JP2009071149A - 高周波電力発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平板状の基板電極28と、該基板電極上に配置された複数の高周波電力増幅素子26と、前記それぞれの高周波電力増幅素子上にそれぞれ配置された弾性体31を備え、前記弾性体により高周波電力増幅素子を基板電極方向に押圧することにより前記高周波電力増幅素子を前記基板電極に加圧接触させる高周波電力発生装置において、その梁状部に前記弾性体の一端をそれぞれ収納する凹部を有し、その柱状部を介して前記基板電極に固定された門型の押さえブロック22を備え、前記弾性体の一端を前記高周波電力増幅素子に当接させ、その他端を前記凹部の底に当接させ、前記高周波電力増幅素子を前記基板電極により均一な力で安定して加圧接触させた。
【選択図】図2
Description
バネ3a,34bは、その下端が押え部材33a,33bの上面に、他端が高周波電力増幅素子26a,26bを覆う押えブロック32の梁状部に形成した穴の底に接している。
2 高周波電力増幅素子
3 制御部
4 アンテナ
5 ソレノイドコイル
6 反応容器
7 プラズマ
8 整合器
9 高周波電源
10 ポンプ
11 圧力調整部
12 バルブ
13 試料台
14 試料
15 シャワープレート
16 整合器
17 電力モニタ部
18 電力増幅部
19 発振部
20a,20b ネジ
21a,21b ネジ
22,32,42 押さえブロック
23a,23b 緩衝材
24 冷却通路
25 冷却板
26a,26b 高周波電力増幅素子
28 基板電極
29 回路基板
33a,33b 押さえ部材
34a,34b バネ
39 ネジ
43 蓋板
Claims (5)
- 平板状の基板電極と、
該基板電極上に配置された複数の高周波電力増幅素子と、
前記それぞれの高周波電力増幅素子上にそれぞれ配置された弾性体を備え、
前記弾性体により高周波電力増幅素子を基板電極方向に押圧することにより前記高周波電力増幅素子を前記基板電極に加圧接触させる高周波電力発生装置において、
その梁状部に前記弾性体の一端をそれぞれ収納する凹部を有し、その柱状部を介して前記基板電極に固定された門型の押さえブロックを備え、
前記弾性体の一端を前記高周波電力増幅素子に当接させ、その他端を前記凹部の底に当接させ、前記高周波電力増幅素子を前記基板電極により均一な力で安定して加圧接触させたことを特徴とする高周波電力発生装置。 - 平板状の基板電極と、
該基板電極上に配置された複数の高周波電力増幅素子と、
前記それぞれの高周波電力増幅素子上にそれぞれ配置された押さえ部材を備え、
前記押さえ部材を前記基板電極の方向に押圧することにより前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に加圧接触させる高周波電力発生装置において、
前記押さえ部材のそれぞれを押圧する弾性体の一端をそれぞれ収納する凹部を有する門型の押さえブロックを備え、
前記弾性体の一端を前記押さえ部材に当接させ、その他端を前記凹部の底に当接させ、前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に均一な力で安定して加圧接触させたことを特徴とする高周波電力発生装置。 - 平板状の基板電極と、
該基板電極上に配置された複数の高周波電力増幅素子と、
前記それぞれの高周波電力増幅素子上にそれぞれ配置された押さえ部材を備え、
前記押さえ部材を前記基板電極の方向に押圧することにより前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に加圧接触させる高周波電力発生装置において、
前記押さえ部材のそれぞれを押圧する弾性体の一端がそれぞれ貫通する孔を有する門型の押さえブロックおよび前記孔を外側から塞ぐ蓋板を備え、
前記弾性体の一端を前記押さえ部材に当接させ、その他端を前記孔を塞ぐ蓋板に当接させ、前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に均一な力で安定して加圧接触させたことを特徴とする高周波電力発生装置。 - 平板状の基板電極と、
該基板電極上に配置された複数の高周波電力増幅素子と、
前記それぞれの高周波電力増幅素子上にそれぞれ配置された押さえ部材を備え、
前記押さえ部材を前記基板電極の方向に押圧することにより前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に加圧接触させるとともに、前記高周波電力増幅素子で増幅した高周波電力を反応容器内に供給してプラズマを生成させるプラズマ処理装置において、
前記押さえ部材のそれぞれを押圧する弾性体体の一端をそれぞれ収納する凹部を有する門型の押さえブロックを備え、
前記弾性体の一端を前記押さえ部材に当接させ、その他端を前記凹部の底に当接させ、前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に均一な力で安定して加圧接触させたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 平板状の基板電極と、
該基板電極上に配置された複数の高周波電力増幅素子と、
前記それぞれの高周波電力増幅素子上にそれぞれ配置された押さえ部材を備え、
前記押さえ部材を前記基板電極の方向に押圧することにより前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に加圧接触させるとともに、前記高周波電力増幅素子で増幅した高周波電力を反応容器内に供給してプラズマを生成させるプラズマ処理装置において、
前記押さえ部材のそれぞれを押圧する弾性体の一端がそれぞれ貫通する孔を有する門型の押さえブロックおよび前記孔を外側から塞ぐ蓋板を備え、
前記弾性体の一端を前記押さえ部材に当接させ、その他端を前記孔を塞ぐ蓋板に当接させ、前記高周波電力増幅素子を前記基板電極および押さえ部材に均一な力で安定して加圧接触させたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011211771A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Denso Corp | 電力変換装置及びその製造方法 |
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JPH05121605A (ja) * | 1991-04-08 | 1993-05-18 | Export Contor Aussenhandels Gmbh | 回路配置 |
JPH10145064A (ja) * | 1996-11-05 | 1998-05-29 | Advantest Corp | 高放熱性伝熱部品 |
JPH11297495A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Tadahiro Omi | プラズマ装置 |
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JP2006287817A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Tokyo Electron Ltd | マイクロ波発生装置、マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置及びマイクロ波発生方法 |
-
2007
- 2007-09-14 JP JP2007239498A patent/JP5344733B2/ja not_active Expired - Fee Related
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