JP2009085595A - Device and system for measuring fluid in line - Google Patents

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Etsutaro Koyama
越太郎 小山
Satoshi Iki
敏 伊木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for measuring a fluid in a line which can perform exact measurement even in the case when an installation angle varies and also to provide the device and a system for measuring the fluid in the line which enable omission of a calibration process after installation of the device. <P>SOLUTION: The measuring device has a detecting capsule 10 having a constitution wherein sealed fluids 15 and 15 are filled respectively on one side of diaphragms 12 and 12 and led to a pressure sensor 21, and the pressure of the fluid in the line or the differential pressure of the fluid between two points is measured by leading the fluid to the other side of the diaphragms 12 and 12 so as to detect the pressure of the sealed liquid 15. The detecting capsule 10 is provided with an angle detecting sensor 22 for detecting the installation angle and is equipped with a compensating means for compensating the output of the pressure sensor 21 according to the output of the angle detecting sensor 22. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、管路内流体の圧力や差圧、流量を測定する管路内流体の測定装置、ならびに、伝送路を介して測定装置と制御装置とを接続してなる管路内流体の測定システムに関する。   The present invention relates to an apparatus for measuring fluid in a pipe that measures the pressure, differential pressure, and flow rate of the fluid in the pipe, and measurement of fluid in the pipe formed by connecting the measuring device and a control device via a transmission line. About the system.

プラントなどにおいて管路内流体の圧力や流量を測定してその測定信号を上位のホストコントローラ等へ伝送する圧力伝送器や差圧伝送器、流量計が知られている。圧力伝送器や差圧伝送器には、図13に示すように、圧力センサ82を内蔵した検出カプセル80が設けられ、この検出カプセル80の両側に測定対象の流体圧力が作用されるダイアフラム84,84がそれぞれ形成されている。ダイアフラム84,84の内側にはシリコーンオイルなどの封入液85が充填され、この封入液85がパイプ86等を介して圧力センサ82まで導かれるように構成されている。このような構成により、一方のダイアフラム84に管路内流体を導き、他方のダイアフラム84に空気圧あるいは真空圧を加えておくことで、管路内流体の圧力と空気圧あるいは真空圧との差圧が圧力センサ82に作用して、管路内流体の圧力が測定されるようになっている。   2. Description of the Related Art Pressure transmitters, differential pressure transmitters, and flow meters that measure the pressure and flow rate of a fluid in a pipe line and transmit the measurement signal to a host controller or the like are known. As shown in FIG. 13, the pressure transmitter or the differential pressure transmitter is provided with a detection capsule 80 having a built-in pressure sensor 82, and diaphragms 84 on which the fluid pressure to be measured acts on both sides of the detection capsule 80, 84 are formed. The inside of the diaphragms 84 and 84 is filled with a filling liquid 85 such as silicone oil, and the filling liquid 85 is guided to the pressure sensor 82 through the pipe 86 and the like. With such a configuration, by introducing the fluid in the pipe line to one diaphragm 84 and applying air pressure or vacuum pressure to the other diaphragm 84, the differential pressure between the pressure of the fluid in the pipe line and the air pressure or vacuum pressure is reduced. The pressure of the fluid in the pipe line is measured by acting on the pressure sensor 82.

また、管路に設けられたオリフィス(絞り機構)の上流側と下流側から管路内流体を左右のダイアフラム84,84まで導いて各ダイアフラム84にその圧力を作用させることで、管路内流体の2点間の差圧が圧力センサ82に加わって、オリフィス前後の差圧や管路内流体の流量等が測定されるようになっている。   Further, the fluid in the pipeline is guided from the upstream side and the downstream side of the orifice (throttle mechanism) provided in the pipeline to the left and right diaphragms 84 and 84, and the pressure is applied to each diaphragm 84. The differential pressure between the two points is applied to the pressure sensor 82 to measure the differential pressure before and after the orifice, the flow rate of the fluid in the pipeline, and the like.

このような圧力伝送器や差圧伝送器においては、図13(a)と(b)に示すように、検出カプセル10が鉛直になるように設置された場合と、水平の向きに設置された場合とで、封入液85に作用する重力の向きが変化して、圧力センサ82の出力基準点がずれるという特性を有している(例えば、特許文献1)。
特開平05−018839号公報
In such a pressure transmitter and a differential pressure transmitter, as shown in FIGS. 13A and 13B, the detection capsule 10 is installed vertically and installed in a horizontal orientation. Depending on the case, the direction of gravity acting on the sealing liquid 85 changes, and the output reference point of the pressure sensor 82 shifts (for example, Patent Document 1).
JP 05-018839 A

従来の圧力伝送器や差圧伝送器においては、上記のように設置角度によって圧力センサの基準点がずれてしまうことから、圧力伝送器や差圧伝送器を設置した後に、センサ出力のゼロ点調整を行わなければならないという課題があった。すなわち、プラントの管路に圧力伝送器や差圧伝送器を設置固定した後に、接続バルブを開けて測定器に管路内流体を導く前に、信号入力あるいは調整ネジ等を操作して圧力センサの出力がゼロ点になるように、校正処理を行う必要があった。   In conventional pressure transmitters and differential pressure transmitters, the reference point of the pressure sensor shifts depending on the installation angle as described above, so after installing the pressure transmitter or differential pressure transmitter, the sensor output zero point There was a problem that adjustments had to be made. In other words, after installing and fixing a pressure transmitter or differential pressure transmitter in the plant pipeline, before opening the connection valve and guiding the fluid in the pipeline to the measuring instrument, operate the signal input or adjusting screw etc. to operate the pressure sensor It was necessary to perform a calibration process so that the output of the output became zero.

また、例えば、船舶中など揺れのある設備で管路内流体の測定を行う場合や、回転式の管路網を有するプラントにおいて管路とともに回転しながら管路内流体の測定を行うような場合には、揺れや回転角に応じて圧力センサのゼロ点が変動するため、正確な測定が行えないという課題があった。   Also, for example, when measuring fluid in pipelines in a facility with shaking such as in a ship, or when measuring fluid in pipelines while rotating with pipelines in a plant having a rotary pipeline network However, since the zero point of the pressure sensor fluctuates according to the shaking and the rotation angle, there is a problem that accurate measurement cannot be performed.

また、金属の熱膨張や熱収縮、プラント施設内の地盤沈下などにより、長期的に測定器が傾いてきた場合に、その傾きにより圧力センサのゼロ点が変動して、測定値が徐々に変動する場合がある。   In addition, when the measuring instrument is tilted for a long time due to thermal expansion or contraction of metal, land subsidence in the plant facility, etc., the zero point of the pressure sensor fluctuates due to the tilt, and the measured value gradually varies. There is a case.

この発明の目的は、測定装置の設置角度が変化するような場合でも、正確な測定を行うことのできる管路内流体の測定装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an apparatus for measuring fluid in a pipe that can perform accurate measurement even when the installation angle of the measurement apparatus changes.

この発明の他の目的は、測定装置を設置した後の校正処理を省くことのできる管路内流体の測定装置および測定システムを提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a measuring apparatus and measuring system for fluid in a pipe line which can omit the calibration process after installing the measuring apparatus.

上記目的を達成するため、請求項1記載の発明は、ダイアフラムの一面側に封入液が充填され、この封入液が圧力センサに導かれるように構成された検出カプセルを有し、前記ダイアフラムの他面側に管路内流体を導いて前記封入液の圧力を検出することで、前記管路内流体の圧力または管路内流体の二点間の差圧を測定する管路内流体の測定装置において、前記検出カプセルの設置角度を検出する角度検出センサと、前記角度検出センサの出力に応じて前記圧力センサの出力を補正する補正手段とを備えていることを特徴としている。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 has a detection capsule configured such that one side of the diaphragm is filled with a sealing liquid, and the sealing liquid is guided to a pressure sensor. An apparatus for measuring a fluid in a pipeline that measures the pressure of the fluid in the pipeline or a differential pressure between two points of the fluid in the pipeline by guiding the fluid in the pipeline to the surface side and detecting the pressure of the liquid in the pipeline And an angle detection sensor for detecting an installation angle of the detection capsule, and correction means for correcting the output of the pressure sensor in accordance with the output of the angle detection sensor.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の管路内流体の測定装置において、前記角度検出センサは、互いに直交する3軸成分の傾きを検出する3軸の加速度センサから構成され、前記補正手段は、前記3軸の加速度センサの出力から、前記検出カプセルに固定的に設定された第1平面内における重力方向の向きと、前記検出カプセルに固定的に設定された前記第1平面と交差する第2平面における重力方向の向きとを演算する演算手段と、前記第1平面内における重力方向の向きおよび前記第2平面内における重力方向の向きと前記圧力センサの出力補正値とが対応づけられたデータテーブルを格納したデータ格納手段と、前記演算手段により演算された前記第1平面内および第2平面内における重力方向の向きに対応した前記出力補正値を前記データテーブルから求めて前記圧力センサの出力に付加する出力オフセット手段とを有することを特徴としている。   According to a second aspect of the present invention, in the pipe fluid measuring device according to the first aspect, the angle detection sensor includes a triaxial acceleration sensor that detects inclinations of triaxial components orthogonal to each other, and the correction is performed. The means intersects the direction of gravity in the first plane fixedly set on the detection capsule and the first plane fixedly set on the detection capsule from the output of the triaxial acceleration sensor. The calculating means for calculating the direction of the gravitational direction in the second plane, the direction of the gravitational direction in the first plane and the direction of the gravitational direction in the second plane are associated with the output correction value of the pressure sensor. Data storage means for storing the obtained data table, and the output correction value corresponding to the direction of the gravitational direction in the first plane and the second plane calculated by the calculation means. It is characterized by seeking from the data table and an output offset means for adding the output of the pressure sensor.

請求項3記載の発明は、請求項1記載の管路内流体の測定装置において、前記検出カプセルは、1本又は直交する2本の軸線を中心とした回転に対して前記圧力センサの出力が変化しない対称性を有する構成であり、前記角度検出センサは、前記軸線を中心とした回転方向を除く2軸又は1軸の回転方向における傾きを検出する2軸又は1軸の加速度センサであることを特徴としている。   According to a third aspect of the present invention, in the apparatus for measuring a fluid in a pipe according to the first aspect, the output of the pressure sensor with respect to rotation about one or two orthogonal axes is detected in the detection capsule. The angle detection sensor is a biaxial or uniaxial acceleration sensor that detects a tilt in a biaxial or uniaxial rotational direction excluding the rotational direction around the axis. It is characterized by.

請求項4記載の発明は、請求項1〜3の何れか1項に記載の管路内流体の測定装置において、前記角度検出センサの出力が所定量以上変化する異常発生時に、当該異常発生時前後の前記角度検出センサの出力を記録する記録手段を備えたことを特徴としている。   According to a fourth aspect of the present invention, in the apparatus for measuring fluid in a pipe line according to any one of the first to third aspects, when an abnormality occurs in which the output of the angle detection sensor changes by a predetermined amount or more, Recording means for recording the outputs of the front and rear angle detection sensors is provided.

請求項5記載の発明は、請求項1〜4の何れか1項に記載の管路内流体の測定装置において、前記角度検出センサの出力を間歇的に記録する記録手段を備えたことを特徴としている。   According to a fifth aspect of the present invention, in the apparatus for measuring a fluid in a pipe line according to any one of the first to fourth aspects, a recording means for intermittently recording the output of the angle detection sensor is provided. It is said.

請求項6記載の発明は、ダイアフラムの一面側に封入液が充填され、この封入液が圧力センサに導かれるように構成された検出カプセルを有し、前記ダイアフラムの他面側に管路内流体を導いて前記封入液の圧力を検出することで、前記管路内流体の圧力または管路内流体の二点間の差圧を測定する管路内流体の測定装置において、前記検出カプセルの設置角度を検出する角度検出センサと、前記角度検出センサの出力を間歇的に記録する記録手段と、前記角度検出センサの出力が所定量変化した場合に警告信号を出力する警告出力手段とを備えていることを特徴としている。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a detection capsule configured such that one surface side of the diaphragm is filled with an encapsulated liquid, and the encapsulated liquid is guided to a pressure sensor. In the apparatus for measuring the fluid pressure in the pipe line or the differential pressure between the two points of the fluid in the pipe line by detecting the pressure of the sealed liquid and installing the detection capsule An angle detection sensor that detects an angle; a recording unit that intermittently records an output of the angle detection sensor; and a warning output unit that outputs a warning signal when the output of the angle detection sensor changes by a predetermined amount. It is characterized by being.

請求項7記載の発明は、管路内流体の圧力または管路内流体の2点間の差圧を測定する測定装置と、この測定装置から測定信号を受信する制御装置と、前記測定装置と前記制御装置とが接続されて信号の伝送が行われる伝送路とを有する管路内流体の測定システムにおいて、前記測定装置は、ダイアフラムの一面側に封入液が充填されるとともに、この封入液が圧力センサに導かれるように構成された検出カプセルと、該検出カプセルの設置角度を検出する角度検出センサと、前記圧力センサの出力に基づく測定信号と前記角度検出センサの出力とを前記制御装置へ伝送する伝送手段とを備え、前記制御装置は、受信した前記角度検出センサの出力に対応させて前記測定信号の値を補正する補正手段を備えていることを特徴としている。   The invention according to claim 7 is a measuring device for measuring the pressure of the fluid in the pipeline or the differential pressure between the two points of the fluid in the pipeline, a control device for receiving a measurement signal from the measuring device, and the measuring device. In a measurement system for fluid in a pipeline having a transmission path connected to the control device and transmitting a signal, the measurement device is filled with a sealing liquid on one side of the diaphragm, and the sealing liquid A detection capsule configured to be guided to a pressure sensor, an angle detection sensor for detecting an installation angle of the detection capsule, a measurement signal based on an output of the pressure sensor, and an output of the angle detection sensor to the control device Transmission means for transmitting, and the control device further comprises correction means for correcting the value of the measurement signal in correspondence with the received output of the angle detection sensor.

本発明に従うと、角度検出センサによって検出カプセルの設置角度を検出し、この設置角度に基づく圧力センサの出力基準点のずれを自動補正させることで、測定装置設置後の校正処理工程を省くことができる。さらに、揺れのある施設や管路網が回転する施設の管路に設置した場合でも揺れや回転角度に依存せずに常に正確な測定を行うことができるという効果がある。   According to the present invention, by detecting the installation angle of the detection capsule by the angle detection sensor and automatically correcting the deviation of the output reference point of the pressure sensor based on the installation angle, the calibration processing step after the installation of the measuring device can be omitted. it can. Furthermore, there is an effect that accurate measurement can always be performed without depending on the shaking or the rotation angle even when the equipment is installed in a pipeline of a facility with shaking or a facility where the pipeline network rotates.

また、角度検出センサの出力ログを記録することで、例えば、管路の破断など異常発生時に測定装置にかかった力の解析が可能となり、また、管路のねじれやプラントの地盤沈下など長期的な管路の変動の解析を行うことが可能となる。   In addition, by recording the output log of the angle detection sensor, it is possible to analyze the force applied to the measuring device when an abnormality such as a pipe break occurs, and long-term such as pipe twisting and plant ground subsidence. It is possible to analyze the fluctuation of a simple pipe line.

また、圧力センサ出力の補正処理を行わなくても、角度検出センサによって検出カプセルの設置角度を検出し、その設置角度が一定量変化した場合に警告信号を出力させることで、設置角度の変化に起因する測定誤差が大きくなる前にその修正処理を行って、常に正確な測定を行わせることができるという効果がある。   Even without correcting the pressure sensor output, the installation angle of the detection capsule is detected by the angle detection sensor, and a warning signal is output when the installation angle changes by a certain amount. There is an effect that the correction process is performed before the measurement error caused by the error becomes large, so that accurate measurement can always be performed.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施の形態の差圧伝送器をシステムに接続した状態を示す構成図である。   FIG. 1 is a configuration diagram showing a state in which a differential pressure transmitter according to an embodiment of the present invention is connected to a system.

図1の差圧伝送器1は、本発明に係る管路内流体の測定装置の実施形態を示すもので、例えばプラントの管路に2本の導圧管31,32を介して接続されて、管路2点間における管路内流体の差圧等を測定し、測定値を表わす信号を伝送路55を介してホストコントローラ50等へ伝送するものである。例えば、管路に設けられたオリフィスの前後の差圧を測定することで管路内流体の流量等の測定が可能となる。   A differential pressure transmitter 1 in FIG. 1 shows an embodiment of a fluid measuring device in a pipeline according to the present invention. For example, the differential pressure transmitter 1 is connected to a pipeline of a plant via two pressure guiding tubes 31 and 32, The differential pressure of the fluid in the pipeline between the two pipelines is measured, and a signal representing the measured value is transmitted to the host controller 50 or the like via the transmission channel 55. For example, it is possible to measure the flow rate of the fluid in the pipeline by measuring the differential pressure before and after the orifice provided in the pipeline.

この差圧伝送器1は、差圧を検出するための検出カプセル10と、各種信号の入出力処理や演算処理を行うマイクロコンピュータ25と、測定値や警告情報などの表示出力を行う表示部(例えば液晶表示器)26と、設定データやログ情報などが記憶されるデータ格納手段としての不揮発性メモリ27と、伝送信号の入出力処理を行う伝送回路28などを備えている。マイクロコンピュータ25は、検出カプセル10の設置角度に応じて測定値の補正を行う補正手段、演算手段、および、出力オフセット手段としても機能するものである。   The differential pressure transmitter 1 includes a detection capsule 10 for detecting a differential pressure, a microcomputer 25 that performs input / output processing and arithmetic processing of various signals, and a display unit that displays and outputs measurement values and warning information ( For example, a liquid crystal display) 26, a nonvolatile memory 27 as data storage means for storing setting data, log information, and the like, a transmission circuit 28 for performing input / output processing of transmission signals, and the like are provided. The microcomputer 25 also functions as a correction unit that corrects the measurement value according to the installation angle of the detection capsule 10, a calculation unit, and an output offset unit.

検出カプセル10は、筐体11に形成された2箇所の穴を密閉してふさぐように固定されるシールダイアフラム12,12と、シールダイアフラム12,12の内側に設けられるプロテクションダイアフラム13,13と、圧力を2方から受けてその差圧に応じて僅かに変形することでセンサ出力を行う圧力センサ21と、シールダイアフラム12とプロテクションダイアフラム13の間に充填されて圧力を伝達する封入液15と、封入液15を圧力センサ21まで導くパイプ14と、検出カプセル10の設置角度を検出するための例えば3軸の加速度センサ22等を備えている。   The detection capsule 10 includes seal diaphragms 12 and 12 that are fixed so as to close and close two holes formed in the housing 11, and protection diaphragms 13 and 13 that are provided inside the seal diaphragms 12 and 12. A pressure sensor 21 that receives pressure from two directions and outputs a sensor output by being slightly deformed according to the differential pressure; a sealing liquid 15 that is filled between the seal diaphragm 12 and the protection diaphragm 13 and transmits the pressure; A pipe 14 that guides the sealing liquid 15 to the pressure sensor 21 and a triaxial acceleration sensor 22 for detecting the installation angle of the detection capsule 10 are provided.

シールダイアフラム12,12は、導圧管31,32により導かれた管路内流体を受けて、その圧力に応じて僅かに変形することで、管路内流体の圧力を封入液15に伝えるものである。導圧管31,32は一端側が管路に接続され、他端側が差圧伝送器1のシールダイアフラム12,12と図示略の筐体金属壁とに囲まれた密閉空間に接続されて、管路内流体を充填させた状態でその圧力をシールダイアフラム12,12に作用させるようになっている。   The seal diaphragms 12 and 12 receive the fluid in the pipe line guided by the pressure guiding pipes 31 and 32 and are slightly deformed according to the pressure to transmit the pressure of the fluid in the pipe line to the sealing liquid 15. is there. One end side of each of the pressure guiding pipes 31 and 32 is connected to the pipe line, and the other end side is connected to a sealed space surrounded by the seal diaphragms 12 and 12 of the differential pressure transmitter 1 and a housing metal wall (not shown). The pressure is applied to the seal diaphragms 12 and 12 while the inner fluid is filled.

プロテクションダイアフラム13は、シールダイアフラム12,12に過大圧力が作用したときに変形して圧力を逃がすものであり、通常圧力が作用しているときには無視できる変形量に収まるようになっている。   The protection diaphragm 13 is deformed when excessive pressure is applied to the seal diaphragms 12 and 12 and releases the pressure, and is kept within a negligible amount of deformation when normal pressure is applied.

このような構成により、2本の導圧管31,32により導かれた流体圧力が2個のシールダイアフラム12,12にそれぞれ作用し、シールダイアフラム12,12の僅かな変形により封入液15に圧力が伝達される。そして、一方のシールダイアフラム12から圧力が伝達された封入液15と他方のシールダイアフラム12から圧力が伝達された封入液15とが圧力センサ21に作用して、圧力センサ21から差圧を表わすセンサ信号がマイクロコンピュータ25に出力されるようになっている。   With such a configuration, the fluid pressure guided by the two pressure guiding pipes 31 and 32 acts on the two seal diaphragms 12 and 12, respectively, and a slight deformation of the seal diaphragms 12 and 12 causes the pressure on the sealed liquid 15. Communicated. Then, the sealed liquid 15 to which the pressure is transmitted from one seal diaphragm 12 and the sealed liquid 15 to which the pressure is transmitted from the other seal diaphragm 12 act on the pressure sensor 21, and a sensor representing a differential pressure from the pressure sensor 21. A signal is output to the microcomputer 25.

加速度センサ22は、例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術によってマイクロチップ上に形成されたもので、互いに直交する3軸成分を含む3方向の加速度をそれぞれ検出し、各々の検出信号を出力するものである。検出カプセル10がほぼ停止した状態では、加速度センサ22からは重力加速度を表わす検出信号が出力されるので、それにより検出カプセル10の設置角度を求めることが可能となる。   The acceleration sensor 22 is formed on a microchip by, for example, MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology, detects acceleration in three directions including three axis components orthogonal to each other, and outputs each detection signal. Is. In a state where the detection capsule 10 is almost stopped, a detection signal representing gravitational acceleration is output from the acceleration sensor 22, whereby the installation angle of the detection capsule 10 can be obtained.

不揮発性メモリ27には、例えば、検出カプセル10の設置角度と圧力センサ21の出力オフセット値との対応関係を表わした後述のオフセット換算データテーブル(図7参照)が格納されている。また、この不揮発性メモリ27には、加速度センサ22の出力がログとして記録されるようにもなっている。   The non-volatile memory 27 stores, for example, an offset conversion data table (see FIG. 7), which will be described later, representing the correspondence between the installation angle of the detection capsule 10 and the output offset value of the pressure sensor 21. In addition, the output of the acceleration sensor 22 is recorded in the nonvolatile memory 27 as a log.

次に、上記構成の差圧伝送器1においてマイクロコンピュータ25により実行されるオフセット量設定処理と出力オフセットによる測定値の調整処理について説明する。   Next, an offset amount setting process executed by the microcomputer 25 in the differential pressure transmitter 1 having the above-described configuration and a measurement value adjustment process using an output offset will be described.

図2は、このオフセット量設定処理のフローチャートである。図3と図4には角度演算処理により求める角度α,βを表わした三次元座標図を、図5と図6には角度α,βの求め方を説明するX−Y平面とX−Z平面の二次元座標図を示す。   FIG. 2 is a flowchart of the offset amount setting process. 3 and 4 are three-dimensional coordinate diagrams showing angles α and β obtained by angle calculation processing, and FIGS. 5 and 6 are an XY plane and an X-Z plane for explaining how to obtain angles α and β. A plane two-dimensional coordinate diagram is shown.

図2のオフセット量設定処理は、差圧伝送器1の設置角度に起因する圧力センサ21のゼロ点のずれを補正するオフセット量を、演算により求めて設定する処理である。このオフセット量設定処理では、先ず、加速度センサ22から3軸のセンサ出力(a,a,a)を入力し(ステップS1)、これらから検出カプセル10に固定的に設定されたX−Y平面における重力方向の角度α(図3参照)と、X−Z平面における重力方向の角度β(図4参照)の演算を行う(ステップS2,S3)。 The offset amount setting process in FIG. 2 is a process for obtaining and setting an offset amount for correcting a zero point shift of the pressure sensor 21 due to the installation angle of the differential pressure transmitter 1 by calculation. In this offset amount setting process, first, three-axis sensor outputs (a X , a Y , a Z ) are input from the acceleration sensor 22 (step S 1), and from these, X− fixedly set in the detection capsule 10. The calculation of the angle α (see FIG. 3) in the gravity direction on the Y plane and the angle β (see FIG. 4) in the gravity direction on the XZ plane is performed (steps S2 and S3).

ここで、X軸、Y軸、Z軸は加速度センサ22の3軸を表わしている。さらに、加速度センサ22は検出カプセル10に対して所定の向きに組み付けられることから、これらX軸、Y軸、Z軸は検出カプセル10に対して固定的に設定された3軸とみなすことができる。そして、加速度センサ22のセンサ出力(a,a,a)は、差圧伝送器1が加速変位してない場合に、重力加速度の3軸成分を表わすこととなり、それゆえ、上記の角度α,βを求めることで検出カプセル10が鉛直方向を基準にどのような角度で設置されているかを求めることができる。 Here, the X axis, the Y axis, and the Z axis represent the three axes of the acceleration sensor 22. Further, since the acceleration sensor 22 is assembled in a predetermined direction with respect to the detection capsule 10, these X axis, Y axis, and Z axis can be regarded as three axes fixedly set with respect to the detection capsule 10. . The sensor output (a X , a Y , a Z ) of the acceleration sensor 22 represents the three-axis component of the gravitational acceleration when the differential pressure transmitter 1 is not accelerated and displaced. By determining the angles α and β, it is possible to determine the angle at which the detection capsule 10 is installed with respect to the vertical direction.

また、角度α,βは次のようにして求めることができる。すなわち、図5に示すように、ベクトルA(x,y)を、X−Y平面上で角度αだけ回転させてベクトルB(X,Y)とした場合、一般に、次式(1)の関係が成り立つ。また、図6に示すように、ベクトルP(x,z)を、X−Z平面上で角度βだけ回転させてベクトルQ(X,Z)とした場合、一般に、次式(2)の関係が成り立つ。

Figure 2009085595
Further, the angles α and β can be obtained as follows. That is, as shown in FIG. 5, when a vector A (x 0 , y 0 ) is rotated by an angle α on the XY plane to be a vector B (X 1 , Y 1 ), generally, The relationship 1) holds. In addition, as shown in FIG. 6, when a vector P (x 0 , z 0 ) is rotated by an angle β on the XZ plane to be a vector Q (X 1 , Z 1 ), generally, The relationship 2) holds.
Figure 2009085595

よって、ベクトルA,BのXY成分、ベクトルP,QのXZ成分が既知であれば、上記の式(1),(2)から回転角度α,βはそれぞれ次式(3),(4)により求められる。

Figure 2009085595
Therefore, if the XY components of the vectors A and B and the XZ components of the vectors P and Q are known, the rotation angles α and β can be expressed by the following equations (3) and (4) from the above equations (1) and (2), respectively. It is calculated by.
Figure 2009085595

ここで、回転角のみ得られればよく、ベクトルA,Bの大きさの違いは無視できる。加速度センサ22のX軸、Y軸の出力(a,a)を回転後のベクトルBとし、回転前のベクトルAをベクトルBの大きさと仮定してX軸上に設定すると、ベクトルAのXY成分は次式(5)となり、角度αは次式(6)のように求めることができる。

Figure 2009085595
Here, it is only necessary to obtain the rotation angle, and the difference in the sizes of the vectors A and B can be ignored. If the X-axis and Y-axis outputs (a X , a Y ) of the acceleration sensor 22 are set to the vector B after rotation, and the vector A before rotation is set on the X axis assuming that the vector B is the magnitude, The XY component is expressed by the following equation (5), and the angle α can be obtained by the following equation (6).
Figure 2009085595

また、加速度センサ22のX軸、Z軸の出力(a,a)を回転後のベクトルQとし、回転前のベクトルPをベクトルQの大きさと仮定してX軸上に設定すると、ベクトルPのXZ成分は次式(7)となり、角度βは次式(8)のように求めることができる。

Figure 2009085595
Further, if the X-axis and Z-axis outputs (a X , a Z ) of the acceleration sensor 22 are set as the vector Q after rotation and the vector P before rotation is set on the X-axis on the assumption that the vector Q is the magnitude, the vector The XZ component of P is given by the following formula (7), and the angle β can be obtained by the following formula (8).
Figure 2009085595

マイクロコンピュータ25は、図2のステップS2,S3の処理において、上記の関数(6),(8)に加速度センサ22の出力値を代入して角度α,βを求める。   In the processing of steps S2 and S3 in FIG. 2, the microcomputer 25 substitutes the output value of the acceleration sensor 22 into the functions (6) and (8) to obtain the angles α and β.

図7には、不揮発性メモリに格納されるオフセット換算データテーブルの一例を示す。   FIG. 7 shows an example of an offset conversion data table stored in the nonvolatile memory.

関数(6),(8)の演算により角度α,βを求めたら、次に、マイクロコンピュータ25は、不揮発性メモリ27に格納されたオフセット換算データテーブルから、例えば折れ線近似により角度α,βに対応するオフセット量γを求める(図2:ステップS4)。   Once the angles α and β are obtained by the calculations of the functions (6) and (8), the microcomputer 25 then sets the angles α and β from the offset conversion data table stored in the nonvolatile memory 27 by, for example, polygonal line approximation. A corresponding offset amount γ is obtained (FIG. 2: step S4).

オフセット換算データテーブルは、図7に示すように、鉛直方向を基準とした検出カプセル10の設置角度α,βに対応する圧力センサ21のゼロ点のずれ量(=オフセット量)をデータテーブル化したものである。オフセット量は、例えば、検出カプセル10を傾斜させて圧力センサ21の出力値を得るといった実験により求めたり、あるいは、封入液15の比重や封入液15が蓄積される空間の容積、パイプ14の容積や位置経路等から論理的に算出して求めることができる。図7中、オフセット量の値を「*」の表記により示している。このオフセット換算データテーブルは、例えば、角度α,βを所定角度(例えば5度)間隔に刻んでこのときの角度に対応するオフセット量を表わしたものである。例えば、角度α=340度、角度β=15度であれば、図7に示すように、それに対応するオフセット量はγ=TVのように求めることができるし、また、角度α,βがオフセット換算データテーブルの角度の刻みの中間にあれば、折れ線近似により前後のデータ値から対応するオフセット量γを求めることができる。   As shown in FIG. 7, the offset conversion data table is a data table of the deviation amount (= offset amount) of the zero point of the pressure sensor 21 corresponding to the installation angles α and β of the detection capsule 10 with respect to the vertical direction. Is. The offset amount is obtained by, for example, an experiment in which the detection capsule 10 is tilted to obtain the output value of the pressure sensor 21, or the specific gravity of the sealing liquid 15, the volume of the space in which the sealing liquid 15 is accumulated, the volume of the pipe 14 Or logically calculated from a position route or the like. In FIG. 7, the value of the offset amount is indicated by “*”. This offset conversion data table represents, for example, the offset amount corresponding to the angle at this time by dividing the angles α and β into predetermined angles (for example, 5 degrees). For example, if the angle α = 340 degrees and the angle β = 15 degrees, as shown in FIG. 7, the corresponding offset amount can be obtained as γ = TV, and the angles α and β are offset. If the angle is in the middle of the conversion data table, the corresponding offset amount γ can be obtained from the preceding and following data values by broken line approximation.

そして、上記のように求められたオフセット量γを圧力センサ21の出力オフセットとしてマイクロコンピュータ25の所定の記憶領域に設定し(図2:ステップS5)、このオフセット量設定処理を終了する。なお、オフセット量設定処理は、例えば、差圧伝送器1の起動時に実行されるようにしたり、検出カプセル10が動かされた場合に加速度センサ22の検出出力に基づき実行されるようにしたり、或いは、所定周期で実行されるように構成することができる。   Then, the offset amount γ obtained as described above is set as an output offset of the pressure sensor 21 in a predetermined storage area of the microcomputer 25 (FIG. 2: step S5), and this offset amount setting process is terminated. The offset amount setting process may be executed, for example, when the differential pressure transmitter 1 is started, or may be executed based on the detection output of the acceleration sensor 22 when the detection capsule 10 is moved, or It can be configured to be executed at a predetermined cycle.

図8には、検出カプセルの設置角度に起因する圧力センサの出力差異とオフセット量との関係を表わしたグラフを示す。   FIG. 8 is a graph showing the relationship between the output difference of the pressure sensor due to the installation angle of the detection capsule and the offset amount.

マイクロコンピュータ25は、短いサンプリング間隔ごとに圧力センサ21の出力をデジタル化して入力し、このセンサ出力の値を上記設定されたオフセット量γにより調整して測定値として処理する。例えば、図8に示すように、検出カプセル10が正確に鉛直姿勢に設置されている場合と、検出カプセル10が傾斜姿勢で設置されている場合とでは、検出カプセル10内の封入液15に作用する重力の向きが変わって、その分の圧力値が誤差としてセンサ出力に付加される。マイクロコンピュータ25は、このセンサ出力から上記のオフセット量設定処理で設定されたオフセット量γを減算して測定値とし、この測定値を表わす信号を伝送回路28を介してホストコントローラ50に伝送させる。これにより、検出カプセル10の設置角度に起因する出力誤差がキャンセルされて、検出カプセル10が鉛直向きに設置されたときと同一の常に正確な測定値をホストコントローラ50に伝送することができる。   The microcomputer 25 digitizes and inputs the output of the pressure sensor 21 at every short sampling interval, adjusts the value of this sensor output by the set offset amount γ, and processes it as a measured value. For example, as shown in FIG. 8, when the detection capsule 10 is accurately installed in a vertical posture and when the detection capsule 10 is installed in an inclined posture, the detection capsule 10 acts on the sealed liquid 15 in the detection capsule 10. The direction of gravity is changed, and the corresponding pressure value is added to the sensor output as an error. The microcomputer 25 subtracts the offset amount γ set in the offset amount setting process from the sensor output to obtain a measured value, and transmits a signal representing the measured value to the host controller 50 via the transmission circuit 28. As a result, the output error caused by the installation angle of the detection capsule 10 is canceled, and the always accurate measurement value that is the same as when the detection capsule 10 is installed in the vertical direction can be transmitted to the host controller 50.

次に、差圧伝送器1のマイクロコンピュータ25により実行される加速度記録処理について説明する。   Next, an acceleration recording process executed by the microcomputer 25 of the differential pressure transmitter 1 will be described.

図9には、この加速度記録処理のフローチャートを示す。   FIG. 9 shows a flowchart of the acceleration recording process.

この実施の形態の差圧伝送器1は、付加機能として加速度センサ22の出力を一定周期ごとにログとして記録したり、異常変動が生じた際にその前後一定期間の加速度センサ22の出力を詳細に記録して残す機能を、図9の加速度記録処理により実現している。   The differential pressure transmitter 1 of this embodiment records the output of the acceleration sensor 22 as an additional function as a log at regular intervals, or details the output of the acceleration sensor 22 for a certain period before and after abnormal fluctuations occur. The function to be recorded and left is realized by the acceleration recording process of FIG.

この加速度記録処理は、マイクロコンピュータ25により短い周期で繰り返し実行されるものである。この処理が開始されると、先ず、マイクロコンピュータ25は加速度センサ22の出力を読み込み(ステップS11)、このセンサ出力である方向ベクトルの値を一定時間分(例えば数秒分〜数十秒分)保持されるようにバッファメモリへ書き込む(ステップS12)。次いで、このバッファメモリに保持されている過去複数回分の方向ベクトルの値を比較して、異常変動が生じていないか判別する(ステップS13)。その結果、異常変動がなければ、長期のログとして記録するためにログ用の記録インターバルを経過したか確認し(ステップS14)、記録インターバルに達していなければ、そのまま、この加速度記録処理を終了するが、記録インターバルに達していれば、ステップS12でバッファメモリへ書き込んだ方向ベクトルを例えば不揮発性メモリ27へログとして記録して、この加速度記録処理を終了する。   This acceleration recording process is repeatedly executed by the microcomputer 25 in a short cycle. When this process is started, the microcomputer 25 first reads the output of the acceleration sensor 22 (step S11) and holds the value of the direction vector, which is the sensor output, for a fixed time (for example, several seconds to several tens of seconds). As described above, the data is written into the buffer memory (step S12). Next, the direction vector values for the past multiple times held in the buffer memory are compared to determine whether or not an abnormal fluctuation has occurred (step S13). As a result, if there is no abnormal variation, it is confirmed whether or not the log recording interval has passed in order to record as a long-term log (step S14). If the recording interval has not been reached, the acceleration recording process is terminated as it is. However, if the recording interval has been reached, the direction vector written in the buffer memory in step S12 is recorded as a log in the nonvolatile memory 27, for example, and the acceleration recording process is terminated.

このような加速度記録処理が、短い周期で繰り返し実行されることで、長期にわたる差圧伝送器1の設置角度の変化が記録され、これをユーザが読み出して解析することで、差圧伝送器1が接続される配管のねじれやプラントの地盤沈下等の長期にわたる変動の分析を行うことが可能となる。   Such acceleration recording processing is repeatedly executed in a short cycle, so that a change in the installation angle of the differential pressure transmitter 1 over a long period of time is recorded, and this is read and analyzed by the user, whereby the differential pressure transmitter 1 It is possible to analyze long-term fluctuations such as twisting of pipes connected to the plant and land subsidence of plants.

また、上記のステップS13の判別処理の結果、異常変動の発生ありと判別されたら、バッファメモリに保持された過去一定時間分の方向ベクトルの記録を不揮発性メモリ27へ移動させ(ステップS16)、その後、所定時間(例えば数秒〜数十秒)、加速度センサ22の出力を取り込んでその方向ベクトルを記録する処理を繰り返す(ステップS17〜S19)。そして、所定時間が経過したら、この加速度記録処理を終了する。   If it is determined as a result of the determination process in step S13 that an abnormal variation has occurred, the direction vector records stored in the buffer memory for a predetermined period of time are moved to the nonvolatile memory 27 (step S16). Thereafter, the process of taking the output of the acceleration sensor 22 and recording the direction vector for a predetermined time (for example, several seconds to several tens of seconds) is repeated (steps S17 to S19). Then, when a predetermined time has elapsed, the acceleration recording process is terminated.

このように、異常変動があった場合には、その前後一定期間の加速度センサ22の出力が記録されることで、その後、この記録を読み出して解析することで、異常発生時に差圧伝送器1にかかった力や差圧伝送器1の運動の解析等を行うことが可能となる。   As described above, when there is an abnormal variation, the output of the acceleration sensor 22 for a certain period before and after that is recorded, and thereafter, this record is read and analyzed, so that the differential pressure transmitter 1 is detected when an abnormality occurs. It is possible to analyze the force applied to the pressure and the movement of the differential pressure transmitter 1.

図10には、差圧伝送器の製造工程のフローチャートを示す。   In FIG. 10, the flowchart of the manufacturing process of a differential pressure transmitter is shown.

差圧伝送器1に格納されるオフセット換算データテーブル(図7)は、個々の差圧伝送器ごとに生成されてその不揮発性メモリ27等に格納されるものではなく、同一タイプの多数の差圧伝送器1において共通にされ、製造工程における部品組付の工程(ステップS21)が済んだ後などに、各差圧伝送器1にそれぞれ書き込まれるものである(ステップS22)。   The offset conversion data table (FIG. 7) stored in the differential pressure transmitter 1 is not generated for each individual differential pressure transmitter and stored in the nonvolatile memory 27 or the like. Common to the pressure transmitter 1 and written in each differential pressure transmitter 1 after the part assembly process (step S21) in the manufacturing process is completed (step S22).

ところで、オフセット換算データテーブルは、検出カプセル10の設置角度とオフセット量との関係が示されるものであるが、検出カプセル10の設置角度は加速度センサ22の出力により求められるものである。したがって、共通のオフセット換算データテーブルが格納される複数の差圧伝送器1においては、各検出カプセル10に対して加速度センサ22は同一の向き角度で組み付けられる必要がある。加速度センサ22がそれぞればらばらの向きに組み付けられているのに、共通のオフセット換算データテーブルを用いたのでは、上記のオフセット量設定処理により正確なオフセット量を得ることはできない。   By the way, the offset conversion data table shows the relationship between the installation angle of the detection capsule 10 and the offset amount, and the installation angle of the detection capsule 10 is obtained from the output of the acceleration sensor 22. Therefore, in the plurality of differential pressure transmitters 1 in which a common offset conversion data table is stored, the acceleration sensor 22 needs to be assembled to each detection capsule 10 at the same orientation angle. Although the acceleration sensors 22 are assembled in different directions, if the common offset conversion data table is used, an accurate offset amount cannot be obtained by the offset amount setting process.

したがって、差圧伝送器1の部品組付工程(ステップS21)においては、加速度センサ22は各検出カプセル10に対して同一の向き角度に組み付けられる必要がある。但し、加速度センサ22の組み付けには、特別に高い精度が求められるというものではなく、僅かな組付け誤差はその後のキャリブレーション工程(ステップS23)によって、測定値への影響がなくなるように補正することが可能である。   Therefore, in the component assembling step (step S21) of the differential pressure transmitter 1, the acceleration sensor 22 needs to be assembled at the same orientation angle with respect to each detection capsule 10. However, the assembly of the acceleration sensor 22 does not require a particularly high accuracy, and a slight assembly error is corrected by the subsequent calibration step (step S23) so that the measurement value is not affected. It is possible.

すなわち、上記のキャリブレーション工程(ステップS23)においては、先ず、差圧伝送器1を基準となる鉛直方向の向きに配置固定し、シールダイアフラム12,12へ何も導入していない状態で、電源を投入して測定値を出力させる。このとき、差圧伝送器1からは、圧力センサ21のセンサ出力に、加速度センサ22の出力とオフセット換算データテーブルにより求められた出力オフセットが付加された出力がなされる。この出力には、圧力センサ21の個体ばらつきによる出力誤差や、加速度センサ22の組み付け角度の誤差に基づく出力オフセットの誤差が付加されたものとなる。ここで、作業者は信号の入力又は調整ネジの操作により、測定値がゼロとなるようにキャリブレーション処理を行う。このようなキャリブレーション工程により、加速度センサ22の組付け角度の誤差に起因した出力誤差の校正も行われることとなる。   That is, in the calibration step (step S23), first, the differential pressure transmitter 1 is arranged and fixed in the vertical direction as a reference, and no power is introduced into the seal diaphragms 12, 12. To output the measured value. At this time, the differential pressure transmitter 1 outputs the sensor output of the pressure sensor 21 to which the output offset obtained from the output of the acceleration sensor 22 and the offset conversion data table is added. To this output, an output error due to individual variations in the pressure sensor 21 and an output offset error based on an error in the assembly angle of the acceleration sensor 22 are added. Here, the operator performs a calibration process so that the measured value becomes zero by inputting a signal or operating an adjustment screw. Through such a calibration process, the output error due to the error in the assembly angle of the acceleration sensor 22 is also calibrated.

なお、このキャリブレーション処理は、製品出荷前の製造工程において行われるものであり、差圧伝送器1をプラントに設置固定した後は、加速度センサ22の出力に基づくオフセット設定処理によりキャリブレーション処理は不要なものとなる。   This calibration process is performed in the manufacturing process before product shipment. After the differential pressure transmitter 1 is installed and fixed in the plant, the calibration process is performed by the offset setting process based on the output of the acceleration sensor 22. It becomes unnecessary.

以上のように、この実施形態の差圧伝送器1によれば、加速度センサ22により検出カプセル10の設置角度を検出し、圧力センサ21の出力にオフセットを付加することで、設置角度に依存する圧力センサ21のゼロ点のずれをキャンセルさせて補正するので、差圧伝送器1をどのような向きに設置した場合でも、設置角度に依存しない正確な測定値を得ることができる。これにより、差圧伝送器1のプラント設置後の校正処理工程を省くことができたり、揺れのある施設や回転する施設の配管に設置した場合でも正確な測定を行うことができる。   As described above, according to the differential pressure transmitter 1 of this embodiment, the installation angle of the detection capsule 10 is detected by the acceleration sensor 22, and the offset is added to the output of the pressure sensor 21, thereby depending on the installation angle. Since the offset of the zero point of the pressure sensor 21 is canceled and corrected, an accurate measurement value independent of the installation angle can be obtained regardless of the orientation of the differential pressure transmitter 1. Thereby, the calibration process step after the plant installation of the differential pressure transmitter 1 can be omitted, and accurate measurement can be performed even when the differential pressure transmitter 1 is installed in a facility having shaking or rotating facilities.

また、上記の加速度記録処理により、異常発生時における詳細な方向ベクトルの記録が行われたり、長期にわたる方向ベクトルの記録が行われることで、異常発生時や長期にわたるプラント施設の状態の遷移等をその後に解析することも可能となる。   Also, by the above acceleration recording process, detailed direction vectors are recorded at the time of occurrence of an abnormality, or direction vectors are recorded over a long period of time, so that a transition of the state of a plant facility over the occurrence of an abnormality or a long term can be performed. It is also possible to analyze after that.

なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものでなく、様々に変更可能である。例えば、上記実施形態では、加速度センサ22の出力とオフセット換算データテーブルを用いた折れ線近似により、圧力センサ21の出力オフセットの量を求める構成としたが、このようなデータテーブルを利用せずに、関数演算により圧力センサ21のオフセット量を求めるようにしても良い。例えば、検出カプセルの構造すなわち封入液が溜まる空間の容積や配置等から検出カプセル10が傾いたときに圧力センサ21に付加される圧力差を示す関数を求め、この関数に加速度センサ22の出力に基づく設置角度の値を代入することで、出力オフセットの量を求めるようにできる。   The present invention is not limited to the above embodiment, and can be variously changed. For example, in the above-described embodiment, the output offset amount of the pressure sensor 21 is obtained by polygonal line approximation using the output of the acceleration sensor 22 and the offset conversion data table, but without using such a data table, The offset amount of the pressure sensor 21 may be obtained by function calculation. For example, a function indicating a pressure difference applied to the pressure sensor 21 when the detection capsule 10 is tilted is obtained from the structure of the detection capsule, that is, the volume or arrangement of the space in which the encapsulated liquid is accumulated, and this function is used as the output of the acceleration sensor 22. By substituting the value of the installation angle based on it, the amount of output offset can be obtained.

図11には、差圧伝送器の検出カプセル10の回転対称性を説明する図を示す。   In FIG. 11, the figure explaining the rotational symmetry of the detection capsule 10 of a differential pressure transmitter is shown.

また、差圧伝送器1の検出カプセル10の構造に回転対称性があれば、その分、加速度センサの検出軸数を減らすこともできる。例えば、図11の差圧伝送器1の検出カプセル10では、Y軸を中心とした回転方向R1の角度変化に対して圧力センサ21のゼロ点は大きく変動するが、Z軸を中心とした回転方向R2の角度変化に対しては圧力センサ21のゼロ点は全く変動しない。なぜなら、回転方向R1に回転することで、2個のシールダイアフラム12,12が左右並列の状態から上下の状態に配置転換するため、下側に配置転換されたシールダイアフラム12近傍の封入液15より、上側に配置転換されたシールダイアフラム12近傍の封入液15の方に、重力分の圧力が増して圧力センサ21に差圧を発生させるからである。また、回転方向R2の回転に対しては、このような作用が全く生じないからである。   If the structure of the detection capsule 10 of the differential pressure transmitter 1 has rotational symmetry, the number of detection axes of the acceleration sensor can be reduced accordingly. For example, in the detection capsule 10 of the differential pressure transmitter 1 in FIG. 11, the zero point of the pressure sensor 21 greatly fluctuates with respect to the angle change in the rotation direction R1 around the Y axis, but the rotation around the Z axis. The zero point of the pressure sensor 21 does not change at all with respect to the angle change in the direction R2. This is because the two seal diaphragms 12 and 12 are rearranged from the left-right parallel state to the upper and lower state by rotating in the rotation direction R1, and therefore, from the sealed liquid 15 near the seal diaphragm 12 rearranged on the lower side. This is because the pressure sensor 21 generates a differential pressure by increasing the pressure of the gravitational force toward the sealed liquid 15 in the vicinity of the seal diaphragm 12 rearranged on the upper side. This is because such an action does not occur at all for the rotation in the rotation direction R2.

また、図11のX軸を中心とした回転方向R3の角度変化に対しては、圧力センサ21のゼロ点の変動はごく僅かである。すなわち、シールダイアフラム12の傍らから圧力センサ21まで封入液15を導くパイプ14中の封入液15の配置関係が上下方向に変化して、圧力センサ21のゼロ点を変動させる。しかしながら、パイプ14の容積は僅かなものであるため、この変動量はごく僅かなものとなる。また、無視できるレベルになる場合もある。   Further, the variation of the zero point of the pressure sensor 21 is very small with respect to the angle change in the rotation direction R3 about the X axis in FIG. That is, the arrangement relationship of the sealing liquid 15 in the pipe 14 that guides the sealing liquid 15 from the side of the seal diaphragm 12 to the pressure sensor 21 changes in the vertical direction, and the zero point of the pressure sensor 21 is changed. However, since the volume of the pipe 14 is small, the amount of variation is very small. In some cases, the level can be ignored.

したがって、上記のように所定軸を中心とした回転に対して圧力センサ21の出力を変動させない回転対称性が、検出カプセル10に存在している場合には、当該回転方向の角度変化は圧力センサ21の出力オフセットに影響を及ぼさず、それゆえ、当該回転方向の角度の検出は行わずにオフセット量の設定を行うことが可能となる。それゆえ、1つの回転方向に対称性があれば、残り2つの回転方向の角度を検出する2軸の加速度センサを用いて、オフセット量の設定処理を行うことができるし、2つの回転方向に対称性があれば、残り1つの回転方向の角度を検出する1軸の加速度センサを用いて、オフセット量の設定処理を行うことができる。なお、このように加速度センサの検出軸を削減する場合、加速度センサの残りの検出軸は、検出すべき回転方向が含まれる平面に対して平行な向きに固定する必要がある。   Therefore, when the detection capsule 10 has a rotational symmetry that does not change the output of the pressure sensor 21 with respect to the rotation about the predetermined axis as described above, the angle change in the rotation direction is the pressure sensor. Therefore, the offset amount can be set without detecting the angle in the rotation direction. Therefore, if there is symmetry in one rotation direction, an offset amount setting process can be performed using a biaxial acceleration sensor that detects angles in the remaining two rotation directions. If there is symmetry, offset amount setting processing can be performed using a uniaxial acceleration sensor that detects the angle of the remaining one rotation direction. When the detection axes of the acceleration sensor are reduced in this way, the remaining detection axes of the acceleration sensor need to be fixed in a direction parallel to a plane including the rotation direction to be detected.

図12には、差圧伝送器の測定値の補正処理をホスト側で行うようにしたシステム構成図を示す。   FIG. 12 is a system configuration diagram in which the measurement value correction processing of the differential pressure transmitter is performed on the host side.

また、上記の実施形態では、測定値の補正処理を差圧伝送器1のマイクロコンピュータ25により演算実行させる構成例を示したが、例えば、図12に示すように、差圧伝送器1Bでは圧力センサ21による差圧の測定と、加速度センサ22による傾斜角度の検出のみを行わせ、ホストコントローラ50Bの補正演算部52が、差圧伝送器1の設置角度を演算したりオフセット量を求めたりして、差圧伝送器1Bから送られた差圧の測定値を補正処理するように構成してもよい。すなわち、差圧伝送器1Bから伝送路55を介して、検出カプセル10の圧力センサ21の出力を示す差圧測定情報や、加速度センサ22の出力を示す加速度情報をホストコントローラ50Bへ伝送させる。そして、ホストコントローラ50Bの補正演算部52によって、上記実施形態で示した同様の処理により、伝送されてきた加速度情報とオフセット換算データテーブル51とを用いて差圧伝送器1Bの設置角度とそれに対応するオフセット量を求めさせ、このオフセット値により測定値を補正処理させればよい。   In the above-described embodiment, the configuration example in which the correction processing of the measurement value is performed by the microcomputer 25 of the differential pressure transmitter 1 has been described. For example, as illustrated in FIG. Only the measurement of the differential pressure by the sensor 21 and the detection of the inclination angle by the acceleration sensor 22 are performed, and the correction calculation unit 52 of the host controller 50B calculates the installation angle of the differential pressure transmitter 1 and obtains the offset amount. Thus, the measurement value of the differential pressure sent from the differential pressure transmitter 1B may be corrected. That is, the differential pressure measurement information indicating the output of the pressure sensor 21 of the detection capsule 10 and the acceleration information indicating the output of the acceleration sensor 22 are transmitted from the differential pressure transmitter 1B to the host controller 50B via the transmission path 55. Then, the correction calculation unit 52 of the host controller 50B uses the acceleration information and the offset conversion data table 51 transmitted by the same processing shown in the above embodiment, and the installation angle of the differential pressure transmitter 1B and corresponding to it. The offset amount to be obtained may be obtained, and the measurement value may be corrected by this offset value.

また、上記の実施形態では、加速度センサ22の出力により測定値の補正処理を行う構成を示したが、例えば、差圧伝送器1では加速度センサ22の出力を長期にわたって記録する処理と、この記録の比較処理を行い、この記録の比較によって差圧伝送器1の設置角度が測定値に影響を与える程度に変化したと判断された場合に、差圧伝送器1からホストコントローラ50へ警報情報を送信させて、設置角度の修正を求めるようにする構成としても良い。このような構成により、例えば配管のねじれやプラント施設の地盤沈下など、長期にわたる緩やかな傾斜変化に起因する差圧伝送器1の測定誤差の増大を回避することができる。   In the above-described embodiment, the configuration in which the measurement value correction process is performed based on the output of the acceleration sensor 22 has been described. However, for example, the differential pressure transmitter 1 records the output of the acceleration sensor 22 over a long period of time. When it is determined that the installation angle of the differential pressure transmitter 1 has changed to an extent that affects the measured value by comparing the records, alarm information is sent from the differential pressure transmitter 1 to the host controller 50. It is good also as a structure which is made to transmit and the correction | amendment of an installation angle is calculated | required. With such a configuration, it is possible to avoid an increase in measurement error of the differential pressure transmitter 1 due to a gentle inclination change over a long period of time, for example, twisting of piping or land subsidence of a plant facility.

また、上記の実施形態では、管路内流体の測定装置として差圧伝送器を例示したが、管路内流体の圧力を測定して測定信号を伝送する圧力伝送器にも本発明を同様に適用することができる。また、測定信号の伝送を行わずに測定のみを行う差圧測定器や圧力測定器に対しても本発明を同様に適用することができる。また、加速度センサの出力に温度ドリフトなどが生じる場合には、温度補償回路を付加して温度特性を改善させるようにしても良い。その他、実施の形態で示した細部等は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。   In the above embodiment, the differential pressure transmitter is exemplified as the fluid measuring device in the pipe. However, the present invention is similarly applied to the pressure transmitter that measures the pressure of the fluid in the pipe and transmits the measurement signal. Can be applied. Further, the present invention can be similarly applied to a differential pressure measuring device or a pressure measuring device that performs only measurement without transmitting a measurement signal. When temperature drift or the like occurs in the output of the acceleration sensor, a temperature compensation circuit may be added to improve the temperature characteristics. In addition, the details shown in the embodiments can be appropriately changed without departing from the spirit of the invention.

本発明の実施の形態の差圧伝送器をシステムに接続した状態を示す構成図である。It is a block diagram which shows the state which connected the differential pressure transmitter of embodiment of this invention to the system. 差圧伝送器のマイクロコンピュータにより実行されるオフセット量設定処理のフローチャートである。It is a flowchart of the offset amount setting process performed by the microcomputer of a differential pressure transmitter. 図2のステップS2の角度演算処理により求める角度αを示した三次元座標図である。FIG. 3 is a three-dimensional coordinate diagram illustrating an angle α obtained by an angle calculation process in step S <b> 2 of FIG. 2. 図2のステップS3の角度演算処理により求める角度βを示した三次元座標図である。FIG. 3 is a three-dimensional coordinate diagram showing an angle β obtained by an angle calculation process in step S3 of FIG. 角度αの求め方を説明するX−Y座標図である。It is an XY coordinate diagram explaining how to obtain the angle α. 角度βの求め方を説明するX−Z座標図である。It is an XZ coordinate diagram explaining how to obtain the angle β. 不揮発性メモリに格納されるオフセット換算データテーブルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the offset conversion data table stored in a non-volatile memory. 検出カプセルの設置角度に起因する圧力センサの出力差異とオフセット量との関係を表わしたグラフである。It is the graph showing the relationship between the output difference of a pressure sensor resulting from the installation angle of a detection capsule, and an offset amount. 差圧伝送器のマイクロコンピュータにより実行される加速度記録処理のフローチャートである。It is a flowchart of the acceleration recording process performed by the microcomputer of a differential pressure transmitter. 差圧伝送器の製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of a differential pressure transmitter. 差圧伝送器の検出カプセルの回転対称性を説明する図である。It is a figure explaining the rotational symmetry of the detection capsule of a differential pressure transmitter. 差圧伝送器の測定値の補正をホスト側で実行するシステムの一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the system which performs correction | amendment of the measured value of a differential pressure transmitter by the host side. 従来の差圧伝送器における水平配管接続の姿勢(a)と垂直配管接続の姿勢(b)の検出カプセルの各状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows each state of the detection capsule of the attitude | position (a) of a horizontal pipe connection and the attitude | position (b) of a vertical pipe connection in the conventional differential pressure transmitter.

符号の説明Explanation of symbols

1,1B 差圧伝送器
10 検出カプセル
12 シールダイアフラム
13 プロテクションダイアフラム
14 パイプ
15 封入液
21 圧力センサ
22 加速度センサ
25 マイクロコンピュータ
26 表示部
27 不揮発性メモリ
28 伝送回路
31,32 導圧管
50 ホストコントローラ
50B ホストコントローラ
51 オフセット換算データテーブル
52 補正演算部
55 伝送路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1B Differential pressure transmitter 10 Detection capsule 12 Sealing diaphragm 13 Protection diaphragm 14 Pipe 15 Filled liquid 21 Pressure sensor 22 Acceleration sensor 25 Microcomputer 26 Display part 27 Non-volatile memory 28 Transmission circuit 31, 32 Pressure guiding pipe 50 Host controller 50B Host Controller 51 Offset conversion data table 52 Correction calculation unit 55 Transmission path

Claims (7)

ダイアフラムの一面側に封入液が充填され、この封入液が圧力センサに導かれるように構成された検出カプセルを有し、前記ダイアフラムの他面側に管路内流体を導いて前記封入液の圧力を検出することで、前記管路内流体の圧力または管路内流体の二点間の差圧を測定する管路内流体の測定装置において、
前記検出カプセルの設置角度を検出する角度検出センサと、
前記角度検出センサの出力に応じて前記圧力センサの出力を補正する補正手段と、
を備えていることを特徴とする管路内流体の測定装置。
One side of the diaphragm is filled with an encapsulated liquid, and has a detection capsule configured such that the encapsulated liquid is guided to a pressure sensor. A fluid in the pipeline is guided to the other side of the diaphragm, and the pressure of the encapsulated liquid In the apparatus for measuring a fluid in a pipe which measures the pressure of the fluid in the pipe or the differential pressure between two points of the fluid in the pipe by detecting
An angle detection sensor for detecting an installation angle of the detection capsule;
Correction means for correcting the output of the pressure sensor in accordance with the output of the angle detection sensor;
An apparatus for measuring a fluid in a pipe line.
前記角度検出センサは、互いに直交する3軸成分の傾きを検出する3軸の加速度センサから構成され、
前記補正手段は、
前記3軸の加速度センサの出力から、前記検出カプセルに固定的に設定された第1平面内における重力方向の向きと、前記検出カプセルに固定的に設定された前記第1平面と交差する第2平面における重力方向の向きとを演算する演算手段と、
前記第1平面内における重力方向の向きおよび前記第2平面内における重力方向の向きと前記圧力センサの出力補正値とが対応づけられたデータテーブルを格納したデータ格納手段と、
前記演算手段により演算された前記第1平面内および第2平面内における重力方向の向きに対応した前記出力補正値を前記データテーブルから求めて前記圧力センサの出力に付加する出力オフセット手段と、
を有することを特徴とする請求項1記載の管路内流体の測定装置。
The angle detection sensor includes a triaxial acceleration sensor that detects inclinations of triaxial components orthogonal to each other,
The correction means includes
From the output of the triaxial acceleration sensor, the direction of the gravity direction in the first plane fixedly set on the detection capsule and the second crossing the first plane fixedly set on the detection capsule Computing means for computing the direction of the gravitational direction on the plane;
Data storage means storing a data table in which the direction of the gravity direction in the first plane and the direction of the gravity direction in the second plane are associated with the output correction value of the pressure sensor;
Output offset means for obtaining the output correction value corresponding to the direction of the gravitational direction in the first plane and the second plane calculated by the calculation means from the data table and adding the output correction value to the output of the pressure sensor;
The apparatus for measuring a fluid in a pipe line according to claim 1.
前記検出カプセルは、1本又は直交する2本の軸線を中心とした回転に対して前記圧力センサの出力が変化しない対称性を有する構成であり、
前記角度検出センサは、前記軸線を中心とした回転方向を除く2軸又は1軸の回転方向における傾きを検出する2軸又は1軸の加速度センサであることを特徴とする請求項1記載の管路内流体の測定装置。
The detection capsule is configured to have symmetry that the output of the pressure sensor does not change with respect to rotation about one or two orthogonal axes.
2. The tube according to claim 1, wherein the angle detection sensor is a biaxial or uniaxial acceleration sensor that detects an inclination in a biaxial or uniaxial rotational direction excluding a rotational direction around the axis. A device for measuring fluid in a channel.
前記角度検出センサの出力が所定量以上変化する異常発生時に、当該異常発生時前後の前記角度検出センサの出力を記録する記録手段を備えたことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の管路内流体の測定装置。   4. The recording apparatus according to claim 1, further comprising: a recording unit configured to record an output of the angle detection sensor before and after the occurrence of the abnormality when an abnormality occurs in which the output of the angle detection sensor changes by a predetermined amount or more. The apparatus for measuring a fluid in a pipeline according to Item. 前記角度検出センサの出力を間歇的に記録する記録手段を備えたことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の管路内流体の測定装置。   The apparatus for measuring a fluid in a pipe line according to any one of claims 1 to 4, further comprising recording means for intermittently recording an output of the angle detection sensor. ダイアフラムの一面側に封入液が充填され、この封入液が圧力センサに導かれるように構成された検出カプセルを有し、前記ダイアフラムの他面側に管路内流体を導いて前記封入液の圧力を検出することで、前記管路内流体の圧力または管路内流体の二点間の差圧を測定する管路内流体の測定装置において、
前記検出カプセルの設置角度を検出する角度検出センサと、
前記角度検出センサの出力を間歇的に記録する記録手段と、
前記角度検出センサの出力が所定量変化した場合に警告信号を出力する警告出力手段と、
を備えていることを特徴とする管路内流体の測定装置。
One side of the diaphragm is filled with an encapsulated liquid, and has a detection capsule configured such that the encapsulated liquid is guided to a pressure sensor. A fluid in the pipeline is guided to the other side of the diaphragm, and the pressure of the encapsulated liquid In the apparatus for measuring a fluid in a pipe which measures the pressure of the fluid in the pipe or the differential pressure between two points of the fluid in the pipe by detecting
An angle detection sensor for detecting an installation angle of the detection capsule;
Recording means for intermittently recording the output of the angle detection sensor;
Warning output means for outputting a warning signal when the output of the angle detection sensor changes by a predetermined amount;
An apparatus for measuring a fluid in a pipe line.
管路内流体の圧力または管路内流体の2点間の差圧を測定する測定装置と、この測定装置から測定信号を受信する制御装置と、前記測定装置と前記制御装置とが接続されて信号の伝送が行われる伝送路とを有する管路内流体の測定システムにおいて、
前記測定装置は、
ダイアフラムの一面側に封入液が充填されるとともに、この封入液が圧力センサに導かれるように構成された検出カプセルと、
該検出カプセルの設置角度を検出する角度検出センサと、
前記圧力センサの出力に基づく測定信号と前記角度検出センサの出力とを前記制御装置へ伝送する伝送手段とを備え、
前記制御装置は、
受信した前記角度検出センサの出力に対応させて前記測定信号の値を補正する補正手段を備えていることを特徴とする管路内流体の測定システム。
A measuring device that measures the pressure of the fluid in the pipe line or the differential pressure between the two points of the fluid in the pipe, a control device that receives a measurement signal from the measuring device, and the measuring device and the control device are connected In a measurement system for fluid in a pipeline having a transmission path through which a signal is transmitted,
The measuring device is
A detection capsule configured so that one side of the diaphragm is filled with an encapsulated liquid and the encapsulated liquid is guided to a pressure sensor;
An angle detection sensor for detecting an installation angle of the detection capsule;
A transmission means for transmitting a measurement signal based on an output of the pressure sensor and an output of the angle detection sensor to the control device;
The controller is
A measuring system for fluid in a pipe line, comprising correction means for correcting the value of the measurement signal corresponding to the received output of the angle detection sensor.
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