JP2009088049A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
下地との優れた密着性を有し、銅やシリコンの拡散を防止し低抵抗銅配線を備えた液晶画像表示装置を提供する。
【解決手段】
アモルファスシリコン等を形成した基板上に、窒化物の生成自由エネルギが負の金属を添加した銅−金属合金ターゲットを用いて窒素+アルゴン雰囲気で金属元素と窒素とを含有する銅を主成分とする合金層を形成する。次にアルゴンのみで銅と金属の合金膜を成膜することで拡散バリアを有する金属元素を含有する銅を主成分とする合金膜と、金属元素と窒素とを含有する銅を主成分とする合金膜との積層配線を形成する。
【選択図】図1
Description
図1は、アクティブマトリクス型液晶表示装置の一実施形態を示す断面図である。
次に図11は、アクティブマトリクス型液晶表示装置(実施の形態1と同様)におけるのアクティブマトリクス基板の他の断面図である。
図12に本実施例に用いた試料の断面構成図を示す。
実施例3と同様に作製した下地基板上に、銅−0.5原子%アルミニウムのターゲットを用いて、膜厚の異なる金属元素(アルミニウム)と窒素とを含有する銅を主成分とする合金膜38をスパッタリング法で成膜した。この時の成膜条件は、例えば成膜圧力:2.5mTorr,成膜ガス:窒素ガス(純度99.999%)+アルゴンガス(純度99.999%),混合ガス中の窒素濃度:3.6%,DCパワー:0.25kWである。成膜時間を変えることで膜厚の異なる金属元素(アルミニウム)と窒素とを含有する銅を主成分とする合金膜38を作製した。
2 走査信号線
3 共通信号線
4 共通電極
5 ゲート絶縁膜
6 半導体層
7 コンタクト層
8 金属酸化物層
9 ドレイン電極(映像信号線)
10 ソース電極
11 保護絶縁膜
12 金属元素と窒素とを含有する銅を主成分とする合金膜
13 銅と金属元素の合金膜
14 スルーホール
15 画素電極
16 液晶
17 カラーフィルタ用ガラス基板
18 配向膜
19 ブラックマトリクス
20 カラーフィルタ
21 平坦化膜
22 偏光板
Claims (14)
- 一対の基板と、前記一対の基板に挟持された液晶層と、前記一対の基板の一方の基板に形成される複数の走査信号線と、前記複数の走査信号線とマトリックス状に交差する複数の映像信号線と、前記走査信号線と前記映像信号線との交点付近に形成された薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続された画素電極とを有し、
前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極及び前記映像信号線は、前記基板上に形成された第一合金層と、前記第一合金層上に形成された第二合金層とを有し、
前記第一合金層は、銅を除く少なくとも1種類以上の金属元素と窒素とを含有する銅を主成分とする合金膜であり、
前記第二合金層は、前記第一合金層の金属元素と共通の添加金属元素を含有する銅を主成分とする合金膜である液晶表示装置。 - 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記第一合金層に含有された前記金属元素の窒化物の生成自由エネルギが負である液晶表示装置。 - 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記第二合金層は、前記第一合金層に含有された量より少ない量の窒素が含有された液晶表示装置。 - 請求項2記載の液晶表示装置において、
前記第一合金層と前記第二合金層に含有された前記金属元素は、アルミニウム,ベリリウム,クロム,ガリウム,ハフニウム,リチウム,マグネシウム,マンガン,ニオブ,チタン,バナジウム,ジルコニウムから選択される少なくとも1種類以上である液晶表示装置。 - 請求項4記載の液晶表示装置において、
前記第一合金層と前記第二合金層に含有された前記金属元素は、アルミニウム,チタン,マグネシウムから選択される少なくとも1種類以上である液晶表示装置。 - 請求項4記載の液晶表示装置において、
前記第一合金層と前記第二合金層に含有された前記金属元素の含有量は、0.1原子%以上2.0原子%以下の範囲である液晶表示装置。 - 請求項4記載の液晶表示装置において、
前記第一合金層の膜厚は、1nm以上50nm以下の範囲である液晶表示装置。 - 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記薄膜トランジスタのゲート電極及び前記走査信号線は、インジウム酸化物を主成分とする透明導電膜と、前記透明導電膜上に形成された金属酸化物膜と、前記金属酸化物上に形成された銅を主成分とする合金膜とを有し、
前記合金膜の添加金属元素と、前記金属酸化物膜の添加金属元素と、前記第一合金層及び前記第二合金層の前記金属元素は、共通である液晶表示装置。 - 請求項8記載の液晶表示装置において、
前記金属元素の酸化反応の平衡酸素圧は、インジウムの酸化反応の平衡酸素圧よりも低く、かつ、銅中における前記金属元素の拡散係数が銅の自己拡散係数よりも大きい液晶表示装置。 - 請求項9記載の液晶表示装置において、
前記金属元素は、アルミニウム,ベリリウム,クロム,ガリウム,マグネシウム,マンガン,チタン,バナジウム,亜鉛から選択される元素を少なくとも1種類以上が添加された液晶表示装置。 - 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記薄膜トランジスタのゲート電極及び前記走査信号線は、金属酸化物膜と、前記金属酸化物膜上に形成された銅を主成分とする合金膜とを有し、
前記合金膜の添加金属元素と、前記金属酸化物の金属元素と、前記第一合金層及び前記第二合金層の前記金属元素は、共通である液晶表示装置。 - 請求項11記載の液晶表示装置において、
前記金属元素の酸化反応の平衡酸素圧は、珪素の酸化反応の平衡酸素圧よりも低く、かつ、銅中における前記金属元素の拡散係数が銅の自己拡散係数よりも大きい液晶表示装置。 - 請求項12記載の液晶表示装置において、
前記金属元素は、アルミニウム,ベリリウム,マグネシウム,チタンのうち少なくとも一種類以上が添加された液晶表示装置。 - 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極及び前記映像信号線を構成する前記第一合金層と前記第二合金層の形成工程は、前記第一合金層と前記第二合金層とで同一のスパッタリングターゲットを原料とし、前記スパッタリングターゲットは前記第二合金層と前記第一合金層に共通の添加金属元素を含有する銅を主成分とする合金であり、前記第一合金層の形成工程では希ガスと窒素ガスとの混合ガスをスパッタガスとし、前記第二合金層の形成工程では希ガスをスパッタガスとすることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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JP2007252987A JP2009088049A (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | 液晶表示装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009088049A true JP2009088049A (ja) | 2009-04-23 |
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Family Applications (1)
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JP2007252987A Pending JP2009088049A (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | 液晶表示装置 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010258347A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Kobe Steel Ltd | 表示装置およびこれに用いるCu合金膜 |
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CN106024907A (zh) * | 2016-07-25 | 2016-10-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板及显示装置 |
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-
2007
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Patent Citations (2)
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