JP2009112991A - ドット形成用のシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターゲット150に対してノズルNから液滴を吐出するヘッド10と、ヘッド10のノズルNから吐出された液滴の一部をターゲット150に対して未着にさせる装置20とを有する。ヘッド10のノズルNから吐出された液滴は、ノズルNからターゲット150に至る飛翔経路Pにおいては複数の小液滴を含む場合がある。この場合、未着にさせる手段20は、複数の小液滴の少なくとも1つをターゲット150に対して未着にさせる手段であることが好ましい。
【選択図】図2
Description
(a1)ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を蒸発させ、残りの液滴をターゲットに着弾させること。
(a2)ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を捕獲し、残りの液滴をターゲットに着弾させること。
(a3)ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を、ノズルからターゲットに至る飛翔経路から外れるように向きを変え、残りの液滴をターゲットに着弾させること。
(b)複数の小液滴の少なくとも1つをターゲットに対して未着にさせ、残りの小液滴をターゲットに着弾させること。
(1)ヘッドコントローラによるインクジェットヘッドの駆動条件設定
・ヘッドの駆動電圧
・ヘッドの駆動波形
(2)インクジェットヘッドから吐出される液滴の形成条件設定
・メイン滴の飛翔速度が4m/s以上であること
・インクジェットヘッドのノズル径dに対する液柱の長さWLが、WL>3dの条件を満たすこと
20 未着にする装置(未着にする手段)
30 除去装置(除去する手段)、 31 照射ユニット
40 吸収装置(蒸発させた液滴の蒸気を吸収する手段)
50 制御装置(制御する手段)、 51 ヘッド制御部(第1の制御ユニット)
52 照射ユニット制御部(第2の制御ユニット)
53 タイミング制御部(第3の制御ユニット)
54 トラップヘッド用制御部(第4の制御ユニット)
60 観察装置(観察する手段)
71 第1の電極、 72 第2の電極
80 除去装置(除去する手段)、 81、86 ディスク
82 モータ、 84 スリット、 87 受け部
88 廃液集約部、 89 廃液流路
100 除去装置(除去する手段)、
101 トラップ用ヘッド(トラップ用インクジェットヘッド)
103 液滴回収部材、 150 基板(ターゲット)
D 液滴、 N ヘッドのノズル、 P 飛翔経路
Claims (20)
- ターゲットに対してノズルから液滴を吐出するヘッドと、
前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を前記ターゲットに対して未着にさせる手段とを有する、システム。 - 請求項1において、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴は、前記ノズルから前記ターゲットに至る飛翔経路においては複数の小液滴を含み、
前記未着にさせる手段は、前記複数の小液滴の少なくとも1つを前記ターゲットに対して未着にさせる、システム。 - 請求項1または2において、前記未着にさせる手段は、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を、前記ターゲットに対して未着にさせるように、前記ノズルから前記ターゲットに至る飛翔経路から除去する手段を含み、
前記ヘッドのノズルから液滴を吐出するタイミングと、前記除去する手段が前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を除去するタイミングとを同期して制御する手段をさらに有する、システム。 - 請求項3において、前記除去する手段は、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を蒸発させるためのレーザーを照射する照射ユニットを備えている、システム。
- 請求項4において、前記照射ユニットは、前記ヘッドのノズルからの液滴の吐出方向と交差する方向からレーザーを照射し、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を蒸発させる、システム。
- 請求項4または5において、蒸発させた液滴の蒸気を吸収する手段をさらに有する、システム。
- 請求項4ないし6のいずれかにおいて、前記制御する手段は、
前記ヘッドのノズルからの液滴の吐出タイミングを含む制御を行う第1の制御ユニットと、
前記照射ユニットからのレーザーの照射タイミングを含む制御を行う第2の制御ユニットとを備えている、システム。 - 請求項3において、前記除去する手段は、放射状に所定のパターンで設けられた複数のスリットを含むディスクと、このディスクを回転駆動させるためのモータとを備えている、システム。
- 請求項8において、前記ディスクは、さらに、前記複数のスリットの間にそれぞれ設けられた凹状の複数の受け部と、中心あるいはその近傍に設けられた凹状の廃液集約部と、前記複数の受け部からそれぞれ前記廃液集約部に向かって放射状に延びる溝状の複数の廃液流路とを含む、システム。
- 請求項8または9において、前記制御する手段は、
前記ヘッドのノズルからの液滴の吐出タイミングを含む制御を行う第1の制御ユニットと、
前記ディスクの前記複数のスリットの通過をセンサにより検出して、前記ディスクが前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を除去するタイミングをエンコード出力する第3の制御ユニットとを備えている、システム。 - 請求項3において、前記除去する手段は、前記ヘッドと交差する方向に配置されたトラップ用ヘッドであって、当該トラップ用ヘッドのノズルから吐出された液滴を前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部に衝突させるためのトラップ用ヘッドと、
前記トラップ用ヘッドのノズルから吐出された液滴および前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を回収するための液滴回収部材とを備えている、システム。 - 請求項11において、前記制御する手段は、
前記ヘッドのノズルからの液滴の吐出タイミングを含む制御を行う第1の制御ユニットと、
前記トラップ用ヘッドのノズルからの液滴の吐出タイミングを含む制御を行う第4の制御ユニットとを備えている、システム。 - 請求項1ないし12のいずれかにおいて、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の飛翔状態を観察する手段をさらに有する、システム。
- 請求項1ないし13のいずれかにおいて、前記ヘッドのノズルの先方に設けられた第1の電極であって、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴を第1の電位に帯電させる第1の電極と、
前記ターゲットの前記ヘッドとは反対側に設けられた第2の電極であって、第2の電位に帯電された第2の電極とをさらに有する、システム。 - 請求項1ないし14のいずれかにおいて、前記ヘッドのノズルの先方に設けられ、前記ターゲットに向けて飛翔中の液滴を通過させる筒状部材をさらに有する、システム。
- ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を未着にさせる手段によりターゲットに対して未着にさせ、残りの液滴を前記ターゲットに着弾させることを含む、ドット形成方法。
- 請求項16において、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴は、前記ノズルから前記ターゲットに至る飛翔経路においては複数の小液滴を含み、
前記着弾させることは、前記複数の小液滴の少なくとも1つを前記ターゲットに対して未着にさせ、残りの小液滴を前記ターゲットに着弾させることを含む、ドット形成方法。 - 請求項16または17において、前記着弾させることは、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を蒸発させ、残りの液滴をターゲットに着弾させることを含む、ドット形成方法。
- 請求項16または17において、前記着弾させることは、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を捕獲し、残りの液滴をターゲットに着弾させることを含む、ドット形成方法。
- 請求項16または17において、前記着弾させることは、前記ヘッドのノズルから吐出された液滴の一部を、前記ノズルから前記ターゲットに至る飛翔経路から外れるように向きを変え、残りの液滴をターゲットに着弾させることを含む、ドット形成方法。
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- 2007-11-09 JP JP2007291535A patent/JP2009112991A/ja active Pending
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