JP2009078074A - マイクロニードル製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のマイクロニードル製造方法は、基板に孔を設け、孔に充填剤を充填し、該充填剤の一部変形させ、基板にエッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、充填剤の一部をマスクとして基板にエッチングを行うため、マイクロニードルの突起の部位の位置と、孔の部位の位置とが、ずれることなく1対1で対応するように、孔を設けたマイクロニードル形状を形成することが出来る。よって、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルを好適に製造することが出来る。
【選択図】 図1
Description
本発明の構成によれば、充填剤の一部をマスクとして基板にエッチングを行うため、マイクロニードルの突起の部位の位置と、孔の部位の位置と、がずれることなく1対1で対応するように、孔を設けたマイクロニードル形状を形成することが出来る。
よって、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルを好適に製造することが出来る。
特に、複数のニードルを配列させたマイクロニードルの場合、それぞれのマイクロニードルについて、突起の部位の位置と、孔の部位の位置と、が自己整合的に揃うため、ずれることなく1対1で対応する。このため、複数のニードルを配列させたマイクロニードルの場合、本発明のマイクロニードル製造方法が奏する効果は非常に大きい。
まず、基板に孔を設ける。
次に、形成した孔に充填剤を充填する。
次に、前記充填剤の一部を基板から露出し、露出させた部位を基板厚み方向に厚み分布を持つように変形させる。
次に、変形させた充填剤をマスクとして、基板にエッチングを行う。
変形させた充填剤をマスクとして、垂直方向に異方性エッチングすることにより、充填剤の厚みの薄い部位から徐々に消失することになり、エッチングレートの速い基板がテーパーのついた形状にエッチングされる。このとき、徐々にマスクが除去されていき、最終的にマスクが微小な範囲に収束してから完全に除去されることでマイクロニードルを形成するため、エッチングマスク脱落による汚染等が発生することなく、また先端形状が鋭利なマイクロニードルを製造することが可能となる。
次に、充填剤を除去する。充填剤の除去方法としては、選択した充填剤に応じて適した方法を用いれば良い。例えば、一般的な熱可塑性樹脂を用いた場合、有機溶剤や硫酸・過酸化水素水混合液を用いたウェット処理、酸素プラズマを用いたドライ処理などを行っても良い。
なお、貫通孔を設けたマイクロニードルを所望する場合、非貫通孔を設け、上記工程を行ったのち、突起を形成した側とは逆側から研磨し、孔を露出する工程を行っても良い。このとき、孔を露出する工程と、充填剤を除去する工程と、は相前後して行って良い。
転写成型としては、例えば、インプリント法、ホットエンボス法、射出成形法、キャスティング法などを用いても良い。
また、転写材料としては、例えば、生体適合性材料である医療用シリコーン樹脂や、マルトース、ポリ乳酸、デキストラン、キチンキトサンなどを用いても良い。
本実施例では、中央に孔を有するシリコン製マイクロニードルを製造する一例を示す。
このとき、孔部に空気が残留する事を防ぐため、減圧チャンバーを用いて作業を行った。
PMMAが基板から突出した部位が厚み分布を有するため、外側の薄い部分から徐々にエッチングされていく結果、エッチング後のシリコンウェハの形状はテーパー形状となり、マイクロニードル形状が形成された。
以上より、中央に孔を有するマイクロニードルを製造することが出来た。
実施例1と同様にマイクロニードルを製造した。ただし、中央の孔部に埋め込んだPMMAの除去を行うまえに、突起を形成した側とは逆側から研磨し、裏面に充填剤を露出させた。
以上より、貫通孔を備えたマイクロニードルを製造することが出来た(図1(j))。
本実施例では、実施例1にて得られたシリコンマイクロニードルを原版として、中央に貫通孔を有するマルトース、デキストラン、キチンキトサン、ポリ乳酸製マイクロニードルを製造する方法を示す。
以上より、中央に孔を有するマイクロニードルを製造することが出来た。
実施例3と同様にマイクロニードルを製造した。
次に、突起を形成した側とは逆側から研磨し、裏面に孔を露出させた(図2(f))。
以上より、貫通孔を備えたマイクロニードルを製造することが出来た。
102・・・エッチングマスク
103・・・孔
104・・・充填剤
105・・・孔に埋め込まれた充填剤
106・・・厚み分布をもつ島状の先端部を有する充填剤
107・・・中央に未貫通孔を有するマイクロニードル
108・・・中央に貫通孔を有するマイクロニードル
201・・・中央に孔を有するマイクロニードル原版
202・・・メッキにより形成した金属層
203・・・複製版
204・・・複製版に埋め込んだ樹脂
205・・・中央に未貫通孔を有するマイクロニードル
206・・・中央に貫通孔を有するマイクロニードル
Claims (6)
- 基板に孔を設ける工程と、
前記孔に充填剤を充填する工程と、
前記充填剤の一部を基板から露出し、露出させた部位を基板厚み方向に厚み分布を持つように変形させる工程と、
前記変形させた充填剤をマスクとして、基板にエッチングを行う工程と、
前記充填剤を除去する工程と、
を備えたことを特徴とするマイクロニードル製造方法。 - 請求項1に記載のマイクロニードル製造方法であって、
充填剤は、熱可塑性樹脂よりなること
を特徴とするマイクロニードル製造方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載のマイクロニードル製造方法であって、
孔は貫通孔であること
を特徴とするマイクロニードル製造方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載のマイクロニードル製造方法であって、
孔は非貫通孔であること
を特徴とするマイクロニードル製造方法。 - 請求項1から4のいずれかに記載のマイクロニードルの製造方法であって、
更に、
製造したマイクロニードルを母型とし、該母型から複製版を作製する工程と、
前記複製版を用いて転写成型を行う工程と、
を備えたことを特徴とするマイクロニードルの製造方法。 - 複数のマイクロニードルを配列させたマイクロニードルにおいて、
それぞれのマイクロニードルは中央に孔を設けた形状のマイクロニードルであり、
それぞれのマイクロニードルについて、突起の部位の位置と、孔の部位の位置と、がずれることなく1対1で対応しており、
突起の部位の位置と、孔の部位の位置と、がずれたマイクロニードルが存在しないこと
を特徴とするマイクロニードル。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013120660A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Canon Inc | 貫通孔基板の製造方法 |
JP2014172103A (ja) * | 2013-03-06 | 2014-09-22 | Fujifilm Corp | 凹凸構造体の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001149485A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-06-05 | Becton Dickinson & Co | 物質の経皮投与の方法及び装置 |
JP2002517300A (ja) * | 1998-06-10 | 2002-06-18 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 微小針デバイスおよび製造方法ならびにそれらの使用 |
JP2002521222A (ja) * | 1998-07-22 | 2002-07-16 | イギリス国 | ダクトを有するシリコンの微細加工突起 |
JP2005503194A (ja) * | 2001-06-13 | 2005-02-03 | アボット・ラボラトリーズ | 低侵襲的薬物供給のためのマイクロニードルおよびマイクロニードルの製造方法 |
-
2007
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002517300A (ja) * | 1998-06-10 | 2002-06-18 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | 微小針デバイスおよび製造方法ならびにそれらの使用 |
JP2002521222A (ja) * | 1998-07-22 | 2002-07-16 | イギリス国 | ダクトを有するシリコンの微細加工突起 |
JP2001149485A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-06-05 | Becton Dickinson & Co | 物質の経皮投与の方法及び装置 |
JP2005503194A (ja) * | 2001-06-13 | 2005-02-03 | アボット・ラボラトリーズ | 低侵襲的薬物供給のためのマイクロニードルおよびマイクロニードルの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013120660A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Canon Inc | 貫通孔基板の製造方法 |
JP2014172103A (ja) * | 2013-03-06 | 2014-09-22 | Fujifilm Corp | 凹凸構造体の製造方法 |
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