁性層との相互作用が有効に作用し、軟磁性層の磁化方向が固定されるためであると考えられる。   The OSA diagram of FIG. 4B shows that in the configuration of Example 2, the magnetic domain of the soft magnetic layer is a single domain except for a part. Further, the OSA diagram of FIG. 5B shows that in the configuration of Example 3, the magnetic domain of the soft magnetic layer is made into a single domain as a whole. Therefore, considering the results shown in FIGS. 4A and 5A, when the composition of the magnetic domain control layer is changed from a CoCrTa-based material to a CoCrPt-based material, the coercive force of the magnetic domain control layer is improved. It can be seen that the magnetic domain of the soft magnetic layer becomes a single domain. This is considered to be because CoCrPt having a higher coercive force is used as the magnetic domain control layer, whereby the interaction between the magnetic domain control layer and the soft magnetic layer acts effectively, and the magnetization direction of the soft magnetic layer is fixed. It is done.

図６は、実施例におけるスペーサ層の膜厚とオーバーライト（ＯＷ）特性との関係を示すグラフである。ＯＷ特性は数値の絶対値が高いほど容易にデータの書き込みが可能であることを意味している。   FIG. 6 is a graph showing the relationship between the thickness of the spacer layer and the overwrite (OW) characteristics in the example. The OW characteristic means that the higher the absolute value of the numerical value, the easier the data can be written.

図６に示すように、実施例のいずれにおいても、スペーサ層の膜厚を次第に厚くしていくとＯＷ特性の絶対値は一旦低下しボトムに達し、更に膜厚を厚くするとＯＷ特性の絶対値は上昇する傾向がある。   As shown in FIG. 6, in any of the examples, the absolute value of the OW characteristic once decreases and reaches the bottom when the thickness of the spacer layer is gradually increased, and the absolute value of the OW characteristic when the film thickness is further increased. Tend to rise.

ここで、ＡＦＣ媒体の話ではあるが、ＯＷ特性と交換結合磁界Ｈｅｘの強さはトレードオフの関係にある。すなわち、Ｈｅｘが高ければ書き込みにくくＯＷ特性が低下する。しかし、Ｈｅｘが低ければ書き込みやすくＯＷ特性が向上する反面、トラック幅の増大や、隣接トラックへの漏れ磁場による書き込みノイズ（ＷＡＴＥ：Wide Area Track Erasure）の増加を招く。   Here, as for the AFC medium, there is a trade-off relationship between the OW characteristic and the strength of the exchange coupling magnetic field Hex. That is, if Hex is high, writing is difficult and OW characteristics are degraded. However, if Hex is low, writing is easy and OW characteristics are improved, but on the other hand, the track width is increased and writing noise (WATE: Wide Area Track Erasure) due to a leakage magnetic field to an adjacent track is caused.

今回の発明では、Ｈｅｘは出現していないので、ＡＦＣ構造を有するか否かは明らかでない。しかし、磁区制御層と軟磁性層との間に非磁性層を介して相互作用が存在し、単磁区化がなされたものと考えられる。上記のＡＦＣ媒体の事情から類推すれば、図６においてＯＷ特性が低下している部分は磁区制御層と軟磁性層の相互作用が強まっていることを裏付けている。従って、スペーサ層を適切な膜厚とすることにより適切に磁区の形成を防止し、確実に単磁区化することができると考えられる。   In the present invention, since Hex has not appeared, it is not clear whether or not it has an AFC structure. However, it is considered that an interaction exists between the magnetic domain control layer and the soft magnetic layer via the nonmagnetic layer, and the single magnetic domain is formed. By analogy with the situation of the AFC medium described above, the portion where the OW characteristic is lowered in FIG. 6 confirms that the interaction between the magnetic domain control layer and the soft magnetic layer is strengthened. Therefore, it is considered that by forming the spacer layer with an appropriate film thickness, it is possible to appropriately prevent the formation of magnetic domains and to make a single magnetic domain reliably.

上述した如く、本発明によれば、軟磁性層より基板側に形成され、硬磁性を有し、軟磁性層の磁区を単磁区化する磁区制御層を備えたことにより、軟磁性層に起因するノイズを低減させ、ＳＮＲを向上することができる。特に軟磁性層と磁気制御層との間に非磁性のスペーサ層を形成することにより、軟磁性層と磁区制御層との相互作用を強めることができ、より確実に単磁区化を図ることができる。   As described above, according to the present invention, the magnetic domain control layer is formed on the substrate side of the soft magnetic layer, has hard magnetism, and converts the magnetic domain of the soft magnetic layer into a single magnetic domain. Noise can be reduced and the SNR can be improved. In particular, by forming a nonmagnetic spacer layer between the soft magnetic layer and the magnetic control layer, the interaction between the soft magnetic layer and the magnetic domain control layer can be strengthened, and a single magnetic domain can be more reliably achieved. it can.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   Although the preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.

本発明は、垂直磁気記録方式のＨＤＤなどに搭載される垂直磁気記録媒体として利用することができる。   The present invention can be used as a perpendicular magnetic recording medium mounted on a perpendicular magnetic recording type HDD or the like.

本実施形態における垂直磁気記録媒体の構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of the perpendicular magnetic recording medium in this embodiment. 比較例の膜構成における評価を説明する図である。It is a figure explaining the evaluation in the film | membrane structure of a comparative example. 実施例１の膜構成における評価を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating evaluation in the film configuration of Example 1. 実施例２における評価を説明する図である。It is a figure explaining the evaluation in Example 2. FIG. 実施例３における評価を説明する図である。It is a figure explaining evaluation in Example 3. FIG. スペーサ層の膜厚とオーバーライト（ＯＷ）特性との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the film thickness of a spacer layer, and an overwrite (OW) characteristic.

符号の説明Explanation of symbols

１０ …基体
１２ …付着層
１４ …磁区制御層
１６ …スペーサ層
１８ …軟磁性層
２０ …配向制御層
２２ …下地層
２２ａ …第一下地層
２２ｂ …第二下地層
２６ …磁気記録層
２６ａ …第一磁気記録層
２６ｂ …第二磁気記録層
２８ …補助記録層
３０ …媒体保護層
３２ …潤滑層
１００ …垂直磁気記録媒体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Base | substrate 12 ... Adhesion layer 14 ... Magnetic domain control layer 16 ... Spacer layer 18 ... Soft magnetic layer 20 ... Orientation control layer 22 ... Underlayer 22a ... First underlayer 22b ... Second underlayer 26 ... Magnetic recording layer 26a ... First One magnetic recording layer 26b ... second magnetic recording layer 28 ... auxiliary recording layer 30 ... medium protective layer 32 ... lubricating layer 100 ... perpendicular magnetic recording medium

Claims (4)

信号を記録するための磁気記録層と、
前記磁気記録層より基板側に形成された軟磁性層と、
前記軟磁性層より基板側に形成され、硬磁性を有し、前記軟磁性層を単磁区化する磁区制御層と、をこの順に備えることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 A magnetic recording layer for recording signals;
A soft magnetic layer formed on the substrate side of the magnetic recording layer;
A perpendicular magnetic recording medium comprising a magnetic domain control layer formed in this order on the substrate side of the soft magnetic layer, having a hard magnetic property, and converting the soft magnetic layer into a single magnetic domain. 前記軟磁性層と前記磁気制御層との間に、非磁性のスペーサ層を形成したことを特徴とする、請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。   The perpendicular magnetic recording medium according to claim 1, wherein a nonmagnetic spacer layer is formed between the soft magnetic layer and the magnetic control layer. 基板上に少なくとも、
硬磁性を有する磁区制御層を成膜する工程と、
磁路を形成する軟磁性層を成膜する工程と、
信号を記録する磁気記録層を成膜する工程と、
をこの順に含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 At least on the substrate,
Forming a magnetic domain control layer having hard magnetism;
Forming a soft magnetic layer for forming a magnetic path;
Forming a magnetic recording layer for recording signals;
In this order, a method for manufacturing a perpendicular magnetic recording medium. 前記磁区制御層を成膜する工程において、基板の半径方向内向きまたは外向きのいずれかに磁場をかけながら成膜を行うことを特徴とする請求項３に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。   4. The method of manufacturing a perpendicular magnetic recording medium according to claim 3, wherein, in the step of forming the magnetic domain control layer, the film is formed while applying a magnetic field to either the radially inward or outward direction of the substrate. .
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