JP2009108362A - Perforated plate - Google Patents

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JP2009108362A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a metallic perforated plate in which a through-hole whose opening hole shape includes an angular part is formed at high precision. <P>SOLUTION: The perforated plate 10 includes a metal plate 20 having a first face 20a and a second face 20b on the side opposite to the first face. A linearly elongating first groove 32 is formed from the first face side, and a linearly elongating second groove 34 is formed from the second face side. The first groove and the second groove lie in a crossed positional relation viewed from the direction along the normal of the plate face of the metal plate. The first groove and the second groove are communicated each other in the crossed part, and, by the first groove and the second groove, a through-hole 30 passing through the metal plate is formed. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、貫通孔が形成された金属製の有孔板であって、とりわけ、開孔形状が平面視において角部を含んでいる貫通孔が精度良く形成された有孔板に関する。   The present invention relates to a perforated plate made of metal in which a through hole is formed, and more particularly to a perforated plate in which a through hole whose opening shape includes a corner portion in plan view is formed with high accuracy.

従来、金属製の有孔板が、例えば蒸着マスクのような種々の用途に用いられてきた。金属製の有孔板は、例えば、金属板をエッチングすることにより製造され得る。エッチングによれば、打ち抜き加工等の機械加工にともなう不具合（例えば、金属板の変形やバリの発生等）を回避することができる。   Conventionally, a metal perforated plate has been used for various applications such as a vapor deposition mask. A metal perforated plate can be manufactured, for example, by etching a metal plate. According to the etching, problems associated with machining such as punching (for example, deformation of a metal plate, generation of burrs, etc.) can be avoided.

ところで、開孔形状が角部を含んでいる貫通孔をエッチングにより作製する場合、角部が丸味をおびてしまうという不具合がある。微細な貫通孔を作製する場合、角部が丸味をおびてしまうという不具合は、エッチングを用いた方法に限られず、貫通孔を形成する種々の方法に共通する。   By the way, when the through-hole whose opening shape includes a corner is formed by etching, there is a problem that the corner is rounded. When producing a fine through-hole, the problem that the corner is rounded is not limited to the method using etching, but is common to various methods for forming the through-hole.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、貫通孔が形成された金属製の有孔板であって、開孔形状が角部を含んでいる貫通孔を精度良く形成された有孔板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and is a metal perforated plate in which through holes are formed, and the through holes whose corners include corners are accurately formed. It is an object to provide a perforated plate.

また、本発明は、開孔形状が角部を含んでいる貫通孔が精度良く形成された有孔板を製造することができる有孔板の製造方法を提供することを目的とする。   Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a perforated plate that can manufacture a perforated plate in which a through hole whose opening shape includes corners is formed with high accuracy.

本発明による有孔板は、第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有する金属板を備え、前記第１面側から、線状に延びる第１の溝が形成され、前記第２面側から、線状に延びる第２の溝が形成され、前記第１の溝および前記第２の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に交差する位置関係にあり、前記第１の溝と前記第２の溝とは交差する部分において互いに通じており、これらの前記第１の溝と前記第２の溝とによって前記金属板を貫通する貫通孔が形成されていることを特徴とする。   The perforated plate according to the present invention includes a metal plate having a first surface and a second surface opposite to the first surface, and a first groove extending linearly is formed from the first surface side, A second groove extending linearly is formed from the second surface side, and the first groove and the second groove are viewed from a direction along the normal of the plate surface of the metal plate. The first groove and the second groove communicate with each other at the intersecting portion, and the metal plate is penetrated by the first groove and the second groove. A through hole is formed.

本発明による有孔板において、前記第１の溝および前記第２の溝は、それぞれ、直線状に延び、前記第１の溝の軸線および前記第２の溝の軸線は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に直交するようにしてもよい。   In the perforated plate according to the present invention, the first groove and the second groove each extend in a straight line, and the axis of the first groove and the axis of the second groove are the plates of the metal plate. When viewed from a direction along the normal line of the surface, it may be orthogonal.

また、本発明による有孔板において、前記第１面側から、前記第１の溝が複数形成され、前記第２の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記複数の第１の溝と交差する位置関係にあるようにしてもよい。   In the perforated plate according to the present invention, a plurality of the first grooves are formed from the first surface side, and the second grooves are viewed from a direction along a normal line of the plate surface of the metal plate. In some cases, the plurality of first grooves may be in a positional relationship.

あるいは、本発明による有孔板において、前記第１面側から、前記第１の溝が複数形成され、前記第２面側から、前記第２の溝が複数形成され、各第２の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記複数の第１の溝と交差する位置関係にあり、各第１の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記複数の第２の溝と交差する位置関係にあるようにしてもよい。   Alternatively, in the perforated plate according to the present invention, a plurality of the first grooves are formed from the first surface side, a plurality of the second grooves are formed from the second surface side, and each second groove is , When viewed from the direction along the normal of the plate surface of the metal plate, the first groove is in a positional relationship intersecting the plurality of first grooves, and each first groove is a normal of the plate surface of the metal plate When viewed from the direction along the line, the plurality of second grooves may be in a positional relationship intersecting with each other.

あるいは、本発明による有孔板において、前記第１面側から、前記第１の溝が複数形成され、前記第２面側から、各第１の溝にそれぞれ対応して、前記第２の溝が複数形成されているようにしてもよい。   Alternatively, in the perforated plate according to the present invention, a plurality of the first grooves are formed from the first surface side, and the second grooves correspond respectively to the first grooves from the second surface side. A plurality of may be formed.

さらに、本発明による有孔板において、前記貫通孔の開孔形状は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に略四角形形状であるようにしてもよい。   Furthermore, in the perforated plate according to the present invention, the opening shape of the through hole may be a substantially square shape when viewed from a direction along the normal line of the plate surface of the metal plate.

本発明による有孔板の製造方法は、第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有する金属板をエッチングして、前記金属板の前記第１面側に線状に延びる第１の溝を形成する工程と、前記金属板をエッチングし、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記第１の溝と交差するように、前記金属板の前記第２面側に線状に延びる第２の溝を形成する工程と、を含み、前記第１の溝と前記第２の溝とは交差する部分において互いに通じ、前記第１の溝と前記第２の溝とによって前記金属板を貫通する貫通孔が形成されるように、前記第１の溝および前記第２の溝が形成されるようにしてもよい。   In the method for manufacturing a perforated plate according to the present invention, a metal plate having a first surface and a second surface opposite to the first surface is etched to extend linearly toward the first surface of the metal plate. Forming the first groove, and etching the metal plate so that the metal plate intersects the first groove when viewed from the direction along the normal of the plate surface of the metal plate. Forming a second groove extending linearly on the second surface side, wherein the first groove and the second groove communicate with each other at a crossing portion, and the first groove and the second groove The first groove and the second groove may be formed such that a through hole penetrating the metal plate is formed by the second groove.

本発明による有孔板の製造方法において、前記金属板の前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ、前記第１の溝を形成する工程および前記第２の溝を形成する工程が並行して行われるようにしてもよい。   In the method for manufacturing a perforated plate according to the present invention, the first surface and the second surface of the metal plate are simultaneously etched, and the step of forming the first groove and the step of forming the second groove are parallel. It may be performed as follows.

また、本発明による有孔板の製造方法において、前記第１の溝を形成する工程および前記第２の溝を形成する工程のいずれか一方は、前記第１の溝を形成する工程および前記第２の溝を形成する工程のいずれか他方の前に行われるようにしてもよい。   In the method for manufacturing a perforated plate according to the present invention, any one of the step of forming the first groove and the step of forming the second groove includes the step of forming the first groove and the step of forming the first groove. It may be performed before any one of the steps of forming the second groove.

さらに、本発明による有孔板の製造方法において、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に開孔形状が略四角形形状となる貫通孔が形成されるようにしてもよい。   Further, in the method for manufacturing a perforated plate according to the present invention, a through-hole having a substantially quadrangular shape when viewed from a direction along a normal line of the plate surface of the metal plate may be formed. Good.

以下、図面を参照して本発明による一実施の形態について説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１乃至図６は本発明の一実施の形態を説明するための図である。ここで図１は有孔板の平面図であり、図２は図１の実線で囲まれた部分（楕円部分）を示す拡大平面図であり、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。   1 to 6 are diagrams for explaining an embodiment of the present invention. 1 is a plan view of the perforated plate, FIG. 2 is an enlarged plan view showing a portion (ellipse portion) surrounded by a solid line in FIG. 1, and FIG. 3 is taken along the line III-III in FIG. FIG.

図１乃至図３に示すように、有孔板１０は、互いに対向する第１面２０ａおよび第２面２０ｂを有する金属板２０からなっている。本実施の形態において、有孔板１０は有孔領域１４ａと無孔領域１４ｂとを含んでおり、図１に示すように、無孔領域１４ｂは金属板２０の周縁部に位置する。一方、有孔領域１４ａは、金属板２０の中央部に位置し、無孔領域１４ｂに囲まれている。金属板２０の有孔領域１４ａには、第１面２０ａと第２面２０ｂとの間を延びる多数の貫通孔３０が形成されている。このような有孔板１０は、例えばシャドーマスクや蒸着マスクとして用いられる。   As shown in FIGS. 1 to 3, the perforated plate 10 is composed of a metal plate 20 having a first surface 20a and a second surface 20b facing each other. In the present embodiment, the perforated plate 10 includes a perforated region 14 a and a non-perforated region 14 b, and the non-perforated region 14 b is located at the peripheral edge of the metal plate 20 as shown in FIG. On the other hand, the perforated region 14a is located at the center of the metal plate 20 and is surrounded by the non-porous region 14b. A large number of through holes 30 extending between the first surface 20 a and the second surface 20 b are formed in the perforated region 14 a of the metal plate 20. Such a perforated plate 10 is used as, for example, a shadow mask or a vapor deposition mask.

図１乃至図３に説明するように、金属板２０の第１面２０ａの側から、直線状に延びる第１の溝３２が多数形成されている。図２に示すように、複数の第１の溝３２は、その軸線（長手方向中心線）Ｌａが金属板２０の板面と平行に延びる第１軸線Ｌ１に沿うようにして、配置されている。第１軸線Ｌ１は互いに平行であるとともに等間隔を空けて複数設けられており、各第１軸線Ｌ１上に二以上の第１の溝３２が等間隔を空けて配置されている。   As described with reference to FIGS. 1 to 3, a large number of first grooves 32 extending linearly from the first surface 20 a side of the metal plate 20 are formed. As shown in FIG. 2, the plurality of first grooves 32 are arranged such that the axis line (longitudinal center line) La is along the first axis line L <b> 1 extending in parallel with the plate surface of the metal plate 20. . The first axis L1 is parallel to each other and provided in plural at equal intervals, and two or more first grooves 32 are arranged at equal intervals on each first axis L1.

同様に、図１乃至図３に説明するように、金属板２０の第２面２０ｂの側から、直線状に延びる第２の溝３４が多数形成されている。図２に示すように、複数の第２の溝３４は、その軸線（長手方向中心線）Ｌｂが金属板２０の板面と平行に延びる第２軸線Ｌ２に沿うようにして、配置されている。第２軸線Ｌ２は互いに平行であるとともに等間隔を空けて複数設けられており、各第２軸線Ｌ２上に二以上の第２の溝３４が等間隔を空けて配置されている。   Similarly, as will be described with reference to FIGS. 1 to 3, a plurality of second grooves 34 extending linearly from the second surface 20b side of the metal plate 20 are formed. As shown in FIG. 2, the plurality of second grooves 34 are arranged such that the axis (longitudinal center line) Lb is along the second axis L <b> 2 extending in parallel with the plate surface of the metal plate 20. . A plurality of second axes L2 are parallel to each other and are provided at equal intervals, and two or more second grooves 34 are arranged at equal intervals on each second axis L2.

図２に示すように、金属板２０の板面に直交する方向から見た場合において、すなわち、金属板２０の平面視において、第１の軸線Ｌ１と第２の軸線Ｌ２とは直交している。また、図３に示すように、第１の軸線Ｌ１と第２の軸線Ｌ２とが交差する部分において、第１の溝３２と第２の溝３４とが対面している。とりわけ、第１の溝３２および第２の溝３４は、金属板２０の板面の法線に沿った方向から見た場合に交差する位置関係にある。すなわち、第１の溝３２の軸線Ｌａあるいは第１の溝３２の軸線Ｌａと平行な軸線が、第２の溝３４の軸線Ｌｂと交差するようになっている。なお、図３に示す例においては、一つの第１に溝３２に対して一つの第２の溝３４が対面するようになっている。   As shown in FIG. 2, when viewed from a direction orthogonal to the plate surface of the metal plate 20, that is, in a plan view of the metal plate 20, the first axis L <b> 1 and the second axis L <b> 2 are orthogonal to each other. . Moreover, as shown in FIG. 3, the 1st groove | channel 32 and the 2nd groove | channel 34 have faced in the part which 1st axis line L1 and 2nd axis line L2 cross | intersect. In particular, the first groove 32 and the second groove 34 are in a positional relationship that intersects when viewed from the direction along the normal of the plate surface of the metal plate 20. That is, the axis line La of the first groove 32 or the axis line parallel to the axis line La of the first groove 32 intersects the axis line Lb of the second groove 34. In the example shown in FIG. 3, one second groove 34 faces one first groove 32.

図３に示すように、対面し合う第１の溝３２および第２の溝３４は、交差する部分において通じており、これにより、第１の溝３２の壁面３２ａと第２の溝３４の壁面３４ａとが、周状の接続部３６で接続されている。この結果、これらの第１の溝３２と第２の溝３４とによって、金属板２０の第１面２０ａと第２面２０ｂとの間を延びる貫通孔３０が形成されている。形成された貫通孔３０の平面視における開孔形状は、図２に示すように、第１の溝３２と第２の溝３４とが交差する領域において、第１の溝３２の外輪郭と第２の溝３４の外輪郭とによって囲まれた形状（交差部分）と略同一になる。上述したように、図２に示す例においては、第１の溝３２の軸線Ｌａと平行な第１軸線Ｌ１と、第２の溝３４の軸線Ｌｂと平行な第２軸線Ｌ２と、が直交している。したがって、貫通孔３０の開孔形状は、図２に示す例において、略四角形形状（矩形状）となり、とりわけ、第１の溝３２の幅と第２の溝３４の幅とが同一である場合には、開孔形状は正方形形状となる。   As shown in FIG. 3, the first groove 32 and the second groove 34 that face each other communicate with each other at an intersecting portion, whereby the wall surface 32 a of the first groove 32 and the wall surface of the second groove 34. 34 a is connected by a circumferential connecting portion 36. As a result, a through hole 30 extending between the first surface 20a and the second surface 20b of the metal plate 20 is formed by the first groove 32 and the second groove 34. As shown in FIG. 2, the opening shape of the formed through-hole 30 in plan view is the same as the outer contour of the first groove 32 and the first contour in the region where the first groove 32 and the second groove 34 intersect. The shape is substantially the same as the shape (intersection) surrounded by the outer contour of the second groove 34. As described above, in the example shown in FIG. 2, the first axis L1 parallel to the axis La of the first groove 32 and the second axis L2 parallel to the axis Lb of the second groove 34 are orthogonal to each other. ing. Therefore, in the example shown in FIG. 2, the opening shape of the through hole 30 is a substantially rectangular shape (rectangular shape), and in particular, the width of the first groove 32 and the width of the second groove 34 are the same. The opening shape is a square shape.

次に、以上のような構成からなる有孔板を製造する方法の一例について、主に図４乃至図６を参照して説明する。なお、以下に説明する製造方法は、フォトリソグラフィー技術を利用したエッチングを用いた製造方法である。ここで、図４は有孔板の製造方法を全体的に説明するための図であり、図５は金属板にレジストパターンを形成する方法を説明するための図であり、図６は金属板をエッチングする方法を説明するための図である。   Next, an example of a method for manufacturing a perforated plate having the above-described configuration will be described mainly with reference to FIGS. In addition, the manufacturing method demonstrated below is a manufacturing method using the etching using a photolithographic technique. Here, FIG. 4 is a figure for demonstrating the manufacturing method of a perforated board generally, FIG. 5 is a figure for demonstrating the method of forming a resist pattern in a metal plate, FIG. 6 is a metal plate. It is a figure for demonstrating the method to etch.

図４に示すように、本実施の形態における有孔板の製造方法は、帯状に延びる金属板２０を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを金属板２０に施して、金属板２０の第１面２０ａ側に線状に延びる第１の溝３２を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを金属板２０に施して、金属板２０の板面の法線に沿った方向から見た場合に第１の溝３２と交差するように、金属板２０の第２面２０ｂ側に線状に延びる第２の溝３４を形成する工程と、を含んでいる。各工程について、以下においてさらに詳細に説明する。なお、本実施の形態においては、以下に説明するように、金属板２０の第１面２０ａおよび第２面２０ｂが同時にエッチングされ、第１の溝３２を形成する工程および第２の溝３４を形成する工程が並行して行われる。   As shown in FIG. 4, the method for manufacturing a perforated plate in the present embodiment includes a step of supplying a metal plate 20 extending in a strip shape, and etching using a photolithography technique on the metal plate 20, A step of forming a first groove 32 extending linearly on the first surface 20a side, and etching using a photolithography technique on the metal plate 20, and a direction along the normal of the plate surface of the metal plate 20 Forming a second groove 34 extending linearly on the second surface 20b side of the metal plate 20 so as to intersect the first groove 32 when viewed from above. Each step will be described in more detail below. In the present embodiment, as will be described below, the first surface 20a and the second surface 20b of the metal plate 20 are simultaneously etched to form the first groove 32 and the second groove 34. The forming process is performed in parallel.

図４に示すように、本実施の形態においては、金属板２０を供給コア２３に巻き取った巻体２２が準備される。そして、この供給コア２３が回転して巻体２２が巻き戻されることにより、図４に示すように帯状に延びる金属板２０が供給される。なお、金属板２０は貫通孔３０を形成されて有孔板１０をなすようになる。このような金属板２０として、ステンレス、銅、鉄、アルミニウム等からなる板材（シート材）を用いることも可能である。   As shown in FIG. 4, in the present embodiment, a wound body 22 is prepared by winding a metal plate 20 around a supply core 23. Then, when the supply core 23 rotates and the wound body 22 is rewound, the metal plate 20 extending in a strip shape is supplied as shown in FIG. The metal plate 20 is formed with a through hole 30 to form the perforated plate 10. As such a metal plate 20, a plate material (sheet material) made of stainless steel, copper, iron, aluminum or the like can be used.

供給された金属板２０はエッチング装置（エッチング手段）５０によってエッチング処理を施される。具体的には、まず、金属板２０の第１面２０ａ上（図５の紙面における上側の面上）および第２面２０ｂ上に感光性レジスト材料を塗布し、金属板２０上にレジスト膜５１ａ，５１ｂを形成する。次に、レジスト膜５１ａ，５１ｂのうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板５３ａ，５３ｂを準備し、ガラス乾板５３ａ，５３ｂをレジスト膜５１ａ，５１ｂ上に配置する。   The supplied metal plate 20 is subjected to an etching process by an etching apparatus (etching means) 50. Specifically, first, a photosensitive resist material is applied on the first surface 20a of the metal plate 20 (on the upper surface of the paper surface of FIG. 5) and the second surface 20b, and the resist film 51a is formed on the metal plate 20. , 51b. Next, glass dry plates 53a and 53b that prevent light from being transmitted to the regions to be removed of the resist films 51a and 51b are prepared, and the glass dry plates 53a and 53b are disposed on the resist films 51a and 51b.

その後、図５に示すように、レジスト膜５１ａ，５１ｂをガラス乾板５３ａ，５３ｂ越しに露光し、さらにレジスト膜５１ａ，５１ｂを現像する。以上のようにして、金属板２０の第１面２０ａ上にレジストパターン５２ａ（図６参照）が形成されるとともに、金属板２０の第２面２０ｂ上にレジストパターン５２ｂが形成される。   Thereafter, as shown in FIG. 5, the resist films 51a and 51b are exposed through the glass dry plates 53a and 53b, and the resist films 51a and 51b are further developed. As described above, the resist pattern 52a (see FIG. 6) is formed on the first surface 20a of the metal plate 20, and the resist pattern 52b is formed on the second surface 20b of the metal plate 20.

なお、具体例として、ガラス乾板５３ａ，５３ｂのうちの除去すべきレジスト膜５１ａ，５１ｂに対面する領域を黒色にしておき、露光光として可視光を用いることができる。この場合、黒色部分で可視光が吸収されることにより、レジスト膜５１ａ，５１ｂの除去すべき領域には光が入射せず、レジスト膜５１ａ，５１ｂが金属板２０上に定着しない。一方、レジスト膜５１ａ，５１ｂの除去すべきでない領域には光が入射して、当該領域におけるレジスト膜５１ａ，５１ｂが金属板２０上に定着する。定着していないレジスト膜５１ａ，５１ｂは、例えば湯洗によって除去される。   As a specific example, regions of the glass dry plates 53a and 53b that face the resist films 51a and 51b to be removed are made black, and visible light can be used as exposure light. In this case, visible light is absorbed by the black portions, so that light does not enter the regions to be removed of the resist films 51 a and 51 b, and the resist films 51 a and 51 b are not fixed on the metal plate 20. On the other hand, light is incident on regions where the resist films 51 a and 51 b should not be removed, and the resist films 51 a and 51 b in the regions are fixed on the metal plate 20. The unfixed resist films 51a and 51b are removed by, for example, hot water washing.

次に、図６に示すように、金属板２０上の形成されたレジストパターン５２ａ，５２ｂをマスクとして、エッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）５７により金属板２０を第１面２０ａの側および第２面２０ｂの側からエッチングする。本実施の形態においては、エッチング液５７が、搬送される金属板２０の上方に配置されたエッチング装置５０の上方ノズル５５ａから、レジストパターン５２ａ越しに金属板２０の第１面２０ａに向けて噴射される。同時に、エッチング液５７が、搬送される金属板２０の下方に配置されたエッチング装置５０の下方ノズル５５ｂから、レジストパターン５２ｂ越しに金属板２０の第２面２０ｂに向けて噴射される。このとき、金属板２０のうちのレジストパターン５１ａ，５１ｂによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が始まる。以上のようにして、エッチング液による浸食が金属板２０の第１面２０ａから第２面２０ｂ側に向けて進んで第１の溝３２が形成されていき、同様に、エッチング液による浸食が金属板２０の第２面２０ｂから第１面２０ａ側に向けて進んで第２の溝３４が形成されていく。最終的には、第１の溝３２と第２の溝３４とが互いに通じ（図３参照）、第１の溝３２と第２の溝３４とによって金属板２０を貫通する貫通孔３０が形成される。   Next, as shown in FIG. 6, using the resist patterns 52a and 52b formed on the metal plate 20 as a mask, the metal plate 20 is moved to the first surface 20a side by an etching solution (for example, ferric chloride solution) 57. Etching is performed from the second surface 20b side. In the present embodiment, the etching solution 57 is sprayed from the upper nozzle 55a of the etching apparatus 50 disposed above the conveyed metal plate 20 toward the first surface 20a of the metal plate 20 through the resist pattern 52a. Is done. At the same time, the etching solution 57 is sprayed toward the second surface 20b of the metal plate 20 from the lower nozzle 55b of the etching apparatus 50 disposed below the metal plate 20 to be conveyed through the resist pattern 52b. At this time, erosion by the etching solution starts in a region of the metal plate 20 that is not covered with the resist patterns 51a and 51b. As described above, erosion by the etching solution proceeds from the first surface 20a to the second surface 20b side of the metal plate 20, and the first groove 32 is formed. The second groove 34 is formed by proceeding from the second surface 20b of the plate 20 toward the first surface 20a. Eventually, the first groove 32 and the second groove 34 communicate with each other (see FIG. 3), and the first groove 32 and the second groove 34 form a through hole 30 that penetrates the metal plate 20. Is done.

その後、金属板２０上のレジストパターン５２ａ，５２ｂを除去し、さらに金属板２０を水洗いする。このようにして、金属板２０に貫通孔３０を形成してなる有孔板１０が得られる。   Thereafter, the resist patterns 52a and 52b on the metal plate 20 are removed, and the metal plate 20 is washed with water. In this way, the perforated plate 10 in which the through holes 30 are formed in the metal plate 20 is obtained.

このようにして得られた帯状に延びるウェブ状の有孔板１０は、当該有孔板１０を狭持した状態で回転する一対の搬送ローラ５７，５７により、切断装置（切断手段）５９へ搬送される。なお、この搬送ローラ５７，５７の回転によって有孔板１０に作用するテンション（引っ張り力）を介し、上述した供給コア２３が回転させられ、巻体２２から金属板２０が供給されるようになっている。任意ではあるが、多数の貫通孔３０が形成された金属板２０（有孔板１０）を切断装置（切断手段）５９によって所定の長さに切断することにより、枚葉状の有孔板１０を得ることができる。   The web-like perforated plate 10 extending in a belt shape thus obtained is conveyed to a cutting device (cutting means) 59 by a pair of conveying rollers 57 and 57 that rotate while holding the perforated plate 10. Is done. The supply core 23 described above is rotated via the tension (pulling force) acting on the perforated plate 10 by the rotation of the transport rollers 57 and 57, and the metal plate 20 is supplied from the wound body 22. ing. Although it is arbitrary, the sheet-like perforated plate 10 is formed by cutting the metal plate 20 (perforated plate 10) having a large number of through holes 30 into a predetermined length by a cutting device (cutting means) 59. Obtainable.

以上のように本実施の形態によれば、金属板２０の第１面２０ａ側に形成された線状に延びる第１の溝３２と、金属板２０の第２面２０ｂ側に形成された線状に延びる第２の溝３４と、の交差部分に貫通孔３０が形成される。したがって、第１面２０ａ側から第１の溝３２を形成するとともに、第２面２０ｂ側から第２の溝３４を形成することによって、開孔形状が角部を含んでいる貫通孔３０が形成される。これにより、何らかの加工によって貫通孔３０の角部を形成する必要なく、精度良く形成されたシャープな角部を含む貫通孔３０が金属板２０に形成されるようになる。   As described above, according to the present embodiment, the first groove 32 formed in a linear shape formed on the first surface 20 a side of the metal plate 20 and the line formed on the second surface 20 b side of the metal plate 20. A through-hole 30 is formed at the intersection with the second groove 34 extending in a shape. Accordingly, the first groove 32 is formed from the first surface 20a side, and the second groove 34 is formed from the second surface 20b side, thereby forming the through hole 30 whose opening shape includes a corner portion. Is done. Accordingly, the through hole 30 including the sharp corner portion formed with high accuracy can be formed in the metal plate 20 without the need to form the corner portion of the through hole 30 by some processing.

なお、上述した実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、図７乃至図１０を参照しながら、変形例の一例について説明する。なお、図７乃至図１０に示す変形例において、上述した実施の形態と同一部分には同一符号を付し、重複する詳細な説明は省略する。   Various modifications can be made to the above-described embodiment within the scope of the present invention. Hereinafter, an example of a modification will be described with reference to FIGS. 7 to 10. In addition, in the modification shown in FIGS. 7 to 10, the same reference numerals are given to the same portions as those in the above-described embodiment, and the detailed description thereof is omitted.

上述した実施の形態において、金属板２０の第１面２０ａ側から第１の溝３２が複数形成されるとともに、金属板２０の第２面２０ｂ側から、各第１の溝３２にそれぞれ対応して、前記第２の溝３４が複数形成される例を示したが、これに限られず、例えば図７または図８に示す例のように変形することができる。   In the above-described embodiment, a plurality of first grooves 32 are formed from the first surface 20a side of the metal plate 20 and correspond to the first grooves 32 from the second surface 20b side of the metal plate 20, respectively. In addition, an example in which a plurality of the second grooves 34 are formed has been described.

図７に示す変形例においては、細長く延びる第２の溝３４が、その軸線Ｌｂが互いに平行となるようにして、複数形成されている。各第２の溝３４は、金属板２０の板面の法線に沿った方向から見た場合に複数の第１の溝３２と交差する位置関係にある。すなわち、一つの第２の溝３４が、複数の第１の溝３２と対面するようになっている。   In the modification shown in FIG. 7, a plurality of elongated second grooves 34 are formed such that their axis lines Lb are parallel to each other. Each second groove 34 is in a positional relationship intersecting with the plurality of first grooves 32 when viewed from the direction along the normal line of the plate surface of the metal plate 20. That is, one second groove 34 faces the plurality of first grooves 32.

また、図８に示す変形例においては、細長く延びる第１の溝３２が、その軸線Ｌａが互いに平行となるようにして、複数形成されている。また、細長く延びる第２の溝３４が、その軸線Ｌｂが互いに平行となるようにして、複数形成されている。各第１の溝３２は、金属板２０の板面の法線に沿った方向から見た場合に複数の第２の溝３４と交差する位置関係にある。すなわち、一つの第１の溝３２が、複数の第２の溝３４と対面するようになっている。各第２の溝３４は、金属板２０の板面の法線に沿った方向から見た場合に複数の第１の溝３２と交差する位置関係にある。すなわち、一つの第２の溝３４が、複数の第１の溝３２と対面するようになっている。   In the modification shown in FIG. 8, a plurality of elongated first grooves 32 are formed such that their axis lines La are parallel to each other. A plurality of elongated second grooves 34 are formed such that their axis lines Lb are parallel to each other. Each first groove 32 is in a positional relationship intersecting with the plurality of second grooves 34 when viewed from the direction along the normal line of the plate surface of the metal plate 20. That is, one first groove 32 faces a plurality of second grooves 34. Each second groove 34 is in a positional relationship intersecting with the plurality of first grooves 32 when viewed from the direction along the normal line of the plate surface of the metal plate 20. That is, one second groove 34 faces the plurality of first grooves 32.

また、上述した実施の形態においては、直線状に延びる第１の溝３２の幅と、直線状に延びる第２の溝３４の幅と、が同一となっている例を示したが、これに限られず、図９に示すように、直線状に延びる第１の溝３２の幅と、直線状に延びる第２の溝３４の幅と、が異なるようにしてもよい。このような変形例によれば、開孔形状が長方形形状となっている貫通孔３０が金属板２０に精度良く形成され得る。   In the above-described embodiment, the example in which the width of the first groove 32 extending linearly and the width of the second groove 34 extending linearly are the same is shown. Without being limited thereto, as shown in FIG. 9, the width of the first groove 32 extending linearly may be different from the width of the second groove 34 extending linearly. According to such a modification, the through hole 30 whose opening shape is a rectangular shape can be accurately formed in the metal plate 20.

さらに、上述した実施の形態においては、金属板２０の板面の法線に沿った方向から見た場合に、直線状に延びる第１の溝３２の軸線Ｌａと、直線状に延びる第２の溝３４の軸線Ｌｂと、が直交する例を示したが、これに限られない。例えば、金属板２０の板面の法線に沿った方向から見た場合に、直線状に延びる第１の溝３２の軸線Ｌａと、直線状に延びる第２の溝３４の軸線Ｌｂと、が９０°以外の傾斜角度で交差するようにしてもよい。このような変形例によれば、図１０に示すように、開孔形状が、長方形形状や正方形形状以外の四角形形状、例えば菱形形状や平行四辺形形状となっている貫通孔３０が金属板２０に精度良く形成され得る。   Further, in the above-described embodiment, when viewed from the direction along the normal line of the plate surface of the metal plate 20, the axis line La of the first groove 32 extending linearly and the second line extending linearly. Although the example in which the axis Lb of the groove 34 is orthogonal is shown, the present invention is not limited to this. For example, when viewed from the direction along the normal of the plate surface of the metal plate 20, the axis La of the first groove 32 extending linearly and the axis Lb of the second groove 34 extending linearly are You may make it cross | intersect with inclination-angle other than 90 degrees. According to such a modification, as shown in FIG. 10, the through hole 30 whose opening shape is a rectangular shape other than a rectangular shape or a square shape, for example, a rhombus shape or a parallelogram shape, is formed on the metal plate 20. Can be formed with high accuracy.

さらに、上述した実施の形態において、第１の溝３２および第２の溝３４が金属板２０の板面に沿って直線状に延びる例を示したが、これに限られず、例えば、第１の溝３２および第２の溝３４の少なくとも一方が曲線状に延びるようにしてもよい。このような変形例においても、角部を含む開孔形状の貫通孔３０が金属板２０に精度良く形成され得る。   Further, in the above-described embodiment, the example in which the first groove 32 and the second groove 34 extend linearly along the plate surface of the metal plate 20 is shown. However, the present invention is not limited to this. For example, the first groove 32 At least one of the groove 32 and the second groove 34 may extend in a curved shape. Even in such a modified example, the through-hole 30 having an opening shape including a corner portion can be accurately formed in the metal plate 20.

さらに、上述した実施の形態において、金属板２０の第１面２０ａおよび第２面２０ｂが同時にエッチングされ、第１の溝３２および第２の溝３４が並行して形成されていく例を示したが、これに限られない。第１の溝３２および第２の溝３４のいずれか一方が先に形成され、その後、第１の溝３２および第２の溝３４のいずれか他方が形成されるようにしてもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, an example in which the first surface 20a and the second surface 20b of the metal plate 20 are simultaneously etched and the first groove 32 and the second groove 34 are formed in parallel is shown. However, it is not limited to this. Either one of the first groove 32 and the second groove 34 may be formed first, and then the other of the first groove 32 and the second groove 34 may be formed.

さらに、上述した実施の形態において、帯状に延びる金属板２０を供給する例を示したが、これに限られない。枚葉状の金属板２０を供給し、この金属板２０にエッチングを施して有孔板１０を形成するようにしてもよい。   Furthermore, although the example which supplies the metal plate 20 extended in strip | belt shape was shown in embodiment mentioned above, it is not restricted to this. The perforated plate 10 may be formed by supplying a sheet metal plate 20 and etching the metal plate 20.

さらに、上述した実施の形態に対する複数の変形例を説明したが、これらの変形例を適宜組み合わせて上述した実施の形態に対して適用することもできる。   Furthermore, although the some modification with respect to embodiment mentioned above was demonstrated, it can also apply with respect to embodiment mentioned above combining these modifications suitably.

図１は、本発明による有孔板の一実施の形態を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a perforated plate according to the present invention. 図２は、図１に示された有孔板を示す部分平面図である。FIG. 2 is a partial plan view showing the perforated plate shown in FIG. 図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面における断面図である。3 is a cross-sectional view taken along a line III-III in FIG. 図４は、図１に示された有孔板を製造する方法の一例を説明するための図である。FIG. 4 is a view for explaining an example of a method for manufacturing the perforated plate shown in FIG. 図５は、図４に示された製造方法において、金属板にレジストパターンを形成する方法を説明するための図である。FIG. 5 is a view for explaining a method of forming a resist pattern on a metal plate in the manufacturing method shown in FIG. 図６は、図４に示された製造方法において、金属板をエッチングする方法を説明するための図である。FIG. 6 is a view for explaining a method of etching a metal plate in the manufacturing method shown in FIG. 図７は、図２に対応する図であって、有孔板の変形例を示す部分平面図である。FIG. 7 is a partial plan view corresponding to FIG. 2 and showing a modified example of the perforated plate. 図８は、図２に対応する図であって、有孔板の他の変形例を示す部分平面図である。FIG. 8 is a partial plan view corresponding to FIG. 2 and showing another modified example of the perforated plate. 図９は、さらに他の変形例における有孔板の一つの貫通孔を示す部分平面図である。FIG. 9 is a partial plan view showing one through hole of a perforated plate in still another modified example. 図１０は、さらに他の変形例における有孔板の一つの貫通孔を示す部分平面図である。FIG. 10 is a partial plan view showing one through hole of a perforated plate in still another modified example.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 有孔板
１４ａ 有孔領域
１４ｂ 無孔領域
２０ 金属板
２０ａ 第１面
２０ｂ 第２面
３０ 貫通孔
３２ 第１の溝
３２ａ 壁面
３４ 第２の溝
３４ａ 壁面
３６ 接続部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Perforated plate 14a Perforated area | region 14b Non-perforated area | region 20 Metal plate 20a 1st surface 20b 2nd surface 30 Through-hole 32 1st groove | channel 32a Wall surface 34 2nd groove | channel 34a Wall surface 36 Connection part

Claims (10)

第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有する金属板を備え、
前記第１面側から、線状に延びる第１の溝が形成され、
前記第２面側から、線状に延びる第２の溝が形成され、
前記第１の溝および前記第２の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に交差する位置関係にあり、
前記第１の溝と前記第２の溝とは交差する部分において互いに通じており、これらの前記第１の溝と前記第２の溝とによって前記金属板を貫通する貫通孔が形成されている
ことを特徴とする有孔板。 A metal plate having a first surface and a second surface opposite to the first surface;
A first groove extending linearly from the first surface side is formed,
A second groove extending linearly from the second surface side is formed,
The first groove and the second groove are in a positional relationship that intersects when viewed from the direction along the normal line of the plate surface of the metal plate,
The first groove and the second groove communicate with each other at an intersecting portion, and a through-hole penetrating the metal plate is formed by the first groove and the second groove. A perforated plate characterized by that. 前記第１の溝および前記第２の溝は、それぞれ、直線状に延び、
前記第１の溝の軸線および前記第２の溝の軸線は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に直交する
ことを特徴とする請求項１に記載の有孔板。 Each of the first groove and the second groove extends linearly,
2. The perforated hole according to claim 1, wherein the axis of the first groove and the axis of the second groove are orthogonal when viewed from a direction along a normal line of the plate surface of the metal plate. Board. 前記第１面側から、前記第１の溝が複数形成され、
前記第２の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記複数の第１の溝と交差する位置関係にある
ことを特徴とする請求項１または２に記載の有孔板。 A plurality of the first grooves are formed from the first surface side,
The said 2nd groove | channel is in the positional relationship which cross | intersects these 1st groove | channels, when it sees from the direction along the normal line of the plate | board surface of the said metal plate. The perforated plate described. 前記第１面側から、前記第１の溝が複数形成され、
前記第２面側から、前記第２の溝が複数形成され、
各第２の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記複数の第１の溝と交差する位置関係にあり、
各第１の溝は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記複数の第２の溝と交差する位置関係にある
ことを特徴とする請求項１または２に記載の有孔板。 A plurality of the first grooves are formed from the first surface side,
A plurality of the second grooves are formed from the second surface side,
Each second groove is in a positional relationship intersecting the plurality of first grooves when viewed from the direction along the normal line of the plate surface of the metal plate,
3. Each of the first grooves is in a positional relationship intersecting with the plurality of second grooves when viewed from a direction along a normal line of the plate surface of the metal plate. The perforated plate described. 前記第１面側から、前記第１の溝が複数形成され、
前記第２面側から、各第１の溝にそれぞれ対応して、前記第２の溝が複数形成されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の有孔板。 A plurality of the first grooves are formed from the first surface side,
3. The perforated plate according to claim 1, wherein a plurality of the second grooves are formed in correspondence with the first grooves from the second surface side. 4. 前記貫通孔の開孔形状は、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に略四角形形状である
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の有孔板。 The opening shape of the through hole is a substantially rectangular shape when viewed from a direction along a normal line of the plate surface of the metal plate. Perforated plate. 第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有する金属板をエッチングして、前記金属板の前記第１面側に線状に延びる第１の溝を形成する工程と、
前記金属板をエッチングし、前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に前記第１の溝と交差するように、前記金属板の前記第２面側に線状に延びる第２の溝を形成する工程と、を含み、
前記第１の溝と前記第２の溝とは交差する部分において互いに通じ、前記第１の溝と前記第２の溝とによって前記金属板を貫通する貫通孔が形成されるように、前記第１の溝および前記第２の溝が形成される
ことを特徴とする有孔板の製造方法。 Etching a metal plate having a first surface and a second surface opposite to the first surface to form a first groove extending linearly on the first surface side of the metal plate;
The metal plate is etched and extends linearly toward the second surface of the metal plate so as to intersect the first groove when viewed from the direction along the normal of the plate surface of the metal plate. Forming a second groove,
The first groove and the second groove communicate with each other at an intersecting portion, and the first groove and the second groove form a through hole that penetrates the metal plate. A method for manufacturing a perforated plate, wherein one groove and the second groove are formed. 前記金属板の前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ、前記第１の溝を形成する工程および前記第２の溝を形成する工程が並行して行われる
ことを特徴とする請求項７に記載の有孔板の製造方法。 The first surface and the second surface of the metal plate are etched at the same time, and the step of forming the first groove and the step of forming the second groove are performed in parallel. A method for producing a perforated plate according to claim 7. 前記第１の溝を形成する工程および前記第２の溝を形成する工程のいずれか一方は、前記第１の溝を形成する工程および前記第２の溝を形成する工程のいずれか他方の前に行われる
ことを特徴とする請求項７または８に記載の有孔板の製造方法。 One of the step of forming the first groove and the step of forming the second groove is before the step of forming the first groove and the step of forming the second groove. The method for producing a perforated plate according to claim 7 or 8, wherein the method is performed. 前記金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に開孔形状が略四角形形状となる貫通孔が形成される
ことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載の有孔板。 The through-hole whose opening shape is a substantially square shape when viewed from the direction along the normal line of the plate surface of the metal plate is formed. Perforated plate.
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