JP2009088397A - Sheet peeling device and peeling method - Google Patents
Sheet peeling device and peeling method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009088397A JP2009088397A JP2007258921A JP2007258921A JP2009088397A JP 2009088397 A JP2009088397 A JP 2009088397A JP 2007258921 A JP2007258921 A JP 2007258921A JP 2007258921 A JP2007258921 A JP 2007258921A JP 2009088397 A JP2009088397 A JP 2009088397A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- sheet
- adhesive sheet
- adherend
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートを被着体から剥離する場合において、特に、初期の剥離を確実に行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法に関する。 The present invention relates to a sheet peeling apparatus and a peeling method, and more specifically, in the case of peeling an adhesive sheet affixed to an adherend from an adherend, in particular, a sheet peeling apparatus capable of reliably performing initial peeling. And a peeling method.
半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称する)等の板状部材は、その回路面側に、ダイシングシート等の接着シートが貼付されている。この接着シートは、最終的に、シート剥離装置を介してウエハから剥離されるものとなっている。 A plate-like member such as a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as “wafer”) has an adhesive sheet such as a dicing sheet attached to the circuit surface side. This adhesive sheet is finally peeled from the wafer via a sheet peeling device.
このようなシート剥離装置による剥離方法は、図7に示されるように、ウエハWに貼付された接着シートSに帯状の剥離用シートPSを貼付し、この剥離用シートPSを剥離角度θで折り返し、この状態で引張力を付与して接着シートSをウエハWから剥離する手法が知られている(例えば、特許文献1参照)。 As shown in FIG. 7, the peeling method using such a sheet peeling apparatus is a method of sticking a strip-like peeling sheet PS to an adhesive sheet S stuck to a wafer W, and folding the peeling sheet PS at a peeling angle θ. In this state, a method is known in which a tensile force is applied to peel the adhesive sheet S from the wafer W (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載されたシート剥離装置にあっては、剥離開始時に、剥離用シートPSの接着力が、接着シートSのウエハWへの接着力に加え接着シートS自体の剛性によって負けてしまい、剥離用シートPSが接着シートSから剥がれてしまい剥離が行えない、という不都合がある。これは、剥離角度θが大きいと、剥離開始時において、接着シートSが一挙に広角に折り曲げられることに起因している。なお、このような不都合は、接着シートSが厚い場合や、剛性が高い場合に顕在化する。 However, in the sheet peeling apparatus described in Patent Document 1, at the start of peeling, the adhesive strength of the peeling sheet PS is lost by the rigidity of the adhesive sheet S itself in addition to the adhesive strength of the adhesive sheet S to the wafer W. Therefore, there is a disadvantage that the peeling sheet PS is peeled off from the adhesive sheet S and cannot be peeled off. This is because when the peeling angle θ is large, the adhesive sheet S is bent at a wide angle all at once at the start of peeling. Such inconvenience becomes apparent when the adhesive sheet S is thick or when the rigidity is high.
[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、被着体に貼付された接着シートを剥離する初期の段階において、小さな剥離角度で剥離力を付与して確実且つスムースな剥離を実現することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
[Object of invention]
The present invention has been devised by paying attention to such inconveniences, and its purpose is to provide a peeling force at a small peeling angle in the initial stage of peeling the adhesive sheet affixed to the adherend. Another object of the present invention is to provide a sheet peeling apparatus and a peeling method capable of realizing reliable and smooth peeling.
前記目的を達成するため、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、前記保持手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記保持手段を回動させることで剥離きっかけ部を形成する、という構成を採っている。 In order to achieve the above object, the present invention provides a supporting means for supporting an adherend having an adhesive sheet attached to an adherend surface, an attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet, and an adhesive sheet attached to the adhesive sheet. A sheet peeling device comprising: holding means for holding one end of the peeled sheet, moving means rotatable about a predetermined position as a central axis, and tension means provided between the holding means and the moving means An apparatus, wherein the pulling means forms a peeling trigger portion by rotating the holding means while pulling the peeling sheet to the outside along the adherend surface via the holding means. Adopted.
また、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、前記支持手段と保持手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、前記保持手段に接続された引張手段と、前記保持手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記変位手段を介して前記保持手段と支持手段とを相対変位させることで剥離きっかけ部を形成する、という構成を採ることもできる。 The present invention also provides a supporting means for supporting an adherend having an adhesive sheet attached to an adherend surface, an attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet, and a release sheet attached to the adhesive sheet. A holding means for holding one end of the sheet, a sheet peeling device for peeling the adhesive sheet from the adherend by relative movement of the support means and the holding means, and a tension means connected to the holding means, Displacement means for relatively displacing the holding means and the support means in a direction orthogonal to the adherend surface, the pulling means pulling the release sheet outward along the adherend surface via the retainer means Thus, it is possible to adopt a configuration in which the peeling trigger part is formed by relatively displacing the holding means and the support means via the displacement means.
更に、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、前記巻取手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記巻取手段を回動させることで剥離きっかけ部を形成する、という構成を採用してもよい。 Furthermore, the present invention provides a supporting means for supporting an adherend having an adhesive sheet attached to an adherend surface, an attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet, and a winding means for winding the release sheet. A sheet peeling apparatus comprising: a moving means rotatable around a predetermined position as a central axis; and a pulling means provided between the winding means and the moving means. You may employ | adopt the structure that a peeling trigger part is formed by rotating the said winding means in the state which pulled the sheet | seat for peeling to the outer side along a to-be-adhered surface via a means.
また、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、前記支持手段と巻取手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、前記巻取手段に接続された引張手段と、前記保持手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記変位手段を介して前記巻取手段と支持手段とを相対変位させることで剥離きっかけ部を形成する、という構成とすることができる。 The present invention also provides a supporting means for supporting an adherend having an adhesive sheet attached to an adherend surface, an attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet, and a winding means for winding the release sheet. And a sheet peeling device for peeling the adhesive sheet from the adherend by relative movement between the support means and the winding means, the pulling means connected to the winding means, the holding means and the support means, Displacement means for relative displacement in a direction orthogonal to the adherend surface, and the displacement means in a state where the pulling means has pulled the peeling sheet outward along the adherend surface via the winding means. The peeling trigger part can be formed by relatively displacing the winding means and the supporting means via the squeeze.
前記シート剥離装置において、前記被着体上に位置する剥離補助手段を更に含み、当該剥離補助手段に前記剥離用シート及び又は接着シートが巻き掛けられた状態で剥離を行うように設けるとよい。 The sheet peeling apparatus may further include a peeling assisting unit positioned on the adherend, and may be provided so as to perform the peeling in a state where the peeling sheet and / or the adhesive sheet are wound around the peeling assisting unit.
また、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持手段に支持させた状態で、前記接着シートに剥離用シートを貼付するとともに、当該剥離用シートの一端側を保持し、前記被保持部の保持位置と支持手段との相対移動によって前記被着体から接着シートを剥離するシート剥離方法において、前記剥離用シートの一端側を前記被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記剥離用シートの一端側と支持手段とを相対移動させることで剥離きっかけ部が形成される、という手法を採っている。 In addition, the present invention attaches a release sheet to the adhesive sheet and holds one end side of the release sheet in a state where the adherend having the adhesive sheet attached to the adherend surface is supported by the support means. In the sheet peeling method in which the adhesive sheet is peeled from the adherend by relative movement between the holding position of the held portion and the supporting means, one end side of the peeling sheet is pulled outward along the adherend surface. In this state, a method is adopted in which a peeling trigger portion is formed by relatively moving one end side of the peeling sheet and the supporting means.
更に、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持手段に支持させた状態で、前記接着シートに剥離用シートを貼付するとともに、当該剥離用シートの一端側を巻き取ることによって当該被着体から接着シートを剥離するシート剥離方法において、前記剥離用シートの巻取側を被着面の面に沿う外側に引っ張った状態で、前記剥離シートの巻取側と支持手段とを相対移動させることで剥離きっかけ部が形成される、という手法を採ることができる。 Furthermore, the present invention is to stick a release sheet to the adhesive sheet in a state where the adherend having the adhesive sheet attached to the adherend surface is supported by a supporting means, and wind one end side of the release sheet. In the sheet peeling method in which the adhesive sheet is peeled off from the adherend by taking, the winding side of the release sheet is supported with the winding side of the peeling sheet pulled outward along the surface of the adherend surface. It is possible to adopt a technique in which a peeling trigger part is formed by moving the means relative to each other.
本発明によれば、接着シートの剥離開始時に、前記剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、保持手段を回動させたり、保持手段若しくは巻取手段と支持手段とを相対変位させることで接着シートを被着体から剥がす剥離力が付与されることとなる。従って、接着シートの剥離初期段階において、限りなく0度に近い角度で剥離が開始されるようになる。そのため、接着シートに剛性があったとしても、当該接着シートを一挙に広角に折り曲げることがなくなるため、剥離用シートが接着シートから剥がれて剥離不良を発生するといった不都合を効果的に解消することができる。
また、前記被着体上に位置する剥離補助手段を含む構成とした場合には、被着体の浮きを防止するとともに、剥離きっかけ部が形成された後は、剥離角度を一定に保って接着シートの剥離を行うことができる。
According to the present invention, at the start of peeling of the adhesive sheet, the holding means is rotated while the peeling sheet is pulled outward along the adherend surface, or the holding means or the winding means and the supporting means are moved relative to each other. By displacing, a peeling force for peeling the adhesive sheet from the adherend is applied. Therefore, in the initial stage of peeling of the adhesive sheet, peeling starts at an angle as close to 0 degrees as possible. Therefore, even if the adhesive sheet is rigid, the adhesive sheet will not be bent at a wide angle at once, so that the inconvenience that the peeling sheet is peeled off from the adhesive sheet and defective peeling can be effectively eliminated. it can.
Further, in the case where the structure includes the peeling assisting means positioned on the adherend, the adherend is prevented from being lifted, and after the peeling trigger portion is formed, the peeling angle is kept constant and adhesion is performed. The sheet can be peeled off.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略斜視図が示されている。この図において、シート剥離装置10は、上面側を被着面として接着シートSが貼付された略円形のウエハW(被着体)を支持する支持手段11と、前記接着シートSに帯状の剥離用シートPSを貼付する貼付手段12と、前記接着シートSに貼付された剥離用シートPSを保持する保持手段13と、図3(A)中紙面直交方向に沿う中心軸Pを所定位置として回動可能な移動手段14と、前記保持手段13と移動手段14との間に設けられるとともに、前記中心軸Pの鉛直面内(中心軸Pに直交する面内)で当該中心軸Pから外側に剥離用シートPSを引っ張る引張手段16と、前記ウエハW上に位置可能に設けられた剥離補助手段15を備えて構成されている。
FIG. 1 shows a schematic perspective view of a sheet peeling apparatus according to this embodiment. In this figure, a sheet peeling apparatus 10 includes a supporting
前記支持手段11は、上面側が吸着面とされて前記ウエハWを支持するテーブルTによって構成される。 The support means 11 is constituted by a table T that supports the wafer W with the upper surface side serving as a suction surface.
前記貼付手段12は、図示しない駆動手段によって昇降可能なフレーム23と、当該フレーム23に設けられるとともに感熱接着性の接着シートである剥離用シートPSの供給ユニット17と、剥離用シートPSを接着シートSに溶着して当該剥離用シートPSを所定長さに切断する切断ユニット18とを含む。供給ユニット17は、フレーム23の下部に位置するシート供給部19の上方に、ロール状に巻回された剥離用シートPSの支持ローラ20を備えているとともに、シート供給部19の図1中右側には、X軸方向に移動可能なシート案内板21を備えて構成されている。シート案内板21は、上面に凹部21Aを有するとともに、シート供給部19との間に位置する軸(図示せず)の外周側に設けられたコイルばね25によって常に右側に付勢されるようになっている。
The
前記切断ユニット18は、下端部が先尖形状に設けられた図示しない加熱手段を有するヒートブロック27と、当該ヒートブロック27を上下方向に移動させるシリンダ28と、ヒートブロック27に固定されたシリンダ26のスライダ26Aに固定されたカッター刃29とからなる。このカッター刃29は、ヒートブロック27と共に上下に移動可能となっており、シリンダ26の駆動によってカッター刃29が前記凹部21Aに沿って移動することで剥離用シートPSを幅方向に切断できるようになっている。
なお、前記貼付手段12は、本出願人によって出願された特願2007−170011号に開示されたものと実質的に同一となっている。
The
The pasting means 12 is substantially the same as that disclosed in Japanese Patent Application No. 2007-170011 filed by the present applicant.
前記保持手段13は、チャックシリンダ32からなり、上チャック30A及びこれに相対する下チャック30Bとで保持部30を形成する。この保持部30は、上下チャック30A、30B間に前記剥離用シートPSの一端側である被保持部PS1を挟み込んで保持するようになっている(図3(A)参照)。
The holding means 13 includes a
前記移動手段14はロボット35により構成されている。このロボット35、図2に示されるように、ベース部36と、当該ベース36部の上面側に配置されて矢印A〜F方向に回転可能に設けられた第1アーム36A〜第6アーム36Fとを含み、当該第6アーム36Fの先端側に前記チャックシリンダ32が配置される。第2、第3及び第5アーム36B、36C、36Eは、図2中Y×Z面内で矢印B、C、E方向に回転可能に設けられているとともに、第1、第4及び第6アーム36A、36D、36Fは、その軸周り、つまり矢印A、D、F方向に回転可能に設けられている。本実施形態におけるロボット35は、NC(Numerical Control)により制御され、先端がX、Y、Z軸の直交三軸方向に移動可能とされるものである。すなわち、ウエハWに対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるようになっている。なお、前記チャックシリンダ32は、第6アーム36Fの先端に取り付けられた直動モータMからなる引張手段16の出力軸37に支持されている。
The moving
前記剥離補助手段15は、プレスローラ40により構成されている。このプレスローラ40は、単軸ロボット41を介してX軸方向に移動可能に設けられているとともに、そのスライダ42の前面に設けられたZ軸シリンダ43を介してZ軸方向に移動可能に設けられている。
The
次に、本実施形態におけるシート剥離装置10によるシート剥離方法について、図3をも参照しながら説明する。なお、剥離用シートPSを接着シートSに貼付する方法は、前記保持部30が剥離用シートPSを保持する構成を除き、前記特願2007−170011号に開示されたものと実質的に同一であり、従って、以下では、図3(A)に示されるように、所定長さに切断された剥離用シートPSの一端側が被保持部PS1として上下チャック30A、30Bよって保持されているものとし、その後の剥離工程について説明する。
Next, the sheet peeling method by the sheet peeling apparatus 10 in this embodiment is demonstrated, also referring FIG. The method of sticking the release sheet PS to the adhesive sheet S is substantially the same as that disclosed in the Japanese Patent Application No. 2007-170011 except for the configuration in which the holding
先ず、図3(A)に示されるように、剥離用シートPS及び接着シートS上にプレスローラが位置するようにセットされる。この状態で、直動モータMが作動して保持部30を被着面すなわちウエハWの面に沿う外側に引張力Frで剥離用シートPSを引っ張る。
First, as shown in FIG. 3A, the press roller is set on the release sheet PS and the adhesive sheet S. In this state, the linear motion motor M operates to pull the holding
次いで、前記引張力Frを加えた状態のまま図3(B)に示されるように、所定位置、すなわち、プレスローラ40の下点を中心軸Pとしてロボット35の第6アーム36Fが矢印Rの方向に回動する。この動作によってウエハWと接着シートSとの端部に剥離きっかけ部Cが形成されることとなる。剥離きっかけ部Cの剥離角度θ1は限りなく0度に近い剥離角度で剥離が開始されることとなる。
Next, as shown in FIG. 3B with the tensile force Fr applied, the
そして、図3(C)に示されるように、ロボット35の回動が進むと剥離角度はθ2へと徐々に広角となり、最終的に図3(C)中二点鎖線で示されるように、剥離用シートPSと接着シートSとがプレスローラ40に巻き掛けられた状態となる。ここで、図3(A)〜(C)において、剥離角度θが大きくなるに連れてプレスローラ40によって当該プレスローラ40から被保持部PS1までの距離が縮小するが、図5に概略的に示されるように、引張力Frを所定値に保つように直動モータMの出力軸37が伸びることによってそれを吸収するようになっている。
Then, as shown in FIG. 3C, as the rotation of the
その後、図3(D)に示されるように、ロボット35が保持部30を同図中左側に向かって移動させるときに、プレスローラ40も同期回転して左側に移動し、テーブルTは同期して右側に移動する。これにより、接着シートSがウエハWから完全に剥離されることとなる。
Thereafter, as shown in FIG. 3D, when the
このようにして剥離用シートPSを介して剥離された接着シートSは、ロボット35の移動操作を介して図示しない廃棄ボックス内に廃棄され、ロボット35は、次の剥離に備えて初期の待機位置に復帰動作することとなる。
The adhesive sheet S peeled through the peeling sheet PS in this way is discarded into a waste box (not shown) through the movement operation of the
従って、このような実施形態によれば、剥離きっかけ部Cが形成される際の剥離角度θが限りなく0度に近い狭角で剥離が行われ、剥離角度θを次第に増大する構成としたから、接着シートSが厚い場合や、剛性が高い場合であっても、当該接着シートSが一挙に広角に折り曲げられることがなくなり、剥離用シートPSが接着シートSから剥がれてしまうような従来の不都合を解消することができる。
また、プレスローラ40に接着シートSが巻き掛けられるようにして当該接着シートSを剥離する構成であるため、剥離きっかけ部Cが形成された後は、このプレスローラ40によってウエハWをテーブル16に押し付けながら、当該ウエハWの浮き上がりを防止しつつ確実に接着シートSを剥離することができる。
なお、このような実施形態によれば、剥離用シートPSに感圧接着性の接着シートを使用することもできる。この場合、ヒートブロック27に加熱手段は必要なく、剥離用シートPSを接着シートSに押圧できるものであれば足りる。
Therefore, according to such an embodiment, the peeling angle θ when the peeling trigger portion C is formed is peeled at a narrow angle close to 0 degrees, and the peeling angle θ is gradually increased. Even when the adhesive sheet S is thick or has high rigidity, the adhesive sheet S is not bent at a wide angle at once, and the peeling sheet PS is peeled off from the adhesive sheet S. Can be eliminated.
Further, since the adhesive sheet S is peeled off so that the adhesive sheet S is wound around the
In addition, according to such embodiment, a pressure-sensitive-adhesive adhesive sheet can also be used for the peeling sheet PS. In this case, no heating means is required for the
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
In other words, the present invention has been illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and object of the present invention, the shape, position, or With respect to the arrangement and the like, those skilled in the art can make various changes as necessary.
例えば、図4(A)に示されるように、保持手段13に代えて、巻取手段50としての巻取ローラ52を採用して当該巻取ローラ52に引張手段16を接続することもできる。この場合、感圧接着性の接着シートである剥離用シートPSを繰出可能に支持する供給ローラ51を設け、前記巻取ローラ52を引張手段16を構成する直動モータMの出力軸37にブラケット53を介して図示しないモータによって回転駆動可能に支持させるとともに、これら供給ローラ51と巻取ローラ52との間に延びる剥離用シートPSを貼付手段12としてのプレスローラ40で押圧して接着シートSに貼付できるように構成されている(図4(B)参照)。
For example, as shown in FIG. 4A, instead of the holding means 13, a take-up
この構成においては、図4(C)に示されるように、プレスローラ40によって剥離用シートPSを接着シートSの径方向所定長さに亘って貼付する。その後、前記供給ローラ51と巻取ローラ52との回転を規制した状態で、直動モータMが作動して巻取ローラ52をウエハWの面に沿う外側に引張力Frで剥離用シートPSを引っ張る。そして、プレスローラ40の下点を中心軸Pとして、ロボット35の第6アーム36Fが矢印Rの方向に回動する。この動作によってウエハWと接着シートSとの端部に剥離きっかけ部Cが形成されるとともに、プレスローラ40に剥離用シートSが巻き掛けられた状態となる。そして、テーブルTを右側に相対移動させる動作に同期して、供給ローラ51と巻取ローラ52とが回転することで剥離シートPSをウエハWから剥離することができる。この場合、プレスローラ40は剥離補助手段15としても機能することとなる。そして、剥離が完了したときに、プレスローラ40及び巻取ローラ52を初期位置に復帰させながら剥離用シートPSの繰り出しと巻き取りとを行うことによって、次の剥離に備えて待機することができる。
In this configuration, as shown in FIG. 4C, the peeling sheet PS is pasted over the predetermined length in the radial direction of the adhesive sheet S by the
このような変形例によれば、貼付手段12の構成を簡易なものとすることができるうえ、剥離補助手段15を兼用することができるので更なる簡素化が可能となる。なお、剥離用シートPSに感熱接着性の接着シートを使用することもできる。この場合、加熱手段を別途設けるか、プレスローラ40に加熱手段を設け、剥離用シートPSを接着シートSに溶着するようにすればよい。
According to such a modification, since the structure of the sticking means 12 can be simplified and the
また、前記実施形態では引張手段16がロボット35の先端である第6アーム36Fに設けられた場合を図示、説明したが、ロボット35自体の制御において、引張力Frをチャックシリンダ32に付与するように構成してもよい。これによれば、ロボット35が引張手段16としての機能をも達成することとなる。また、移動手段14は、ロボット35以外に前記回転中心軸Pの鉛直面内における円周軌跡に沿って移動可能となる移動体を設け、当該移動体に引張手段16を介してチャックシリンダ32を保持させてチャックシリンダ32を矢印Fr方向に引っ張るようにしてもよい。このような構成とした場合には、前述したロボット35を用いることなく構造の簡略化を図ることができる。要するに、本発明における移動手段14は、所定軌道に沿って引張手段16を移動させることができる他の移動手段を採用することができる。
In the above-described embodiment, the case where the tension means 16 is provided on the
更に、図6に示されるように、支持手段11を構成するテーブルTを下部テーブルT1及び上部テーブルT2とし、上部テーブルT2を変位手段としての直動モータM1を介して昇降可能に設け、ウエハWの面に直交する方向にテーブルTと保持手段13とを相対変位させることで、剥離きっかけ部C(図6(B)参照)を形成するようにしてもよい。この構成においては、剥離きっかけ部Cを形成した後に、上部テーブルT2を更に下降させるか、保持手段13を上昇させるかし、その後、テーブルTを保持手段13に対して図6(C)中右側に相対移動させることで接着シートS2を剥離することができる。 Further, as shown in FIG. 6, the table T constituting the support means 11 is a lower table T1 and an upper table T2, and the upper table T2 is provided so as to be movable up and down via a linear motor M1 as a displacement means. The peeling trigger portion C (see FIG. 6B) may be formed by relatively displacing the table T and the holding means 13 in a direction perpendicular to the surface. In this configuration, after the peeling trigger portion C is formed, the upper table T2 is further lowered or the holding means 13 is raised, and then the table T is moved to the right side in FIG. The adhesive sheet S2 can be peeled off by relative movement.
また、図4の例では、巻取ローラ52が移動手段14を介して中心軸Cの鉛直面内で回動する構成を示したが、テーブルTを図示しない変位手段を介して昇降可能に設け、ウエハWの面に直交する方向にテーブルTと巻取手段50とを相対変位させることで、巻取ローラ52を回動させなくても剥離きっかけ部Cを形成することができる。
In the example of FIG. 4, the configuration in which the take-up
更に、被着体は半導体ウエハWに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。 Furthermore, the adherend is not limited to the semiconductor wafer W, and other adherends such as a glass plate, a steel plate, or a resin plate can also be targeted. The semiconductor wafer can be a silicon wafer or a compound wafer. It may be.
また、保持手段はチャックシリンダ32に限定されることなく、剥離用シートを保持できるものにおいて何ら限定されるものではない。
Further, the holding means is not limited to the
更に、剥離補助手段15は、プレスローラ40以外に、ブレード材やエア噴出によるものであってもよい。
Further, the
また、引張手段16による引張力Frは、接着シートSの厚みや剛性、更に、剥離用シートPSの引張強さ等の条件によって任意に設定することが可能であって、引張力Frの付与は接着シートSの剥離開始初期のみ、つまり剥離角度θが所定角度となった時点(例えば45度)で付与しないようにしたり、強弱を付けるといった制御とすることもできる。 In addition, the tensile force Fr by the tension means 16 can be arbitrarily set according to conditions such as the thickness and rigidity of the adhesive sheet S and the tensile strength of the peeling sheet PS. It is also possible to control such that it is not applied only at the beginning of peeling of the adhesive sheet S, that is, when the peeling angle θ reaches a predetermined angle (for example, 45 degrees), or the strength is increased.
更に、引張手段16や変位手段は、直動モータM、M1に限定されることなく、エアシリンダや油圧シリンダ、等の他の構成を採用することができる。 Furthermore, the tension means 16 and the displacement means are not limited to the direct acting motors M and M1, and other configurations such as an air cylinder and a hydraulic cylinder can be adopted.
10 シート剥離装置
11 支持手段
12 貼付手段
13 保持手段
14 移動手段
15 剥離補助手段
16 引張手段
C 剥離きっかけ部
Fr 引張力
M1 直動モータ(変位手段)
P 回転軸(所定位置)
PS 剥離用シート
PS1 被保持部
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10
P rotation axis (predetermined position)
PS Peeling sheet PS1 Holding part S Adhesive sheet W Semiconductor wafer (Substrate)
Claims (7)
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、
所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、
前記保持手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、
前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記保持手段を回動させることで剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。 A support means for supporting the adherend having the adhesive sheet attached to the adherend surface;
An attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet;
Holding means for holding one end side of the peeling sheet attached to the adhesive sheet;
A moving means rotatable around a predetermined position as a central axis;
A sheet peeling apparatus comprising a tension means provided between the holding means and the movement means,
A sheet peeling apparatus, wherein the pulling means forms a peeling trigger portion by rotating the holding means in a state where the peeling means pulls the peeling sheet to the outside along the adherend via the holding means.
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、
前記支持手段と保持手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記保持手段に接続された引張手段と、前記保持手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、
前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記変位手段を介して前記保持手段と支持手段とを相対変位させることで剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。 A support means for supporting the adherend having the adhesive sheet attached to the adherend surface;
An attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet;
Holding means for holding one end side of the peeling sheet attached to the adhesive sheet;
A sheet peeling apparatus for peeling the adhesive sheet from the adherend by relative movement between the support means and the holding means,
A tensioning means connected to the holding means; and a displacement means for relatively displacing the holding means and the supporting means in a direction perpendicular to the adherend surface,
In the state where the pulling means pulls the peeling sheet to the outside along the adherend surface via the holding means, the peeling means is formed by relatively displacing the holding means and the supporting means via the displacement means. The sheet peeling apparatus characterized by performing.
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、
所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、
前記巻取手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、
前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記巻取手段を回動させることで剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。 A support means for supporting the adherend having the adhesive sheet attached to the adherend surface;
An attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet;
Winding means for winding the release sheet;
A moving means rotatable around a predetermined position as a central axis;
A sheet peeling apparatus comprising a tension means provided between the winding means and the moving means,
The sheet peeling is characterized in that the pulling means forms a peeling trigger part by rotating the winding means in a state where the peeling sheet is pulled to the outside along the adherend surface via the winding means. apparatus.
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、
前記支持手段と巻取手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記巻取手段に接続された引張手段と、前記保持手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、
前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記変位手段を介して前記巻取手段と支持手段とを相対変位させることで剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。 A support means for supporting the adherend having the adhesive sheet attached to the adherend surface;
An attaching means for attaching a release sheet to the adhesive sheet;
Winding means for winding the release sheet;
A sheet peeling device for peeling the adhesive sheet from the adherend by relative movement between the support means and the winding means;
A tension means connected to the winding means; and a displacement means for relatively displacing the holding means and the support means in a direction perpendicular to the adherend surface,
In the state where the pulling means pulls the peeling sheet to the outside along the adherend surface via the winding means, the peeling trigger portion is formed by relatively displacing the winding means and the supporting means via the displacement means. The sheet peeling apparatus characterized by forming.
前記剥離用シートの一端側を前記被着面に沿う外側に引っ張った状態で、前記剥離用シートの一端側と支持手段とを相対移動させることで剥離きっかけ部が形成されることを特徴とするシート剥離方法。 In a state where the adherend having the adhesive sheet attached to the adherend surface is supported by a support means, the release sheet is attached to the adhesive sheet, and one end side of the release sheet is held, and the held portion In the sheet peeling method for peeling the adhesive sheet from the adherend by relative movement between the holding position and the supporting means,
In a state where one end side of the peeling sheet is pulled outward along the adherend surface, a peeling trigger portion is formed by relatively moving the one end side of the peeling sheet and the supporting means. Sheet peeling method.
前記剥離用シートの巻取側を被着面の面に沿う外側に引っ張った状態で、前記剥離シートの巻取側と支持手段とを相対移動させることで剥離きっかけ部が形成されることを特徴とするシート剥離方法。 In the state where the adherend having the adhesive sheet stuck on the adherend surface is supported by the support means, the peeling sheet is stuck to the adhesive sheet and the one end side of the peeling sheet is wound up. In the sheet peeling method for peeling the adhesive sheet from the body,
In a state where the winding side of the release sheet is pulled outward along the surface of the adherend surface, a peeling trigger portion is formed by relatively moving the winding side of the release sheet and the support means. Sheet peeling method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007258921A JP4963655B2 (en) | 2007-10-02 | 2007-10-02 | Sheet peeling apparatus and peeling method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007258921A JP4963655B2 (en) | 2007-10-02 | 2007-10-02 | Sheet peeling apparatus and peeling method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009088397A true JP2009088397A (en) | 2009-04-23 |
JP4963655B2 JP4963655B2 (en) | 2012-06-27 |
Family
ID=40661391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007258921A Active JP4963655B2 (en) | 2007-10-02 | 2007-10-02 | Sheet peeling apparatus and peeling method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4963655B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013504888A (en) * | 2009-09-15 | 2013-02-07 | イーアールエス エレクトロニック ゲーエムベーハー | Removal roller, apparatus and method for separating film from disc-shaped workpiece |
JP2020025090A (en) * | 2018-07-18 | 2020-02-13 | インフィネオン テクノロジーズ アーゲーInfineon Technologies Ag | Device and method for peeling structure from main surface area of carrier |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004063678A (en) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Lintec Corp | Peeling method of surface masking tape from fragile member |
JP2006041160A (en) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Lintec Corp | Sheet peeling device and method therefor |
JP2006310699A (en) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Nitto Denko Corp | Sheet peeling device |
-
2007
- 2007-10-02 JP JP2007258921A patent/JP4963655B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004063678A (en) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Lintec Corp | Peeling method of surface masking tape from fragile member |
JP2006041160A (en) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Lintec Corp | Sheet peeling device and method therefor |
JP2006310699A (en) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Nitto Denko Corp | Sheet peeling device |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013504888A (en) * | 2009-09-15 | 2013-02-07 | イーアールエス エレクトロニック ゲーエムベーハー | Removal roller, apparatus and method for separating film from disc-shaped workpiece |
JP2020025090A (en) * | 2018-07-18 | 2020-02-13 | インフィネオン テクノロジーズ アーゲーInfineon Technologies Ag | Device and method for peeling structure from main surface area of carrier |
JP7032357B2 (en) | 2018-07-18 | 2022-03-08 | インフィネオン テクノロジーズ アーゲー | Devices and methods for stripping structures from the main surface area of carriers |
US11279120B2 (en) | 2018-07-18 | 2022-03-22 | Infineon Technologies Ag | Device and method for debonding a structure from a main surface region of a carrier |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4963655B2 (en) | 2012-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4740298B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP4666514B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP4323443B2 (en) | Peeling apparatus and peeling method | |
JP5149122B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP2010056342A (en) | Sheet peeling device and peeling method | |
JP4494753B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP4801016B2 (en) | Sheet sticking device and sticking method | |
JP2010080838A (en) | Sheet pasting device and sheet pasting method | |
JP4904198B2 (en) | Sheet pasting apparatus, sheet cutting method and wafer grinding method | |
JP2017197309A (en) | Tape sticking unit and tape sticking device | |
JP2007111845A (en) | Table for cutting sheet | |
JP4963655B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP2011114270A (en) | Sheet peeling device, and sheet peeling method | |
JP2010147123A (en) | Apparatus for peeling sheet and method for peeling | |
JP2009123963A (en) | Sheet peeling apparatus and sheet peeling method | |
JP2009277864A (en) | Sheet peeling device and method of peeling | |
JP5113646B2 (en) | Sheet sticking device and sticking method | |
JP4740381B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP5564409B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP5203888B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP2006165308A (en) | Method and device for adhering | |
JP4933495B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP4963692B2 (en) | Semiconductor wafer processing apparatus and processing method | |
JP5421749B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP2010118442A (en) | Sheet peeling device and method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100427 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110302 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111019 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120321 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4963655 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150406 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |